JP3040245B2 - ウィーンフィルタ - Google Patents
ウィーンフィルタInfo
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- JP3040245B2 JP3040245B2 JP4068540A JP6854092A JP3040245B2 JP 3040245 B2 JP3040245 B2 JP 3040245B2 JP 4068540 A JP4068540 A JP 4068540A JP 6854092 A JP6854092 A JP 6854092A JP 3040245 B2 JP3040245 B2 JP 3040245B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡等に置いて
エネルギーフィルタ像等を得るために用いられるウィー
ンフィルタに関する。
エネルギーフィルタ像等を得るために用いられるウィー
ンフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】ウィーンフィルタは、電子ビームの進行
方向に直交する面内において、互いに直交する電場Ｅと
磁場Ｂを加えることによって、特定の速度の電子ビーム
だけを直進させるものである。この電子ビームが直進す
るための条件は、電場の方向をｘ方向、磁場の方向をｙ
方向としたとき、電場の一次成分Ｅ1 、磁場の一次成分
Ｂ1 、電子の速度ｖを用いて、Ｅ1 −ｖＢ1 ＝０で表さ
れ、ウィーン条件と称されている。ウィーンフィルタは
このような性質を有するため、荷電粒子線を取り扱う種
々の装置において、エネルギー分析はもとより、エネル
ギー分析のためのモノクロメータ、低速電子顕微鏡用ビ
ームセパレータ等に用いられている。
方向に直交する面内において、互いに直交する電場Ｅと
磁場Ｂを加えることによって、特定の速度の電子ビーム
だけを直進させるものである。この電子ビームが直進す
るための条件は、電場の方向をｘ方向、磁場の方向をｙ
方向としたとき、電場の一次成分Ｅ1 、磁場の一次成分
Ｂ1 、電子の速度ｖを用いて、Ｅ1 −ｖＢ1 ＝０で表さ
れ、ウィーン条件と称されている。ウィーンフィルタは
このような性質を有するため、荷電粒子線を取り扱う種
々の装置において、エネルギー分析はもとより、エネル
ギー分析のためのモノクロメータ、低速電子顕微鏡用ビ
ームセパレータ等に用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ウィーン条
件は電場及び磁場の働いている全ての領域において成立
する必要があるが、このようなウィーンフィルタを構成
することは非常に困難であり、特にウィーンフィルタの
入射口と出射口の縁端部においては磁場と電場の分布は
異なるのが通常であり、この分布の相違は即ち当該縁端
部においては電場と磁場の関係がウィーン条件から外れ
ることを意味し、従ってこの場合には電子ビームは偏向
され、大きな収差を生じることになる。
件は電場及び磁場の働いている全ての領域において成立
する必要があるが、このようなウィーンフィルタを構成
することは非常に困難であり、特にウィーンフィルタの
入射口と出射口の縁端部においては磁場と電場の分布は
異なるのが通常であり、この分布の相違は即ち当該縁端
部においては電場と磁場の関係がウィーン条件から外れ
ることを意味し、従ってこの場合には電子ビームは偏向
され、大きな収差を生じることになる。
【０００４】これに対して、本出願人は、先に、縁端部
でのフリンジ場の電場と磁場の分布を一致させるため、
図４Ａに示す構成のウィーンフィルタにおいて、電極１
1 ，１2 間のギャップＳe と、磁極２1 ，２2 間のギャ
ップＳm とを等しくすることを提案した。
でのフリンジ場の電場と磁場の分布を一致させるため、
図４Ａに示す構成のウィーンフィルタにおいて、電極１
1 ，１2 間のギャップＳe と、磁極２1 ，２2 間のギャ
ップＳm とを等しくすることを提案した。
【０００５】これによって、フリンジ場の電場分布と磁
場分布は図４Ｂに示すようになり、従来よりも縁端部に
おける電場と磁場の分布の一致度を向上させることが可
能となるのであるが、しかしながら、フリンジ場におい
て電場分布と磁場分布とを一致させることはできないも
のであった。
場分布は図４Ｂに示すようになり、従来よりも縁端部に
おける電場と磁場の分布の一致度を向上させることが可
能となるのであるが、しかしながら、フリンジ場におい
