JP6550620B2 - 貼付位置検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、貼付位置検査装置に関する。

液晶ディスプレー（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、エレクトロルミネッセンスディスプレー（ＥＬＤ）などの画像表示装置は、その優れている性能で注目されている。そのため、画像表示装置にとって肝心な構成部分の１つである表示パネルの製造技術も益々注目されている。

表示パネルの製造において、表示パネルの表示機能を実現するために、光学素子（例えば、液晶セル）に光学フィルム（例えば、偏光フィルム）を貼り付ける必要がある。ここで、光学フィルムの貼付精度は、製品となった表示パネルの表示品質に密に関連している。したがって、光学フィルムを光学素子に貼り付けた後、光学素子における光学フィルムの貼付位置を検査する必要がある。

このために、特許文献１には、このような検査機能を実現できる装置が提案されている。図８Ａ及び図８Ｂに示すように、特許文献１における表示パネル検査装置は、表示パネル４０が載置される光透過部１４と、載置される表示パネル４０のガラス基板４１、４２の連続する二辺を位置決めする位置決め部１５と、該位置決め部１５に当接させたガラス基板４１、４２の周縁からガラス基板４１、４２に貼り付けられた偏光板４４、４５の周縁までの距離を測定する距離測定部材１６とを有する検査台１１を備えている。測定に際しては、図８Ｂに示すように、表示パネル４０のガラス基板４１、４２の周縁４１ａ、４２ａの連続する二辺をそれぞれ位置決め部１５の内面１５ａに当接させる。この時、位置決め部１５の内面１５ａから測定棒１６ｃの先端１６ｃ-１までの距離Ｌが、ガラス基板４１、４２の周縁から偏光板４４、４５の周縁までの距離と一致する。

特開２００８−０１４６７４Ａ

しかしながら、特許文献１に記載された表示パネル検査装置は、側面から機械的に測定棒を押し当てて偏光板の貼付位置を測定しているため、側枠に接する３隅しか測定できず、測定精度が目標精度から外れるおそれがある。

本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであり、四辺がそれぞれ矩形状の基板の四辺と平行するように貼り合わせられた矩形状の貼り合せ物の当該基板上における貼付位置の検査精度を向上させることができる貼付位置検査装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決して上記目的を達成するために、本発明は、四辺がそれぞれ矩形状の基板の四辺と平行になるように貼り合わせられた矩形状の貼り合せ物の当該基板上における貼付位置を検査する貼付位置検査装置において、該貼り合せ物が貼り合せられた基板を載置する載置領域が形成される検査台と、該検査台に取り付けられ且つ該基板及び貼り合わせ物の４隅と対向して、それぞれ当該４隅において該貼り合わせ物の辺縁と該貼り合わせ物の当該辺縁に平行な基板の辺縁との間の距離を光学測定する４つの光学測定ユニットと、該４つの光学測定ユニットに接続されており、該４つの光学測定ユニットのそれぞれにより測定された距離を測定結果として表示する測定結果表示ユニットとを備えている貼付位置検査装置を提供する。

本発明によれば、４つの光学測定ユニットによって、４隅において貼り合せ物（例えば、偏光フィルム）の辺縁と当該貼り合せ物の辺縁に平行な基板（例えば、ガラス基板）の辺縁との間の距離をそれぞれ光学測定することができるので、四辺がそれぞれ矩形状の基板の四辺と平行になるように貼り合わせられた矩形状の貼り合せ物の当該基板上における貼付位置の検査精度を向上させることができる貼付位置検査装置を提供することができる。

また、好ましくは、検査台の前後方向での前面に開閉可能に取り付けられており、開けられている時に載置領域を開放し、且つ閉められている時に載置領域を遮蔽するカバーをさらに設け、検査台上における載置領域内には前後に貫通する４つの検査孔を形成し、基板及び貼り合わせ物の４隅がそれぞれ４つの検査孔の範囲内に位置するようにし、４つの光学測定ユニットは、それぞれ検査台の前後方向での後面に取り付け、且つそれぞれ４つの検査孔と対向するように構成する。

これにより、光学測定ユニットを検査台の後面に設置することで、貼り合せ物の貼り付けられた基板が検査台に対する載置又は取り出される時に光学測定ユニットとの干渉を防止できる。そして、検査台の前面に開閉可能なカバーを設置することで、検査過程においてこのカバーを閉めることができ、光学測定ユニットによる貼り合せ物の貼付位置の測定を、より正確にすることができる。

