JP5469941B2 - 転写装置および転写方法 - Google Patents

Description

本発明は、転写装置および転写方法に係り、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するものに関する。

近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターンを形成して型（モールド）を作製し、被成型品に前記型を所定の圧力で押圧して、当該型に形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている（たとえば、非特許文献１参照）。

ナノオーダーの微細なパターン（転写パターン）を低コストで成型する方法としてリソグラフィ技術を用いたインプリント法が考案されている。この成型法は大別して熱インプリント法とＵＶインプリント法とに分類される。

熱インプリント法では、型を基板に押圧し、熱可塑性ポリマからなる樹脂（熱可塑性樹脂）が十分に流動可能となる温度になるまで加熱して微細パターンに樹脂を流入させたのち、型と樹脂をガラス転移温度以下になるまで冷却し、基板に転写された微細パターンを固化したのち型を引き離す。

ＵＶインプリント法では、光を透過できる透明な型を使用し、ＵＶ硬化性液に型を押しつけてＵＶ放射光を加える。適当な時間放射光を加えて液を硬化させ微細パターンを転写したのち型を引き戻す。

ハードディスクやＣＤ、ＤＶＤなど回転式の記憶装置では、最近、高密度のデータをディスクに形成するための記憶媒体（記録媒体）を成型する手段として、こうしたナノインプリント技術を活用する方法への関心が高くなってきている。

また、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するときに、被成型品に気泡が発生することを防止するために、型と被成型品とをカバーで覆って真空成型室内で転写を行う構成の転写装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

特開２００６−３１８９７３号公報

Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25(2001) 192-199

ところで、被成型品の平面度が若干悪くても転写を均質に行うようにするために、上述したモールドとして、薄いシート状のモールドを使用する場合があり、この場合においても、転写の際における被成型品での気泡の発生（被成型品の被転写部への微細な気泡の混入）を防止することが望ましい。

シート状のモールドを使用する転写において被成型品での気泡の発生を避けたい場合、シート状のモールドを適宜の弾性を備えた押圧体に一体的に設置し、前記被成型品とシート状のモールドと押圧体とが真空成型室内に位置するようにして、前記真空成型室を減圧する方式が考えられる。

しかし、上記方式では、シート状のモールドを押圧体に設置するための機構や工程が煩雑になり、また、真空成型室の構成が煩雑になるという問題がある。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置および転写方法において、簡素な構成や工程で、前記被成型品での気泡の発生を防いだ転写をすることができる転写装置および転写方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段とを有する転写装置である。

請求項２に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記シート状のモールドに予め形成されている貫通孔によって前記第１の真空成型室とつながっていると共に前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段とを有する転写装置である。

請求項３に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、第１の真空成型室を形成する被成型品設置体と、前記第１の真空成型室の外側に設けられ、前記第１の真空成型室を形成している前記シート状のモールドの微細な転写パターンを、前記被成型品設置体に設置された被成型品へ転写するときに、前記シート状のモールドを押圧する押圧体と、前記第１の真空成型室の外側で前記押圧体を一体的に支持し、前記被成型品設置体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動自在であり、前記転写をするときに前記押圧体が内側に入り込むと共に前記シート状のモールドを隔てて前記第１の真空成型室に隣接する第２の真空成型室を形成する可動体と、前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と、前記第１の真空成型室または前記第２の真空成型室を減圧する減圧手段とを有する転写装置である。

請求項４に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、第１の真空成型室を形成する被成型品設置体と、前記第１の真空成型室の外側に設けられ、前記第１の真空成型室を形成している前記シート状のモールドの微細な転写パターンを、前記被成型品設置体に設置された被成型品へ転写するときに、前記シート状のモールドを押圧する押圧体と、前記第１の真空成型室の外側で前記押圧体を一体的に支持し、前記被成型品設置体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動自在であり、前記転写をするときに前記押圧体が内側に入り込むと共に前記シート状のモールドを隔てて前記第１の真空成型室に隣接する第２の真空成型室を形成する可動体と、前記第１の真空成型室または前記第２の真空成型室を減圧する減圧手段とを有し、前記シート状のモールドには、前記各真空成型室同士をつなぐための貫通孔が予め形成されている転写装置である。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の転写装置において、モールド原反から繰り出されシート状になって前記転写に使用された前記シート状のモールドを、モールド巻き取り装置で巻き取ることによって、前記シート状のモールドを交換するモールド交換手段と、前記モールド原反と前記モールド巻き取り装置との間に設けられている引き剥がしローラを用いて、前記転写により前記被成型品に貼り付いている前記シート状のモールドを、前記被成型品から引き剥がすモールド引き剥がし手段とを有する転写装置である。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の転写装置において、前記モールド引き剥がし手段は、前記モールド原反と前記モールド巻き取り装置との間に設けられている一対のローラを備えて構成されており、この一対のローラに前記シート状のモールドを係合させて前記シート状のモールドを「Ｓ」字状に形成し、前記一対のローラを移動して、前記引き剥がしをするように構成されている転写装置である。

請求項７に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写方法において、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールドを挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成工程と、前記真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記貫通孔形成工程で前記シート状のモールドに貫通孔を形成した後に、前記真空成型室形成型室工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と、前記減圧工程で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体と前記被成型品とで前記シート状のモールド挟み込んで押圧し前記転写をする押圧転写工程とを有する転写方法である。

請求項８に記載の発明は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写方法において、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールドを挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記シート状のモールドに予め形成されている貫通孔によって前記第１の真空成型室とつながっていると共に前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成工程と、前記真空成型室形成工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と、前記減圧工程で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体と前記被成型品とで前記シート状のモールド挟み込んで押圧し前記転写をする押圧転写工程とを有する転写方法である。

本発明によれば、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置および転写方法において、簡素な構成や工程で、前記被成型品での気泡の発生を防いだ転写をすることができるという効果を奏する。

