JP4164182B2

JP4164182B2 - Tray transfer device

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Publication number: JP4164182B2
Application number: JP00427799A
Authority: JP
Inventors: 芳幸増尾
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1999-01-11
Filing date: 1999-01-11
Publication date: 2008-10-08
Anticipated expiration: 2019-01-11
Also published as: JP2000206186A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえばメモリモジュールなどの電子部品基板を試験するための電子部品基板の試験装置およびトレイの移送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
メモリモジュールなどの電子部品基板の製造過程においては、最終的に製造されたメモリモジュールを試験する試験装置が必要となる。このような試験装置の一種として、常温よりも高いまたは低い温度条件で、メモリモジュールを試験するための装置が知られている。メモリモジュールの特性として、高温または低温でも良好に動作することが保証されるからである。
【０００３】
従来のメモリモジュール用試験装置にて高温試験または低温試験を行う場合には、試験前のメモリモジュールを試験装置内の予熱部または冷却部で加熱または冷却し、加熱または冷却されたメモリモジュールをピック・アンド・プレース機構を用いて測定部まで搬送し、メモリモジュールに加えられた予熱により高温試験または低温試験を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、メモリモジュールのような大きな電子部品基板を試験装置に搬入または搬出する場合、たとえば図５に示すようなトレイ２０２，２０４が用いられる。この種のトレイでは、電子部品基板１０を直立させて並べるため、複数のトレイを積み重ねることができない。
【０００５】
このため、試験装置の搬入部及び搬出部には、図７に示すように、トレイ２０２，２０４を一枚づつ収納する引き出し状のトレイ収納部２１２，２１４が設けられ、目的とするトレイがデバイス搬入ステージ２１６またはデバイス搬出ステージ２１８の高さに至るまでトレイ収納部自体を昇降させることで、こうしたトレイの出し入れ操作を行っていた。
【０００６】
しかしながら、トレイ収納部自体を昇降させる方式では、各トレイ収納部２１２，２１４の上にその昇降軌跡ぶんのデッドスペース（同図にＤＳで示す。）が必要となり、試験装置自体が大型になるといった問題があった。また、トレイ収納部自体を昇降させる方式では、試験前の電子部品基板１０を収納したトレイ２０２（以下、供給用トレイ）のトレイ収納部２１２と、試験を終えた電子部品基板１０を収納したトレイ２０４（以下、収納用トレイ）のトレイ収納部２１４とが独立した構造となり、たとえば空になった供給用トレイ２０２を収納用トレイ２０４として利用することができない。
【０００７】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、試験装置の小型化を図るとともにトレイの汎用性を高めカテゴリ数を増加させることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
（１）上記目的を達成するために、第１の観点による本発明のトレイ移送装置は、第１のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第１のトレイ収納部と、第２のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第２のトレイ収納部と、前記第１のトレイ収納部と前記第２のトレイ収納部との間に昇降可能に設けられ、前記第１のトレイ収納部および前記第２のトレイ収納部との間で第１のトレイまたは第２のトレイの受け渡しを行う第１の昇降手段と、を備え、前記第１のトレイ収納部には、試験前の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、前記第２のトレイ収納部には、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、前記第１のトレイ収納部の少なくとも一部に、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納されることを特徴とする。
【０００９】
第１の観点による本発明のトレイ移送装置においては、前記第１のトレイ収納部、前記第２のトレイ収納部および前記第１の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設方向に移動可能とされて、前記第１の昇降手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う水平搬送手段と、目的とするポジションに対して昇降可能とされ、前記水平搬送手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う第２の昇降手段と、をさらに備えることが好ましい。
【００１０】
また、前記第１のトレイ収納部に収納されたトレイに搭載される前記試験後の電子部品基板が、再試験をすべきカテゴリであることがより好ましい。
【００１２】
（２）上記目的を達成するために、第２の観点による本発明のトレイ移送装置は、第１のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第１のトレイ収納部と、第２のトレイが積み重なることなく独立して上下方向に収納される第２のトレイ収納部と、前記第１のトレイ収納部と前記第２のトレイ収納部との問に昇降可能に設けられ、前記第１のトレイ収納部および前記第２のトレイ収納部との間で第１のトレイまたは第２のトレイの受け渡しを行う第１の昇降手段と、を備え、前記第１のトレイ収納部には、試験前の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、前記第２のトレイ収納部には、試験後の電子部品基板が搭載されたトレイが収納され、前記第２のトレイ収納部の少なくとも一部に、試験前の電子部品基板を受け渡した空のトレイが収納されることを特徴とする。
【００１３】
