JP4960161B2 - 検査データ処理装置及び検査データ処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品の欠点を検査することで得られる検査データを処理する検査データ処理装置及びその方法に関するものである。

従来、光学フィルム製造メーカーでは、光学フィルム部材を有する帯状のシート状製品をロールに巻き取るようにして連続して又は各工程ごとに別製造ラインで製造している。この「帯状のシート状製品」として、例えば、液晶表示装置に用いられる偏光板原反、位相差板原反、偏光板と位相差板の積層フィルム原反等がある。

このシート状製品と光学表示ユニットを貼り合わせるために粘着剤が用いられるが、この粘着剤は予めシート状製品に粘着層として形成され、さらに、粘着層の保護用に離型フィルム（セパレータと称することがある）が形成されている。

図４の積層構造の偏光板を有するシート状製品の製造工程の従来例を以下に説明する。まず、前工程として、（A）偏光子を得る工程。ここでは、染色・架橋及び延伸処理を施したポリビニルアルコール（PVA）フィルムを乾燥して偏光子を得る。（B）偏光板を製造する工程。ここでは、偏光子の両面に接着剤を介してトリアセチルセルロース（TAC）フィルムを貼り合わせ偏光子保護層を積層し偏光板を製造する。ここで図面では上に積層されるTACフィルムにはアンチグレア処理が予め施されている。（C）セパレータ及び保護フィルムを貼り合わせる工程。偏光板の一方の面（図面では下側）に強粘着剤を介してセパレータを、もう一方の面（図面では上側）に弱粘着剤を介して保護フィルムを貼り合わせる。ここで、セパレータには予め強粘着剤が塗工され、保護フィルムには弱粘着剤が塗工されている。セパレータに塗工され強粘着剤は、セパレータを剥離後、TACに転写される。また、保護フィルムに塗工された弱粘着剤は、保護フィルムを剥離しても保護フィルムに形成されたままであり、TACに実質的に転写されない。以上の前工程では、帯状のシート状製品が製造され、ロール状に巻き取られ、後工程に提供される。

この前工程（Ａ，Ｂ，Ｃ）では、工程ごとに検査者による所定の検査が行なわれている。例えば、工程（A）の場合、ＰＶＡ原反の搬送途中で、検査者が目視で欠点（異物、汚れ、ねじれ等）を確認していた。また、工程（B）の場合、得られた偏光板原反をロール状に巻き取る際に、検査者が目視でロールの巻き始めと巻き終わりのタイミングで欠点（異物、汚れ、クニック、ねじれ、よれ等）を確認していた。また、欠点検査装置（異物、汚れ等をカメラで撮影し、画像処理して欠点を判定する公知の装置）で貼り合わせ後の偏光板原反を自動的に検査し、モニターで欠点を確認し、欠点のモニターリングにより、主に状態管理（監視）に利用していた。

また、工程（C）の場合、得られた帯状のシート状製品原反をロール状巻き取る際に、検査者が目視でロールの巻き始めと巻き終わりのタイミングで欠点（異物、汚れ、ねじれ等）を確認し、この欠点を評価することでシート状製品原反の格付け（良、不良、出荷可否）を行なっていた。

次いで、後工程として、（D）原反ロールの検査工程。ここでは、シート状製品原反ロールの外観をロール式自動検反装置及び／または検査者による目視検査が行なわれる。ロール式自動検反装置は、巻き不良、外観不良等をカメラで撮影し、画像処理して欠点を判定する公知の装置である。（E）枚葉のシート状製品に切断する工程。ここでは、原反ロールからシート状製品を引き出し、所定のサイズに切断する。切断方法としては、例えば、定尺切断、連続打ち抜き等が挙げられる。（F）枚葉のシート状製品を検査する工程。ここでは、枚葉式自動検査装置及び検査者による目視検査をする。枚葉式自動検査装置は、枚葉のシート状製品の欠点（欠点ともいう）を自動で検査する装置であり、光を照射し、その反射光像や透過光像をラインセンサーや２次元ＴＶカメラなどの撮像部を介して取得し、取得された画像データに基づいて、欠点検出を行う。また、光源と撮像部の間の光路中に検査用偏光フィルタを介在させた状態で画像データを取得する。通常、この検査用偏光フィルタの偏光軸（例えば、偏光吸収軸）は、検査対象である偏光板の偏光軸（例えば、偏光吸収軸）と直交する状態（クロスニコル）となるように配置される。クロスニコルに配置することで、仮に欠点が存在しなければ撮像部から全面黒の画像が入力されるが、欠点が存在すれば、その部分が黒にならない（輝点として認識される）。従って、適宜のしきい値を設定することで、欠点を検出することができる。

以上で説明したように、後工程（D、E、F）では、ロール状に巻かれたシート状製品原反を引き出して、所定サイズの枚葉のシート状製品に切断し、所定の欠点検査を行なって、出荷判定が行なわれている。

以上で説明したとおり、前工程において、偏光板形成後に欠点検査装置で欠点の検査を行っている。そこでは、通常、検査用偏光フィルタを検査対象物とCCDカメラの間に配置し、検査対象物との偏光軸がクロスニコルの状態（０度クロス）になるようにして輝点検出を行っている。輝点検出では、表面付着物、内部の異物等の欠点が輝点として検出されている。また、この輝点検出のほかに、対象物に対して透過光画像をCCD撮像し画像解析することで異物検出する方法も採用されている。また、対象物に対して反射光画像をCCD撮像し画像解析することで表面付着異物を検出する方法も採用されている。

また、以下のシート状製品の検査システム、シート状製品製造システムが公知である（特許文献１）。帯状の偏光板原反の欠点を検出し、この欠点の位置情報をバーコードの形態で偏光板原反の幅方向端部に印字し、バーコードが記録された帯状の偏光板原反をロールに巻き取る。そして、ロールから帯状の偏光板原反を引き出し、偏光板原反の幅方向端部に印字されているバーコードを検出して、このバーコードに基づいて、欠点箇所にマーキングを行い、このマーキング後に、偏光板原反から個々の偏光板を打ち抜くことができる。マーキングされた欠点を含む打抜かれた偏光板は、不良品として判定される。

ところで、近年の撮像技術、画像解析技術の進歩によって、μｍ単位の欠点が検出可能となっている。また、表示装置の高品質、高画質化の要請から、欠点検査精度を高める必要が生じている。

