JP2969075B2

JP2969075B2 - 脱気装置

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Publication number: JP2969075B2
Application number: JP8065389A
Authority: JP
Inventors: 貞勝浜崎; 正幸小林
Original assignee: JAPAN GOATETSUKUSU KK
Current assignee: JAPAN GOATETSUKUSU KK
Priority date: 1996-02-26
Filing date: 1996-02-26
Publication date: 1999-11-02
Anticipated expiration: 2016-02-26
Also published as: DE69722481T2; JPH09225206A; EP0791383B1; EP0791383A1; US5830261A; DE69722481D1

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体中に溶存する
気体を脱気させる脱気装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】化学品製造、食品製造、医療、半導体製
造等の種々の分野において、液体中に溶存している気体
の脱気が要求されることが多々ある。このような脱気に
使用される装置として、溶存気体を透過させる多孔質高
分子膜材をスパイラル状あるいはプリーツ状に重ねてモ
ジュール化したものが知られている。このタイプの装置
では、膜材の片側を液体流路とし、膜材の他側を減圧条
件にされた除去気体流路として、脱気を行っている。

【０００３】ところが、上記のような多孔質高分子膜材
を用いた脱気装置では、溶剤液、油脂液、界面活性剤を
含む液を脱気対象とした場合、液透過が起こりやすく、
膜材が濡れて、脱気ができないという問題があった。

【０００４】このような問題点を解消するため、膜材と
して多孔質高分子膜の表面にシリコーン樹脂をコーティ
ングしたものを使用した脱気装置が提案されている（特
開平３−１６９３０４号、特開平３−２４９９０７号公
報等）。しかしながら、この装置では、濃度が比較的低
い溶剤液、油脂液、界面活性剤を含む液を脱気対象とし
たときは脱気が行えるが、濃度が高いと液透過を起こし
てしまい、脱気が行えなくなるという問題があった。ま
た、シリコーン樹脂は半導体製造で使用される現像液や
フォトレジスト液等の特殊液に対して溶出、劣化がある
ため、この装置はこれら特殊液の脱気には使用できない
という問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、膜材をスパ
イラル状あるいはプリーツ状に重ねてモジュール化した
脱気装置において、濃度が高い溶剤液、油脂液、界面活
性剤を含む液、半導体製造で使用される特殊液等に対し
ても効率よく脱気が行える脱気装置を提供することをそ
の課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明によれば、ケーシング内に、テ
トラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重
合体の薄膜からなり周囲が閉じられた封筒状の膜構造体
が、被脱気液体を通液させる液体流路を形成するための
液体流路形成材を介して、スパイラル状又はプリーツ状
に重ねられてなり、該膜構造体はその内部に、除去気体
の流路を形成するための気体流路形成材を有し、該膜構
造体の外側には、該液体流路形成材により液体流路が形
成され、かつ、該膜構造体はその内部が減圧になるよう
に構成されていることを特徴とする脱気装置が提供され
る。また、本発明によれば、ケーシング内に、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体の
薄膜からなり周囲が閉じられた封筒状の膜構造体が、ス
パイラル状又はプリーツ状に重ねられてなり、該膜構造
体はその内部に、除去気体の流路を形成するための気体
流路形成材及び被脱気液体を通液させる液体流路を形成
するための液体流路形成材を有し、該膜構造体はその内
部が減圧になるように構成されており、かつ、該液体流
路形成材は該膜構造体の内部が減圧になるときに該膜構
造体を構成する薄膜と密着し、スパイラル状又はプリー
ツ状に重ねられた膜構造体同士の間に、該薄膜と密着し
た該液体流路形成材の形状に応じて空隙が形成され、こ
の空隙が液体流路となることを特徴とする脱気装置が提
供される。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下本発明の脱気装置について詳
述する。本発明の第１の脱気装置は、ケーシング内に、
テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共
重合体の薄膜からなり周囲が閉じられた封筒状の膜構造
体が、被脱気液体を通液させる液体流路を形成するため
の液体流路形成材を介して、スパイラル状又はプリーツ
状に重ねられてなり、該膜構造体はその内部に、除去気
体の流路を形成するための気体流路形成材を有し、該膜
構造体の外側には、該液体流路形成材により液体流路が
形成され、かつ、該膜構造体はその内部が減圧になるよ
うに構成されていることを特徴とする。

