JP4270681B2

JP4270681B2 - 走査型レーザ顕微鏡

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Publication number: JP4270681B2
Application number: JP30242999A
Authority: JP
Inventors: 章広北原
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1999-10-25
Filing date: 1999-10-25
Publication date: 2009-06-03
Anticipated expiration: 2019-10-25
Also published as: JP2001124995A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光を共振型ガルバノミラーを用いて試料で走査し、この試料からの光を検出して試料の画像を得る走査型レーザ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７は走査型レーザ顕微鏡の光学系の構成図である。
【０００３】
レーザ光１は、等価的に点光源と考えられるレーザ光源（不図示）から出力されるものである。このレーザ光１は、ビームスプリッタ２を透過して第１の光偏向器３に入射する。
【０００４】
この第１の光偏向器３は、レーザ光１を二次元走査のうちＸ方向に走査するもので、対物レンズ４の瞳５と共役な位置に配置されている。この第１の光偏向器３が偏向を行っていない場合、レーザ光１は光軸６に沿つて進む。又、この第１の光偏向器３が偏向を行っている場合すなわちレーザ光１をＸ方向に走査する場合、この第１の光偏向器３が瞳位置に設けられているので、レーザ光１の方向は軸外主光軸７と一致し、レーザ光１の中心も軸外主光軸７と一致するものとなる。
【０００５】
次に、これら光軸６及び軸外主光軸７に進行するレーザ光１は、２つの瞳伝送レンズ８、９を通って瞳位置に配置された第２の光偏向器１０に入射する。この第２の光偏向器１０は、レーザ光１を二次元走査のうちＹ方向に走査するものとなっている。但し、図中では簡単のためＸＹ方向とも同一面内に記載してある。
【０００６】
これら第１及び第２の光偏向器３、１０により二次元的に走査されたレーザ光１は、瞳投影レンズ１１及び結像レンズ１２を通して対物レンズ４の瞳５に入射する。そして、これらのレーザ光１は、対物レンズ４によって試料１３上に回折よつて制限される点状光を生じる。このとき第１及び第２の光偏向器３、１０によりレーザ光１がＸＹの二次元走査をすることによりその点状の光が試料１３で二次元走査する。
【０００７】
この試料１３から反射されたレーザ光（以下、反射光と称する）は、対物レンズ４とその瞳５を通り、さらに結像レンズ１２を通って一旦結像する。この結像面が通常の光学顕微鏡で像を観察する面である。さらに反射光は、瞳投影レンズ１１により第２の光偏向器１０に戻ってくる。
【０００８】
このように反射光は、試料１３に入射したときと全く同じ経路を逆に通ってビームスプリッタ２に戻り、このビームスプリッタ２により検出光１４が分離される。
【０００９】
この場合、試料１３からの反射光は、第２及び第１の光偏向器１０、３を通過して戻ってくるので、軸外主光軸７を走査しても検出光１４の位置は動かない。
【００１０】
この検出光１４は、集光レンズ１５によって点状に絞られ、点状に絞られた位置に配置されたピンホール１６を通り、その後方に配置された検出器１７により検出される。この検出器１７の検出信号を処理して試料１３の画像を取得すれば、フレアのない、通常の顕微鏡より解像度の高い画像を得ることができる。なお、ピンホール１６を配置しなくても通常の画像が得られることは言うまでもない。
【００１１】
ところで、走査型レーザ顕微鏡においては、出来るだけ広い範囲を出来るだけリアルタイムに近い速度で観察したいという要求がある。これを達成する為に、第１及び第２の光偏向器３、１０のうちいずれか一方又は両方を共振型ガルバノミラーを採用した走査型レーザ顕微鏡が開発されている。
【００１２】
この共振型ガルバノミラーは、機械的に構成される部品により決定される共振状態を用いてミラー部を高速かつ広範囲に振動させることを可能としている。このため、軸受け部、軸部には振動による磨耗、ねじれ等の大きなストレスが加わることになり、耐久性が悪い。