て電場分布と磁場分布とを一致させることはできないも
のであった。
【０００６】その理由は、第１には、電極１1 ，１2 と
して銅等の非磁性金属を用い、磁極２1 ，２2 として鉄
等の強磁性体を用いた場合、電極１1 ，１2 は磁場の発
生に関して何等寄与しないが、電場の発生に関しては磁
極２1 ，２2 は導電体であるためにアースポテンシャル
を与えてしまうことによるためであり、第２には電極１
1 ，１2 と、磁極２1 ，２2 の形状が異なるために、電
極１1 ，１2 がフリンジ場に及ぼす影響と、磁極２1 ，
２2 がフリンジ場に及ぼす影響とが異なることによるた
めである。勿論、電極面と磁極面を同一形状にすること
は可能ではあるが、電極面及び磁極面は一義的には一様
な電場及び一様な磁場を発生させることを目的とするも
のであるので、フリンジ場の分布を同一にするために同
一形状にすることはできないものである。
して銅等の非磁性金属を用い、磁極２1 ，２2 として鉄
等の強磁性体を用いた場合、電極１1 ，１2 は磁場の発
生に関して何等寄与しないが、電場の発生に関しては磁
極２1 ，２2 は導電体であるためにアースポテンシャル
を与えてしまうことによるためであり、第２には電極１
1 ，１2 と、磁極２1 ，２2 の形状が異なるために、電
極１1 ，１2 がフリンジ場に及ぼす影響と、磁極２1 ，
２2 がフリンジ場に及ぼす影響とが異なることによるた
めである。勿論、電極面と磁極面を同一形状にすること
は可能ではあるが、電極面及び磁極面は一義的には一様
な電場及び一様な磁場を発生させることを目的とするも
のであるので、フリンジ場の分布を同一にするために同
一形状にすることはできないものである。
【０００７】また、ウィーンフィルタには、フリンジ場
の電場分布と磁場分布を一致させることの他にも、非点
なし結像を行うことができること、及び二次収差が小さ
いことが要求される。非点なし結像を行うための条件と
しては、Ｅ2 ／Ｅ1 −Ｂ2 ／Ｂ1 ＝−１／４ＲC を満足
すればよいことが知られている。ここで、Ｅ2 は電場の
一次勾配、Ｂ2 は磁場の一次勾配、ＲC はサイクロトロ
ン半径であり、この条件を満足させるために、磁極を傾
斜させたり、あるいは４極子を構成することによって、
電場または磁場に一次の勾配を持たせることも提案され
ている。
の電場分布と磁場分布を一致させることの他にも、非点
なし結像を行うことができること、及び二次収差が小さ
いことが要求される。非点なし結像を行うための条件と
しては、Ｅ2 ／Ｅ1 −Ｂ2 ／Ｂ1 ＝−１／４ＲC を満足
すればよいことが知られている。ここで、Ｅ2 は電場の
一次勾配、Ｂ2 は磁場の一次勾配、ＲC はサイクロトロ
ン半径であり、この条件を満足させるために、磁極を傾
斜させたり、あるいは４極子を構成することによって、
電場または磁場に一次の勾配を持たせることも提案され
ている。
【０００８】また一方、二次収差については、電場の二
次勾配Ｅ3 、磁場の二次勾配Ｂ3 に対して、Ｅ3 ／Ｅ1
−Ｂ3 ／Ｂ1 ＝０が成立するときに極小となることが知
られており、従って電極及び磁極の構造を、Ｅ3 ＝Ｂ3
＝０またはＥ3 ／Ｅ1 ＝Ｂ3／Ｂ1 となるようにすれば
二次収差を極小にすることができることが分かる。
次勾配Ｅ3 、磁場の二次勾配Ｂ3 に対して、Ｅ3 ／Ｅ1
−Ｂ3 ／Ｂ1 ＝０が成立するときに極小となることが知
られており、従って電極及び磁極の構造を、Ｅ3 ＝Ｂ3
＝０またはＥ3 ／Ｅ1 ＝Ｂ3／Ｂ1 となるようにすれば
二次収差を極小にすることができることが分かる。
【０００９】以上の３つの条件の全てを満足するウィー
ンフィルタとしては８極子構造のものが提案されている
が、機械的な構造及び電気的な構造が非常に複雑であ
り、実現することは非常に難しいものである。
ンフィルタとしては８極子構造のものが提案されている
が、機械的な構造及び電気的な構造が非常に複雑であ
り、実現することは非常に難しいものである。
【００１０】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、フリンジ場における電場分布と磁場分布を一致さ
せることができるばかりでなく、非点なし結像を行うこ
とができ、且つ二次収差が小さいウィーンフィルタを提
供することを目的とするものである。
って、フリンジ場における電場分布と磁場分布を一致さ
せることができるばかりでなく、非点なし結像を行うこ
とができ、且つ二次収差が小さいウィーンフィルタを提