【０００８】本発明で用いる膜構造体材料は、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体
（以ＦＥＰと記す）からなり、従来公知のものである。
このようなＦＥＰ薄膜は、例えば、金型としてダイ及び
マンドレルを用いた押出し成型によるイレフレーション
方式、金型としてＴダイを用いた押出し法等の方法によ
り製造される。このようなＦＥＰ薄膜は、液体に対して
は不透過性、気体に対しては良好な透過性を示す上、耐
溶剤性、耐油性、耐界面活性剤性、耐熱性等が良好であ
る。本発明で用いるＦＥＰ薄膜において、その厚さは５
〜１００μｍ、好ましくは１０〜４０μｍである。ＦＥ
Ｐ薄膜の厚さが上記範囲より薄いと、取扱い性、耐圧力
性、長期耐久性に欠けるようになり、上記範囲より厚く
なるとガス透過性が低下する。

【０００９】本発明で用いる膜構造体は、例えば上記Ｆ
ＥＰ薄膜を２枚用い、周囲の４片を熱融着等の接合法で
接合するか、あるいは上記ＦＥＰ薄膜の１枚を二つ折り
にして、折り返した片以外の周囲の３片を同様の接合法
で接合することにより、封筒状のものとすることができ
る。また、肉薄のＦＥＰチューブを押出、インフレーシ
ョンにより作成し、２片を接合するようにしてもよい。
接合は、図１に示すようにＦＥＰ薄膜どうしのみで接合
部を形成してもよいし、図２に示すように融着の信頼性
向上のためＦＥＰ薄膜の両側をポリテトラフルオロエチ
レン等の多孔質膜で挟んだ状態で接合してもよい。な
お、図１及び図２において１は膜構造体、２は気体流路
形成材、３、４はＦＥＰフィルム、５は接合部、６、７
はＰＴＦＥフィルムである。本発明の膜構造体は封筒状
のものであり、その寸法は任意の値に設定することがで
きるが、脱気装置の寸法を考慮に入れると、通常、幅が
１０〜１００ｃｍ程度、長さが２〜２０ｍ程度であるの
が好ましい。膜構造体の長さが長くなりすぎると、減圧
にかかる時間が長くなり、初期の脱気に問題が生じてく
る。また、膜構造体の長さが短くなりすぎると、十分な
脱気を行うことができなくなる。

【００１０】本発明で用いる膜構造体の内部には、除去
気体の流路を形成するための気体流路形成材が設けられ
る。この気体流路形成材としては、その内部を除去空気
が移動できるものであればよく、例えばナイロン、ポリ
エステルのニツト、ナイロンのクロス織布、ウレタンス
ボンジ、ポリエステル、ポリプロビレンのネット、金属
ネット等からなる布帛を用いることができ、この布帛の
形態は織り物、編み物、スポンジ、不織布、ネット等と
することができる。この気体流路形成材は、その厚さが
０．３〜２ｍｍ程度であるのが好ましく、その幅及び長
さは、膜構造体の幅及び長さより若干（２〜１０ｍｍ程
度）短いことが好ましい。

【００１１】本発明では、気体流路形成材として、上記
のような材料から布帛の片面又は両面に合成樹脂の多孔
質フィルムを積層した構造のものを用いることができ
る。図３は布帛の両面に合成樹脂の多孔質フィルムを積
層した気体流路形成材の構造を模式的に示す断面図、図
４及び図５はそれぞれ両面及び片面に合成樹脂の多孔質
フィルムを積層した気体流路形成材を膜構造体で包んだ
様子を示す断面図で、これらの図中１１が布帛、１２、
１３が合成樹脂の多孔質フィルムである。この場合、合
成樹脂の多孔質フィルムとしては、ポリエチレン、ポリ
プロピレン等のポリオレフィン樹脂の多孔質体、ポリカ
ーボネート、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化
ビニリデン、ポリエステル等の多孔質体、ポリテトラフ
ルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリ
デン等のフッ素系樹脂の多孔質体等を使用することがで
きる。この多孔質フィルムは、平均孔径が０．０１〜１
００μｍ、空孔率が３０〜９７％、厚さが５〜１００μ
ｍ程度であるのが好ましい。布帛の表面に合成樹脂を積
層する方法としては、例えばグラビアロールを用いて接
着剤を転写しラミネートする方法、熱融着による方法等
を使用することができる。このような構造の気体流路形
成材を用いると、膜構造体を真空引きして減圧状態とす
るときにＦＥＰフィルム同士のくっつきを効果的に防止
することができ、目標真空度に到達するまでの時間をよ
り短縮することができ、また、ＦＥＰフィルムの損傷を
防止するという利点がある。