特開２００５−６２１６５号公報

上述したように、シート状製品の製造工程は複雑で、多工程からなっている。そして、シート状製品は、幅が大きく、長尺であり、各製造工程において、ロール状原反から引き出され各工程の処理がなされている。つまり、シート状製品は帯状に引き出され、処理が終了すると再度ロール状に巻き取られる。その間、シート表面が外部にされられることとなり、外部から汚染されやすい。特に、空気中の埃、塵等が付着したり、処理液中の異物が付着してそのまま乾燥する場合がある。しかし、これらの表面に付着する異物は、その後の工程で強制除去（例えば、吸い込み除去、静電吸着除去等）、表面洗浄処理等を行うことで、最終的な欠点とはならない。

このように、表面付着物を欠点として判定した場合、シート状製品の取り数が減少し、歩留まりを低下させることになり問題である。また、特許文献１の方法を用いてシート状製品を製造する場合、表面付着異物の欠点が、そのまま欠点として判定され、マーキングされてしまい、打ち抜かれた後に不良品として取り扱われることとなり歩留まり低下の原因となる。

これを解決するために、表面付着物か否かの判定を画像解析処理等で行う方法も考えられるが、複雑なアルゴリズムを必要とし、データ処理自体が複雑となり好ましくない。

本発明は、上記の実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、従来の検査方法を用いて、簡単に表面付着異物の欠点を判定し、表面付着異物は欠点として扱わないようにデータ処理する検査データ処理装置及び検査データ処理方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、鋭意研究を重ねた結果、以下の発明を完成するに至った。

本発明の検査データ処理装置は、光学表示装置の部材である偏光板を含む光学フィルムを少なくとも有するシート状製品を搬送しながら欠点を検査することで得られる検査データを処理する検査データ処理装置であって、
光学フィルムまたは光学フィルムを含む積層体を検査対象とした場合に、当該検査対象の表面の反射光像から得られる表面欠点に関する表面欠点検査データ及び、当該検査対象の偏光軸に対しクロスニコルになるように配置した検査用偏光フィルタを介在させて当該検査対象の透過光像から得られる輝点に関する輝点検査データに基づいて、表面欠点の位置と輝点の位置とが同一である場合に、当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして欠点情報を作成する欠点情報作成部を備える。

上記構成の作用効果は以下のとおりである。検査データ処理装置は、光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品の欠点を検査することで得られる検査データを処理する機能を有している。そして、欠点情報作成部は、光学フィルムまたは光学フィルムを含む積層体を検査対象とした場合に得られる表面欠点に関する表面欠点検査データ及び輝点に関する輝点検査データに基づいて、表面欠点の位置と輝点の位置とが同一である場合に、当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして処理する。

これによって、表面付着異物の欠点を欠点として扱わないので、データ処理能力が向上する。従来では、表面付着物を欠点として扱っていたために、製品歩留まりが低下していたが、本発明によって、表面付着異物を欠点として扱わないようになったので、製品歩留まり、取り数も大幅に向上する。

また、本発明において、前記欠点情報作成部は、同一位置であって、さらに欠点と輝点のサイズ及び／又はその形状が同一又は略同一である場合に当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして欠点情報を作成することが好ましい。

これによって、同一位置の判断に加え、サイズ及び／又は形状が同一又は略同一であるか否かの判断もすることで、表面付着異物であることを、より精度良く判定することができる。また、本発明の光学フィルムとして偏光子が挙げられる。

また、他の本発明の検査データ処理方法は、光学表示装置の部材である偏光板を含む光学フィルムを少なくとも有するシート状製品を搬送しながら欠点を検査することで得られる検査データを処理する検査データ処理方法であって、
光学フィルムまたは光学フィルムを含む積層体を検査対象とした場合に、当該検査対象の表面の反射光像から得られる表面欠点に関する表面欠点検査データ及び、当該検査対象の偏光軸に対しクロスニコルになるように配置した検査用偏光フィルタを介在させて当該検査対象の透過光像から得られる輝点に関する輝点検査データに基づいて、表面欠点の位置と輝点の位置とが同一である場合に、当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして欠点情報を作成することを特徴とする。

上記検査データ処理方法において、同一位置であって、さらに欠点と輝点のサイズ及び／又はその形状が同一又は略同一である場合に当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして欠点情報を作成することがより好ましい。

この検査データ処理方法の作用効果は、上記検査データ処理装置で説明した作用効果と同様である。

本発明において、「欠点」は、例えば、表面又は内部の汚れ、傷、異物をかみ込んだ打痕状のひねったような特殊状欠点（クニックと称されることがある）、気泡、異物、等を意味している。

「検査データ」は、例えば、欠点の種類に関する情報、欠点の座標に関する情報等の情報である。「欠点情報」は、例えば、欠点の種類に関する情報、欠点の座標、製造識別情報、検査対象識別情報等の情報である。検査データ又は欠点情報は、ロール状または枚葉のシート状製品を製造（例えば、スリットや切断）するために用いることができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。

＜シート状製品＞
本発明において扱うシート状製品の例として、偏光板原反をあげて説明する。偏光板原反は、長い帯状に形成され、フィルム状の偏光板原反から個々の大きさの偏光板を打ち抜き（又は切断）により得ることがきる。偏光板原反は、予め製造しておいたポリビニルアルコール系フィルム（偏光子）の表裏両面に例えばトリアセチルセルロースフィルム（透明の偏光子保護層）を貼り合わせることで得ることができる。この多層構造とされた偏光板原反の表面あるいは内部に存在する欠点（キズ、異物、クニック、汚れなど）を検出する必要がある。これは、後述する検出手段によって検出される。

偏光板原反は、従来技術でも説明したが、（A）偏光子を得る工程、（B）偏光板を製造する工程、（C）セパレータ及び保護フィルムを貼り合わせる工程、を含む製造方法により製造される。

