JP3049871B2 - リファレンスウェハ枚葉管理装置 - Google Patents
リファレンスウェハ枚葉管理装置Info
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- reference wafer
- wafer
- production lot
- lot
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リファレンスウェハ枚
葉管理装置、特に製造ロット中に製造過程における状態
を把握するための標本として含まされた半導体ウェハで
あるリファレンスウェハについて作業、処理を指示でき
るリファレンスウェハ枚葉管理装置に関する。
葉管理装置、特に製造ロット中に製造過程における状態
を把握するための標本として含まされた半導体ウェハで
あるリファレンスウェハについて作業、処理を指示でき
るリファレンスウェハ枚葉管理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造は、一つの生産システ
ム（生産ライン）に多数の半導体ウエハを製造ロット単
位で流して数十から数百の多数の作業を行うことにより
行われ、行う作業の数、順序、各作業の作業条件は製造
しようとする半導体装置の品種によって異なる。この品
種によって異なる一連の作業はプロセスと称され、各プ
ロセスには例えばプロセス００１、プロセス００２とい
うように認識番号が与えられている。
ム（生産ライン）に多数の半導体ウエハを製造ロット単
位で流して数十から数百の多数の作業を行うことにより
行われ、行う作業の数、順序、各作業の作業条件は製造
しようとする半導体装置の品種によって異なる。この品
種によって異なる一連の作業はプロセスと称され、各プ
ロセスには例えばプロセス００１、プロセス００２とい
うように認識番号が与えられている。
【０００３】そして、半導体装置の製造は、作業担当者
に対して作業指示を行う装置（コンピュータ端末）を設
け各装置をコンピュータにより制御する生産管理システ
ムを用いて行われるのが普通である。
に対して作業指示を行う装置（コンピュータ端末）を設
け各装置をコンピュータにより制御する生産管理システ
ムを用いて行われるのが普通である。
【０００４】ところで 普通の半導体装置の製造、即ち
商品としての半導体装置の製造においては必要はない
が、試作や研究開発のための半導体装置の製造において
必要とされるのが、製造ロット中の何枚かの半導体ウェ
ハをリファレンスウェハとすることである。普通の半導
体ウェハが一連の作業全部が為されるのに対してリファ
レンスウェハは、一部の作業のみが為されるものであ
り、製造過程における状態を把握し、それによって一部
の作業の効果、良否を判断するためにリファレンスウェ
ハを製造ロット中に含ませることは試作や研究、開発に
は不可欠である。
商品としての半導体装置の製造においては必要はない
が、試作や研究開発のための半導体装置の製造において
必要とされるのが、製造ロット中の何枚かの半導体ウェ
ハをリファレンスウェハとすることである。普通の半導
体ウェハが一連の作業全部が為されるのに対してリファ
レンスウェハは、一部の作業のみが為されるものであ
り、製造過程における状態を把握し、それによって一部
の作業の効果、良否を判断するためにリファレンスウェ
ハを製造ロット中に含ませることは試作や研究、開発に
は不可欠である。
【０００５】従って、リファレンスウェハは一連の作業
の途中で属していた製造ロットから取り除かれて特性測
定等に供されたり、一連の作業の中のいくつかの作業が
省略されたり、途中の作業から製造ロットに加わったり
する。そして、一つの製造ロット中に存在する複数のリ
ファレンスウェハが同じような作業履歴をすることは少
なく、それぞれ互いに異なる作業履歴を経るようにする
ことが多い。
の途中で属していた製造ロットから取り除かれて特性測
定等に供されたり、一連の作業の中のいくつかの作業が
省略されたり、途中の作業から製造ロットに加わったり
する。そして、一つの製造ロット中に存在する複数のリ
ファレンスウェハが同じような作業履歴をすることは少
なく、それぞれ互いに異なる作業履歴を経るようにする
ことが多い。
【０００６】従来において、個々のリファレンスウェハ
に対する生産管理システムによる管理は行われていなか
った。というのは、従来の生産管理システムは、半導体
ウェハを製造ロット単位で管理するようになっていたか
らである。従って、従来においてリファレンスウェハに