【００１２】本発明で用いる膜構造体は、その内部が減
圧になるように、末端部又は中央部等の適所に真空引き
のための排気用部材が取り付けられる。この排気用部材
としては、適宜の材料からなるチューブ状のものを用い
ることができる。好ましい材料の一例はＦＥＰである。
ＦＥＰチューブを用いた場合、薄膜であるＦＥＰフィル
ムと同材質であり、熱融着が容易であるという利点があ
る。ＦＥＰチューブの外径は４〜１０ｍｍ、肉厚は０．
５〜１ｍｍ程度が好ましい。

【００１３】排気用部材の取付構造例を図６に示す。同
図において、２１は封筒状の膜構造体を構成するＦＥＰ
フィルムであり、その適所に設けられた開口部２２の位
置において、排気用部材としてＦＥＰチューブ２３の一
端が熱融着により取付られている。即ち、ＦＥＰフィル
ム２１の開口部２２付近の部分が，ＰＴＦＥ多孔質フィ
ルム２４を介して、ＦＥＰチューブ２３とＦＥＰリング
２５との間に挟み込まれた状態で熱融着され、気密状態
が形成される。ここでＰＴＦＥ多孔質フィルム２４を介
在させたのは熱融着時、ＦＥＰフィルムが金型にくっつ
くのを防止、かつ、ＦＥＰがＰＴＦＥの多孔質構造に溶
融状態で含浸し、接合性、気密性を確実にするためであ
り、ＦＥＰリング２５を用いたのは熱融着時、ヒーター
板の熱でＦＥＰフィルムが変型したり、収縮したりする
ことを防止するためである。もちろん、排気用部材の取
付構造はここに例示のものに限定されるものではなく、
その他の公知の取付構造を採用することができる。

【００１４】本発明では、膜構造体は液体流路形成材を
介して重ねられて、合成樹脂あるいは金属等からなるケ
ーシング内に収容されモジュール化されるが、その重ね
合わせの形態としては、図７に示すようなスパイラル
状、又は図８に示すようなプリーツ状であることが好ま
しい。図中３１は封筒状の膜構造体、３２は液体流路形
成材である。

【００１５】本発明において、液体流路形成材の構造
は、被脱気液体を適当な流速で通液させうるシート状の
ものが好ましく、例えばネット状、編布状等の構造のも
のを用いることができる。また、液体流路形成材の材質
は、被脱気液体の種類に応じて適当なものを選択するこ
とができるが、通常、ポリプロピレン、ポリエチレン、
ポリエステル、ＰＦＡ等を用いることができる。液体流
路形成材において、その長さは膜構造体の長さとほぼ同
じでよいが、その幅についてはＦＥＰフィルムによる薄
膜構造体を保護するため膜構造体の幅より若干（１〜２
ｃｍ程度）広いことが望ましい。液体流路形成材の設置
により形成される液体流路部分の隙間寸法は、５０〜１
０００μｍ、好ましくは１００〜４００μｍである。液
体流路部分の隙間が上記範囲より大きいと脱気性能が悪
くなり、上記範囲より小さいと液の圧力損失が高くな
る。なお、液体流路形成材としてメッシュ状のものを用
いた場合には、被脱気液体の粘度に応じてメッシュ寸法
を変えることによっても液の圧力損失を調整することが
できる。

【００１６】ここで本発明による第１の脱気装置の構造
例を図９に示す。図中４１は円筒状のケーシングであ
り、ケーシング本体４１ａとケーシングフランジ４１ｂ
からなり、その内部に、上述した構造を有する封筒状の
膜構造体４２が液体流路形成材４３を介して図７のよう
にスパイラル状に巻成されたものが収容される。膜構造
体４２の内部には気体流路形成材４４が設けられてい
る。また膜構造体４２の適所には図６のような取付構造
で排気用部材４５の一端が取り付けられ、該排気用部材
４５の他端はケーシング４１の外部に位置している。４
６は被脱気液体の入口、４７は被脱気液体の出口、４８
は液体流路、４９は使用開始時の空気抜きのための穴、
５０は膜構造体が４６、４７、４９に接して出入口をふ
さぐのを防止するための合成樹脂ネットである。このよ
うな構成において、液入口４６から被脱気液体を供給
し、排気用部材４５の他端に連結された図示しない真空
ラインにより膜構造体４２が減圧状態にされると、液体
流路４８内に通液された被脱気液体に溶存している気体
が膜構造体４２のＦＥＰ膜を透過して脱気が行われ、除
去気体は気体流路形成材４４により形成される気体流路
を通り、排気用部材４５からケーシング４１外部に放出
される。

【００１７】本発明による第１の脱気装置は、通常の
水、水溶液、溶剤液等に溶存する気体の脱気のみなら
ず、濃度が高い溶剤液、油脂液、界面活性剤を含む液、
半導体製造で使用される特殊液等に対しても効率よく脱
気が行えるものである。また、液体中に溶存する気体
は、酸素、炭酸ガス、窒素ガス、炭化水素ガス等の常温
常圧でガス状を示す各種の気体であることができる。

【００１８】次に、本発明による第２の脱気装置につい
て述べる。本発明による第２の脱気装置は、ケーシング
内に、ＦＥＰ薄膜からなり周囲が閉じられた封筒状の膜
構造体が、スパイラル状又はプリーツ状に重ねられてな
り、該膜構造体はその内部に、除去気体の流路を形成す
るための気体流路形成材及び被脱気液体を通液させる液
体流路を形成するための液体流路形成材を有し、該膜構
造体はその内部が減圧になるように構成されており、か
つ該液体流路形成材は該膜構造体の内部が減圧になると
きに該膜構造体を構成する薄膜と密着し、スパイラル状
又はプリーツ状に重ねられた膜構造体同士の間に、該薄
膜と密着した該液体流路形成材の形状に応じて空隙が形
成され、この空隙が液体流路となることを特徴とする。
即ち、本発明による第２の脱気装置は、前記第１の脱気
装置とは、液体流路形成材が膜構造体の内部に設けられ
る点、膜構造体が液体流路形成材を介することなくスパ
イラル状に重ねられる点、及び液体流路形成材は膜構造
体の内部が減圧になるとき該膜構造体を構成するＦＥＰ
薄膜に密着し、ＦＥＰ薄膜を介して、該液体流路形成材
の形状に応じて、重ねられた膜構造体同士の間に空隙が
形成され、その空隙が液体流路となる点が相違し、それ
以外の点は前記第１の脱気装置と同様であるので、ここ
では相違点のみにつき説明する。

【００１９】本脱気装置で用いる液体流路形成材は封筒
状の膜構造体の内部に設置され、被脱気液体とは直接接
液しない。この液体流路形成材は、減圧時に加わる圧縮
力に耐える程度のものであればよく、接液しないため被
脱気液体の種類によってその材質は限定されない。この
液体流路形成材としては、通常、ポリエステル、ナイロ
ン、ポリプロピレン、ＰＦＡ等のフッ素樹脂等の熱溶融
性樹脂を用いることができる。また、この液体流路形成
材は減圧時に、膜構造体のＦＥＰ薄膜と密着して液体流
路を形成できる形状のものであればよく、例えばネット
状のものや液の流れ方向に谷ないし山が延びる繰り返し
凹凸形状のもの等とすることができる。

【００２０】図１０に本脱気装置の構造例における膜構
造体及びその内部の減圧時の様子を斜視図で示す。図中
５１はＦＥＰフィルムからなる封筒状の膜構造体、５２
は気体流路形成材、５３は液体流路形成材、５４は排気
用部材、５５は液体流路である。この構造例では、減圧
時に液体流路形成材５３は膜構造体５１のＦＥＰフィル
ムと密着し、被脱気液体と接することなく液体流路を形
成している。

【００２１】また、図１１は本脱気装置の別の構造例に
おける要部を示す断面図で、液体流路形成材としてネッ
ト状のものを用いたもので、図中６１はＦＥＰフィルム
からなる封筒状の膜構造体、６２は気体流路形成材、６
３はネット状液体流路形成材、６４は液体流路である。

【００２２】本発明による第２の脱気装置によれば、前
記第１の脱気装置の利点に加え、液体流路形成材が被脱
気液体と接液しないので、被脱気液体の種類によって液
体流路形成材の材質が限定されない。特に、被脱気液体
中への溶出があってはいけない半導体装置分野での利用
等において、高価なフッ素樹脂を用いる必要が無く、他
の材質を使うことができるという利点がある。

【００２３】本発明によれば、第２の脱気装置におい
て、気体流路形成部材と液体流路形成材を一つの部材、
例えばネット状の部材で兼用させることも可能である。
この場合、圧力損失が大きくなってしまわないよう、そ
の形状、メッシュ寸法を適切に設定する。

【００２４】

【実施例】以下本発明の実施例を述べる。

【００２５】実施例１厚さ２５０μｍのポリエステル繊維編物（東レ社製：品
番２０２０、２０デニールの単繊維）の両面に厚さ３０
μｍ、空孔率８２％のＰＴＦＥ多孔質膜（ジャパンゴア
テックス社製）をラミネートし、３層一体フィルムを作
成し、これを幅２０ｃｍ、長さ９ｍにカットし、図３の
構造の気体流路形成材とした。次に、厚さ１２．５μｍ
のＦＥＰフィルム（ダイキン工業社製）を２つ折りし、
その間に上記で作成した気体流路形成材を挟み込み、周
囲３辺を熱融着し、幅２０ｃｍ、長さ９．３ｍの図４に
示す封筒状の膜構造体とした。この膜構造体の一端（末
端から５ｃｍの位置）に図６に示す方法で外径６ｍｍ、
肉厚１ｍｍのＦＥＰチューブを熱融着で取付け、排気用
部材とした。一方、２０メッシュ、厚さ０．５１ｍｍの
テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニル
エーテル共重合体（ＰＦＡ）（グンゼ社製）のネットを
幅２４ｃｍ、長さ９．３ｍにカットして液体流路形成材
とした。この液体流路形成材を上記で作成した排気用部
材付き膜構造体の上にそわせ、図７のようにスパイラル
状に巻成し、直径１０１．６ｍｍ、長さ２４ｃｍの構造
体とした。この構造体を円筒状ケーシング内に収納し、
図９の構造の脱気装置を作成した。ケーシングの本体及
びフランジはＰＴＦＥモールディングパウダーで作った
ものを用いた。この脱気装置の接液面積は３．７２
ｍ²、接液距離は２０ｃｍ、液体流路隙間寸法は０．５
１ｍｍであった。この脱気装置に配管を施した後、水道
水を用い次の条件でその特性を評価した。水流量３００ｃｃ／ｍ真空度１００Ｔｏｒｒ温度２５℃ 液中の溶存酸素濃度８．２ｐｐｍ測定の結果、装置出口における溶存酸素量は２．９ｐｐ
ｍと良好な値であった。また、界面活性剤の入った中性
洗剤を９重量％含有する水道水を準備し、上記と同様な
条件で評価したところ、装置出口における溶存酸素量は
２．９５ｐｐｍと良好な値を示した。また、水を抜いた
後、９８％エチルアルコールを入れ、１００Ｔｏｒｒで
真空引きしたところ、排気用部材（ＦＥＰチューブ）に
はアルコールは検出されず、アルコール液の膜透過が起
きてないことが確認された。また、９０℃の温水を通水
した後、装置を解体して各部材を調べたところ、材料に
は何ら変化はみられなかった。以上により、本実施例の
脱気装置は溶剤液、界面活性剤入り液の脱気が可能であ
り、９０℃の温水による洗浄でも問題ないことが確認さ
れた。さらに、本実施例の脱気装置は、接液部にＰＴＦ
Ｅ、ＦＥＰを使用しているため、強酸、強アルカリの薬
液でも使用可能である。

【００２６】実施例２実施例１において、膜構造体に用いるＦＥＰフィルムの
厚さを２５μｍとした以外は同様にして脱気装置を作成
した。この脱気装置を用い、実施例１の評価実験におい
て液流量を２００ｃｃ／ｍとした以外は同様にして特性
評価を行った。その結果、装置出口での溶存酸素量は
２．５ｐｐｍと良好な値を示した。また、溶剤液、油脂
液、界面活性剤入り液の脱気が可能であり、９０℃の温
水による洗浄でも問題ないことが確認された。

【００２７】実施例３実施例１において、膜構造体をスパイラル状に巻成する
際に液体流路形成材を介在させる代わりに、図１０に示
すように、膜構造体内に液体流路形成材であるネットを
設けたこと、及び膜構造体に用いるＦＥＰフィルムの厚
さを２５μｍとしたこと以外は、同様にして脱気装置を
作成した。この脱気装置を用い、実施例１と同様な条件
で評価実験を行った。その結果、装置出口での溶存酸素
量は２．７ｐｐｍと良好な値を示した。また、溶剤液、
油脂液、界面活性剤入り液の脱気が可能であり、９０℃
の温水による洗浄でも問題ないことが確認された。