本発明の実施形態に係る転写装置の概略構成を示す図である。 図１におけるＩＩ矢視図である。 図１におけるＩＩＩ部の拡大図である。 転写装置の動作を示す図である。 転写装置の動作を示す図である。 転写装置の動作を示す図である。 図６におけるＶＩＩ部の拡大図である。 モールド引き剥がし手段が設けられている転写装置を示す図である。 変形例に係るモールド引き剥がし手段が設けられている転写装置を示す図である。 ＵＶインプリント法による転写を説明する図である。

図１は、本発明の実施形態に係る転写装置１の概略構成を示す図であり、図２は、図１におけるＩＩ矢視図であり、図３は、図１におけるＩＩＩ部の拡大図である。

なお、以下、説明の便宜のために、水平な一方向をＸ軸方向とし、水平な他の一方向であってＸ軸に直交する方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交する鉛直な方向をＺ軸方向とする場合がある。また、転写装置１について説明する前に、図１０を用いて、ＵＶインプリント法による転写について説明する。

ＵＶインプリント法では、図１０（ａ）で示す矢印の方向に型Ｍを移動し、図１０（ｂ）に示すように、型Ｍで被成型品Ｗを小さい力で押圧し、紫外線を照射し、ＵＶ硬化樹脂（紫外線硬化樹脂）Ｗ２を硬化させる。この後、図１０（ｂ）で示す矢印の方向に型Ｍを移動して、型Ｍを被成型品Ｗから離すと、図１０（ｃ）に示すように、被成型品Ｗ（紫外線硬化樹脂Ｗ２）に微細な転写パターンが転写される。ここまでが、転写装置１を使用してなされる転写である。

上記転写後、図１０（ｃ）に示す状態において、硬化しアッシングで残膜が除去された紫外線硬化樹脂Ｗ２をマスキング部材にして、エッチングによって基材Ｗ１に微細な転写パターンを形成し、この後、硬化した紫外線硬化樹脂Ｗ２をたとえば溶剤で取り除けば、図１０（ｄ）に示すように、基材Ｗ１への微細な転写パターンの転写が完了する。

なお、以下の説明では、ＵＶインプリント法をおこなう転写装置１を例に掲げて説明するが、転写装置１に被成型品Ｗを加熱しまた冷却する装置を付加し、転写装置１を熱インプリント法を行う装置としてもよい。

転写装置（微細転写装置；ナノインプリント装置）１は、薄いシート状のモールド（型）Ｍの厚さ方向の一方の面に形成されている微細な転写パターン（たとえば、多数の微細な凹凸で形成されており、高さやピッチが可視光線の波長程度かもしくは可視光線の波長よりも僅かに大きいか僅かに小さい転写パターン）を、被成型品（たとえば、平板状の被インプリント基板の厚さ方向の一方の面）Ｗに転写するための装置であり、被成型品設置体３と押圧体５と可動体７と貫通孔形成手段９と減圧手段１１とを備えて構成されている。

被成型品設置体３は、凹部１３を備えており、この凹部１３の内側に被成型品Ｗが設置されるようになっている。また、凹部１３の開口部（平坦な環状に形成されている開口部）１５をシート状のモールドＭで塞ぐことにより、真空成型室（ほぼ閉じた空間である真空成型室）１７が形成されるようになっている。なお、すでに理解されるように、被成型品Ｗは、真空成型室１７の内部に設置されるようになっている。

被成型品Ｗが被成型品設置体３に設置され被成型品設置体３の開口部１５にシート状のモールドＭが設置されて真空成型室１７が形成された状態では、被成型品Ｗの微細な転写パターンＭ１（図３参照）が転写される平面（被転写面）１９と、シート状のモールドＭの微細な転写パターンＭ１が形成されている平面２１とが、お互いが平行になってごく僅かに離れて（たとえば、０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度離れて）対向している。

すなわち、図３における寸法Ｓ２が、たとえば、０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度になっている。なお、図３における参照符号Ｗ１は、被成型品Ｗの基材（シリコン等で構成された基材）であり、参照符号Ｗ２は、紫外線硬化樹脂である。

押圧体５は、真空成型室１７の外側に設けられている。そして、被成型品設置体３に設置された被成型品Ｗへ、真空成型室１７を形成しているシート状のモールドＭの微細な転写パターンＭ１を転写するときに、押圧体５によって、シート状のモールドＭを被成型品Ｗ側に押圧するようになっている。

すなわち、押圧体５と被成型品設置体３に設置されている被成型品Ｗとが協働して、シート状のモールドＭを挟み込み、押圧して転写をするようになっている。さらに詳しく説明すると、被成型品設置体３に設置されている被成型品Ｗの厚さ方向の一方の平面であって微細な転写パターンが転写されて形成される被転写面１９に、シート状のモールドＭの厚さ方向の一方の面（微細な転写パターンが形成されている面）２１が接触し、シート状のモールドＭの厚さ方向の他方の面が、押圧体５の押圧面（被転写面１９に平行な押圧面）に接触するようにして、シート状のモールドＭを挟み込んで転写がされるようになっている。

可動体７は、真空成型室１７の外側に設けられており、押圧体５を一体的に支持しており、被成型品設置体３に対して接近もしくは離反する方向（被成型品Ｗの被転写面１９に垂直な方向；たとえば、Ｚ軸方向）で相対的に移動自在になっている。なお、すでに理解されるように、可動体７が移動することによって、押圧体５が移動し、前述した挟み込みによる転写がなされるようになっている。

また、可動体７は、前述した転写をするときに、押圧体５が内側に入り込むと共にシート状のモールドＭを隔てて真空成型室１７に隣接する別の真空成型室（ほぼ閉じた空間である真空成型室）２３を、シート状のモールドＭや被成型品設置体３と協働して形成するようになっている。