また、好ましくは、４つの光学測定ユニットのそれぞれは、４つの検査孔のうちの１つの検査孔と対向するように配置し、当該検査孔を介して、基板及び貼り合わせ物の当該検査孔の範囲内にある部分に光を照射するように光源を設け、該光源が発光したとき、基板及び貼り合わせ物によって反射された光により、基板及び貼り合わせ物を撮像する撮像手段と、該撮像手段及び測定結果表示ユニットに接続され、撮像手段によって撮像された画像から貼り合わせ物の辺縁と当該辺縁に平行な当該基板の辺縁との間の距離を演算し、当該距離を測定結果表示ユニットに送信する画像処理手段とを設ける。

これにより、撮像手段を用いて、光源からの光によって基板及び貼り合せ物の画像を撮像することができ、貼り合せ物の辺縁と基板の辺縁との間の距離を正確に測定することができるようになる。

また、好ましくは、撮像手段は、光源を挟んで検査孔とは相対する側に設置される。

また、好ましくは、貼付位置検査装置において、４つの検査孔のうちの１つは円孔とし、当該円孔と隣り合うほかの２つの検査孔は長手方向が互いに垂直で延長線が当該円孔を通過する長孔とし、当該円孔と対角線位置にある検査孔はほかの２つの検査孔に対し斜めに形成され且つ延長線が当該円孔を通過する長孔であり、検査台は、長孔となる検査孔のそれぞれの付近にレール機構を備え、長孔となる検査孔と対向する光学測定ユニットは、それぞれ対応する検査孔の長手方向に沿って移動できるように相応するレール機構にスライド可能に取り付けられるように構成する。

これにより、基板及び貼り合せ物のサイズに応じて、光学測定ユニットを適当な位置に移動させることができるため、同一の貼付位置検査装置でサイズが異なる種々の基板を測定することができるようになる。

また、好ましくは、貼付位置検査装置において、検査台は円孔となる検査孔の付近にレール機構を備え、円孔となる検査孔と対向する光学測定ユニットは、当該円孔の範囲内で移動できるように当該レール機構にスライド可能に取り付けられる。

これにより、基板における貼り合せ物の貼付位置に応じて、円孔付近にある光学測定ユニットを最適な測定位置に移動させることができる。

また、好ましくは、検査台は、各レール機構と対応して設置された、対応する光学測定ユニットをレール機構に沿って移動するように駆動する駆動ユニットをさらに備え、各光学測定ユニットを所望の位置まで移動させるように駆動ユニットを制御する制御ユニットをさらに備える構成とする。

これにより、駆動ユニットによって光学測定ユニットを基板サイズに合わせた位置に自動的に移動することができるので、検査効率を向上させることができる。

また、好ましくは、カバーはヒンジを介して検査台に開閉可能に取り付けられる。

これにより、簡単な構造で、検査台における載置領域を開閉することができるようになる。

また、好ましくは、貼付位置検査装置において、検査台及びカバーの一方にはスライドレールを備え、他方にはスライダを備え、カバーは、スライダをスライドレールに対し相対的にスライド可能に取り付けることで、検査台に対して開閉できるように構成される。

これにより、簡単な構造で、検査台における載置領域を開閉することができる。

また、好ましくは、貼付位置検査装置において、検査台の前面には、当該検査台と対向し且つ当該検査台の前面と所定の間隔を隔てる取付フレームが設置され、４つの光学測定ユニットは、それぞれ当該取付フレームを介して検査台に取り付けられるようにする。

これにより、検査台に検査孔を加工する工程を省略することができ、さらにはカバーを必要とすることなく検査することができるため、構造を簡単にすることができる。

図１Ａは本発明の実施形態における貼付位置検査装置を示す正面図であり、カバーを開ける状態を示す。 図１Ｂは本発明の実施形態における貼付位置検査装置を示す正面図であり、カバーを閉める状態を示す。 図２は基板が載置されている状態の貼付位置検査装置を示す正面図である。 図３は本発明の実施形態における貼付位置検査装置を示す側面図である。 図４は貼付位置検査装置の検査台を後側から見た説明図である。 図５は貼付位置検査装置の光学測定ユニットの構造を示す説明図である。 図６は環状照明により撮像した貼り合せ物が貼り付けられた基板の画像を示す説明図である。 図７Ａは本発明の実施形態における貼付位置検査装置の作動を示すフロー図である。 図７Ｂは本発明の実施形態における貼付位置検査装置の作動を示すフロー図である。 図８Ａは従来技術の表示パネル検査装置を示す説明図である。 図８Ｂは従来技術の表示パネル検査装置を示す説明図である。

