JP3953053B2 - 吐出方法、カラーフィルタ基板の製造方法、液晶表示装置の製造方法、および電子機器の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、カラーフィルタ基板およびその製造方法に関し、より具体的には、１つの画素領域に透過部と反射部とを備えた液晶表示装置に好適なカラーフィルタ基板、その製造方法、および吐出方法に関する。

カラーフィルタ基板にインクジェットヘッドからカラーフィルタ用のインク滴を吐出することで、カラーフィルタを製造する製造装置が知られている（例えば特許文献１）。

また、半透過反射型液晶表示装置が知られている（例えば特許文献２）。半透過反射型液晶表示装置は、自然光や室内照明光等の外光を反射させて表示を行う反射型表示と、光源からの光を裏面側から入射させて表示を行う透過型表示とを切換えることのできる表示装置である。

特開平１０−２６０３０７号公報 特開２００１−３３７７８号公報（図１、図２）

インク滴を吐出することでカラーフィルタ基板を製造する場合には、ターゲットの表面が所定の撥液性または親液性を有するように、表面改質工程を行う場合が多い。インク滴に応じた表面改質工程を行えば、吐出されたインク滴がターゲット上で均一に塗布されるからである。このような表面改質工程としてプラズマ処理やＵＶ照射が行われる。ただし、このような表面改質工程を行う場合には、ターゲットを含む基体を所定の処理室に別途移動する必要があり、この結果、製造時間の短縮が難しい場合が多い。

また、半透過反射型のカラーフィルタ基板をインクジェット装置で作製することは知られていない。

半透過反射型液晶表示装置に利用されるカラーフィルタ基板には、１つのフィルタエレメント毎に反射部と透過部とが設けられている。反射部は外光を反射するために設けられており、透過部は、光源からの光をフィルタエレメントに導くために設けられている。ところで、透過部は反射部に設けられた開口部であるため、反射部と透過部との境界に段差が存在する。インクジェット装置などの吐出装置を利用して、このような段差上にカラーフィルタエレメントを形成する場合には、段差の部分の近傍がカラーフィルタ材料で覆われない場合がある。

本発明は上記問題を鑑みてなされたものであり、その目的の一つは、液状の材料が適切に塗布され得る構造を有するカラーフィルタ基板、液晶表示装置および電子機器を提供することである。

本発明のカラーフィルタ基板は、開口部を有する第１の層および第２の層と、前記複数の開口部に位置するフィルタ層と、前記フィルタ層の対応して設けられた反射部および透過部と、を備えている。そして、前記反射部は、前記第１の層に対して第１の側から入射する第１の光線であって、前記フィルタ層を通過する第１の光線を、前記第１の側へ反射するように形成されている。そして、前記透過部は、前記第１の層に対して第２の側から入射するの第２の光線を、前記フィルタ層を介して前記第１の側に射出させるように形成されている。さらに、前記第２の層は前記第１の層をパターニングするために用いられるレジストである。

上記構成によって、半透過反射型のカラーフィルタ基板を製造する過程において、第１の層に開口部を与えるために用いられたレジストが第２の層として残っている。レジストは液状のカラーフィルタ材料に対して撥液性を示すため、第１の層の開口部にインクジェット装置などの吐出装置からカラーフィルタ材料を吐出することがより容易になる。

好ましくは、前記第１の層はブラックマトリクスである。

上記特徴によって、フィルタ層以外の部分を透過する光を遮光できるため、コントラスト比が高いカラーフィルタ基板が得られる。

好ましくは、前記反射部の表面は光散乱面である。

上記特徴によって、反射部で反射した光がぎらつかないカラーフィルタ基板が得られる。

好ましくは、前記カラーフィルタ基板が、光透過性を有する基板と、前記基板上に位置するとともに凹凸面を有する樹脂層と、をさらに備えている。そして、前記反射部の前記表面が前記光散乱面になるように、前記反射部が前記凹凸面に接している。

上記特徴によって、反射部の表面に光散乱面を容易に形成できる。

好ましくは、前記フィルタ層は前記開口部に液状のフィルタ材料を塗布することで形成されており、前記液状のカラーフィルタ材料に対する前記第２の層の撥液性は、前記液状のカラーフィルタ材料に対する前記第１の層の撥液性よりも高い。

上記特徴によって、インクジェット装置などの吐出装置からカラーフィルタ材料が吐出される場合に、吐出されたカラーフィルタ材料が、バンクとして機能する第２の層を超えて第１の層の開口部の外側に流れず、開口部の内部に流れ落ちるため、カラーフィルタ材料の塗布または付与がより容易になる。

好ましくは、前記第１の層は前記液状のカラーフィルタ材料に対して親液性を呈する。

上記特徴によって、ブラックマトリクスの開口部内でより均一なカラーフィルタ材料の層が形成されやすい。

さらに好ましくは、前記レジストはフッ素系ポリマーを含むレジストである。

上記特徴によれば、別途第２の層に対してプラズマ処理などの表面改質処理を施さなくても、第２の層がカラーフィルタ材料に対して撥液性を呈する。つまり、第２の層がバンクとして機能できる。このため、別途プラズマ処理を行う必要がなくなり、この結果、製造時間を短縮できる。

ある態様では、上記カラーフィルタ基板は前記反射部上に位置するオーバーコート層をさらに備えている。前記フィルタ層は、対応する前記オーバーコート層と、対応する前記透過部とを覆う。

上記特徴によって、反射光の色純度を相対的に下げることができ、このため、反射光の色純度と、透過光の色純度との差を小さくできる。この結果、反射光を利用した表示における色の見えと、透過光を利用した表示における色の見えとを同じにできる。

本発明は、種々の態様で実現することが可能であり、液晶表示装置や電子機器の態様でも実現できる。本明細書において「電子機器」とは、プラズマ表示装置、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、ＦＥＤ（Field Emission display）やＳＥＤ(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)などを含む用語である。なお、ＦＥＤやＳＥＤは電子放出素子を備えた画像表示装置とも呼ばれる。

本発明のカラーフィルタ基板の製造方法は、光透過性を有する部材上に反射部と透過部とを設けるステップと、前記反射部と透過部とを覆う第１の材料の層を形成するステップと、前記第１の材料の層上にレジストを塗布することで第２の材料の層を形成するステップと、前記第１の材料の層が前記反射部と前記透過部とに対応した開口部を有するように、前記第２の材料の層を露光して前記第１の材料の層と前記第２の材料の層とをパターニングするステップと、パターニングされた前記第１の材料の層と前記第２の材料の層とで決まる前記開口部に液状のカラーフィルタ材料を吐出するステップと、を含む。

上記特徴によって、半透過反射型のカラーフィルタ基板を製造する過程において、第１の層に開口部を与えるために用いられたレジストが第２の層として残っている。レジストは液状のカラーフィルタ材料に対して撥液性を示すため、第１の層の開口部にインクジェット装置などの吐出装置を用いてカラーフィルタ材料を塗布または付与することがより容易になる。

本発明の吐出方法は、反射部と透過部とを備えた被吐出部であって、前記透過部が前記反射部に対して窪んでいる被吐出部、に液状のカラーフィルタ材料を吐出する吐出方法であって、前記透過部に前記カラーフィルタ材料を吐出するステップ（ａ）と、ステップ（ａ）の後に前記反射部に前記カラーフィルタ材料を吐出するステップ（ｂ）と、を含んでいる。

上記構成よって、まず窪んでいる透過部に液状の材料が吐出され、次に反射部に液状の材料が吐出される。このため、反射部および開口部だけでなく、反射部と開口部との間の境界に位置する段差の近傍も液状の材料で覆われる。この結果、インクジェット装置などの吐出装置を用いても、半透過反射型の表示装置用のカラーフィルタ基板が容易に製造できる。

本発明は、種々の態様で実現することが可能であり、カラーフィルタ基板の製造方法や、液晶表示装置の製造方法や、電子機器の製造方法の態様でも実現できる。

以下、本発明を、液晶表示装置に適用した場合を例に取り、図面を参照しつつ説明する。なお、以下に示す実施例は、特許請求の範囲に記載された発明の内容を何ら限定するものではない。また、以下の実施例に示す構成のすべてが、特許請求の範囲に記載された発明の解決手段として必須であるとは限らない。

