JPH0854265A

JPH0854265A - 風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法及び測定装置

Info

Publication number: JPH0854265A
Application number: JP6210389A
Authority: JP
Inventors: Yasunori Kaneko; 康紀金子
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1994-08-10
Filing date: 1994-08-10
Publication date: 1996-02-27

Abstract

(57)【要約】【目的】クリーンルーム内の風向・風速・温度と空気
中の微粒子測定において、同位置、同時測定を正確に行
うと共に、その測定結果に基づいてクリーンルーム内の
状況を正確に把握することにある。【構成】風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法
は、次のステップから成る。先ず、風向風速温度演算部
２０４の測定プローブ２００の中心Ｃから所定の距離ｒ
以内の位置に、パーティクルカウンタ１０４の空気吸引
口１００を設置し、次に、測定プローブ２００を用いた
風向・風速・温度測定と、空気吸引口１００を用いた空
気中の微粒子測定とを連続して繰り返し行う。この場
合、上記測定プローブ２００の中心Ｃから所定の距離ｒ
は、略２０ｃｍが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は風向・風速・温度と空気
中の微粒子測定方法及び測定装置、特にクリーンルーム
における風向・風速・温度と空気中の微粒子を同じ領域
内及び同じ時間内で測定する方法及び測定装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】

（１）最近、各種の産業分野でクリーンルームが利用さ
れ、特に半導体製造産業においては、クラス１（サブミ
クロンの微粒子（パーティクル）が１立方フィート（ｆ
ｔ³）の空気中に１個）のスーパークリーンルームが出
現している。このような高い清浄度を要求されるクリー
ンルームでは、風向・風速・温度と空気中の微粒子の同
位置及び同時測定を正確に行うことにより、維持管理を
徹底し、汚染源をなくす必要がある。（２）従来より、クリーンルームにおける風向と風速と
温度の測定には、超音波式の風向風速温度計が多用され
ている。クリーンルーム内では、通常は、天井全面から
下の床面に向かって風速１ｍ以下の清浄な空気が供給さ
れている（ダウンフロー）。従って、応答性がよく、測
定結果の信頼性も高い超音波式風向風速温度計が、上述
した１ｍ以下の微風速と温度の同時測定には、最適であ
る。その他の熱線式の風速温度計は、上記クリーンルー
ム内における微風速や温度の測定に対しては信頼性が低
く、また、プロペラ式の風向風速計は、微風速の測定が
不能であることから、それぞれあまり使用されてはいな
い。また、空気中の微粒子測定には、パーティクルカウ
ンタが使用されている。このパーティクルカウンタは、
先ず、クリーンルーム内の空気を、内径約３〜５ｍｍの
チューブの口から、１分当り約数１００ｃｃ〜数ｌ吸入
する。次に、この吸入した空気に含まれている微粒子に
光を当てて反射させ、光散乱現象を利用することによ
り、微粒子の数と大きさを測定している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】

（１）上述した従来の超音波式風向風速温度計とパーテ
ィクルカウンタとは、装置自体が別々に構成されてい
る。従って、風向・風速・温度測定と微粒子測定との間
には、測定場所に差が生じると共に、測定時間にも差が
生じるので、上述した同位置及び同時測定を正確に行う
ことは困難である。例えば、ある場所で風向・風速・温
度と微粒子測定とを行おうとすると、最初に風向風速温
度計をその場所に持ち込んで測定をし、次にパーティク
ルカウンタを同じ場所に持ち込んで測定をするといった
装置の交換作業がどうしても必要となる。このため、測
定時間に大きな差が生じ、両装置間の相関性が低下す
る。（２）更に、現在は、風向風速温度計とパーティクルカ
ウンタで測定した値をコンピューター処理することによ
りグラフィック化し、クリンルーム全体の状態を動的に
把握しようとする試みがなされている。しかし、このク
リンルーム全体の動的状態も、上記（１）で述べたよう
に、同位置、同時測定の結果が正確でなければ把握でき
ず、信頼性が低下する。本発明の目的は、クリーンルー
ム内の風向・風速・温度と空気中の微粒子測定におい
て、同位置、同時測定を正確に行うと共に、その測定結
果に基づいてクリーンルーム内の状況を正確に把握する
ことにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記課題を
解決するために、風向・風速・温度と空気中の微粒子測
定に関して第１発明（請求項１）である測定方法と第２
発明（請求項５）である測定装置という２つの技術的手
段を講じている。