【００２８】実施例４実施例１及び実施例３において、ＦＥＰフィルムの代わ
りに、押出機でチューブ状に成型した厚さ２５μｍのＦ
ＥＰ薄肉チューブを用いて２辺のみを熱融着して膜構造
体を作った以外は同様にして脱気装置を作成した。これ
らの脱気装置を用いて実施例１と同じように特性評価を
行ったところ、溶存酸素量は２．９５ｐｐｍと３．０２
ｐｐｍで、巻き付けの強弱による微差はあるが、性能的
には差はなかった。この作成法では作成時間が著しく短
縮できた。

【００２９】

【発明の効果】本発明の脱気装置によれば、従来の脱気
装置ではできなかった比較的濃度が高い溶剤液、界面活
性剤入り液、油脂液等の脱気が可能となる。また、本発
明の装置は耐熱性に優れているため、溶存酸素等のガス
がなくなる水の沸点である１００℃付近の温度において
も使用することができるため、食品関連液での脱気後の
殺菌においても有効である。さらに、本発明の脱気装置
は、半導体製造で使用される特殊液、強酸、強アルカリ
等の脱気にも使用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】封筒状の膜構造体の周縁の熱融着部を示す断面
図である。

【図２】封筒状の膜構造体の周縁の熱融着部を示す断面
図である。

【図３】気体流路形成材の構造例を示す断面図である。

【図４】ＦＥＰ薄膜で気体流路形成材を包んだ構造を示
す断面図である。

【図５】ＦＥＰ薄膜で気体流路形成材を包んだ構造を示
す断面図である。

【図６】排気用部材の取付例を示す断面図である。

【図７】液体流路形成材を介してスパイラル状の巻成さ
れた膜構造体を示す図である。

【図８】液体流路形成材を介してプリーツ状に重ね合わ
された膜構造体を示す図である。

【図９】本発明による第１の脱気装置の構造例を示す断
面図である。

【図１０】本発明による第２の脱気装置の構造例におけ
る膜構造体及びその内部の減圧時の様子を示す斜視図で
ある。

【図１１】本発明による第２の脱気装置の別の構造例に
おける要部を示す断面図である。

【符号の説明】

１膜構造体２気体流路形成材３、４ＦＥＰフィルム６、７ＰＴＦＥ膜１１布帛１２、１３合成樹脂
多孔質フィルム２１ＦＥＰフィルム２２開口２３ＦＥＰチューブ２４ＰＴＦＥ多孔質
フィルム２５ＦＥＰリング３１膜構造体３２液体流路形成材４１ケーシング４１ａケーシング本体４１ｂケーシングフ
ランジ４２膜構造体４３液体流路形成材４４気体流路形成材４５排気用部材４６液入口４７液出口４８液体流路５１膜構造体５２気体流路形成材５３液体流路形成材５４排気用部材５５液体流路６１膜構造体６２気体流路形成材６３液体流路形成材６４液体流路

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ケーシング内に、テトラフルオロエチレ
ン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体の薄膜からなり
周囲が閉じられた封筒状の膜構造体が、被脱気液体を通
液させる液体流路を形成するための液体流路形成材を介
して、スパイラル状又はプリーツ状に重ねられてなり、該膜構造体はその内部に、除去気体の流路を形成するた
めの気体流路形成材を有し、該膜構造体の外側には、該液体流路形成材により液体流
路が形成され、かつ、該膜構造体はその内部が減圧になるように構成さ
れていることを特徴とする脱気装置。
【請求項２】ケーシング内に、テトラフルオロエチレ
ン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体の薄膜からなり
周囲が閉じられた封筒状の膜構造体が、スパイラル状又
はプリーツ状に重ねられてなり、該膜構造体はその内部に、除去気体の流路を形成するた
めの気体流路形成材及び被脱気液体を通液させる液体流
路を形成するための液体流路形成材を有し、該膜構造体はその内部が減圧になるように構成されてお
り、かつ、該液体流路形成材は該膜構造体の内部が減圧にな
るときに該膜構造体を構成する薄膜と密着し、スパイラ
ル状又はプリーツ状に重ねられた膜構造体同士の間に、
該薄膜と密着した該液体流路形成材の形状に応じて空隙
が形成され、この空隙が液体流路となることを特徴とす
る脱気装置。
【請求項３】該気体流路形成材が、織布、不織布又は
編布等の布帛から構成されていることを特徴とする請求
項１又は２に記載の脱気装置。
【請求項４】該気体流路形成材が、織布、不織布又は
編布等の布帛の片面又は両面に合成樹脂の多孔質フィル
ムを積層したものからなる請求項１又は２に記載の脱気
装置。