貫通孔形成手段９は、シート状のモールドＭに、真空成型室１７と真空成型室２３とをお互いにつなぐための貫通孔ＭＨ１（図２参照）を形成する手段である。なお、図２に示す貫通孔ＭＨ１は、円形状に形成されているが、貫通孔ＭＨ１が円形以外の形状（矩形状等の形状）に形成されていてもよい。この場合、貫通孔の角部での応力集中を避けるために、貫通孔の角部が円弧状に形成されていることが望ましい。また、図２に示す貫通孔ＭＨ１に代えて、図２の示すスリットＭＨ２を設けてもよい。スリットＭＨ２も貫通孔の概念に含まれるものとする。なお、スリットＭＨ２はＸ軸方向に延びているものとする。

減圧手段１１は、真空成型室１７、真空成型室２３の少なくとも一方の真空成型室を減圧する手段である。すでに理解されるように、シート状のモールドＭに貫通孔ＭＨ１が設けられているので、真空成型室１７と真空成型室２３とがお互いにつながっており、真空成型室１７、真空成型室２３の一方を減圧すれば、真空成型室１７と真空成型室２３との両方の真空成型室が減圧されるようになっている。

また、転写装置１には、制御装置２５が設けられており、この制御装置２５の制御の下、各真空成型室１７，２３が形成され、貫通孔形成手段９で貫通孔ＭＨ１が形成され、減圧手段１１で各真空成型室１７，２３を減圧した後に、押圧体５による押圧をして転写が行われるようになっている。

さらに、転写装置１には、モールド交換手段２７と図８に示すモールド引き剥がし手段２９とが設けられている。モールド交換手段２７は、モールド原反設置装置３１に設置されているモールド原反ＭＡから繰り出されて（図１に示すように、モールド原反ＭＡが、Ｙ軸方向に延びている軸Ｃ２を中心にして矢印Ａ３のように回転することによってモールド原反ＭＡから繰り出されて）シート状になって転写に使用されたモールドＭを、モールド巻き取り装置３３で巻き取って（図１に示すように、Ｙ軸方向に延びている軸Ｃ１を中心にして矢印Ａ２のように回転することにより巻き取って）ロール状のモールドＭＢにすることによって、シート状のモールドＭを交換する手段である。

モールド原反設置装置３１は、被成型品設置体３の一方の側（図１や図８では左側）に設けられており、モールド巻き取り装置３３は、被成型品設置体３の他方の側（図１や図８では右側）に設けられている。

なお、モールド原反ＭＡは、転写に使用される前のロール状のモールドである。ロール状のモールド（反物状のモールド）は、所定の幅を備えた長いシート状のモールドＭを、円柱状の芯材の外周に、この外周の周方向とシート状のモールドＭの長手方向とがお互いに一致するようにして巻き重ね、円筒状もしくは円柱状に形成されているものである。

モールド引き剥がし手段２９は、モールド原反ＭＡ（モールド原反設置装置３１）とモールド巻き取り装置３３（巻き取り後のロール状のモールドＭＢ）との間に設けられている引き剥がしローラ３５を用いて、転写により被成型品Ｗに貼り付いているシート状のモールドＭを、被成型品Ｗから引き剥がすものである。

モールド交換手段２７とモールド引き剥がし手段２９とが設けられている場合、制御装置２５は、１回の転写がされる毎に、モールド引き剥がし手段２９でシート状のモールドＭを被成型品Ｗから引き剥がし、また、転写の回数に応じて、シート状のモールドＭを交換する制御を行うようになっている。

モールド引き剥がし手段２９についてさらに説明すると、モールド引き剥がし手段２９は、図８に示すように、モールド原反ＭＡ（モールド原反設置装置３１）とモールド巻き取り装置３３との間に設けられている一対のローラ３５Ａ，３５Ｂを備えて構成されており、この一対のローラ３５Ａ，３５Ｂの間にシート状のモールドＭを挟み込むと共に係合させて（巻き掛けて）、シート状のモールドＭを「Ｓ」字状に形成し、一対のローラ３５Ａ，３５Ｂをシート状のモールドＭの長手方向（Ｘ軸方向；図８では、右側から左側）に移動して、引き剥がしをするように構成されている。

転写装置１についてさらに詳しく説明すると、転写装置１には、被成型品設置体３や可動体７やモールド原反設置装置３１やモールド巻き取り装置３３を支持しているフレーム３７が設けられている。

被成型品設置体３は、円筒状等の筒状に形成されている外側被成型品設置体３９と所定の厚さを備えて円板状に形成されている内側被成型品設置体４１とを備えて構成されている。外側被成型品設置体３９は、この軸（中心軸）ＣＡがＺ軸方向に延びるようにして、フレーム３７に支持されている。

内側被成型品設置体４１は、厚さ方向がＺ軸方向になるようにして、外側被成型品設置体３９の軸ＣＡ方向の一端部側（下側）で外側被成型品設置体３９に着脱に設けられている。なお、外側被成型品設置体３９に設置されている状態では、内側被成型品設置体４１は外側被成型品設置体３９と一体になっている。

このようにして、外側被成型品設置体３９に内側被成型品設置体４１が設置されることにより、被成型品設置体３の上側に、凹部１３と開口部１５とが形成される。なお、凹部１３の底面や開口部１５は、水平方向（Ｘ軸方向やＹ軸方向）に展開している。そして、凹部１３の底面の上に被成型品Ｗの下面が接触するようにして被成型品Ｗが載置され、被成型品Ｗが被成型品設置体３の凹部１３内に設置されるようになっている。

なお、被成型品設置体３への被成型品Ｗの位置決め設置（位置決め固定）は、図示しないストッパに被成型品Ｗを当接し図示しないクランパや真空吸着等の保持手段でなされるようになっている。

また、内側被成型品設置体４１が、外側被成型品設置体３９に着脱に設けられていることにより、シート状のモールドＭを被成型品設置体３から取り外すことなくそのままにしておいて、転写が終わった被成型品Ｗを次の被成型品Ｗに交換することができるようになっている。

可動体７は、被成型品設置体３の上側に設けられており、可動体本体４３と外側押圧体支持体４５と内側押圧体支持体４７と弾性筒状部材４９と環状部材５１とを備えて構成されている。