図１に示す液晶表示装置１１は、２端子素子であるＴＦＤ（Thin Film Diode)をスイッチング素子として備えた表示装置である。液晶表示装置１１は、偏光板２０Ａと、偏光板２０Ｂと、カラーフィルタ基板１０と、対向基板１２と、液晶層１４と、光源部１６と、を備えている。液晶層１４は、カラーフィルタ基板１０と対向基板１２との間に位置している。また、カラーフィルタ基板１０は、液晶層１４と光源部１６との間に位置している。また、偏光板２０Ａと偏光板２０Ｂとの間に、カラーフィルタ基板１０と、液晶層１４と、対向基板１２と、が位置している。

カラーフィルタ基板１０は、光透過性を有する基板３２と、反射部２６と、透過部２８と、複数のフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢと、ブラックマトリクス１７と、バンク３０と、平坦化層３４と、光透過性を有する複数の電極３６と、配向膜３８Ａと、を含む。本実施例では、基板３２の位置は、偏光板２０Ａと反射部２６および透過部２８との間である。なお、「カラーフィルタ基板」は、少なくとも１つのフィルタ層を有すればよい。したがって、複数の電極３６や配向膜３８Ａがカラーフィルタ基板１０に含まれないように、カラーフィルタ基板１０が定義されてもよい。

偏光板２０Ａは基板３２のほぼ全面を覆うように位置している。なお、本実施例では、偏光板２０Ａと基板３２とは接しているが、偏光板２０Ａと基板３２とが離れていてもよい。

反射部２６および透過部２８は、ともに基板３２上に位置している。反射部２６および透過部２８は、ともに複数のフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢのそれぞれに対応する領域に位置している。本実施例において、反射部２６および透過部２８は、それぞれ基板３２上に形成されたアルミニウム膜およびその開口部である。

ブラックマトリクス１７は、複数の開口部１７Ａを有する。具体的には、ブラックマトリクス１７は、複数の開口部１７Ａを規定する形状を有する遮光部である。複数の開口部１７Ａは、マトリクス状に位置しており、それぞれの開口部１７Ａは後述する画素領域Ｇに対応する。なお、ブラックマトリクス１７は、それぞれの反射部２６の一部分上に形成されている。また、ブラックマトリクス１７は、本発明の「第１の層」の一例である。

複数のフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢのそれぞれは、３つの色のいずれかに対応する。具体的には、フィルタ層１１１ＦＲが赤色に対応するフィルタであり、フィルタ層１１１ＦＧが緑色に対応するフィルタであり、フィルタ層１１１ＦＢが青色に対応するフィルタである。複数のフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢのそれぞれは、複数の開口部１７Ａのそれぞれに位置している。

バンク３０はブラックマトリクス１７上に形成されている。バンク３０の平面形状はブラックマトリクス１７の平面形状と同じである。後に詳細に説明するように、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを形成するための液状のカラーフィルタ材料に対するバンク３０の撥液性は、カラーフィルタ材料に対するブラックマトリクス１７の撥液性よりも大きい。なお、バンク３０は、本発明の「第２の層」の一例である。

平坦化層３４は、複数のフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢと、バンク３０と、を覆うように位置している。具体的には、ほぼ平坦な面が得られるように、平坦化層３４は、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢとバンク３０とが形成する段差を覆っている。平坦化層３４上には、複数の電極３６が位置している。複数の電極３６はそれぞれＹ軸方向（図１の紙面に垂直な方向）に延びるストライプ状の形状を有しており、互いに平行である。配向膜３８Ａは、複数の電極３６および平坦化層３４を覆うように位置しており、所定の方向にラビング処理が施されている。

対向基板１２は、光透過性を有する基板４０と、光透過性を有する複数の電極４２と、配向膜３８Ｂと、を含む。基板４０の位置は、偏光板２０Ｂと複数の電極４２との間である。偏光板２０Ｂは、基板４０のほぼ全面を覆うように位置している。なお、本実施例では、偏光板２０Ｂと基板４０とは接しているが、偏光板２０Ｂと基板４０とが離れていてもよい。また、図１には示されていないが、対向基板１２は、それぞれが複数の電極４２のそれぞれと電気的に接続された複数の２端子素子を備えている。

複数の電極４２はマトリクス状に位置している。配向膜３８Ｂは、複数の電極４２および基板４０を覆うように位置しており、所定の方向にラビングされている。なお、本実施例では、配向膜３８Ｂのラビング方向と上述の配向膜３８Ａのラビング方向とは、配向膜３８Ａおよびお３８Ｂの間で液晶がＴＮ配向をするように、設定されている。

液晶層１４は、カラーフィルタ基板１０と対向基板１２との間に位置する。具体的には、液晶層１４は、配向膜３８Ａと配向膜３８Ｂとの間に位置する複数のスペーサによって確保された空間に位置するとともに、配向膜３８Ａおよび配向膜３８Ｂに接する。

複数の電極３６と複数の電極４２とが重なる部分は、それぞれ画素領域Ｇに対応する。
また、１つの画素領域Ｇとは、複数のフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢのうちの１つのフィルタ層に対応する領域でもある。

光源部１６は、光源部１６と液晶層１４との間にカラーフィルタ基板１０が位置するように、設けられている。本実施例の光源部１６はバックライトとも呼ばれる。光源部１６は、白色光を発光する光源１６Ａと、導光体１６Ｂと、を含む。導光体１６Ｂは、基板３２を裏面から均一に照明するように、光源１６Ａからの光を拡散しながら導光する機能を有する。基板３２の裏面とは、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢや、ブラックマトリクス１７や、反射部２６や、透過部２８が形成された面の反対の面である。このため、例えば、基板３２は、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢと、光源部１６との間に位置するとも表記し得る。

上述したように、カラーフィルタ基板１０において、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢのそれぞれに対応して、反射部２６と透過部２８とが位置する。このようなカラーフィルタ基板１０を有する液晶表示装置１１は、以下のように機能する。

バックライト（光源部１６）の利用時には、バックライトからの光線Ｐは、偏光板２０Ａと基板３２とを伝播したのちに透過部２８とを通過する。そして、透過部２８を通過した光線は、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢに入射し、対応する波長域の光線がフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢから射出する。フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢからの光線（色光）は、液晶層１４および対向基板１２を伝播して偏光板２０Ｂから射出する。偏光板２０Ｂの射出面では、バックライトからの光線の強度は、電極３６および電極４２の間で印加された電圧に応じて変調されている。

一方、外光利用時には、外光などの光線Ｓは、偏光板２０Ｂと、対向基板１２と、液晶層１４とを伝播して、対応するフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢに入射する。そして、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを伝播した光線のうち、反射部２６によって反射された光線は、再度フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを伝播し、対応する色光として射出する。各色光は、液晶層１４および対向基板１２を再び伝播して、偏光板２０Ｂから射出する。偏光板２０Ｂの射出面では、外光などの光線の強度は、電極３６および電極４２の間で印加された電圧に応じて変調されている。

上記構成によって、ブラックマトリクス１７に関して第１の側から入射する第１の光線であって対応するフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを通過する第１の光線は、反射部２６によって第１の側へ反射する。一方、ブラックマトリクス１７に関して第２の側から入射する第２の光線は、透過部２８および対応するフィルタ層１１１ＦＲ，１１１ＦＧ、１１１ＦＢを介して第１の側に射出する。なお、ブラックマトリクス１７に対して第１の側とは、平坦化層３４や液晶層１４が位置する側である。また、ブラックマトリクス１７に対して第２の側とは、光源１６が位置する側である。

このように、液晶表示装置１１は、外光を利用して画像を表示することも、バックライトからの光を利用して画像を表示することも可能である。このような機能を有する液晶表示装置１１は、半透過反射型の表示装置と呼ばれる。

カラーフィルタ基板１０におけるフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢは、ブラックマトリクス１７の開口部１７Ａ内にインクジェット装置などの吐出装置からカラーフィルタ材料を吐出することで形成されている。