第２の観点による本発明のトレイ移送装置においては、前記第１のトレイ収納部、前記第２のトレイ収納部および前記第１の昇降手段の上部に設けられ、これらの並設方向に移動可能とされて、前記第１の昇降手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う水平搬送手段と、目的とするポジションに対して昇降可能とされ、前記水平搬送手段との間で前記第１のトレイまたは前記第２のトレイの受け渡しを行う第２の昇降手段と、をさらに備えることが好ましい。
【００１６】
また、第１の観点および第２の観点においては、前記第１のトレイと前記第２のトレイは、同じ種類のトレイであることがより好ましい。
【００１７】
【作用】
本発明のトレイ移送装置では、トレイ収納部自体を昇降させるのではなく、第１の昇降手段、水平搬送手段および第２の昇降手段によりトレイを移送するので、トレイ収納部の上部にデッドスペースが生じるといった問題がなくなり、少なくとも高さ方向に装置全体を小型化することができる。
【００１８】
また、第１の昇降手段をトレイ収納部の間に設けることで、両方のトレイ収納部にアクセスすることができ、トレイの移送が効率化されるとともに、トレイの移送シーケンスの自由度が増す。しかも、何れのトレイ収納部に対してもトレイを収納することができ、また何れのトレイ収納部に収納されたトレイをも取り出すことができるので、装置自体を変えることなく分類数の増加に対して柔軟に対処することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明のトレイ移送装置が適用される電子部品基板の試験装置の一例を示す図であって（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図２（Ａ）は本発明のトレイ移送装置の実施形態を示す斜視図、図２（Ｂ）は本実施形態のトレイ収納部とエレベータの部分を示す斜視図、図３乃至図４は本実施形態におけるトレイの取り廻し方法を説明するための概念図、図５は本実施形態で用いられるトレイの一例を示す斜視図である。
【００２０】
以下の実施形態では、被試験物として図５に示すメモリモジュール１０を例に挙げる。こうしたメモリモジュール１０は、ハンドラ１に対して、その端子１２を下にした直立姿勢で、同図に示すトレイ２０２，２０４に搭載されて搬入され、また同じ荷姿で搬出される。同図に示す２０５はメモリモジュール１０を直立姿勢に保つための凸部である。
【００２１】
なお、試験前のメモリモジュール１０を搭載するための供給用トレイ２０２と、試験を終えたメモリモジュール１０を搭載するための収納用トレイ２０４は同一形状であっても異なる形状であっても良いが、少なくとも供給用トレイ２０２は、搭載されたメモリモジュール１０の位置決め機能を備えるものが望ましい。供給用トレイ２０２に搭載されたメモリモジュール１０は、これからハンドラ１内へ搬入されて複数のピックアップ装置によって載せ替え等の操作が行われるからである。
【００２２】
本実施形態のトレイ移送装置は、図１に示すハンドラ１のメモリモジュール格納部２００に設けられるものであり、一対のトレイ収納部２１２，２１４を有している。
【００２３】
図１および図２に示すように、一方のトレイ収納部２１２には、主としてこれから試験が行われるメモリモジュール１０が搭載された供給用トレイ２０２が、積み重ねることなく、互いに独立して上下方向に保持収納されている。これに対して他方のトレイ収納部２１４には、試験を終えたメモリモジュール１０が適宜に分類された収納用トレイ２０４が、同じく積み重ねることなく互いに独立して上下方向に保持収納されている。すなわち、トレイ２０２，２０４はこれらトレイ収納部２１２，２１４にたとえば引き出し棚状に収納される。
【００２４】
なお、これらトレイ収納部２１２，２１４に収納可能なトレイ枚数は特に限定されず、試験装置の大きさと分類能力等の関係で適宜決定することができる。図３乃至図４では、各トレイ収納部２１２，２１４に最大７枚づつのトレイ２０２，２０４を収納できるようになっている。
【００２５】
また詳細は後述するが、トレイ収納部２１２，２１４は互いに同じ構造とされているので、供給用トレイ２０２、収納用トレイ２０４の何れをも互いに収納することができる。つまり、試験結果の分類が、良品と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のもの、中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再試験が必要なもの等々、多分類が必要とされる場合は、２つのトレイ収納部２１２，２１４を総合的に使用することで対処することができる。
【００２６】
一対のトレイ収納部２１２，２１４の間には、エレベータ２０６（本発明の第１の昇降手段に相当する）が昇降可能に設けられている。このエレベータ２０６は、図２（Ａ）に示すように、たとえばボールネジ駆動装置２０６ａによって、少なくとも各トレイ収納部２１２，２１４の最下段から最上段までの間を上下方向に移動制御される。
【００２７】
このエレベータ２０６は、各トレイ収納部２１２，２１４との間でトレイ２０２，２０４の受け渡しを行う。こうした動作は、たとえば図２（Ｂ）に示すように、トレイ２０２，２０４またはこれを載置するプレートに、流体圧シリンダ２０６ｂのロッドなどを引っかけ、流体圧シリンダ２０６ｂを進退駆動することで、トレイ２０２，２０４の出し入れ操作が実行される。
【００２８】
これらトレイ収納部２１２，２１４およびエレベータ２０６の直上には、トランアーム２０８（本発明の水平搬送手段に相当する。）が、図２に示す±Ｘ軸方向に移動自在に設けられている。このトランアーム２０８は、たとえばボールネジ駆動装置２０８ａによって±Ｘ軸方向の所望の位置に移動制御される。トランアーム２０８は、エレベータ２０６に載置されたトレイ２０２，２０４を受け取って後述するセットプレート２１０（本発明の第２の昇降手段に相当する。）に受け渡したり、逆にセットプレート２１０に載置されたトレイ２０２，２０４を受け取ってエレベータ２０６に受け渡す。この際に、トレイ２０２，２０４を保持および解放するためにフック機構２０８ｂ（図３（Ａ）参照）が開閉可能に設けられている。
【００２９】
なお、本実施形態ではトランアーム２０８の可動方向を±Ｘ軸方向にのみ設定しているが、±Ｚ軸方向に対しても昇降可能として、トレイ２０２，２０４の受け渡しの際に±Ｚ軸方向に昇降させても良い。また、±Ｙ軸方向に対しても可動とし、後述するセットプレート２１０の設定範囲に自由度を持たせても良い。
【００３０】
本実施形態のトレイ移送装置では、トランアーム２０８の直上に３つのセットプレート２１０が設けられている。これらセットプレート２１０は、たとえばボールネジ駆動装置２１０ａによって、それぞれ独立して±Ｚ軸方向に昇降可能とされ、少なくともトランアーム２０８よりも低い位置とトランアーム２０８よりも高い位置との間を昇降することができる。ここでいう下限位置が、トレイ２０２，２０４の受け渡しの際の位置であり、上限位置がトレイ２０２，２０４のセット位置（つまり、メモリモジュール１０を出し入れする位置）である。
【００３１】