【００１３】
このような事から共振型ガルバノミラーを用いた走査型レーザ顕微鏡では、長期間の使用に対して信頼性が劣るという問題ある。これを解決するために例えば特開平６−３００９７４号公報に記載されているように、３種以上の光偏向器を備え、機能用件によってそのうちの２種の光偏向器を用いることより、結果的に装置の信頼性の向上を図ろうとしている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、３種以上の光偏向器を備えた走査型レーザ顕微鏡では、３種以上の光偏向器が必要なばかりか、それを構成するめの光学系も大掛かりなものとなってしまう。
【００１５】
又、共振型ガルバノミラー以外の光偏向器を用いる際には、当然ながら共振型ガルバノミラーの持っている性能を安定して発揮することが出来ないという問題も生じる。
【００１６】
そこで本発明は、共振型ガルバノミラーを用いても本来の機能操作性を制限することなく、共振型ガルバノミラーへの負担を軽減して信頼性の高い走査型レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係わる請求項１の走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光源から出力されたレーザ光を、一方が共振型で互いに直交する方向に走査する２つのガルバノミラーにより試料上に走査し、この試料からの光を検出して試料の画像を得るもので、少なくとも試料の画像に対する処理の操作を入力するための操作手段と、この操作手段から入力された操作に対する処理の終了後、操作手段から一定間隔以上操作入力がなければ、共振型ガルバノミラーの動作を停止又は走査角を減少させる制御手段とを備えている。
また、請求項１の走査型レーザ顕微鏡において、制御手段は、共振型ガルバノミラーの動作を停止又は走査角を減少させている状態に操作手段から操作入力があると、直ちに共振型ガルバノミラーの動作を停止又は走査角を減少させる前の試料に対するレーザ光の走査状態及び試料の画像を得る処理の状態に復帰する機能を有する。
【００１９】
【発明の実施の形態】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２０】
図１は本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡の光学系の構成図であり、図２は一部ブロック図である。
【００２１】
レーザ走査型顕微鏡本体２０内には、光学系２１が配置されている。この光学系２１の構成を説明すると、レーザ光１は、ビームスプリッタ２を透過して共振型ガルバノミラー２２に入射するようになっている。
【００２２】
この共振型ガルバノミラー２２は、二次元走査のうちＸ方向に走査するもので、対物レンズ４の瞳５と共役な位置に配置されている。この共振型ガルバノミラー２２が偏向を行っていない場合、レーザ光１は光軸６に沿つて進み、且つこの共振型ガルバノミラー２２が偏向を行っている場合、すなわちレーザ光１をＸ方向に走査する場合、この共振型ガルバノミラー２２が瞳位置に設けられているので、レーザ光１の方向は軸外主光軸７と一致し、レーザ光１の中心も軸外主光軸７と一致するものとなる。
【００２３】
次に、これら光軸６及び軸外主光軸７に進行するレーザ光１の光路上には、２つの瞳伝送レンズ８、９及びガルバノミラー２３が配置されている。
【００２４】
ガルバノミラー２３は、２つの瞳伝送レンズ８、９の瞳位置に配置されるもので、レーザ光１を二次元走査のうちＹ方向の走査を行うものとなっている。但し、図中では簡単のためＸＹ方向とも同一面内に記載してある。
【００２５】
共振型ガルバノミラー２２及びガルバノミラー２３により二次元的に走査されるレーザ光１の光路上には、瞳投影レンズ１１、結像レンズ１２及び対物レンズ４が配置されている。
【００２６】
又、上記ビームスプリッタ２により取り出される検出光１４の光路上には、集光レンズ１５、ピンホール１６及びフォトダイオード２４が配置されている。
【００２７】
このような光学系２１において、共振型ガルバノミラー２２及びガルバノミラー２３は、それぞれ駆動制御部２５、２６により走査駆動を行うものとなっている。