本実施例では、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢが設けられる前のカラーフィルタ基板１０を「基体１０Ａ」と表記することもある。また、本実施例では、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを設けるべき領域のそれぞれを「被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ」と表記することもある。この表記によれば、本実施例の場合、基体１０Ａにおいて、バンク３０と、ブラックマトリクス１７と、反射部２６と、透過部２８と、によって囲まれる凹部のそれぞれが被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに対応する。なお、被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂのそれぞれは「ターゲット」と呼ばれることもある。

以下では、液晶表示装置１１を製造するための製造装置を説明する。

図２に示す製造装置１は、基体１０Ａの被吐出部１８Ｒ，１８Ｇ、１８Ｂのそれぞれに対して、対応するカラーフィルタ材料を吐出する装置である。具体的には、製造装置１は、被吐出部１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒを塗布する吐出装置１００Ｒと、被吐出部１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１１Ｒを乾燥させる乾燥装置１５０Ｒと、被吐出部１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇを塗布する吐出装置１００Ｇと、被吐出部１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１１Ｇを乾燥させる乾燥装置１５０Ｇと、被吐出部１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂを塗布する吐出装置１００Ｂと、被吐出部１８Ｂのカラーフィルタ材料１１１Ｂを乾燥させる乾燥装置１５０Ｂと、カラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを再度加熱（ポストベーク）するオーブン１６０と、ポストベークされたカラーフィルタ材料１１１Ｒ，１１１Ｇ、１１１Ｂの層の上に平坦化層３４を設ける吐出装置１００Ｃと、平坦化層３４を乾燥させる乾燥装置１５０Ｃと、乾燥された平坦化層３４を再度加熱して硬化する硬化装置１６５と、を備えている。さらに製造装置１は、吐出装置１００Ｒ、乾燥装置１５０Ｒ、吐出装置１００Ｇ、乾燥装置１５０Ｇ、吐出装置１００Ｂ、乾燥装置１５０Ｂ、吐出装置１００Ｃ、乾燥装置１５０Ｃ、硬化装置１６５の順番に基体１０Ａを搬送する搬送装置１７０も備えている。

図３に示すように、吐出装置１００Ｒは、液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒを保持するタンク１０１Ｒと、チューブ１１０Ｒを介してタンク１０１Ｒからカラーフィルタ材料１１１Ｒが供給される吐出走査部１０２と、を備える。吐出走査部１０２は、それぞれがカラーフィルタ材料を吐出可能な複数のヘッド１１４（図４）を有するキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４と、基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８と、制御部１１２と、を備えている。タンク１０１Ｒと、キャリッジ１０３における複数のヘッド１１４と、はチューブ１１０Ｒで連結されており、タンク１０１Ｒから複数のヘッド１１４のそれぞれに液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒが圧縮空気によって供給される。

本実施例における液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒは、本発明の「液状の材料」の一例である。液状の材料とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。ノズルから吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。

第１位置制御装置１０４はリニアモータを備えており、制御部１１２からの信号に応じて、キャリッジ１０３をＸ軸方向、およびＸ軸方向と直交するＺ軸方向に沿って移動させる。第２位置制御装置１０８もリニアモータを備えており、制御部１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の両方と直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。ステージ１０６はＸ軸方向およびＹ軸方向の双方と平行な平面を有していて、この平面上に基体１０Ａを固定できるように構成されている。ステージ１０６が基体１０Ａを固定するので、ステージ１０６は被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの位置を決定できる。
なお、本実施例の基体１０Ａは、受容基板の一例である。

第１位置制御装置１０４は、さらに、Ｚ軸方向に平行な所定の軸の回りでキャリッジ１０３を回転させる機能も有する。Ｚ軸方向とは、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。第１位置制御装置１０４によるキャリッジ１０３のＺ軸方向に平行な軸の回りの回転によって、受容基板上に固定された座標系におけるＸ軸およびＹ軸を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向とそれぞれ平行にできる。本実施例では、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は、ともにステージ１０６に対してキャリッジが相対移動する方向である。本明細書では、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８を「走査部」と表記することもある。

キャリッジ１０３およびステージ１０６は上記以外の平行移動および回転の自由度をさらに有している。ただし、本実施例では、上記自由度以外の自由度に関する記載は説明を平易にする目的で省略されている。

制御部１１２は、カラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。制御部１１２の詳細な機能は、後述する。

図４に示すように、キャリッジ１０３は、互いに同じ構造を有する複数のヘッド１１４を保持している。ここで、図４は、キャリッジ１０３をステージ１０６側から観察した図であり、このため図面に垂直な方向がＺ軸方向である。本実施形態では、キャリッジ１０３には６個のヘッド１１４からなる列が２列配置されている。また、それぞれのヘッド１１４の長手方向がＸ軸方向に対して角度ＡＮをなすように、ヘッド１１４のそれぞれがキャリッジ１０３に固定されている。

図５に示すように、カラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出するためのヘッド１１４は、それぞれがヘッド１１４の長手方向に延びる２つのノズル列１１６を有している。１つのノズル列１１６とは、１８０個のノズル１１８が一列に並んだ列のことである。１８０個のノズル１１８が一列に並ぶ方向（以下ノズル列方向ＨＸ）に沿ったノズル１１８の間隔は、約１４０μｍである。また、図５において、１つのヘッド１１４における２つのノズル列１１６は、互いに半ピッチ（約７０μｍ）だけ互いにずれて位置している。さらに、ノズル１１８の直径は、およそ２７μｍである。上述したように、ヘッド１１４の長手方向がＸ軸方向に対して角度ＡＮをなすため、ノズル列方向ＨＸもＸ軸方向に対して角度ＡＮをなす。なお、複数のノズル１１８のそれぞれの端部は、上記Ｘ軸方向およびＹ軸方向で定義される仮想的な平面上に位置している。また、ヘッド１１４がほぼＺ軸と平行に材料を吐出できるように、複数のノズル１１８のそれぞれの形状が調整されている。

角度ＡＮは、Ｘ軸方向に並んだ複数の被吐出部１８Ｒのいくつかに、少なくとも任意の２つのノズルが同時に対応するように適宜設定されればよい。そうすれば、１つの走査期間内に同時に２つの列を塗布走査できるからである。なお、この場合に、任意の２つのノズル１１８は、互いに隣接していなくてもよい。

図６（ａ）および（ｂ）に示すように、それぞれのヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれのヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、を備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、の間には、タンク１０１Ｒから孔１３１を介して供給される液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒが常に充填される液たまり１２９が位置している。また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、の間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２と、によって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９からカラーフィルタ材料１１１Ｒが供給される。

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒが吐出される。

制御部１１２（図３）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立な信号を与えるように構成されている。このため、ノズル１１８から吐出されるカラーフィルタ材料１１１Ｒの体積は、制御部１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御される。さらに、ノズル１１８のそれぞれから吐出されるカラーフィルタ材料１１１Ｒの体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。このため、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８と、を設定することでもできる。

本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティに対応する振動子１２４と、を含んだ部分を、吐出部１２７と表記することもある。この表記によれば、１つのヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。

上述のように、キャリッジ１０３は第１位置制御装置１０４（図３）によってＸ軸方向およびＺ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６（図３）は第２位置制御装置１０８（図３）によってＹ軸方向に移動させられる。この結果、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対するヘッド１１４の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、複数のヘッド１１４、複数のノズル列１１６、または複数のノズル１１８は、ステージ１０６上で位置決めされた被吐出部１８Ｒに対してＺ軸方向に所定の距離を保ちながらＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動、すなわち相対的に走査する。さらに具体的には、ヘッド１１４は、ステージに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対走査するとともに、複数のノズル１１８から材料を吐出する。本発明では、被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに対してノズル１１８を走査して、被吐出部１８Ｒに対してノズル１１８から材料を吐出してもよい。「相対走査」とは吐出する側とそこからの吐出物が着弾する側（被吐出部１８Ｒなど）の少なくとも一方を他方に対して走査することを含む。また、相対走査と材料の吐出との組合せを指して「塗布走査」と表記することもある。