なお、本例では３つのセットプレート２１０が設けられ、図２の左の一つがハンドラ１でいうローダ部３００のセットプレート２１０とされ、右の二つがハンドラ１でいうアンローダ４００のセットプレート２１０，２１０とされている。ただし、本発明はこれに何ら限定されず、２つであってもまた４つ以上であっても良い。
【００３２】
次に動作を説明する。
図３乃至図４では、試験前のメモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２をトレイ収納部２１２の全ての段に収納し、これをハンドラ１のローダ部３００にセットする動作と、ハンドラ１のアンローダ部４００で試験済みメモリモジュール１０が満載となった収納用トレイ２０４をトレイ収納部２１４に移送する動作とを連続して説明する。
【００３３】
たとえばトレイ収納部２１２の最上段から供給用トレイ２０２を取り出すとすると、図３（Ａ）に示すようにまずエレベータ２０６をトレイ収納部２１２の最上段の高さ位置まで移動させ、図２（Ｂ）に示す流体圧シリンダ２０６ａにてトレイ収納部２１２の最上段の供給用トレイ２０２をエレベータ２０６に押し出す。これと相前後して、トランアーム２０８をエレベータ２０６の直上に移動させておく。
【００３４】
次に、供給用トレイ２０２が載置されたエレベータをトランアーム２０８との受け渡し位置まで上昇させ、トランアーム２０８のフック機構２０８ｂを閉じることにより供給用トレイ２０２を受け取ってこれを保持する。そして、目的のポジションであるローダ部３００の下部へトランアーム２０８を移動させる。この移動の前に、ローダ部３００のセットプレート２１０を下限位置まで下降させておく。
【００３５】
この状態を図３（Ｂ）に示すが、ここでセットプレート２１０を僅かに上昇させ（あるいはトランアーム２０８に±Ｚ軸方向の昇降機能が付加されているときはトランアーム２０８側を僅かに下降させ）、トランアーム２０８のフック機構２０８ｂを開いて供給用トレイ２０２をセットプレート２１０上に受け渡す。そして、トランアーム２０８をその位置から待避させたのち、図３（Ｃ）に示すようにセットプレート２１０を上限位置まで上昇させて供給用トレイ２０２をローダ部３００にセットする。以上で、試験前のメモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２をローダ部３００にセットする動作が完了する。
【００３６】
図３（Ｃ）において、ローダ部３００の下部に位置していたトランアーム２０８は、試験を終えたメモリモジュール１０が満載された収納用トレイ２０４を受け取るため、アンローダ部４００の右側まで移動する。この移動の前に、アンローダ部４００の右側のセットプレート２１０は下限位置まで下降させておく。そして、セットプレート２１０を僅かに上昇させ（あるいはトランアーム２０８に±Ｚ軸方向の昇降機能が付加されているときはトランアーム２０８側を僅かに下降させ）、トランアーム２０８のフック機構２０８ｂを閉じて収納用トレイ２０４をトランアーム２０８へ受け渡し保持する。
【００３７】
次に図４（Ａ）に示すように、上昇位置で待機しているエレベータ２０６の上部までトランアーム２０８を移動させ、ここでトランアーム２０８のフック機構２０８ｂを開いて収納用トレイ２０４をエレベータ２０６上に受け渡す。そして、図４（Ｂ）に示すように、トレイ収納部２１４の所定の空き段（本例では上から３段目）までエレベータ２０６を下降させたのち、図２（Ｂ）に示す流体圧シリンダ２０６ｂを用いて収納用トレイ２０４をトレイ収納部２１４へ引き込む。以上で、試験済みメモリモジュール１０が満載された収納用トレイ２０４をアンローダ部４００からトレイ収納部２１４へ移送する動作が完了する。
【００３８】
このように、本実施形態のトレイ移送装置を用いると、トレイ収納部２１２，２１４そのものを昇降させる必要がないので、これらトレイ収納部２１２，２１４の上部に昇降軌跡のためのスペースを設ける必要もない。したがって、試験装置そのものが少なくとも高さ方向に小型化される。
【００３９】
ちなみに、上述したトレイ移送装置にてローダ部３００の窓部３０６にセットされた供給用トレイ２０２に満載された試験前のメモリモジュール１０は、図１に示すＸＹ搬送装置３０３にてメモリモジュールの試験用トレイ２０に移載されたのち、試験用トレイ２０に搭載された状態でチャンバ１００内に搬送される。このチャンバ１００においては、ソークチャンバ（恒温槽）１０１にてメモリモジュール１０は試験を行うべき温度（高温または低温）まで加熱または冷却され、測定部１０２にてテストヘッドに押し付けられる。このテストヘッドへの押し付けは、試験用トレイ２０に搭載された状態で行われ、幾つかのメモリモジュール２０が同時に押し付けられる。
【００４０】
次いで、試験用トレイ２０はアンソークチャンバ１０３に搬送され、試験を終えたメモリモジュール１０を室温近傍まで戻す。これは主として低温印加を行った場合の結露防止を目的として行われる。
【００４１】
室温まで戻されたメモリモジュール１０が満載された試験用トレイ２０は、アンローダ部４００へ搬送され、ここでＸＹ搬送装置４０３を用いて試験済みメモリモジュール１０を収納用トレイ２０４へ移載する。このとき、各メモリモジュール１０はそれぞれの試験結果に応じた収納用トレイ２０４へ移載される。図１に示す例では、たとえばアンローダ部４００の窓部４０６ａ，４０６ｂにセットされた２枚の収納用トレイ２０４，２０４に「合格」のメモリモジュール１０を移載し、「不合格」や「再試験」となったメモリモジュール１０はバッファステージ４０５へ順次移載される。そして、バッファステージ４０５が満杯になったら、「不合格」用の収納用トレイ２０４や「再試験」用の収納用トレイ２０４をアンローダ部４００の窓部４０６ａまたは４０６ｂへセットし、当該バッファステージ４０５に載置されたメモリモジュール１０をそれぞれの分類通りに移載する。以上の手順で、メモリモジュール１０の試験および試験結果による分類が行われる。
【００４２】
なお、図３乃至図４に示されたトレイの取り廻しシーケンスは、本発明のトレイ移送装置の単なる一例に過ぎず、本発明のトレイ移送装置によれば、エレベータ２０６が一対のトレイ収納部２１２，２１４に収納されたトレイ２０２，２０４の何れにもアクセスできる構造であるため、ローダ部３００およびアンローダ部４００とトレイ収納部２１２，２１４との間で、何れのトレイ２０２，２０４も出し入れすることができる。
【００４３】
たとえば、供給用トレイ２０２と収納用トレイ２０４が同じトレイである場合には、メモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２を図３（Ａ）乃至（Ｃ）に示す手順でローダ部３００へ移送し、その後このローダ部３００の供給用トレイ２０２が空になったら、これを直接的または間接的にトランアーム２０８にてアンローダ部４００へ移送し、収納用トレイ２０４として用いることもできる。
【００４４】
