JP5061291B2 - 粒子計数装置及び粒子計数システム - Google Patents

Description

本発明は、被検流体中の粒子を検出し計数する粒子計数装置及び粒子計数システムに関する。

半導体デバイスや液晶表示装置を作製するにあたって、クリーンルームやクリーンブースの環境は、製品の歩留りを決定付ける重要な要素になる。そのため、従来から、クリーンルームやクリーンブースのクリーン度を測定するために、粒子計数装置（パーティクルカウンター）が用いられている。

この種の粒子計数装置には、例えば、被検流体の粒子を検出し計数する測定部と、この測定部における測定結果を表示する測定結果表示部とが設けられ、これらが一体となって粒子計数装置を構成しているものがある（例えば特許文献１参照）。

ところで、粒子計数装置によるクリーン度の測定では、一般的に、全測定時間帯での累計としての測定結果しか得られない場合が多い。そのため、測定時間内でパーティクル量に変化が生じたとしても、その変化を把握することができない。

そこで、パーティクルカウンターの稼動状態を表す装置稼動状態信号を取り込んで、その装置稼動状態信号と、計数が行われた時刻とを関連させて解析を行う方法がある（例えば特許文献２参照）。特許文献２に記載された発明によれば、装置内の検査領域にレーザ光を照射し、検査領域中に存在するパーティクルにより散乱された散乱光を、ＣＣＤカメラを用いて画像として取得することにより検出を行うパーティクルカウンターにおいて、取得画像が得られた時刻の装置稼動状態信号に対応する標準画像を選択し、標準画像と取得画像との輝度差分を行うことにより、パーティクルの計数を行う。

特開２００１−７４６４０号公報 特開２０００−１５５０８６号公報

しかしながら、特許文献２に開示された方法によると、画像の取得，保存，画像処理，判断等の全てをデータ処理装置（パーソナルコンピューター）で行うため、処理能力の高い高価なデータ処理装置を用いることが必要となり、装置全体が高価なものとなってしまうという問題がある。

また、従来の方法だと、装置稼動状態信号を取得したり、ＣＣＤカメラを用いた画像の取得を行ったりするために、それぞれ特殊な制御装置が必要となる。従って、各制御装置に応じたソフトを用いて複雑な処理を行わなければならず、測定時間を短縮するためにも、処理能力のより高いデータ処理装置が必要となってしまうという問題がある。

本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、その目的は、特殊な制御装置や余分なソフトを不要とし、コスト削減及びデータ処理装置における処理負荷の軽減を図ることが可能な粒子計数装置及び粒子計数システムを提供することにある。

以上のような課題を解決するために、本発明は、以下のものを提供する。

（１） 被検流体中の粒子を検出するために所定の観測点に設置される粒子計数装置であって、前記観測点から採取された前記被検流体中の粒子を検出する測定部と、前記観測点に関連する粒子の発生要因となるイベントを表すイベント信号が入力されるイベント入力部と、前記測定部から出力される計数信号と前記イベント信号を処理する制御部と、過去の前記イベント信号と現在の前記計数信号とのリンク信号を出力するリンク信号出力部と、を備え、前記制御部は、前記イベントに起因する前記粒子の発生を判定する際に、前記リンク信号によって前記イベント信号の入力に対する前記計数信号の遅れを補正することを特徴とする粒子計数装置。

本発明によれば、粒子計数装置に、観測点から採取された被検流体中の粒子を検出する測定部と、観測点に関連するイベントを表すイベント信号が入力されるイベント入力部と、測定部から出力される計数信号とイベント信号とを処理する制御部と、を設け、制御部により、そのイベントに起因する粒子の発生を判定することとしたから、コスト削減及びデータ処理装置における処理負荷の軽減を図ることができる。

すなわち、粒子計数装置に設けた制御部に、測定部から出力される計数信号だけでなく、観測点に関連するイベントを表すイベント信号の双方を処理させることによって、従来イベントの収集を行っていた特殊な制御装置が不要となり、ひいてはコスト削減及びデータ処理装置における処理負荷の軽減を図ることができる。

