JP2550915B2 - 印刷配線板の表面保護剤および表面保護膜の形成方法 - Google Patents
印刷配線板の表面保護剤および表面保護膜の形成方法Info
- Publication number
- JP2550915B2 JP2550915B2 JP6138842A JP13884294A JP2550915B2 JP 2550915 B2 JP2550915 B2 JP 2550915B2 JP 6138842 A JP6138842 A JP 6138842A JP 13884294 A JP13884294 A JP 13884294A JP 2550915 B2 JP2550915 B2 JP 2550915B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- surface protective
- group
- wiring board
- printed wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000003223 protective agent Substances 0.000 title claims description 31
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 38
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 24
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 claims description 8
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 8
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 7
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 claims description 5
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000003282 alkyl amino group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000003236 benzoyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C(*)=O 0.000 claims description 5
- 125000003917 carbamoyl group Chemical group [H]N([H])C(*)=O 0.000 claims description 5
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims description 5
- 125000002485 formyl group Chemical group [H]C(*)=O 0.000 claims description 5
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 5
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 5
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 claims description 4
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000007788 roughening Methods 0.000 claims description 3
- 125000003785 benzimidazolyl group Chemical class N1=C(NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 claims 1
- 239000011814 protection agent Substances 0.000 claims 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 21
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 21
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 20
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 9
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 4
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N Trifluoroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(F)(F)F DTQVDTLACAAQTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001556 benzimidazoles Chemical class 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- SIEILFNCEFEENQ-UHFFFAOYSA-N dibromoacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Br)Br SIEILFNCEFEENQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JXTHNDFMNIQAHM-UHFFFAOYSA-N dichloroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)Cl JXTHNDFMNIQAHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QEWYKACRFQMRMB-UHFFFAOYSA-N fluoroacetic acid Chemical compound OC(=O)CF QEWYKACRFQMRMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- -1 for example Chemical compound 0.000 description 4
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 description 2
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 2