【００２８】
一方、コンピュータ２７は、光学系２１の共振型ガルバノミラー２２及びガルバノミラー２３を駆動制御して試料１３上でレーザ光１を走査し、このときの試料１３からの光をフォトダイオード２４により検出して試料１３の２次元画像を得るもので、ＣＰＵから成る主演算処理部２８にバス２９を介して入出力部３０、操作部３１が接続された入力部３２、モニタ装置３３が接続された出力部３４、プログラムメモリ３５、データメモリ３６、画像メモリ３７及びタイマ３８を接続したものとなっている。
【００２９】
このうち操作部３１は、モニタ装置３３に表示される画像の明るさ、コントラストの調整や共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御（走査角の制御）、走査停止等を操作設定する操作端を備えたものとなっている。
【００３０】
プログラムメモリ３５には、予め図３に示す画像処理等の各種処理に関するプログラム及び図４に示す共振型ガルバノミラ−２２の制御方法に関するプログラムが格納されている。
【００３１】
従って、主演算処理部２８は、プログラムメモリ３５に格納されているプログラムを実行することにより、操作部３１から入力された画像処理や共振型ガルバノミラ−２２に対する各種設定の処理の終了後、タイマ３８により処理終了からの時間をみておくことで操作部３１から一定間隔以上操作入力がなければ、入出力部３０を通して駆動制御部２５に対して共振型ガルバノミラー２２の動作を停止又は走査角を減少させる指示を発する機能を有するものとなる。
【００３２】
次に、上記の如く構成されたレーザ走査型顕微鏡の作用について説明する。
【００３３】
レーザ光１は、等価的に点光源と考えられるレーザ光源（不図示）から出力される。このレーザ光１は、ビームスプリッタ２を透過して共振型ガルバノミラー２２に入射する。
【００３４】
この共振型ガルバノミラー２２は、レーザ光１を二次元走査のうちＸ方向に走査する。ここで、この共振型ガルバノミラー２２が偏向を行っていない場合、レーザ光１は光軸６に沿つて進む。又、この共振型ガルバノミラー２２が偏向を行っている場合すなわちレーザ光１をＸ方向に走査する場合、この共振型ガルバノミラー２２が瞳位置に設けられているので、レーザ光１の方向は軸外主光軸７と一致し、レーザ光１の中心も軸外主光軸７と一致するものとなる。
【００３５】
次に、これら光軸６及び軸外主光軸７に進行するレーザ光１は、２つの瞳伝送レンズ８、９を通って瞳位置に配置されたガルバノミラー２３に入射する。このガルバノミラー２３は、二次元走査のうちＹ方向の走査を行う。
【００３６】
これら共振型ガルバノミラー２２及びガルバノミラー２３により二次元的に走査されたレーザ光１は、瞳投影レンズ１１及び結像レンズ１２を通して対物レンズ４の瞳５に入射する。そして、これらのレーザ光１は、対物レンズ４によって試料１３上に回折よつて制限される点状光を生じる。このとき共振型ガルバノミラー２２及びガルバノミラー２３によりレーザ光１がＸＹの二次元走査をすることによりその点状の光が試料１３を二次元走査する。
【００３７】
この試料１３から反射光は、対物レンズ４とその瞳５を通り、さらに結像レンズ１２を通って一旦結像する。この結像面が通常の光学顕微鏡で像を観察する面である。さらに反射光は、瞳投影レンズ１１によりガルバノミラー２３に戻ってくる。
【００３８】
このように反射光は、試料１３に入射したときと全く同じ経路を逆に通ってビームスプリッタ２に戻り、このビームスプリッタ２により検出光１４が分離される。
【００３９】
この場合、試料１３からの反射光は、ガルバノミラー２３及び共振型ガルバノミラー２２を介して戻ってくるので、軸外主光軸７を走査しても検出光１４の位置は動かない。
【００４０】
この検出光１４は、集光レンズ１５によって点状に絞られ、点状に絞られた位置に配置されたピンホール１６を通り、その後方に配置されたフォトダイオード２４により受光される。このフォトダイオード２４は、検出光１４を受光してその受光信号を出力する。
【００４１】
コンピュータ２７は、主演算処理部２８の処理により、フォトダイオード２４からの受光信号を入出力部３０を通して取り込み、この検出信号を処理して試料１３の２次元画像データを取得し、この２次元画像データを画像メモリ３７に記憶すると共に、出力部３４を通してモニタ装置３３に送出して試料１３の観察画像を表示する。