【０００５】

【作用】従って、この発明の構成は、図１、図２、図３
に示すように、風向風速温度演算部２０４の測定プロー
ブ２００の中心Ｃから所定の距離ｒ以内の位置に、パー
ティクルカウンタ１０４の空気吸引口１００を設置し、
風向・風速・温度測定と微粒子測定とを連続して繰り返
し行うことにより、風向・風速・温度と空気中の微粒子
数測定に関して同位置、同時測定が正確に行われるよう
に作用する。

【０００６】

【実施例】以下、本発明を、実施例により添付図面を参
照して、説明する。本発明は、方法である第１発明と装
置である第２発明から構成されている。Ａ．第１発明図１は、第１発明の実施例を示す図である。以下、第１
発明を各ステップの順に説明する。

【０００７】Ａ−１．風向風速温度演算部２０４の測定
プローブ２００の中心Ｃから所定の距離ｒ以内の位置
に、パーティクルカウンタ１０４の空気吸引口１００を
設置する（図１の第１ステップＰ₁）。風向風速温度演
算部２０４（図３）の測定プローブ２００を、その上方
から見た場合（図４（Ａ））、後で詳述するように、３
組の振動子２００Ａ₁と２００Ａ₂、２００Ｂ₁と２０
０Ｂ₂、２００Ｃ₁と２００Ｃ₂の外側を連ねると、円
４が描かれるので、この円４の中心を、測定プローブ２
００の中心Ｃとする。そして、この測定プローブ２００
の中心Ｃから所定の距離ｒ以内の位置に、パーティクル
カウンタ１０４の空気吸引口１００を設置する（図３、
図４、図５）。図３の実施例では、上記所定の距離ｒが
２０ｃｍとなっているが、その理由は次のとおりであ
る。

【０００８】即ち、空気中の微粒子測定の単位となる体
積は、通常は、１立方フィート（ｆｔ³）である。例え
ば、この１ｆｔ³の空気中に微粒子が何個存在するかに
よりクリーンルームの等級（クラス）が分かれている。
既述したように、１ｆｔ³中にサブミクロンの微粒子
（パーティクル）が１個の場合は、最高級であるクラス
１のスーパークリーンルームである。

【０００９】今、空気中に、１ｆｔ³の体積を有する球
体を想定すると、この１ｆｔ³の球体の半径ｒは、よく
知られているように、１８、９ｃｍ程度となる。従っ
て、風向・風速・温度と微粒子をある限定された同じ領
域で測定しようとする場合には、このように半径が２０
ｃｍ程度の球体４００で囲まれた空気の中に、風向・風
速・温度測定用プローブ２００と、微粒子測定用の空気
吸引口１００の双方を設置する必要がある。

【００１０】このため、上述したように、風向・風速・
温度測定用プローブ２００の中心Ｃから半径ｒ、即ち約
２０ｃｍ以内の位置に空気吸引口１００を設置する。こ
れにより、空気吸引口１００は、風向・風速・温度測定
用プローブ２００と同じ領域４００内に設置されたこと
になる（図３、図４、図６）。尚、この空気吸引口１０
０設置位置の根拠となる空気の体積は、必ずしも１立方
フィートではなく、場合によっては１リットルでもよ
い。

【００１１】Ａ−２．次に、上記測定プローブ２００を
用いた風向・風速・温度測定と、上記空気吸引口１００
を用いた空気中の微粒子測定とを連続して繰り返し行う
（図１の第２ステップＰ₂、第３ステップＰ₃、第４ス
テップＰ₄）。図２は、この場合の測定動作を示したも
のであり、横軸に時間ｔ（ｍｉｎ）が、縦軸に測定の態
様が、それぞれ記されている。

【００１２】先ず、最初に風向・風速・温度測定をｔ₁
＝１分間行った後、直ちに連続して空気中の微粒子測定
をｔ₂＝３７秒間（吸引する空気量は２７０ｃｃ）行
う。風向・風速・温度と微粒子測定の順序は、どちらで
もよく、微粒子測定を最初に行ってもよい。