次に、制御部１１２の構成を説明する。図７に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶装置２０２と、処理部２０４と、走査ドライバ２０６と、ヘッドドライバ２０８と、を備えている。バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶装置２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査ドライバ２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッドドライバ２０とは相互に通信可能に接続されている。また、走査ドライバ２０６は、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッドドライバ２０８は、複数のヘッド１１４のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。

入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置からカラーフィルタ材料１１１Ｒの吐出を行うための吐出データを受け取る。吐出データは、基体１０Ａ上のすべての被吐出部１８Ｒの相対位置を表すデータと、材料を吐出すべき位置、あるいは材料が着弾すべき位置を示すデータと、すべての被吐出部１８Ｒに所望の厚さのカラーフィルタ材料１１１Ｒを塗布するまでに必要となる相対走査の回数を示すデータと、材料を吐出するノズルと材料の吐出を休止するノズルとを指定するデータと、を含む。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶装置２０２に格納する。図７では、記憶装置２０２はＲＡＭである。

処理部２０４は、記憶装置２０２内の吐出データに基づいて、被吐出部１８Ｒに対するノズル列１１６の相対位置を示すデータを走査ドライバ２０６に与える。走査ドライバ２０６はこのデータに応じた駆動信号を第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８に与える。この結果、被吐出部１８Ｒに対してノズル列１１６が走査される。一方、処理部２０４は、記憶装置２０２に記憶された吐出データに基づいて、対応するノズル１１８からの吐出タイミングを示すデータをヘッドドライバ２０８に与える。ヘッドドライバ２０８はこのデータに基づいて、カラーフィルタ材料１１１Ｒの吐出に必要な駆動信号をヘッド１１４に与える。この結果、ノズル列１１６における対応するノズル１１８から液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒが吐出される。

制御部１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、バスを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御部１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。

以上の構成によって、吐出装置１００Ｒは、制御部１１２に与えられた吐出データに応じて、カラーフィルタ材料１１１Ｒの塗布走査を行う。

以上は、吐出装置１００Ｒの構成の説明である。吐出装置１００Ｇの構成と、吐出装置１００Ｂの構成と、吐出装置１００Ｃの構成とは、いずれも基本的に吐出装置１００Ｒの構成と同じある。ただし、吐出装置１００Ｒにおけるタンク１０１Ｒの代わりに、吐出装置１００Ｇがカラーフィルタ材料１１１Ｇ用のタンクを備える点で吐出装置１００Ｇの構成は吐出装置１００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク１０１Ｒの代わりに、吐出装置１００Ｂがカラーフィルタ材料１１１Ｂ用のタンクを備える点で吐出装置１００Ｂの構成は吐出装置１００Ｒの構成と異なる。さらに、タンク１０１Ｒの代わりに、吐出装置１００Ｃが保護膜材料用のタンクを備える点で吐出装置１００Ｃの構成は吐出装置１００Ｒの構成と異なる。

次に液晶表示装置１１の製造方法を説明する。

まず、光透過性を有する部材上に反射部２６と透過部２８とを形成する。具体的には、図８（ａ）に示すように、ガラス基板など光透過性を有する基板３２のほぼ全面を覆うように、スパッタ法などでアルミニウム（Ａｌ）膜を製膜する。ここで、基板３２が本発明の「光透過性を有する部材」に対応する。そして、図８（ｂ）に示すように、画素領域Ｇごとに反射部２６と透過部２８とが形成されるように、上記Ａｌ膜をパターニングする。
具体的には、透過部２８の形状がほぼ矩形になるように、Ａｌ膜がパターニングされる。
パターニング後に基板３２上に残ったＡｌ膜が反射部２６であり、Ａｌ膜が取り除かれた部分が透過部２８である。このようにして、光透過性を有する部材上に反射部２６と透過部２８とが形成される。

本実施例では、基板３２上に直接、反射部２６が設けられている。ただし、基板３２と反射部２６との間に保護膜などの層が設けられていてもよい。本明細書では、基板３２は、そのような保護膜などの層も含み得る用語である。

次に、反射部２６と透過部２８とを覆う第１の材料の層を形成する。具体的には、図８（ｃ）に示すように、反射部２６と基板３２とを覆うように、黒顔料が分散された熱硬化型アクリル樹脂（樹脂ブラック）を３μｍ程度の厚さに塗布する。この結果、樹脂ブラック層１７’を得る。ここで、樹脂ブラック層１７’が本発明の「第１の材料の層」の一例である。

そして、第１の材料の層上にレジストを塗布することで第２の材料の層を形成する。具体的には、図８（ｃ）に示すように、樹脂ブラック層１７’の全面を覆うように、フッ素系ポリマーがブレンドされたネガ型のアクリル系化学増幅型感光性レジストを塗布する。
この結果、樹脂ブラック層１７’上にレジスト層３０’を得る。ここで、レジスト層３０’が本発明の「第２の材料の層」の一例である。

次に、レジスト層３０’と樹脂ブラック層１７’とをパターニングする。具体的には、画素領域Ｇに対応した部位に遮光部を有するフォトマスクを介して、レジスト層３０’に光ｈνを照射する。そして、所定のエッチング液を用いてエッチングすることで、光ｈνが照射されていない複数の部分、すなわち複数の画素領域Ｇに対応する複数の部分のレジスト層３０’と、樹脂ブラック層１７’と、を取り除く。そのことによって、図８（ｄ）に示すように、後に形成されるべきフィルタ層を囲む形状を有するブラックマトリクス１７とバンク３０とが、基板３２上に同時に得られる。つまり、反射部２６と透過部２８とに対応した開口部１７Ａが得られる。

前述したように、ブラックマトリクス１７と、バンク３０と、反射部２６と、透過部２８と、によって規定または囲まれた領域が、被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂである。なお、バンク３０は光透過性を有する。また、前述したように、ブラックマトリクス１７は本発明の「第１の層」の一例であり、バンク３０は本発明の「第２の層」の一例である。

このように、ブラックマトリクス１７とブラックマトリクス１７上に位置するバンク３０とを形成することで、ブラックマトリクス１７とバンク３０とによって区画された領域（つまり被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）を基体１０Ａに設ける。

次に吐出装置１００Ｒが、被吐出部１８Ｒにカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する方法を説明する。

図９に示す基体１０Ａにおいて、複数の被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行である。さらに、被吐出部１８Ｒ、被吐出部１８Ｇ、および被吐出部１８Ｂは、Ｘ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、被吐出部１８Ｒ同士はＹ軸方向に所定の間隔をおいて１列に並んでおり、また、被吐出部１８Ｇ同士はＹ軸方向に所定の間隔をおいて１列に並んでおり、そして、被吐出部１８Ｂ同士はＹ軸方向に所定の間隔をおいて１列に並んでいる。

被吐出部１８Ｒ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＲＸは、ほぼ２３７μｍである。この間隔ＬＲＸは、被吐出部１８Ｇ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＧＸと同じであり、被吐出部１８Ｂ同士のＸ軸方向に沿った間隔ＬＢＸとも同じである。また、被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８ＧのそれぞれのＸ軸方向の長さおよびＹ軸方向の長さは、それぞれ約５０μｍおよび約１２０μｍである。

本実施例では、被吐出部１８Ｒにおいて、透過部２８は反射部２６に対して窪んでおり、このため、被吐出部１８Ｒ内に段差が形成されている（図８（ｄ））。より具体的には、段差は、反射部２６と透過部２８との境界に位置する。これは、透過部２８が反射部２６の開口部だからであり、反射部２６の一部を取り除くことで形成されているからである。したがって、段差の大きさは、反射部２６の厚さに相当する。なお、被吐出部１８Ｇ、１８Ｂにおいても、透過部２８は反射部２６に対して、同様に窪んでいる。

まず、搬送装置１７０は、基体１０Ａを吐出装置１００Ｒのステージ１０６に位置させる。具体的には、複数の被吐出部１８Ｒ，１８Ｇ、１８Ｂが形成するマトリクスの行方向および列方向が、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行となるように、固定する。