ポリビニルアルコール系フィルムの染色、架橋、延伸の各処理は、別々に行う必要はなく同時に行ってもよく、また、各処理の順番も任意でよい。なお、ポリビニルアルコール系フィルムとして、膨潤処理を施したポリビニルアルコール系フィルムを用いてもよい。一般には、ポリビニルアルコール系フィルムを、ヨウ素や二色性色素を含む溶液に浸漬し、ヨウ素や二色性色素を吸着させて染色した後洗浄し、ホウ酸やホウ砂等を含む溶液中で延伸倍率３倍〜７倍で一軸延伸した後、乾燥する。ヨウ素や二色性色素を含む溶液中で延伸した後、ホウ酸やホウ砂等を含む溶液中でさらに延伸（二段延伸）した後、乾燥することにより、ヨウ素の配向が高くなり、偏光度特性が良くなるため、特に好ましい。

上記のポリビニルアルコール系ポリマーとしては、例えば、酢酸ビニルを重合した後にケン化したものや、酢酸ビニルに少量の不飽和カルボン酸、不飽和スルホン酸、カチオン性モノマー等の共重合可能なモノマーを共重合したもの、等が挙げられる。ポリビニルアルコール系ポリマーの平均重合度は、特に制限されず任意のものを使用することができるが、１０００以上が好ましく、より好ましくは２０００〜５０００である。また、ポリビニルアルコール系ポリマーのケン化度は８５モル％以上が好ましく、より好ましくは９８〜１００モル％である。

製造される偏光子の厚さは、５〜８０μｍが一般的であるが、これに限定するものではなく、また、偏光子の厚さを調整する方法に関しても、特に限定するものではなく、テンター、ロール延伸や圧延等の通常の方法を用いることができる。

偏光子と保護層である透明の偏光子保護層との接着処理は、特に限定されるものではないが、例えば、ビニルアルコール系ポリマーからなる接着剤、あるいは、ホウ酸やホウ砂、グルタルアルデヒドやメラミン、シュウ酸などのビニルアルコール系ポリマーの水溶性架橋剤から少なくともなる接着剤等を介して行うことができる。かかる接着層は、水溶液の塗布乾燥層等として形成されるが、その水溶液の調製に際しては必要に応じて、他の添加剤や、酸等の触媒も配合することができる。

偏光子の片側又は両側に設ける偏光子保護層には、適宜な透明フィルムを用いることができる。中でも、透明性や機械的強度、熱安定性や水分遮蔽性等に優れるポリマーからなるフィルムが好ましく用いられる。そのポリマーとしては、トリアセチルセルロースの如きアセテート系樹脂、ポリカーボネイト系樹脂、ポリアリレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリノルボルネン系樹脂、ポリメチルメタクリレート系樹脂、液晶ポリマー等が挙げられる。フィルムは、キャスティング法、カレンダー法、押出し法のいずれで製造したものでもよい。

また、特開２００１−３４３５２９号公報（ＷＯ０１／３７００７）に記載のポリマーフィルム、たとえば、（Ａ）側鎖に置換および／または非置換イミド基を有する熱可塑性樹脂と、（Ｂ）側鎖に置換および／非置換フェニルならびにニトリル基を有する熱可塑性樹脂を含有する樹脂組成物があげられる。具体例としてはイソブチレンとＮ−メチルマレイミドからなる交互共重合体とアクリロニトリル・スチレン共重合体とを含有する樹脂組成物のフィルムがあげられる。フィルムは樹脂組成物の混合押出品などからなるフィルムを用いることができる。これらのフィルムは位相差が小さく、光弾性係数が小さいため偏光板の歪みによるムラなどの不具合を解消することができ、また透湿度が小さいため、加湿耐久性に優れる。

また、偏光子保護層は、できるだけ色付きがないことが好ましい。したがって、Ｒｔｈ＝［（ｎｘ＋ｎｙ）／２−ｎｚ］・ｄ（ただし、ｎｘ、ｎｙはフィルム平面内の主屈折率、ｎｚはフィルム厚方向の屈折率、ｄはフィルム厚みである）で表されるフィルム厚み方向の位相差値が−９０ｎｍ〜＋７５ｎｍである保護フィルムが好ましく用いられる。かかる厚み方向の位相差値（Ｒｔｈ）が−９０ｎｍ〜＋７５ｎｍのものを使用することにより、保護フィルムに起因する偏光板の着色（光学的な着色）をほぼ解消することができる。厚み方向位相差値（Ｒｔｈ）は、さらに好ましくは−８０ｎｍ〜＋６０ｎｍ、特に−７０ｎｍ〜＋４５ｎｍが好ましい。

偏光特性や耐久性などの点から、トリアセチルセルロースの如きアセテート系樹脂が好ましく、特に表面をアルカリなどでケン化処理したトリアセチルセルロースフィルムが好ましい。

偏光子保護層の厚さは、任意であるが、一般には偏光板の薄型化等を目的に、５００μｍ以下、好ましくは１〜３００μｍ、特に好ましくは５〜２００μｍとされる。なお、偏光フィルムの両側に透明フィルムの偏光子保護層を設ける場合、その表裏で異なるポリマー等からなる透明フィルムとすることもできる。

偏光子保護層は、本発明の目的を損なわない限り、ハードコート処理や反射防止処理、スティッキングの防止や拡散ないしアンチグレア等を目的とした処理等を施したものであってもよい。ハードコート処理は、偏光板表面の傷付き防止などを目的に施されるものであり、例えばシリコーン系などの適宜な紫外線硬化型樹脂による硬度や滑り性等に優れる硬化皮膜を透明保護フィルムの表面に付加する方式などにて形成することができる。

一方、反射防止処理は、偏光板表面での外光の反射防止を目的に施されるものであり、従来に準じた反射防止膜などの形成により達成することができる。また、スティッキング防止は隣接層との密着防止を目的に、アンチグレア処理は偏光板の表面で外光が反射して偏光板透過光の視認を阻害することの防止などを目的に施されるものであり、例えばサンドブラスト方式やエンボス加工方式等による粗面化方式や透明微粒子の配合方式などの適宜な方式にて透明保護フィルムの表面に微細凹凸構造を付与することにより形成することができる。

前記の透明微粒子には、例えば平均粒径が０．５〜２０μｍのシリカやアルミナ、チタニアやジルコニア、酸化錫や酸化インジウム、酸化カドミウムや酸化アンチモン等が挙げられ、導電性を有する無機系微粒子を用いてもよく、また、架橋又は未架橋のポリマー粒状物等からなる有機系微粒子などを用いることができる。透明微粒子の使用量は、透明樹脂１００質量部あたり２〜７０質量部、特に５〜５０質量部が一般的である。