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態における貼付位置検査装置を説明する。

なお、本実施形態において、検査対象は、矩形状の貼り合せ物Ｆを四辺がそれぞれ矩形状の基板Ｃの四辺と平行になるように当該基板Ｃに貼り付けた構成のものである。

＜貼付位置検査装置の構造＞
図１Ａ及び図１Ｂは本発明の実施形態における貼付位置検査装置を示す正面図であり、図１Ａはカバー７を開けた状態、図１Ｂはカバー７を閉めた状態を示す。図２は基板Ｃが載置されている状態の貼付位置検査装置を示す正面図である。図３は貼付位置検査装置を示す側面図である。図４は検査台６を後側から見た説明図である。

図１Ａ〜図３に示すように、貼付位置検査装置は、主に、支持フレーム５と、該支持フレーム５に支持される検査台６と、ヒンジ９を介して検査台６の前面に取り付けられる観音開き状のカバー７と、検査台６の後面に取り付けられる４つの光学測定ユニット８と、検査台６に固定される操作パネルＳＤと、検査台６に固定される表示ユニットＲＤと、図示しない制御ユニットとを備えている。

支持フレーム５は、他の各部材を支持するためのものであり、ベースと、該ベースから下方に延出し、地面に接する支持脚と、ベースの背面から所定の高さまで上方に延出する後支持板とを有する。

検査台６は、板状の検査台本体と、長手方向が水平方向に沿うように該検査台本体の前面に設置された長尺状の位置決め板６０と、長手方向が該位置決め板６０の長手方向に垂直な方向に沿うように検査台本体の前面に設置された長尺状の位置決め板６１と、検査台本体に形成された、前後方向に貫通する４つの検査孔６２、６３、６４、６５と、検査台本体の後面に設置される４組のリニアガイド６６、６７、６８、６９（６９-１、６９-２）と、検査台本体の後面に設置される４組の調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′（６９-１′、６９-２′）とを有する。

検査台本体は、両位置決め板６０、６１とともに、貼り合せ物Ｆが貼り付けられた基板Ｃを載置し、位置決めする載置領域を区画する。板状の検査台本体は、貼り合せ物Ｆが貼り付けられた基板Ｃを載置するものであり、全体として後傾姿勢で支持フレーム５のベースの前部と後支持板の上部との間に支持されており、長尺状の両位置決め板６０、６１のそれぞれは、基板Ｃの隣り合う二辺と面接触して、貼り合せ物Ｆが貼り付けられた基板Ｃを検査台本体に位置決めするものである。

４つの検査孔６２、６３、６４、６５のうち、１つの検査孔６２（図１Ａでは右下方の検査孔）は円孔であり、検査台本体の、両位置決め板６０、６１の延長線の交差位置付近にある部分に形成されており、当該円孔と隣り合うほかの両検査孔６３、６４（図１Ａでは左下方及び右上方の検査孔）は、長手方向が互いに垂直で、それぞれの延長線が当該円孔６２を通過する長孔であり、そして、当該円孔と対角線位置にある検査孔６５（図１Ａでは左上方の検査孔）は、他の両検査孔６３、６４に対して斜めに形成され且つ延長線が当該円孔を通過する長孔である。

図４に示すように、４組のリニアガイド６６、６７、６８、６９は、それぞれ検査台本体の後面において４つの検査孔６２、６３、６４、６５付近に設置され、後述する４つの光学測定ユニット８のそれぞれは、各検査孔６２、６３、６４、６５の長手方向に沿って移動できるように対応する４組のリニアガイド６６、６７、６８、６９に取り付けられ、４組の調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′は、それぞれ検査台本体の後面において４つのリニアガイド６６、６７、６８、６９と対応して設置され、後述する４つの光学測定ユニット８を各検査孔６２、６３、６４、６５の長手方向に沿って移動させるように作動する。