第１の走査期間が始る前に、吐出装置１００Ｒは、ノズル１１８のＸ座標と、被吐出部１８ＲのＸ座標とを一致させる。具体的には、図１０に示すノズル１１８のうち、最も左のノズル１１８のＸ座標を、図１０に示す被吐出部１８Ｒの列のうち、最も左の列のＸ座標Ｘ１に一致させる。これに伴い、図１０に示すノズル１１８のうち、最も右のノズル１１８のＸ座標が、図１０の被吐出部１８Ｒの列のうち、最も右の列のＸ座標Ｘ２に一致する。以下では、被吐出部１８Ｒに対応したノズル１１８を第１のノズル１１８Ａと表記することもある。また、被吐出部１８Ｒに対応しないノズル１１８を第２のノズル１１８Ｂと表記することもある。

ところで、本実施例において「走査期間」とは、図１３に示すように、Ｙ軸方向に並んだ複数の被吐出部１８Ｒのすべてに材料を塗布または付与するために、キャリッジ１０３の一辺がＹ軸方向に沿って走査範囲１３４の一端Ｅ１（または他端Ｅ２）から他端Ｅ２（または一端Ｅ１）まで相対移動を１回行う期間を意味する。さらに、本実施例において走査範囲１３４とは、マトリクス１８Ｍに含まれる被吐出部１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒを塗布するまでに、キャリッジ１０３の一辺が相対移動する範囲を意味する。しかしながら、場合によっては用語「走査範囲」は、１つのノズル１１８が相対移動する範囲を意味することもあるし、１つのノズル列１１６が相対移動する範囲を意味することもあるし、１つのヘッド１１４が相対移動する範囲を意味することもある。なお、マトリクス１８Ｍとは、被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが構成するマトリクスである。

また、キャリッジ１０３、ヘッド１１４、またはノズル１１８が相対移動するとは、被吐出部１８Ｒに対するこれらの相対位置が変わることである。このため、キャリッジ１０３、ヘッド１１４、またはノズル１１８が絶対静止して、被吐出部１８Ｒのみがステージ１０６によって移動する場合であっても、キャリッジ１０３、ヘッド１１４、またはノズル１１８が相対移動すると表現する。

図１０に示すように、第１の走査期間が始ると、走査範囲１３４の一端Ｅ１からＹ軸方向の正の方向（図面上方向）に、キャリッジ１０３が相対移動し始める。そして、第１の走査期間の間に、第１のノズル１１８Ａが被吐出部１８Ｒに対応する領域に侵入した場合には、第１のノズル１１８Ａから対応する被吐出部１８Ｒにカラーフィルタ材料１１１Ｒが吐出される。より具体的には、ノズル１１８Ａが、被吐出部１８Ｒにおける透過部２８に対応する領域に侵入した場合に、ノズル１１８Ａはカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する。図１０に示す例では、第１の走査期間の間に、それぞれの被吐出部１８Ｒに対して、カラーフィルタ材料１１１Ｒが１回吐出される。図１０には、ノズル１１８Ａがカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する位置、あるいは着弾位置ＢＤ、が黒丸で示されている。

図１１に示すように、第１の走査期間に引き続く第２の走査期間が始ると、走査範囲１３４の他端Ｅ２からＹ軸方向の負の方向（図面下方向）に、キャリッジ１０３が相対移動し始める。第２の走査期間の間に、第１のノズル１１８Ａが被吐出部１８Ｒに対応する領域に侵入した場合には、第１のノズル１１８Ａから対応する被吐出部１８Ｒにカラーフィルタ材料１１１Ｒが吐出される。より具体的には、ノズル１１８Ａが、反射部２６に対応する領域に侵入した場合に、ノズル１１８Ａはカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する。
図１１に示す例では、第２の走査期間の間に、それぞれの被吐出部１８Ｒに対して、カラーフィルタ材料１１１Ｒが２回吐出される。図１１には、ノズル１１８Ａがカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する位置、あるいは着弾位置ＢＤ、が黒丸で示されている。なお、図１１には、第１の走査期間の間にカラーフィルタ材料１１１Ｒが吐出された位置も白丸で示されている。

その後、吐出装置１００Ｒは、キャリッジ１０３のＸ座標を段階的に移動させて、基体１０Ａにおける全ての被吐出部１８Ｒに対して、上述のようにカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する。

図１２を参照しながら、上記の吐出方法を１つの被吐出部１８Ｒに着目して説明する。

図１２は、被吐出部１８ＲのＹ−Ｚ断面図である。つまり、図１２の紙面の左右方向が、被吐出部１８Ｒの長手方向である。図１２（ａ）に示すように、第１の走査期間の間（第１の走査期間内）には、透過部２８に向けてカラーフィルタ材料１１１Ｒが吐出される。図１２（ｂ）に示すように、透過部２８にカラーフィルタ材料１１１Ｒが着弾すると、透過部２８だけでなく、透過部２８と反射部２６との境界に位置する段差を覆ってカラーフィルタ材料１１１Ｒが塗れ広がる。図１２（ｃ）に示すように、第２の走査期間の間（第２の走査期間内）には、ほぼ反射部２６に対応する部分に、カラーフィルタ材料１１１Ｒが吐出される。この場合、カラーフィルタ材料１１１Ｒの液滴の一部が透過部２８に重なるように着弾してもよい。その後、図１２（ｄ）に示すように、第１の走査期間と第２の走査期間とによって吐出されたカラーフィルタ材料１１１Ｒから溶媒が気化して、被吐出部１８Ｒ内にカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成される。図１２（ｄ）の層をさらに乾燥させれば、フィルタ層１１１ＦＲとなる。

以上は、吐出装置１００Ｒが、被吐出部１８Ｒにカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する方法である。以下では、製造装置１によってカラーフィルタ基板１０が製造される一連の方法を説明する。

被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成された基体１０Ａは、搬送装置１７０によって、吐出装置１００Ｒのステージ１０６に運ばれる。そして、図１４（ａ）に示すように、吐出装置１００Ｒは、被吐出部１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成されるように、ヘッド１１４の吐出部１２７からカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する。吐出装置１００Ｇが行うカラーフィルタ材料１１１Ｒの吐出方法は、図１０、図１１、および図１２を参照して説明した方法である。基体１０Ａの被吐出部１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｒ内に位置させる。そして、被吐出部１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１１Ｒを完全に乾燥させることで、被吐出部１８Ｒ上にフィルタ層１１１ＦＲを得る。

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを吐出装置１００Ｇのステージ１０６に位置させる。そして、図１４（ｂ）に示すように、吐出装置１００Ｇは、被吐出部１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇの層が形成されるように、ヘッド１１４の吐出部１２７からカラーフィルタ材料１１１Ｇを吐出する。吐出装置１００Ｇが行うカラーフィルタ材料１１１Ｇの吐出方法は、図１０、図１１、および図１２を参照して説明した方法である。基体１０Ａの被吐出部１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｇ内に位置させる。そして、被吐出部１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１１Ｇを完全に乾燥させることで、被吐出部１８Ｇ上にフィルタ層１１１ＦＧを得る。

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを吐出装置１００Ｂのステージ１０６に位置させる。そして、図１４（ｃ）に示すように、吐出装置１００Ｂは、被吐出部１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂの層が形成されるように、ヘッド１１４の吐出部１２７からカラーフィルタ材料１１１Ｂを吐出する。吐出装置１００Ｂが行うカラーフィルタ材料１１１Ｂの吐出方法は、図１０、図１１、および図１２を参照して説明した方法である。基体１０Ａの被吐出部１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｂ内に位置させる。そして、被吐出部１８Ｂ上のカラーフィルタ材料１１１Ｂを完全に乾燥させることで、被吐出部１８Ｂ上にフィルタ層１１１ＦＢを得る。

本実施例では、液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂに対して、バンク３０は撥液性を呈する。さらに、カラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂに対するブラックマトリクス１７の撥液性は、カラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂに対するバンク３０の撥液性よりも低い。むしろ、ブラックマトリクス１７は、液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂに対して親液性を呈する。これらの理由は、バンク３０にはフッ素ポリマーがブレンドされており、一方、ブラックマトリクス１７はフッ素系ポリマーを含有しないからである。一般に、フッ素を含む樹脂の表面は、フッ素を含まない樹脂の表面よりも、液状のカラーフィルタ材料に含まれる分散媒に対して高い撥液性を呈する。一方、フッ素を含まない樹脂の多くは、上記液状の材料に対して親液性を示す。