供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のウィーンフィルタは、円筒面の一部を構
成する形状を有する８極の強磁性導体を備えるウィーン
フィルタであって、８極のうちの４極は中心軸からみて
開き角が略３０°となされて９０°間隔で配置され、残
りの４極は中心軸からみて開き角が略６０°となされて
前記中心軸からみて開き角が略３０°の４極の中間の位
置に配置されてなり、前記８極のうち、中心軸からみて
ｘ軸を中心とする１２０°の開き角内にある３極づつを
対向し合う磁極とし、それ以外のｙ軸上にある１極づつ
を対向し合う他の磁極として磁場を発生させると共に、
中心軸からみてｙ軸を中心とする１２０°の開き角内に
ある３極づつを対向し合う電極とし、それ以外のｘ軸上
にある１極づつを対向し合う他の電極として電場を発生
させることを特徴とする。
めに、本発明のウィーンフィルタは、円筒面の一部を構
成する形状を有する８極の強磁性導体を備えるウィーン
フィルタであって、８極のうちの４極は中心軸からみて
開き角が略３０°となされて９０°間隔で配置され、残
りの４極は中心軸からみて開き角が略６０°となされて
前記中心軸からみて開き角が略３０°の４極の中間の位
置に配置されてなり、前記８極のうち、中心軸からみて
ｘ軸を中心とする１２０°の開き角内にある３極づつを
対向し合う磁極とし、それ以外のｙ軸上にある１極づつ
を対向し合う他の磁極として磁場を発生させると共に、
中心軸からみてｙ軸を中心とする１２０°の開き角内に
ある３極づつを対向し合う電極とし、それ以外のｘ軸上
にある１極づつを対向し合う他の電極として電場を発生
させることを特徴とする。
【００１２】
【作用及び発明の効果】本発明に係るウィーンフィルタ
は、その表面が円筒面の一部を構成する形状を有する８
極の強磁性導体を備える。その８極の中の４極は、中心
軸からみて開き角が略３０°となされて９０°間隔で配
置されており、残りの４極は、中心軸からみて開き角が
略６０°となされて、前記中心軸からみて開き角が略３
０°の４極の中間の位置に配置されている。
は、その表面が円筒面の一部を構成する形状を有する８
極の強磁性導体を備える。その８極の中の４極は、中心
軸からみて開き角が略３０°となされて９０°間隔で配
置されており、残りの４極は、中心軸からみて開き角が
略６０°となされて、前記中心軸からみて開き角が略３
０°の４極の中間の位置に配置されている。
【００１３】そして、磁場は、８極の中の、中心軸から
みてｘ軸を中心とする１２０°の開き角内にある３極づ
つを対向し合う磁極とし、それ以外のｙ軸上にある１極
づつを対向し合う他の磁極として発生させ、電場は、中
心軸からみてｙ軸を中心とする１２０°の開き角内にあ
る３極づつを対向し合う電極とし、それ以外のｘ軸上に
ある１極づつを対向し合う他の電極として発生させる。
みてｘ軸を中心とする１２０°の開き角内にある３極づ
つを対向し合う磁極とし、それ以外のｙ軸上にある１極
づつを対向し合う他の磁極として発生させ、電場は、中
心軸からみてｙ軸を中心とする１２０°の開き角内にあ
る３極づつを対向し合う電極とし、それ以外のｘ軸上に
ある１極づつを対向し合う他の電極として発生させる。
【００１４】つまり、８個の極は電極として機能すると
共に、磁極としても機能するのであり、このように電極
と磁極とを同一材料で、しかも同一形状とするので、フ
リンジ場の電場分布と磁場分布とを一致させることがで
き、更に非点なし結像のための条件及び二次収差を極小
にできる条件を満足させることができる。
共に、磁極としても機能するのであり、このように電極
と磁極とを同一材料で、しかも同一形状とするので、フ
リンジ場の電場分布と磁場分布とを一致させることがで
き、更に非点なし結像のための条件及び二次収差を極小
にできる条件を満足させることができる。
【００１５】
【実施例】実施例を説明するに先立って、まず本発明の
原理について説明する。さて、フリンジ場において、Ｅ
1 とＢ1 の分布を一致させるためには、電極と磁極を同
一材料を用いて同一形状にすればよいことは上述したと
ころから容易に理解することができる。そのためには、
電極を強磁性を有する導体で構成すればよいが、しかし
ながら、この場合には、磁極の間隙に電極としての強磁
性体が挿入されることになるため、磁場の一様性が著し
く損なわれ、二次収差を極小とするための条件であるＢ
3 ＝０という条件を満足させることが非常に難しいもの
となる。
原理について説明する。さて、フリンジ場において、Ｅ
1 とＢ1 の分布を一致させるためには、電極と磁極を同