さらに、透明微粒子配合のアンチグレア層は、透明保護層そのものとして、あるいは透明保護層表面への塗工層などとして設けることができる。アンチグレア層は、偏光板透過光を拡散して視角を拡大するための拡散層（視角補償機能など）を兼ねるものであってもよい。なお、上記した反射防止層やスティッキング防止層、拡散層やアンチグレア層等は、それらの層を設けたシートなどからなる光学層として透明保護層とは別体のものとして設けることもできる。

本発明によるシート状製品は、実用に際して各種光学層を積層して光学フィルムとして用いることができる。その光学層については特に限定されるものではないが、例えば、前記透明保護フィルムの偏光子を接着させない面（前記接着剤塗布層を設けない面）に対して、ハードコート処理や反射防止処理、スティッキング防止や、拡散ないしアンチグレアを目的とした表面処理を施したり、視角補償等を目的とした配向液晶層を積層する方法があげられる。また、反射板や半透過板、位相差板（１／２や１／４等の波長板（λ板）を含む）、視角補償フィルムなどの液晶表示装置等の形成に用いられる光学フィルムを１層または２層以上貼りあわせたものもあげられる。特にシート状製品が偏光板であれば、反射板または半透過反射板が積層されてなる反射型偏光板または半透過型偏光板、位相差板が積層されてなる楕円偏光板または円偏光板、視角補償層または視角補償フィルムが積層されてなる広視野角偏光板、あるいは輝度向上フィルムが積層されてなる偏光板として好ましく適用される。

反射型偏光板は、偏光板に反射層を設けたもので、視認側（表示側）からの入射光を反射させて表示するタイプの液晶表示装置などを形成するためのものであり、バックライト等の光源の内蔵を省略できて、液晶表示装置の薄型化を図りやすいなどの利点を有する。反射型偏光板の形成は、必要に応じ透明保護層等を介して偏光板の片面に金属等からなる反射層を付設する方式などの適宜な方式にて行なうことができる。

反射型偏光板の具体例としては、必要に応じマット処理した透明保護フィルムの片面に、アルミニウム等の反射性金属からなる箔や蒸着膜を付設して反射層を形成したものなどがあげられる。また前記透明保護フィルムに微粒子を含有させて表面微細凹凸構造とし、その上に微細凹凸構造の反射層を有するものなどもあげられる。前記した微細凹凸構造の反射層は、入射光を乱反射により拡散させて指向性やギラギラした見栄えを防止し、明暗のムラを抑制しうる利点などを有する。また微粒子含有の透明保護フィルムは、入射光及びその反射光がそれを透過する際に拡散されて明暗ムラをより抑制しうる利点なども有している。透明保護フィルムの表面微細凹凸構造を反映させた微細凹凸構造の反射層の形成は、例えば真空蒸着方式、イオンプレーティング方式、スパッタリング方式等の蒸着方式やメッキ方式などの適宜な方式で金属を透明保護層の表面に直接付設する方法などにより行なうことができる。

反射板は前記の偏光板の透明フィルム（偏光子保護層）に直接付与する方式に代えて、その透明フィルムに準じた適宜なフィルムに反射層を設けてなる反射シートなどとして用いることもできる。なお反射層は、通常、金属からなるので、その反射面が透明フィルムや偏光板等で被覆された状態の使用形態が、酸化による反射率の低下防止、ひいては初期反射率の長期持続の点や、保護層の別途付設の回避の点などより好ましい。

なお、半透過型偏光板は、上記において反射層で光を反射し、かつ透過するハーフミラー等の半透過型の反射層とすることにより得ることができる。半透過型偏光板は、通常液晶セルの裏側に設けられ、液晶表示装置などを比較的明るい雰囲気で使用する場合には、視認側（表示側）からの入射光を反射させて画像を表示し、比較的暗い雰囲気においては、半透過型偏光板のバックサイドに内蔵されているバックライト等の内蔵光源を使用して画像を表示するタイプの液晶表示装置などを形成できる。すなわち、半透過型偏光板は、明るい雰囲気下では、バックライト等の光源使用のエネルギーを節約でき、比較的暗い雰囲気下においても内蔵光源を用いて使用できるタイプの液晶表示装置などの形成に有用である。

偏光板に更に位相差板が積層されてなる楕円偏光板または円偏光板について説明する。直線偏光を楕円偏光または円偏光に変えたり、楕円偏光または円偏光を直線偏光に変えたり、あるいは直線偏光の偏光方向を変える場合に、位相差板などが用いられる。特に、直線偏光を円偏光に変えたり、円偏光を直線偏光に変える位相差板としては、いわゆる１／４波長板（λ／４板とも言う）が用いられる。１／２波長板（λ／２板とも言う）は、通常、直線偏光の偏光方向を変える場合に用いられる。

楕円偏光板はスーパーツイストネマチック（ＳＴＮ）型液晶表示装置の液晶層の複屈折により生じた着色（青又は黄）を補償（防止）して、前記着色のない白黒表示する場合などに有効に用いられる。更に、三次元の屈折率を制御したものは、液晶表示装置の画面を斜め方向から見た際に生じる着色も補償（防止）することができて好ましい。円偏光板は、例えば画像がカラー表示になる反射型液晶表示装置の画像の色調を整える場合などに有効に用いられ、また、反射防止の機能も有する。

他の例としては位相差板が挙げられる。位相差板としては、高分子素材を一軸または二軸延伸処理してなる福屈折性フィルム、液晶ポリマーの配向フィルム、液晶ポリマーの配向層をフィルムにて支持したものなどがあげられる。延伸処理は、例えばロール延伸法、長間隙沿延伸法、テンター延伸法、チューブラー延伸法などにより行うことができる。延伸倍率は、一軸延伸の場合には１．１〜３倍程度が一般的である。位相差板の厚さも特に制限されないが、一般的には１０〜２００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍである。

前記高分子材料としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルビニルエーテル、ポリヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセルロース、ポリカーボネイト、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルファイド、ポリフェニレンオキサイド、ポリアリルスルホン、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリイミド、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、セルロース系重合体、またはこれらの二元系、三元系各種共重合体、グラフト共重合体、ブレンド物などがあげられる。これら高分子素材は延伸等により配向物（延伸フィルム）となる。