可動体本体４３は、図示しないリニアガイドベアリングを介してフレーム３７に支持されており、図示しないサーボモータ等のアクチュエータとボールネジとを用いて、フレーム３７に対してＺ軸方向で移動位置決め自在になっている。

外側押圧体支持体４５は、軸方向の一端部に鍔部５３を備えた筒状に形成されており、鍔部５３が上側に位置して可動体本体４３の下端に接触し、可動体本体４３の下側で、可動体本体４３に一体的に設けられている。

内側押圧体支持体４７は、紫外線が透過する剛性の高い材料（たとえば、ガラス）で構成されていると共に、所定の厚さを備えた板状に形成されている。そして、厚さ方向がＺ軸方向になるようにして、外側押圧体支持体４５の貫通孔の内部であって外側押圧体支持体４５の軸方向（Ｚ軸方向）の一端部側（下側）で、外側押圧体支持体４５に一体的に設けられている。

押圧体５は、紫外線が透過するゴム等の適宜の弾性を備えた弾性体で構成されていると共に、所定の厚さを備えた板状に形成されている。そして、厚さ方向がＺ軸方向になるようにして、内側押圧体支持体４７の軸方向（Ｚ軸方向）の一端部側（下側）で内側押圧体支持体４７に一体的に設けられている。

可動体本体４３には、紫外線発生装置（ＵＶ光発生装置）５５が設けられており、紫外線発生装置５５で発生した紫外線が、外側押圧体支持体４５の貫通孔と内側押圧体支持体４７と押圧体５とで構成されている紫外線通路（ＵＶ路）５７と、シート状のモールドＭとを通って、被成型品Ｗに照射されるようになっている。

なお、Ｚ軸方向から見た場合、ＵＶ路５７と、シート状のモールド（転写装置１に設置されているシート状のモールド）Ｍの微細な転写パターンが形成されている部位と、被成型品設置体３に設置されている被成型品Ｗとはお互いがほぼ重なっている。

外側押圧体支持体４５の鍔部５３には、たとえばベローズ（弾性筒状部材）４９が設けられている。ベローズ４９はこの軸方向（伸縮方向）がＺ軸方向になるようにして、上端が鍔部５３に一体的に設けられている。

なお、ベローズ４９の内径は、外側押圧体支持体４５の鍔部５３以外の部位５９の外径よりも大きくなっており、ベローズ４９の内側に外側押圧体支持体４５の鍔部５３以外の部位５９が位置している。

ベローズ４９の下端には、環状部材５１が一体的に設けられており、平坦な環状部材５１の下面には、たとえばＯリング（環状のシール部材）６１が設けられている。環状部材５１の内径は、ベローズ４９の内径や被成型品設置体３の凹部１３の内径Ｄ２とほぼ等しくなっており、環状部材５１の外径は、ベローズ４９の外径や被成型品設置体３の外径Ｄ１よりも大きくなっている。また、Ｏリング６１の内径は、被成型品設置体３の凹部１３の内径Ｄ２よりも大きく、Ｏリング６１の外径は、被成型品設置体３の外径Ｄ１よりも小さくなっている。

そして、被成型品設置体３と外側押圧体支持体４５と内側押圧体支持体４７と押圧体５とベローズ４９と環状部材５１とが同軸になっており、Ｚ軸方向から見た場合、環状部材５１の貫通孔と被成型品設置体３の凹部１３とがお互いにほぼ重なっており、Ｏリング６１の内側に、環状部材５１の貫通孔と被成型品設置体３の凹部１３とが位置している。

外側押圧体支持体４５の鍔部５３と環状部材５１との間には、空気圧シリンダ（アクチュエータ）６３が設けられており、この空気圧シリンダ６３によって、ベローズ４９が伸縮するようになっている。

空気圧シリンダ６３は、ソレノイドバルブ６５を介して空気圧源に接続されている。そして常態（空気圧シリンダ６３のピストンロッドが引っ込んでおり、ベローズ４９がたとえば自由長になっている状態）においては、Ｏリング６１の下面が、押圧体５の下面よりも上方に位置している。

一方、空気圧シリンダ６３に圧縮空気が供給されて空気圧シリンダ６３のピストンロッドが延出すると、Ｏリング６１の下面が、押圧体５の下面よりも下方に位置するようになっている。また、空気圧シリンダ６３とソレノイドバルブ６５との間には、リリーフバルブ６７が設けられている。

可動体７が上述したように構成されていることにより、外側押圧体支持体４５と内側押圧体支持体４７とベローズ４９と環状部材５１とＯリング６１と、Ｏリング６１と被成型品設置体３とで挟まれているシート状のモールドＭとにより、真空成型室２３が形成されるようになっている。

モールド交換手段２７は、前述したように、モールド原反設置装置３１とモールド巻き取り装置３３とを備えて構成されている。モールド原反設置装置３１に設置されたモールド原反ＭＡは、前述したように、軸（Ｙ軸方向に延びている軸）Ｃ２を回転中心にして回転するようになっている。

モールド巻き取り装置３３は、前述したように、軸（Ｙ軸方向に延びている軸）Ｃ１を回転中心にして、図示しないサーボモータ等のアクチュエータでシート状のモールドＭを巻き取り、ロール状のモールドＭＢを生成するようになっている。

なお、モールド原反設置装置３１には、モールド原反ＭＡが回転するときに回転抵抗を付与する回転抵抗付与手段（図示しないブレーキ）が設けられており、モールド原反設置装置３１とモールド巻き取り装置３３との間でシート状のモールドＭには張力が発生している。そして、シート状のモールドＭは、この厚さ方向がＺ軸方向になり、幅方向がＹ軸方向になり、長手方向がＸ軸方向になるようにして、被成型品設置体３の上方で被成型品設置体３からごく僅かに離れて展開している。