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 2
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 2
- FOCAUTSVDIKZOP-UHFFFAOYSA-N chloroacetic acid Chemical compound OC(=O)CCl FOCAUTSVDIKZOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940106681 chloroacetic acid Drugs 0.000 description 2
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 description 2
- HFDWIMBEIXDNQS-UHFFFAOYSA-L copper;diformate Chemical compound [Cu+2].[O-]C=O.[O-]C=O HFDWIMBEIXDNQS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229960005215 dichloroacetic acid Drugs 0.000 description 2
- PBWZKZYHONABLN-UHFFFAOYSA-N difluoroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(F)F PBWZKZYHONABLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WBJINCZRORDGAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl formate Chemical compound CCOC=O WBJINCZRORDGAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 2
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 2
- 229960004275 glycolic acid Drugs 0.000 description 2
- 238000007602 hot air drying Methods 0.000 description 2
- 238000007603 infrared drying Methods 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 2
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 2
- 229960000448 lactic acid Drugs 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 2
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 2
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 description 2
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229940098779 methanesulfonic acid Drugs 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 2
- ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N phosphinic acid Chemical compound O[PH2]=O ACVYVLVWPXVTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 2
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 description 2
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 2
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 2
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 2
- ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2,7-diazaspiro[4.5]decane-7-carboxylate Chemical compound C1N(C(=O)OC(C)(C)C)CCCC11CNCC1 ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N trichloroacetic acid Chemical compound OC(=O)C(Cl)(Cl)Cl YNJBWRMUSHSURL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960004319 trichloroacetic acid Drugs 0.000 description 2
- 229910021380 Manganese Chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- GLFNIEUTAYBVOC-UHFFFAOYSA-L Manganese chloride Chemical compound Cl[Mn]Cl GLFNIEUTAYBVOC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RAOSIAYCXKBGFE-UHFFFAOYSA-K [Cu+3].[O-]P([O-])([O-])=O Chemical compound [Cu+3].[O-]P([O-])([O-])=O RAOSIAYCXKBGFE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- QYCVHILLJSYYBD-UHFFFAOYSA-L copper;oxalate Chemical compound [Cu+2].[O-]C(=O)C([O-])=O QYCVHILLJSYYBD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 235000002867 manganese chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000011565 manganese chloride Substances 0.000 description 1