具体的には、円孔となる検査孔６２に対応するリニアガイド６６のスライドレールは、検査孔６２の下方に水平方向に沿って設置され、且つ、その一端が調整モータ６６′の出力軸に接続されている。また、該リニアガイド６６のスライダがこのスライドレールにスライド可能に設けられ、１つの光学測定ユニット８がこのリニアガイド６６のスライダに取り付けられ、その撮像範囲が検査孔６２と対向するとともに、検査孔６２の範囲内にある。

長孔である検査孔６３に対応するリニアガイド６７のスライドレールは該検査孔６３の下方に水平方向に設置され、且つ、その一端が調整モータ６７′の出力軸に接続されている。また、該リニアガイド６７のスライダは、該スライドレールにスライド可能に設けられ、もう１つの光学測定ユニット８がこのリニアガイド６７のスライダに取り付けられ、その撮像範囲が検査孔６３と対向するとともに、検査孔６３の形成範囲内にある。

長孔である検査孔６４に対応するリニアガイド６８のスライドレールは、長手方向が検査孔６４の長手方向と平行になるように、該検査孔６４の左右両側の一方に設置され、その一端が調整モータ６８′の出力軸に接続されている。また、リニアガイド６８のスライダは、このスライドレールにスライド可能に設けられ、さらにもう１つの光学測定ユニット８が、このリニアガイド６８のスライダに取り付けられ、その撮像範囲が検査孔６４と対向するとともに、検査孔６４の形成範囲内にある。

長孔である検査孔６５に対応するリニアガイド６９は、第１リニアガイド部６９-１と第２リニアガイド部６９-２とからなる。第１リニアガイド部６９-１のスライドレールは検査孔６５の上方に水平方向に設置され、且つ、その一端が調整モータ６９′のうちの１つの調整モータ６９-１′の出力軸に接続されている。第１リニアガイド部６９-１のスライダは、このスライドレールにスライド可能に設けられている。また、第２リニアガイド部６９-２のスライドレールの一端は第１リニアガイド部６９-１のスライダに取り付けられ、他端は調整モータ６９′のうちのもう１つの調整モータ６９-２′の出力軸に接続されている。そして、第２リニアガイド部６９-２のスライドレールは、その長手方向が水平方向に対して垂直であり且つ検査台本体の後面に平行になるように構成され、第２リニアガイド部６９-２のスライダは、第２リニアガイド部６９-２のスライドレールにスライド可能に設けられている。また、光学測定ユニット８は、第２リニアガイド部６９-２のスライダに取り付けられ、その撮像範囲が検査孔６５と対向するとともに、検査孔６５の範囲内にある。

調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′（６９-１′、６９-２′）はサーボモータであり、図示しない制御ユニットと接続されている。調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′は、制御ユニットによって操作者が入力したパラメータに基づいて制御されることで、各リニアガイドを制御して、各光学測定ユニット８を所望の位置に移動させるように作動する。

カバー７は、ヒンジ９を介して、検査台６の前後方向にみて前面に開閉可能に取り付けられている。図１Ａに示すように、カバー７は開けられている時に検査台６の載置領域を開放する。そして、図１Ｂに示すように、カバー７は閉められている時に検査台６の載置領域を遮蔽する。

４つの光学測定ユニット８は、それぞれ検査台６の前後方向にみて後面に設置され、前述のように、対応する検査孔と対向するように構成されている。貼り合せ物Ｆが貼り付けられた基板Ｃを検査台６に載置する場合には、基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆの４隅はそれぞれ４つの検査孔６２、６３、６４、６５の範囲内に位置し、４つの光学測定ユニット８は、それぞれ基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆの４隅と対向して、当該４隅において、検査孔を介して貼り合せ物Ｆの辺縁と当該貼り合せ物Ｆの当該辺縁に平行な基板Ｃの辺縁との間の距離を光学的に測定する（図６参照）。

図５は、貼付位置検査装置の光学測定ユニット８の構造を示す説明図である。

図５に示すように、４つの光学測定ユニット８のそれぞれは、取付ブラケット８０と、環状光源８１と、ＣＣＤカメラ８２と、画像処理手段８３とを有する。

取付ブラケット８０は、前述のように、対応するリニアガイド（符号６６、６７、６８、６９（６９-１、６９-２）を参照）のスライダに固定されており、このスライダとともにスライドレールに沿って移動することができる。