なお、構成要素となる装置の数が少なくなるため、例えば、全体をコンパクト化して、配線を簡易なものとすることができるようになり、ひいては全体を簡易に構築して粒子発生の要因を解析することができる。また、粒子計数装置でイベント信号処理を行うことができることから、例えば、データ処理装置にかかる負荷が軽減し、処理時間を短縮化することができる。さらに、処理能力の高い高価なデータ処理装置を使用する必要がなく、例えば、製造コストの削減を図ることができる。

ここで、「観測点に関連するイベント」とは、例えば、複数の個別機器装置により構成されるシステム装置内に、観測点を設ける場合、システム装置の扉（安全扉）を開けることや、システム装置に設置された個別機器装置としてのロボットが所定の動作をしたことなどが挙げられる。

また、本発明の粒子計数装置は、前記イベント信号と前記計数信号とのリンク信号を出力するリンク信号出力部を備えることを特徴とする。

本発明によれば、粒子計数装置に、イベント信号と計数信号とのリンク信号を出力するリンク信号出力部を設けることとしたから、例えば、外部に設置されたデータ処理装置に対して、イベント信号と計数信号とを関連付けた状態で信号を出力することが可能となる。その結果、データ処理装置で改めてイベント信号と計数信号とを関連付ける必要がなくなり、ひいてはデータ処理装置の処理時間を短縮化することができる。また、簡易な処理能力のみを持つ安価なデータ処理装置で十分対応することが可能になるため、更なる製造コストの削減を図ることができる。

また、本発明の粒子計数装置の制御部は、前記イベント信号の入力に対する前記計数信号の遅れを補正することを特徴とする。

本発明によれば、制御部によって、イベント信号の入力に対する計数信号の遅れを補正することとしたから、イベントの発生と、それに起因する粒子発生の計数信号とを、より正確に解析することができる。

すなわち、イベントが起きると、それがすぐに計数に表れるわけではなく、イベントが起きて、粒子が発生し、それが計数に反映するまでには、ある程度の時間がかかる。そこで、制御部において、予めそのタイムラグを考慮に入れて粒子発生時刻の補正を行うことにより、粒子発生の要因となったイベントと粒子発生情報とを、より正確に関連付けることができ、ひいてはより正確な解析に寄与することができる。なお、このような補正を、粒子計数装置で行うことにより、データ処理装置で補正を行う必要がなく、解析時間の短縮化を図ることができる。

（２） 前記制御部は、前記粒子発生の判定により、異常が発生した場合に警報信号を発することを特徴とする粒子計数装置。

本発明によれば、制御部によって、粒子発生の判定により、異常が発生した場合に警報信号を発することとしたから、異常が発生した場合、直ちに、異常が発生した粒子計数装置から警報信号が発せられることにより、システム装置の状態を加味した迅速な対応が可能となり、異常発生による被害を最小限にとどめることができる。

（３） 前記制御部は、前記イベント信号に基づき前記観測点の状態を判定する状態変換部を備えることを特徴とする粒子計数装置。

本発明によれば、制御部に、イベント信号に基づき観測点の状態を判定する状態変換部を設けることとしたから、観測点の状態と粒子発生との関連付けを行うことができ、粒子発生の要因の特定を容易にすることができる。

例えば、「システム装置の安全扉が開く」というイベントがあった場合に、「システム装置の安全扉が開いた」というイベント信号に基づいて、「人がシステム装置に入ってきた」状態であると判定することができ、その結果、粒子発生の要因として、人がシステム装置内で作業をしているためであるとの判断をすることができる。従って、粒子発生の要因となる状態と、粒子発生情報との関連付けを容易に行うことができる。

（４） 前記制御部は、前記状態変換部により判定された状態に対応する警報レベルを設定する警報レベル設定部を備えることを特徴とする粒子計数装置。

本発明によれば、制御部に、状態変換部により判定された状態に対応する警報レベルを設定する警報レベル設定部を設けることとしたから、それぞれの状態ごとに異なる警報レベルを設定することができ、監視効果を高めることができる。