【００４２】
このように試料１３の観察画像を表示している状態に、操作部３１から画像の明るさやコントラストの調整、共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の操作が入力されると、コンピュータ２７は、図３に示す画像処理に関するフローチャートのステップ＃１において、主演算処理部２８により２次元画像データに対して明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の処理を実行し、このときの画像処理後の２次元画像データを出力部３４を通してモニタ装置３３に送出する。
【００４３】
このモニタ装置３３は、明るさやコントラスト調整の行われた試料１３の観察画像を表示する。これにより、フレアのない、通常の顕微鏡より解像度の高い画像を得ることができる。
【００４４】
次に、コンピュータ２７は、ステップ＃２において、上記ステップ＃１で各種処理を実行したときの現在の時刻Ｔ０をタイマ３８から読取り、この現在の時刻Ｔ０を例えばデータメモリ３６に保存する。
【００４５】
この場合、操作部３１からの操作入力を受けて、２次元画像データに対する明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の処理を実行する毎に、コンピュータ２７は、ステップ＃２において、現在の時刻Ｔ０を保存し、最新の値に更新される。
【００４６】
次に、共振型ガルバノミラ−２２の制御方法について図４に示す共振型ガルバノミラ−の制御方法のフローチャートに従って説明する。
【００４７】
コンピュータ２７は、主演算処理部２８により同図に示す共振型ガルバノミラ−の制御方法のフローチャート（スキャナ停止処理）を例えば１秒間隔等、一定の間隔で繰り返し実行する。
【００４８】
すなわち、コンピュータ２７は、ステップ＃３において、タイマ３８から現在の時刻Ｔ１を読み取るとともに、先にデータメモリ３６に保存した時刻Ｔ０を読み出し、これら時刻Ｔ１とＴ０との差から最も近くに実行された上記ステップ＃１の処理が終了してからの経過時間Ｔ１−Ｔ０を求め、この経過時間Ｔ１−Ｔ０が予め指定された時間ｔ以上であるか否かを判断する。
【００４９】
この判断の結果、経過時間Ｔ１−Ｔ０が予め指定された時間ｔ以上であれば、コンピュータ２７は、ステップ＃４に移り、入出力部３０を通して駆動制御部２５に対して停止、又は振幅を減少させる指令を発する。
【００５０】
これにより、共振型ガルバノミラ−２２は、停止、又は完全に停止せずに振幅を減少させる。
【００５１】
このように上記第１の実施の形態においては、操作部３１からの操作入力による２次元画像データに対する明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の処理の終了後、タイマ３８により終了後からの時間をみているので、操作部３１より一定間隔以上所定の操作がない場合、共振型ガルバノミラー２２を停止又はその走査角を減少させるように制御するので、共振型ガルバノミラー２２における機械的なストレスが減少し、実質的に寿命を延ばすことができ、顕微鏡の信頼性も向上する。さらには、共振型ガルバノミラー２２の故障を少なくし、共振型ガルバノミラー２２の停止、走査角減少時には駆動電力は少なくて済み、省電力化を図ることができる。
【００５２】
(2) 次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００５３】
本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡は、上記第１の実施の形態で説明した走査型レーザ顕微鏡の構成と同一であり、相違するところは共振型ガルバノミラ−２２の制御方法及び操作部３１からの操作指示に対する処理となっている。本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡について、図１に示す構成図を用いて以下に説明する。
【００５４】
プログラムメモリ３５には、予め図５に示す画像処理等の各種処理に関するプログラム及び図６に示す共振型ガルバノミラ−２２の制御方法に関するプログラムが格納されている。
【００５５】