環状光源８１が取付ブラケット８０に取り付けられ且つその発光面が検査台本体における対応する検査孔（符号６２、６３、６４、６５を参照）と対向して、当該検査孔を介して、基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆの、当該検査孔の形成範囲にある部分に光を照射する。

ＣＣＤカメラ８２が、ホルダを介して取付ブラケット８０に取り付けられ、且つ、環状光源８１を挟んで対応する検査孔とは反対側に設置されている。そして、カメラ８２の撮像端であるレンズは、環状光源８１の中心孔及び対応する検査孔を介して、基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆに対面する。ＣＣＤカメラ８２は、環状光源８１から射出され基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆによってレンズの方向に反射された光を利用して基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆを撮像し、基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆの画像信号を生成して、該画像信号を画像処理手段８３に送信する。

画像処理手段８３は、ＣＣＤカメラ８２、制御ユニット、及び表示ユニットＲＤ等と接続されており、ＣＣＤカメラ８２からの画像信号を利用して貼り合せ物Ｆの辺縁と当該貼り合せ物Ｆの当該辺縁に平行な基板Ｃの辺縁との間の距離（図６の符号Ｌ１、Ｌ２を参照）を演算するとともに、演算した結果を表示ユニットＲＤに送信する。

操作パネルＳＤは、操作者が貼付位置検査装置をオン・オフにする操作ボタンと、該操作者が各種のパラメータを入力するタッチ式のパネルとを有する。

表示ユニットＲＤは、画像処理手段８３及び操作パネルＳＤ等と接続されており、画像処理手段８３からの画像と測定結果、操作者が操作パネルＳＤから入力したパラメータを表示する。

制御ユニットは、各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′（６９-１′、６９-２′）、環状光源８１、ＣＣＤカメラ８２、画像処理手段８３、操作パネルＳＤ、表示ユニットＲＤ等に接続されており、主に、１）操作者が操作パネルＳＤを用いて入力したパラメータを受信して記憶する作業と、２）上記１）の入力パラメータに応じて各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′（６９-１′、６９-２′）の作動を制御する作業と、３）画像処理手段８３からの情報を受信して記憶する作業と、４）予め格納した制御プログラムに基づいて環状光源８１、ＣＣＤカメラ８２及び画像処理手段８３の作動を制御する作業と、５）表示ユニットＲＤを、上記１）、３）の種々のパラメータ、その他の情報を表示するように制御する作業とを行なう。

＜貼付位置検査装置の作動＞
図６は、環状照明により撮像した、貼り合せ物が貼り付けられた基板の画像を示す説明図である。図７Ａ及び図７Ｂは本発明の実施形態における貼付位置検査装置の作動を示すフロー図である。

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態における貼付位置検査装置の作動を説明する。

［レシピ作成フロー］
まず、図７Ａに示すように、操作者がステップＳ１０において操作パネルＳＤによって貼付位置検査装置をオンにした後、ステップＳ１１へ進む。ステップＳ１１において、操作者は、貼り合せ物Ｆが貼り付けられた基板Ｃを検査台６における載置領域にセットする。

このとき、ＣＣＤカメラ８２は制御ユニットの制御により作動状態に切り替えられ、載置領域にセットした基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆを撮像して、撮像した画像を表示ユニットＲＤに表示する。

続いて、ステップＳ１２において、操作者は、表示ユニットＲＤに表示された画像を見ながら、パネルＳＤを操作することで光学測定ユニット８が移動する目標値を入力して、基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆの辺縁が撮像範囲に入るように各光学測定ユニット８の位置を調整する。

そして、基板Ｃ及び貼り合せ物Ｆの辺縁が撮像範囲に入った後、ステップＳ１３へ進んで、基板Ｃの辺縁と当該基板Ｃの当該辺縁に平行な貼り合せ物Ｆの辺縁との間の距離を測定できるかどうかを判断する。ステップＳ１３において測定ができないと判断した場合には、ステップＳ１２に戻る。

一方、ステップＳ１３において測定できると判断した場合には、ステップＳ１４へ進んで、制御ユニットによって上記の基板Ｃのサイズに合わせたレシピＤ１を生成するとともに、このレシピＤ１と、それが対応する各光学測定ユニット８のそれぞれの位置とを、対応して記憶する。