前記液晶ポリマーとしては、例えば、液晶配向性を付与する共役性の直線状原子団（メソゲン）がポリマーの主鎖や側鎖に導入された主鎖型や側鎖型の各種のものなどがあげられる。主鎖型の液晶性ポリマーの具体例としては、屈曲性を付与するスペーサ部でメソゲン基を結合した構造の、例えばネマチック配向性のポリエステル系液晶性ポリマー、ディスコティックポリマーやコレステリックポリマーなどがあげられる。側鎖型の液晶性ポリマーの具体例としては、ポリシロキサン、ポリアクリレート、ポリメタクリレートまたはポリマロネートを主鎖骨格とし、側鎖として共役性の原子団からなるスペーサ部を介してネマチック配向付与性のパラ置換環状化合物単位からなるメソゲン部を有するものなどがあげられる。これら液晶性ポリマーは、例えば、ガラス板上に形成したポリイミドやポリビニルアルコール等の薄膜の表面をラビング処理したもの、酸化ケイ素を斜方蒸着したものなどの配向処理面上に液晶性ポリマーの溶液を展開して熱処理することにより行われる。

位相差板は、例えば各種波長板や液晶層の複屈折による着色や視角等の補償を目的としたものなどの使用目的に応じた適宜な位相差を有するものであってよく、２種以上の位相差板を積層して位相差等の光学特性を制御したものなどであってもよい。

視角補償フィルムは、液晶表示装置の画面を、画面に垂直でなくやや斜めの方向から見た場合でも、画像が比較的鮮明にみえるように視野角を広げるためのフィルムである。このような視角補償位相差板としては、例えば位相差フィルム、液晶ポリマー等の配向フィルムや透明基材上に液晶ポリマー等の配向層を支持したものなどからなる。通常の位相差板は、その面方向に一軸に延伸された複屈折を有するポリマーフィルムが用いられるのに対し、視角補償フィルムとして用いられる位相差板には、面方向に二軸に延伸された複屈折を有するポリマーフィルムとか、面方向に一軸に延伸され厚さ方向にも延伸された厚さ方向の屈折率を制御した複屈折を有するポリマーや傾斜配向フィルムのような二方向延伸フィルムなどが用いられる。傾斜配向フィルムとしては、例えばポリマーフィルムに熱収縮フィルムを接着して加熱によるその収縮力の作用下にポリマーフィルムを延伸処理又は／及び収縮処理したものや、液晶ポリマーを斜め配向させたものなどが挙げられる。位相差板の素材原料ポリマーは、先の位相差板で説明したポリマーと同様のものが用いられ、液晶セルによる位相差に基づく視認角の変化による着色等の防止や良視認の視野角の拡大などを目的とした適宜なものを用いうる。

また良視認の広い視野角を達成する点などより、液晶ポリマーの配向層、特にディスコティック液晶ポリマーの傾斜配向層からなる光学的異方性層をトリアセチルセルロースフィルムにて支持した光学補償位相差板が好ましく用いうる。

偏光板と輝度向上フィルムを貼り合わせた偏光板は、通常液晶セルの裏側サイドに設けられて使用される。輝度向上フィルムは、液晶表示装置などのバックライトや裏側からの反射などにより自然光が入射すると所定偏光軸の直線偏光または所定方向の円偏光を反射し、他の光は透過する特性を示すもので、輝度向上フィルムを偏光板と積層した偏光板は、バックライト等の光源からの光を入射させて所定偏光状態の透過光を得ると共に、前記所定偏光状態以外の光は透過せずに反射される。この輝度向上フィルム面で反射した光を更にその後ろ側に設けられた反射層等を介し反転させて輝度向上フィルムに再入射させ、その一部又は全部を所定偏光状態の光として透過させて輝度向上フィルムを透過する光の増量を図ると共に、偏光子に吸収させにくい偏光を供給して液晶表示画像表示等に利用しうる光量の増大を図ることにより輝度を向上させうるものである。すなわち、輝度向上フィルムを使用せずに、バックライトなどで液晶セルの裏側から偏光子を通して光を入射した場合には、偏光子の偏光軸に一致していない偏光方向を有する光は、ほとんど偏光子に吸収されてしまい、偏光子を透過してこない。すなわち、用いた偏光子の特性によっても異なるが、およそ５０％の光が偏光子に吸収されてしまい、その分、液晶画像表示等に利用しうる光量が減少し、画像が暗くなる。輝度向上フィルムは、偏光子に吸収されるような偏光方向を有する光を偏光子に入射させずに輝度向上フィルムで一旦反射させ、更にその後ろ側に設けられた反射層等を介して反転させて輝度向上フィルムに再入射させることを繰り返し、この両者間で反射、反転している光の偏光方向が偏光子を通過し得るような偏光方向になった偏光のみを、輝度向上フィルムは透過させて偏光子に供給するので、バックライトなどの光を効率的に液晶表示装置の画像の表示に使用でき、画面を明るくすることができる。

輝度向上フィルムと上記反射層等の間に拡散板を設けることもできる。輝度向上フィルムによって反射した偏光状態の光は上記反射層等に向かうが、設置された拡散板は通過する光を均一に拡散すると同時に偏光状態を解消し、非偏光状態となる。すなわち、拡散板は偏光を元の自然光状態にもどす。この非偏光状態、すなわち自然光状態の光が反射層等に向かい、反射層等を介して反射し、再び拡散板を通過して輝度向上フィルムに再入射することを繰り返す。このように輝度向上フィルムと上記反射層等の間に、偏光を元の自然光状態にもどす拡散板を設けることにより表示画面の明るさを維持しつつ、同時に表示画面の明るさのむらを少なくし、均一で明るい画面を提供することができる。かかる拡散板を設けることにより、初回の入射光は反射の繰り返し回数が程よく増加し、拡散板の拡散機能と相俟って均一の明るい表示画面を提供することができたものと考えられる。

前記の輝度向上フィルムとしては、例えば誘電体の多層薄膜や屈折率異方性が相違する薄膜フィルムの多層積層体の如き、所定偏光軸の直線偏光を透過して他の光は反射する特性を示すもの、コレステリック液晶ポリマーの配向フィルムやその配向液晶層をフィルム基材上に支持したものの如き、左回り又は右回りのいずれか一方の円偏光を反射して他の光は透過する特性を示すものなどの適宜なものを用いうる。