例えば、「人がシステム装置内に入室している」状態での警報レベルを低く設定しておくことにより、ある一定量の粒子の発生であれば異常と判断せず、警報信号を発しないものとすることができる。また、「システム装置内が無人である」状態での警報レベルを高く設定しておくことにより、一定量以下の粒子の発生であっても異常であると判断し、警報信号を発することができる。このように、状態ごとに異なる警報レベルを設定することにより、異常状態の判断をより正確に行うことができ、監視効果を高めることができる。

（５） 観測点から採取された被検流体中の粒子を検出する測定部と、前記観測点に関連する粒子の発生要因となるイベントを表すイベント信号が入力されるイベント入力部と、前記測定部から出力される計数信号及び前記イベント信号を処理する制御部と、過去の前記イベント信号と現在の前記計数信号とのリンク信号を出力するリンク信号出力部と、を備える粒子計数装置と、前記イベントを検出して前記イベント信号を出力するイベント検出装置と、前記粒子の発生に関する情報を表示するモニタ装置と、を有する粒子計数システムであって、複数の前記粒子計数装置は、複数の前記観測点に設置されるとともに、前記イベントに起因する前記粒子の発生を判定する際に、前記リンク信号によって前記イベント信号の入力に対する前記計数信号の遅れを補正することを特徴とする粒子計数システム。

本発明によれば、観測点から採取された被検流体中の粒子を検出する測定部，観測点に関連するイベントを表すイベント信号が入力されるイベント入力部，測定部から出力される計数信号及びイベント信号を処理する制御部を備える粒子計数装置と、前記イベントを検出して前記イベント信号を出力するイベント検出装置と、モニタ装置と、を有する粒子計数システムで、複数の観測点に設置された粒子計数装置によって、イベントに起因する粒子の発生を判定することとしたので、コスト削減及びデータ処理装置における処理負荷の軽減を図ることができる。

（６） 前記複数の粒子計数装置と前記モニタ装置とを無線ＬＡＮにより接続したことを特徴とする粒子計数システム。

本発明によれば、複数の粒子計数装置とモニタ装置とを無線ＬＡＮにより接続することとしたから、複雑な配線を要することなく、複数の粒子計数装置の設置場所の自由度が高くなり、その設置を容易に行うことができる。

（７） 前記粒子計数装置は、前記イベント信号と前記計数信号とのリンク信号を前記モニタ装置に出力するリンク信号出力部を備えることを特徴とする粒子計数システム。

本発明によれば、粒子計数装置に、イベント信号と計数信号とのリンク信号をモニタ装置に出力するリンク信号出力部を設けることとしたから、例えば、外部に設置されたデータ処理装置に対して、イベント信号と計数信号とを関連付けた状態で信号を出力することが可能となる。その結果、データ処理装置で改めてイベント信号と計数信号とを関連付ける必要がなくなり、ひいてはデータ処理装置の処理時間を短縮化することができる。

以上説明したように、本発明によれば、従来、装置稼動状態信号を取得したり、ＣＣＤカメラを用いた画像の取得を行ったりするために用いていた特殊な制御装置やソフトを不要とすることができ、ひいては、コスト削減及びデータ処理装置における処理負荷の軽減を図ることができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係る粒子計数システム１００の構成を示すブロック図である。

図１において、粒子計数システム１００は、複数の粒子計数装置（パーティクルモニタ）１と、イベント検出装置２と、データ処理装置３と、を有している。なお、粒子計数装置１は、所定の観測点に複数設置（或いは常設）されるが、それらの構成は基本的に同一であるので、本実施形態では１の粒子計数装置１についてだけ着目して説明する。

粒子計数装置１は、被検流体中の粒子を検出し計数する装置であって、粒子を検出する測定部５と、装置全体の制御を行うと共に測定部５からの出力信号に基づき所定の処理を実行する制御部４と、イベント検出装置２からのイベント信号を制御部４に入力する入力Ｉ／Ｆ部２１（イベント入力部）と、制御部４からイベント検出装置２へ警報信号を出力する出力Ｉ／Ｆ部２２と、制御部４から、データ処理装置３へ粒子計数情報（カウントデータ）とイベント情報（イベントデータ）とをリンクさせたイベントリンクデータ（リンク信号）を出力する通信Ｉ／Ｆ部２３（リンク信号出力部）と、を有している。