ついては、設計者が指示書をクリーンルーム内の作業者
に対して発行し、作業者がその指示書に従って処理する
ということが行われていた。
に対する生産管理システムによる管理は行われていなか
った。というのは、従来の生産管理システムは、半導体
ウェハを製造ロット単位で管理するようになっていたか
らである。従って、従来においてリファレンスウェハに
ついては、設計者が指示書をクリーンルーム内の作業者
に対して発行し、作業者がその指示書に従って処理する
ということが行われていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、生産管理シ
ステムがリファレンスウェハに対する枚葉管理ができな
いので、指示書によりクリーンルーム内の作業者に対し
て指示するようにしていたが、それは、クリーンルーム
内のクリーン度向上のためのペーパーレス化を阻む。そ
して、生産管理システムは作業者に対して各作業毎（概
ね各種製造装置毎）に設置された端末のディスプレイを
通じて指示する、という原則が維持できず、作業者には
ディスプレイを通じての指示のほか指示書による指示に
も注意を払わなければならず、ミスを侵しやすい。しか
も、リファレンスウェハが不良が発生した場合、システ
ムでリファレンスウェハの枚葉管理を行っていないの
で、どの作業でどのリファレンスウェハがどのような不
良になったかをシステム内にデータとして残せない。
ステムがリファレンスウェハに対する枚葉管理ができな
いので、指示書によりクリーンルーム内の作業者に対し
て指示するようにしていたが、それは、クリーンルーム
内のクリーン度向上のためのペーパーレス化を阻む。そ
して、生産管理システムは作業者に対して各作業毎（概
ね各種製造装置毎）に設置された端末のディスプレイを
通じて指示する、という原則が維持できず、作業者には
ディスプレイを通じての指示のほか指示書による指示に
も注意を払わなければならず、ミスを侵しやすい。しか
も、リファレンスウェハが不良が発生した場合、システ
ムでリファレンスウェハの枚葉管理を行っていないの
で、どの作業でどのリファレンスウェハがどのような不
良になったかをシステム内にデータとして残せない。
【０００８】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、リファレンスウェハに対しての処置
について指示できるリファレンスウェハ枚葉管理装置を
提供することを目的とする。
されたものであり、リファレンスウェハに対しての処置
について指示できるリファレンスウェハ枚葉管理装置を
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明リファレンスウェ
ハ枚葉管理装置は、作業情報登録手段に製造ロット単位
での作業条件のみならず製造ロット中の各リファレンス
ウェハについての処置をも登録できるようにし、作業指
示手段に該作業情報登録手段からのデータに基づいて製
造ロットに対する作業条件の指示のほか該製造ロット中
の各リファレンスウェハについての処置について指示を
行うようにすると共に、リファレンスウェハの作業条
件、処置についてその内容を変更できる更新入力手段を
設けたことを特徴とする。
ハ枚葉管理装置は、作業情報登録手段に製造ロット単位
での作業条件のみならず製造ロット中の各リファレンス
ウェハについての処置をも登録できるようにし、作業指
示手段に該作業情報登録手段からのデータに基づいて製
造ロットに対する作業条件の指示のほか該製造ロット中
の各リファレンスウェハについての処置について指示を
行うようにすると共に、リファレンスウェハの作業条
件、処置についてその内容を変更できる更新入力手段を
設けたことを特徴とする。
【００１０】
【実施例】以下、本発明リファレンスウェハ枚葉管理装
置を図示実施例に従って詳細に説明する。図１は本発明
リファレンスウェハ枚葉管理装置の一つの実施例の全体
図、図２は機能ブロック図である。図面において、１は
ホストコンピュータ、２は該ホストコンピュータ１によ
り管理されるデータベース、３は設計者用端末で、シス
テムパラメータの登録、各種設定を行うものであり、各
製造ロットについての一連の作業の作業順、各作業の作
業条件の設定及び各リファレンスウェハの各作業をする
かどうか、廃棄するかどうかの設定のための入力もこの
設計者用端末３において行う。
置を図示実施例に従って詳細に説明する。図１は本発明
リファレンスウェハ枚葉管理装置の一つの実施例の全体
