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JP2019166824A - Thermal print head - Google Patents

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JP2019166824A
JP2019166824A JP2019001124A JP2019001124A JP2019166824A JP 2019166824 A JP2019166824 A JP 2019166824A JP 2019001124 A JP2019001124 A JP 2019001124A JP 2019001124 A JP2019001124 A JP 2019001124A JP 2019166824 A JP2019166824 A JP 2019166824A
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Toshihiro Kimura
俊博 木村
藤田 明良
Akira Fujita
明良 藤田
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Kazuya Nakakubo
一也 中久保
智士 木本
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智士 木本
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Yasuhiro Yoshikawa
泰弘 吉川
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Tadashi Yamamoto
忠司 山本
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Abstract

【課題】印字品質を向上させることが可能なサーマルプリントヘッドを提供する。【解決手段】第1基板1と、第1基板1に支持され且つx方向に配列された複数の発熱部41を有する抵抗体層4と、第1基板1に支持され且つ複数の発熱部41への通電経路を構成する配線層3と、基板1と抵抗体層4との間に介在する絶縁層19と、を備え、絶縁層19に対して複数の発熱部41とは反対側に位置し且つ複数の発熱部41の厚さ方向視において複数の発熱部41と重なり、絶縁層19よりも熱反射率が大きい反射層15を備える。【選択図】図6A thermal print head capable of improving printing quality is provided. A first substrate, a resistor layer supported by the first substrate and having a plurality of heat generating portions arranged in the x direction, and a plurality of heat generating portions supported by the first substrate and provided on the first substrate. And an insulating layer 19 interposed between the substrate 1 and the resistor layer 4. The insulating layer 19 is located on the opposite side of the insulating layer 19 from the plurality of heat generating portions 41. The heat generating portion 41 includes the reflective layer 15 that overlaps with the heat generating portions 41 in the thickness direction when viewed in the thickness direction and has a higher thermal reflectance than the insulating layer 19. [Selection diagram] FIG.

Description

本開示は、サーマルプリントヘッドに関する。   The present disclosure relates to a thermal printhead.

特許文献1には、従来のサーマルプリントヘッドの一例が開示されている。同文献に開示されたサーマルプリントヘッドは、配線層および抵抗体層が形成された主基板と、ドライバICが搭載された副基板とを備える。抵抗体層は、主走査方向に配列された複数の発熱部を有する。   Patent Document 1 discloses an example of a conventional thermal print head. The thermal print head disclosed in this document includes a main board on which a wiring layer and a resistor layer are formed, and a sub board on which a driver IC is mounted. The resistor layer has a plurality of heat generating portions arranged in the main scanning direction.

サーマルプリントヘッドによる印刷においては、抵抗体層の発熱部が、通電により発熱する。この熱が伝達されることにより印刷用紙が発色し、印刷がなされる。   In printing by a thermal print head, the heat generating portion of the resistor layer generates heat when energized. When this heat is transmitted, the printing paper is colored and printing is performed.

特開2017−65021号公報JP 2017-65021 A

本開示は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、印字品質を向上させることが可能なサーマルプリントヘッドを提供することをその課題とする。また、本開示は、印字効率を低下させることなく耐久性及び信頼性を向上させることが可能なサーマルプリントヘッドを提供することをその課題とする。   The present disclosure has been conceived under the circumstances described above, and an object of the present disclosure is to provide a thermal print head capable of improving print quality. It is another object of the present disclosure to provide a thermal print head capable of improving durability and reliability without reducing printing efficiency.

本開示によって提供されるサーマルプリントヘッドは、基板と、前記基板に支持され且つ主走査方向に配列された複数の発熱部を有する抵抗体層と、前記基板に支持され且つ前記複数の発熱部への通電経路を構成する配線層と、前記基板と前記抵抗体層との間に介在する絶縁層と、を備え、前記絶縁層に対して前記複数の発熱部とは反対側に位置し且つ前記複数の発熱部の厚さ方向視において前記複数の発熱部と重なり、前記絶縁層よりも熱反射率が大きい反射層を備える。   A thermal print head provided by the present disclosure includes a substrate, a resistor layer that is supported by the substrate and has a plurality of heat generating portions arranged in a main scanning direction, and is supported by the substrate and to the plurality of heat generating portions. A wiring layer constituting the energization path, and an insulating layer interposed between the substrate and the resistor layer, and located on the opposite side of the plurality of heat generating parts with respect to the insulating layer, and The plurality of heat generating portions includes a reflective layer that overlaps the plurality of heat generating portions when viewed in the thickness direction and has a higher thermal reflectance than the insulating layer.

本開示によれば、印字品質を向上させることができる。   According to the present disclosure, print quality can be improved.

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。   Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the detailed description given below with reference to the accompanying drawings.

本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す平面図である。It is a top view showing a thermal print head concerning a 1st embodiment of this indication. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部平面図である。FIG. 3 is a plan view of a principal part showing the thermal print head according to the first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大平面図である。It is a principal part enlarged plan view showing the thermal print head concerning a 1st embodiment of this indication. 図1のIV−IV線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the IV-IV line of FIG. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a main part of the thermal print head according to the first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 1st Embodiment of this indication. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part illustrating an example of a method for manufacturing a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第1変形例を示す要部拡大断面図である。FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of a main part illustrating a first modification of the thermal print head according to the first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第2変形例を示す要部断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a main part showing a second modification of the thermal print head according to the first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第3変形例を示す要部拡大断面図である。FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of a main part illustrating a third modification of the thermal print head according to the first embodiment of the present disclosure. 本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第4変形例を示す要部拡大断面図である。FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing a fourth modification example of the thermal print head according to the first embodiment of the present disclosure. 本開示の第2実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the thermal print head which concerns on 2nd Embodiment of this indication. 本開示の第3実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 3rd Embodiment of this indication. 本開示の第3実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第1変形例を示す要部拡大断面図である。FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of a main part illustrating a first modification example of a thermal print head according to a third embodiment of the present disclosure. 本開示の第3実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第2変形例を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the 2nd modification of the thermal print head which concerns on 3rd Embodiment of this indication. 本開示の第3実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第3変形例を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the 3rd modification of the thermal print head which concerns on 3rd Embodiment of this indication. 本開示の第4実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 4th Embodiment of this indication. 本開示の第5実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 5th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大平面図である。It is a principal part enlarged plan view which shows the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの製造方法の一例を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows an example of the manufacturing method of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第1変形例を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the 1st modification of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第2変形例を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows the 2nd modification of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第3変形例を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the 3rd modification of the thermal print head which concerns on 6th Embodiment of this indication. 本開示の第7実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 7th Embodiment of this indication. 本開示の第8実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 8th Embodiment of this indication. 本開示の第8実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第1変形例を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the 1st modification of the thermal print head which concerns on 8th Embodiment of this indication. 本開示の第8実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第2変形例を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the 2nd modification of the thermal print head which concerns on 8th Embodiment of this indication. 本開示の第8実施形態に係るサーマルプリントヘッドの第3変形例を示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the 3rd modification of the thermal print head which concerns on 8th Embodiment of this indication. 本開示の第9実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 9th Embodiment of this indication. 本開示の第10実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 10th Embodiment of this indication. 本開示の第11実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示す要部拡大断面図である。It is a principal part expanded sectional view which shows the thermal print head which concerns on 11th Embodiment of this indication.

以下、本発明の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

本開示における「第1」、「第2」、「第3」等の用語は、単にラベルとして用いたものであり、必ずしもそれらの対象物に順列を付することを意図していない。   Terms such as “first”, “second”, and “third” in the present disclosure are merely used as labels, and are not necessarily intended to permutate those objects.

<第1実施形態>
図1〜図6は、本開示の第1実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA1は、第1基板1、反射層15、絶縁層19、保護層2、配線層3、抵抗体層4、第2基板5、ドライバIC7および放熱部材8を備えている。サーマルプリントヘッドA1は、プラテンローラ91との間に挟まれて搬送される印刷媒体(図示略)に印刷を施すプリンタに組み込まれるものである。このような印刷媒体としては、たとえばバーコードシートやレシートを作成するための感熱紙が挙げられる。
<First Embodiment>
1 to 6 show a thermal print head according to a first embodiment of the present disclosure. The thermal print head A1 of this embodiment includes a first substrate 1, a reflective layer 15, an insulating layer 19, a protective layer 2, a wiring layer 3, a resistor layer 4, a second substrate 5, a driver IC 7, and a heat dissipation member 8. Yes. The thermal print head A1 is incorporated in a printer that prints on a print medium (not shown) that is sandwiched between the platen roller 91 and conveyed. Examples of such a print medium include thermal paper for creating a barcode sheet or a receipt.

図1は、サーマルプリントヘッドA1を示す平面図である。図2は、サーマルプリントヘッドA1を示す要部平面図である。図3は、サーマルプリントヘッドA1を示す要部拡大平面図である。図4は、図1のIV−IV線に沿う断面図である。図5は、サーマルプリントヘッドA1を示す要部断面図である。図6は、サーマルプリントヘッドA1を示す要部拡大断面図である。図1〜図3においては、理解の便宜上、保護層2を省略している。図1および図2においては、理解の便宜上、後述の保護樹脂78を省略している。図2においては、理解の便宜上、後述のワイヤ61を省略している。図1〜図3においては、副走査方向yの図中下側が上流側であり、図中上側が下流側である。図4〜図6においては、副走査方向yの図中右側が上流側であり、図中左側が下流側である。   FIG. 1 is a plan view showing the thermal print head A1. FIG. 2 is a plan view of an essential part showing the thermal print head A1. FIG. 3 is an enlarged plan view of a main part showing the thermal print head A1. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view of the main part showing the thermal print head A1. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing the thermal print head A1. 1 to 3, the protective layer 2 is omitted for convenience of understanding. In FIG. 1 and FIG. 2, a protective resin 78 described later is omitted for the sake of easy understanding. In FIG. 2, a wire 61 to be described later is omitted for convenience of understanding. 1 to 3, the lower side in the figure in the sub-scanning direction y is the upstream side, and the upper side in the figure is the downstream side. 4 to 6, the right side in the drawing in the sub-scanning direction y is the upstream side, and the left side in the drawing is the downstream side.

第1基板1は、配線層3および抵抗体層4を支持するものであり、本開示の基板に相当する。第1基板1は、主走査方向xを長手方向とし、副走査方向yを幅方向とする細長矩形状である。以降の説明においては、第1基板1の厚さ方向を厚さ方向zとして説明する。第1基板1の大きさは特に限定されないが、一例を挙げると、第1基板1の厚さは、たとえば725μmである。また、第1基板1の主走査方向x寸法は、たとえば100mm〜150mmであり、副走査方向y寸法は、たとえば2.0mm〜5.0mmである。   The first substrate 1 supports the wiring layer 3 and the resistor layer 4 and corresponds to the substrate of the present disclosure. The first substrate 1 has an elongated rectangular shape in which the main scanning direction x is the longitudinal direction and the sub-scanning direction y is the width direction. In the following description, the thickness direction of the first substrate 1 is described as the thickness direction z. Although the magnitude | size of the 1st board | substrate 1 is not specifically limited, If an example is given, the thickness of the 1st board | substrate 1 will be 725 micrometers, for example. Moreover, the main scanning direction x dimension of the 1st board | substrate 1 is 100 mm-150 mm, for example, and the subscanning direction y dimension is 2.0 mm-5.0 mm, for example.