【００１３】このように連続測定した後、一定時間ｔ_S
だけ測定を停止する（図１の第３ステップＰ₃）。停止
時間は、例えば、ｔ_S＝１０秒間である（図２）。１０
秒間だけ測定動作を停止するのは、微粒子数測定のため
に空気吸引口１００近辺で生じた空気の乱れがなくなる
のを待つと共に、チューブ１０２（図３、図４、図５、
図６）に付着したゴミを除くことにより、次回の測定を
より正確にするためである。

【００１４】上記の第２ステップＰ₂と第３ステップＰ
₃を繰り返し（図１の第４ステップＰ₄のＮＯ）、τ時
間、例えば１０分経過した場合に測定を終了する（図１
の第４ステップＰ₄のＹＥＳ）。

【００１５】このように、本発明によれば、測定プロー
ブ２００と空気吸引口１００を同一領域４００内に設置
して、この測定プローブ２００を使用した風向・風速・
温度測定と、空気吸引口１００を使用した微粒子測定と
を、同一時間τ内で行うことができる。

【００１６】Ｂ．第２発明Ｂ−１構成図３は、第２発明に係る装置の実施例を示す全体図であ
る。同図において、参照符号１００は微粒子測定用の空
気吸引口、２００は風向・風速・温度測定プローブ、３
００は制御部である。上記測定プローブ２００は、クリ
ーンルーム（図示省略）内の風向と風速と温度を測定す
る場合の探触子であって、風向風速温度演算部２０４に
接続されている。

【００１７】この測定プローブ２００は、よく知られて
いるように、３組の振動子２００Ａ₁と２００Ａ₂、２
００Ｂ₁と２００Ｂ₂、２００Ｃ₁と２００Ｃ₂により
構成され（図４（Ａ））、それぞれが超音波パルスの送
受信素子であって、後述するように、受信した超音波パ
ルスを風向風速温度演算部２０４（図３）に入力するこ
とにより、３次元の風向風速成分が測定されると共に、
同時に温度も測定できるようになっている。上記各振動
子２００Ａ₁と２００Ａ₂、２００Ｂ₁と２００Ｂ₂、
２００Ｃ₁と２００Ｃ₂は、互いに対向する電気音響変
換素子であって、支持パイプ２０２から上方に延びる保
持金具２０１に保持されている。

【００１８】上記支持パイプ２０２と保持金具２０１
は、共に中空円筒状に形成され、風向風速計２０４にそ
の一端部が接続するコード２０３が貫通している。即
ち、コード２０３は、支持パイプ２０２の中を貫通し、
分岐して更に各保持金具２０１の中を貫通し、該コード
２０３の他端部が各振動子２００Ａ₁、２００Ａ₂・・
・に接続している。このように測定プローブ２００を構
成する各振動子２００Ａ₁、２００Ａ₂・・・は、図４
（Ｂ）に示すように、互いに５ｃｍ離れて、水平面に対
して３０°傾き、また、図４（Ａ）に示すように、３組
の振動子２００Ａ₁と２００Ａ₂、２００Ｂ₁と２００
Ｂ₂、２００Ｃ₁と２００Ｃ₂は互いに１２０°変位し
ている。

【００１９】そして、上記測定プローブ２００の中心Ｃ
から所定の距離ｒ以内の位置には、空気吸引口１００が
設置されている。この空気吸引口１００は、クリーンル
ーム内における空気中の微粒子を測定する場合に空気を
吸い込む口であり、チューブ１０２の先端部に設けら
れ、該チューブ１０２を介してパーティクルカウンタ１
０４に連結されている。

【００２０】空気吸引口１００の設置位置の基準となる
上記所定の距離ｒは、例えば、略２０ｃｍであり、第１
発明の構成（図１）において述べたように、体積１ｆｔ
³の球体４００を想定した場合のこの球体４００の半径
である。

【００２１】上記測定プローブ２００は風向風速温度演
算部２０４に接続され、空気吸引口１００はチューブ１
０２を介してパーティクルカウンタ１０４に連結されて
いる。風向風速温度演算部２０４は、既述したように、
測定プローブ２００が受信した超音波パルスを、変換さ
れた３成分の電気信号Ｓ₁として入力し、３次元の風向
風速成分と温度を測定する装置である。

【００２２】また、パーティクルカウンタ１０４は、空
気吸引口１００からクリーンルーム内の空気を、一定の
時間（例えば３７秒）、一定の体積（例えば２７０ｃ
ｃ）だけチューブ１０２を介して吸引することにより、
光の散乱現象を利用して空気中の微粒子の数と大きさを
測定する装置である。