本実施例によれば、バンク３０が相対的に高い撥液性を呈するため、被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに着弾した直後のカラーフィルタ材料の液滴は、バンク３０を超えて被吐出部１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの外へ流れず、ブラックマトリクス１７の方に流れ落ちる。
さらに、所望の撥液性を示す層と親液性を示す層とが形成されているため、ブラックマトリクス１７およびバンク３０を撥液化または親液化するための表面改質工程が不要になる。例えばテトラフルオロメタンを処理ガスとするプラズマ処理や酸素プラズマ処理が不要になる。

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを、オーブン１６０内に位置させる。その後、オーブン１６０はフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを吐出装置１００Ｃのステージ１０６に位置させる。そして、吐出装置１００Ｃは、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク３０を覆う平坦化層３４が形成されるように、液状の材料を吐出する。フィルタ層１１１ＦＲ，１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク３０を覆う平坦化層３４が形成された後に、搬送装置１７０は基体１０Ａをオーブン１５０Ｃ内に位置させる。そして、オーブン１５０Ｃが平坦化層３４を完全に乾燥させた後に、硬化装置１６５が平坦化層３４を加熱して完全に硬化する。

次に、平坦化層３４上に複数の電極３６を形成し、その後、複数の電極３６と平坦化層３４とを覆う配向膜３８Ａを設けることで、図１４（ｄ）に示すように、基体１０Ａはカラーフィルタ基板１０となる。

次に、スペーサを間に挟んで配向膜３８Ａと配向膜３８Ｂとが対向するように、カラーフィルタ基板１０と、別途作製された対向基板１２と、を貼り合わせる。そして、配向膜３８Ａ・３８Ｂ間の空間に液晶材料を充填する。そして、偏光板２０Ａ、２０Ｂを設けて、光源部１６を設けることで、液晶表示装置１１が得られる。

実施例２の液晶表示装置５１の構造は、実施例１の液晶表示装置１１におけるカラーフィルタ基板１０がカラーフィルタ基板５０に置き換わっている点を除いて、実施例１の液晶表示装置１１の構造と実質的に同じである。図１５では、実施例１で説明した構成要素と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、重複する説明を省略する。

図１５に示す液晶表示装置５１は、偏光板２０Ａと、偏光板２０Ｂと、カラーフィルタ基板５０と、対向基板１２と、液晶層１４と、光源部１６と、を備えている。液晶層１４は、カラーフィルタ基板５０と対向基板１２との間に位置している。また、カラーフィルタ基板５０は、液晶層１４と光源部１６との間に位置している。また、偏光板２０Ａと偏光板２０Ｂとの間に、カラーフィルタ基板５０と、液晶層１４と、対向基板１２と、が位置している。

カラーフィルタ基板５０は、光透過性を有する基板７２と、樹脂散乱層７１と、反射部６６と、透過部６８と、オーバーコート層６５と、複数のフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢと、ブラックマトリクス５７と、バンク７０と、平坦化層７４と、複数の電極３６と、配向膜３８Ａと、を含む。本実施例では、基板７２の位置は、偏光板２０Ａと反射部６６および透過部６８との間である。なお、「カラーフィルタ基板」は、少なくとも１つのフィルタ層を有すればよい。したがって、複数の電極３６や配向膜３８Ａがカラーフィルタ基板５０に含まれないように、カラーフィルタ基板５０が定義されてもよい。

樹脂散乱層７１は、基板７２を覆うように設けられている。さらに、樹脂散乱層７１上には、反射部６６および透過部６８が位置している。反射部６６および透過部６８は、ともに複数のフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢのそれぞれに対応する領域に位置している。本実施例において、反射部６６および透過部６８は、それぞれアルミニウム膜およびその開口部である。

樹脂散乱層７１には、規則性のない凹凸が設けられている。このため樹脂散乱層７１上に形成された反射部６６の反射面にも規則性のない凹凸が形成されている。反射面が規則性のない凹凸を有するため、反射部６６は光をランダムな方向に反射する機能を有する。

反射部６６上には、オーバーコート層６５が位置する。オーバーコート層６５は、反射部６６と同じ形状にパターニングされている。オーバーコート層６５が設けられる目的の一つは、反射光の色純度を下げることである。

オーバーコート層６５の一部分上には、ブラックマトリクス５７が位置している。ブラックマトリクス５７は、複数の開口部５７Ａを有する。具体的には、ブラックマトリクス５７は、複数の開口部５７Ａを規定する形状を有する遮光部である。また、複数の開口部５７Ａのそれぞれはマトリクス状に位置している。そして、それぞれの開口部５７Ａは画素領域Ｇに対応する。なお、ブラックマトリクス５７は、本発明の「第１の層」の一例である。

複数のフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢのそれぞれは、３つの色のいずれかに対応する。具体的には、フィルタ層２１１ＦＲが赤色に対応するフィルタであり、フィルタ層２１１ＦＧが緑色に対応するフィルタであり、フィルタ層２１１ＦＢが青色に対応するフィルタである。そして、複数のフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢのそれぞれは、複数の開口部５７Ａのそれぞれに位置している。

バンク７０はブラックマトリクス５７上に形成されている。バンク７０の平面形状はブラックマトリクス５７の平面形状と同じである。後に詳細に説明するように、フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを形成するための液状のカラーフィルタ材料に対するバンク７０の撥液性は、カラーフィルタ材料に対するブラックマトリクス１７の撥液性よりも大きい。なお、バンク７０は、本発明の「第２の層」の一例である。

平坦化層７４は、複数のフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢと、バンク７０と、を覆うように位置している。具体的には、ほぼ平坦な面が得られるように、平坦化層７４はフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢとバンク７０とが形成する段差を覆っている。平坦化層７４上には、複数の電極３６が位置している。複数の電極３６はそれぞれＹ軸方向（図１５の紙面に垂直な方向）に延びるストライプ状の形状を有しており、互いに平行である。配向膜３８Ａは、複数の電極３６および平坦化層７４を覆うように位置しており、所定の方向にラビング処理が施されている。

上述したように、カラーフィルタ基板５０において、フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢのそれぞれに対応して、反射部６６と透過部６８とが位置する。このようなカラーフィルタ基板５０を有する液晶表示装置５１は、以下のように機能する。

バックライト（光源部１６）の利用時には、バックライトからの光線Ｐは、偏光板２０Ａと基板７２とを伝播したのちに透過部６８を通過する。そして、透過部６８を通過した光線は、フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢに入射し、対応する波長域の光線がフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから射出する。フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢからの光線（色光）は、液晶層１４および対向基板１２を伝播して偏光板２０Ｂから射出する。偏光板２０Ｂの射出面では、バックライトからの光線の強度は、電極３６および電極４２の間で印加された電圧に応じて変調されている。

一方、外光利用時には、外光などの光線Ｓは、偏光板２０Ｂと、対向基板１２と、液晶層１４とを伝播して、対応するフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢに入射する。そして、フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢとオーバーコート層６５とを伝播した光線のうち、反射部６６によって反射された光線は、再度フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを伝播し、対応する色光として射出する。各色光は、液晶層１４および対向基板１２を再び伝播して、偏光板２０Ｂから射出する。偏光板２０Ｂの射出面では、外光などの光線の強度は、電極３６および電極４２の間で印加された電圧に応じて変調されている。

上記構成によって、ブラックマトリクス５７に関して第１の側から入射する第１の光線であって、対応するフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを通過する第１の光線は、反射部６６によって第１の側へ反射する。一方、ブラックマトリクス５７に関して第２の側から入射する第２の光線は、透過部６８と、対応するフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢと、を介して第１の側に射出する。なお、ブラックマトリクス５７に関して第１の側とは、平坦化層７４や液晶層１４が位置する側である。また、ブラックマトリクス５７に関して第２の側とは、光源１６が位置する側である。