一材料を用いて同一形状にすればよいことは上述したと
ころから容易に理解することができる。そのためには、
電極を強磁性を有する導体で構成すればよいが、しかし
ながら、この場合には、磁極の間隙に電極としての強磁
性体が挿入されることになるため、磁場の一様性が著し
く損なわれ、二次収差を極小とするための条件であるＢ
3 ＝０という条件を満足させることが非常に難しいもの
となる。
【００１６】ところで、図１に示すように、強磁性を有
する導体で円筒面の一部を構成する形状を有する４極を
構成し、電極１1 ，１2 にはそれぞれ（Ｖ1 ＋Ｖx ），
（Ｖ1 −Ｖx ）を与え、電極１3 ，１4 には共にＶ2 を
与えた場合には、一様な電場、即ちＥ3 ＝０となる電場
を発生させることができ、且つ４極子成分Ｅ2 を与える
ことができることが知られている。なお、図１におい
て、ｘ軸上で対向する電極１1 ，１2 の中心軸からの開
き角は共に 120°であり、ｙ軸上で対向する電極１3 ，
１4 の中心軸からの開き角は共に60°である。
する導体で円筒面の一部を構成する形状を有する４極を
構成し、電極１1 ，１2 にはそれぞれ（Ｖ1 ＋Ｖx ），
（Ｖ1 −Ｖx ）を与え、電極１3 ，１4 には共にＶ2 を
与えた場合には、一様な電場、即ちＥ3 ＝０となる電場
を発生させることができ、且つ４極子成分Ｅ2 を与える
ことができることが知られている。なお、図１におい
て、ｘ軸上で対向する電極１1 ，１2 の中心軸からの開
き角は共に 120°であり、ｙ軸上で対向する電極１3 ，
１4 の中心軸からの開き角は共に60°である。
【００１７】また、磁極についても同様であり、図２に
示すように、強磁性を有する導体で円筒面の一部を構成
する形状を有する４極を構成し、磁極２1 ，２2 には共
に−２ＮＩB アンペアターンを与え、磁極２3 ，２4 に
はそれぞれ（ＮＩB ＋ＮＩy）アンペアターン、（ＮＩB
−ＮＩy ）アンペアターンを与えた場合には、一様な
磁場、即ちＢ3 ＝０となる磁場を発生させることがで
き、且つ４極子成分Ｂ2を与えることができることが知
られている。なお、図２において、ｘ軸上で対向する磁
極２1 ，２2 の中心軸からの開き角は共に60°であり、
ｙ軸上で対向する磁極２3 ，２4 の中心軸からの開き角
は共に 120°である。
示すように、強磁性を有する導体で円筒面の一部を構成
する形状を有する４極を構成し、磁極２1 ，２2 には共
に−２ＮＩB アンペアターンを与え、磁極２3 ，２4 に
はそれぞれ（ＮＩB ＋ＮＩy）アンペアターン、（ＮＩB
−ＮＩy ）アンペアターンを与えた場合には、一様な
磁場、即ちＢ3 ＝０となる磁場を発生させることがで
き、且つ４極子成分Ｂ2を与えることができることが知
られている。なお、図２において、ｘ軸上で対向する磁
極２1 ，２2 の中心軸からの開き角は共に60°であり、
ｙ軸上で対向する磁極２3 ，２4 の中心軸からの開き角
は共に 120°である。
【００１８】従って、図１に示す電極構造と、図２に示
す磁極構造とを同一面内に形成すれば、上記の３条件を
備えたウィーンフィルタ、即ちフリンジ場における電場
分布と磁場分布を一致させることができると共に、非点
なし結像を行うことができ、且つ二次収差が小さいウィ
ーンフィルタを構成できることが分かる。
す磁極構造とを同一面内に形成すれば、上記の３条件を
備えたウィーンフィルタ、即ちフリンジ場における電場
分布と磁場分布を一致させることができると共に、非点
なし結像を行うことができ、且つ二次収差が小さいウィ
ーンフィルタを構成できることが分かる。
【００１９】以下、図３を参照して本発明の実施例につ
いて説明する。図３において、８つの極Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ
3 ，Ｐ4 ，Ｐ5 ，Ｐ6 ，Ｐ7 ，Ｐ8 は、鉄、ニッケル・
パーマロイ等の強磁性を有する導体で構成されている。
極Ｐ2，Ｐ4 ，Ｐ6 及びＰ8 の中心軸からの開き角は30
°であり、中心軸の回りに90°の間隔で配置されてい
る。また、極Ｐ1 ，Ｐ3 ，Ｐ5 及びＰ7 の中心軸からの
開き角は60°であり、極Ｐ2 ，Ｐ4 ，Ｐ6 ，Ｐ8 の中間
の位置に中心軸の回りに90°の間隔で配置されている。
そして、極Ｐ1 と極Ｐ5 は一体に形成されているので同
電位であり、これらの極はそれぞれ一つの電極として機
能する。極Ｐ2 ，Ｐ3 ，Ｐ4 は一体に形成されているの
で同電位であり、従ってこれらの３極は全体として一つ
