JP2013092465A - 三次元表面検査装置および三次元表面検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】計測対象物Xを撮影するカメラ装置3と、曲面状に配設されて計測対象物を覆うフィルタ膜と、フィルタ膜の曲面状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を投影し、フィルタ膜を介して計測対象物に投影する曲面パターン光投影手段5と、カメラ装置3により撮影された画像に対し、曲面状強度分布を直線状強度分布に変換するデコード処理を行うことで、計測対象物の表面の三次元的欠陥を検出する欠陥検出手段13とを含む。
【選択図】図2
Description
1 線状光源
2 フィルタ膜
3 カメラ装置
4 コンピュータ
5 曲面パターン光投影手段
10 記憶手段
11 投影パターン光制御手段
12 写真撮影手段
13 欠陥検出手段
14 寸法推定手段
15 検査結果表現手段
16 出力手段
Claims (4)
- 計測対象物を撮影する撮影装置と、
曲面状に配設されて前記計測対象物を覆うフィルタ膜と、
前記フィルタ膜の曲面状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を投影し、前記フィルタ膜を介して前記計測対象物に投影する曲面パターン光投影手段と、
前記撮影装置により撮影された画像に対し、前記曲面状強度分布を直線状強度分布に変換するデコード処理を行うことで、前記計測対象物の表面の三次元的欠陥を検出する欠陥検出手段と
を含む三次元表面検査装置。 - 前記曲面パターン光投影手段は、
前記フィルタ膜の曲面状に沿って複数本配置された線状光源と、
前記複数本の線状光源を制御して前記フィルタ膜の表面形状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を構成する投影パターン光制御手段と
を含むものである請求項1記載の三次元表面検査装置。 - 前記曲面状強度分布のパターン光は、正弦波状、矩形波状または台形波状の周期的な強度分布である請求項1または2に記載の三次元表面検査装置。
- 曲面状に配設されて計測対象物を覆うフィルタ膜に対し、前記フィルタ膜の曲面状に沿って周期的な強度分布を持つ曲面状強度分布のパターン光を投影し、前記フィルタ膜を介して前記計測対象物に投影すること、
前記計測対象物を撮影装置により撮影し、撮影された画像に対し、前記曲面状強度分布を直線状強度分布に変換するデコード処理を行うことで、前記計測対象物の表面の三次元的欠陥を検出すること
を含む三次元表面検査方法。
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