JP3373465B2

JP3373465B2 - 表面性状測定機

Info

Publication number: JP3373465B2
Application number: JP31094099A
Authority: JP
Inventors: 宣良藤井; 智上田; 太土井
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1999-11-01
Filing date: 1999-11-01
Publication date: 2003-02-04
Anticipated expiration: 2019-11-01
Also published as: JP2001133247A; US6446496B1; DE10053939A1; DE10053939B4

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の表面粗
さ、うねり、形状等を測定するために、先端に触針とス
キッドとを有する検出器を測定表面に沿って移動させる
表面性状測定機に関する。

【０００２】

【背景技術】表面性状測定機は、スタイラスと称される
触針を先端に有する検出器と、この検出器を測定表面に
沿って移動させる駆動部とを備え、測定表面に触針を接
触させながら移動させることで触針の変位をデータとし
て取り込む測定機である。触針は、検出器本体に揺動自
在に取り付けられており、この触針の先端部を覆うよう
に、スキッドが検出器本体に取り付けられている。この
スキッドの検出器本体への取り付けはボルトで行われ、
スキッドが検出器本体に対して着脱自在とされる。

【０００３】スキッドを検出器本体に固定して測定を行
う，スキッド付き測定は、測定表面にうねりと粗さがあ
る場合に、うねりの成分を取り除いて粗さの成分のみの
データを検出するために用いられる。測定にあたり、触
針とスキッドとの双方を測定表面に接触させながら検出
器を移動する。スキッド付き測定では、スキッドが常に
測定表面に接触してなければならず、そのため、従来で
は、検出器と駆動部とは板ばねで連結され、この板ばね
によって、スキッドが測定表面側に押圧される（特開平
11-190621号公報）。

【０００４】スキッドを検出器本体から取り外して測定
を行う，スキッドレス測定は、うねり等を含め、測定表
面の全ての凹凸データを検出して被測定物の断面形状や
真直度等の測定を行うために用いられる。測定にあた
り、触針のみを測定表面に接触させながら検出器を移動
する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来例では、スキッド
付き測定は、スキッドを検出器本体にボルトで固定する
ことで行われ、スキッドレス測定は、スキッドを検出器
本体から取り外して行われる。

【０００６】表面性状測定機では、このスキッドを種類
の異なるスキッドに交換する場合がある。この場合に
は、スキッドの測定表面への押圧力を変えることが要望
されえるが、従来例では、検出器の先端のスキッドを測
定表面側に押圧するための板ばねは、そのばね力が一定
のため、このような要望は十分に満たされてはいない。

【０００７】本発明の目的は、スキッド付き測定とスキ
ッドレス測定とを簡単に切り替えることができるととも
に、スキッドの測定表面への押圧力を制御できる表面性
状測定機を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、検
出器を付勢する力を制御するとともに、スキッドレス測
定を行うために前記検出器の付勢方向の移動を規制して
前記目的を達成しようとするものである。具体的には、
本発明の表面性状測定機は、表面性状測定用の触針と着
脱可能なスキッドとを先端に有する検出器と、この検出
器を測定表面に沿って移動させる駆動部と、前記スキッ
ドを測定表面に押圧するために前記検出器を付勢する付
勢手段と、この付勢手段の付勢力を制御する付勢力制御
手段と、この付勢力制御手段で所定の付勢力を前記検出
器に付与した際に前記検出器の付勢方向の移動を所定位
置で規制してスキッドレス測定を行う規制手段と、を備
えたことを特徴とする。

【０００９】この発明において、スキッドレス測定を行
うには、付勢力制御手段によって所定の付勢力を前記検
出器に付与する。すると、スキッドは、検出器に生じる
大きな付勢力によって、この付勢方向と反対側の力が働
いても動くことがなく、その上、検出器の付勢方向の移
動が規制手段で規制されるため、付勢方向にも動くこと
がなく、いわば、ロックされた状態となる。この状態に
おいて、触針を測定表面に接触させながら検出器を駆動
部によって移動させると、測定表面の全ての凹凸データ
が検出される。

【００１０】これに対して、スキッド付き測定を行うに
は、付勢力制御手段によって所定未満の付勢力を検出器
に付与する。すると、スキッドは、検出器に生じる付勢
力によって付勢されるが、検出器の付勢方向の移動が規
制手段では規制されることがない。この状態において、
スキッドと触針とを測定表面に接触させながら検出器を
駆動部によって移動させると、スキッドは測定表面のう
ねりに沿って変位され、このスキッドに対する触針の変
位が表面粗さ等のデータとして検出される。ここで、ス
キッドを種類の異なるスキッドに交換した場合には、付
勢力制御手段を操作することで、検出器に付与される付
勢力の調整を行う。