従って、主演算処理部２８は、プログラムメモリ３５に格納されているプログラムを実行することにより、操作部３１から入力された画像処理や共振型ガルバノミラ−２２に対する各種設定の処理の終了後、操作部３１から一定間隔以上操作入力がないことをタイマ３８により判断すると、入出力部３０を介して駆動制御部２５に対して共振型ガルバノミラー２２の動作を停止又は走査角を減少させる指示が発せられ、かつ共振型ガルバノミラー２２の動作を停止又は走査角を減少させている状態で、操作部３１から操作入力があると、直ちに共振型ガルバノミラー２２の動作を停止又は走査角を減少させる前の試料１３に対するレーザ光１の走査状態及び試料１３の画像を得る処理の状態に復帰する機能を有するものとなる。
【００５６】
次に、上記の如く構成されたレーザ走査型顕微鏡の共振型ガルバノミラ−２２の制御方法及び画像処理等の各種処理について説明する。
【００５７】
レーザ走査型顕微鏡本体２０の光学系２１において、共振型ガルバノミラー２２及びガルバノミラー２３によりレーザ光１がＸＹの二次元走査をすることによりその点状の光が試料１３を二次元走査し、この試料１３からの反射光が光学系２１を戻ってフォトダイオード２４に受光される。
【００５８】
コンピュータ２７は、主演算処理部２８の処理により、フォトダイオード２４からの受光信号を入出力部３０を介して取り込み、この検出信号を処理して試料１３の２次元画像データを取得し、この２次元画像データを画像メモリ３７に記憶すると共に、出力部３４を通してモニタ装置３３に送出して試料１３の観察画像を表示する。
【００５９】
ここで、コンピュータ２７は、主演算処理部２８により図６に示す共振型ガルバノミラ−の制御方法のフローチャート（スキャナ停止処理）を例えば１秒間隔等、一定の間隔で繰り返し実行する。
【００６０】
すなわち、コンピュータ２７は、ステップ＃１０において、タイマ３８から現在の時刻Ｔ１を読み取るとともに、先にデータメモリ３６に保存した時刻Ｔ０を読み出し、これら時刻Ｔ１とＴ０との差から最も近くに実行された処理の終了からの経過時間Ｔ１−Ｔ０を求め、この経過時間Ｔ１−Ｔ０が予め指定された時間ｔ以上であるか否かを判断する。
【００６１】
この判断の結果、経過時間Ｔ１−Ｔ０が予め指定された時間ｔ以上であれば、コンピュータ２７は、ステップ＃１０に移り、現在の２次元画像データに対する明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の状態を例えばデータメモリ３６に保存する。
【００６２】
この後、コンピュータ２７は、ステップ＃４において、入出力部３０を通して駆動制御部２５に対して停止、又は振幅を減少させる指令を発する。
【００６３】
これにより、共振型ガルバノミラ−２２は、停止、又は完全に停止せずに振幅を減少させる。
【００６４】
一方、試料１３の観察画像を表示している状態で、操作部３１から画像の明るさやコントラストの調整、共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の操作が入力されると、コンピュータ２７は、図５に示す画像処理などの各種処理に関するフローチャートのステップ＃１１において、共振型ガルバノミラ−２２が停止、又は振幅が減少しているか否かを判断する。
【００６５】
この判断の結果、共振型ガルバノミラ−２２が停止、又は振幅が減少していれば、コンピュータ２７は、ステップ＃１２に移り、共振型ガルバノミラ−２２を停止又は振幅を減少する前に上記ステップ＃１０でデータメモリ３６に保存した現在の２次元画像データに対する明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の状態を読み出す。
【００６６】
次に、コンピュータ２７は、ステップ＃１３において、データメモリ３６から読み出した共振型ガルバノミラ−２２を停止又は振幅を減少する前の状態、すなわち２次元画像データに対する明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の状態に戻すように各駆動制御部２５、２６に指令を発する。
【００６７】
この後、コンピュータ２７は、ステップ＃１において、操作部３１から入力された操作指示に従い、主演算処理部２８により２次元画像データに対して明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の処理を実行し、このときの画像処理後の２次元画像データを出力部３４を通してモニタ装置３３に送出する。