制御部４は、マージ部１１と、データ送信部１２と、パーティクル光量Ａ／Ｄ変換部１３と、レーザ光量Ａ／Ｄ変換部１４と、から構成されている。

制御部４内のマージ部１１は、測定部５からパーティクル光量Ａ／Ｄ変換部１３を介してパーティクルカウント値（計数信号）を、イベント検出装置２から入力Ｉ／Ｆ部２１を介してイベント信号をそれぞれ取得し、取得したパーティクルカウント値とイベント信号とを関連付けたイベントリンクデータ（リンク信号）をデータ送信部１２へ出力する。この関連付けに際し、マージ部１１は、イベント信号の入力に対する計数信号の遅れを補正して、関連付けを行う。データ送信部１２は、マージ部１１から入力されたリンク信号を通信Ｉ／Ｆ部２３を介してデータ処理装置（例えばＰＣ）３へ出力する。パーティクル光量Ａ／Ｄ変換部１３は、測定部５から取得したパーティクル光量情報（電圧信号）をパーティクルカウント値に変換し、マージ部１１へ出力する。レーザ光量Ａ／Ｄ変換部１４は、測定部５のレーザ２６の光量の調整を行う。

測定部５は、光量センシング回路部２４と、光量制御回路部２５と、レーザ２６と、から構成されている。

光量制御回路部２５は、制御部４内のレーザ光量Ａ／Ｄ変換部１４からの光量調整信号に基づいて、レーザ２６に光量指令を出力し、レーザ２６の光量を制御する。レーザ２６は、パーティクル（粒子）にレーザ光を照射する。そして、その散乱光の光量信号は、光量センシング回路部２４によって検出される。光量センシング回路部２４は、検出した光量信号を制御部４内のパーティクル光量Ａ／Ｄ変換部１３、及び、レーザ光量Ａ／Ｄ変換部に電圧信号として出力する。

イベント検出装置２は、粒子計数装置１の設置場所（たとえばシステム装置内）の所定の場所に設置され、イベントの発生を監視する。イベント検出装置２は例えば、種々のセンサーや、シーケンサ等であり、イベントが発生すると、そのイベントを検出し、イベント信号として入力Ｉ／Ｆ部２１を介して粒子計数装置１の制御部４に出力する。また、粒子計数装置１が異常な計数値を示した場合には、制御部４から出力Ｉ／Ｆ部を介して警報信号を取得し、警報を発する。なお、図１においては、制御部４からイベント検出装置２に警報信号を出力し、イベント検出装置２で警報を発することとしたが、粒子計数装置１内部に警報部を設け、粒子計数装置１が警報を発することとしてもよい。

データ処理装置３は、粒子計数装置１内の制御部４でデータ送信部１２に出力されたリンク信号を通信Ｉ／Ｆ部２３を介して取得し、解析を行う。すなわち、どのようなイベントでどのようにパーティクル（粒子）が発生したのかの解析を行う。なお、本実施形態においては、データ処理装置３は同時にモニタ装置としての機能も備えており、複数の粒子計数装置１から得られる情報をもとに、イベントの発生、及び、パーティクルの発生を監視する。

図２は、本発明の実施の形態に係る粒子計数装置１が複数設置されたシステム装置４０を示す図である。図２（ａ）はシステム装置４０の平面図、図２（ｂ）は側面図を示す。

図２において、クリーンルーム内に設置されたシステム装置４０の中には、搬送ロボット４１やバッファカセット４４等の個別機器装置が設置され、所定の観測点に複数の粒子計数装置１が設置されている。システム装置４０の天井パネル４６及び壁パネル４７は透明のアクリル板等から形成されており、人や搬送車等が出入りするための安全扉４２、及び、バッファカセット４４の出し入れをするためのカセット扉４５が備えられている。

ここで、イベントとは、粒子計数装置１が設置された観測点に関連するイベントを指し、例えば、メンテナンス等で人が出入りする際に安全扉を開けること、メンテナンス等でバッファカセットを出し入れする際にカセット扉を開けること、システム装置１内で搬送ロボット４１が所定の動作を行ったこと、などが挙げられる。なお、全体的な搬送ロボット４１の動作工程の流れについて説明すると、まず、搬送ロボット４１が、システム装置４０内にガラス基板を持ち込む。次に、上流からガラス基板を搬送ロボット４１がローディングする。次に、下流側がビジーであれば、バッファカセット４４にガラス基板を搬送する。次に、下流側が空いていれば、下流へガラス基板をアンローディングする。最後に、下流側が空いていれば、バッファカセット４４からガラス基板を下流へアンローディングする。