さらに説明すると、モールド原反設置装置３１とモールド巻き取り装置３３との間で展開しているシート状のモールドＭは、図３で示すように、被成型品設置体３の開口部１５から寸法Ｓ１（たとえば、０．１ｍｍ〜１ｍｍ）だけ離れて、水平方向に展開している。また、シート状のモールドＭは、被成型品設置体３に設置されている被成型品Ｗから寸法Ｓ２だけ離れている。なお、図３では、寸法Ｓ２が寸法Ｓ１より大きいが、寸法Ｓ１が寸法Ｓ２より大きくてもよいし、寸法Ｓ１と寸法Ｓ２とがお互いに等しくてもよい。

また、シート状のモールドＭを繰り出すことにより、モールド原反ＭＡの外径が変化し、シート状のモールドＭを巻き取ることにより、ロール状のモールドＭＢの外径が変化すると、モールド原反ＭＡとロール状のモールドＭＢとの間で展開しているシート状のモールドＭが、斜めに展開することになる。これを防ぐために、たとえば、モールド原反設置装置３１により、モールド原反ＭＡの高さを適宜調整し、モールド巻き取り装置３３によりロール状のモールドＭＢの高さを適宜調整し、モールド原反ＭＡとロール状のモールドＭＢとの間で展開しているシート状のモールドＭが、常に水平方向に展開するように構成されている。

被成型品設置体３は、フレーム３７に対して、空気圧シリンダ等のアクチュエータによりＺ軸方向で僅かな距離だけ移動自在になっており、被成型品設置体３とシート状のモールドＭとで真空成型室１７を形成するときには、被成型品設置体３が図３に示す位置から僅かに上昇し、寸法Ｓ１が「０」になるように構成されている。なお、被成型品設置体３を移動させることに代えて、シート状のモールドＭをＺ軸方向に移動させてもよい。

被成型品設置体３の開口部１５には、環状の溝６９が設けられており、この環状の溝６９には、真空ポンプ７１が接続されている。そして、図３に示す寸法Ｓ１が「０」になって真空成型室１７が形成されたときに、真空ポンプ７１が稼働し、シート状のモールドＭが被成型品設置体３で保持されるようになっている。

なお、溝６９の内径がＯリング６１の外径よりも大きくなっており、Ｚ軸方向から見た場合、溝６９の内側にＯリング６１が位置しているが、逆に、溝６９の外側にＯリング６１が位置している構成であってもよい。

真空成型室１７には、真空ポンプ７３が接続されており、真空成型室１７を減圧することができるようになっている。

モールド引き剥がし手段２９は、図８で示すように、一対の引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂを備えて構成されている。各引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂは、それぞれが、Ｙ軸方向に延びている軸Ｃ３,Ｃ４を中心にし回転するようにして、図示しないローラ支持部材に支持されている。ローラ支持部材は、図示しないリニアガイドベアリングにより、フレーム３７に支持されており、Ｘ軸方向で移動するようになっている。

引き剥がしローラ３５Ａの上方に引き剥がしローラ３５Ｂが設けられており、一対の引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂでシート状のモールドＭを挟み込む等して「Ｓ」字状にし、ガイドするようになっている。また、引き剥がしローラ３５Ａの下端（外周の下端）は、モールド原反ＭＡの上端（外周の上端）と同じ高さになっており、転写をするときには、モールド原反ＭＡと引き剥がしローラ３５Ａとの間で水平に展開しているシート状のモールドＭが使用されるようになっている。すなわち、図８に実線で示す各引き剥がしローラ（被成型品設置体３の右側に位置している各引き剥がしローラ）３５Ａ,３５Ｂと、モールド原反ＭＡとの間に位置しているシート状のモールドＭを使用して転写がなされるようになっている。

そして、転写が終了しシート状のモールドＭが被成型品Ｗに貼り付いている状態から、各引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂ（ローラ支持部材）を図８で示す矢印Ａ７の方向に、図示しないモータ等のアクチュエータで移動することにより、シート状のモールドＭの引き剥がしがなされるようになっている。

なお、図８で示す状態では、引き剥がしローラ３５Ａの上端（外周の上端）と引き剥がしローラ３５Ｂの下端（外周の下端）とは、お互いに接触しているが、これらが離れていてもよい。

また、シート状のモールドＭを繰り出すことにより、モールド原反ＭＡの外径が変化すると、モールド原反ＭＡと引き剥がしローラ３５Ａとの間で展開しているシート状のモールドＭが、斜めに展開することになる。これを防ぐべく、前述したように、たとえば、モールド原反設置装置３１により、モールド原反ＭＡの高さを適宜調整し、モールド原反ＭＡと引き剥がしローラ３５Ａとの間で展開しているシート状のモールドＭが、常に水平方向に展開するようになっている。同様にして、引き剥がしローラ３５Ｂとロール状のモールドＭＢとの間におけるシート状のモールドＭも、常に水平方向に展開するようになっている。

モールド原反ＭＡと引き剥がしローラ３５Ａとの間で展開しているシート状のモールドＭと、引き剥がしローラ３５Ｂとロール状のモールドＭＢとの間で展開しているシート状のモールドＭとが、水平方向に展開していることにより、各引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂが移動しても、モールド原反ＭＡとロール状のモールドＭＢとの間での、シート状のモールドＭの長手方向の寸法が変化せず、シート状のモールドＭの引き剥がしをするときに、各引き剥がしローラ３５Ａ,３５Ｂを移動するだけでよく、制御等の簡素化がなされる。

ところで、モールド引き剥がし手段２９を、たとえば、図９で示すように適宜変更してもよい。図９に示すモールド引き剥がし手段２９は、１本の引き剥がしローラ３５を備えて構成されている。引き剥がしローラ３５は、Ｙ軸方向に延びている軸Ｃ５を中心にし回転するようにして、図示しないローラ支持部材に支持されている。ローラ支持部材は、図示しないリニアガイドベアリングにより、フレーム３７に支持されて、Ｚ軸方向とＸ軸方向とで移動するようになっている。そして、転写がされた後にシート状のモールドＭを被成型品Ｗから引き剥がす場合には、図９で示す矢印Ａ８の方向にローラ３５を移動した後、図９で示す矢印Ａ９の方向にローラ３５を移動するようになっている。

