JP6099115B2 - 三次元表面検査装置および三次元表面検査方法 - Google Patents
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Description
1 線状光源
2 フィルタ膜
3 カメラ装置
4 コンピュータ
5 曲面パターン光投影手段
10 記憶手段
11 投影パターン光制御手段
12 写真撮影手段
13 欠陥検出手段
14 寸法推定手段
15 検査結果表現手段
16 出力手段
Claims (3)
- 計測対象物を撮影する撮影装置と、
曲面状に配設されて前記計測対象物を覆うフィルタ膜であり、当該フィルタ膜の曲面状に沿って当該フィルタ膜の外側に複数本が平行に配置された線状光源からの光が前記計測対象物に直接当たらず、前記線状光源が直接映り込まないように前記線状光源の光を均一に減光および拡散するフィルタ膜と、
前記複数本の線状光源を制御することにより、前記フィルタ膜の曲面状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を投影し、前記フィルタ膜を介して前記計測対象物に投影する曲面パターン光投影手段と、
前記撮影装置により撮影された画像に対し、前記曲面状強度分布を直線状強度分布に変換するデコード処理を行うことで、前記計測対象物の表面の三次元的欠陥を検出する欠陥検出手段と
を含む三次元表面検査装置。 - 前記曲面状強度分布のパターン光は、正弦波状、矩形波状または台形波状の周期的な強度分布である請求項1記載の三次元表面検査装置。
- 曲面状に配設されて計測対象物を覆うフィルタ膜であり、当該フィルタ膜の曲面状に沿って当該フィルタ膜の外側に複数本が平行に配置された線状光源からの光が前記計測対象物に直接当たらず、前記線状光源が直接映り込まないように前記線状光源の光を均一に減光および拡散するフィルタ膜に対し、前記複数本の線状光源を制御することにより、前記フィルタ膜の曲面状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を投影し、前記フィルタ膜を介して前記計測対象物に投影すること、
前記計測対象物を撮影装置により撮影し、撮影された画像に対し、前記曲面状強度分布を直線状強度分布に変換するデコード処理を行うことで、前記計測対象物の表面の三次元的欠陥を検出すること
を含む三次元表面検査方法。
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