本実施形態においては、第1基板1は、単結晶半導体からなり、たとえばSiによって形成されている。図4および図5に示すように、第1基板1は、第1主面11および第1裏面12を有する。第1主面11および第1裏面12は、厚さ方向zにおいて互いに反対側を向いている。配線層3および抵抗体層4は、第1主面11の側に設けられる。第1主面11は、本開示の主面に相当する。   In the present embodiment, the first substrate 1 is made of a single crystal semiconductor and is made of, for example, Si. As shown in FIGS. 4 and 5, the first substrate 1 has a first main surface 11 and a first back surface 12. The first main surface 11 and the first back surface 12 face each other in the thickness direction z. The wiring layer 3 and the resistor layer 4 are provided on the first main surface 11 side. The first main surface 11 corresponds to the main surface of the present disclosure.

第1基板1は、凸部13を有する。凸部13は、第1主面11から厚さ方向zに突出しており、主走査方向xに長く延びている。図示された例においては、凸部13は、第1基板1の副走査方向y下流側寄りに形成されている。また、凸部13は、第1基板1の一部であることから、単結晶半導体であるSiからなる。   The first substrate 1 has a convex portion 13. The convex portion 13 protrudes from the first main surface 11 in the thickness direction z and extends long in the main scanning direction x. In the illustrated example, the convex portion 13 is formed closer to the downstream side in the sub-scanning direction y of the first substrate 1. Moreover, since the convex part 13 is a part of the 1st board | substrate 1, it consists of Si which is a single crystal semiconductor.

本実施形態においては、凸部13は、頂部130、一対の第1傾斜部131および一対の第2傾斜部132を有する。   In the present embodiment, the convex portion 13 has a top portion 130, a pair of first inclined portions 131, and a pair of second inclined portions 132.

頂部130は、凸部13のうち第1主面11からの距離が最も大きい部分である。本実施形態においては、頂部130は、第1主面11と平行な平面からなる。頂部130は、厚さ方向z視において主走査方向x方向に長く延びる細長矩形状の面である。   The top portion 130 is the portion of the convex portion 13 that has the largest distance from the first major surface 11. In the present embodiment, the top 130 is a plane parallel to the first major surface 11. The top portion 130 is an elongated rectangular surface extending in the main scanning direction x direction when viewed in the thickness direction z.

一対の第1傾斜部131は、頂部130の副走査方向y両側に繋がっている。一対の第1傾斜部131は、各々が第1主面11に対して角度α1だけ傾斜している。第1傾斜部131は、厚さ方向z視において主走査方向x方向に長く延びる細長矩形状の平面である。なお、凸部13は、一対の第1傾斜部131に繋がり、頂部130の主走査方向x両端に隣接する傾斜部(図示略)を有していてもよい。   The pair of first inclined portions 131 are connected to both sides of the top portion 130 in the sub-scanning direction y. Each of the pair of first inclined portions 131 is inclined with respect to the first main surface 11 by an angle α1. The first inclined portion 131 is an elongated rectangular plane extending long in the main scanning direction x direction when viewed in the thickness direction z. The convex portion 13 may be connected to the pair of first inclined portions 131 and may have inclined portions (not shown) adjacent to both ends of the top portion 130 in the main scanning direction x.

一対の第2傾斜部132は、一対の第1傾斜部131に対して副走査方向y両側に繋がっている。一対の第2傾斜部132は、各々が第1主面11に対して角度α1よりも大きい角度α2だけ傾斜している。第2傾斜部132は、厚さ方向z視において主走査方向x方向に長く延びる細長矩形状の平面である。本実施形態においては、一対の第2傾斜部132は、第1主面11に繋がっている。なお、凸部13は、一対の第2傾斜部132に繋がり、頂部130の主走査方向x両端の主走査方向x外方に位置する傾斜部(図示略)を有していてもよい。   The pair of second inclined portions 132 are connected to both sides of the sub-scanning direction y with respect to the pair of first inclined portions 131. Each of the pair of second inclined portions 132 is inclined with respect to the first main surface 11 by an angle α2 larger than the angle α1. The second inclined portion 132 is an elongated rectangular plane extending long in the main scanning direction x direction when viewed in the thickness direction z. In the present embodiment, the pair of second inclined portions 132 are connected to the first main surface 11. In addition, the convex part 13 may be connected to a pair of 2nd inclination part 132, and may have the inclination part (not shown) located in the main scanning direction x both ends of the top part 130 in the main scanning direction x outward.

本実施形態においては、第1主面11が(100)面である。後述の製造方法例によれば、第1傾斜部131が第1主面11となす角度α1は、30.1度であり、第2傾斜部132が第1主面11となす角度α2は、54.8度である。凸部13の厚さ方向z寸法は、たとえば、150μm〜300μmである。   In the present embodiment, the first main surface 11 is the (100) surface. According to the manufacturing method example described later, the angle α1 formed by the first inclined portion 131 with the first main surface 11 is 30.1 degrees, and the angle α2 formed by the second inclined portion 132 with the first main surface 11 is 54.8 degrees. The thickness direction z dimension of the convex part 13 is 150 micrometers-300 micrometers, for example.

図5および図6に示すように、絶縁層19は、第1主面11および凸部13を覆っており、第1基板1の第1主面11側をより確実に絶縁するためのものである。絶縁層19は、絶縁性材料からなり、たとえばSiO2やSiNまたはTEOS(オルトケイ酸テトラエチル)からなり、本実施形態においては、TEOSが採用されている。絶縁層19の厚さは特に限定されず、その一例を挙げるとたとえば5μm〜15μmであり、好ましくは10μm程度である。 As shown in FIGS. 5 and 6, the insulating layer 19 covers the first main surface 11 and the convex portion 13, and insulates the first main surface 11 side of the first substrate 1 more reliably. is there. The insulating layer 19 is made of an insulating material, for example, SiO 2 , SiN, or TEOS (tetraethyl orthosilicate). In this embodiment, TEOS is adopted. The thickness of the insulating layer 19 is not specifically limited, For example, it is 5 micrometers-15 micrometers, for example, Preferably it is about 10 micrometers.

反射層15は、絶縁層19に対して抵抗体層4とは反対側に設けられている。本実施形態においては、反射層15は、絶縁層19と第1基板1との間に介在している。反射層15は、絶縁層19よりも熱反射率が大きい材質からなる。本開示において、熱反射率は、物体が熱放射(輻射とも称される)によって受けた熱についての透過率および吸収率との和が1となる物性値である。すなわち、相対的に透過率や吸収率が小さい材質ほど、熱反射率が大きくなる傾向がある。反射層15の材質は特に限定されず、好ましくは金属が用いられる。反射層15を構成する金属としては、たとえばCu、Ti、Al等が挙げられる。図示された例においては、反射層15は、Cuからなる。また、反射層15の厚さは特に限定されず、本実施形態においては、たとえば配線層3よりも薄く、たとえば0.05μm〜0.3μmであり、0.1μm程度である。反射層15の形成は、たとえばスパッタリングやCVDを用いることができる。   The reflective layer 15 is provided on the side opposite to the resistor layer 4 with respect to the insulating layer 19. In the present embodiment, the reflective layer 15 is interposed between the insulating layer 19 and the first substrate 1. The reflective layer 15 is made of a material having a higher thermal reflectance than the insulating layer 19. In the present disclosure, the thermal reflectance is a physical property value at which the sum of the transmittance and the absorptance of heat received by an object by thermal radiation (also referred to as radiation) is 1. That is, the heat reflectance tends to increase as the material has a relatively low transmittance and absorption rate. The material of the reflective layer 15 is not particularly limited, and a metal is preferably used. Examples of the metal constituting the reflective layer 15 include Cu, Ti, and Al. In the illustrated example, the reflective layer 15 is made of Cu. In addition, the thickness of the reflective layer 15 is not particularly limited. In the present embodiment, for example, it is thinner than the wiring layer 3 and is, for example, 0.05 μm to 0.3 μm, and is about 0.1 μm. For example, sputtering or CVD can be used to form the reflective layer 15.

反射層15は、抵抗体層4のうち後述の発熱部41を構成する部分の厚さ方向視、本実施形態においてはz方向視において、複数の発熱部41と重なる位置に設けられている。図示された例においては、反射層15は、第1基板1の第1主面11および凸部13のすべてを覆っており、反射第1部151、反射第2部152、反射第3部153および反射第4部154を有する。   The reflective layer 15 is provided at a position overlapping the plurality of heat generating portions 41 in the thickness direction of the portion constituting the heat generating portion 41 described later in the resistor layer 4, and in the present embodiment in the z direction. In the illustrated example, the reflective layer 15 covers all of the first main surface 11 and the convex portion 13 of the first substrate 1, and the reflective first portion 151, the reflective second portion 152, and the reflective third portion 153. And a reflective fourth portion 154.

反射第1部151は、z方向視において発熱部41と重なる部分である。反射第2部152は、z方向視において凸部13と重なる部分である。図示された例においては、反射第1部151は、反射第2部152に含まれている。反射第3部153は、反射第2部152に対してy方向上流側に位置する部分であり、z方向視において第1主面11と重なっている。反射第4部154は、反射第2部152に対してy方向下流側に位置する部分であり、z方向視において第1主面11と重なっている。   The reflective first portion 151 is a portion that overlaps the heat generating portion 41 when viewed in the z direction. The reflective second portion 152 is a portion that overlaps the convex portion 13 when viewed in the z direction. In the illustrated example, the reflection first part 151 is included in the reflection second part 152. The reflective third portion 153 is a portion located on the upstream side in the y direction with respect to the reflective second portion 152 and overlaps the first main surface 11 when viewed in the z direction. The reflective fourth portion 154 is a portion located on the downstream side in the y direction with respect to the reflective second portion 152 and overlaps the first main surface 11 when viewed in the z direction.

本例の反射層15は、配線層3および抵抗体層4から絶縁されている。すなわち、反射層15と配線層3および抵抗体層4との間には、絶縁層19が全域に渡って介在している。   The reflective layer 15 in this example is insulated from the wiring layer 3 and the resistor layer 4. That is, the insulating layer 19 is interposed over the entire area between the reflective layer 15 and the wiring layer 3 and the resistor layer 4.