図、図２は機能ブロック図である。図面において、１は
ホストコンピュータ、２は該ホストコンピュータ１によ
り管理されるデータベース、３は設計者用端末で、シス
テムパラメータの登録、各種設定を行うものであり、各
製造ロットについての一連の作業の作業順、各作業の作
業条件の設定及び各リファレンスウェハの各作業をする
かどうか、廃棄するかどうかの設定のための入力もこの
設計者用端末３において行う。
【００１１】４1 、４2 はクリーンルーム内の各作業５
1 、５2 に対応して設けられた作業者用端末（但し、図
面では、作業者用端末は４1 、４2 、作業は５1 、５2
しか示さなかったが、共に多数（４1 、４2 、…及び５
1 、５2 、…）ある。この作業者用端末４1 、４2 、…
は作業５1 、５2 、…についての作業条件をディスプレ
イにより表示して作業者に作業指示を行うものである
が、各リファレンスウェハについても当該作業をするか
どうか、廃棄するかどうかの指示をする作業情報の表示
もする。尚、この端末４1 、４2 、…はリファレンスウ
ェハ等について不良になったかどうかのデータ、各種測
定データの入力も行うことができるようになっている。
1 、５2 に対応して設けられた作業者用端末（但し、図
面では、作業者用端末は４1 、４2 、作業は５1 、５2
しか示さなかったが、共に多数（４1 、４2 、…及び５
1 、５2 、…）ある。この作業者用端末４1 、４2 、…
は作業５1 、５2 、…についての作業条件をディスプレ
イにより表示して作業者に作業指示を行うものである
が、各リファレンスウェハについても当該作業をするか
どうか、廃棄するかどうかの指示をする作業情報の表示
もする。尚、この端末４1 、４2 、…はリファレンスウ
ェハ等について不良になったかどうかのデータ、各種測
定データの入力も行うことができるようになっている。
【００１２】次に、図２に従って機能的に本実施例を説
明すると、６は作業情報登録手段で、各製造ロットそれ
ぞれについての為すべき一連の作業とその作業条件を記
憶するロット別作業条件記憶部７と、リファレンスウェ
ハの為すべき一連の作業とその作業条件を記憶するリフ
ァレンスウェハ別作業情報記憶部８からなる。
明すると、６は作業情報登録手段で、各製造ロットそれ
ぞれについての為すべき一連の作業とその作業条件を記
憶するロット別作業条件記憶部７と、リファレンスウェ
ハの為すべき一連の作業とその作業条件を記憶するリフ
ァレンスウェハ別作業情報記憶部８からなる。
【００１３】９は上記作業情報登録手段６から作業情報
を読み出す作業情報読出部で、製造ロット判別部１０か
ら製造ロットの認識番号が知らされるとその製造ロット
の作業条件及びその製造ロット中に含まれるリファレン
スウェハの処置についての作業情報を作業情報登録手段
６から読み出し、ディスプレイからなる作業指示手段１
１に表示をさせる。
を読み出す作業情報読出部で、製造ロット判別部１０か
ら製造ロットの認識番号が知らされるとその製造ロット
の作業条件及びその製造ロット中に含まれるリファレン
スウェハの処置についての作業情報を作業情報登録手段
６から読み出し、ディスプレイからなる作業指示手段１
１に表示をさせる。
【００１４】１２は作業結果判別部で、作業を終えたあ
るいは作業に臨むリファレンスウェハが不良になってい
るか否かを判断するもので、不良だという結果が得られ
ればそのリファレンスウェハについての今後の処置につ
いて変更する必要があるので、更新信号が作業結果判別
部１２から更新入力手段（リファレンスデータ入力部）
１３に入力され、そして作業情報登録手段のリファレン
スウェハ別作業情報記憶部９のそのリファレンスウェハ
についての作業情報が更新されるようになっている。
るいは作業に臨むリファレンスウェハが不良になってい
るか否かを判断するもので、不良だという結果が得られ
ればそのリファレンスウェハについての今後の処置につ
いて変更する必要があるので、更新信号が作業結果判別
部１２から更新入力手段（リファレンスデータ入力部）
１３に入力され、そして作業情報登録手段のリファレン
スウェハ別作業情報記憶部９のそのリファレンスウェハ
についての作業情報が更新されるようになっている。
【００１５】次に動作について説明する。先ず、製造ロ
ットに認識番号をつけ、製造ロットの各リファレンスウ
ェハにも認識番号（符号）をつける。リファレンスウェ
ハの認識番号は例えばＲ０１、Ｒ０２、Ｒ０３、…とい
うようにつける。尚、作業者が肉眼によりあるいは顕微
鏡により視認できるように、あるいは読み取り器で読み