最後にステップＳ１５へ進み、レシピの作成を終了する。また、ステップＳ１４が完了した後にステップＳ１１に戻って、貼り合せ物Ｆが貼り付けられた他のサイズの基板Ｃを検査台６における載置領域にセットしてステップＳ１２〜ステップＳ１４を繰り返し、他のサイズに合わせたレシピＤ２、Ｄ３、……、Ｄｎ及びそれが対応する各光学測定ユニット８の位置を決定して記憶する。

［品質検査フロー］
まず、図７Ｂに示すように、操作者がステップＳ２０において操作パネルＳＤによって貼付位置検査装置をオンにした後、ステップＳ２１へ進む。ステップＳ２１において、操作者は、貼り合せ物Ｆが貼り付けられた基板Ｃを、検査台６における載置領域に位置決めする。

続いて、ステップＳ２２において、操作者は、測定される基板Ｃのサイズに合わせたレシピＤｉが貼付位置検査装置に格納されているかどうかを判断する。

ステップＳ２２において測定される基板Ｃのサイズに合わせたレシピＤｉが貼付位置検査装置に格納されていないと判断した場合には、ステップＳ２３′へ進んで「レシピ作成フロー」へ戻って、ステップＳ１２〜ステップＳ１５の操作を行うことでレシピＤｉを作成する。

一方、ステップＳ２２において測定される基板Ｃのサイズに合わせたレシピＤｉが貼付位置検査装置に格納されていると判断した場合には、ステップＳ２３において、操作者は、操作パネルＳＤに表示された対応するレシピＤｉをタッチすることでこのレシピを選択して、ステップＳ２４へ進む。

ステップＳ２４において、制御ユニットは、レシピＤｉに合わせた各光学測定ユニット８の目標位置データを読み取る。そして、ステップＳ２４の処理が完了した後、ステップＳ２５へ進む。

ステップＳ２５において、制御ユニットは、読み取った各光学測定ユニット８の目標位置データに応じて、制御プログラムに基づき各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′へ駆動指示を送信し、各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′を所定量だけ回転させることで各光学測定ユニット８を目標位置まで調整する。ステップＳ２５の処理が完了した後、ステップＳ２６へ進む。

ステップＳ２６において、制御ユニットは、各光学測定ユニット８の環状光源８１、ＣＣＤカメラ８２へ指示を出して、環状光源８１を発光させ、ＣＣＤカメラ８２が撮像動作を行うように制御する。

続いて、ステップＳ２７において、制御ユニットは、ＣＣＤカメラ８２が撮像した画像を画像処理手段８３に送信し、基板Ｃの幅方向及び縦方向について、図６に示すように、画像処理手段８３がＣＣＤカメラ８２からの画像データから基板Ｃの辺縁と当該基板Ｃの当該辺縁に平行な貼り合せ物Ｆの辺縁との間の距離Ｌ１、距離Ｌ２を演算するように制御する。そして、ステップＳ２７の処理が完了した後、ステップＳ２８へ進む。

ステップＳ２８において、制御ユニットは、画像処理手段８３の演算結果（距離Ｌ１、Ｌ２）を記憶するとともに、画像処理手段８３の演算結果を表示ユニットＲＤに送信するように制御する。

最後に、ステップＳ２８の処理が完了した後、ステップＳ２９へ進んで貼付位置検査装置をオフにして、品質検査を終了する。

＜貼付位置検査装置の効果＞
本発明によれば、４つの光学測定ユニット８によって、４隅において貼り合せ物Ｆ（例えば、偏光フィルム）の辺縁と当該貼り合せ物Ｆの辺縁に平行な基板Ｃ（例えば、ガラス基板）の辺縁との間の距離をそれぞれ光学測定することができるので、四辺がそれぞれ矩形状の基板Ｃの四辺と平行になるように貼り合わせられた矩形状の貼り合せ物Ｆの当該基板Ｃ上における貼付位置の検査精度を向上させることができる貼付位置検査装置が得られる。

また、光学測定ユニット８を検査台６の後面に設置することで、貼り合せ物の貼り付けられた基板が検査台に対して載置又は取り出される時に、該基板が光学測定ユニットと干渉することを防止できる。そして、検査台の前面に開閉可能なカバーを設置することで、検査過程においてこのカバーを閉めることができ、光学測定ユニットによる貼り合せ物の貼付位置の測定をより正確にすることができる。