貫通孔形成手段９は、たとえば、可動体７（外側押圧体支持体４５）に一体的に設けられている単数もしくは複数の針状の貫通孔形成部材７５を備えて構成されている。そして、可動体７を被成型品設置体３側へ移動するときに、貫通孔形成部材７５で、シート状のモールドＭの一部を突き破ることによって、貫通孔ＭＨ１が形成されるようになっている。

より詳しくは、可動体７で真空成型室２３が形成される前もしくは可動体７で真空成型室２３が形成された後に、貫通孔ＭＨ１が形成されるようになっている。なお、突き破られるシート状のモールドＭの部位は、被成型品Ｗに接触しない部位である。さらに、貫通孔形成部材７５が図示しない空気圧シリンダ等のアクチュエータにより可動体７に対して移動自在（たとえば、可動体７の移動方向であるＺ軸方向で移動自在）に設けられている構成であってもよい。そして、可動体７を被成型品設置体３に近づけるときに、アクチュエータにより貫通孔形成部材７５を被成型品設置体３側（下側）に突出させておいて、シート状のモールドＭの一部を突き破ってシート状のモールドＭに貫通孔ＭＨ１を形成し、この貫通孔ＭＨ１の形成後に、アクチュエータにより貫通孔形成部材７５を被成型品設置体３とは反対側（上側）に移動させて引っ込めるようになっていてもよい。

次に、転写装置１による転写の工程について、図１〜図７（図７は、図６のおけるＶＩＩ部の拡大図）を用いて説明する。

まず、初期状態では、図１に示すように、可動体７と環状部材５１とが上昇しており、ＵＶ光発生装置５５が停止しており、被成型品設置体３に転写がされる前の被成型品Ｗが設置されており、シート状のモールドＭが、図３で示すように、被成型品設置体３の開口部１５の上方で開口部１５から僅かに離れて水平方向に展開しているものとする。シート状のモールドＭの幅（Ｙ軸方向における寸法）は、図２で示すように、被成型品設置体３の外径Ｄ１よりも大きく、被成型品設置体３の全体を覆っているものとする。また、各真空ポンプ７１，７３は停止しているものとする。

制御装置２５の制御の下、上記初期状態から、ソレノイドバルブ６５のＳｏｌｂをオンし、空気圧シリンダ６３のピストンロッドを下方に延出させることにより、環状部材５１を図１の矢印Ａ１で示すように下降させる。これにより、図４で示すように、ベローズ４９が伸び、環状部材５１やＯリング６１が、押圧体５よりも下方（被成型品設置体３側）に位置する。

続いて、被成型品設置体３を僅かに上昇させて、被成型品設置体３の開口部１５とシート状のモールドＭとを接触させ（図３に示す寸法Ｓ１を「０」にし）、真空ポンプ７１を駆動して、シート状のモールドＭを真空吸着により、被成型品設置体３の開口部１５で保持する。そして、図４に矢印Ａ４で示すように、可動体７を下降させると、図５で示すように、環状部材５１のＯリング６１が、シート状のモールドＭに接触し、シート状のモールドＭが被成型品設置体３と環状部材５１のＯリング６１とで挟まれる。

これにより、被成型品Ｗと、被成型品Ｗと協働してシート状のモールドＭを挟み込んで押圧する押圧体５とが内部に位置する真空成型室１７，２３が形成される。真空成型室１７内には、被成型品Ｗが設置されており、真空成型室２３内には、押圧体５が位置している。そして、真空成型室１７と真空成型室２３とは、シート状のモールドＭによって仕切られている。

続いて、図５に矢印Ａ５で示すように、可動体７を下降させると、各真空成型室１７，２３を仕切っているシート状のモールドＭに、図１でのみ図示してある貫通孔形成部材７５が当接し、貫通孔（真空成型室１７と真空成型室２３とをお互いにつなぐための貫通孔）ＭＨ１が形成される。なお、このときには、押圧体５はシート状のモールドＭから離れている。

シート状のモールドＭに貫通孔ＭＨ１が形成された後、真空ポンプ７３を駆動して真空成型室１７を減圧する。これにより、真空成型室２３も減圧される。

真空成型室１７，２３が減圧された後に、可動体７をさらに下降し、図６で示すように、押圧体５をシート状のモールドＭに接触させ、押圧体５と被成型品Ｗとでシート状のモールドＭ挟み込んで押圧を行い、シート状のモールドＭの微細な転写パターンＭ１を被成型品Ｗに転写する。

なお、図３に示す寸法Ｓ２が寸法Ｓ１よりも大きい場合、押圧体５と被成型品Ｗとでシート状のモールドＭ挟み込んだ状態では、図７で示すように、シート状のモールドＭがごく僅かに撓むようになっている。

また、上記転写をするときには、紫外線発生装置５５が紫外線を発生し、この発生した紫外線が、ＵＶ硬化樹脂Ｗ２に照射され、ＵＶ硬化樹脂Ｗ２が硬化し、ＵＶ硬化樹脂Ｗ２に微細な転写パターンＭ１が転写されて形成されるようになっている。

また、図５で示す状態から可動体７を下降させると、空気圧シリンダ６３のピストンロッドに上方向の力が加わるが、リリーフバルブ６７が設けられているので、ピストンロッドが上方向に容易に移動するようになっている。

転写が終了した後に、紫外線発生装置５５による紫外線の照射を停止し、真空ポンプ７１，７３を停止し、図６に矢印Ａ６で示すように可動体７を上昇し、ソレノイドバルブ６５のＳｏｌｂをオフし、モールド引き剥がし手段２９で被成型品Ｗからシート状のモールドＭを引き剥がし、被成型品設置体３を僅かに下方に移動し、被成型品Ｗを転写がされていない次の被成型品Ｗに交換し、上記初期状態に戻る。