このように、液晶表示装置５１は、外光を利用して画像を表示することも、バックライトからの光を利用して画像を表示することも可能である。このような機能を有する液晶表示装置５１は、半透過反射型の表示装置と呼ばれる。

カラーフィルタ基板５０におけるフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢは、インクジェット装置などの吐出装置からブラックマトリクス５７の開口部５７Ａ内にカラーフィルタ材料を吐出することで塗布されている。

本実施例では、フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢが設けられる前のカラーフィルタ基板５０を「基体５０Ａ」と表記することもある。また、本実施例では、フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを設けるべき領域のそれぞれを「被吐出部５８Ｒ、５８Ｇ、５８Ｂ」と表記することもある。この表記によれば、本実施例の場合、基体５０Ａにおいて、バンク７０と、ブラックマトリクス５７と、オーバーコート層６５と、透過部６８と、によって囲まれる凹部のそれぞれが被吐出部５８Ｒ、５８Ｇ、５８Ｂに対応する。なお、被吐出部５８Ｒ、５８Ｇ、５８Ｂのそれぞれは「ターゲット」と呼ばれることもある。

次に液晶表示装置５１の製造方法を説明する。

まず、光透過性を有する部材上に反射部２６と透過部２８とを形成する。具体的には、図１６（ａ）に示すように、ガラス基板など光透過性を有する基板７２のほぼ全面を覆うように、スピンコート法などで光透過性を有するポリイミドなどの樹脂層を形成し、その後、ブラスト法により樹脂層の表面にランダムな凹凸を与える。この結果、樹脂散乱層７１が得られる。樹脂散乱層７１が本発明の「光透過性を有する部材」に対応する。次に、樹脂散乱層７１上にスパッタ法などでアルミニウム（Ａｌ）膜を製膜する。そして、図１６（ｂ）に示すように、それぞれの画素領域Ｇに対応して反射部６６と透過部６８とが形成されるように、上記Ａｌ膜をパターニングする。パターニング後に樹脂散乱層７１上に残ったＡｌ膜が反射部６６であり、Ａｌ膜が取り除かれた部分が透過部６８である。このようにして、光透過性を有する部材上に反射部６６と透過部６８とが形成される。

次に、図１６（ｃ）に示すように、反射部６６および樹脂散乱層７１を覆うオーバーコート層を塗布し、反射部６６と同じ形状にパターニングする。この結果、反射部６６上にオーバーコート層６５が得られる。

次に、反射部６６と透過部６８とを覆う第１の材料の層を形成する。具体的には、１６（ｄ）に示すように、オーバーコート層６５、およびオーバーコート層６５の開口部（すなわち反射部６６の開口部）で露出した基板７２を覆うように、黒顔料が分散された熱硬化型アクリル樹脂（樹脂ブラック）を３μｍ程度の厚さに塗布する。この結果、樹脂ブラック層５７’を形成する。ここで、樹脂ブラック層５７’が本発明の「第１の材料の層」の一例である。

そして、第１の材料の層上にレジストを塗布することで第２の材料の層を形成する。具体的には、図１６（ｄ）に示すように、樹脂ブラック層５７’のほぼ全面を覆うように、フッ素系ポリマーがブレンドされたネガ型のアクリル系化学増幅型感光性レジストを塗布する。この結果、樹脂ブラック層５７’上にレジスト層７０’を得る。ここで、レジスト層７０’が本発明の「第２の材料の層」の一例である。

次に、レジスト層７０’と樹脂ブラック層５７’とをパターニングする。具体的には、画素領域Ｇが形成されるべき領域に対応した部位に遮光部を有するフォトマスクを介して、レジスト層７０’に光ｈνを照射する。そして、所定のエッチング液を用いてエッチングすることで、光ｈνが照射されていない複数の部分、すなわち複数の画素領域Ｇに対応する複数の部分のレジスト層７０’と、樹脂ブラック層５７’と、を取り除く。そのことによって、図１６（ｅ）に示すように、後に形成されるべきフィルタ層を囲む形状を有するブラックマトリクス５７とバンク７０とが、基板７２上に同時に得られる。つまり、反射部６６と透過部６８とに対応した開口部５７Ａが得られる。

前述したように、ブラックマトリクス５７と、バンク７０と、オーバーコート層６５と、透過部６８とによって規定される領域が、被吐出部５８Ｒ，５８Ｇ、５８Ｂである。なお、バンク７０は光透過性を有する。また、前述したように、ブラックマトリクス５７は本発明の「第１の層」の一例であり、バンク７０は本発明の「第２の層」の一例である。

このように、基板７２上に位置するブラックマトリクス５７とブラックマトリクス５７上に位置するバンク７０とを形成することで、ブラックマトリクス５７とバンク７０とによって区画された領域（つまり被吐出部５８Ｒ、５８Ｇ、５８Ｂ）を基板５０Ａに設ける。

被吐出部５８Ｒ，５８Ｇ、５８Ｂが形成された基体５０Ａは、搬送装置１７０（図２）によって、吐出装置１００Ｒのステージ１０６に運ばれる。そして、図１７（ａ）に示すように、吐出装置１００Ｒは、被吐出部５８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料２１１Ｒの層が形成されるように、ヘッド１１４からカラーフィルタ材料２１１Ｒを吐出する。吐出装置１００Ｒが行うカラーフィルタ材料２１１Ｒの吐出方法は、図１０、図１１、および図１２を参照して説明した方法である。基体５０Ａの被吐出部５８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料２１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体５０Ａを乾燥装置１５０Ｒ内に位置させる。そして、被吐出部５８Ｒ上のカラーフィルタ材料２１１Ｒを完全に乾燥させることで、被吐出部５８Ｒ上にフィルタ層２１１ＦＲを得る。

次に搬送装置１７０は、基体５０Ａを吐出装置１００Ｇのステージ１０６に位置させる。そして、図１７（ｂ）に示すように、吐出装置１００Ｇは、被吐出部５８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料２１１Ｇの層が形成されるように、ヘッド１１４からカラーフィルタ材料２１１Ｇを吐出する。吐出装置１００Ｇが行うカラーフィルタ材料２１１Ｇの吐出方法は、図１０、図１１、および図１２を参照して説明した方法である。基体５０Ａの被吐出部５８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料２１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体５０Ａを乾燥装置１５０Ｇ内に位置させる。そして、被吐出部５８Ｇ上のカラーフィルタ材料２１１Ｇを完全に乾燥させることで、被吐出部５８Ｇ上にフィルタ層２１１ＦＧを得る。

次に搬送装置１７０は、基体５０Ａを吐出装置１００Ｂのステージ１０６に位置させる。そして、図１７（ｃ）に示すように、吐出装置１００Ｂは、被吐出部５８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料２１１Ｂの層が形成されるように、ヘッド１１４からカラーフィルタ材料２１１Ｂを吐出する。吐出装置１００Ｂが行うカラーフィルタ材料２１１Ｂの吐出方法は、図１０、図１１、および図１２を参照して説明した方法である。基体５０Ａの被吐出部５８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料２１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体５０Ａを乾燥装置１５０Ｂ内に位置させる。そして、被吐出部５８Ｂ上のカラーフィルタ材料２１１Ｂを完全に乾燥させることで、被吐出部５８Ｂ上にフィルタ層２１１ＦＢを得る。

本実施例では、液状のカラーフィルタ材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂに対して、バンク７０は撥液性を呈する。さらに、カラーフィルタ材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂに対するブラックマトリクス５７の撥液性は、カラーフィルタ材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂに対するバンク７０の撥液性よりも低い。むしろ、ブラックマトリクス５７は、液状のカラーフィルタ材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂに対して親液性を呈する。これらの理由は、バンク７０にはフッ素ポリマーがブレンドされており、一方、ブラックマトリクス５７はフッ素系ポリマーを含有しないからである。一般に、フッ素を含む樹脂の表面は、フッ素を含まない樹脂の表面よりも、上記液状の材料に対して高い撥液性を呈する。一方、フッ素を含まない樹脂の多くは、上記液状の材料に対して親液性を示す。