の電極として機能する。同様に、極Ｐ6 ，Ｐ7 ，Ｐ8 も
一体に形成されているので、それぞれ同電位であり、こ
れらの３極は全体として一つの電極として機能する。
いて説明する。図３において、８つの極Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ
3 ，Ｐ4 ，Ｐ5 ，Ｐ6 ，Ｐ7 ，Ｐ8 は、鉄、ニッケル・
パーマロイ等の強磁性を有する導体で構成されている。
極Ｐ2，Ｐ4 ，Ｐ6 及びＰ8 の中心軸からの開き角は30
°であり、中心軸の回りに90°の間隔で配置されてい
る。また、極Ｐ1 ，Ｐ3 ，Ｐ5 及びＰ7 の中心軸からの
開き角は60°であり、極Ｐ2 ，Ｐ4 ，Ｐ6 ，Ｐ8 の中間
の位置に中心軸の回りに90°の間隔で配置されている。
そして、極Ｐ1 と極Ｐ5 は一体に形成されているので同
電位であり、これらの極はそれぞれ一つの電極として機
能する。極Ｐ2 ，Ｐ3 ，Ｐ4 は一体に形成されているの
で同電位であり、従ってこれらの３極は全体として一つ
の電極として機能する。同様に、極Ｐ6 ，Ｐ7 ，Ｐ8 も
一体に形成されているので、それぞれ同電位であり、こ
れらの３極は全体として一つの電極として機能する。
【００２０】従って、極Ｐ1 ，Ｐ5 にはＶ2 を与え、極
Ｐ2 ，Ｐ3 ，Ｐ4 には（Ｖ1 ＋Ｖx）を与え、極Ｐ6 ，
Ｐ7 ，Ｐ8 には（Ｖ1 −Ｖx ）を与れば、図１に示す電
極構成と同様になるので、一様で且つ４極子成分Ｅ2 を
有する電場を発生させることができる。
Ｐ2 ，Ｐ3 ，Ｐ4 には（Ｖ1 ＋Ｖx）を与え、極Ｐ6 ，
Ｐ7 ，Ｐ8 には（Ｖ1 −Ｖx ）を与れば、図１に示す電
極構成と同様になるので、一様で且つ４極子成分Ｅ2 を
有する電場を発生させることができる。
【００２１】また、図３において、コイルＣ1 は、極Ｐ
1 ，Ｐ2 及びＰ8 を一纏めに巻回している。従って、極
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ8 は全体として一つの磁極として機能す
る。同様にコイルＣ3 は、極Ｐ4 ，Ｐ5 及びＰ6 を一纏
めに巻回しているので、これらの３極は全体として一つ
の磁極として機能する。コイルＣ2 及びＣ4 は、それぞ
れ、極Ｐ3 及びＰ7 のみに巻回されているので、これら
の極はそれぞれ一つの磁極として機能する。
1 ，Ｐ2 及びＰ8 を一纏めに巻回している。従って、極
Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ8 は全体として一つの磁極として機能す
る。同様にコイルＣ3 は、極Ｐ4 ，Ｐ5 及びＰ6 を一纏
めに巻回しているので、これらの３極は全体として一つ
の磁極として機能する。コイルＣ2 及びＣ4 は、それぞ
れ、極Ｐ3 及びＰ7 のみに巻回されているので、これら
の極はそれぞれ一つの磁極として機能する。
【００２２】従って、極Ｐ3 で構成される磁極及び極Ｐ
7 で構成される磁極には共に−２ＮＩB アンペアターン
を与え、Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ8 の３極で構成される磁極には
（ＮＩB ＋ＮＩy ）アンペアターンを与え、Ｐ4 ，Ｐ
5 ，Ｐ6 の３極で構成される磁極には（ＮＩB −ＮＩ
y ）アンペアターンを与えれば、図２に示す磁極構成と
同様になるので、一様で且つ４極子成分Ｂ2 を有する磁
場を発生させることができる。そして図３に示す構成で
は磁極と電極が中心軸を囲む面において完全に対称とな
っているので、フリンジ場における電場分布と磁場分布
は一致する。
7 で構成される磁極には共に−２ＮＩB アンペアターン
を与え、Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ8 の３極で構成される磁極には
（ＮＩB ＋ＮＩy ）アンペアターンを与え、Ｐ4 ，Ｐ
5 ，Ｐ6 の３極で構成される磁極には（ＮＩB −ＮＩ
y ）アンペアターンを与えれば、図２に示す磁極構成と
同様になるので、一様で且つ４極子成分Ｂ2 を有する磁
場を発生させることができる。そして図３に示す構成で
は磁極と電極が中心軸を囲む面において完全に対称とな
っているので、フリンジ場における電場分布と磁場分布
は一致する。
【図１】 本発明で用いる電極の構成を説明するための
図である。
図である。
【図２】 本発明で用いる磁極の構成を説明するための
図である。
図である。