図３は、本発明の実施の形態に係る粒子計数装置１の外観を示す図である。図２（ａ）は左側面図、図３（ｂ）は平面図、図３（ｃ）は右側面図、図３（ｄ）は背面図を示す。

図３に示すように、本発明の実施の形態に係る粒子計数装置１はその背面にイベント入力部３０及びリンク信号出力部３１を有している。イベント入力部３０を備えることにより、イベント検出装置２から、直接イベント信号を取得することが可能となり、粒子計数装置１内でパーティクルカウント値と関連付け、リンク信号とした上で、リンク信号出力部３１からデータ処理装置３へ出力することが可能となる。

なお、図３において、粒子計数装置１はその背面にイベント入力部３０及びリンク信号出力部３１を備えているが、これらを備えることなく、粒子計数装置１とイベント検出装置２及びデータ処理装置３を無線ＬＡＮで接続することとしてもよい。無線ＬＡＮを用いて接続することにより、装置同士を接続するための配線が不要となり、粒子計数装置１及びイベント検出装置２の設置場所の自由度が高くなり、より簡易に設置を行うことが可能となる。

次に、本実施形態に係る粒子計数システム１００のシステム動作について説明する。図４は、本発明の実施の形態に係る粒子計数システム１００のシステム動作を説明するためのフローチャートである。

図４において、まず、イベント入力が行われる（ステップＳ１）。図５は、イベント入力について説明するためのフローチャートである。イベント入力工程では、イベント検出装置２からのイベント信号が、前回のイベント信号と変化があったか否かが判断され（ステップＳ４１）、変化があった場合には、変化した部分がイベントとして記憶される（ステップＳ４２）。例えば、装置が稼動を開始した場合には、「装置稼動開始」といったイベントとして記憶される。

次いで、状態変換が行われる（ステップＳ２）。図６は、状態変換について説明するためのフローチャートである。状態変換行程では、ステップＳ４２で変化したとして記憶されたイベントを解釈し、状態の変化として記憶する（ステップＳ５１）。例えば、「装置稼動開始」として記憶されたイベントを解釈し、「装置稼動中」の状態であるとして記憶する。記憶する状態としては、液晶パネル生産ラインへの設置を例にとれば、「装置稼動中」の他、「安全扉開閉」「ロボット作動中」「ガラス基板受け取り中」「ガラス基板送り出し中」「カセットアクセス中」「ワイヤカセットアクセス中」等の状態があげられる。

次いで、警報レベル処理が行われる（ステップＳ３）。図７は、警報レベル処理について説明するための説明図である。警報レベル処理工程では、まず警報レベルを自動的に決定する設定になっているかどうかの判断が行われる（ステップＳ６１）。設定されていれば、イベントから生成される状態を指定し、その状態の計数データの平均値から、警報レベルが決定される（ステップＳ６２）。次いで、ステップＳ６２で決定された、またはあらかじめ設定されていた、そのイベントにおける数値条件と照らし合わせて、取得した計数データが、ステップＳ５１で記憶されたイベント状態に対応する警報レベルを超えているかどうかが判断され（ステップＳ６３）、警報レベルを超えている場合には警報信号が出力される（ステップＳ６４）。従って、どのような状態で警報レベルを超えたのかを解析することができる。また、イベント状態に合わせて、警報レベルを変更することが可能であり、特定のイベント状態のときにのみ、警報信号を出力させるとすることができる。

次いで、パーティクルカウント値とイベント信号とのリンク処理が行われる（ステップＳ４）。図８は、パーティクルカウント値とイベント信号とのリンク処理について説明するためのフローチャートである。リンク処理工程においては、まず、測定部５で検出されたパーティクルの、単位時間当たりのカウント値を求め（ステップＳ７１）、現在のイベント状態を「未来のイベントデータ」として記憶する（ステップＳ７２）。そして、マージ部１１において、現在のカウント値と、過去に記憶した「現在のイベントデータ」とをリンクして、イベントリンクデータ（リンク信号）として記憶する（ステップＳ７３）。

