JP2019006066A - 液体吐出装置および液体吐出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】小さなドットを高速に形成可能な技術を提供する。【解決手段】対象物に液体を吐出する液体吐出装置は、ノズルに連通し液体が供給される圧力室２００と、圧力室に液体を供給する供給流路３０と、圧力室の容積を変化させて圧力室内の圧力を高めることによりノズルから液体を吐出させる容積変更部２２０と、供給流路の流路抵抗を変更する第１流路抵抗変更部２３０と、容積変更部を制御してノズルから液柱状の液体を吐出させ、容積変更部および第１流路抵抗変更部の少なくとも一方を制御して圧力室内の圧力を減圧させることにより、液柱状の液体をノズルから引き込む第１制御を行う制御部と、を備える。【選択図】図４

Description

本発明は、液体吐出装置および液体吐出方法に関する。

液体を吐出する液体吐出装置に関し、例えば、特許文献１には、高粘度の液状物を微少量吐出する液状物吐出装置が開示されている。この装置では、筒状容器内の液状物を、筒状容器の内外に亘って往復動するニードルの先端に供給し、ニードルの先端を被付着部まで運搬することによって、液状物を被付着物に塗布している。

特開２０１１−１７３０２９号公報

しかし、特許文献１に記載された技術では、液滴の微小化は可能であるものの、ニードルを長距離に亘って往復動させる仕組みのため、動作の高速化が困難であった。そのため、小さなドットを高速に形成可能な技術が求められていた。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本発明の一形態によれば、対象物に液体を吐出する液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、ノズルに連通し、前記液体が供給される圧力室と；前記圧力室に前記液体を供給する供給流路と；前記圧力室の容積を変化させて前記圧力室内の圧力を高めることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる容積変更部と；前記供給流路の流路抵抗を変更する第１流路抵抗変更部と；前記容積変更部を制御して前記ノズルから液柱状の前記液体を吐出させて前記対象物に接触させ、前記容積変更部および前記第１流路抵抗変更部の少なくとも一方を制御して前記圧力室内の圧力を減圧させることにより、液柱状の前記液体を前記ノズルから引き込む第１制御を行う制御部と；を備えることを特徴とする。このような形態の液体吐出装置であれば、液柱状の液体を対象物に接触させた後に、その液柱状の液体をノズルから引き込むため、小さなドットを高速に形成できる。

（２）上記形態の液体吐出装置は、前記圧力室から前記液体を排出する排出流路と、前記排出流路の流路抵抗を変更する第２流路抵抗変更部と、を備えてもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、排出流路を通じて圧力室から液体を排出することができる。

（３）上記形態の液体吐出装置において、前記制御部は、前記容積変更部および前記第１流路抵抗変更部の少なくとも一方と、前記第２流路抵抗変更部と、を制御して、前記圧力室内の圧力を減圧させてもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、排出流路の流路抵抗変更するための第２流路抵抗変更部を用いて液柱状の液体をノズルから引き込むことができる。

（４）上記形態の液体吐出装置は、前記排出流路から排出された前記液体を前記供給流路に再供給する循環流路を備えてもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、液体を効率的に利用することができる。

（５）上記形態の液体吐出装置において、前記制御部は、前記容積変更部を制御して前記圧力室の容積を変化させることにより、前記ノズルから液滴状の前記液体を吐出させる第２制御を行うことが可能であり、前記制御部は、前記第１制御を実行することにより、前記対象物上において第１のサイズのドットを形成し、前記第２制御を実行することにより、前記対象物上において前記第１のサイズよりも大きな第２のサイズのドットを形成してもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、第１制御と第２制御とを使い分けることにより、異なるサイズのドットを対象物に形成することができる。

本発明は、上述した液体吐出装置としての形態以外にも、種々の形態で実現することが可能である。例えば、液体吐出装置によって実行される液体吐出方法や、液体吐出装置を制御するためのコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムが記録された一時的でない有形な記録媒体等の形態で実現することができる。