【図３】 本発明に係るウィーンフィルタの一実施例の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図４】 従来のウィーンフィルタの構成例を示す図で
ある。
ある。
１…電極、２…磁極、Ｐ…極、Ｃ…コイル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−79138（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−275057（ＪＰ，Ａ) 特表 平１−503422（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 49/48 H01J 37/05
Claims (1)
- 【請求項１】 円筒面の一部を構成する形状を有する８
極の強磁性導体を備えるウィーンフィルタであって、８
極のうちの４極は中心軸からみて開き角が略３０°とな
されて９０°間隔で配置され、残りの４極は中心軸から
みて開き角が略６０°となされて前記中心軸からみて開
き角が略３０°の４極の中間の位置に配置されてなり、
前記８極のうち、中心軸からみてｘ軸を中心とする１２
０°の開き角内にある３極づつを対向し合う磁極とし、
それ以外のｙ軸上にある１極づつを対向し合う他の磁極
として磁場を発生させると共に、中心軸からみてｙ軸を
中心とする１２０°の開き角内にある３極づつを対向し
合う電極とし、それ以外のｘ軸上にある１極づつを対向
し合う他の電極として電場を発生させることを特徴とす
るウィーンフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4068540A JP3040245B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | ウィーンフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4068540A JP3040245B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | ウィーンフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05275058A JPH05275058A (ja) | 1993-10-22 |
| JP3040245B2 true JP3040245B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=13376683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4068540A Expired - Fee Related JP3040245B2 (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | ウィーンフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3040245B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002190273A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Anelva Corp | 電磁界重畳セクター型質量分析装置 |
| US6593578B1 (en) * | 2001-11-08 | 2003-07-15 | Schlumberger Technologies, Inc. | Wien filter for use in a scanning electron microscope or the like |
| US10224177B2 (en) * | 2015-05-08 | 2019-03-05 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for aberration correction in an electron beam system |
-
1992
- 1992-03-26 JP JP4068540A patent/JP3040245B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05275058A (ja) | 1993-10-22 |
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