本実施例によれば、バンク７０が相対的に高い撥液性を呈するため、被吐出部５８Ｒ、５８Ｇ、５８Ｂに着弾した直後のカラーフィルタ材料の液滴は、バンク７０を超えて被吐出部５８Ｒ、５８Ｇ、５８Ｂの外へ流れず、ブラックマトリクス５７の方に流れ落ちる。
さらに、所望の撥液性を示す層と親液性を示す層とが形成されているため、ブラックマトリクス５７およびバンク７０を撥液化または親液化するための表面改質工程が不要になる。例えばテトラフルオロメタンを処理ガスとするプラズマ処理や酸素プラズマ処理が不要になる。

次に搬送装置１７０は、基体５０Ａを、オーブン１６０内に位置させる。その後、オーブン１６０はフィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。

次に搬送装置１７０は、基体５０Ａを吐出装置１００Ｃのステージ１０６に位置させる。そして、吐出装置１００Ｃは、フィルタ層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク７０を覆う平坦化層７４が形成されるように、液状の保護膜材料を吐出する。
フィルタ層２１１ＦＲ，２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク７０を覆う平坦化層７４が形成された後に、搬送装置１７０は基体５０Ａをオーブン１５０Ｃ内に位置させる。そして、オーブン１５０Ｃが平坦化層７４を完全に乾燥させた後に、硬化装置１６５が平坦化層７４を加熱して完全に硬化する。

次に、平坦化層７４上に複数の電極３６を形成し、その後、複数の電極３６と平坦化層７４とを覆う配向膜３８Ａを設けることで、図１７（ｄ）に示すように、基体５０Ａはカラーフィルタ基板５０となる。

次に、スペーサを間に挟んで配向膜３８Ａと配向膜３８Ｂとが対向するように、カラーフィルタ基板５０と、別途作製された対向基板１２と、を貼り合わせる。そして、配向膜３８Ａ・３８Ｂ間の空間に液晶材料を充填する。そして、偏光板２０Ａ、２０Ｂを設けて、光源部１６を設けることで、液晶表示装置５１が得られる。

上記実施例の液晶表示装置を備えた電子機器の例について説明する。

図１８は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１８に示すように、携帯電話１０００は、液晶表示部１００１を備えている。液晶表示部１００１には、液晶表示装置１１および液晶表示装置５１のどちらでも適用できる。

図１９は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１９において、時計本体１１００は、液晶表示部１１０１を備えている。液晶表示部１１０１には、液晶表示装置１１および液晶表示装置５１のどちらでも適用できる。

図２０は、パーソナルコンピュータなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図２０において、情報処理装置１２００は、キーボードなどの入力部１２０２と、情報処理装置本体１２０４と、液晶表示部１２０６と、を備えている。液晶表示部１２０６には、液晶表示装置１１および液晶表示装置５１のどちらでも適用できる。

図１８〜図２０に示す電子機器は、上記実施例の液晶表示装置を用いた液晶表示部を備えているので、反射モード時にも透過モード時にも発色が良く、視認性に優れた液晶表示部を備えた電子機器を実現することができる。

（実施例１〜３の変形例）
（１）実施例１〜３では、透過部２８の形状および透過部６８の形状は矩形であった（図２１（ａ））。しかしながら、透過部２８の形状および透過部６８の形状は、矩形に限定されず、円形で有ってもよいし、楕円形であってもよいし、図２１（ｂ）に示すようなオーバル形状であってもよい。透過部２８、６８は反射部２６、６６に対して窪んでいるため、透過部２８、６８の形状に鋭角な角度が無い場合には、液状の材料が、透過部２８、６８内を完全に覆うように塗れ広がる。

（２）上記実施例１および２のカラーフィルタ基板は、液晶表示装置に適用される。しかしながら、実施例１および２のカラーフィルタ基板は、液晶表示装置以外の電子機器に適用されてもよい。本明細書において「電子機器」とは、プラズマ表示装置、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、ＦＥＤ（Field Emission display）やＳＥＤ(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)などを含む用語である。なお、ＦＥＤやＳＥＤは、電子放出素子を備えた画像表示装置とも呼ばれる。

電子機器が半透過反射型の表示を行わなくても、色純度をさらに向上させることができるため、様々な電子機器に実施例１および２のカラーフィルタ基板を備えることが好ましい。

（ａ）および（ｂ）は実施例１の液晶表示装置を示す模式図。 実施例１の製造装置を示す模式図。 実施例１の吐出装置を示す模式図。 実施例１のキャリッジを示す模式図。 実施例１のヘッドを示す模式図。 （ａ）および（ｂ）は図５のヘッドにおける吐出部を示す模式図。 吐出装置における制御部の機能ブロック図。 実施例１の基体の製造方法を示す模式図。 実施例１の被吐出部を示す模式図。 実施例１の吐出方法を示す模式図。 実施例１の吐出方法を示す模式図。 実施例１の吐出方法を示す模式図。 実施例１の走査範囲を示す模式図。 実施例１の製造方法を示す模式図。 （ａ）および（ｂ）は実施例２の液晶表示装置を示す模式図。 実施例２の基体の製造方法を示す模式図。 実施例２の吐出方法を示す模式図。 実施例３の携帯電話を示す模式図。 実施例３の腕時計型電子機器を示す模式図。 実施例３の携帯型情報処理装置を示す模式図。 透過部の形状を示す模式図。

符号の説明

１１…液晶表示装置、２０Ａ・２０Ｂ…偏光板、１０…カラーフィルタ基板、１２…対向基板、１４…液晶層、１６…光源部、２６…反射部、２８…透過部、３２…基板、１７…ブラックマトリクス、３０…バンク、３４…平坦化層、３６…電極３６、３８Ａ・３８Ｂ…配向膜、５１…液晶表示装置、５０…カラーフィルタ基板、６６…反射部、６８…透過部、７２…基板、５７…ブラックマトリクス、７０…バンク、７４…平坦化層、１００Ｒ・１００Ｇ・１００Ｂ…吐出装置、１０２…吐出走査部、１０３…キャリッジ、１０４…第１位置制御装置、１０８…第２位置制御装置、１０６…ステージ、１１１Ｒ・１１１Ｇ・１１１Ｂ…カラーフィルタ材料、１１１ＦＲ・１１１ＦＧ・１１１ＦＢ…フィルタ層。

Claims (4)

1. 反射部と透過部とを備えた被吐出部であって前記透過部が前記反射部に対して窪んでいる被吐出部に、液状のカラーフィルタ材料を吐出する吐出方法であって、
   前記透過部に前記カラーフィルタ材料を吐出するステップ（ａ）と、
   ステップ（ａ）の後に前記反射部に前記カラーフィルタ材料を吐出するステップ（ｂ）
   と、
   を含んだ吐出方法。
2. 反射部と透過部とを備えた被吐出部であって前記透過部が前記反射部に対して窪んでいる被吐出部に、液状のカラーフィルタ材料を吐出するカラーフィルタ基板の製造方法であって、
   前記透過部に前記材料を吐出するステップ（ａ）と、
   ステップ（ａ）の後に前記反射部に前記材料を吐出するステップ（ｂ）と、
   を含んだカラーフィルタ基板の製造方法。
3. 反射部と透過部とを備えた被吐出部であって前記透過部が前記反射部に対して窪んでいる被吐出部に、液状のカラーフィルタ材料を吐出する液晶表示装置の製造方法であって、
   前記透過部に前記カラーフィルタ材料を吐出するステップ（ａ）と、
   ステップ（ａ）の後に前記反射部に前記カラーフィルタ材料を吐出するステップ（ｂ）
   と、
   を含んだ液晶表示装置の製造方法。
4. 反射部と透過部とを備えた被吐出部であって前記透過部が前記反射部に対して窪んでいる被吐出部に、液状のカラーフィルタ材料を吐出する電子機器の製造方法であって、
   前記透過部に前記カラーフィルタ材料を吐出するステップ（ａ）と、
   ステップ（ａ）の後に前記反射部に前記カラーフィルタ材料を吐出するステップ（ｂ）
   と、
   を含んだ電子機器の製造方法。

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