第１実施形態における液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。 ヘッド部の概略構成を示す断面図である。 ノズルから液体が吐出された様子を示す説明図である。 ノズルから液体が引き込まれる様子を示す説明図である。 液体をノズルから引き込まない比較例を示す図である。 第２実施形態においてノズルから液体が引き込まれる様子を示す説明図である。 第３実施形態における液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。 第４実施形態におけるヘッド部の構成を示す図である。 第５実施形態における液体の吐出態様を示す説明図である。 第５実施形態における液体吐出方法の制御内容を示すフローチャートである。

Ａ．第１実施形態：
図１は、本発明の第１実施形態における液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。液体吐出装置１００は、タンク１０と、加圧ポンプ２０と、供給流路３０と、ヘッド部２００と、制御部４０と、を備える。

タンク１０には液体が収容される。液体としては、例えば、所定の粘度を有するインクが収容される。本実施形態における液体の粘度は、例えば、１００ｍＰａ・Ｓ以上であることが好ましく、５００ｍＰａ・Ｓ以上であることがより好ましい。また、粘度は、例えば、１００００ｍＰａ・Ｓ以下であることが好ましく、３０００ｍＰａ・Ｓ以下であることがより好ましい。

タンク１０内の液体は加圧ポンプ２０により、供給流路３０を通じてヘッド部２００に供給される。ヘッド部２００に供給された液体は、ヘッド部２００から吐出される。ヘッド部２００の動作は、制御部４０により制御される。制御部４０は、ＣＰＵとメモリーとを備えるコンピューターとして構成されており、メモリーに記憶されたプログラムをＣＰＵが実行することにより、ヘッド部２００の動作を制御する。プログラムは、一時的でない有形な記録媒体に記録されていてもよい。

図２は、ヘッド部２００の概略構成を示す断面図である。ヘッド部２００は、圧力室２１０と、容積変更部２２０と、第１流路抵抗変更部２３０と、を備えている。

圧力室２１０は、液体が供給される部屋である。圧力室２１０は、ノズル２１１に連通している。圧力室２１０には、供給流路３０から液体が供給される。圧力室２１０の一側面には、容積変更部２２０が設けられている。

容積変更部２２０は、圧力室２１０の容積を変化させて圧力室２１０内の圧力を高めることによりノズル２１１から液体を吐出させる。本実施形態では、容積変更部２２０は、振動板２２１とピエゾアクチュエーター２２２とを備える。振動板２２１は、圧力室２１０の一側面を構成している。ピエゾアクチュエーター２２２は、振動板２２１に接しており、振動板２２１を変位させる。ピエゾアクチュエーター２２２は、制御部４０により駆動される。制御部４０は、ピエゾアクチュエーター２２２を駆動して、振動板２２１を圧力室２１０の内部に向けて変位させることにより、圧力室２１０の容積を小さくし、圧力室２１０内の圧力を高める。そして、圧力室２１０内の圧力がノズル２１１内の液体のメニスカス耐圧を超えると、ノズル２１１から液体が吐出される。このとき、最大で、圧力室２１０の容量変化分の量の液体がノズル２１１から外部に吐出される。ノズル２１１から吐出された液体は、紙やプラスチック、金属などの対象物３００に接触し、ドットが形成される。

第１流路抵抗変更部２３０は、供給流路３０の流路抵抗を変更する。本実施形態では、第１流路抵抗変更部２３０は、供給流路３０の出口付近を閉塞可能なピストン状の弁と、その弁を駆動するピエゾアクチュエーターとにより構成されている。第１流路抵抗変更部２３０の動作は、制御部４０により制御される。

制御部４０（図１）は、容積変更部２２０を制御してノズル２１１から液柱状の液体を吐出させて対象物３００に接触させることにより対象物３００上にドットを形成し、容積変更部２２０および第１流路抵抗変更部２３０の少なくとも一方を制御して圧力室２１０内の圧力を減圧させることにより、液柱状の液体をノズル２１１から引き込む制御（以下、「第１制御」という）を行う。本実施形態では、第１制御において制御部４０は、第１流路抵抗変更部２３０を制御して供給流路３０の流路抵抗を小さくすることにより、圧力室２１０内の圧力を減圧させる。