【００２３】図４は、この第２発明を構成する測定プロ
ーブ２００と空気吸引口１００との位置関係を示す図で
ある。図４（Ａ）は、測定プローブ２００の上方から見
た場合の両者の関係を図示し、図４（Ｂ）は、測定プロ
ーブ２００の側方から見た場合の両者の関係を図示して
いる。図４から明らかなように、空気吸引口１００は、
測定プローブ２００の支持パイプ２０２の頂部２０８の
近傍に位置し、この空気吸引口１００が設けられている
チューブ１０２は、支持パイプ２０２の外側面２０６上
に取り付けられている。

【００２４】上記空気吸引口１００は、測定プローブ２
００による風向と風速と温度の測定に影響を与えない程
度に該測定プローブ２００に近付けることにより、クリ
ーンルームの同一領域４００内での風向・風速・温度と
微粒子測定を可能にする必要がある。図４に示す測定プ
ローブ２００と空気吸引口１００の位置関係は、このよ
うなことを考慮することにより、定められている。

【００２５】図５は、空気吸引口１００の実施例を示す
図である。図５（Ａ）は、空気吸引口１００が支持パイ
プ２０２の頂部２０８近傍に位置する場合であり、図４
と同じである。この場合、空気吸引口１００が設けられ
ているチューブ１０２は、既述したように、支持パイプ
２０２の外側面２０６上に取り付けられている。

【００２６】図５（Ｂ）は、支持パイプ２０２の頂部２
０８に開口部２０５を形成し、この開口部２０５に空気
吸引口１００を適合させた場合である。即ち、チューブ
１０２が、破線で示すように、支持パイプ２０２の中を
貫通しており、該チューブ１０２の先端部に設けられた
空気吸引口１００が開口部２０５内に挿入され、該開口
部２０５に適合している。

【００２７】図５（Ｃ）は、空気吸引口１００が振動子
２００Ａ₂の近傍に位置する場合である。即ち、チュー
ブ１０２が支持パイプ２０２の外側面２０６に沿って上
方に延びて、更に保持金具２０１の外側面２０７に沿っ
て上方に延びている。このようにチューブ１０２を取り
付けることにより、該チューブ１０２の先端部に設けら
れた空気吸引口１００は、振動子２００Ａ₂の近傍に位
置する。

【００２８】図５（Ｄ）は、保持金具２０１の上部に開
口部２０９を形成し、この開口部２０９に空気吸引口１
００を適合させた場合であり、図５（Ｂ）の場合に対応
している。即ち、チューブ１０２が、破線で示すよう
に、支持パイプ２０２の中を貫通して上方に延びて保持
金具２０１の入口で曲がり、更に保持金具２０１の中を
貫通して該チューブ１０２の先端部に設けられた空気吸
引口１００が開口部２０９内に挿入され、該開口部２０
９に適合している。

【００２９】図３に示す制御部３００は、風向風速温度
演算部２０４による風向・風速・温度測定とパーティク
ルカウンタ１０４による空気中の微粒子測定とを連続し
て繰り返し制御すると共に、本発明に係る測定装置全体
の制御を掌どり、例えば、ＣＰＵで構成されている。こ
の制御部３００は、風向風速温度演算部２０４とパーテ
ィクルカウンタ１０４に接続されていて、風向・風速・
温度と微粒子の測定に関して、測定時間、測定順序や切
り換え、空気吸引口１００からの空気の吸引量等全ての
制御を行う。また、制御部３００は、表示部３０２を接
続することにより、後述するように、測定結果をグラフ
ィック表示し、クリーンルーム内の風向・風速・温度と
微粒子の動的変化が把握できるようになっている。

【００３０】図６は、第２発明に係る装置の他の実施例
を示す全体図である。図３の実施例と異なるのは、反射
板５００が取付部材５０２、５０４により支持パイプ２
０２に取り付けられており、この反射板５００の直下に
測定プローブ２００を構成する２組の振動子２００Ａ₁
と２００Ａ₂、２００Ｂ₁と２００Ｂ₂が設けられてい
る点である。

【００３１】この構成により、２組の振動子である２０
０Ａ₁と２００Ａ₂及び２００Ｂ₁と２００Ｂ₂の間で
超音波パルスＵＳを上記反射板５００で反射させて送受
信させることにより、変換された２成分の電気信号Ｓ₁
を風向風速温度演算部２０４に入力して２次元の風向・
風速成分と温度を測定する。