【００１１】従って、本発明では、付勢力制御手段によ
って検出器へ付与される付勢力を制御することで、スキ
ッドの測定表面への押圧力を容易に制御できる。その
上、検出器へ付与される付勢力を所定にした際に、検出
器の付勢方向の移動が規制手段で規制されてスキッドレ
ス測定が行えるため、付勢力制御手段の操作によってス
キッド付き測定とスキッドレス測定との切り替えを容易
に行うことができる。

【００１２】ここで、前記付勢手段は、前記検出器を保
持する保持用付勢手段と、前記検出器を測定表面側に加
圧する加圧用付勢手段と、を備えた構成が好ましい。こ
の構成では、必要最低限の付勢力が保持用付勢手段で確
保されるとともに、調整用の付勢力が加圧用付勢手段で
調整されるので、検出器の付勢力の調整が容易に行え
る。

【００１３】また、前記保持用付勢手段と前記加圧用付
勢手段は、一端部が互いに所定間隔をもって前記検出器
側及び前記駆動部側のいずれか一方に固定され他端部が
前記検出器側及び駆動部側のいずれか他方に取り付けら
れた第１及び第２の板ばねであり、前記付勢力制御手段
は、前記第２板ばねの他端部を前記第１板ばねの他端部
側に近接離隔して前記検出器の前記測定表面側に対する
付勢力を制御する調整ねじ部材であり、前記規制手段
は、前記調整ねじ部材をねじ込んで前記検出器の付勢力
が大きくなった際に前記検出器の付勢方向の移動を規制
するストッパである構成が好ましい。

【００１４】この構成では、調整ねじ部材をねじ込むこ
とで、第２の板ばねの他端部が第１の板ばねの他端部に
近接するため、第２の板ばねの一端部が第１の板ばねの
一端部に離隔するように付勢力（ばね力）が働き、これ
により、検出部に大きな付勢力が働く。すると、検出部
に生じる付勢力によって測定表面に接触するスキッドに
大きな押圧力が生じる。調整ねじ部材を最大限ねじ込む
と、検出器の駆動部に対する付勢力が大きくなって検出
器の付勢方向の移動がストッパで規制され、検出器がロ
ックされる。従って、この構成の発明では、保持用と加
圧用の２種類の付勢手段をそれぞれ板ばねから構成した
ので、付勢手段の構造を簡易なものにできる。その上、
付勢力制御手段は、ねじ部材から構成したので、ねじ部
材のねじ込み量を調整することで、付勢力を簡単に制御
することができる。

【００１５】また、本発明は、前記検出器の前記スキッ
ドを測定表面側に付勢する補助付勢手段を備えた構成が
好ましい。この構成では、付勢手段に加えて補助付勢手
段によって、検出器の付勢力の微調整を容易にすること
ができる。その上、この補助付勢手段を、前記検出器側
と前記駆動部側との間に設けられたコイルばねとするこ
とで、装置の構造を簡単なものにできる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態にか
かる表面性状測定機の概略斜視図である。図１におい
て、本実施形態の表面性状測定機は、被測定物の測定表
面の性状を測定する検出器１０と、この検出器１０を測
定表面に沿って進退させる駆動部２０とを備えて構成さ
れている。駆動部２０は、箱形のケーシング２１内に断
面略門型のスライダガイド２２を長手方向に沿って固定
し、このスライダガイド２２に検出器１０が取り付けら
れたスライダ２３を長手方向に摺動自在に設け、このス
ライダ２３を前記長手方向に沿って進退させる進退機構
２４を設けた構造である。

【００１７】進退機構２４は、ケーシング２１内に配置
された送りねじ軸２５と、この送りねじ軸２５に螺合さ
れスライダ２３と連結部材２６を介して連結されたナッ
ト部材２７と、送りねじ軸２５を回転駆動する回転駆動
機構２８とを備えて構成されている。送りねじ軸２５
は、スライダガイド２２の長手方向と平行に配置され、
その両端部が軸受を介して回動自在にケーシング２１に
固定されている。回転駆動機構２８は、送りねじ軸２５
と平行に配置されたモータ２９と、このモータの正逆方
向の回転を送りねじ軸２５に伝達する第１及び第２の歯
車３０，３１とから構成されている。送りねじ軸２５及
びモータ２９は、ケーシング２１の内部に設けられた取
付ブロック２１Ａに取り付けられている。