図３は、ノズル２１１から液体が吐出された様子を示す説明図である。本実施形態では、圧力室２１０に供給流路３０から液体が供給された後、制御部４０は、第１流路抵抗変更部２３０を制御して、供給流路３０の流路抵抗を大きくし、供給流路３０を閉塞した状態とする。この状態において、制御部４０は、容積変更部２２０を制御して、圧力室２１０の容積を小さくする。すると、圧力室２１０内の圧力が高まり、ノズル２１１から液柱状の液体が吐出される。本実施形態における液体は、ノズル２１１から対象物３００まで液柱状に吐出される粘度を有しており、また、ノズル２１１から対象物３００までの距離は、液柱状に吐出された液体が千切れずに到達可能な距離に設定されている。

図４は、ノズル２１１から液体が引き込まれる様子を示す説明図である。本実施形態では、液柱状の液体の先端が対象物３００に接触した直後（または直前）に、制御部４０は、圧力が高められた圧力室２１０内の圧力を減圧する。具体的には、制御部４０は、第１流路抵抗変更部２３０を制御して、供給流路３０の流路抵抗を小さくすることにより、圧力の高められた圧力室２１０を開放する。すると、圧力室２１０内の液体は、圧力の低い供給流路３０側に移動し、それに伴い、ノズル２１１から吐出された液柱状の液体がノズル２１１内に引き上げられる。そのため、対象物３００には、液柱状の液体の先端部が接触することによって小さなドットが形成される。

液柱状の液体が引き上げられた後、加圧された液体が供給流路３０を通じて圧力室２１０に再び供給されると、制御部４０は、第１流路抵抗変更部２３０を制御して、供給流路３０を閉塞させ、図３に示したように、液体を再び吐出させる。制御部４０は、以上で説明した制御を繰り返し実行することにより、対象物３００上に連続的に小さなドットを形成することができる。制御部４０は、ヘッド部２００に対する対象物３００の相対的な位置を各種のモーターを制御して移動させることにより、対象物３００上の任意の位置にドットを形成することができる。

以上で説明した本実施形態の液体吐出装置１００によれば、液柱状の液体によってドットを形成した後に、その液柱状の液体をノズル２１１から引き込むため、小さなドットを対象物３００に形成できる。図５は、液体をノズル２１１から引き込まない比較例を示している。液体をノズル２１１から引き込まない場合には、圧力室２１０内の圧力がノズル２１１から抜けきるまで、図５に示すように、ノズル２１１から吐出された液体が尾を引きながら吐出される。そうすると、対象物３００に形成されるドットサイズは大きくなり、また、吐出された液体の尾によって隣り合うドットが繋がる現象や、前回吐出した液体の尾によってドットの形成位置が不安定になる現象が生じる可能性がある。これに対して、本実施形態では、吐出された液柱状の液体をノズル２１１から引き込むため、これらの現象が生じることがない。また、本実施形態では、従来技術のように、ノズル２１１からニードルを長距離に亘って往復動させる仕組みも不要なため、高速にドットを形成することができる。

また、本実施形態では、液体の吐出時に、供給流路３０に備えられた第１流路抵抗変更部２３０を制御して、供給流路３０の流路抵抗を大きくするので、ノズル２１１から液体を効率的に吐出させることができる。また、供給流路３０の流路抵抗を変更するための第１流路抵抗変更部２３０を用いて液柱状の液体をノズル２１１から引き込むことができるので、液体吐出装置１００の構成を簡素化することができる。

Ｂ．第２実施形態：
上記第１実施形態では、第１流路抵抗変更部２３０を制御することにより、液柱状の液体をノズル２１１から引き込んでいる。これに対して、第２実施形態では、容積変更部２２０を制御することにより、液柱状の液体をノズル２１１から引き込む。

図６は、第２実施形態においてノズル２１１から液体が引き込まれる様子を示す説明図である。本実施形態では、制御部４０は、容積変更部２２０を制御してノズル２１１から液柱状の液体を吐出させた後、供給流路３０を閉塞させたまま、容積変更部２２０を制御して圧力室２１０の容積を大きくする。そうすると、圧力室２１０内の圧力が減圧されるため、ノズル２１１から液体が引き込まれる。ノズル２１１から液体が引き上げられた後、制御部４０は、第１流路抵抗変更部２３０を制御して、供給流路３０の流路抵抗を小さくし、供給流路３０と圧力室２１０とを連通させ、圧力室２１０内に液体を供給する。その後、図３に示した制御と図６に示した制御とを繰り返すことにより、対象物３００上に連続的にドットを形成できる。