取りできるように認識番号を設ける必要がある。
ットに認識番号をつけ、製造ロットの各リファレンスウ
ェハにも認識番号（符号）をつける。リファレンスウェ
ハの認識番号は例えばＲ０１、Ｒ０２、Ｒ０３、…とい
うようにつける。尚、作業者が肉眼によりあるいは顕微
鏡により視認できるように、あるいは読み取り器で読み
取りできるように認識番号を設ける必要がある。
【００１６】また、設計者用端末３の操作により各製造
ロットの作業順及び各作業の作業条件を設定すると共に
各リファレンスウェハについて各作業での為すべき処置
を設定する。この処置にはそれが属する製造ロットの一
連の作業それぞれについて第１に作業に仕掛らせない、
第２に作業に仕掛らせるが作業をしない（処理しな
い）、第３に作業をし廃棄しない、第４に作業をし廃棄
するの四種類がある。
ロットの作業順及び各作業の作業条件を設定すると共に
各リファレンスウェハについて各作業での為すべき処置
を設定する。この処置にはそれが属する製造ロットの一
連の作業それぞれについて第１に作業に仕掛らせない、
第２に作業に仕掛らせるが作業をしない（処理しな
い）、第３に作業をし廃棄しない、第４に作業をし廃棄
するの四種類がある。
【００１７】次に、一つの作業端末４を通じての指示に
従って一つの作業５を行う場合の動作について説明す
る。本作業に臨もうとする製造ロットの認識番号を作業
者の操作により製造ロット判別部１０（例えばバーコー
ドリーダ）により読み取る。すると、その認識番号が作
業情報読出部９に送られ、該作業情報読出部９はその製
造ロットの作業条件と、その製造ロット中のリファレン
スウェハの認識番号（例えばＲ０１、Ｒ０２等）とその
リファレンスウェハに対する処置についての情報を読み
出し、そして、それを作業者用端末４に作業指示手段１
１（ディスプレイ）に表示される。
従って一つの作業５を行う場合の動作について説明す
る。本作業に臨もうとする製造ロットの認識番号を作業
者の操作により製造ロット判別部１０（例えばバーコー
ドリーダ）により読み取る。すると、その認識番号が作
業情報読出部９に送られ、該作業情報読出部９はその製
造ロットの作業条件と、その製造ロット中のリファレン
スウェハの認識番号（例えばＲ０１、Ｒ０２等）とその
リファレンスウェハに対する処置についての情報を読み
出し、そして、それを作業者用端末４に作業指示手段１
１（ディスプレイ）に表示される。
【００１８】すると、作業者は作業指示手段１１の指示
に従って製造ロットの特定の作業条件での作業を行う
が、その場合、リファレンスウェハについては作業すべ
きであると表示された認識番号のリファレンスウェハだ
けをその作業に供し（その作業を行う製造装置に供給
し）、そうでないリファレンスウェハについては例え当
該作業に製造ロットが仕掛っていたとしても作業を行わ
ない。そして、作業が終ったら作業者は作業を終えたリ
ファレンスウェハについて不良が発生したか否かの判定
を作業結果判別部１２に行わせる。これは、作業中にリ
ファレンスウェハに割れ等の不良が生じる場合があり、
かかる場合、このリファレンスウェハについてはその後
の作業が設定されていたとしても作業を行うべきではな
いので作業が行われないようにすべく行うものである。
に従って製造ロットの特定の作業条件での作業を行う
が、その場合、リファレンスウェハについては作業すべ
きであると表示された認識番号のリファレンスウェハだ
けをその作業に供し（その作業を行う製造装置に供給
し）、そうでないリファレンスウェハについては例え当
該作業に製造ロットが仕掛っていたとしても作業を行わ
ない。そして、作業が終ったら作業者は作業を終えたリ
ファレンスウェハについて不良が発生したか否かの判定
を作業結果判別部１２に行わせる。これは、作業中にリ
ファレンスウェハに割れ等の不良が生じる場合があり、
かかる場合、このリファレンスウェハについてはその後
の作業が設定されていたとしても作業を行うべきではな
いので作業が行われないようにすべく行うものである。
【００１９】従って、この作業結果判別部１２で不良と
いう結果が生じると更新信号が更新入力手段１３に入力
され、作業情報登録手段６のリファレンスウェハ別作業
情報記憶部８においてフラグにより以後の各作業が行わ
れないようにする。即ち、リファレンスウェハの作業情
報を更新するのである。
いう結果が生じると更新信号が更新入力手段１３に入力
され、作業情報登録手段６のリファレンスウェハ別作業
情報記憶部８においてフラグにより以後の各作業が行わ