＜変形例＞
以上、本発明を実施するための形態を例示的に説明したが、本発明は以上のような実施形態に限られるものではない。本発明の思想を逸脱することない範囲内において種々の変更が可能であり、これらの変更も本発明の範囲に含まれる。

例えば、上記の実施形態において、各光学測定ユニット８は、リニアガイド６６、６７、６８、６９を介して検査台６の後面にスライド可能に設置されているが、これに限られるものではなく、各光学測定ユニット８のうちの１つ又は複数を直ちに検査台６の後面に取り付けても良い。

この場合には、調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′（６９−１′、６９−２′）を省略することが可能である。

また、上記の実施形態において、検査孔６５付近の光学測定ユニット８をこの検査孔６５の長手方向に沿って移動させる手段としては、第１リニアガイド部６９−１と第２リニアガイド部６９-２とからなるリニアガイド６９を使用しているが、これに限られるものではなく、スライドレールの長手方向が検査孔６５の長手方向と一致するリニアガイドを、この検査孔６５付近に設置し、検査孔６５付近の光学測定ユニット８をこのリニアガイドのスライダに取り付けても良い。

また、上記の実施形態において、対応するリニアガイドのスライドレールに出力軸が接続されている調整モータを設けて、該調整モータによって、各光学測定ユニット８の位置を自動的に調整するように構成しているが、これに限られるものではなく、調整モータを省略し、各光学測定ユニット８の位置を手動的に調整するようにしても良い。

また、上記の実施形態において、各光学測定ユニット８、各リニアガイド６６、６７、６８、６９及び各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′は、検査台６の後面に設置されているが、これに限られるものではない。検査台６と対向し且つ検査台６の前面と所定の間隔を隔てる取付フレームを当該検査台６の前面に設置し、各リニアガイド６６、６７、６８、６９及び各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′を当該取付フレームに取り付け、各光学測定ユニット８を対応するリニアガイドのスライダに設置しても良い。即ち、各光学測定ユニット８、各リニアガイド６６、６７、６８、６９及び各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′を、検査台６の前面に設置することも可能である。

この場合には、検査台６に形成される検査孔６２、６３、６４、６５及び検査台６に取り付けられるカバー７を省略することが可能である。

また、上記の実施形態において、各光学測定ユニット８、各リニアガイド６６、６７、６８、６９及び各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′は、検査台６の後面に設置されているが、これに限られるものではない。各リニアガイド６６、６７、６８、６９及び各調整モータ６６′、６７′、６８′、６９′等の設置を省略し、検査台６の前面に当該検査台６と対向し且つ当該検査台６の前面と所定の間隔を隔てる取付フレームを設置し、各光学測定ユニット８を取付フレームを介して検査台６に取り付けても良い。即ち、各光学測定ユニット８を検査台６の前面に設置することができる。

この場合には、検査台６に形成される検査孔６２、６３、６４、６５及び検査台６に取り付けられるカバー７を省略することが可能である。

また、上記の実施形態において、カバー７は、ヒンジを介して検査台６に取り付けられているが、これに限られるものではない。検査台６及びカバー７の一方にスライドレールを設け、他方にスライダを設け、カバー７は、スライダをスライドレールに対しスライド可能に取り付けることで、検査台６に対して開閉できるように構成することもできる。

５ 支持フレーム；
６ 検査台；
７ カバー；
８ 光学測定ユニット；
９ ヒンジ；
６０、６１ 位置決め板；
６２、６３、６４、６５ 検査孔；
６６、６７、６８、６９ リニアガイド（レール機構）；
６６′、６７′、６８′、６９′ 調整モータ（駆動ユニット）；
８０ 取付ブラケット；８１ 環状光源（光源）；
８２ ＣＣＤカメラ（撮像手段）；
８３ 画像処理手段；
Ｃ 基板；
Ｆ 貼り合せ物；
Ｌ１、Ｌ２ 基板の辺縁と当該基板の当該辺縁に平行な貼り合せ物の辺縁との間の距離；
ＳＤ 操作パネル；
ＲＤ 表示ユニット（測定結果表示ユニット）

Claims (10)