以上で説明した第２実施形態によっても、液柱状の液体をノズル２１１から引き込むことができるので、第１実施形態と同様に、小さなドットを高速に形成することができる。

なお、第２実施形態では、容積変更部２２０のみを制御して圧力室２１０内を減圧しているが、容積変更部２２０と同時に第１流路抵抗変更部２３０を制御することによって圧力室２１０内を減圧してもよい。つまり、第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせ、容積変更部２２０と第１流路抵抗変更部２３０との両方を制御することによって圧力室２１０内を減圧してもよい。

Ｃ．第３実施形態：
図７は、第３実施形態における液体吐出装置１００ｂの概略構成を示す説明図である。液体吐出装置１００ｂは、第１実施形態の液体吐出装置１００と同様に、タンク１０と、加圧ポンプ２０と、供給流路３０と、ヘッド部２００と、制御部４０とを備えている。これらに加え、液体吐出装置１００ｂは、排出流路５０と、液体貯留部６０と、負圧発生源７０と、循環流路８０と、を備えている。

排出流路５０は、ヘッド部２００の圧力室２１０に接続されている。本実施形態では、圧力室２１０から吐出されなかった液体は、排出流路５０を通じて液体貯留部６０に排出される。液体貯留部６０には、各種ポンプによって構成可能な負圧発生源７０が接続されている。負圧発生源７０は、液体貯留部６０内を負圧にすることにより、排出流路５０を通じてヘッド部２００から液体を吸引する。本実施形態において、加圧ポンプ２０および負圧発生源７０は、供給流路３０と排出流路５０とに差圧を発生させて供給流路３０に液体を供給する液体供給部として機能する。なお、加圧ポンプ２０および負圧発生源７０のいずれか一方を省略して、加圧ポンプ２０または負圧発生源７０のいずれか単体で液体供給部を構成してもよい。

本実施形態では、液体貯留部６０とタンク１０とは、循環流路８０によって接続されている。液体貯留部６０に貯留された液体は、循環流路８０を通じてタンク１０に戻され、再び、加圧ポンプ２０によってヘッド部２００に供給される。つまり、循環流路８０は、排出流路５０から排出された液体を、供給流路３０に再供給する機能を有する。循環流路８０には、液体貯留部６０から液体を吸引するためのポンプが備えられていてもよい。また、循環流路８０には、異物除去フィルターや脱気モジュールが備えられていてもよい。なお、循環流路８０を省略し、液体吐出装置１００を、液体を循環させない構成とすることも可能である。

以上で説明した第３実施形態によれば、圧力室２１０から吐出されなかった液体を、排出流路５０を通じて排出することができるので、ヘッド部２００内に液体内の沈降成分が堆積することを抑制することができる。また、本実施形態の液体吐出装置１００ｂは、循環流路８０を備えているので、液体を効率的に利用することができる。

Ｄ．第４実施形態：
図８は、第４実施形態におけるヘッド部２００ｃの構成を示す図である。第４実施形態の液体吐出装置の構成は、第３実施形態の液体吐出装置１００ｂの構成と同じである。そのため、圧力室２１０には、排出流路５０が接続されている。本実施形態におけるヘッド部２００ｃは、排出流路５０の流路抵抗を変更する第２流路抵抗変更部２５０を備えている。第２流路抵抗変更部２５０の構成は第１流路抵抗変更部２３０と同様であり、第２流路抵抗変更部２５０は、排出流路５０の入口付近を閉塞可能なピストン状の弁と、その弁を駆動するピエゾアクチュエーターにより構成されている。第２流路抵抗変更部２５０の動作は、制御部４０により制御される。