従って、前記した所定偏光軸の直線偏光を透過させるタイプの輝度向上フィルムでは、その透過光をそのまま偏光板に偏光軸を揃えて入射させることにより、偏光板による吸収ロスを抑制しつつ効率よく透過させることができる。一方、コレステリック液晶層の如く円偏光を透過するタイプの輝度向上フィルムでは、そのまま偏光子に入射させることもできるが、吸収ロスを抑制する点よりその円偏光を位相差板を介し直線偏光化して偏光板に入射させることが好ましい。なお、その位相差板として１／４波長板を用いることにより、円偏光を直線偏光に変換することができる。

可視光域等の広い波長範囲で１／４波長板として機能する位相差板は、例えば波長５５０ｎｍの淡色光に対して１／４波長板として機能する位相差層と他の位相差特性を示す位相差層、例えば１／２波長板として機能する位相差層とを重畳する方式などにより得ることができる。従って、偏光板と輝度向上フィルムの間に配置する位相差板は、１層又は２層以上の位相差層からなるものであってよい。

なお、コレステリック液晶層についても、反射波長が相違するものの組合せにして２層又は３層以上重畳した配置構造とすることにより、可視光領域等の広い波長範囲で円偏光を反射するものを得ることができ、それに基づいて広い波長範囲の透過円偏光を得ることができる。

また、本発明のシート状製品（例えば偏光板）は、上記の偏光分離型偏光板の如く、偏光板と２層又は３層以上の光学層とを積層したものからなっていてもよい。従って、上記の反射型偏光板や半透過型偏光板と位相差板を組み合わせた反射型楕円偏光板や半透過型楕円偏光板などであってもよい。

偏光板に前記光学層を積層した光学フィルムは、液晶表示装置等の製造過程で順次別個に積層する方式にても形成することができるが、予め積層して光学フィルムとしたものは、品質の安定性や組立作業等に優れていて液晶表示装置などの製造工程を向上させうる利点がある。積層には粘着剤層等の適宜な接着手段を用いうる。前記の偏光板と他の光学層の接着に際し、それらの光学軸は目的とする位相差特性などに応じて適宜な配置角度とすることができる。

本発明による偏光板や、前記の積層光学部材には、液晶セル等の他部材と接着するための粘着層が設けられる。その粘着層は、特に限定されるものではないが、アクリル系等の従来に準じた適宜な粘着剤にて形成することができる。吸湿による発泡現象や剥がれ現象の防止、熱膨脹差等による光学特性の低下や液晶セルの反り防止、ひいては高品質で耐久性に優れる画像表示装置の形成性等の点により、吸湿率が低くて耐熱性に優れる粘着層であることが好ましい。また、微粒子を含有して光拡散性を示す粘着層などとすることができる。粘着層は必要に応じて必要な面に設ければよく、例えば、偏光子と偏光子保護層からなる偏光板について言及するならば、必要に応じて、偏光子保護層の片面または両面に粘着層を設ければよい。

前記粘着層の露出面に対しては、実用に供するまでの間、その汚染防止等を目的にセパレータ（離型フィルムと称することがある。）が仮着されてカバーされる。これにより、通例の取扱状態で粘着層に接触することを防止できる。セパレータとしては、上記厚さ条件を除き、例えばプラスチックフィルム、ゴムシート、紙、布、不織布、ネット、発泡シートや金属箔、それらのラミネート体等の適宜な薄葉体を、必要に応じシリコーン系や長鎖アルキル系、フッ素系や硫化モリブデン等の適宜な剥離剤でコート処理したものなどの、従来に準じた適宜なものを用いうる。

このセパレータが設けられた面と反対面の偏光板には、保護フィルムが弱粘着剤を介して形成される。その目的は、傷防止、汚染防止等が主目的である。保護フィルムとしては、例えばプラスチックフィルム、ゴムシート、紙、布、不織布、ネット、発泡シートや金属箔、それらのラミネート体等の適宜な薄葉体を、必要に応じシリコーン系や長鎖アルキル系、フッ素系や硫化モリブデン等の適宜な剥離剤でコート処理したものなどの、従来に準じた適宜なものを用いうる。

なお本発明において、上記した偏光板を形成する偏光子や偏光子保護層や光学フィルム等、また粘着層などの各層には、例えばサリチル酸エステル系化合物やべンゾフェノール系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物やシアノアクリレート系化合物、ニッケル錯塩系化合物等の紫外線吸収剤で処理する方式などの方式により紫外線吸収能をもたせたものなどであってもよい。

本発明によるシート状製品は、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置、ＰＤＰ等の画像表示装置（光学表示装置に相当する。）の形成に好ましく用いることができる。

本発明の偏光板または光学フィルムは液晶表示装置等の各種装置の形成などに好ましく用いることができる。液晶表示装置の形成は、従来に準じて行いうる。すなわち液晶表示装置は一般に、液晶セル（光学表示ユニットに相当する。）と偏光板または光学フィルム、及び必要に応じての照明システム等の構成部品を適宜に組立てて駆動回路を組込むことなどにより形成されるが、本発明においては本発明による偏光板または光学フィルムを用いる点を除いて特に限定はなく、従来に準じうる。液晶セルについても、例えばＴＮ型やＳＴＮ型、π型などの任意なタイプのものを用いうる。

液晶セルの片側又は両側に偏光板または光学フィルムを配置した液晶表示装置や、照明システムにバックライトあるいは反射板を用いたものなどの適宜な液晶表示装置を形成することができる。その場合、本発明による偏光板または光学フィルムは液晶セルの片側又は両側に設置することができる。両側に偏光板または光学フィルムを設ける場合、それらは同じものであってもよいし、異なるものであってもよい。さらに、液晶表示装置の形成に際しては、例えば拡散板、アンチグレア層、反射防止膜、保護板、プリズムアレイ、レンズアレイシート、光拡散板、バックライトなどの適宜な部品を適宜な位置に１層又は２層以上配置することができる。