【００６８】
このモニタ装置３３は、明るさやコントラスト調整の行われた試料１３の観察画像を表示する。これにより、フレアのない、通常の顕微鏡より解像度の高い画像を得ることができる。
【００６９】
次に、コンピュータ２７は、ステップ＃２において、上記ステップ＃１で各種処理を実行したときの現在の時刻Ｔ０をタイマ３８から読取り、この現在の時刻Ｔ０を例えばデータメモリ３６に保存する。
【００７０】
この場合、操作部３１からの操作入力を受けて、２次元画像データに対する明るさやコントラストの調整、さらには共振型ガルバノミラ−２２及びガルバノミラ−２３の走査開始、振幅制御、走査停止等の処理を実行する毎に、コンピュータ２７は、ステップ＃２において、現在の時刻Ｔ０を保存し、最新の値に更新される。
【００７１】
このように上記第２の実施の形態においては、上記第１の実施の形態に加えて、共振型ガルバノミラー２２の動作を停止又は振幅（走査角）を減少させている状態で、操作部３１から操作入力があると、直ちに共振型ガルバノミラー２２の動作を停止又は振幅（走査角）を減少させる前の試料１３に対するレーザ光１の走査状態及び試料１３の画像を得る処理の状態に復帰するので、共振型ガルバノミラー２２の機械的なストレスが減少し、実質的に寿命を延ばすことができ、走査型レーザ顕微鏡の信頼性を向上できる。
【００７２】
又、操作部３１より所定の操作が指示された場合、直ちに、元の走査状態に戻すように制御するので、操作性を損なうこともなく、さらに共振型ガルバノミラー２２の故障を少なくし、共振型ガルバノミラー２２の停止、走査角減少時には駆動電力が少なくて済み、省電力化を図ることができる。
【００７３】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、共振型ガルバノミラーを用いても本来の機能操作性を制限することなく、共振型ガルバノミラーの故障を抑えて信頼性の高い走査型レーザ顕微鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡の第１の実施の形態における光学系の構成図。
【図２】同走査型レーザ顕微鏡のブロック構成図。
【図３】同走査型レーザ顕微鏡における画像処理等の各種処理に関するフローチャート。
【図４】同走査型レーザ顕微鏡における共振型ガルバノミラ−の制御方法のフローチャート。
【図５】本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡の第２の実施の形態における画像処理等の各種処理に関するフローチャート。
【図６】同走査型レーザ顕微鏡における共振型ガルバノミラ−の制御方法のフローチャート。
【図７】従来の走査型レーザ顕微鏡の光学系の構成図。
【符号の説明】
２０：レーザ走査型顕微鏡本体、
２１：光学系、
２２：共振型ガルバノミラー、
２３：ガルバノミラー、
２４：フォトダイオード、
２５，２６：駆動制御部、
２７：コンピュータ、
２８：主演算処理部、
３０：入出力部、
３１：操作部、
３２：入力部、
３３：モニタ装置、
３４：出力部、
３５：プログラムメモリ、
３６：データメモリ、
３７：画像メモリ、
３８：タイマ。

Claims

レーザ光源から出力されたレーザ光を、一方が共振型で互いに直交する方向に走査する２つのガルバノミラーにより試料上に走査し、この試料からの光を検出して前記試料の画像を得る走査型レーザ顕微鏡において、
少なくとも前記試料の画像に対する処理の操作を入力するための操作手段と、
この操作手段から入力された操作に対する処理の終了後、前記操作手段から一定間隔以上操作入力がなければ、前記共振型ガルバノミラーの動作を停止又は走査角を減少させる制御手段と、
を具備したことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
前記制御手段は、前記共振型ガルバノミラーの動作を停止又は走査角を減少させている状態に前記操作手段から操作入力があると、直ちに前記共振型ガルバノミラーの動作を停止又は走査角を減少させる前の前記試料に対する前記レーザ光の走査状態及び前記試料の画像を得る処理の状態に復帰する機能を有することを特徴とする請求項１記載の走査型レーザ顕微鏡。