転写装置１によれば、シート状のモールドＭを用いて真空成型室１７，２３を形成し、被成型品Ｗと押圧体５とでシート状のモールドＭを挟み込んで転写をするので、シート状のモールドＭを押圧体５に設置する機構や作業が不要であり、真空成型室１７，２３を簡単に形成することができる。したがって、被成型品Ｗでの気泡の発生を簡素な構成や工程で防止し転写を行うことができる。

また、転写装置１によれば、シート状のモールドＭによって仕切られている各真空成型室１７，２３が、貫通孔ＭＨ１でお互いにつながっているので、一方の真空成型室１７を減圧すれば、両方の真空成型室１７，２３を減圧することができ、転写のときに、被成型品Ｗの被転写部への気泡の混入を防ぐことができると共に、大気圧によってシート状のモールドＭが変形することを抑制して正確な転写をすることができる。

また、図２で示すように、被成型品設置体３の凹部１３の内径Ｄ２よりも幅ＢＡが小さいシート状のモールドＭＣを用いて転写を行うと、シート状のモールドＭＣに貫通孔を空ける必要が無くなる。しかしながら、シート状のモールドＭＣの幅方向の両端部のところで開口部１５に僅かな段差（シート状のモールドＭＣの厚さ分の段差）が生じてしまう。すなわち、図２において示す部位Ｐ１（シート状のモールドＭＣの上面）と部位Ｐ２（平面状の開口部１５の上面）とのところで、僅かな段差が生じてしまう。

このように段差が生じた状態で、Ｏリング６１をシート状のモールドＭＣの上面と開口部１５の上面とに接触させて真空成型室を形成しても、段差のところでＯリング６１が変形しきれず、ごく僅かな隙間が発生してしまう。

これに対して、図２で示すように、シート状のモールドＭの幅Ｂ１を凹部１３の内径Ｄ２よりも大きくし、さらには、被成型品設置体３の外径Ｄ１よりも大きくして、シート状のモールドＭによって真空成型室１７を形成すれば、上述した段差は発生せず、隙間の無い真空成型室１７を形成することができる。

また、転写装置１によれば、モールド交換手段２７とモールド引き剥がし手段２９とを備えてシート状のモールドＭを交換するので、転写により劣化したシート状のモールドＭの人手による交換作業を無くすことができる。

さらに、転写装置１によれば、モールド引き剥がし手段２９が、モールド原反ＭＡ（モールド原反設置装置３１）とモールド巻き取り装置３３との間に設けられている引き剥がしローラ３５を用いて、シート状のモールドＭを引き剥がすので、装置の簡素化がなされている。

すなわち、シート状のモールドＭを被成型品Ｗから引き剥がす際に、モールド交換手段２７を構成しているモールド原反設置装置３１とモールド巻き取り装置３３とでシート状のモールドＭにテンションを加えておいて、引き剥がしローラ３５を移動することで、シート状のモールドＭの引き剥がしをするので、モールド交換手段２７がシート状のモールドＭの交換だけでなく、シート状のモールドＭを引き剥がす際にも使用されている。そして、シート状のモールドＭを交換する装置がシート状のモールドＭを引き剥がす装置として兼用されており、これにより、装置の簡素化がなされている。

また、転写装置１によれば、一対のローラ３５Ａ，３５Ｂでシート状のモールドＭを挟み込むと共に一対のローラ３５Ａ，３５Ｂにシート状のモールドＭを係合させて「Ｓ」字状に形成し、一対のローラ３５Ａ，３５Ｂをシート状のモールドＭの長手方向（Ｘ軸方向）に移動して、引き剥がしをするように構成されているので、図８に示す引き剥がしの角度αを大きくすることができ、被成型品Ｗからのシート状のモールドＭの引き剥がしを一層確実に行うことができる。

ところで、図示しないＸＹステージを介して被成型品設置体３をフレーム３７に設置し、Ｘ軸方向およびＹ軸方向で、シート状のモールドＭに対する被成型品（被成型品設置体３に設置されている被成型品）Ｗの相対的な位置決めを可能とした構成であってもよい。さらには、図１に示す軸（被成型品設置体３の中心を通ってＺ軸方向に延びている軸）ＣＡまわりにおける被成型品設置体３の回動角度を調整することができる構成であってもよい。

また、被成型品設置体３をＺ軸方向で僅かに移動自在に構成してあるが、被成型品設置体３がＺ軸方向で移動せずフレーム３７に固定されている構成であってもよい。そして、可動体７（環状部材５１のＯリング６１）で、シート状のモールドＭを下方に押して、図３に示す寸法Ｓ１を「０」にし、真空成型室１７を形成してもよい。

また、ベローズ４９を伸縮する空気圧シリンダ６３等のアクチュエータを削除してもよい。この場合、可動体７が上昇端に位置している状態で、Ｏリング６１の下端が押圧体５の下面よりも下方に位置しているものとする。すなわち、空気圧シリンダ６３を設けてある構成では、図１で示すように、可動体７が上昇端に位置している場合、Ｏリング６１の下端が押圧体５の下面よりも上方に位置しているが、空気圧シリンダ６３等のアクチュエータを削除した構成では、Ｏリング６１の下端が押圧体５の下面よりも下方に位置することになる。

また、転写装置１において、貫通孔形成手段９を削除した構成であってもよい。この場合、シート状のモールドＭには、貫通孔が予め形成されており、減圧手段１１で真空成型室１７（真空成型室２３でもよい）を減圧すると、真空成型室１７，２３が減圧されるようになっているものとする。

なお、転写装置１は、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と、前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段と、前記貫通孔形成手段で前記貫通孔を形成し、前記減圧手段で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体による押圧をして前記転写を行う制御をする制御手段とを有する転写装置の例である。