抵抗体層4は、第1基板1に支持されており、本実施形態においては、絶縁層19を介して第1基板1に支持されている。抵抗体層4は、複数の発熱部41を有している。複数の発熱部41は、各々に選択的に通電されることにより、印刷媒体を局所的に加熱するものである。複数の発熱部41は、主走査方向xに沿って配置されており、主走査方向xにおいて互いに離間している。発熱部41の形状は特に限定されず、本実施形態においては、厚さ方向z視において副走査方向yを長手方向とする長矩形状である。抵抗体層4は、たとえばTaNからなる。抵抗体層4の厚さは特に限定されず、たとえば0.02μm〜0.1μmであり、好ましくは0.05μm程度である。   The resistor layer 4 is supported by the first substrate 1. In this embodiment, the resistor layer 4 is supported by the first substrate 1 via the insulating layer 19. The resistor layer 4 has a plurality of heat generating portions 41. The plurality of heat generating portions 41 locally heat the print medium by selectively energizing each. The plurality of heat generating portions 41 are arranged along the main scanning direction x and are separated from each other in the main scanning direction x. The shape of the heat generating portion 41 is not particularly limited, and in the present embodiment, it is a long rectangular shape with the sub-scanning direction y as the longitudinal direction when viewed in the thickness direction z. The resistor layer 4 is made of TaN, for example. The thickness of the resistor layer 4 is not particularly limited and is, for example, 0.02 μm to 0.1 μm, and preferably about 0.05 μm.

図3および図6に示すように、本実施形態においては、発熱部41は、頂部410、一対の第1部411および一対の第2部412を有する。頂部410は、発熱部41のうち凸部13の頂部130の副走査方向yにおける少なくとも一部に形成された部分である。第1部411は、発熱部41のうち凸部13の第1傾斜部131の副走査方向yにおける少なくとも一部に形成された部分である。第2部412は、発熱部41のうち凸部13の第2傾斜部132の副走査方向yにおける少なくとも一部に形成された部分である。なお、本実施形態においては、第1基板1と抵抗体層4との間に絶縁層19が介在しているが、上述したとおり絶縁層19は十分に薄い層である。このため、発熱部41が、厚さ方向z視もしくは頂部130、第1傾斜部131および第2傾斜部132のそれぞれの法線方向視において重なるように形成されている場合、頂部130、第1傾斜部131および第2傾斜部132に形成されていると説明し、以下も同様である。   As shown in FIGS. 3 and 6, in the present embodiment, the heat generating portion 41 includes a top portion 410, a pair of first portions 411, and a pair of second portions 412. The top portion 410 is a portion formed in at least a part of the heat generating portion 41 in the sub-scanning direction y of the top portion 130 of the convex portion 13. The first part 411 is a part formed in at least part of the heat generating part 41 in the sub-scanning direction y of the first inclined part 131 of the convex part 13. The second part 412 is a part formed in at least part of the heat generating part 41 in the sub-scanning direction y of the second inclined part 132 of the convex part 13. In the present embodiment, the insulating layer 19 is interposed between the first substrate 1 and the resistor layer 4, but as described above, the insulating layer 19 is a sufficiently thin layer. Therefore, when the heat generating portion 41 is formed so as to overlap in the thickness direction z view or in the normal direction view of the top portion 130, the first inclined portion 131, and the second inclined portion 132, the top portion 130, the first portion It is described that it is formed in the inclined portion 131 and the second inclined portion 132, and the same applies to the following.

本実施形態においては、頂部410は、頂部130の副走査方向y全長にわたって形成されている。また、発熱部41は、頂部130と一対の第1傾斜部131との境界を跨いでいる。また、一対の第1部411は、一対の第1傾斜部131の副走査方向y全長にわたって形成されている。発熱部41は、一対の第1傾斜部131と一対の第2傾斜部132との境界を跨いでいる。また、一対の第2部412は、第2傾斜部132の副走査方向yにおける一部のみに形成されている。   In the present embodiment, the top portion 410 is formed over the entire length y of the top portion 130 in the sub-scanning direction. Further, the heat generating portion 41 straddles the boundary between the top portion 130 and the pair of first inclined portions 131. The pair of first portions 411 is formed over the entire length in the sub-scanning direction y of the pair of first inclined portions 131. The heat generating portion 41 straddles the boundary between the pair of first inclined portions 131 and the pair of second inclined portions 132. Further, the pair of second parts 412 is formed only on a part of the second inclined part 132 in the sub-scanning direction y.

配線層3は、複数の発熱部41に通電するための通電経路を構成するためのものである。配線層3は、第1基板1に支持されており、本実施形態においては、図5および図6に示すように、抵抗体層4上に積層されている。配線層3は、抵抗体層4よりも低抵抗な金属材料からなり、たとえばCuからなる。また、配線層3は、Cuからなる層と、当該層と抵抗体層4との間に介在するTiからなる100nm程度の厚さの層とを有する構成であってもよい。配線層3の厚さは特に限定されず、たとえば0.3μm〜2.0μmである。   The wiring layer 3 is for configuring an energization path for energizing the plurality of heat generating portions 41. The wiring layer 3 is supported by the first substrate 1 and is laminated on the resistor layer 4 in this embodiment as shown in FIGS. The wiring layer 3 is made of a metal material having a lower resistance than that of the resistor layer 4, and is made of Cu, for example. Further, the wiring layer 3 may have a configuration including a layer made of Cu and a layer having a thickness of about 100 nm made of Ti interposed between the layer and the resistor layer 4. The thickness of the wiring layer 3 is not particularly limited and is, for example, 0.3 μm to 2.0 μm.

図1〜図3、図5および図6に示すように、本実施形態においては、配線層3は、複数の個別電極31および共通電極32を有する。図3および図6に示すように、抵抗体層4のうち、複数の個別電極31と共通電極32との間において配線層3から露出した部分が、複数の発熱部41となっている。   As shown in FIGS. 1 to 3, 5, and 6, in the present embodiment, the wiring layer 3 includes a plurality of individual electrodes 31 and a common electrode 32. As shown in FIGS. 3 and 6, portions of the resistor layer 4 exposed from the wiring layer 3 between the plurality of individual electrodes 31 and the common electrode 32 form a plurality of heat generating portions 41.

図3および図6に示すように、複数の個別電極31は、各々が概ね副走査方向y方向に延びる帯状であり、複数の発熱部41に対して副走査方向y上流側に配置されている。本実施形態においては、個別電極31の副走査方向y下流側端は、凸部13の副走査方向y上流側の第2傾斜部132に重なる位置に配置されている。図2および図5に示すように、個別電極31は、個別パッド311を有する。個別パッド311は、ドライバIC7と導通させるためのワイヤ61が接続される部分である。   As shown in FIGS. 3 and 6, each of the plurality of individual electrodes 31 has a strip shape extending substantially in the sub-scanning direction y direction, and is disposed upstream of the plurality of heat generating portions 41 in the sub-scanning direction y. . In the present embodiment, the downstream end in the sub scanning direction y of the individual electrode 31 is disposed at a position overlapping the second inclined portion 132 on the upstream side in the sub scanning direction y of the convex portion 13. As shown in FIGS. 2 and 5, the individual electrode 31 has an individual pad 311. The individual pad 311 is a portion to which a wire 61 for conducting with the driver IC 7 is connected.

図2、図3、図5および図6に示すように、共通電極32は、連結部323と複数の帯状部324とを有する。複数の帯状部324は、複数の発熱部41に対して副走査方向y下流側に配置されている。複数の帯状部324の副走査方向y上流側端は、複数の個別電極31の副走査方向y下流側端と、発熱部41を挟んで対向している。帯状部324の副走査方向y上流側端は、凸部13の副走査方向y下流側の第2傾斜部132に重なる位置に配置されている。連結部323は、複数の帯状部324の副走査方向y下流側に位置し、複数の帯状部324が繋がっている。連結部323は、主走査方向xに延びており、帯状部324の主走査方向x方向寸法よりも副走査方向y寸法が大きい、比較的幅広の部分である。図1に示すように、連結部323は、複数の発熱部41の副走査方向y下流側から、主走査方向x両側を迂回して、副走査方向y上流側へと延びている。   As shown in FIGS. 2, 3, 5, and 6, the common electrode 32 includes a connecting portion 323 and a plurality of strip portions 324. The plurality of strip portions 324 are arranged on the downstream side in the sub-scanning direction y with respect to the plurality of heat generating portions 41. The upstream end in the sub-scanning direction y of the plurality of strip portions 324 is opposed to the downstream end in the sub-scanning direction y of the plurality of individual electrodes 31 with the heat generating portion 41 interposed therebetween. The upstream end in the sub-scanning direction y of the band-shaped portion 324 is disposed at a position overlapping the second inclined portion 132 on the downstream side in the sub-scanning direction y of the convex portion 13. The connecting portion 323 is located downstream in the sub-scanning direction y of the plurality of strip portions 324, and the plurality of strip portions 324 are connected. The connecting portion 323 is a relatively wide portion that extends in the main scanning direction x and has a dimension in the sub-scanning direction y larger than the size in the main scanning direction x direction of the band-shaped portion 324. As shown in FIG. 1, the connecting portion 323 extends from the downstream side of the plurality of heat generating portions 41 in the sub-scanning direction y to the upstream side of the sub-scanning direction y, bypassing both sides of the main scanning direction x.

本実施形態においては、複数の帯状部324の副走査方向y下流側部分と連結部323とが、第1基板1の第1主面11に形成されている。   In the present embodiment, the sub-scanning direction y downstream portion of the plurality of strip portions 324 and the connecting portion 323 are formed on the first main surface 11 of the first substrate 1.

保護層2は、配線層3および抵抗体層4を覆っている。保護層2は、絶縁性の材料からなり、配線層3および抵抗体層4を保護している。保護層2の材質は、たとえばSiO2、SiN、SiC、AlN等であり、これらの単層もしくは複数層によって構成される。保護層2の厚さは特に限定されず、たとえば1.0μm〜10μm程度である。 The protective layer 2 covers the wiring layer 3 and the resistor layer 4. The protective layer 2 is made of an insulating material and protects the wiring layer 3 and the resistor layer 4. The material of the protective layer 2 is, for example, SiO 2 , SiN, SiC, AlN or the like, and is constituted by a single layer or a plurality of layers. The thickness of the protective layer 2 is not specifically limited, For example, it is about 1.0 micrometer-10 micrometers.

図5に示すように、本実施形態においては、保護層2は、パッド用開口21を有する。パッド用開口21は、保護層2を厚さ方向zに貫通している。複数のパッド用開口21は、個別電極31の複数の個別パッド311を露出させている。   As shown in FIG. 5, in the present embodiment, the protective layer 2 has a pad opening 21. The pad opening 21 penetrates the protective layer 2 in the thickness direction z. The plurality of pad openings 21 expose the plurality of individual pads 311 of the individual electrode 31.