また、アンローダ部４００でメモリモジュール１０が満載となった収納用トレイは、通常はトレイ収納部２１４の方へ収納されるが、トレイ収納部２１２の方の空の段をも用いることで、分類数の増加に対しても柔軟に対処することができる。
【００４５】
すなわち、供給用トレイ２０２と収納用トレイ２０４とをそれぞれ独立して使用すると、供給用トレイ数をＡ、収納用トレイ数をＢ、分類数をｎとしたときに、収納用トレイ２０４がＢ＝Ａ＋（ｎ−１）以上ないと連続して動作させることができないが、これらのトレイ２０２，２０４を共用化することで、ｎ＝Ｂ＋１まで連続的に分類動作を行うことができるようになる。
【００４６】
他の実施形態
本発明はさらに改変することができる。図６は本発明のトレイ移送装置の他の実施形態を組み込んだハンドラを示す（Ａ）概略平面図、（Ｂ）概略断面図（Ｂ−Ｂ線相当図）であり、まずメモリモジュール格納部２００の構造が相違している。
【００４７】
すなわち、供給用トレイ２０２を収納するトレイ収納部２１２と、収納用トレイ２０４を収納するトレイ収納部２１４は設けられているが、第１昇降手段であるエレベータ２０６Ａ，２０６Ｂは、これらの間ではなく、それぞれ単独に設けられている。また、ローダ部３００への供給トレイ２０２のセット位置は一カ所のみであり（窓部３０６にて示す。）、これに隣接する位置には供給用トレイ２０２ｚが手動で出し入れされるようになっている。
【００４８】
そして、エレベータ２０６Ａを用いてトレイ収納部２１２からメモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２を取り出し、エレベータ２０６Ａをそのまま上昇させることでローダ部３００の窓部３０６にセットするとともに、全てのメモリモジュール１０を試験用トレイ２０に移し終えたら、エレベータ２０６Ａをそのまま下降させて空となった供給用トレイ２０２をトレイ収納部２１２へ戻す。
【００４９】
以上の動作によって試験前のメモリモジュール１０はハンドラ１内へ投入されるが、トレイ収納部２１２から供給用トレイ２０２を取り出したり、逆にトレイ収納部２１２へ空トレイ２０２を収納している間に、ＸＹ搬送装置３０３および試験用トレイ２０が待機状態になることも考えられる。そこで、こうした空き時間が生じたときは、手動により設置した供給用トレイ２０２ｚからＸＹ搬送装置３０３を用いて試験用トレイ２０へメモリモジュール１０を移し替える。これによりハンドラ１のスループットの低下が抑制できる。
【００５０】
一方、アンローダ部４００においては、トレイ収納部２１４から空の収納用トレイ２０４を一方の窓部（本例では右側の窓部４０６ｂ）にのみセットし、他方の窓部４０６ａに相当する位置には手動により空の収納用トレイ２０４ｚを設置しておく。また、この近傍に、空の供給用トレイ２０２を、一つ（２０２ｆ）は不合格のメモリモジュール用として、一つ（２０２ｒ）は再試験のメモリモジュール用として手動で設置しておく。
【００５１】
そして、試験を終了してアンローダ部４００へ搬送されてきた試験用トレイ２０から、ＸＹ搬送装置４０３を用いて、合格のメモリモジュール１０は主として右側の窓部４０６ｂにセットされた収納用トレイ２０４に移し替え、この収納用トレイ２０４が満杯になったらエレベータ２０６Ｂをそのまま下降させて、トレイ収納部２１４へ収納し、次の空の収納用トレイ２０４を窓部４０６ｂへセットする。この間においては、合格のメモリモジュール１０は左側に手動で設置した収納用トレイ２０４へ移し替える。
【００５２】
また、不合格のメモリモジュール１０は、手動で設置された左側の供給用トレイ２０２ｆへ移し替えられ、再試験のメモリモジュール１０は同じく右側の供給用トレイ２０２ｒへ移し替えられる。そして、これらの供給用トレイ２０２ｆ，２０２ｒが満杯になったら、手動で空の供給用トレイ２０２ｆ，２０２ｒと交換する。このとき、再試験を行うメモリモジュール１０が満載された供給用トレイ２０２ｒは、そのままトレイ収納部２１２またはローダ部３００の窓部３０６の右隣の位置にセットされる。
【００５３】
このように構成された本実施形態のハンドラ１によれば、スループットは劣るものの、トランアーム２０８やセットプレート２１０などが不要となり、そのぶんだけ装置自体が小型になるとともにコストダウンを図ることができる。
【００５４】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００５５】
たとえば、上述した実施形態では試験対象としてメモリモジュール１０を例に挙げたが、本発明のトレイ移送装置はメモリモジュールにのみ限定される意味ではなく、トレイを積み重ねてトレイ収納部へ収納できないような電子部品であれば全て含まれる趣旨である。
【００５６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、トレイ収納部の上部にデッドスペースが生じるといった問題がなくなり、少なくとも高さ方向に装置全体を小型化することができる。また、両方のトレイ収納部にアクセスすることができるので、トレイの移送が効率化されるとともに、トレイの移送シーケンスの自由度が増す。しかも、何れのトレイ収納部に対してもトレイを収納することができ、また何れのトレイ収納部に収納されたトレイをも取り出すことができるので、装置自体を変えることなく分類数の増加に対して柔軟に対処することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のトレイ移送装置が適用される電子部品基板の試験装置の一例を示す概略平面図および概略断面図図である。
【図２】（Ａ）は本発明のトレイ移送装置の実施形態を示す斜視図、（Ｂ）はトレイ収納部とエレベータの部分を示す斜視図である。
【図３】トレイの取り廻し方法を説明するための概略断面図である。
【図４】図３の続きを示す概略断面図である。
【図５】本発明のトレイ移送装置で用いられるトレイの一例を示す斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態を示す概略平面図および概略断面図である。
【図７】従来のトレイ移送装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…ハンドラ（電子部品基板の試験装置）
１００…チャンバ
２００…メモリモジュール格納部
２０２…供給用トレイ（トレイ）
２０４…収納用トレイ（トレイ）
２０６…エレベータ（第１の昇降手段）
２０８…トランアーム（水平搬送手段）
２１０…セットプレート（第２の昇降手段）
２１２，２１４…トレイ収納部
３００…ローダ部
４００…アンローダ部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electronic component substrate testing apparatus and a tray transfer device for testing an electronic component substrate such as a memory module.