【００１８】スライダ２３は、その内側面が断面コ字形
に形成されており、互いに対向する内側面の一側面が第
１基準面とされる。この第１基準面は、スライダガイド
２２の一の外側面（第１基準面２２Ａ）に当接される。
これらの第１基準面同士でスライダ２３とスライダガイ
ド２２とが位置決めするために、スライダ２３の一側部
には２枚の位置決め用板ばね３２が取り付けられられて
いる。この位置決め用板ばね３２の開放端部にはスライ
ダ２３とスライダガイド２２との円滑な摺動を確保する
ためのパッド３３が取り付けられている。このパッド３
３はテフロン等の摩擦係数の小さい素材を用いて形成さ
れる。

【００１９】スライダ２３は、断面コ字形の内側面のう
ち前記第１基準面と直交する面が第２基準面２３Ｂとさ
れ、この第２基準面２３Ｂは、スライダガイド２２の第
１基準面２２Ａと直交する外側面（第２基準面２２Ｂ）
に当接される。図２において、スライダ２３の開口端部
（図２では一側のみ示す）にはスライダ２３の抜け止め
をする保持ブロック３４がねじ３５で取り付けられ、こ
の保持ブロック３４にはスライダ２３の第２基準面をス
ライダガイド２２の第２基準面に当接させるための位置
決め用板ばね３６がねじ３７で取り付けられている。こ
の位置決め用板ばね３６にはスライダ２３とスライダガ
イド２２との円滑な摺動を確保するためのパッド３８が
取り付けられている。このパッド３８はテフロン等の摩
擦係数の小さい素材を用いて形成される。

【００２０】検出器１０と駆動部２０との連結構造が図
３に示されている。図３において、検出器１０は、略筒
状のケーシング１１を有する検出器本体１２の内部に表
面性状測定用の触針１３を揺動自在に支持し、この触針
１３の先端部の周囲を覆うスキッド１４を検出器本体１
２に取り付け、触針１３の先端の上下の進退量を検出器
本体１２の図示しない検出部で検出する構造である。触
針１３は、図示しない付勢手段によって、常時、その先
端がスキッド１４の先端部より突出するようにされてい
る。

【００２１】検出器１０は、スライダガイド２２の開口
部に長手方向に沿って収納されており、その先端側が駆
動部２０の端面から露出されている。検出器本体１２
は、その基端に略円筒状のコネクタ１２Ａを備え、この
コネクタ１２Ａがコネクタ取付部材４０に着脱自在に取
り付けられている。コネクタ取付部材４０は、第１の板
ばね４１、第２の板ばね４２及びコイルばね４３を介し
て駆動部側取付部材４４に連結され、この駆動部側取付
部材４４は保持ブロック３４に取り付けられている。駆
動側取付部材４４を中心としてコネクタ取付部材４０及
び検出器１０が回動自在とされ、コネクタ取付部材４０
及び検出器１０の回動範囲が保持ブロック３４に取り付
けられたストッパ５０で規制される。

【００２２】コネクタ取付部材４０と駆動部側取付部材
４４との連結構造が図４及び図５に拡大して示されてい
る。図４において、第１の板ばね４１及び第２の板ばね
４２は、スキッド１４を測定表面に押圧するために検出
器１０を一方向Ｐに回転付勢するものである。このう
ち、第１の板ばね４１は、検出器側の一端部がコネクタ
取付部材４０に固定され、その他端側が駆動部側取付部
材４４に固定されるものであって、主に、検出器１０を
保持する保持用付勢手段として機能する。

【００２３】第２の板ばね４２は、第１の板ばね４１と
所定間隔をもって並んで配置され、検出器１０側の一端
部がコネクタ取付部材４０に取付ねじ４５で取り付けら
れている。第１の板ばね４１と第２の板ばね４２との一
端部同士にはスペーサ４６が介装されており、これらの
一端部は互いに所定間隔離されている。この第２の板ば
ね４２は、検出器１０を測定表面側に加圧する加圧用付
勢手段として機能するものであり、第２の板ばね４２の
他端部が第１の板ばね４１の他端部に近接することで第
２の板ばね４２の一端部にばね力が生じ、検出器１０が
付勢される力が大きくなる。

【００２４】第２の板ばね４２の他端部は、付勢力制御
手段としての調整ねじ部材４７が駆動部側取付部材４４
に取り付けられている。この調整ねじ部材４７は、その
頭部４７Ａと駆動部側取付部材４４との間で第１の板ば
ね４１の他端部と第２の板ばね４２の他端部とを挟持す
る構成であり、そのねじ込み量を調整することで第２の
板ばね４２の他端部と第１の板ばね４１の他端部とを近
接離隔させるものである。

【００２５】調整ねじ部材４７のねじ込み量を最大限に
大きくすると、第２の板ばね４２の他端部が第１の板ば
ね４１の他端部に最も近接（当接）して検出器１０に所
定の付勢力が付与される。すると、検出器１０は前記一
方向に回動するが、その回動がストッパ５０で規制され
る（図５参照）。ここで、ストッパ５０は、検出器１０
の付勢方向の移動（前記一方向の回動）を規制してスキ
ッドレス測定を行う規制手段として機能する。調整ねじ
部材４７のねじ部先端には抜け止め用のリング４７Ｂが
設けられている。

【００２６】コイルばね４３は、その一端部がコネクタ
取付部材４０の凹部４０Ａに支持され、その他端部が駆
動部側取付部材４４の孔部４４Ａに支持された圧縮ばね
である。このばね４３は、常時、コネクタ取付部材４０
を駆動部側取付部材４４から離隔する方向（検出器１０
を前記一方向に回動する方向）に付勢する補助付勢手段
として機能する。駆動部側取付部材４４の孔部４４Ａに
は、ばね力調整ねじ４８が螺合されており、このばね力
調整ねじ４８の頭部がコイルばね４３の他端部に当接さ
れる。このばね力調整ねじ４８のねじ込み量を調整する
ことで、コイルばね４３は、その長さが変更されて付勢
力の調整が行われる。

【００２７】このように構成された本実施形態の作用を
説明する。まず、スキッドレス測定を行うには、スキッ
ド１４を取り外す。次に、調整ねじ部材４７によって所
定の付勢力を検出器１０に付与する。調整ねじ部材４７
を最大限ねじ込むと、第２の板ばね４２の他端部が第１
の板ばね４１の他端部に最も近接（当接）することにな
り、これにより、第２の板ばね４２の一端部が第１の板
ばね４１の一端部から離隔する方向に付勢される。コネ
クタ取付部材４０及び検出器１０は、所定の付勢力をも
って一方向Ｐに回動されるが、コネクタ取付部材４０が
保持ブロック３４に設けられたストッパ５０に当接して
検出器１０が当該一方向に動かなくなる。この際、コネ
クタ取付部材４０及び検出器１０は、第１の板ばね４
１、第２の板ばね４２及びコイルばね４３をもって大き
な付勢力で付勢されているため、前記一方向Ｐとは逆方
向にも回動できなくなる。

【００２８】この状態で検出器１０による測定を行う。
被測定物に表面性状測定機をセットし、駆動部２０を操
作して測定表面に触針１３の先端を接触させて検出器１
０を移動させる。駆動部２０を操作するにあたり、モー
タ２９を作動させると、モータ２９の回転が第１及び第
２の歯車３０，３１を介して送りねじ軸２５に伝達され
る。送りねじ軸２５が回転すると、ナット部材２７が送
りねじ軸２５の軸線に沿って移動し、このナット部材２
７の移動に伴ってスライダ２３がスライダガイド２２の
上を移動する。

【００２９】スライダ２３に駆動部側取付部材４４及び
コネクタ取付部材４０等を介して取り付けられた検出器
１０は、スライダ２３の移動に伴って移動する。この
際、検出器１０の触針１３は、被測定物の測定表面の凹
凸に応じて変位することになり、測定表面の全ての凹凸
データが検出器１０の検出部で検出される。

【００３０】これに対して、スキッド付き測定を行うに
は、調整ねじ部材４７のねじ込み量を緩くして所定未満
の付勢力を検出器１０に付与する。すると、スキッド１
４は、検出器１０に生じる付勢力によって付勢される
が、検出器１０の付勢方向の移動がストッパ５０では規
制されることがない。この状態において、被測定物に表
面性状測定機をセットし、駆動部２０を操作して測定表
面に触針１３の先端及びスキッド１４を接触させて検出
器１０を移動させる。スキッド１４は測定表面のうねり
に沿って変位され、このスキッド１４に対する触針１３
の変位が表面粗さ等のデータとして検出される。

【００３１】前述のような本実施形態によれば、次のよ
うな効果がある。即ち、本実施形態では、触針１３とス
キッド１４とを先端に有する検出器１０と、この検出器
１０を測定表面に沿って移動させる駆動部２０と、スキ
ッド１４を測定表面に押圧するために検出器１０を付勢
する付勢手段４１,４２と、この付勢手段４１，４２の
付勢力を調整する付勢力制御手段４７と、を備えて表面
性状測定機を構成したので、付勢力制御手段４７を制御
することで、スキッド１４の押圧力を容易に制御するこ
とができる。そのため、スキッドを種類の異なるスキッ
ドに交換する場合では、交換したスキッドに合わせてス
キッド１４の押圧力を制御することができる。

【００３２】しかも、本実施形態の表面性状測定機は、
付勢力制御手段４７で所定の付勢力を検出器１０に付与
した際に検出器１０の付勢方向の移動を所定位置で規制
する規制手段５０を備えて構成したので、付勢力制御手
段４７を操作することで、スキッド付き測定とスキッド
レス測定との切り替えを容易に行える。

【００３３】また、付勢手段は、検出器１０を主に保持
する保持用付勢手段４１と、検出器１０を測定表面側に
加圧する加圧用付勢手段４２とを備えて構成したから、
必要最低限の付勢力を保持用付勢手段４１で確保し、調
整用の付勢力を加圧用付勢手段４２で調整することで、
検出器１０の付勢力の調整が容易に行える。

【００３４】さらに、保持用付勢手段４１と加圧用付勢
手段４２とは、第１及び第２の板ばねから構成したか
ら、付勢手段自体の構造を簡易なものにできる。板ばね
は測定機等で汎用される部材であり、比較的安価に手に
入れることができるので、測定機の製造コストを低くす
ることができる。その上、付勢力制御手段は、第２の板
ばね４２の他端部を第１の板ばね４１の他端部側に近接
離隔する調整ねじ部材から構成したので、調整ねじ部材
４７のねじ込み量を調整することで、検出器１０の付勢
力を簡単に制御することができる。しかも、規制手段５
０は、調整ねじ部材４７をねじ込んで検出器１０の付勢
力が大きくなった際に検出器１０の付勢方向の移動を規
制するストッパであるため、その構造自体を簡易なもの
にできる。

【００３５】また、検出器１０の先端側を測定表面側に
付勢する補助付勢手段４３を備えて表面性状測定機が構
成されたから、付勢手段４１，４２に加えて補助付勢手
段４３によって、検出器１０に与える付勢力を微調整す
ることができる。その上、この補助付勢手段４３を、検
出器側と駆動部側との間に設けられたコイルばねとした
から、装置の構造を簡単なものにできる。

【００３６】さらに、コイルばね４３は、その端部がば
ね力調整ねじ４８に当接しているため、このばね力調整
ねじ４８のねじ込み量を変えることで、コイルばね４３
の付勢力の微調整が容易にできる。

【００３７】また、本実施形態では、検出器１０を保持
したスライダ２３は、スライダガイド２２に沿って進退
され、このスライダガイド２２は、スライダ２３と当接
する面に第１及び第２の基準面が形成されているため、
スライダガイドを丸軸の棒状部材から形成した場合に比
べて、高い剛性を保持できる。このため、スライダガイ
ド２２に沿って進退される検出器１０の移動方向の真直
度を得ることができる。

【００３８】また、スライダ２３は、位置決め用板ばね
３２，３６により、常にスライダガイド２２の基準面に
付勢されているから、スライダ２３とスライダガイド２
２との間にクリアランスがあっても、そのスライダ２３
の位置を一定に保持することができる。そのため、摺動
部のクリアランスによってスライダ２３、つまり、検出
器１０の姿勢が変わることを防止できる。スライダガイ
ド２２及びスライダ２３は、断面略コ字状に形成されて
いるので、剛性を高く保持できる。スライダガイド２２
がケーシング２１に一体的に固定されているため、ケー
シング２１の剛性をスライダガイド２２によって強化で
きる。

【００３９】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変
形、改良は、本発明に含まれるものである。例えば、前
記実施形態の付勢手段は、検出器１０を主に保持する保
持用付勢手段４１と、検出器１０を測定表面側に加圧す
る加圧用付勢手段４２とを備えて構成したが、本発明で
は、付勢手段を１つとしてもよい。