第2基板5は、図1および図4に示すように、第1基板1に対して副走査方向y上流側に配置されている。第2基板5は、たとえばPCB基板であり、ドライバIC7や後述のコネクタ59が搭載される。第2基板5の形状等は特に限定されず、本実施形態においては、主走査方向xを長手方向とする長矩形状である。第2基板5は、第2主面51および第2裏面52を有する。第2主面51は、第1基板1の第1主面11と同じ側を向く面であり、第2裏面52は、第1基板1の第1裏面12と同じ側を向く面である。本実施形態においては、第2主面51は、第1主面11よりも厚さ方向z図中下方に位置している。   As shown in FIGS. 1 and 4, the second substrate 5 is disposed upstream of the first substrate 1 in the sub-scanning direction y. The second substrate 5 is, for example, a PCB substrate on which a driver IC 7 and a connector 59 described later are mounted. The shape or the like of the second substrate 5 is not particularly limited. In the present embodiment, the second substrate 5 has a long rectangular shape with the main scanning direction x as the longitudinal direction. The second substrate 5 has a second main surface 51 and a second back surface 52. The second main surface 51 is a surface facing the same side as the first main surface 11 of the first substrate 1, and the second back surface 52 is a surface facing the same side as the first back surface 12 of the first substrate 1. In the present embodiment, the second main surface 51 is located below the first main surface 11 in the thickness direction z diagram.

ドライバIC7は、第2基板5の第2主面51に搭載されており、複数の発熱部41に個別に通電させるためのものである。本実施形態においては、ドライバIC7は、複数のワイヤ61によって複数の個別電極31に接続されている。ドライバIC7の通電制御は、第2基板5を介してサーマルプリントヘッドA1外から入力される指令信号に従う。ドライバIC7は、複数のワイヤ62によって第2基板5の配線層(図示略)に接続されている。本実施形態においては、複数の発熱部41の個数に応じて、複数のドライバIC7が設けられている。   The driver IC 7 is mounted on the second main surface 51 of the second substrate 5 and is used to individually energize the plurality of heat generating portions 41. In the present embodiment, the driver IC 7 is connected to the plurality of individual electrodes 31 by the plurality of wires 61. The energization control of the driver IC 7 follows a command signal input from outside the thermal print head A1 via the second substrate 5. The driver IC 7 is connected to a wiring layer (not shown) of the second substrate 5 by a plurality of wires 62. In the present embodiment, a plurality of driver ICs 7 are provided according to the number of the plurality of heat generating portions 41.

ドライバIC7、複数のワイヤ61および複数のワイヤ62は、保護樹脂78に覆われている。保護樹脂78は、たとえば絶縁性樹脂からなりたとえば黒色である。保護樹脂78は、第1基板1と第2基板5とに跨るように形成されている。   The driver IC 7, the plurality of wires 61, and the plurality of wires 62 are covered with a protective resin 78. The protective resin 78 is made of, for example, an insulating resin and is black, for example. The protective resin 78 is formed so as to straddle the first substrate 1 and the second substrate 5.

コネクタ59は、サーマルプリントヘッドA1をプリンタ(図示略)に接続するために用いられる。コネクタ59は、第2基板5に取付けられており、第2基板5の配線層(図示略)に接続されている。   The connector 59 is used to connect the thermal print head A1 to a printer (not shown). The connector 59 is attached to the second substrate 5 and connected to a wiring layer (not shown) of the second substrate 5.

放熱部材8は、第1基板1および第2基板5を支持しており、複数の発熱部41によって生じた熱の一部を第1基板1を介して外部へと放熱するためのものである。放熱部材8は、たとえばアルミ等の金属からなるブロック状の部材である。本実施形態においては、放熱部材8は、第1支持面81および第2支持面82を有する。第1支持面81および第2支持面82は、各々が厚さ方向z上側を向いており、副走査方向yに並んで配置されている。第1支持面81には、第1基板1の第1裏面12が接合されている。第2支持面82には、第2基板5の第2裏面52が接合されている。   The heat radiating member 8 supports the first substrate 1 and the second substrate 5, and radiates a part of heat generated by the plurality of heat generating portions 41 to the outside through the first substrate 1. . The heat radiating member 8 is a block-shaped member made of a metal such as aluminum. In the present embodiment, the heat dissipation member 8 has a first support surface 81 and a second support surface 82. The first support surface 81 and the second support surface 82 each face the upper side in the thickness direction z and are arranged side by side in the sub-scanning direction y. The first back surface 12 of the first substrate 1 is bonded to the first support surface 81. The second back surface 52 of the second substrate 5 is bonded to the second support surface 82.

次に、サーマルプリントヘッドA1の製造方法の一例について、図7〜図16を参照しつつ、以下に説明する。   Next, an example of a method for manufacturing the thermal print head A1 will be described below with reference to FIGS.

まず、図7に示すように、基板材料1Aを用意する。基板材料1Aは、単結晶半導体からなり、たとえばSiウエハである。基板材料1Aの厚さは特に限定されず、本実施形態においては、たとえば725μmである。基板材料1Aは、互いに反対側を向く主面11Aおよび裏面12Aを有する。主面11Aは、(100)面である。   First, as shown in FIG. 7, a substrate material 1A is prepared. The substrate material 1A is made of a single crystal semiconductor, for example, a Si wafer. The thickness of the substrate material 1A is not particularly limited, and is 725 μm, for example, in the present embodiment. The substrate material 1A has a main surface 11A and a back surface 12A that face opposite sides. The main surface 11A is a (100) plane.

次いで、主面11Aを所定のマスク層で覆った後に、たとえばKOHを用いた異方性エッチングを行う。これにより、図8に示すように、基板材料1Aには、凸部13Aが形成される。凸部13Aは、主面11Aから突出しており、主走査方向xに長く延びている。凸部13Aは、頂部130Aおよび一対の傾斜部132Aを有する。頂部130Aは、主面11Aと平行は面であり、本実施形態においては、(100)面である。一対の傾斜部132Aは、頂部130Aの副走査方向y両側に位置しており、頂部130Aと主面11Aとの間に介在している。傾斜部132Aは、頂部130Aおよび主面11Aに対して傾斜した平面である。本実施形態においては、傾斜部132Aと主面11Aおよび頂部130Aがなす角度は、54.8度である。   Next, after covering the main surface 11A with a predetermined mask layer, anisotropic etching using, for example, KOH is performed. Thereby, as shown in FIG. 8, the convex part 13A is formed in the substrate material 1A. The convex portion 13A protrudes from the main surface 11A and extends long in the main scanning direction x. The convex portion 13A has a top portion 130A and a pair of inclined portions 132A. The top portion 130A is a surface parallel to the main surface 11A, and is a (100) surface in the present embodiment. The pair of inclined portions 132A are located on both sides in the sub-scanning direction y of the top portion 130A, and are interposed between the top portion 130A and the main surface 11A. The inclined portion 132A is a plane inclined with respect to the top portion 130A and the main surface 11A. In the present embodiment, the angle formed by the inclined portion 132A, the main surface 11A, and the top portion 130A is 54.8 degrees.

次いで、前記マスク層を除去した後に、例えばKOHを用いたエッチングを再度行う。これにより、基板材料1Aが、図9および図10に示す第1主面11、第1裏面12および凸部13を有する第1基板1となる。凸部13は、頂部130、一対の第1傾斜部131および一対の第2傾斜部132を有する。頂部130は、頂部130Aであった部分であり、一対の第2傾斜部132は、一対の第2傾斜部132であった部分である。一対の第1傾斜部131は、頂部130Aと一対の傾斜部132Aとの境界がKOHによってエッチングされた部分である。一対の第1傾斜部131が第1主面11となす角度α1は、
30.1度であり、一対の第2傾斜部132が第1主面11となす角度α2は、54.8度である。
Next, after removing the mask layer, etching using, for example, KOH is performed again. Thereby, 1 A of board | substrate materials become the 1st board | substrate 1 which has the 1st main surface 11, the 1st back surface 12, and the convex part 13 which are shown in FIG. 9 and FIG. The convex portion 13 includes a top portion 130, a pair of first inclined portions 131, and a pair of second inclined portions 132. The top portion 130 is a portion that is the top portion 130 </ b> A, and the pair of second inclined portions 132 are portions that are the pair of second inclined portions 132. The pair of first inclined portions 131 is a portion where the boundary between the top portion 130A and the pair of inclined portions 132A is etched by KOH. An angle α1 formed by the pair of first inclined portions 131 and the first main surface 11 is:
The angle α2 formed by the pair of second inclined portions 132 and the first main surface 11 is 54.8 degrees.

次いで、図11に示すように、反射層15を形成する。反射層15の形成は、たとえばスパッタリングやCVDを用いて、第1基板1に金属を堆積させることにより行う。反射層15の材質は上述した通り特に限定されず、図示された例においては、Cuを用いている。反射層15の厚さは、たとえば0.05μm〜0.3μmであり、たとえば0.1μm程度である。図示された例においては、第1基板1の第1主面11および凸部13の全面に反射層15を形成している。   Next, as shown in FIG. 11, the reflective layer 15 is formed. The reflective layer 15 is formed by depositing metal on the first substrate 1 using, for example, sputtering or CVD. The material of the reflective layer 15 is not particularly limited as described above, and Cu is used in the illustrated example. The thickness of the reflective layer 15 is, for example, 0.05 μm to 0.3 μm, and is, for example, about 0.1 μm. In the illustrated example, the reflective layer 15 is formed on the entire surface of the first main surface 11 and the convex portion 13 of the first substrate 1.

次いで、図12に示すように、絶縁層19を形成する。絶縁層19の形成は、たとえばCVDを用いて反射層15にTEOSを堆積させることによって行う。   Next, as shown in FIG. 12, an insulating layer 19 is formed. The insulating layer 19 is formed by depositing TEOS on the reflective layer 15 using, for example, CVD.

次いで、図13に示すように、抵抗体膜4Aを形成する。抵抗体膜4Aの形成は、たとえば、スパッタリングによって絶縁層19上にTaNの薄膜を形成することによって行う。   Next, as shown in FIG. 13, a resistor film 4A is formed. The resistor film 4A is formed, for example, by forming a TaN thin film on the insulating layer 19 by sputtering.

次いで、図14に示すように、抵抗体膜4Aを覆う導電膜3Aを形成する。導電膜3Aの形成は、たとえばめっきやスパッタリング等によってCuからなる層を形成することによって行う。また、Cu層を形成する前に、Ti層を形成してもよい。   Next, as shown in FIG. 14, a conductive film 3A covering the resistor film 4A is formed. The conductive film 3A is formed by forming a layer made of Cu, for example, by plating or sputtering. Further, a Ti layer may be formed before forming the Cu layer.

次いで、図15および図16に示すように、導電膜3Aの選択的なエッチングと抵抗体膜4Aの選択的なエッチングとを施すことにより、配線層3および抵抗体層4が得られる。配線層3は、上述の複数の個別電極31と共通電極32とを有する。抵抗体層4は、複数の発熱部41を有する。   Next, as shown in FIGS. 15 and 16, the wiring layer 3 and the resistor layer 4 are obtained by performing selective etching of the conductive film 3A and selective etching of the resistor film 4A. The wiring layer 3 includes the plurality of individual electrodes 31 and the common electrode 32 described above. The resistor layer 4 has a plurality of heat generating portions 41.