[0002]
[Prior art]
In the process of manufacturing an electronic component substrate such as a memory module, a test apparatus for testing the finally manufactured memory module is required. As one type of such a test apparatus, an apparatus for testing a memory module under a temperature condition higher or lower than normal temperature is known. This is because, as a characteristic of the memory module, it is guaranteed that the memory module operates well even at high or low temperatures.
[0003]
When performing a high-temperature test or low-temperature test using a conventional memory module test device, the pre-test memory module is heated or cooled by the preheating or cooling unit in the test device, and the heated or cooled memory module is picked. -It is transported to the measuring part using an and place mechanism, and a high temperature test or a low temperature test is performed by preheating applied to the memory module.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, when a large electronic component board such as a memory module is carried into or out of the test apparatus, trays 202 and 204 as shown in FIG. 5 are used, for example. In this type of tray, since the electronic component substrates 10 are arranged upright, a plurality of trays cannot be stacked.
[0005]
For this reason, as shown in FIG. 7, the loading section and the unloading section of the test apparatus are provided with drawer-shaped tray storage sections 212 and 214 for storing the trays 202 and 204 one by one. Such a tray loading / unloading operation has been performed by raising and lowering the tray storage unit itself up to the height of the loading stage 216 or the device unloading stage 218.
[0006]
However, in the method of raising and lowering the tray storage unit itself, a dead space (designated by DS in the figure) is required on each tray storage unit 212 and 214, and the test apparatus itself becomes large. There was a problem. Further, in the method of raising and lowering the tray storage unit itself, a tray storage unit 212 of a tray 202 (hereinafter referred to as supply tray) that stores the electronic component substrate 10 before the test and a tray that stores the electronic component substrate 10 that has been tested. 204 (hereinafter referred to as storage tray) has an independent structure, and for example, the empty supply tray 202 cannot be used as the storage tray 204.
[0007]
The present invention has been made in view of the problems of the prior art, and aims to reduce the size of the test apparatus and increase the versatility of the tray and increase the number of categories.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
(1) In order to achieve the above object, the tray transfer device of the present invention according to the first aspect provides:Without stacking the first trayStored independently in the vertical directionWithout stacking the first tray storage and the second trayStored independently in the vertical directionA second tray storage section, the first tray storage section, and the second tray storage section;It is provided so that it can be raised and lowered betweenThe first tray storage portion and the second trayBetween the tray storageFirst tray or secondFirst elevating means for delivering the tray,In the first tray storage section,Stores trays with pre-test electronic component boardsIn the second tray storage section,Stores trays with electronic component boards after testingThe tray on which the electronic component board after the test is mounted is stored in at least a part of the first tray storage unit.It is characterized by that.
[0009]
  In the tray transfer device of the present invention according to the first aspect, the first tray storage unit and the second tray storage unitAnd provided on an upper portion of the first elevating means, and movable in the juxtaposed direction, and between the first elevating means and the first elevating means.A first tray or the second trayHorizontal conveying means for delivering the tray;It is preferable that the apparatus further comprises second elevating means that can be moved up and down with respect to a target position and that transfers the first tray or the second tray to and from the horizontal conveying means.
[0010]
  Further, it is more preferable that the electronic component board after the test mounted on the tray stored in the first tray storage unit is a category to be retested.
[0012]
(2) In order to achieve the above object, the tray transfer device of the present invention according to the second aspect has the first trayWithout stackingA first tray storage portion and a second tray that are independently stored in the vertical direction;Without stackingThe second tray storage unit that is independently stored in the vertical direction, and the first tray storage unit and the second tray storage unit are provided so as to be movable up and down, the first tray storage unit and First elevating means for transferring the first tray or the second tray to and from the second tray storage unit, and the first tray storage unit includes an electronic component substrate before the test. Is stored, and the second tray storage unit stores the tray on which the electronic component board after the test is mounted.The empty tray which has delivered the electronic component substrate before the test is stored in at least a part of the second tray storage unit.
[0013]
  In the tray transfer device according to the second aspect of the present invention, the tray transfer device is provided above the first tray storage unit, the second tray storage unit, and the first lifting / lowering means, and is movable in the parallel arrangement direction. A horizontal conveying means for delivering the first tray or the second tray to and from the first elevating means;meansIt is preferable to further comprise a second lifting / lowering means for transferring the first tray or the second tray between the first tray and the second tray.
[0016]
  Also,In the first aspect and the second aspect,More preferably, the first tray and the second tray are the same type of tray.
[0017]
[Action]
In the tray transfer device of the present invention, the tray storage unit itself is not moved up and down, but the tray is transferred by the first lifting and lowering means, the horizontal transport unit and the second lifting and lowering unit. The problem that it occurs is eliminated, and the entire apparatus can be miniaturized at least in the height direction.
[0018]
Further, by providing the first elevating means between the tray storage units, both tray storage units can be accessed, the tray transfer is made more efficient, and the flexibility of the tray transfer sequence is increased. Moreover, the tray can be stored in any tray storage section, and the trays stored in any tray storage section can be taken out, so the number of classifications can be increased without changing the apparatus itself. Can be dealt with flexibly.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1A and 1B are views showing an example of an electronic component substrate testing apparatus to which a tray transfer apparatus of the present invention is applied, in which FIG. 1A is a plan view and FIG. 1B is a sectional view taken along line BB. 2A is a perspective view showing an embodiment of a tray transfer device of the present invention, FIG. 2B is a perspective view showing a tray storage portion and an elevator portion of this embodiment, and FIGS. 3 to 4 are this embodiment. FIG. 5 is a perspective view showing an example of a tray used in the present embodiment. FIG. 5 is a conceptual diagram for explaining a tray handling method in the embodiment.