- 229940099607 manganese chloride Drugs 0.000 description 1
- 229940099596 manganese sulfate Drugs 0.000 description 1
- 235000007079 manganese sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011702 manganese sulphate Substances 0.000 description 1
- WJZHMLNIAZSFDO-UHFFFAOYSA-N manganese zinc Chemical compound [Mn].[Zn] WJZHMLNIAZSFDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHVPEUGTPDJECS-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);diformate Chemical compound [Mn+2].[O-]C=O.[O-]C=O BHVPEUGTPDJECS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RGVLTEMOWXGQOS-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);oxalate Chemical compound [Mn+2].[O-]C(=O)C([O-])=O RGVLTEMOWXGQOS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- SQQMAOCOWKFBNP-UHFFFAOYSA-L manganese(II) sulfate Chemical compound [Mn+2].[O-]S([O-])(=O)=O SQQMAOCOWKFBNP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
- H05K3/282—Applying non-metallic protective coatings for inhibiting the corrosion of the circuit, e.g. for preserving the solderability
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C22/00—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C22/05—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions
- C23C22/06—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using aqueous acidic solutions with pH less than 6
- C23C22/48—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using aqueous acidic solutions with pH less than 6 not containing phosphates, hexavalent chromium compounds, fluorides or complex fluorides, molybdates, tungstates, vanadates or oxalates
- C23C22/52—Treatment of copper or alloys based thereon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F11/00—Inhibiting corrosion of metallic material by applying inhibitors to the surface in danger of corrosion or adding them to the corrosive agent
- C23F11/08—Inhibiting corrosion of metallic material by applying inhibitors to the surface in danger of corrosion or adding them to the corrosive agent in other liquids
- C23F11/10—Inhibiting corrosion of metallic material by applying inhibitors to the surface in danger of corrosion or adding them to the corrosive agent in other liquids using organic inhibitors
- C23F11/14—Nitrogen-containing compounds
- C23F11/149—Heterocyclic compounds containing nitrogen as hetero atom
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
および表面保護膜の形成方法に関し、特に銅又は銅合金
からなる回路部の保護処理に用いられる印刷配線板の表
面保護剤および表面保護膜の形成方法に関する。
る回路部を保護しはんだ付け性を保持する印刷配線板の
表面保護剤(以下、表面保護剤と記す)として、ベンズ
イミダゾール誘導体を有効成分とする化合物が開示され
ている(特開平5−186888号公報)。この表面保
護剤は、
〜7個のアルキル基,ハロゲン原子,アミノ基,ジ低級
アルキルアミノ基,ヒドロキシ基,低級アルコキシ基,
シアノ基,アセチル基,ベンゾイル基,カルバモイル
基,ホルミル基,カルボキシル基,低級アルコキシカル
ボニル基又はニトロ基、n,pは0〜4の整数を示し、
mは1〜10の整数を示す)で表される化合物を有効成
分として0.05〜30wt%含有し、銅との錯体被膜
形成助剤として、例えばギ酸銅,塩化銅,シュウ酸銅,
酢酸銅,リン酸銅,硫酸銅,ギ酸銅,ギ酸マンガン,塩
化マンガン,シュウ酸マンガン,硫酸マンガン等の重金
属塩を100〜500ppm添加し、無機酸又は有機酸
による水溶液として構成されている。この表面保護剤に
よる表面保護膜を形成する方法は、一般の被膜方法に順
じて、印刷配線板の銅又は銅合金からなる回路表面を機
械もしくは化学研磨によって仕上げ引き続き印刷配線板
を10〜50℃の表面保護剤の水溶液に10秒〜10分
間浸漬する。
ル誘導体を有効成分とする化合物の表面保護剤では、銅
又は銅合金との錯体被膜の累積形成反応を促進するため
に、銅,マンガン,亜鉛,等の金属塩が錯体被膜形成助