次いで、保護層2を形成する。保護層2の形成は、たとえばCVDを用いて絶縁層19、配線層3および抵抗体層4上にSiNおよびSiCを堆積させることにより実行される。また、保護層2をエッチング等によって部分的に除去することによりパッド用開口21を形成する。この後は、第1支持面81への第1基板1および第2基板5の取付け、ドライバIC7の第2基板5への搭載、複数のワイヤ61および複数のワイヤ62のボンディング、保護樹脂78の形成等を経ることにより、上述のサーマルプリントヘッドA1が得られる。   Next, the protective layer 2 is formed. The protective layer 2 is formed by depositing SiN and SiC on the insulating layer 19, the wiring layer 3 and the resistor layer 4 by using, for example, CVD. Further, the protective layer 2 is partially removed by etching or the like to form the pad opening 21. Thereafter, the first substrate 1 and the second substrate 5 are attached to the first support surface 81, the driver IC 7 is mounted on the second substrate 5, the bonding of the plurality of wires 61 and the plurality of wires 62, and the protective resin 78. Through the formation and the like, the above-described thermal print head A1 is obtained.

次に、サーマルプリントヘッドA1の作用について説明する。   Next, the operation of the thermal print head A1 will be described.

本実施形態によれば、絶縁層19を挟んで複数の発熱部41とは反対側に反射層15が設けられている。反射層15は、発熱部41の厚さ方向視であるz方向視において複数の発熱部41と重なっている。そして、反射層15は、絶縁層19よりも熱反射率が大きい材質からなる。これにより、抵抗体層4に通電されることにより複数の発熱部41が発熱した際に、熱放射によって発熱部41から絶縁層19を透過してきた熱を、反射層15によって発熱部41側へと反射することが可能である。これにより、たとえば第1基板1を通じて第1裏面12側へと逃げる熱を抑制することが可能であり、より多くの熱を印刷用紙に伝えることが可能である。したがって、サーマルプリントヘッドA1によれば、印字品質を向上させることができる。   According to the present embodiment, the reflective layer 15 is provided on the side opposite to the plurality of heat generating portions 41 with the insulating layer 19 interposed therebetween. The reflective layer 15 overlaps the plurality of heat generating parts 41 in the z direction as viewed in the thickness direction of the heat generating part 41. The reflective layer 15 is made of a material having a higher thermal reflectance than the insulating layer 19. As a result, when the plurality of heat generating portions 41 generate heat by energizing the resistor layer 4, the heat transmitted through the insulating layer 19 from the heat generating portion 41 due to thermal radiation is transferred to the heat generating portion 41 side by the reflective layer 15. It is possible to reflect. Thereby, for example, heat escaping to the first back surface 12 side through the first substrate 1 can be suppressed, and more heat can be transmitted to the printing paper. Therefore, according to the thermal print head A1, the print quality can be improved.

伝熱によって第1基板1を通じて第1裏面12側へと逃げる熱量を抑制するには、絶縁層19の厚さを厚くすることが寄与しうる。しかし、絶縁層19の厚さを厚くするほど、サーマルプリントヘッドA1の製造方法における絶縁層19の形成工程がより長時間を要してしまう。本実施形態においては、反射層15によって熱放射による放熱を抑制することが可能である。このため、絶縁層19の厚さをそれほど厚くすることなく、発熱部41から第1裏面12側へと逃げる熱量を低減させることが可能である。したがって、印刷品質を向上させつつ、製造時間の過度な延長を回避することができる。   Increasing the thickness of the insulating layer 19 can contribute to suppressing the amount of heat that escapes to the first back surface 12 side through the first substrate 1 by heat transfer. However, as the thickness of the insulating layer 19 is increased, the process of forming the insulating layer 19 in the method for manufacturing the thermal print head A1 requires a longer time. In the present embodiment, it is possible to suppress heat dissipation due to thermal radiation by the reflective layer 15. For this reason, it is possible to reduce the amount of heat escaping from the heat generating portion 41 to the first back surface 12 side without increasing the thickness of the insulating layer 19 so much. Therefore, it is possible to avoid an excessive extension of the manufacturing time while improving the print quality.

反射層15は、反射第2部152を有しており、z方向視において複数の発熱部41よりも大きな領域に設けられている。これにより、発熱部41から第1裏面12側へと逃げる熱のより多くを印刷用紙側に反射することができる。また、反射層15が、反射第3部153および反射第4部154を有する構成は、熱反射の効果をより高めるのに好ましい。   The reflective layer 15 has a reflective second portion 152 and is provided in a larger area than the plurality of heat generating portions 41 when viewed in the z direction. Thereby, more of the heat escaping from the heat generating portion 41 to the first back surface 12 side can be reflected to the printing paper side. In addition, the configuration in which the reflective layer 15 includes the reflective third portion 153 and the reflective fourth portion 154 is preferable for further enhancing the effect of heat reflection.

反射層15は、金属からなり、たとえばCuからなる。Cuをはじめとする金属は、SiO2等と比べて、熱反射率が顕著に大きい。このため、反射層15による熱反射効果を高めることができる。また、このような材質からなる反射層15は、厚さを薄くしても熱反射効果が期待できる。したがって、反射層15をより短時間で形成することが可能であり、サーマルプリントヘッドA1の製造効率低下を回避することができる。 The reflective layer 15 is made of metal, for example, Cu. Metals including Cu have a significantly higher thermal reflectance than SiO 2 or the like. For this reason, the heat reflection effect by the reflective layer 15 can be enhanced. Further, the reflection layer 15 made of such a material can be expected to have a heat reflection effect even if the thickness is reduced. Therefore, it is possible to form the reflective layer 15 in a shorter time, and it is possible to avoid a decrease in manufacturing efficiency of the thermal print head A1.

また、第1基板1の凸部13は、頂部130および第1傾斜部131を有している。発熱部41は、頂部130に形成された頂部410と第1傾斜部131に形成された第1部411とを有しており、頂部130と第1傾斜部131との境界を跨いで形成されている。このため、図4に示すように、サーマルプリントヘッドA1にプラテンローラ91が押し当てられると、プラテンローラ91の弾性変形により、プラテンローラ91が頂部410および第1部411のいずれか一方または双方に接する。図4に示すように、プラテンローラ91の中心910が副走査方向yにおいて凸部13の中心と一致する構成の場合、プラテンローラ91は、頂部410と強い圧力で接する。一方、プラテンローラ91の中心910が凸部13の中心に対して副走査方向yに意図せずずれてしまうと、プラテンローラ91と頂部410との圧力が低下する。しかしながら、本実施形態においては、発熱部41が第1部411を有するため、プラテンローラ91がずれた場合には、プラテンローラ91が第1部411に対して接する割合が大きくなり、依然として発熱部41に適切に押し当てられる。したがって、サーマルプリントヘッドA1によれば、プラテンローラ91が意図せずにずれた場合や、あるいはプラテンローラ91の直径が異なる場合等であっても、印字品質の低下を抑制することが可能であり、印字品質を向上させることができる。   Further, the convex portion 13 of the first substrate 1 has a top portion 130 and a first inclined portion 131. The heat generating part 41 has a top part 410 formed on the top part 130 and a first part 411 formed on the first inclined part 131, and is formed across the boundary between the top part 130 and the first inclined part 131. ing. For this reason, as shown in FIG. 4, when the platen roller 91 is pressed against the thermal print head A 1, the platen roller 91 is pressed against one or both of the top portion 410 and the first portion 411 due to elastic deformation of the platen roller 91. Touch. As shown in FIG. 4, when the center 910 of the platen roller 91 coincides with the center of the convex portion 13 in the sub-scanning direction y, the platen roller 91 contacts the top portion 410 with a strong pressure. On the other hand, if the center 910 of the platen roller 91 is unintentionally displaced in the sub-scanning direction y with respect to the center of the convex portion 13, the pressure between the platen roller 91 and the top portion 410 is reduced. However, in the present embodiment, since the heat generating portion 41 has the first portion 411, when the platen roller 91 is displaced, the ratio of the platen roller 91 in contact with the first portion 411 increases, and the heat generating portion still remains. 41 is appropriately pressed. Therefore, according to the thermal print head A1, even if the platen roller 91 is unintentionally displaced or the diameter of the platen roller 91 is different, it is possible to suppress a decrease in print quality. Printing quality can be improved.

また、本実施形態においては、頂部410が頂部130の副走査方向y全長にわたって形成されており、頂部410の副走査方向y両側に一対の第1部411が設けられている。このため、プラテンローラ91のずれが、副走査方向yの上流側および下流側のいずれに生じても、印字品質の低下を抑制することができる。また、一対の第1部411は、第1傾斜部131の副走査方向y全長にわたって形成されている。これは、プラテンローラ91が意図せずずれた場合の印字品質の低下を抑制するのに好ましい。   In the present embodiment, the top portion 410 is formed over the entire length of the top portion 130 in the sub-scanning direction y, and a pair of first portions 411 are provided on both sides of the top portion 410 in the sub-scanning direction y. For this reason, even if the displacement of the platen roller 91 occurs on either the upstream side or the downstream side in the sub-scanning direction y, it is possible to suppress a decrease in print quality. The pair of first portions 411 is formed over the entire length y of the first inclined portion 131 in the sub-scanning direction. This is preferable for suppressing a decrease in print quality when the platen roller 91 is unintentionally displaced.

また、本実施形態においては、凸部13は、一対の第2傾斜部132を有している。すなわち、凸部13は、頂部130(第1主面11)に対して2段階の傾斜となった第1傾斜部131および第2傾斜部132が副走査方向yに並んだ構成となっている。このため、頂部130と第1傾斜部131とがなす角度を小さくすることが可能であり、印字品質の向上に好ましい。また、頂部130と第1傾斜部131とのなす角度が小さいほど、印字における印刷用紙の通過による保護層2の摩耗防止を抑制することができる。また、第1部411が第1傾斜部131を副走査方向y全長にわたって設けられていることにより、個別電極31および共通電極32の副走査方向y端が一対の第1傾斜部131上に位置しておらず一対の第2傾斜部132上に位置している。このため、第1傾斜部131と重なる位置に、配線層3の端縁の存在による段差が生じることを回避可能であり、印刷用紙のスムーズな通過や、紙かすの付着防止に有利である。また、一対の第2部412が設けられていることは、プラテンローラ91が意図せずずれた場合の印字品質の低下を抑制するのにさらに好ましい。   In the present embodiment, the convex portion 13 has a pair of second inclined portions 132. That is, the convex portion 13 has a configuration in which the first inclined portion 131 and the second inclined portion 132 that are inclined in two steps with respect to the top portion 130 (first main surface 11) are arranged in the sub-scanning direction y. . For this reason, the angle formed by the top portion 130 and the first inclined portion 131 can be reduced, which is preferable for improving the printing quality. Further, the smaller the angle formed between the top portion 130 and the first inclined portion 131 is, the more the prevention of wear of the protective layer 2 due to the passage of printing paper during printing can be suppressed. Further, since the first portion 411 is provided with the first inclined portion 131 over the entire length in the sub-scanning direction y, the ends of the individual electrodes 31 and the common electrode 32 in the sub-scanning direction y are positioned on the pair of first inclined portions 131. However, they are positioned on the pair of second inclined portions 132. For this reason, it is possible to avoid the occurrence of a step due to the presence of the edge of the wiring layer 3 at a position overlapping the first inclined portion 131, which is advantageous for smooth passage of printing paper and prevention of paper dust adhesion. Further, the provision of the pair of second portions 412 is more preferable for suppressing a decrease in print quality when the platen roller 91 is unintentionally displaced.