【００４０】仮に、付勢手段を保持用付勢手段４１と加
圧用付勢手段４２とから構成した場合でも、これらの付
勢手段を必ずしも板ばねから構成することを要しない。
例えば、板ばねに代えてコイルばねを用いてもよい。そ
の上、付勢力制御手段として調整ねじ部材４７を用いた
が、本発明では、モータ及び歯車機構を用いて自動的に
付勢手段の付勢力を調整するものでもよい。

【００４１】さらに、補助付勢手段４３を必ずしも設け
ることを要しないが、補助付勢手段４３を設ける場合に
あっては、コイルばねに代えて板ばねを用いてもよい。
また、本実施形態では、検出器１０を保持したスライダ
２３を、丸軸の棒状部材からなるスライダガイドで進退
させる構成でもよい。

【００４２】また、検出器１０を負の付勢方向に付勢
し、コネクタ取付部材４０を駆動部側取付部材４４に押
し当てることにより、検出器１０の移動を規制してもよ
い。さらに、付勢力調整手段は、コネクタ取付部材４０
と駆動部側取付部材４４を相互に締結あるいは固定する
ものであってもよい。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、検出器を駆動部に対し
て付勢する力を制御することで、スキッドの測定表面へ
の押圧力を容易に制御でき、その上、検出器の付勢方向
の移動を規制する規制手段を設けることで、付勢力制御
手段の操作によってスキッド付き測定とスキッドレス測
定との切り替えを容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の概略構成を示す斜視図で
ある。

【図２】図１中IIで示す矢示図である。

【図３】前記実施形態の断面図である。

【図４】前記実施形態の要部を示す断面図である。

【図５】図４と同様の図であって、スキッドレス測定を
行う状態を示す断面図である。

【符号の説明】１０検出器１２検出器本体１３触針１４スキッド２０駆動部２２スライダガイド２３スライダ４０コネクタ取付部材４１第１の板ばね（保持用付勢手段）４２第２の板ばね（加圧用付勢手段）４３コイルばね（補助付勢手段）４４駆動部側取付部材４７調整ねじ部材（付勢力制御手段）５０ストッパ（規制手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平11−190621（ＪＰ，Ａ) 実開平７−2910（ＪＰ，Ｕ) 実開昭55−175804（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 21/30 G01B 21/20 G01B 5/28 G01B 5/20

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】表面性状測定用の触針と着脱可能なスキ
ッドとを先端に有する検出器と、この検出器を測定表面
に沿って移動させる駆動部と、前記スキッドを測定表面
に押圧するために前記検出器を付勢する付勢手段と、こ
の付勢手段の付勢力を制御する付勢力制御手段と、この
付勢力制御手段で所定の付勢力を前記検出器に付与した
際に前記検出器の付勢方向の移動を所定位置で規制して
スキッドレス測定を行う規制手段と、を備えたことを特
徴とする表面性状測定機。
【請求項２】請求項１に記載の表面性状測定機におい
て、前記付勢手段は、前記検出器を保持する保持用付勢
手段と、前記検出器を測定表面側に加圧する加圧用付勢
手段と、を備えたことを特徴とする表面性状測定機。
【請求項３】請求項２に記載の表面性状測定機におい
て、前記保持用付勢手段と前記加圧用付勢手段は、一端
部が互いに所定間隔をもって前記検出器側及び前記駆動
部側のいずれか一方に固定され他端部が前記検出器側及
び駆動部側のいずれか他方に取り付けられた第１及び第
２の板ばねであり、前記付勢力制御手段は、前記第２板
ばねの他端部を前記第１板ばねの他端部側に近接離隔し
て前記検出器の前記測定表面側に対する付勢力を調整す
る調整ねじ部材であり、前記規制手段は、前記調整ねじ
部材をねじ込んで前記検出器の付勢力が大きくなった際
に前記検出器の付勢方向の移動を規制するストッパであ
ることを特徴とする表面性状測定機。
【請求項４】請求項１から３のいずれかに記載の表面
性状測定機において、前記検出器の前記スキッドを測定
表面側に付勢する補助付勢手段を備えたことを特徴とす
る表面性状測定機。
【請求項５】請求項４に記載の表面性状測定機におい
て、前記補助付勢手段は、前記検出器側と前記駆動部側
との間に設けられたコイルばねであることを特徴とする
表面性状測定機。