剤として添加されているが、これら金属塩は印刷配線板
の接点,接触用の金めっき層に対して触媒として作用
し、金めっき層の表面にも錯体被膜を形成する(金はそ
の高い酸化還元電位を有するために極めて安定であり、
一般的には錯体を形成することはない)。この錯体被膜
は膜厚の不均一な絶縁被膜であるため、接点、接触用金
めっき層表面の接触抵抗が上昇し接続的信頼性を低下さ
せるほか、金めっき層表面の変色により外観を損ねると
いった問題点があった。一方、環境保全面から塩素系有
機溶剤は廃止化の傾向にあり、部品実装後のフラックス
洗浄においても洗浄を削除する技術動向(無洗浄化)が
あるため、前述のような問題点を回避することが必要と
なった。
膜を形成することなく回路表面にのみ表面保護膜を形成
でき、接続信頼性の低下や金めっき層表面の変色がな
く、塩素系有機溶剤の使用を回避できる安全性の高い印
刷配線板の表面保護剤および表面保護膜の形成方法を提
供することにある。
銅又は銅合金からなる回路部表面に表面保護膜を形成す
る印刷配線板の表面保護膜の形成方法において、前記銅
又は銅合金からなる回路部表面を化学研磨もしくは機械
研磨して浄化又は粗面化する工程と、下記の一般式で表
されるベンズイミダゾール誘導体を有効成分とする化合
物を塩を形成する酸によってPH1〜PH5に調整し
銅,マンガン,亜鉛を含む重金属の含有率が50ppm
以下の水溶液を印刷配線板の表面保護剤として前記銅又
は銅合金からなる回路部表面に接触させ、この回路部表
面から溶出した銅を含む重金属のイオンをイオン交換樹
脂を用いるか又は電気分解により除去し前記表面保護剤
の水溶液の前記銅を含む重金属の濃度を50ppm以下
に保つように管理する工程と、水洗い,水切り,乾燥を
順次行う工程とを含む。
〜7個のアルキル基,ハロゲン原子,アミノ基,ジ低級
アルキルアミノ基,ヒドロキシ基,低級アルコキシ基,
シアノ基,アセチル基,ベンゾイル基,カルバモイル
基,ホルミル基,カルボキシル基,低級アルコキシカル
ボニル基又はニトロ基、n,pは0〜4の整数を示し、
mは1〜10の整数を示す)
て説明する。
例の表面保護膜を形成する方法を説明する工程順に示し
た断面図である。本発明の第1の実施例の印刷配線板の
表面保護膜の形成方法は、まず、図1(a)に示すよう
に、絶縁基板1の所定の位置に銅又は銅合金からなる部
品実装用パッド2並びに端子3を含む回路部を形成し、
端子3の表面に電解金めっきを施し電解金めっき層5を
被覆する。次に、部品実装用パッド2並びに電解金めっ
き層5を被覆した端子3以外の領域にソルダレジスト4
を被覆した後、部品実装用パッド2を含む銅又は銅合金
からなる回路部表面に生成した酸化被膜を除去するため
に、過酸化水素と硫酸の混合液(過酸化水素:35g/
L,硫酸:100g/L,残り水)に25℃で15〜4
0秒間浸漬して浄化及び粗面化し、純水洗い,水切り,
130℃−20秒間の赤外線乾燥もしくは熱風乾燥を順
次施して化学研磨を行う。この酸化被膜の除去及び粗面
化はサンドブラスト等による機械研磨によっても施すこ
とができる。
〜7個のアルキル基,ハロゲン原子,アミノ基,ジ低級
アルキルアミノ基,ヒドロキシ基,低級アルコキシ基,
シアノ基,アセチル基,ベンゾイル基,カルバモイル
基,ホルミル基,カルボキシル基,低級アルコキシカル
ボニル基又はニトロ基、n,pは0〜4の整数を示し、
mは1〜10の整数を示す)で表されるベンズイミダゾ
ール化合物を有効成分として0.05〜30wt%、好
ましくは1〜5%wt%含み、ギ酸,酢酸,プロピオン
酸,酪酸,グリコール酸,乳酸,クロロ酢酸,ジクロロ
酢酸,トリクロロ酢酸,ブロモ酢酸,ジブロモ酢酸,フ
ルオロ酢酸,ジフルオロ酢酸,トリフルオロ酢酸,シュ
ウ酸,マロン酸,コハク酸,アジピン酸,リンゴ酸,酒
石酸,クエン酸,マレイン酸,フマール酸,パラトルエ
ンスルホン酸,メタンスルホン酸,等の塩を形成する有
機酸、塩酸,硫酸,リン酸,亜リン酸,次亜リン酸,硝
酸等の塩を形成する無機酸によってpH1〜pH5に調
整した表面保護剤の水溶液に浸漬する。浸漬は0〜60
℃の範囲で実施できるが、10〜50℃が好適である。
浸漬時間は5秒〜1時間、好ましくは10秒〜10分間
である。次に、純水洗,水切り,熱風乾燥を順次行うこ
とで、部品実装用パッド2を含む銅又は銅合金からなる
回路部表面にのみ0.2〜0.5μmの表面保護膜6が
形成される。
度と金めっき層表面に形成される表面保護膜の厚み及び
接触抵抗値の関係を示す特性図である。この評価には2
μmのニッケル層,1μmの電解金めっき層を用い、接
触抵抗の測定条件は印加定電流10mA,測定加重50
g,プローブの走査速度1mm/minとした。図3に
示すように、表面保護膜の厚みが0.1μmでは接触抵
抗値の上昇はほとんど認められず、一方、表面保護剤の
水溶液中の銅濃度の上昇に伴い表面保護膜は厚くなる
が、50ppmをこえると金めっき層の変色が顕著であ
った。従って、表面保護剤の水溶液中の銅,マンガン亜
鉛等の重金属の含有率を50ppmにおさえ、さらに表
面保護膜の形成工程では表面保護剤の水溶液との接触に
よって絶縁基板の回路部等から溶出した銅,マンガン,
亜鉛等の重金属のイオンをイオン交換樹脂を用いて除去
するか、または電気分解によって除去し、表面保護剤の
水溶液中の重金属濃度を常時50ppm以下になるよう
に管理する。
例の表面保護膜を形成する方法を説明する工程順に示し
た断面図である。本発明の第2の実施例の印刷配線板の
表面保護膜の形成方法は、まず、図2(a)に示すよう
に、絶縁基板1の所定の位置に銅又は銅合金からなる部
品実装用パッド2並びに端子3を含む回路部を形成し、
端子3の表面に電解金めっきを施し電解金めっき層5を
被覆する。次に、部品実装用パッド2並びに電解金めっ
き層5を被覆した端子3以外の領域にソルダレジスト4
を被覆する。次に、図2(b)に示すように、部品実装
用パッド2を含む銅又は同合金からなる回路部表面に生
成した酸化被膜を除去するために、過酸化水素,硫酸及
び一般式 R−COOH(但し、式中Rは炭素数3以上
のアルキル基を示す)で表される直鎖の有機酸を含んだ
混合液(過酸化水素:35g/L,硫酸:100g/
L,有機酸:10g/L,残り水)に25℃で15〜4
0秒間浸漬し酸化被膜を除去して浄化すると同時に、有
機酸銅の単分子膜の一次防錆被膜7が形成される。この
一次防錆被膜7が形成することにより、次の水洗工程で
の水中酸化を防止できる。次に、純水洗い,水切り,1
30℃−20秒間の赤外線乾燥もしくは熱風乾燥を順次
施して化学研磨を行う。
〜7個のアルキル基,ハロゲン原子,アミノ基,ジ低級
アルキルアミノ基,ヒドロキシ基,低級アルコキシ基,
シアノ基,アセチル基,ベンゾイル基,カルバモイル
基,ホルミル基,カルボキシル基,低級アルコキシカル
ボニル基又はニトロ基、n,pは0〜4の整数を示し、
mは1〜10の整数を示す)で表されるベンズイミダゾ
ール化合物を有効成分として0.05〜30wt%、好
ましくは1〜5wt%含み、ギ酸,酢酸,プロピオン