本実施形態では、制御部４０は、液柱状の液体を吐出させる際には、第１流路抵抗変更部２３０とともに第２流路抵抗変更部２５０を制御して、供給流路３０および排出流路５０を閉塞させた上で、容積変更部２２０を制御して、圧力室２１０内の圧力を高め、ノズル２１１から液体を吐出させる。そして、制御部４０は、液柱状の液体を引き上げる際には、第１流路抵抗変更部２３０とともに第２流路抵抗変更部２５０を制御して、供給流路３０および排出流路５０の流路抵抗を小さくすることによって、圧力室２１０内の圧力を減圧し、液柱状の液体をノズル２１１から引き上げる。

以上で説明した第４実施形態によっても、液柱状の液体を吐出した後に、その液体をノズル２１１から引き込むことができるので、第１実施形態と同様に、小さなドットを高速に形成することができる。

なお、本実施形態では、制御部４０は、液体の引き上げ時に、第１流路抵抗変更部２３０と第２流路抵抗変更部２５０とを制御して圧力室２１０内を減圧している。これに対して、制御部４０は、容積変更部２２０と第２流路抵抗変更部２５０とを制御して圧力室２１０を減圧してもよい。また、容積変更部２２０と第１流路抵抗変更部２３０と第２流路抵抗変更部２５０の全てを制御して圧力室２１０を減圧してもよい。

Ｅ．第５実施形態：
図９は、第５実施形態における液体の吐出態様を示す説明図である。上記各実施形態では、制御部４０は、上述した第１制御を実行することにより、液柱状の液体を吐出させている。これに対して、本実施形態では、制御部４０は、第１制御に加え、容積変更部２２０を制御して圧力室２１０の容積を変化させることにより、ノズル２１１から液滴状の液体を吐出させる第２制御を行うことが可能に構成されている。そして、本実施形態では、制御部４０は、第１制御を実行することにより、対象物３００上において第１のサイズのドットを形成し、第２制御を実行することにより、対象物３００上において第１のサイズよりも大きな第２のサイズのドットを形成する。

上述した第２制御では、制御部４０は、第１流路抵抗変更部２３０を制御して供給流路３０を閉塞させた後に、容積変更部２２０を制御して、圧力室２１０内の圧力を高め、ノズル２１１から液体を吐出させた後に、液体が対象物３００に到達する前に、容積変更部２２０を制御して、圧力室２１０内の圧力を減圧させることで、液体の尾切りを行う。すると、ノズル２１１からは、液滴状の液体が吐出される。このように吐出される液滴状の液体の量は、液柱状の液体が吐出されて引き上げられることにより対象物３００上に残る液体の量よりも多い。そのため、制御部４０は、第１制御によって小さなドットを形成することができ、第２制御によってそれよりも大きなドットを形成することができる。

図１０は、第５実施形態における液体吐出方法の制御内容を示すフローチャートである。制御部４０は、ドットサイズを表すデータをメモリーや他の装置から取得すると（ステップＳ１０）、取得したデータが表すドットサイズが第１のサイズ（小サイズ）であるか否かを判断する（ステップＳ２０）。取得したデータが表すドットサイズが第１のサイズであれば（ステップＳ２０：ＹＥＳ）、制御部４０は、第１制御を実行することによって、ノズル２１１から液柱状の液体を吐出させてその液体を引き込むことにより、対象物３００上に小さなサイズのドットを形成する（ステップＳ３０）。これに対して、取得したデータが表すドットサイズが第２のサイズ（大サイズ）であれば（ステップＳ２０：ＮＯ）、制御部４０は、第２制御を実行することによって、ノズル２１１から液滴状の液体を吐出させることにより、対象物３００上に大きなサイズのドットを形成する（ステップＳ４０）。

以上で説明した第５実施形態によれば、液柱状の液体を吐出させるための第１制御と、液滴状の液体を吐出させるための第２制御とを使い分けることにより、異なるサイズのドットを対象物３００に形成することができる。

なお、図９には、圧力室２１０に供給流路３０のみが接続された例を示しているが、圧力室２１０には、排出流路５０が接続されていてもよい。また、排出流路５０には、第２流路抵抗変更部２５０が設けられていてもよい。つまり、本実施形態における液体の吐出制御は、上述したいずれの実施形態にも適用可能である。