また、上述した転写において、シート状のモールドに貫通孔を形成することなく転写を行うようにしてもよい。

すなわち、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、凹部を備えこの凹部の内側に前記被成型品が設置され前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより真空成型室を形成する被成型品設置体と、前記真空成型室を減圧する減圧手段とを有し、前記減圧手段で真空成型室を減圧し、前記シート状のモールドと前記被成型品とをお互いに接触させて、前記転写を行うように構成されている転写装置としてもよい。

この場合において、押圧体５を削除し、大気圧のみを利用してシート状のモールドＭによる被成型品への押圧を行ってもよいし、押圧体５を削除することなく大気圧と押圧体５とを用いて、シート状のモールドＭによる被成型品への押圧を行ってもよい。

さらに、上述した内容のものを、シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写方法において、被成型品設置体の凹部内に設置された前記被成型品が内部に位置する真空成型室を、前記シート状のモールドで前記被成型品設置体の凹部の開口部を塞ぐことにより形成する真空成型室形成工程と、前記真空成型室形成工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と、前記減圧工程で前記真空成型室を減圧して、前記転写をする押圧転写工程とを有する転写方法として把握してもよい。

１ 転写装置
３ 被成型品設置体
５ 押圧体
７ 可動体
９ 貫通孔形成手段
１１ 減圧手段
１３ 凹部
１５ 開口部
１７、２３ 真空成型室
２７ モールド交換手段
２９ モールド引き剥がし手段
３１ モールド原反設置装置
３３ モールド巻き取り装置
３５、３５Ａ、３５Ｂ 引き剥がしローラ
Ｍ シート状のモールド
Ｗ 被成型品

Claims (8)

1. シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、
   前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と；
   前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と；
   前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段と；
   を有することを特徴とする転写装置。
2. シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、
   前記転写をするときに、前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールド挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記シート状のモールドに予め形成されている貫通孔によって前記第１の真空成型室とつながっていると共に前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成手段と；
   前記真空成型室形成手段で形成された真空成型室を減圧する減圧手段と；
   を有することを特徴とする転写装置。
3. シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、
   凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、第１の真空成型室を形成する被成型品設置体と；
   前記第１の真空成型室の外側に設けられ、前記第１の真空成型室を形成している前記シート状のモールドの微細な転写パターンを、前記被成型品設置体に設置された被成型品へ転写するときに、前記シート状のモールドを押圧する押圧体と；
   前記第１の真空成型室の外側で前記押圧体を一体的に支持し、前記被成型品設置体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動自在であり、前記転写をするときに前記押圧体が内側に入り込むと共に前記シート状のモールドを隔てて前記第１の真空成型室に隣接する第２の真空成型室を形成する可動体と；
   前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成手段と；
   前記第１の真空成型室または前記第２の真空成型室を減圧する減圧手段と；
   を有することを特徴とする転写装置。
4. シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、
   凹部を備え、この凹部の内側に前記被成型品が設置され、前記凹部の開口部を前記シート状のモールドで塞ぐことにより、第１の真空成型室を形成する被成型品設置体と；
   前記第１の真空成型室の外側に設けられ、前記第１の真空成型室を形成している前記シート状のモールドの微細な転写パターンを、前記被成型品設置体に設置された被成型品へ転写するときに、前記シート状のモールドを押圧する押圧体と；
   前記第１の真空成型室の外側で前記押圧体を一体的に支持し、前記被成型品設置体に対して接近もしくは離反する方向で相対的に移動自在であり、前記転写をするときに前記押圧体が内側に入り込むと共に前記シート状のモールドを隔てて前記第１の真空成型室に隣接する第２の真空成型室を形成する可動体と；
   前記第１の真空成型室または前記第２の真空成型室を減圧する減圧手段と；
   を有し、前記シート状のモールドには、前記各真空成型室同士をつなぐための貫通孔が予め形成されていることを特徴とする転写装置。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の転写装置において、
   モールド原反から繰り出されシート状になって前記転写に使用された前記シート状のモールドを、モールド巻き取り装置で巻き取ることによって、前記シート状のモールドを交換するモールド交換手段と；
   前記モールド原反と前記モールド巻き取り装置との間に設けられている引き剥がしローラを用いて、前記転写により前記被成型品に貼り付いている前記シート状のモールドを、前記被成型品から引き剥がすモールド引き剥がし手段と；
   を有することを特徴とする転写装置。
6. 請求項５に記載の転写装置において、
   前記モールド引き剥がし手段は、前記モールド原反と前記モールド巻き取り装置との間に設けられている一対のローラを備えて構成されており、この一対のローラに前記シート状のモールドを係合させて前記シート状のモールドを「Ｓ」字状に形成し、前記一対のローラを移動して、前記引き剥がしをするように構成されていることを特徴とする転写装置。
7. シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写方法において、
   前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールドを挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成工程と；
   前記真空成型室を仕切る前記シート状のモールドに、前記第１の真空成型室と前記第２の真空成型室とをお互いにつなぐための貫通孔を形成する貫通孔形成工程と；
   前記貫通孔形成工程で前記シート状のモールドに貫通孔を形成した後に、前記真空成型室形成型室工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と；
   前記減圧工程で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体と前記被成型品とで前記シート状のモールド挟み込んで押圧し前記転写をする押圧転写工程と；
   を有することを特徴とする転写方法。
8. シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写方法において、
   前記被成型品と、前記被成型品と協働して前記シート状のモールドを挟み込んで押圧する押圧体とが内部に位置する真空成型室であって、前記被成型品が設置される第１の真空成型室と、前記シート状のモールドに予め形成されている貫通孔によって前記第１の真空成型室とつながっていると共に前記押圧体が位置する第２の真空成型室とに、前記シート状のモールドによって仕切られる真空成型室を形成する真空成型室形成工程と；
   前記真空成型室形成工程で形成された真空成型室を減圧する減圧工程と；
   前記減圧工程で前記真空成型室を減圧した後に、前記押圧体と前記被成型品とで前記シート状のモールド挟み込んで押圧し前記転写をする押圧転写工程と；
   を有することを特徴とする転写方法。

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