酸,酪酸,グリコール酸,乳酸,クロロ酢酸,ジクロロ
酢酸,トリクロロ酢酸,ブロモ酢酸,ジブロモ酢酸,フ
ルオロ酢酸,ジフルオロ酢酸,トリフルオロ酢酸,シュ
ウ酸,マロン酸,コハク酸,アジピン酸,リンゴ酸,酒
石酸,クエン酸,マレイン酸,フマール酸,パラトルエ
ンスルホン酸,メタンスルホン酸等の塩を形成する有機
酸と、塩酸,硫酸,リン酸,亜リン酸,次亜リン酸,硝
酸等の塩を形成する無機酸によってpH1〜pH5に調
整した表面保護剤の水溶液に浸漬する。浸漬は0〜60
℃の範囲で実施できるが、10〜50℃が好適である。
浸漬時間は5秒〜1時間、好ましくは10秒〜10分間
である。次に、純水洗,水切り,熱風乾燥を順次行うこ
とで、部品実装用パッド2を含む銅又は銅合金からなる
回路部表面にのみ0.2〜0.5μmの表面保護膜6が
形成される。又、化学研磨で形成した一次防錆被膜7は
酸に可溶であるため表面保護剤によって溶解し、表面保
護膜と置換される。
同様、図3及び金めっき層の変色の結果に基づいて、表
面保護剤の水溶液中の銅,マンガン,亜鉛等の重金属の
含有率を50ppmにおさえ、さらに表面保護膜の形成
工程では表面保護剤の水溶液との接触によって絶縁基板
の回路部等から溶出した銅,マンガン,亜鉛等の重金属
のイオンをイオン交換樹脂を用いて除去するか、または
電気分解によって除去し表面保護剤の水溶液中の重金属
の濃度を常時50ppm以下に保つように管理する。
ミダゾール誘導体を有効成分とする化合物を塩を形成す
る酸によってpH1〜pH5に調整し銅,マンガン,亜
鉛を含む重金属の含有率が50ppm以下の水溶液表面
保護剤として回路部表面に接触させこの回路部表面から
溶出した銅を含む重金属イオンを除去し銅を含む重金属
の濃度を50ppm以下に保つように管理することによ
り、端子の金めっき層上に表面保護膜を形成させること
なく、銅又は銅合金からなる回路部のみに表面保護膜を
形成できるので、接点や接触用金めっき層表面の接触抵
抗の上昇や変色を抑制し接続信頼性を高めるとともに部
品実装後の塩素系有機溶剤の使用を回避できるので安全
性も確保できる効果がある。
保護膜を形成する方法を説明する工程順に示した断面図
である。
保護膜を形成する方法を説明する工程順に示した断面図
である。
き層表面に形成される表面保護膜の厚み及び接触抵抗値
の関係を示す特性図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 下記の一般式で表されるベンズイミダゾ
ール誘導体を有効成分とする化合物を塩を形成する酸に
よってpH1〜pH5に調整し、かつ銅,マンガン,亜
鉛を含む重金属の含有率が50ppm以下の水溶液であ
ることを特徴とする印刷配線板の表面保護剤。 (但し、式中Xは同一又は異なる炭素数1〜7個のアル
キル基,ハロゲン原子,アミノ基,ジ低級アルキルアミ
ノ基,ヒドロキシ基,低級アルコキシ基,シアノ基,ア
セチル基,ベンゾイル基,カルバモイル基,ホルミル
基,カルボキシル基,低級アルコキシカルボニル基又は
ニトロ基、n,pは0〜4の整数を示し、mは1〜10
の整数を示す) - 【請求項2】 印刷配線板の銅又は銅合金からなる回路
部表面に表面保護膜を形成する印刷配線板の表面保護膜
の形成方法において、前記銅又は銅合金からなる回路部
表面を化学研磨もしくは機械研磨して浄化及び粗面化す
る工程と、前記銅又は銅合金からなる回路部表面を請求
項1記載の印刷配線板の表面保護剤の水溶液に接触させ
る工程と、水洗い,水切り,乾燥を順次行う工程とを含
むことを特徴とする印刷配線板の表面保護膜の形成方
法。 - 【請求項3】 前記銅又は銅合金からなる回路部表面を
表面保護剤の水溶液に接触させる工程において、前記表
面保護剤の水溶液との接触によって前記回路部表面より
溶出した銅を含む重金属のイオンをイオン交換樹脂を用
いて除去し、前記表面保護剤の水溶液の前記銅を含む重
金属の濃度を50ppm以下に保つように管理すること
を特徴とする請求項2記載の印刷配線板の表面保護膜の
形成方法。 - 【請求項4】 前記銅又は銅合金からなる回路部表面を
表面保護剤の水溶液に接触させる工程において、前記表
面保護剤の水溶液との接触によって前記回路部表面より
溶出した銅を含む重金属のイオンを電気分解によって除
去し、前記表面保護剤の水溶液の前記銅を含む重金属の
濃度を50ppm以下に保つように管理することを特徴
とする請求項2記載の印刷配線板の保護膜の形成方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6138842A JP2550915B2 (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 印刷配線板の表面保護剤および表面保護膜の形成方法 |
| US08/478,668 US5658611A (en) | 1994-06-21 | 1995-06-07 | Surface protection material for printed circuit board and process of forming surface protection films |
| US08/801,497 US5746813A (en) | 1994-06-21 | 1997-02-18 | Surface protection material for printed circuit board and process of forming surface protection films |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6138842A JP2550915B2 (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 印刷配線板の表面保護剤および表面保護膜の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH088516A JPH088516A (ja) | 1996-01-12 |
| JP2550915B2 true JP2550915B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=15231473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6138842A Expired - Fee Related JP2550915B2 (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 印刷配線板の表面保護剤および表面保護膜の形成方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5658611A (ja) |
| JP (1) | JP2550915B2 (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4189609B2 (ja) * | 1997-01-31 | 2008-12-03 | テイラー,ジェームズ、エム. | サブストレート材料をプライミングする組成物及び方法 |