共通電極32が複数の発熱部41に対して副走査方向y下流側に位置していることにより、複数の発熱部41の副走査方向y上流側には、複数の個別電極31のみが配列されている。これにより、複数の個別電極31の主走査方向xにおける配列ピッチを縮小することが可能であり、印字の高精細化を図ることができる。   Since the common electrode 32 is located downstream in the sub-scanning direction y with respect to the plurality of heat generating portions 41, only the plurality of individual electrodes 31 are arranged on the upstream side in the sub-scanning direction y of the plurality of heat generating portions 41. ing. Thereby, it is possible to reduce the arrangement pitch of the plurality of individual electrodes 31 in the main scanning direction x, and it is possible to achieve high-definition printing.

図17〜図27は、本開示の変形例および他の実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。   17 to 27 show a modified example and other embodiments of the present disclosure. In these drawings, the same or similar elements as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals as those in the above embodiment.

<第1実施形態 第1変形例>
図17は、サーマルプリントヘッドA1の第1変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA11においては、反射層15が反射第1層15aおよび反射第2層15bからなる。
<First Embodiment First Modification>
FIG. 17 shows a first modification of the thermal print head A1. In the thermal print head A11 of this modification, the reflective layer 15 includes a reflective first layer 15a and a reflective second layer 15b.

反射第1層15aは、第1基板1の第1主面11および凸部13上に直接形成されている。反射第2層15bは、反射第1層15a上に形成されており、絶縁層19に接している。反射第1層15aは、たとえばTiからなる。反射第2層15bは、たとえばCuからなる。本変形例の反射層15の厚さは、上述した例の反射層15の厚さと同程度でもよいし、上述した例の反射層15の厚さよりも厚くてもよい。   The reflective first layer 15 a is directly formed on the first main surface 11 and the convex portion 13 of the first substrate 1. The reflective second layer 15 b is formed on the reflective first layer 15 a and is in contact with the insulating layer 19. The reflective first layer 15a is made of Ti, for example. The reflective second layer 15b is made of Cu, for example. The thickness of the reflective layer 15 in this modification may be the same as the thickness of the reflective layer 15 in the above-described example, or may be thicker than the thickness of the reflective layer 15 in the above-described example.

本変形例によれば、反射層15のうち第1基板1と接する部分は、反射第1層15aによって構成されている。反射第1層15aは、Tiからなり、Siからなる第1基板1との結合力を高めることが可能である。したがって、反射層15が第1基板1から剥離すること等をより確実に抑制することができる。   According to this modification, the portion of the reflective layer 15 that is in contact with the first substrate 1 is configured by the reflective first layer 15a. The reflective first layer 15a is made of Ti, and can increase the bonding force with the first substrate 1 made of Si. Therefore, it can suppress more reliably that the reflection layer 15 peels from the 1st board | substrate 1. FIG.

<第1実施形態 第2変形例>
図18は、サーマルプリントヘッドA1の第2変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA12においては、反射層15が、配線層3の一部に導通している。
<First Embodiment Second Modification>
FIG. 18 shows a second modification of the thermal print head A1. In the thermal print head A12 of this modification, the reflective layer 15 is electrically connected to a part of the wiring layer 3.

本例においては、抵抗体層4に貫通部49が形成されている。また、絶縁層19に貫通部191が形成されている。貫通部49は、抵抗体層4を貫通した孔等である。貫通部191は、絶縁層19を貫通した孔等である。貫通部49と貫通部191は、互いに重なり合っており、図示された例においては、z方向視において貫通部49が貫通部191に内包されている。配線層3の共通電極32は、貫通部191および貫通部49を通じて、反射層15に接している。これにより、反射層15は、共通電極32に導通している。   In this example, a through portion 49 is formed in the resistor layer 4. In addition, a penetrating portion 191 is formed in the insulating layer 19. The through portion 49 is a hole or the like that penetrates the resistor layer 4. The penetrating part 191 is a hole or the like penetrating the insulating layer 19. The penetrating part 49 and the penetrating part 191 overlap each other. In the illustrated example, the penetrating part 49 is included in the penetrating part 191 when viewed in the z direction. The common electrode 32 of the wiring layer 3 is in contact with the reflective layer 15 through the through part 191 and the through part 49. Thereby, the reflective layer 15 is electrically connected to the common electrode 32.

このような変形例によれば、共通電極32を図4に例示する第2基板5やコネクタ59に導通させるために、個別電極31をx方向において迂回する導通経路を形成する必要がない。したがって、サーマルプリントヘッドA12のz方向視における小型化を図ることができる。また、反射層15は、面積を増大させやすい部位である。このため、共通電極32と第2基板5やコネクタ59との間の導通経路の低抵抗化を図ることができる。   According to such a modification, it is not necessary to form a conduction path that bypasses the individual electrode 31 in the x direction in order to cause the common electrode 32 to conduct to the second substrate 5 and the connector 59 illustrated in FIG. Accordingly, it is possible to reduce the size of the thermal print head A12 when viewed in the z direction. Moreover, the reflective layer 15 is a part which is easy to increase an area. For this reason, the resistance of the conduction path between the common electrode 32 and the second substrate 5 or the connector 59 can be reduced.

<第1実施形態 第3変形例>
図19は、サーマルプリントヘッドA1の第3変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA13においては、反射層15が、反射第1部151および反射第2部152を有するものの、上述した反射第3部153および反射第4部154を有さない構成とされている。
<First Embodiment Third Modification>
FIG. 19 shows a third modification of the thermal print head A1. In the thermal print head A13 of this modification example, the reflective layer 15 has the reflective first part 151 and the reflective second part 152, but does not have the reflective third part 153 and the reflective fourth part 154 described above. Has been.

本例においては、反射層15は、z方向視において凸部13と重なる領域に形成されている。一方、反射層15は、z方向視において第1主面11と重なる領域には形成されていない。   In this example, the reflective layer 15 is formed in a region overlapping the convex portion 13 when viewed in the z direction. On the other hand, the reflective layer 15 is not formed in a region overlapping the first main surface 11 when viewed in the z direction.

このような変形例によっても、印刷品質を向上させることができる。また、反射層15の形成面積を縮小することにより、製造コストの低減を図ることができる。   Also according to such a modification, the print quality can be improved. In addition, the manufacturing cost can be reduced by reducing the formation area of the reflective layer 15.

<第1実施形態 第4変形例>
図20は、サーマルプリントヘッドA1の第4変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA14においては、反射層15が、上述した反射第1部151、反射第2部152、反射第3部153および反射第4部154を有しており、さらに複数の貫通部159を有している。
<First Embodiment Fourth Modification>
FIG. 20 shows a fourth modification of the thermal print head A1. In the thermal print head A14 according to this modification, the reflective layer 15 includes the above-described reflective first portion 151, reflective second portion 152, reflective third portion 153, and reflective fourth portion 154, and a plurality of the reflective first portion 151, the reflective second portion 152, and the reflective third portion 153. A through portion 159 is provided.

複数の貫通部159は、各々が反射層15を厚さ方向に貫通する孔やスリットである。複数の貫通部159は、z方向視においてx方向やy方向に適宜離散して配置されている。図示された例においては、複数の貫通部159は、反射第3部153および反射第4部154に形成されており、反射第2部152には形成されていない。すなわち、複数の貫通部159は、z方向視において第1主面11と重なるものの、凸部13とは重なっておらず、複数の発熱部41とも重なっていない。   The plurality of through portions 159 are holes or slits that each penetrate the reflective layer 15 in the thickness direction. The plurality of through portions 159 are appropriately discretely arranged in the x direction and the y direction when viewed in the z direction. In the illustrated example, the plurality of through portions 159 are formed in the reflective third portion 153 and the reflective fourth portion 154 and are not formed in the reflective second portion 152. That is, the plurality of through portions 159 overlap the first main surface 11 in the z-direction view, but do not overlap the convex portion 13 and do not overlap the plurality of heat generating portions 41.

このような変形例によれば、複数の貫通部159を通じて第1基板1と絶縁層19とを互いに接しさせることが可能であり、絶縁層19と第1基板1との結合力を高めることができる。また、複数の貫通部159を通じた結合を確保することにより、反射層15の材質として、第1基板1や絶縁層19との結合力が相対的に低い材質を選択する余地が得られるという利点がある。また、複数の発熱部41と重なる位置に複数の貫通部159が設けられていないことにより、複数の貫通部159による熱反射の低下を防止することができる。   According to such a modification, the first substrate 1 and the insulating layer 19 can be brought into contact with each other through the plurality of through portions 159, and the bonding force between the insulating layer 19 and the first substrate 1 can be increased. it can. Further, by securing the coupling through the plurality of through portions 159, there is an advantage that a room for selecting a material having a relatively low coupling force with the first substrate 1 or the insulating layer 19 as the material of the reflective layer 15 can be obtained. There is. In addition, since the plurality of through portions 159 are not provided at positions overlapping with the plurality of heat generating portions 41, it is possible to prevent a decrease in heat reflection by the plurality of through portions 159.

<第2実施形態>
図21は、本開示の第2実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA2は、反射層15が第1基板1の第1裏面12に形成されている点が、上述した実施形態と異なっている。
Second Embodiment
FIG. 21 shows a thermal print head according to the second embodiment of the present disclosure. The thermal print head A2 of this embodiment is different from the above-described embodiment in that the reflective layer 15 is formed on the first back surface 12 of the first substrate 1.

本実施形態においても、第1基板1は、Siからなる。Siは、たとえばCu等の金属と比べて熱を透過させやすい。第1裏面12に反射層15を設ける構成によっても、第1基板1を透過してきた熱を反射層15によって反射することが可能であり、印刷品質を向上させることができる。   Also in this embodiment, the first substrate 1 is made of Si. Si is more likely to transmit heat than a metal such as Cu. Even with the configuration in which the reflective layer 15 is provided on the first back surface 12, the heat transmitted through the first substrate 1 can be reflected by the reflective layer 15, and the print quality can be improved.

<第3実施形態>
図22は、本開示の第2実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA3は、第1基板1がセラミックスによって形成されている点が、上述した実施形態と異なっている。
<Third Embodiment>
FIG. 22 shows a thermal print head according to the second embodiment of the present disclosure. The thermal print head A3 of this embodiment is different from the above-described embodiment in that the first substrate 1 is formed of ceramics.