[0020]
In the following embodiments, the memory module 10 shown in FIG. Such a memory module 10 is loaded into the trays 202 and 204 shown in the figure in an upright posture with its terminal 12 down with respect to the handler 1, and is carried out in the same package. 205 shown in the figure is a convex portion for keeping the memory module 10 in an upright posture.
[0021]
Note that the supply tray 202 for mounting the memory module 10 before the test and the storage tray 204 for mounting the memory module 10 after the test may have the same shape or different shapes. It is desirable that at least the supply tray 202 has a function of positioning the mounted memory module 10. This is because the memory module 10 mounted on the supply tray 202 is now loaded into the handler 1 and is subjected to operations such as replacement by a plurality of pickup devices.
[0022]
The tray transfer device of this embodiment is provided in the memory module storage unit 200 of the handler 1 shown in FIG. 1 and has a pair of tray storage units 212 and 214.
[0023]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, in one tray storage portion 212, supply trays 202 on which memory modules 10 to be tested are mainly mounted are vertically held independently of each other without being stacked. It is stored. On the other hand, in the other tray storage portion 214, storage trays 204 in which the memory modules 10 that have been tested are appropriately classified are stored in the vertical direction independently of each other without being stacked. That is, the trays 202 and 204 are stored in the tray storage portions 212 and 214 in a drawer shelf shape, for example.
[0024]
The number of trays that can be stored in these tray storage units 212 and 214 is not particularly limited, and can be determined as appropriate based on the relationship between the size of the test apparatus and the classification capability. 3 to 4, it is possible to store up to seven trays 202 and 204 in each tray storage section 212 and 214, respectively.
[0025]
As will be described in detail later, since the tray storage portions 212 and 214 have the same structure, both the supply tray 202 and the storage tray 204 can be stored together. In other words, there are many types of test results such as non-defective products and defective products, non-defective products with high operation speed, medium-speed products, low-speed products, or defective products that require retesting. When classification is required, it can be dealt with by comprehensively using the two tray storage portions 212 and 214.
[0026]
An elevator 206 (corresponding to the first lifting means of the present invention) is provided between the pair of tray storage portions 212 and 214 so as to be lifted and lowered. As shown in FIG. 2A, the elevator 206 is controlled to move up and down at least from the lowest level to the highest level of the tray storage portions 212 and 214 by, for example, a ball screw driving device 206a.
[0027]
The elevator 206 transfers the trays 202 and 204 to and from the tray storage units 212 and 214. For example, as shown in FIG. 2B, such an operation is performed by hooking a rod of the fluid pressure cylinder 206b or the like onto the trays 202, 204 or a plate on which the tray 202 is placed, and driving the fluid pressure cylinder 206b forward and backward. The operations for loading and unloading 202 and 204 are executed.
[0028]
A transarm 208 (corresponding to the horizontal conveying means of the present invention) is provided directly above the tray storage portions 212 and 214 and the elevator 206 so as to be movable in the ± X-axis directions shown in FIG. The tran arm 208 is controlled to move to a desired position in the ± X axis direction by, for example, a ball screw driving device 208a. The tran arm 208 receives the trays 202 and 204 placed on the elevator 206 and transfers them to a set plate 210 (corresponding to a second lifting / lowering means of the present invention), which will be described later, or on the set plate 210. The received trays 202 and 204 are received and transferred to the elevator 206. At this time, a hook mechanism 208b (see FIG. 3A) is provided to be openable and closable in order to hold and release the trays 202 and 204.
[0029]
In this embodiment, the movable direction of the tran arm 208 is set only in the ± X-axis direction. However, it can be moved up and down in the ± Z-axis direction, so that the trays 202 and 204 can be transferred in the ± Z-axis direction. It may be moved up and down. Further, it may be movable also in the ± Y-axis directions, and the setting range of the set plate 210 to be described later may have a degree of freedom.
[0030]
In the tray transfer device of this embodiment, three set plates 210 are provided immediately above the tran arm 208. These set plates 210 can be moved up and down independently in the ± Z-axis direction by, for example, a ball screw driving device 210a, and can be moved up and down at least between a position lower than the tran arm 208 and a position higher than the tran arm 208 Can do. The lower limit position here is a position when the trays 202 and 204 are delivered, and the upper limit position is a set position of the trays 202 and 204 (that is, a position where the memory module 10 is taken in and out).
[0031]
In this example, three set plates 210 are provided, one on the left in FIG. 2 is set as the set plate 210 of the loader unit 300 referred to as the handler 1, and the two on the right are set plates 210 of the unloader 400 referred to as the handler 1. 210. However, the present invention is not limited to this and may be two or four or more.
[0032]
Next, the operation will be described.
3 to 4, the supply tray 202 loaded with the pre-test memory module 10 is stored in all the stages of the tray storage unit 212, and this is set in the loader unit 300 of the handler 1, and the handler 1 The operation of transferring the storage tray 204 in which the tested memory modules 10 are fully loaded in the unloader unit 400 to the tray storage unit 214 will be described in succession.
[0033]
For example, when the supply tray 202 is taken out from the uppermost stage of the tray storage section 212, the elevator 206 is first moved to the uppermost height position of the tray storage section 212 as shown in FIG. The uppermost supply tray 202 of the tray storage section 212 is pushed out to the elevator 206 by the fluid pressure cylinder 206a shown in FIG. In parallel with this, the tran arm 208 is moved immediately above the elevator 206.
[0034]
Next, the elevator on which the supply tray 202 is placed is raised to a delivery position with the transarm 208, and the hook mechanism 208b of the transarm 208 is closed to receive the supply tray 202 and hold it. Then, the tran arm 208 is moved to the lower part of the loader unit 300 which is the target position. Prior to this movement, the set plate 210 of the loader unit 300 is lowered to the lower limit position.