次いで、データ送出を行う（ステップＳ５）。図９は、データ送出処理を説明するためのフローチャートである。データ送信部１２は、データ処理装置３から、データ要求があった場合に（ステップＳ８１：ＹＥＳ）、データ処理装置３にイベントリンクデータ（リンク信号）を送信する（ステップＳ８２）。

なお、ステップＳ４の処理において、イベント信号の入力に対する計数信号の遅れを補正することとしてもよい。具体的には、被検流体を粒子計数装置に取り込むためのサンプリングチューブ長さ分のカウントデータ遅れを補正する。例えば、「システム装置の安全扉が開く」というイベントがあった場合には、それに起因して粒子が発生し、発生した粒子が測定部で検出され、粒子計数装置内でその計数が行われて、粒子発生情報としてデータ化されるまでにはある程度の時間を要するため、イベントの発生と粒子計数との間に、タイムラグが生じる場合がある。なお、この場合のタイムラグは、主にサンプリングチューブの長さとサンプリング流量で決まる。

このように、本発明の実施の形態に係る粒子計数システム１００によれば、イベント信号から変換されたイベント状態とカウント値とが、遅れ補正がなされた上で送信され、外部に備えたデータ処理装置３で、両者を同時に監視することができる。
［実施形態の効果］

以上説明したように、本実施形態に係る粒子計数装置１及び粒子計数システム１００によれば、粒子計数装置１の制御部４に、観測点に関連するイベントを表すイベント信号の双方を処理させることができるので、従来イベントの収集を行っていた特殊な制御装置が不要となり、ひいてはコスト削減及びデータ処理装置における処理負荷の軽減を図ることができる。

また、構成要素となる装置の数が少なくなることで、全体をコンパクト化でき、配線を簡易なものとすることができる。また、データ処理装置に掛かる負荷を軽減して、処理時間（パーティクルの解析時間）の短縮化を図ることができる。また、簡易な処理能力のみを持つ安価なデータ処理装置で十分対応することが可能になるため、更なる製造コストの削減を図ることができる。

さらに、出力Ｉ／Ｆ部２２を介して、制御部４から警報信号を出力可能としたので、異常発生による被害を最小限にとどめることが可能となる。具体的に説明すると、従来の、粒子の計数のみを行う粒子計数装置では、イベントに起因する異常の有無の判断はデータ処理装置でしか行うことができないため、異常が発生してから、その情報がデータ処理装置に送られ、データ処理装置から警報信号が発せられるまでにある程度の時間を要し、装置状態を加味した迅速な対応が困難であった。さらに、警報信号はデータ処理装置から発せられるものであるため、データ処理装置を監視しておく必要があり、データ処理装置でどの粒子計数装置に異常があるのかを確認した後に、粒子計数装置の対応に向かうこととなり、対応が効率的であるとは言い難いものであった。しかし、本実施形態に係る粒子計数装置１によれば、粒子計数装置１それ自体で異常発生を判断することができ、その場で警報信号を発することができるため、異常が発生してすぐに、異常が発生した粒子計数装置１それ自体から警報信号を発せられ、その場で迅速な対応をすることによって、異常発生による被害を最小限にとどめることが可能となる。

なお、従来の特許文献２に開示された技術は、状態信号を、標準背景画像を選択するために使用している。しかし、本実施形態に係る粒子計数装置１では、状態信号そのものをカウントデータとリンクして記憶して送出するものであって、状態信号を使用する目的が全く異なる。具体的には、本実施形態では、イベントから変換された状態信号とカウントデータが、時間ズレ補正がなされた上で、セットとして送信されて、外部のＰＣ等のモニタ装置で、両者を同時に（並行して）監視できるようになっている。また、特許文献２は、モニタ装置とは別体のＰＣ内で、イベント信号（装置稼動状態信号）とモニタ装置からの信号（背景画像）とを処理するものである。これに対し、本実施形態に係る粒子計数装置１では、モニタ装置内にこれらの信号を処理する構成を一体的に設けたものである。さらに、特許文献２は、ＰＣによる画像処理でパーティクルを検出しているが、本実施形態に係る粒子計数装置１では、散乱光から直接粒子を計数している。