1. 四辺がそれぞれ矩形状の基板の四辺と平行になるように、且つ、前記基板の前記四辺による矩形状の範囲内に位置するように、該基板に貼り合わせられた矩形状の貼り合せ物の当該基板上における貼付位置を検査する貼付位置検査装置において、
   前記貼り合せ物が貼り合せられた前記基板を載置する載置領域が形成される検査台と、
   前記検査台に取り付けられ且つ前記基板及び貼り合わせ物の４隅と対向して、それぞれ当該４隅において前記貼り合わせ物の前記基板上の辺縁と前記貼り合わせ物の当該辺縁に平行な前記基板の辺縁との間の距離を光学的に測定する４つの光学測定ユニットと、
   ４つの前記光学測定ユニットに接続されており、４つの前記光学測定ユニットのそれぞれにより測定された前記距離を測定結果として表示する測定結果表示ユニットと
   を備え、
   前記検査台上における前記載置領域内には、前記基板及び貼り合わせ物の４隅がそれぞれ検査孔の範囲内になるような位置に、前後貫通する４つの検査孔が形成され、
   ４つの前記検査孔のうちの１つは円孔で、当該円孔と隣り合うほかの２つの検査孔は長手方向が互いに垂直の関係にあり延長線が当該円孔を通過する長孔で、当該円孔と対角線位置にある検査孔は前記ほかの２つの検査孔に対し斜めに形成され且つ延長線が当該円孔を通過する長孔である、
   ことを特徴とする貼付位置検査装置。
2. 前記検査台の前後方向の前面に開閉可能に取り付けられており、開けられている時に前記載置領域を開放し、且つ閉められている時に前記載置領域を遮蔽するカバーをさらに備え、
   ４つの前記光学測定ユニットは、それぞれ前記検査台の前後方向での後面に取り付けられ、且つそれぞれ４つの前記検査孔と対向している
   ことを特徴とする請求項１に記載の貼付位置検査装置。
3. ４つの前記光学測定ユニットのそれぞれは、
   ４つの前記検査孔のうちの１つの検査孔と対向し、当該検査孔を介して、前記基板及び前記貼り合わせ物の当該検査孔の範囲内にある部分に光を照射する光源と、
   前記光源が発光したとき前記基板及び貼り合わせ物によって反射された光により、前記基板及び貼り合わせ物を撮像する撮像手段と、
   前記撮像手段及び前記測定結果表示ユニットに接続されており、前記撮像手段によって撮像された画像から前記貼り合わせ物の辺縁と当該辺縁に平行な当該基板の辺縁との間の距離を演算し、当該距離を前記測定結果表示ユニットに送信する画像処理手段とを有する
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の貼付位置検査装置。
4. 前記撮像手段は、前記光源を挟んで前記検査孔とは反対側に設置されていることを特徴とする請求項３に記載の貼付位置検査装置。
5. 前記検査台は、長孔である前記検査孔のそれぞれの付近にレール機構を備え、長孔である前記検査孔と対向する前記光学測定ユニットは、それぞれ対応する前記検査孔の長手方向に沿って移動できるように、対応する前記レール機構にスライド可能に取り付けられている
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の貼付位置検査装置。
6. 前記検査台は円孔である前記検査孔の付近にレール機構を備え、円孔である前記検査孔と対向する前記光学測定ユニットは、当該円孔の形成範囲内で移動できるように当該レール機構にスライド可能に取り付けられている
   ことを特徴とする請求項５に記載の貼付位置検査装置。
7. 前記検査台は、各前記レール機構と対応して設置された、対応する光学測定ユニットを前記レール機構に沿って移動するように駆動する駆動ユニットをさらに備え、
   各前記光学測定ユニットを所望の位置まで移動させるように前記駆動ユニットを制御する制御ユニットをさらに備えている
   ことを特徴とする請求項６に記載の貼付位置検査装置。
8. 前記カバーは、ヒンジを介して前記検査台に開閉可能に取り付けられていることを特徴とする請求項２に記載の貼付位置検査装置。
9. 前記検査台及び前記カバーの一方にスライドレールを備え、他方にスライダを備え、
   前記カバーは、前記スライダを前記スライドレールに対しスライド可能に取り付けることで、前記検査台に対して開閉できるように構成された
   ことを特徴とする請求項２に記載の貼付位置検査装置。
10. 前記検査台の前面には、当該検査台と対向し且つ当該検査台の前面と所定の間隔を隔てる取付フレームが設置されており、４つの前記光学測定ユニットはそれぞれ当該取付フレームを介して前記検査台に取り付けられている
    ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の貼付位置検査装置。

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