本発明によるシート状製品（例えば偏光板）は、液晶表示装置等の各種装置の形成などに好ましく用いることができる。液晶表示装置は、本発明によるシート状製品（例えば偏光板）を液晶セルの片側または両側に配置してなる透過型や反射型、あるいは透過・反射両用型の従来に準じた適宜な構造を有するものとして形成することができる。従って、液晶表示装置を形成する液晶セルは任意であり、例えば薄膜トランジスタ型に代表される単純マトリクス駆動型のものなどの適宜なタイプの液晶セルを用いたものであってもよい。

また液晶セルの両側に偏光板や光学部材を設ける場合、それらは同じ物であってもよいし、異なるものであっても良い。さらに、液晶表示装置の形成に際しては、例えばプリズムアレイシートやレンズアレイシート、光拡散板やバックライトなどの適宜な部品を適宜な位置に１層または２層以上配置することができる。

＜検査データ処理装置の構成＞
（実施形態１）
以下で図面を用いて、本発明の検査データ処理装置の構成について説明する。図１は、検査データ処理装置の機能ブロック図である。図１の機能説明では、本発明の作用効果を奏する手段等について主に説明し、従来公知の手段についてはその説明を省略又は簡単に説明する。以下において、説明上、偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の製造工程について説明するがこれに制限されない。また、製造工程中に表面に付着するが、最終の巻取り段階までにその表面付着異物が除去される欠点を、検査装置で検出することを、誤検出（又は過検出）と称することがある。

図１において、工程の上流側では、ＰＶＡ原反ロールからＰＶＡフィルムが引き出され、不図示の各種処理が施されたのち、その両面側にＴＡＣフィルムが貼り合わされている。ＴＡＣフィルムは、その原反ロールから引き出され不図示の各種処理を経て貼り合わせ前に接着剤が塗工されている。これらの各種処理は、連続したラインで行われてもよいが、別ラインで行なわれてもよい。

検査データ処理装置１は、データ取得部２、第１画像処理部３、第２画像処理部４、第３画像処理部５、欠点情報作成部６を備えている。また、検査データ処理装置１は、データ取得部２と欠点情報作成部６を少なくとも備えていることが必要である。この場合、各検査手段（光源、撮像部、画像処理部で構成）から欠点情報を受信し、欠点情報作成部６が統合した欠点情報を作成するように構成される。

データ取得部２は、公知の通信手段で実現でき、無線、有線を問わない。データ取得部２は、バーコード（例えば、ＱＲコード等）読取装置５０で読み取られた位置情報（座標）を受信する。また、データ取得部２は、第１撮像部１０、第２撮像部２０、第３撮像部３０から、各々の撮像データを受信する。撮像データの画像位置（位置座標）は、後述する画像処理部によって、取得される位置情報と偏光板の搬送速度から算出できる。データ取得部２は、各種データを受信し、送信先に振り分ける機能を有してもよく、複数の受信ラインを有し、撮像部とそれに対応する画像処理部を直接接続するように構成していてもよい。

第１，２，３撮像部１０，２０，３０は、例えば１又は２個以上のＣＣＤカメラで実現できる。第１撮像部１０は、ＬＥＤ光源１１による透過光像と、ハロゲン光源１２による反射光像とを、交互に撮像できる。

第１画像処理部３は、第１撮像部１０の撮像信号をデータ取得部２を介して受信する。第１画像処理部３は、撮像データ（透過光像、反射光像）を解析し、欠点を判定する。欠点は、そのサイズ、形状、種類が判定でき、これは、公知のアルゴリズムで実現できる。透過光像を画像処理することで内部に存在する異物を検出判定できる。また、反射光像を画像処理することで表面付着異物を検出判定できる。

第２撮像部２０は、ハロゲン光源２１による透過光像を撮像できる。この際、ハロゲン光源２１と第２撮像部２０の間には検査用偏光フィルタ２０ａが配置される。検査用偏光フィルタ２０ａは、検査対象である偏光板の偏光軸と所定角度（例えば、０度より大きく１０度以下の範囲）になるように配置される（ｘ度クロス）。第２画像処理部４は、第２撮像部２０の撮像信号をデータ取得部２を介して受信し、この撮像された画像を画像処理する。これにより、偏光板内部のクニックを検出判定できる。画像処理のアルゴリズムは公知のものが適用できる。

第３撮像部３０は、ハロゲン光源３１による透過光像を撮像できる。この際、ハロゲン光源３１と第３撮像部３０の間には検査用偏光フィルタ３０ａが配置される。検査用偏光フィルタ３０ａは、検査対象である偏光板の偏光軸とクロスニコルになるように配置される（０度クロス）。第３画像処理部５は、第３撮像部３０の撮像信号をデータ取得部２を介して受信し、この撮像された画像を画像処理する。これにより、偏光板の欠点を輝点として検出判定できる。画像処理のアルゴリズムは公知のものが適用できる。ここでは、第１撮像部１０で検出された表面付着異物も輝点として検出されている。つまり、異なる２つの検査で、同じ異物を重複して検出していることになる。そして、表面付着異物は製品最終工程で自然に（または強制的に）除去されており、このような誤検出の欠点の情報に基づいて、偏光板を切断すると歩留まりが悪くなるので好ましくない。

本発明の欠点情報作成部６は、第１，２，３画像処理部３，４，５で検出（判定）された欠点の情報を取得し、上記問題が生じないように欠点情報を作成する。つまり、誤検出の欠点を欠点として扱わないようにして、欠点情報を作成する。作成された欠点情報は、モニターに表示できる。図３は、モニターに表示された欠点情報の一例を示す。原反の幅と長尺方向の座標とともに、クニックと、輝点がサイズ別に表示されている。表面付着異物は、欠点として判定されないが、モニターには、破線の丸印で示すことができる。これは、不図示の表示制御手段の機能による。また、欠点情報をＱＲコードに変換し、コード形成装置４０に送信して、所定ピッチ（例えば１０００ｍｍ）でＱＲコードを形成するのに提供できる。欠点情報には、例えば、欠点の種類、その位置座標、製造識別情報、検査対象識別情報等が含まれている。位置座標は、所定の基点からの相対座標でもよく、原反の先端部を基点としての絶対座標でもよい。