第1基板1は、第1主面11および第1裏面12を有しており、上述した実施形態における凸部13を有していない。反射層15は、第1主面11のすべてを覆うように形成されている。反射層15は、そのすべてが絶縁層19によって覆われている。絶縁層19は、全体として厚さが略均一な層とされている。このため、複数の発熱部41は、周辺部位に対して突出した構成とはなっていない。   The 1st board | substrate 1 has the 1st main surface 11 and the 1st back surface 12, and does not have the convex part 13 in embodiment mentioned above. The reflective layer 15 is formed so as to cover all of the first main surface 11. All of the reflective layer 15 is covered with an insulating layer 19. The insulating layer 19 is a layer having a substantially uniform thickness as a whole. For this reason, the some heat-emitting part 41 is not the structure protruded with respect to the peripheral site | part.

このような実施形態によっても、反射層15による熱反射によって、印刷品質を向上させることができる。   Also in such an embodiment, the print quality can be improved by the heat reflection by the reflective layer 15.

<第3実施形態 第1変形例>
図23は、サーマルプリントヘッドA3の第1変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA31は、絶縁層19が凸部192を有している。凸部192は、絶縁層19が部分的にz方向に突出した部位である。凸部192は、x方向に長く延びる形状である。個別電極31と共通電極32とは、凸部192を挟んでy方向両側に設けられている。複数の発熱部41は、z方向視において凸部192と重なる領域に設けられている。
<Third Embodiment First Modification>
FIG. 23 shows a first modification of the thermal print head A3. In the thermal print head A31 of this modification, the insulating layer 19 has a convex portion 192. The convex portion 192 is a portion where the insulating layer 19 partially projects in the z direction. The convex portion 192 has a shape that extends long in the x direction. The individual electrode 31 and the common electrode 32 are provided on both sides in the y direction with the convex portion 192 interposed therebetween. The plurality of heat generating portions 41 are provided in a region overlapping the convex portion 192 when viewed in the z direction.

保護層2は、凸部210を有する。凸部210は、z方向視において凸部192と重なっており、z方向に突出した形状である。凸部210は、第1面211、一対の第2面212および一対の第3面213を有する。第1面211は、凸部210のうちz方向において第1基板1から最も離間した面であり、図示された例においては、z方向に膨出する曲面である。一対の第2面212は、第1面211のy方向両端に繋がっている。第2面212は、z方向に対して略直角な面である。一対の第3面213は、一対の第2面212のy方向外方に繋がっている。一対の第3面213は、y方向において第2面212から離間するほど、z方向において第1基板1に近づくように傾いた面である。   The protective layer 2 has a convex portion 210. The convex portion 210 overlaps with the convex portion 192 when viewed in the z direction, and has a shape protruding in the z direction. The convex part 210 has a first surface 211, a pair of second surfaces 212, and a pair of third surfaces 213. The first surface 211 is the surface of the convex portion 210 that is farthest from the first substrate 1 in the z direction, and in the illustrated example, is a curved surface that bulges in the z direction. The pair of second surfaces 212 are connected to both ends of the first surface 211 in the y direction. The second surface 212 is a surface substantially perpendicular to the z direction. The pair of third surfaces 213 are connected to the outside of the pair of second surfaces 212 in the y direction. The pair of third surfaces 213 are surfaces that are inclined so as to approach the first substrate 1 in the z direction as they are separated from the second surface 212 in the y direction.

このような変形例によっても、反射層15による熱反射によって、印刷品質を向上させることができる。また、凸部192を設けることにより、保護層2の凸部210の第1面211や一対の第2面212を介して複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能であり、印刷品質の向上に好ましい。   Also according to such a modification, the print quality can be improved by the heat reflection by the reflective layer 15. Further, by providing the convex portion 192, it is possible to strongly press the plurality of heat generating portions 41 against the printing paper via the first surface 211 and the pair of second surfaces 212 of the convex portion 210 of the protective layer 2, Preferred for improving print quality.

<第3実施形態 第2変形例>
図24は、サーマルプリントヘッドA3の第2変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA32は、絶縁層19が、第1主面11のy方向における一部のみを覆うように設けられている。絶縁層19は、z方向に緩やかに膨出した形状であり、x方向に長く延びている。複数の発熱部41は、絶縁層19上に設けられている。反射層15は、z方向視において絶縁層19に内包される領域に設けられている。すなわち、反射層15は、第1基板1の第1主面11と絶縁層19との間のみに形成されており、配線層3および抵抗体層4とは接していない。
<Third Embodiment Second Modification>
FIG. 24 shows a second modification of the thermal print head A3. In the thermal print head A32 of this modification, the insulating layer 19 is provided so as to cover only a part of the first main surface 11 in the y direction. The insulating layer 19 has a shape that gently bulges in the z direction and extends long in the x direction. The plurality of heat generating portions 41 are provided on the insulating layer 19. The reflective layer 15 is provided in a region included in the insulating layer 19 when viewed in the z direction. That is, the reflective layer 15 is formed only between the first main surface 11 of the first substrate 1 and the insulating layer 19 and is not in contact with the wiring layer 3 and the resistor layer 4.

保護層2は、凸部220を有する。凸部220は、z方向視において絶縁層19と重なっており、全体としてz方向に膨出した形状である。凸部220は、第1面221、一対の第2面222および一対の第3面223を有する。第1面221は、凸部220のうちy方向略中央に位置する面であり、図示された例においては、z方向に緩やかに膨出する曲面である。一対の第2面222は、第1面221のy方向両端に繋がっている。第2面222は、y方向において第1面221から離間するほどz方向において第1基板1から離間する形状であり、z方向に対してわずかに傾いている。一対の第3面223は、y方向において第2面222から離間するほど、z方向において第1基板1に近づくように緩やかに傾いた面である。   The protective layer 2 has a convex portion 220. The convex part 220 overlaps with the insulating layer 19 when viewed in the z direction, and has a shape bulging in the z direction as a whole. The convex part 220 has a first surface 221, a pair of second surfaces 222, and a pair of third surfaces 223. The first surface 221 is a surface located substantially in the center of the y direction in the convex portion 220, and in the illustrated example, is a curved surface that gently bulges in the z direction. The pair of second surfaces 222 are connected to both ends of the first surface 221 in the y direction. The second surface 222 has a shape that is separated from the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the first surface 221 in the y direction, and is slightly inclined with respect to the z direction. The pair of third surfaces 223 are surfaces that are gradually inclined so as to approach the first substrate 1 in the z direction as they are separated from the second surface 222 in the y direction.

このような変形例によっても、反射層15による熱反射によって、印刷品質を向上させることができる。また、膨出形状の絶縁層19を備えることにより、保護層2の凸部220を介して複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能であり、印刷品質の向上に好ましい。   Also according to such a modification, the print quality can be improved by the heat reflection by the reflective layer 15. Further, the provision of the bulging insulating layer 19 makes it possible to strongly press the plurality of heat generating portions 41 against the printing paper via the convex portions 220 of the protective layer 2, which is preferable for improving the printing quality.

<第3実施形態 第3変形例>
図25は、サーマルプリントヘッドA3の第3変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA33は、絶縁層19が第1主面11のy方向における一部のみを覆うように設けられており、さらに凸部192を有する。凸部192は、絶縁層19の一部が周辺部位よりも突出した形状に形成されている。本変形例においては、複数の発熱部41は、凸部192上に設けられている。反射層15は、サーマルプリントヘッドA32の反射層15と同様に、z方向視において絶縁層19に内包される領域に設けられている。
<Third Embodiment Third Modification>
FIG. 25 shows a third modification of the thermal print head A3. The thermal print head A <b> 33 of this modification is provided so that the insulating layer 19 covers only a part of the first main surface 11 in the y direction, and further has a convex portion 192. The convex portion 192 is formed in a shape in which a part of the insulating layer 19 protrudes from the peripheral portion. In the present modification, the plurality of heat generating portions 41 are provided on the convex portion 192. Similar to the reflective layer 15 of the thermal print head A32, the reflective layer 15 is provided in a region included in the insulating layer 19 when viewed in the z direction.

保護層2は、凸部230を有する。凸部230は、z方向視において絶縁層19と重なっており、全体としてz方向に膨出した形状である。凸部230は、第1面231、一対の第2面232、一対の第3面233、一対の第4面234、一対の第5面235および一対の第6面236を有する。第1面231は、凸部210のうちz方向において第1基板1から最も離間した面であり、図示された例においては、z方向に対して略直角な面である。一対の第2面232は、第1面231のy方向両端に繋がっている。第2面232は、y方向において第1面231から離間するほどz方向において第1基板1に近づく形状であり、z方向に対して若干傾いている。一対の第3面233は、一対の第2面232のy方向外方に繋がっている。第3面233は、y方向において第2面232から離間するほどz方向において第1基板1から離間するように傾いている。第3面233のz方向寸法は第2面232のz方向寸法よりも小さい。一対の第4面234は、一対の第3面233のy方向外方に繋がっている。第4面234は、y方向において第3面233から離間するほどz方向において第1基板1に近づくように傾いており、緩やかな曲面である。一対の第5面235は、一対の第4面234のy方向外方に繋がっている。第5面235は、y方向において第4面234から離間するほどz方向において第1基板1から離間する形状であり、z方向に対して若干傾いている。一対の第6面236は、一対の第5面235のy方向外方に繋がっている。第6面236は、y方向において第5面235から離間するほどz方向において第1基板1に近づくように傾いており、緩やかな曲面である。   The protective layer 2 has a convex portion 230. The convex portion 230 overlaps with the insulating layer 19 when viewed in the z direction, and has a shape bulging in the z direction as a whole. The convex portion 230 includes a first surface 231, a pair of second surfaces 232, a pair of third surfaces 233, a pair of fourth surfaces 234, a pair of fifth surfaces 235, and a pair of sixth surfaces 236. The first surface 231 is the surface of the convex portion 210 that is farthest from the first substrate 1 in the z direction, and in the illustrated example, is a surface that is substantially perpendicular to the z direction. The pair of second surfaces 232 are connected to both ends of the first surface 231 in the y direction. The second surface 232 has a shape that approaches the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the first surface 231 in the y direction, and is slightly inclined with respect to the z direction. The pair of third surfaces 233 are connected to the outside of the pair of second surfaces 232 in the y direction. The third surface 233 is inclined so as to be separated from the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the second surface 232 in the y direction. The z direction dimension of the third surface 233 is smaller than the z direction dimension of the second surface 232. The pair of fourth surfaces 234 are connected to the outside of the pair of third surfaces 233 in the y direction. The fourth surface 234 is a gently curved surface that is inclined so as to be closer to the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the third surface 233 in the y direction. The pair of fifth surfaces 235 are connected to the outside of the pair of fourth surfaces 234 in the y direction. The fifth surface 235 is shaped to be separated from the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the fourth surface 234 in the y direction, and is slightly inclined with respect to the z direction. The pair of sixth surfaces 236 are connected to the outside of the pair of fifth surfaces 235 in the y direction. The sixth surface 236 is a gently curved surface that is inclined so as to be closer to the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the fifth surface 235 in the y direction.