【００３２】図６の実施例においては、パーティクルカ
ウンタ１０４に連結されているチューブ１０２が、破線
で示すように、支持パイプ２０２の中を貫通しており、
該チューブ１０２の先端部に設けられた空気吸引口１０
０が、上記測定プローブ２００の中心Ｃから所定の距離
ｒ以内の位置、例えば図示するように、測定プローブ２
００の中央部に配置されている。また、図６の実施例に
ついて、風向風速温度演算部２０４、パーティクルカウ
ンタ１０４等の機能は、図３の実施例と同様であるの
で、説明は省略する。

【００３３】Ｂ−２．動作以下、上記構成を有する本発明の動作を、図２と図３に
基づいて、説明する。尚、以下の動作は、主に図３の装
置について説明するが（３次元の風向・風速・成分と温
度及び空気中の微粒子測定）、図６の装置についても
（２次元の風向・風速・成分と温度及び空気中の微粒子
測定）同様な動作が行われる。先ず、制御部３００にお
いて（図３）、風向・風速・温度の測定時間ｔ₁（例え
ば、１分（図２））、微粒子の測定時間ｔ₂（例えば、
３７秒（図２））、停止時間ｔ_S（例えば、１０秒（図
２））、合計測定時間τ（例えば、１０分（図２））が
設定される。その他、制御部３００においては（図
３）、測定の順序、例えば、最初に風向・風速・温度の
測定を行うか、微粒子の測定を行うか等の測定に必要な
設定がなされる。

【００３４】次に、制御部３００は、例えば、風向・風
速・温度の測定を最初に行う場合は、制御信号Ｃ₁を風
向風速温度演算部２０４に送信する（図３）。上記制御
信号Ｃ₁を受信した風向風速温度演算部２０４は、高周
波交流を測定プローブ２００を構成する３組の振動子２
００Ａ₁と２００Ａ₂、２００Ｂ₁と２００Ｂ₂、２０
０Ｃ₁と２００Ｃ₂に送出して超音波パルスＵＳを送受
波せしめることにより、それぞれ３組の超音波パルスＵ
Ｓの送受波信号を、変換された３成分の電気信号Ｓ₁と
して入力し（図３）、その伝播時間の和と差から３次元
の風向・風速成分と温度を演算する。このような測定が
１分間行われた直後に（図２）、制御部３００からは、
制御信号Ｃ₂がパーティクルカウンタ１０４に送信され
る。

【００３５】上記制御信号Ｃ₂を受信したパーティクル
カウンタ１０４は、空気吸引口１００からチューブ１０
２を介して、例えば３７秒間に２７０ｃｃの空気Ｓ₃を
吸引し、空気１ｆｔ³中に存在する微粒子の数と大きさ
を測定する。

【００３６】そして、制御部３００は、上記微粒子の測
定が行われた後、停止信号を制御信号Ｃ₁、Ｃ₂として
風向風速温度演算部２０４とパーティクルカウンタ１０
４に送信することにより、１０秒だけ測定動作を停止さ
せる（図２）。

【００３７】このような測定動作が繰り返された後、１
０分間経過したら（図２）、制御部３００は、制御信号
Ｃ₁、Ｃ₂を風向風速温度演算部２０４とパーティクル
カウンタ１０４に送信することにより、全ての測定動作
を終了させる。

【００３８】上記風向風速温度演算部２０４とパーティ
クルカウンタ１０４による測定結果は、制御部３００が
測定信号Ｓ₂、Ｓ₄として入力した後、ビデオ信号Ｓ₅
に変換して表示部３０２に出力することにより、該表示
部３０２に表示される。表示部３０２には、風向・風速
・温度が合計測定時間τ（図２）、例えば３０秒から１
０分程度の平均値として、また微粒子数が単位体積（例
えば１ｆｔ³）当りの積算値として、それぞれ表示され
る。更に、制御部３００は、上記測定した風向・風速・
温度に基づいて移動空気量、顕熱輸送量を算出し、表示
部３０２に微粒子数と共に表示することも可能である。

【００３９】このようにして、表示部３０２には、クリ
ーンルーム全体の空気の動き、各部分の微粒子数の変
化、移動空気量、顕熱輸送量等が表示され、クリーンル
ーム内の動的変化を正確に把握できる。

【００４０】

【発明の効果】上記のように、本発明によれば、風向・
風速・温度と空気中の微粒子測定方法である第１発明
と、その測定装置である第２発明により、位置と時間が
同一の測定が正確に行われるので、風向・風速・温度と
空気中の微粒子測定において、同位置、同時測定を正確
に行うと共に、その測定結果に基づいてクリーンルーム
内の状況を正確に把握するという技術的効果を奏するこ
ととなった。

【００４１】

【図面の簡単な説明】

【図１】第１発明の実施例を示す図である。

【図２】第１発明の動作説明図である。

【図３】第２発明の実施例を示す全体図である。

【図４】第２発明の風向・風速・温度測定プローブと空
気吸引口の関係を示す図である。

【図５】第２発明の実施例を示す詳細図である。

【図６】第２発明の他の実施例を示す全体図である。

【符号の説明】

１００空気吸引口１０４パーティクルカウンタ１０２チューブ２００風向・風速・温度測定プローブ２０４風向風速温度演算部３００制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０６Ｍ 11/00 Ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（１）風向風速温度演算部２０４の測定プ
ローブ２００の中心Ｃから所定の距離ｒ以内の位置に、
パーティクルカウンタ１０４の空気吸引口１００を設置
するステップと、（２）上記測定プローブ２００を用い
た風向・風速・温度測定と、上記空気吸引口１００を用
いた空気中の微粒子測定とを連続して繰り返し行うステ
ップとから成ることを特徴とする風向・風速・温度と空
気中の微粒子測定方法。
【請求項２】上記（１）のステップにおいて、所定の
距離ｒが略２０ｃｍである請求項１記載の風向・風速・
温度と空気中の微粒子測定方法。
【請求項３】上記（２）のステップにおいて、風向・
風速・温度測定を最初に行い、次に連続して空気中の微
粒子測定を行う請求項１記載の風向・風速・温度と空気
中の微粒子測定方法。
【請求項４】上記（２）のステップにおいて、空気中
の微粒子測定を最初に行い、次に連続して風向・風速・
温度測定を行う請求項１記載の風向・風速・温度と空気
中の微粒子測定方法。
【請求項５】上記（２）のステップにおいて、連続測
定後、一定時間ｔ_Sだけ測定を停止する請求項１記載の
風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法。
【請求項６】風向風速温度演算部２０４に接続された
測定プローブ２００と、パーティクルカウンタ１０４に
チューブ１０２を介して連結され、上記測定プローブ２
００の中心Ｃから所定の距離ｒ以内の位置に設置された
微粒子測定用の空気吸引口１００と、上記風向風速温度演算部２０４及びパーティクルカウン
タ１０４に接続され、風向風速温度演算部２０４による
風向・風速・温度測定とパーティクルカウンタ１０４に
よる空気中の微粒子測定とを連続して繰り返し制御する
制御部３００とから成ることを特徴とする風向・風速・
温度と空気中の微粒子測定装置。
【請求項７】上記チューブ１０２が測定プローブ２０
０の支持パイプ２０２に取り付けられ、該チューブ１０
２の先端部に設けられた空気吸引口１００は、支持パイ
プ２０２の頂部２０８近傍に位置する請求項６記載の風
向・風速・温度と空気中の微粒子測定装置。
【請求項８】上記チューブ１０２が測定プローブ２０
０の支持パイプ２０２の中を貫通しており、該チューブ
１０２の先端部に設けられた空気吸引口１００は、支持
パイプ２０２の頂部２０８に形成された開口部２０５に
適合している請求項６記載の風向・風速・温度と空気中
の微粒子測定装置。
【請求項９】上記チューブ１０２が測定プローブ２０
０の支持パイプ２０２と保持金具２０１に取り付けら
れ、該チューブ１０２の先端部に設けられた空気吸引口
１００は、保持金具２０１により保持される振動子２０
０Ａ₂の近傍に位置する請求項６記載の風向・風速・温
度と空気中の微粒子測定装置。
【請求項１０】上記チューブ１０２が測定プローブ２
００の支持パイプ２０２と保持金具２０１の中を貫通し
ており、該チューブ１０２の先端部に設けられた空気吸
引口１００は、保持金具２０１の上部に形成された開口
部２０９に適合している請求項６記載の風向・風速・温
度と空気中の微粒子測定装置。