れないようにする。即ち、リファレンスウェハの作業情
報を更新するのである。
【００２０】作業が終了すると、作業はその作業者用端
末４によりその旨入力する。これは製造ロット判別部１
０により終了した製造ロットの認識番号を読み取ること
により行う。すると、終了時に必要なその製造ロットに
関するデータが作業情報登録手段６から検索される。そ
して、作業は再生の有無、測定データ、不良データ等作
業終了時に入力することが必要となるデータを入力す
る。すると、そのデータが履歴データとしてデータベー
ス中に取り込まれる。
末４によりその旨入力する。これは製造ロット判別部１
０により終了した製造ロットの認識番号を読み取ること
により行う。すると、終了時に必要なその製造ロットに
関するデータが作業情報登録手段６から検索される。そ
して、作業は再生の有無、測定データ、不良データ等作
業終了時に入力することが必要となるデータを入力す
る。すると、そのデータが履歴データとしてデータベー
ス中に取り込まれる。
【００２１】そして、作業指示手段１１により作業終了
に伴ってリファレンスウェハの廃棄、即ち製造ロットか
らの分離が必要な場合にその旨の表示が為される。具体
的には、「以下の番号のリファレンスウェハはここで廃
棄して下さい」という表示と、そのリファレンスウェハ
の番号の表示によりリファレンスウェハの廃棄の指示が
為される。その後、作業を終えた製造ロットについての
次に行う作業の指示が作業指示手段１１により行われ
る。
に伴ってリファレンスウェハの廃棄、即ち製造ロットか
らの分離が必要な場合にその旨の表示が為される。具体
的には、「以下の番号のリファレンスウェハはここで廃
棄して下さい」という表示と、そのリファレンスウェハ
の番号の表示によりリファレンスウェハの廃棄の指示が
為される。その後、作業を終えた製造ロットについての
次に行う作業の指示が作業指示手段１１により行われ
る。
【００２２】本リファレンスウェハ枚葉管理装置によれ
ば、製造ロットだけでなく製造ロット中のリファレンス
ウェハに対しての処置についても指示できるし、作業結
果に応じてリファレンスウェハの作業情報の内容を適宜
変更することが可能である。従って、どのリファレンス
ウェハについてどのように処置すべきかをペーパーレス
で指示することができ、リファレンスウェハの処置ミス
を防止できる。また、リファレンスウェハに不良が生じ
た場合においてもそれをデータとしてリファレンスウェ
ハの番号（符号）を伴って残し、生産管理に活かすこと
ができる。
ば、製造ロットだけでなく製造ロット中のリファレンス
ウェハに対しての処置についても指示できるし、作業結
果に応じてリファレンスウェハの作業情報の内容を適宜
変更することが可能である。従って、どのリファレンス
ウェハについてどのように処置すべきかをペーパーレス
で指示することができ、リファレンスウェハの処置ミス
を防止できる。また、リファレンスウェハに不良が生じ
た場合においてもそれをデータとしてリファレンスウェ
ハの番号（符号）を伴って残し、生産管理に活かすこと
ができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明リファレンスウェハ枚葉管理装置
は、各製造ロット毎の一連の作業及びその条件と、半導
体ウェハの製造過程における状態を把握するための標本
とするリファレンスウェハ各々についてのリファレンス
ウェハを特定する認識符号乃至番号を伴った作業情報を
登録できる作業情報登録手段と、該作業情報登録手段か
ら製造ロットの作業条件及び各リファレンスウェハにつ
いての作業内容を指示する作業指示手段と、上記作業情
報登録手段の個々のリファレンスウェハについての作業
条件を変更できる更新入力手段と、を有することを特徴
とするものである。従って、本発明リファレンスウェハ
枚葉管理装置によれば、製造ロットだけでなく製造ロッ
ト中のリファレンスウェハに対しての処置についても指
示できるし、作業結果に応じてリファレンスウェハの作
業情報の内容を適宜することが可能である。従って、ど
のリファレンスウェハについてどのように処置すべきか
をペーパーレスで指示することができ、リファレンスウ
ェハの処置ミスを防止できる。また、リファレンスウェ
ハに不良が生じた場合においてもそれをデータとしてリ
ファレンスウェハの番号（符号）を伴って残し、生産管
理に活かすことができる。
は、各製造ロット毎の一連の作業及びその条件と、半導
体ウェハの製造過程における状態を把握するための標本