具体的には、第１撮像部１０で撮像された反射光像から得られた欠点の情報と、第３撮像部３０で撮像（０度クロス）された輝点像から得られた欠点の情報とにおいて、同一位置座標の欠点は、欠点として扱わないようにする。より好ましくは、同一座標であって、欠点のサイズが同一又は略同一であれば欠点として扱わないようにする。特に好ましくは、同一座標であって、欠点のサイズ及び形状が同一又は略同一であれば欠点として扱わないようにする。図２に欠点情報の作成手順と、作成された欠点情報を示す。先ず、（１）反射光像による欠点の情報と０度クロスによる欠点の情報の結果を比較し、同一座標のものは欠点として扱わない（図では、座標（ｘ１、ｙ１））。また、別の実施形態として、同一座標であって、欠点のサイズが同一又は略同一であれば欠点として扱わない（図では、座標（ｘ３、ｙ３））。また、別の実施形態として、同一座標であって、欠点のサイズ及び形状が同一又は略同一であれば欠点として扱わない（図では、座標（ｘ４、ｙ４））。なお、ここでは説明上、欠点として取り扱わない形態を３種類として述べたが、例えば、いずれか１種類の判定条件で判定される。次に、（２）反射光像及び０度クロスによる欠点の情報から、（１）で判定された欠点として取り扱わないデータを除く。さらに、透過光像による欠点の情報とｘ度クロスによる欠点の情報を含めて、欠点情報を作成する。

欠点情報作成部６は、得られた欠点の情報、欠点の位置情報（位置座標）を統合し、偏光板原反としての欠点情報を作成する。例えば、同座標にクニックと内部異物が含まれるように、欠点情報を作成することもできる。また、同一座標に複数種類の欠点があっても、いずれか１種（例えば内部異物）のみとして、欠点情報を作成することもできる。同位置で検出された欠点は、全て含まれるように統合することができる。

以上の実施形態によれば、最終的に製品原反上に付着しないような表面付着異物を欠点として扱わないようにして、欠点情報を作成することができ、枚葉のシート状製品に切断する際に、的確な欠点情報に従って切断できるので、歩留まりが大幅に向上する。

また、表面付着異物が原因の欠点数は多いため、データ処理能力（メモリ量、処理速度）が必要とされていたが、本発明によれば、欠点数を大幅に減らせるため、データ処理効率が向上する。

（実施形態２）
本発明の検査データ処理装置は、ソフトウエアとハードウエア（CPU、メモリ等）とを協働作用することによって実現でき、専用回路、ファームウエア等で、またはそれらの組み合わせで実現することもできる。

ソフトウエアで実現する場合、そのプログラムは以下のようになる。このプログラムは、記録媒体に記録され、記録媒体として提供可能であり、また、通信回線を介して提供（ダウンロード提供）されてもよい。通信回線を介して提供される場合、その一部の機能のみが提供されてもよく、他の一部がサーバ装置に残っていてもよく、全体の機能として本発明の機能が発揮されていれば本発明の技術的範囲に含まれる。

本発明のソフトウエアプログラムは、コンピュータに、
光学フィルムを含む積層体を検査対象とした場合に得られる表面欠点に関する表面欠点検査データ及び輝点に関する輝点検査データに基づいて、表面欠点の位置と輝点の位置とが同一である場合に、当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして処理するステップを実行させるためのプログラムである。

＜別実施形態＞
本発明は、偏光板を含むシート状製品について説明したが、本発明は、これに制限されず、偏光板と位相差板の積層体、位相差板、偏光子（ＰＶＡ）のみについても適用できる。輝点検出と反射光像による欠点検出を組み合わせた検査システムの検査データ処理に適用できる。

検査データ処理装置の機能を説明するブロック図 欠点情報を作成する手順を説明する図 欠点情報の表示例を示す図 偏光板を有するシート状製品の構成を説明する図

符号の説明

１ 検査データ処理装置
２ データ取得部
３ 第１画像処理部
４ 第２画像処理部
５ 第３画像処理部
６ 欠点情報作成部

Claims (6)

1. 光学表示装置の部材である偏光板を含む光学フィルムを少なくとも有するシート状製品を搬送しながら欠点を検査することで得られる検査データを処理する検査データ処理装置であって、
   光学フィルムまたは光学フィルムを含む積層体を検査対象とした場合に、当該検査対象の表面の反射光像から得られる表面欠点に関する表面欠点検査データ及び、当該検査対象の偏光軸に対しクロスニコルになるように配置した検査用偏光フィルタを介在させて当該検査対象の透過光像から得られる輝点に関する輝点検査データに基づいて、表面欠点の位置と輝点の位置とが同一である場合に、当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして欠点情報を作成する欠点情報作成部を備える検査データ処理装置。
2. 前記欠点情報作成部は、同一位置であって、さらに欠点と輝点のサイズ及び／又はその形状が同一又は略同一である場合に当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして欠点情報を作成する請求項１に記載の検査データ処理装置。
3. 前記欠点情報作成部は、前記検査対象の偏光軸に対し０°より大きく１０°以下になるように配置した検査用偏光フィルタを介在させて当該検査対象の透過光像を画像解析して得られる検査対象内部のクニックの位置と前記輝点の位置とが同一位置にある場合に、いずれか１種の欠点として欠点情報を作成する請求項１または２に記載の検査データ処理装置。
4. 光学表示装置の部材である偏光板を含む光学フィルムを少なくとも有するシート状製品を搬送しながら欠点を検査することで得られる検査データを処理する検査データ処理方法であって、
   光学フィルムまたは光学フィルムを含む積層体を検査対象とした場合に、当該検査対象の表面の反射光像から得られる表面欠点に関する表面欠点検査データ及び、当該検査対象の偏光軸に対しクロスニコルになるように配置した検査用偏光フィルタを介在させて当該検査対象の透過光像から得られる輝点に関する輝点検査データに基づいて、表面欠点の位置と輝点の位置とが同一である場合に、当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして欠点情報を作成することを特徴とする検査データ処理方法。
5. 同一位置であって、さらに欠点と輝点のサイズ及び／又はその形状が同一又は略同一である場合に当該同一位置の表面欠点及び輝点を欠点でないとして欠点情報を作成する請求項４に記載の検査データ処理方法。
6. 前記検査対象の偏光軸に対し０°より大きく１０°以下になるように配置した検査用偏光フィルタを介在させて当該検査対象の透過光像を画像解析して得られる検査対象内部のクニックの位置と前記輝点の位置とが同一位置にある場合に、いずれか１種の欠点として欠点情報を作成する請求項４または５に記載の検査データ処理方法。

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