Ｆ．他の実施形態：
上記各実施形態では、第１流路抵抗変更部２３０は、供給流路３０を閉塞可能に構成されており、第２流路抵抗変更部２５０は、排出流路５０を閉塞可能に構成されている。しかし、第１流路抵抗変更部２３０および第２流路抵抗変更部２５０は、供給流路３０および排出流路５０の流路抵抗を少なくとも２段階で変更できればよく、供給流路３０および排出流路５０を完全に閉塞できなくてもよい。

上記各実施形態における容積変更部２２０、第１流路抵抗変更部２３０、および、第２流路抵抗変更部２５０の構成は、上述した構成に限定されない。例えば、これらに含まれるアクチュエーターとしては、ピエゾアクチュエーターに限らず、ソレノイドや磁歪素子など、種々のアクチュエーターを用いてもよい。また、第１流路抵抗変更部２３０および第２流路抵抗変更部２５０は、供給流路３０や排出流路５０の流路抵抗が変更可能であれば、ピストン状の弁に限らず、種々の構成を採用可能である。例えば、供給流路３０や排出流路５０の流路抵抗を最小の状態から最大の状態に切り替えるシャッター状の弁を採用してもよい。

本発明は、インクを吐出する液体吐出装置に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。

なお、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。

本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

１０…タンク、２０…加圧ポンプ、３０…供給流路、４０…制御部、５０…排出流路、６０…液体貯留部、７０…負圧発生源、８０…循環流路、１００，１００ｂ…液体吐出装置、２００，２００ｃ…ヘッド部、２１０…圧力室、２１１…ノズル、２２０…容積変更部、２２１…振動板、２２２…ピエゾアクチュエーター、２３０…第１流路抵抗変更部、２５０…第２流路抵抗変更部、３００…対象物。

Claims (6)

1. 対象物に液体を吐出する液体吐出装置であって、
   ノズルに連通し、前記液体が供給される圧力室と、
   前記圧力室に前記液体を供給する供給流路と、
   前記圧力室の容積を変化させて前記圧力室内の圧力を高めることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる容積変更部と、
   前記供給流路の流路抵抗を変更する第１流路抵抗変更部と、
   前記容積変更部を制御して前記ノズルから液柱状の前記液体を吐出させて前記対象物に接触させ、前記容積変更部および前記第１流路抵抗変更部の少なくとも一方を制御して前記圧力室内の圧力を減圧させることにより、液柱状の前記液体を前記ノズルから引き込む第１制御を行う制御部と、
   を備える液体吐出装置。
2. 請求項１に記載の液体吐出装置であって、
   前記圧力室から前記液体を排出する排出流路と、
   前記排出流路の流路抵抗を変更する第２流路抵抗変更部と、
   を備える液体吐出装置。
3. 請求項２に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、前記容積変更部および前記第１流路抵抗変更部の少なくとも一方と、前記第２流路抵抗変更部と、を制御して、前記圧力室内の圧力を減圧させる、液体吐出装置。
4. 請求項２または請求項３に記載の液体吐出装置であって、
   前記排出流路から排出された前記液体を前記供給流路に再供給する循環流路を備える、液体吐出装置。
5. 請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、前記容積変更部を制御して前記圧力室の容積を変化させることにより、前記ノズルから液滴状の前記液体を吐出させる第２制御を行うことが可能であり、
   前記制御部は、前記第１制御を実行することにより、前記対象物上において第１のサイズのドットを形成し、前記第２制御を実行することにより、前記対象物上において前記第１のサイズよりも大きな第２のサイズのドットを形成する、液体吐出装置。
6. 対象物に液体を吐出する液体吐出装置が実行する液体吐出方法であって、
   前記液体吐出装置は、
   ノズルに連通し、前記液体が供給される圧力室と、
   前記圧力室に前記液体を供給する供給流路と、
   前記圧力室の容積を変化させて前記圧力室内の圧力を高めることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる容積変更部と、
   前記供給流路の流路抵抗を変更する第１流路抵抗変更部と、を有し、
   前記容積変更部を制御して前記ノズルから液柱状の前記液体を吐出させて前記対象物に接触させ、前記容積変更部および前記第１流路抵抗変更部の少なくとも一方を制御して前記圧力室内の圧力を減圧させることにより、液柱状の前記液体を前記ノズルから引き込む、
   液体吐出方法。

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