| JP2001024301A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Fujitsu Ltd | 配線基板および導電性弾性部材 |
| US6524644B1 (en) | 1999-08-26 | 2003-02-25 | Enthone Inc. | Process for selective deposition of OSP coating on copper, excluding deposition on gold |
| TW508985B (en) * | 2000-12-19 | 2002-11-01 | Kolon Inc | Method of using dry film photoresist to manufacture print circuit board |
| US6762208B2 (en) | 2001-10-01 | 2004-07-13 | Air Products And Chemicals, Inc. | Alkane diol foam controlling agents |
| US7776809B2 (en) * | 2005-01-06 | 2010-08-17 | David Bennett | Composition and method for treatment of residues in pumping, bore and reticulation equipment |
| AU2006204585B2 (en) * | 2005-01-06 | 2011-04-14 | Bennett, David Mr | Composition and method for treatment of residues in pumping, bore, and reticulation equipment |
| JP2008546157A (ja) * | 2005-06-09 | 2008-12-18 | ナショナル スターチ アンド ケミカル カンパニー | 水性の印刷可能な電気導体 |
| US20070221503A1 (en) * | 2006-03-22 | 2007-09-27 | Brian Larson | Precoat composition for organic solderability preservative |
| US7794531B2 (en) * | 2007-01-08 | 2010-09-14 | Enthone Inc. | Organic solderability preservative comprising high boiling temperature alcohol |
| JP2008210993A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Nec Corp | プリント配線板及びその製造方法 |
| LT3289876T (lt) | 2008-06-16 | 2022-11-10 | University Of Tennessee Research Foundation | Junginiai, skirti vėžio gydymui |
| JP5269563B2 (ja) * | 2008-11-28 | 2013-08-21 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板とその製造方法 |
| EP2453726A1 (en) * | 2009-06-01 | 2012-05-16 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Connection method, connection structure, and electronic device |
| CN101697662B (zh) * | 2009-10-29 | 2011-04-27 | 深圳市唯特偶新材料股份有限公司 | 一种高抗热性有机保焊剂 |
| CN101758338B (zh) * | 2009-12-23 | 2012-02-29 | 长沙理工大学 | 一种有机保焊剂的低温增溶剂及其应用方法 |
| US8961678B2 (en) | 2012-12-20 | 2015-02-24 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Organic solderability preservative and method |
| CN103058931B (zh) * | 2012-12-31 | 2015-07-01 | 广东东硕科技有限公司 | 2-(3',5'-二卤苯甲基)苯并咪唑类四个新型化合物及其制备方法 |
| MX375059B (es) | 2013-03-05 | 2025-03-06 | Univ Tennessee Res Found | Compuestos para el tratamiento de cancer. |
| CA2948334A1 (en) * | 2014-05-06 | 2015-11-12 | Gtx, Inc. | Benzimidazole and imidazo[4,5]pyridine compounds for the treatment of cancer |
| US20170183783A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-06-29 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Method for forming organic coating on copper surface |
| CA3087518A1 (en) * | 2018-01-03 | 2019-07-11 | Ecolab Usa Inc. | Process and method for reducing metal corrosion in water |
| CN115279055B (zh) * | 2022-08-09 | 2023-09-15 | 湖北龙腾电子科技股份有限公司 | 一种解决pcb字符喷印机散墨上pad的工艺方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3791431A (en) * | 1966-06-01 | 1974-02-12 | Amchem Prod | Process for coating metals |
| BE792737A (fr) * | 1972-05-26 | 1973-03-30 | Amchem Prod | Procedes en vue de maintenir la stabilite de compositions de revetementmetallique et composition utilisees dans ces procedes |