[0035]
This state is shown in FIG. 3 (B). Here, the set plate 210 is slightly raised (or slightly lowered on the tran arm 208 side when the tran arm 208 is provided with a lifting / lowering function in the ± Z-axis direction). Then, the hook mechanism 208b of the tran arm 208 is opened and the supply tray 202 is transferred onto the set plate 210. Then, after retracting the tran arm 208 from the position, the set plate 210 is raised to the upper limit position as shown in FIG. This completes the operation of setting the supply tray 202 loaded with the pre-test memory modules 10 in the loader unit 300.
[0036]
In FIG. 3C, the tran arm 208 located at the lower portion of the loader unit 300 moves to the right side of the unloader unit 400 in order to receive the storage tray 204 full of the memory modules 10 that have been tested. Prior to this movement, the right set plate 210 of the unloader section 400 is lowered to the lower limit position. Then, slightly raise the set plate 210 (or slightly lower the tran arm 208 when the tran arm 208 is provided with an elevating function in the ± Z-axis direction), and close the hook mechanism 208b of the tran arm 208. Then, the storage tray 204 is delivered and held to the tran arm 208.
[0037]
Next, as shown in FIG. 4A, the transarm 208 is moved to the upper part of the elevator 206 that is waiting in the raised position, where the hook mechanism 208b of the transarm 208 is opened, and the storage tray 204 is moved to the elevator 206. Hand over. Then, as shown in FIG. 4B, after the elevator 206 is lowered to a predetermined empty stage (the third stage from the top in this example) of the tray storage portion 214, the fluid pressure cylinder shown in FIG. The storage tray 204 is pulled into the tray storage unit 214 using 206b. Thus, the operation of transferring the storage tray 204 loaded with the tested memory modules 10 from the unloader unit 400 to the tray storage unit 214 is completed.
[0038]
As described above, when the tray transfer device according to the present embodiment is used, it is not necessary to raise and lower the tray storage units 212 and 214 themselves. Therefore, it is necessary to provide a space for the raising and lowering locus above the tray storage units 212 and 214. Absent. Therefore, the test apparatus itself is miniaturized at least in the height direction.
[0039]
Incidentally, the pre-test memory module 10 loaded on the supply tray 202 set in the window 306 of the loader unit 300 by the tray transfer device described above is tested by the XY transport device 303 shown in FIG. After being transferred to the test tray 20, it is transported into the chamber 100 while being mounted on the test tray 20. In this chamber 100, the memory module 10 is heated or cooled to a temperature (high temperature or low temperature) to be tested in a soak chamber (constant temperature bath) 101, and is pressed against a test head by a measuring unit 102. The pressing to the test head is performed in a state of being mounted on the test tray 20, and several memory modules 20 are pressed simultaneously.
[0040]
Next, the test tray 20 is transferred to the unsoak chamber 103, and the memory module 10 that has been tested is returned to near room temperature. This is mainly performed for the purpose of preventing condensation when a low temperature is applied.
[0041]
The test tray 20 loaded with the memory modules 10 returned to room temperature is transported to the unloader unit 400, where the tested memory modules 10 are transferred to the storage tray 204 using the XY transport device 403. At this time, each memory module 10 is transferred to the storage tray 204 corresponding to each test result. In the example shown in FIG. 1, for example, the “pass” memory module 10 is transferred to the two storage trays 204, 204 set in the windows 406 a, 406 b of the unloader 400, and “fail” or “re- The memory modules 10 that have been “tested” are sequentially transferred to the buffer stage 405. When the buffer stage 405 becomes full, the storage tray 204 for “fail” and the storage tray 204 for “retest” are set in the window 406a or 406b of the unloader unit 400, and the buffer stage 405 The memory modules 10 placed in the above are transferred according to their respective classifications. With the above procedure, the memory module 10 is tested and classified according to the test result.
[0042]
Note that the tray handling sequence shown in FIGS. 3 to 4 is merely an example of the tray transfer device of the present invention. According to the tray transfer device of the present invention, the elevator 206 has a pair of tray storage portions 212. , 214 can access any of the trays 202, 204, so that any of the trays 202, 204 can be taken in and out between the loader unit 300 and the unloader unit 400 and the tray storage units 212, 214. Can do.
[0043]
For example, when the supply tray 202 and the storage tray 204 are the same tray, the supply tray 202 full of the memory modules 10 is transferred to the loader unit 300 according to the procedure shown in FIGS. Then, when the supply tray 202 of the loader unit 300 becomes empty thereafter, it can be directly or indirectly transferred to the unloader unit 400 by the tran arm 208 and used as the storage tray 204.
[0044]
In addition, the storage tray in which the memory module 10 is fully loaded in the unloader unit 400 is normally stored toward the tray storage unit 214, but the empty tray on the tray storage unit 212 is also used to classify the storage tray. It is possible to flexibly cope with an increase in the number.
[0045]
That is, when the supply tray 202 and the storage tray 204 are used independently, the storage tray 204 is B = when the supply tray number is A, the storage tray number is B, and the classification number is n. Although it is not possible to operate continuously unless A + (n−1) or more, by sharing these trays 202 and 204, it becomes possible to perform the classification operation continuously up to n = B + 1.
[0046]
Other embodiments
The present invention can be further modified. FIG. 6A is a schematic plan view showing a handler incorporating another embodiment of the tray transfer device of the present invention, and FIG. 6B is a schematic cross-sectional view (corresponding to the line BB). The structure is different.
[0047]
That is, a tray storage section 212 for storing the supply tray 202 and a tray storage section 214 for storing the storage tray 204 are provided, but the elevators 206A and 206B as the first lifting means are not located between them. Are provided independently. Further, the supply tray 202 is set to the loader unit 300 only at one position (indicated by the window 306), and the supply tray 202z is manually inserted and removed at a position adjacent thereto. Yes.
[0048]
Then, the elevator 206A is used to take out the supply tray 202 full of the memory modules 10 from the tray storage unit 212, and the elevator 206A is lifted as it is to be set in the window 306 of the loader unit 300, and all the memory modules. 10 is moved to the test tray 20, the elevator 206 </ b> A is lowered as it is, and the empty supply tray 202 is returned to the tray storage unit 212.
[0049]
With the above operation, the memory module 10 before the test is inserted into the handler 1. However, while the supply tray 202 is taken out from the tray storage unit 212 or the empty tray 202 is stored in the tray storage unit 212. The XY transport device 303 and the test tray 20 may be in a standby state. Therefore, when such a free time occurs, the memory module 10 is transferred from the supply tray 202z installed manually to the test tray 20 using the XY transport device 303. As a result, a decrease in the throughput of the handler 1 can be suppressed.
[0050]
On the other hand, in the unloader unit 400, the empty storage tray 204 from the tray storage unit 214 is set only in one window (in this example, the right window 406b), and at the position corresponding to the other window 406a. An empty storage tray 204z is set manually. Also, in this vicinity, one empty supply tray 202 is manually installed for one (202f) for a failed memory module and one (202r) for a retest memory module.
[0051]
Then, from the test tray 20 that has been transported to the unloader unit 400 after completion of the test, the passing memory module 10 is mainly transferred to the storage tray 204 set in the right window 406b using the XY transport device 403. When the storage tray 204 becomes full, the elevator 206B is lowered and stored in the tray storage unit 214, and the next empty storage tray 204 is set in the window unit 406b. During this time, the accepted memory module 10 is transferred to the storage tray 204 manually installed on the left side.
[0052]
The failed memory module 10 is transferred to the left supply tray 202f that is manually installed, and the retest memory module 10 is also transferred to the right supply tray 202r. When these supply trays 202f and 202r become full, they are manually replaced with empty supply trays 202f and 202r. At this time, the supply tray 202r filled with the memory modules 10 to be retested is set as it is to the right of the tray storage unit 212 or the window unit 306 of the loader unit 300 as it is.
[0053]
According to the handler 1 of the present embodiment configured as described above, although the throughput is inferior, the tran arm 208, the set plate 210, and the like are not required, and accordingly the apparatus itself becomes smaller and the cost can be reduced. .
[0054]
The embodiment described above is described for facilitating the understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
[0055]
For example, in the above-described embodiment, the memory module 10 is taken as an example of the test target. However, the tray transfer device of the present invention is not limited to the memory module, and the trays cannot be stacked and stored in the tray storage unit. If it is an electronic component, it is all included.
[0056]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, there is no problem that a dead space is generated in the upper portion of the tray storage portion, and the entire apparatus can be downsized at least in the height direction. Further, since both tray storage units can be accessed, the tray transfer is made more efficient and the flexibility of the tray transfer sequence is increased. Moreover, the tray can be stored in any tray storage section, and the trays stored in any tray storage section can be taken out, so the number of classifications can be increased without changing the apparatus itself. Can be dealt with flexibly.
[Brief description of the drawings]
1A and 1B are a schematic plan view and a schematic cross-sectional view showing an example of an electronic component substrate testing apparatus to which a tray transfer apparatus of the present invention is applied.
2A is a perspective view showing an embodiment of a tray transfer device of the present invention, and FIG. 2B is a perspective view showing a tray storage portion and an elevator portion.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view for explaining a tray handling method.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the continuation of FIG. 3;
FIG. 5 is a perspective view showing an example of a tray used in the tray transfer device of the present invention.
FIG. 6 is a schematic plan view and a schematic cross-sectional view showing another embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a perspective view showing a conventional tray transfer device.
[Explanation of symbols]
1 ... Handler (Electronic component board testing equipment)
100 ... chamber
200: Memory module storage unit
202 ... Supply tray (tray)
204 ... Storage tray (tray)
206 ... Elevator (first lifting means)
208 ... Tran arm (horizontal conveyance means)
210 ... Set plate (second lifting means)
212, 214 ... Tray storage section
300 ... loader section
400: Unloader section

Claims

A first tray storage portion that is stored in the vertical direction independently without stacking the first tray;
A second tray storage section that is stored in the vertical direction independently without stacking the second tray;
The first tray storage unit and the second tray storage unit are provided so as to be movable up and down, and the first tray or the second tray storage unit is provided between the first tray storage unit and the second tray storage unit. First elevating means for delivering the two trays,
The first tray storage unit stores a tray on which a pre-test electronic component board is mounted,
The second tray storage unit stores a tray on which a tested electronic component board is mounted ,
A tray transfer device, wherein a tray on which a tested electronic component board is mounted is stored in at least a part of the first tray storage unit .

Provided above the first tray storage unit, the second tray storage unit, and the first lifting / lowering means, and movable in the juxtaposed direction between them, and between the first lifting / lowering means Horizontal conveying means for delivering the first tray or the second tray;
Is movable up and down relative to the position of interest, according to claim 1, further comprising a second elevating means for transferring the first tray or the second tray between said horizontal conveyor means Tray transfer device.

3. The tray transfer device according to claim 1, wherein the electronic component board after the test mounted on the tray stored in the first tray storage unit is a category to be retested.

A first tray storage portion that is stored in the vertical direction independently without stacking the first tray;
A second tray storage section that is stored in the vertical direction independently without stacking the second tray;
The first tray storage unit and the second tray storage unit are provided so as to be movable up and down, and the first tray or the second tray storage unit is provided between the first tray storage unit and the second tray storage unit. First elevating means for delivering the two trays,
The first tray storage unit stores a tray on which a pre-test electronic component board is mounted,
The second tray storage unit stores a tray on which a tested electronic component board is mounted ,
The tray transfer device, wherein an empty tray that has delivered the electronic component substrate before the test is stored in at least a part of the second tray storage unit .

Provided above the first tray storage unit, the second tray storage unit, and the first lifting / lowering means, and movable in the juxtaposed direction between them, and between the first lifting / lowering means Horizontal conveying means for delivering the first tray or the second tray;
Is movable up and down relative to the position of interest, according to claim 4, further comprising a second elevating means for transferring the first tray or the second tray between said horizontal conveyor means Tray transfer device.

Wherein the first tray second tray, the tray transfer apparatus according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the same type of tray.