本発明に係る粒子計数装置及び粒子計数システムは、安価で簡易な構成によって容易に粒子発生の要因を解析することができるものとして有用である。

本発明の実施の形態に係る粒子計数システムの構成を示すブロック図である。 本発明の実施の形態に係る粒子計数装置が複数設置されたシステム装置を示す図である。 本発明の実施の形態に係る粒子計数装置の外観を示す図である。 本発明の実施の形態に係る粒子計数システムのシステム動作を説明するためのフローチャートである。 イベント入力について説明するためのフローチャートである。 状態変換について説明するためのフローチャートである。 警報レベル処理について説明するための説明図である。 パーティクルカウント値とイベント信号とのリンク処理について説明するためのフローチャートである。 データ送出処理を説明するためのフローチャートである。

符号の説明

１ 粒子計数装置
２ イベント検出装置
３ データ処理装置
４ 制御部
５ 測定部
１１ マージ部
１２ データ送信部
１３ パーティクル光量Ａ／Ｄ変換部
１４ レーザ光量Ａ／Ｄ変換部
２１ 入力Ｉ／Ｆ部
２２ 出力Ｉ／Ｆ部
２３ 通信Ｉ／Ｆ部
２４ 光量センシング回路部
２５ 光量制御回路部
２６ レーザ
３０ イベント入力部
３１ リンク信号出力部
４０ システム装置
４１ 搬送ロボット
４２ 安全扉
４４ バッファカセット
４５ カセット扉
４６ 天井パネル
４７ 壁パネル
１００ 粒子計数システム

Claims (7)

1. 被検流体中の粒子を検出するために所定の観測点に設置される粒子計数装置であって、
   前記観測点から採取された前記被検流体中の粒子を検出する測定部と、
   前記観測点に関連する粒子の発生要因となるイベントを表すイベント信号が入力されるイベント入力部と、
   前記測定部から出力される計数信号と前記イベント信号を処理する制御部と、
   過去の前記イベント信号と現在の前記計数信号とのリンク信号を出力するリンク信号出力部と、を備え、
   前記制御部は、前記イベントに起因する前記粒子の発生を判定する際に、前記リンク信号によって前記イベント信号の入力に対する前記計数信号の遅れを補正することを特徴とする粒子計数装置。
2. 前記制御部は、前記粒子の発生の判定により、異常が発生した場合に警報信号を発することを特徴とする請求項１記載の粒子計数装置。
3. 前記制御部は、前記イベント信号に基づき前記観測点の状態を判定する状態変換部を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の粒子計数装置。
4. 前記制御部は、前記状態変換部により判定された状態に対応する警報レベルを設定する警報レベル設定部を備えることを特徴とする請求項３記載の粒子計数装置。
5. 観測点から採取された被検流体中の粒子を検出する測定部と、前記観測点に関連する粒子の発生要因となるイベントを表すイベント信号が入力されるイベント入力部と、前記測定部から出力される計数信号及び前記イベント信号を処理する制御部と、過去の前記イベント信号と現在の前記計数信号とのリンク信号を出力するリンク信号出力部と、を備える粒子計数装置と、
   前記イベントを検出して前記イベント信号を出力するイベント検出装置と、
   前記粒子の発生に関する情報を表示するモニタ装置と、を有する粒子計数システムであって、
   複数の前記粒子計数装置は、複数の前記観測点に設置されるとともに、前記イベントに起因する前記粒子の発生を判定する際に、前記リンク信号によって前記イベント信号の入力に対する前記計数信号の遅れを補正することを特徴とする粒子計数システム。
6. 前記複数の粒子計数装置と前記モニタ装置とを無線ＬＡＮにより接続したことを特徴とする請求項５記載の粒子計数システム。
7. 前記粒子計数装置は、前記イベント信号と前記計数信号とのリンク信号を前記モニタ装置に出力するリンク信号出力部を備えることを特徴とする請求項５又は６記載の粒子計数システム。

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