とするリファレンスウェハ各々についてのリファレンス
ウェハを特定する認識符号乃至番号を伴った作業情報を
登録できる作業情報登録手段と、該作業情報登録手段か
ら製造ロットの作業条件及び各リファレンスウェハにつ
いての作業内容を指示する作業指示手段と、上記作業情
報登録手段の個々のリファレンスウェハについての作業
条件を変更できる更新入力手段と、を有することを特徴
とするものである。従って、本発明リファレンスウェハ
枚葉管理装置によれば、製造ロットだけでなく製造ロッ
ト中のリファレンスウェハに対しての処置についても指
示できるし、作業結果に応じてリファレンスウェハの作
業情報の内容を適宜することが可能である。従って、ど
のリファレンスウェハについてどのように処置すべきか
をペーパーレスで指示することができ、リファレンスウ
ェハの処置ミスを防止できる。また、リファレンスウェ
ハに不良が生じた場合においてもそれをデータとしてリ
ファレンスウェハの番号（符号）を伴って残し、生産管
理に活かすことができる。
【図１】本発明リファレンスウェハ枚葉管理装置の一つ
の実施例を示す全体図である。
の実施例を示す全体図である。
【図２】上記実施例の機能ブロック図である。
６ 作業情報登録手段 １１ 作業指示手段 １３ 更新入力手段
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−29309（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/02
Claims (1)
- 【請求項１】 各製造ロット毎の一連の作業及びその条
件と、半導体ウェハの製造過程における状態を把握する
ための標本とするリファレンスウェハ各々についてのリ
ファレンスウェハを特定する認識符号乃至番号を伴った
作業情報を登録できる作業情報登録手段と、 上記作業情報登録手段から製造ロットの作業条件及び各
リファレンスウェハについての作業内容を指示する作業
指示手段と、 上記作業情報登録手段の個々のリファレンスウェハにつ
いての作業条件を変更できる更新入力手段と、 を有することを特徴とするリファレンスウェハ枚葉管理
装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26529691A JP3049871B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | リファレンスウェハ枚葉管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26529691A JP3049871B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | リファレンスウェハ枚葉管理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574675A JPH0574675A (ja) | 1993-03-26 |
| JP3049871B2 true JP3049871B2 (ja) | 2000-06-05 |
Family
ID=17415235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26529691A Expired - Fee Related JP3049871B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | リファレンスウェハ枚葉管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3049871B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6654698B2 (en) | 2001-06-12 | 2003-11-25 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for calibrating integrated inspection tools |
-
1991
- 1991-09-17 JP JP26529691A patent/JP3049871B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0574675A (ja) | 1993-03-26 |
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