| JPS5618077A (en) * | 1979-07-21 | 1981-02-20 | Yukio Fujino | Generation and generator utilizing balanced pulley rope type truck |
| US4303704A (en) * | 1980-05-19 | 1981-12-01 | Courduvelis Constantine I | Selective removal of copper or nickel from complexing agents in aqueous solution |
| US4395294A (en) * | 1981-08-17 | 1983-07-26 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Copper corrosion inhibitor |
| JP3112744B2 (ja) * | 1991-09-12 | 2000-11-27 | タムラ化研株式会社 | プリント配線板用表面保護剤 |
| TW217426B (ja) * | 1992-01-08 | 1993-12-11 | Mekku Kk | |
| JPH0681161A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-03-22 | Hitachi Ltd | 銅及び銅合金の表面処理剤 |
-
1994
- 1994-06-21 JP JP6138842A patent/JP2550915B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-06-07 US US08/478,668 patent/US5658611A/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-02-18 US US08/801,497 patent/US5746813A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH088516A (ja) | 1996-01-12 |
| US5746813A (en) | 1998-05-05 |
| US5658611A (en) | 1997-08-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2550915B2 (ja) | 印刷配線板の表面保護剤および表面保護膜の形成方法 | |
| EP0670379B1 (en) | Method for microetching copper or copper alloy surfaces | |
| US5439783A (en) | Composition for treating copper or copper alloys | |
| JP4063475B2 (ja) | 銅または銅合金のエッチング剤 | |
| JP5710670B2 (ja) | 金属表面と接合した高分子材料との間の接着性を向上するために銅合金の表面を処理する溶液および方法 | |
| JPH08255968A (ja) | プリント回路板の製造 | |
| JPH09291372A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理剤 | |
| JP5422558B2 (ja) | 金属又は金属合金表面のはんだ付け性及び耐食性強化溶液および方法 | |
| EP3060696B1 (en) | Method of selectively treating copper in the presence of further metal | |
| KR101616731B1 (ko) | 금속 표면 처리 수용액 및 금속 표면상의 휘스커 억제방법 | |
| JPH09293954A (ja) | 銅または銅合金表面の処理剤 | |
| JPH11177218A (ja) | 電子回路用金属面具備部品及びその表面保護剤 | |
| US20050175780A1 (en) | Acidic solution for silver deposition and method for silver layer deposition on metal surfaces | |
| JPS6214034B2 (ja) | ||
| JP3205927B2 (ja) | 銅金共存基板の表面保護剤および表面保護膜の形成方法。 | |
| CN115870668A (zh) | 水溶性预焊剂及表面处理方法 | |
| JP2000328268A (ja) | 銅および銅合金のエッチング処理剤 | |
| JP3376465B2 (ja) | プリント回路基板の表面処理方法及びその装置 | |
| JPH06299374A (ja) | はんだ、無電解はんだ、銀、ニッケル、亜鉛等の金属の表面 処理方法 | |
| JP2849216B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
| TWI424099B (zh) | A direct plating method and a palladium conductor layer to form a solution | |
| JP2003129254A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理剤 | |
| JP2561150B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
| JPH11286798A (ja) | 封孔処理剤 | |
| JPH0681160A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理剤及び表面処理方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960625 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080822 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090822 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100822 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822 Year of fee payment: 16 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |