JP6267835B1 - 接合用組成物及びその製造方法 - Google Patents
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Description
銀ナノ粒子と、
分散媒と、
前記銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部に付着している、炭素鎖にO原子を含む第一のカルボン酸と、
を含むこと、を特徴とする接合用組成物、を提供する。
シュウ酸銀錯体分解法で銀ナノ粒子を製造する第一工程と、
前記第一工程で得た銀ナノ粒子に、カルボキシル基以外の部分にO原子を含む第一のカルボン酸を添加して加熱することにより、前記銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部に前記カルボン酸を付着させる第二工程と、
を含むこと、を特徴とする。
本実施形態の接合用組成物は、銀ナノ粒子と、分散媒と、前記銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部に付着している、炭素鎖にO原子を含む第一のカルボン酸と、を含むこと、を特徴とする接合用組成物である。以下において、これら各成分等について説明する。
銀ナノ粒子の粒径及び形状については、本発明の効果を損なわない限りにおいて特に限定されず、従来公知の種々の銀ナノ粒子を用いることができる。具体的には、平均一次粒径が1μm未満の銀ナノ粒子を用いることができ、好ましい平均粒径は10〜100nmである。銀ナノ粒子の平均一次粒径が10nm以上であれば、銀ナノ粒子が良好な低温焼結性を具備すると共に銀ナノ粒子製造がコスト高とならず実用的である。また、100nm以下であれば、銀ナノ粒子の分散性が経時的に変化し難く、好ましい。
D=Kλ/Bcosθ
ここで、K:シェラー定数(0.9)、λ:X線の波長、B:回折線の半値幅、θ:ブラッグ角である。
本実施形態の接合用組成物において、銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部には、有機物である「炭素鎖にO原子を含む第一のカルボン酸」が付着しており、当該第一のカルボン酸が銀ナノ粒子の表面を部分的又は全体的に被覆している。当該第一のカルボン酸は、本実施形態の接合用組成物においていわゆる分散剤として上記銀ナノ粒子とともに実質的に銀コロイド粒子を構成する。第一のカルボン酸の一分子内におけるカルボキシル基が、比較的高い極性を有し、水素結合による相互作用を生じ易いが、これら官能基以外の部分は比較的低い極性を有する。更に、カルボキシル基は、酸性的性質を示し易い。
本実施形態の接合用組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で種々の分散媒を含み得るが、分散媒中に第二のカルボン酸を含むことが好ましい。分散媒中に第二のカルボン酸が含まれると当該第二のカルボン酸はフラックスとして働くため、無垢Cu被接合部材の接合により好適となる。カルボキシル基が多いほどフラックス効果が高いが、本実施形態の接合用組成物では、リシノール酸又はオレイン酸等のモノカルボン酸でも十分に効果が発揮され、無垢Cu被接合部材を良好に接合することができる。
脂肪族炭化水素としては、例えば、テトラデカン、オクタデカン、ヘプタメチルノナン、テトラメチルペンタデカン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、トリデカン、メチルペンタン、ノルマルパラフィン、イソパラフィン等の飽和又は不飽和脂肪族炭化水素が挙げられる。
環状炭化水素としては、例えば、トルエン、キシレン等が挙げられる。
脂環式炭化水素としては、例えば、リモネン、ジペンテン、テルピネン、ネソール、シネン、オレンジフレーバー、テルピノレン、フェランドレン、メンタジエン、テレベン、サイメン、ジヒドロサイメン、モスレン、カウツシン、カジェプテン、ピネン、テレビン、メンタン、ピナン、テルペン、シクロヘキサン等が挙げられる。
環状アルコールとしては、例えば、クレゾール、オイゲノール等が挙げられる。
本実施形態の接合用組成物には、上記の成分に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、使用目的に応じた適度な粘性、密着性、乾燥性又は印刷性等の機能を付与するために、高分子分散剤、例えばバインダーとしての役割を果たすオリゴマー成分、樹脂成分、有機溶剤(固形分の一部を溶解又は分散していてよい。)、界面活性剤、増粘剤又は表面張力調整剤等の任意成分を添加してもよい。かかる任意成分としては、特に限定されない。
次に、本実施形態の接合用組成物を製造するためには、主成分としての、第一のカルボン酸で被覆された銀ナノ粒子(銀コロイド粒子)を調製する。
いてもよい。)を還元することにより調製することができる。この還元によって、分散剤としての第一のカルボン酸が銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部に付着している銀コロイド粒子が得られる。当該銀コロイド粒子を後述する工程において分散媒に添加することにより、本発明の接合用組成物を得ることができる。
本実施形態の接合用組成物を用いれば、加熱を伴う部材同士の接合において高い接合強度を得ることができる。即ち、上記接合用組成物を第1の被接合部材と第2の被接合部材との間に塗布する接合用組成物塗布工程と、第1の被接合部材と第2の被接合部材との間に塗布した接合用組成物を、所望の温度(例えば300℃以下)で焼成して接合する接合工程と、により、第1の被接合部材と第2の被接合部材とを接合することができる。この際、加圧することもできるが、特に加圧しなくとも十分な接合強度を得ることができるのも本発明の利点のひとつである。また、焼成を行う際、段階的に温度を上げたり下げたりすることもできる。また、予め被接合部材表面に界面活性剤又は表面活性化剤等を塗布しておくことも可能である。
3−エトキシプロピルアミン40mmolとドデシルアミン10 mmolの計50 mmolを混合し、マグネティックススターラーで十分に撹拌した。ここに、撹拌を行いながら、別途準備したシュウ酸銀10mmolを添加し、増粘させた。得られた粘性物質を120℃の恒温槽に入れ、約15分間反応させ反応物を得た。その後メトキシ酢酸100mmolを該反応物に加え、再度100℃の恒温槽に入れ15分間撹拌した。メタノール10mlを加えて撹拌後、遠心分離により金属銀ナノ粒子を沈殿させて分離し、上澄みを捨てた。この操作をもう一度繰り返し、金属銀ナノ粒子を得た。
平均一次粒径は、SEM((株)日立製のS−4800型)にて撮影した粒子画像を使用し算出した。異なる撮影点のSEM像5点以上から、合計200個以上の粒子を画像処理ソフト(MITANI CORPORATION、 Win ROOF)を使用し一次粒径を測定し、算術平均で平均一次粒径を算出したところ、40nmであった。
また、得られた金属銀ナノ粒子2gに、ミクロン銀粒子(D50=2.5μm, 福田金属箔粉工業(株)製)1g、分散媒としてイソトリデカノール0.3g、リシノール酸0.002gを所定量加えて撹拌混合し、接合用組成物を得た。そして、以下の評価試験を行い、結果を表1に示した。
該接合用組成物を、銀メッキ層(20mm角、厚さ1mm)に、メタルマスクを用いて1mm角に塗布し、その上に、金メッキを施したSiチップ(1mm角)を積層した。得られた積層体を、リフロー炉((株)シンアペックス製)に入れ、大気雰囲気で昇温から取り出しまでトータル時間60分間、最大温度280℃にて焼成処理を行った。焼成処理の際、加圧は行わず無加圧で行った。積層体を取り出した後、常温にてボンドテスター((株)レスカ製)を用いて接合強度(シェア強度)試験を行った。
分散媒からリシノール酸を除いたこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりに、エトキシ酢酸を添加したこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。また、下記の評価試験も行った。
メトキシ酢酸の代わりに、3−エトキシプロピオン酸を添加したこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりに、レブリン酸を添加したこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりにレブリン酸を添加し、分散媒からリシノール酸を除いたこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりに3−エトキシプロピルアミンを添加したこと以外は、実施例1と同様に接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりに3−エトキシプロピルアミンを添加し、分散媒からリシノール酸を除いたこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりに3−エトキシプロピルアミン及びヘキシルアミン混合物(モル比=1:1)を添加したこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりに3−エトキシプロピルアミン及びヘキシルアミン混合物(モル比=1:1)を添加し、分散媒からリシノール酸を除いたこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりに2−(2−アミノエトキシ)エタノールを添加し、分散媒からリシノール酸を除いたこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
メトキシ酢酸の代わりに2−(2−アミノエチルアミノ)エタノールを添加し、分散媒からリシノール酸を除いたこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表1に示した。
分散媒中のリシノール酸添加量を0.025gにしたこと以外は、実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表2に示した。ただし、ここでは5mm×5mmSiチップを用い、下記の評価試験2及び3も行った。
焼成処理を行った積層体を日本クラウトクレーマー(株)製の超音波探傷装置(探触子80MHz・φ3mm・PF=10mm)にてボイドを評価した。接合界面での反射ピークが最も高くなるところに微調整し、材質音速=Si:9600mm/sとして測定した。ボイド率は反射強度の閾値55%とし、それ以上をボイドとみなした。
上記[評価試験1]で焼成した積層体を冷熱衝撃試験機((株)ヒューテック製)に入れ、大気雰囲気で−40℃と200℃でそれぞれ10分間キープするサイクルを、任意のサイクル数で取り出した。20サイクル後に0サイクルに対してボイド率が5%以上増加しなかった場合を「○」、0.5%以上増加した場合を「×」とした。
メトキシ酢酸の代わりにレブリン酸を用い、分散媒中のリシノール酸添加量を0.025gにし、めっき無し無酸素銅基板(10wt%硫酸水溶液中で1min超音波処理をした。)を用いて焼成処理を窒素雰囲気中で行ったこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表2に示した。
メトキシ酢酸の代わりにレブリン酸を用い、分散媒中のリシノールをオレイン酸0.025gにし、めっき無し無酸素銅基板を用いて焼成処理を窒素雰囲気中で行ったこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表2に示した。
メトキシ酢酸の代わりに3−エトキシプロピルアミンを用い、めっき無し無酸素銅基板を用いて焼成処理を窒素雰囲気中で行ったこと以外は実施例1と同様にして接合用組成物を調製し、評価を行った。結果を表2に示した。
Claims (10)
- 銀ナノ粒子と、
分散媒と、
前記銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部に付着している、炭素鎖にO原子を含む第一のカルボン酸と、
を含み、
前記カルボン酸の炭素数が5以下であること、
を特徴とする接合用組成物。 - 銀ナノ粒子と、
分散媒と、
前記銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部に付着している、炭素鎖にO原子を含む第一のカルボン酸と、
を含み、
前記分散媒中に第二のカルボン酸を含むこと、
を特徴とする接合用組成物。 - 前記銀ナノ粒子の平均一次粒径は10〜100nmであること、を特徴とする請求項1又は2に記載の接合用組成物。
- 前記第二のカルボン酸がモノカルボン酸であること、を特徴とする請求項3に記載の接合用組成物。
- 前記第二のカルボン酸がリシノール酸又はオレイン酸であること、を特徴とする請求項4に記載の接合用組成物。
- 前記第一のカルボン酸がレブリン酸、メトキシ酢酸、エトキシ酢酸又は3−エトキシプロピオン酸であること、を特徴とする請求項1〜5のうちのいずれかに記載の接合用組成物。
- 更に平均粒径1〜15μmの無機マイクロ粒子を含むこと、を特徴とする請求項1〜6のうちのいずれかに記載の接合用組成物。
- 第一の被接合部材と、第二の被接合部材と、前記第一の被接合部材と前記第二の被接合部材とを接合する請求項1〜7のうちのいずれかに記載の接合用組成物で構成された接合層と、を有すること、を特徴とする接合体。
- シュウ酸銀錯体分解法で銀ナノ粒子を製造する第一工程と、
前記第一工程で得た銀ナノ粒子に、カルボキシル基以外の部分にO原子を含む第一のカルボン酸を添加して加熱することにより、前記銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部に前記第一のカルボン酸を付着させる第二工程と、
を含むこと、を特徴とする接合用組成物の製造方法。 - 銀ナノ粒子と、
前記銀ナノ粒子の表面の少なくとも一部に付着している、炭素鎖にO原子を含む第一のカルボン酸と、を含み、
前記カルボン酸の炭素数が5以下であること、
を特徴とする被覆銀ナノ粒子。
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