このような変形例によっても、反射層15による熱反射によって、印刷品質を向上させることができる。また、絶縁層19が凸部192を備えることにより、保護層2の凸部230を介して複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能であり、印刷品質をさらに向上させることができる。   Also according to such a modification, the print quality can be improved by the heat reflection by the reflective layer 15. In addition, since the insulating layer 19 includes the protrusions 192, the plurality of heat generating portions 41 can be strongly pressed against the printing paper via the protrusions 230 of the protective layer 2, and the print quality can be further improved. it can.

<第4実施形態>
図26は、本開示の第4実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA4は、第1基板1が、第1主面11、第1裏面12、端面16および傾斜面17を有している。第1基板1は、セラミックスからなる。端面16は、z方向において第1主面11と第1裏面12との間に位置しており、y方向と直角である面である。端面16は、第1裏面12と繋がっている。傾斜面17は、第1主面11と端面16との間に介在しており、第1主面11と端面16とを繋いでいる。傾斜面17は、第1主面11および端面16に対して傾斜している。
<Fourth embodiment>
FIG. 26 illustrates a thermal print head according to the fourth embodiment of the present disclosure. In the thermal print head A4 of the present embodiment, the first substrate 1 has a first main surface 11, a first back surface 12, an end surface 16, and an inclined surface 17. The first substrate 1 is made of ceramics. The end surface 16 is a surface that is located between the first main surface 11 and the first back surface 12 in the z direction and is perpendicular to the y direction. The end surface 16 is connected to the first back surface 12. The inclined surface 17 is interposed between the first main surface 11 and the end surface 16, and connects the first main surface 11 and the end surface 16. The inclined surface 17 is inclined with respect to the first main surface 11 and the end surface 16.

絶縁層19は、第1基板1の傾斜面17上に形成されている。絶縁層19は、第1主面11および端面16と面一であり、x方向視において略三角形状である。   The insulating layer 19 is formed on the inclined surface 17 of the first substrate 1. The insulating layer 19 is flush with the first main surface 11 and the end surface 16 and has a substantially triangular shape when viewed in the x direction.

抵抗体層4は、第1主面11の少なくとも一部、絶縁層19および端面16の少なくとも一部を覆っている。抵抗体層4は、絶縁層19のすべてを覆っている。   The resistor layer 4 covers at least a part of the first main surface 11, at least a part of the insulating layer 19 and the end surface 16. The resistor layer 4 covers all of the insulating layer 19.

配線層3は、絶縁層19上において抵抗体層4を露出させている。これにより、複数の発熱部41は、絶縁層19上に設けられている。   The wiring layer 3 exposes the resistor layer 4 on the insulating layer 19. Accordingly, the plurality of heat generating portions 41 are provided on the insulating layer 19.

反射層15は、第1基板1の傾斜面17と絶縁層19との間に設けられている。反射層15は、配線層3および抵抗体層4とは接していない。また、抵抗体層4のうち複数の発熱部41を構成する部分の厚さ方向視、すなわち、y方向およびz方向に対して傾斜した、図26における図中上下方向視において、反射層15は、複数の反射層15と重なっており、反射第1部151を有する。   The reflective layer 15 is provided between the inclined surface 17 of the first substrate 1 and the insulating layer 19. The reflective layer 15 is not in contact with the wiring layer 3 and the resistor layer 4. In addition, in the thickness direction of the portions constituting the plurality of heat generating portions 41 in the resistor layer 4, that is, when viewed in the vertical direction in FIG. , Which overlaps with the plurality of reflective layers 15 and has a reflective first portion 151.

保護層2は、第1基板1の第1主面11、反射層15、端面16および第1裏面12のそれぞれと重なるように形成されている。保護層2は、凸部240を有する。凸部240は、傾斜面17と直角である方向視において絶縁層19と重なっており、全体として膨出した形状である。凸部240は、第1面241、一対の第2面242および一対の第3面243を有する。第1面241は、凸部240のx方向視略中央に位置しており、図示された例においては、略平面である。一対の第2面242は、第1面241の両側に繋がっており、第1面241から離間するほど傾斜面17から離間する形状の面である。一対の第3面243は、一対の第2面242の外方に繋がっており、x方向視において緩やかに膨出した面である。   The protective layer 2 is formed so as to overlap each of the first main surface 11, the reflective layer 15, the end surface 16, and the first back surface 12 of the first substrate 1. The protective layer 2 has a convex portion 240. The convex portion 240 overlaps the insulating layer 19 when viewed in a direction perpendicular to the inclined surface 17 and has a bulged shape as a whole. The convex portion 240 has a first surface 241, a pair of second surfaces 242, and a pair of third surfaces 243. The first surface 241 is located substantially at the center of the convex portion 240 when viewed in the x direction, and is substantially flat in the illustrated example. The pair of second surfaces 242 are connected to both sides of the first surface 241, and are surfaces that are separated from the inclined surface 17 as the distance from the first surface 241 increases. The pair of third surfaces 243 is connected to the outside of the pair of second surfaces 242 and is a surface that gently bulges when viewed in the x direction.

また、保護層2は、膨出部249を有する。膨出部249は、第1裏面12のうちy方向において傾斜面17が位置する側の部分を覆っている。膨出部249は、z方向において第1裏面12から離間するように膨出した形状である。   Further, the protective layer 2 has a bulging portion 249. The bulging portion 249 covers a portion of the first back surface 12 on the side where the inclined surface 17 is located in the y direction. The bulging portion 249 has a shape that bulges away from the first back surface 12 in the z direction.

本実施形態によっても、反射層15の熱反射により、印刷品質を向上させることができる。また、複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能である。   Also according to the present embodiment, the print quality can be improved by the heat reflection of the reflective layer 15. In addition, the plurality of heat generating portions 41 can be strongly pressed against the printing paper.

<第5実施形態>
図27は、本開示の第5実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA5は、第1基板1が、第1主面11、第1裏面12および端面16を有する。第1基板1は、セラミックスからなる。端面16は、第1主面11および第1裏面12と繋がっている。端面16は、y方向に膨出する曲面である。
<Fifth Embodiment>
FIG. 27 illustrates a thermal print head according to the fifth embodiment of the present disclosure. In the thermal print head A5 of the present embodiment, the first substrate 1 has a first main surface 11, a first back surface 12, and an end surface 16. The first substrate 1 is made of ceramics. The end surface 16 is connected to the first main surface 11 and the first back surface 12. The end surface 16 is a curved surface that bulges in the y direction.

反射層15は、端面16の一部を覆うように形成されている。反射層15は、端面16に沿って形成されることにより、y方向寸法が寸法y1となるように全体として湾曲している。絶縁層19は、第1基板1の端面16および反射層15を覆うように形成されている。絶縁層19は、y方向に膨出した形状とされている。   The reflective layer 15 is formed so as to cover a part of the end surface 16. The reflective layer 15 is formed along the end face 16 and is thus curved as a whole so that the dimension in the y direction is the dimension y1. The insulating layer 19 is formed so as to cover the end face 16 and the reflective layer 15 of the first substrate 1. The insulating layer 19 has a shape bulging in the y direction.

抵抗体層4は、絶縁層19を覆うように形成されている。配線層3は、y方向視において絶縁層19と重なる領域において抵抗体層4を露出させている。これにより、複数の発熱部41は、絶縁層19上に設けられている。   The resistor layer 4 is formed so as to cover the insulating layer 19. The wiring layer 3 exposes the resistor layer 4 in a region overlapping the insulating layer 19 when viewed in the y direction. Accordingly, the plurality of heat generating portions 41 are provided on the insulating layer 19.

抵抗体層4のうち発熱部41を構成する部分の厚さ方向視、すなわちy方向視において、反射層15は、複数の発熱部41と重なっている。抵抗体層4は、絶縁層19上に形成されることにより全体として湾曲している。抵抗体層4のうち配線層3と重なる部分は、y方向寸法が寸法y2となるように湾曲している。寸法y2は、寸法y1よりも大きい。   The reflective layer 15 overlaps the plurality of heat generating portions 41 in the thickness direction of the portion constituting the heat generating portion 41 of the resistor layer 4, that is, in the y direction. The resistor layer 4 is curved as a whole by being formed on the insulating layer 19. The portion of the resistor layer 4 that overlaps the wiring layer 3 is curved so that the y-direction dimension is the dimension y2. The dimension y2 is larger than the dimension y1.

保護層2は、第1面251、一対の第2面252、一対の第3面253、第4面254および第5面255を有する。第1面251は、保護層2のうちz方向において略中央に位置する面であり、図示された例においては、y方向に対して略直角である面である。一対の第2面252は、第1面251のz方向両端に繋がっており、z方向において第1面251から離間するほどy方向において第1基板1から離間するように傾いている。一対の第3面253は、一対の第3面253のz方向外方に繋がっている。第3面253は、絶縁層19の形状に概ね沿った膨出形状の曲面である。第4面254は、一端が一方の第3面253に繋がっており、他端が配線層3に接している。第4面254は、第3面253から滑らかに繋がる曲面である。第5面255は、他方の第3面253に繋がっている。第5面255は、第3面253からy方向に離間するほど第1裏面12に近づく形状である。第5面255は、第3面253よりも面積が大きく、略平面である。   The protective layer 2 has a first surface 251, a pair of second surfaces 252, a pair of third surfaces 253, a fourth surface 254, and a fifth surface 255. The first surface 251 is a surface located substantially in the center in the z direction of the protective layer 2, and in the illustrated example, is a surface that is substantially perpendicular to the y direction. The pair of second surfaces 252 are connected to both ends of the first surface 251 in the z direction, and are inclined so as to be separated from the first substrate 1 in the y direction as they are separated from the first surface 251 in the z direction. The pair of third surfaces 253 are connected to the outside of the pair of third surfaces 253 in the z direction. The third surface 253 is a bulge-shaped curved surface that generally follows the shape of the insulating layer 19. One end of the fourth surface 254 is connected to one third surface 253, and the other end is in contact with the wiring layer 3. The fourth surface 254 is a curved surface that is smoothly connected to the third surface 253. The fifth surface 255 is connected to the other third surface 253. The fifth surface 255 has a shape that approaches the first back surface 12 as the distance from the third surface 253 in the y direction increases. The fifth surface 255 has a larger area than the third surface 253 and is substantially flat.

本実施形態によっても、反射層15の熱反射により、印刷品質を向上させることができる。また、複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能である。   Also according to the present embodiment, the print quality can be improved by the heat reflection of the reflective layer 15. In addition, the plurality of heat generating portions 41 can be strongly pressed against the printing paper.

〔付記A1〕
基板と、
前記基板に支持され且つ主走査方向に配列された複数の発熱部を有する抵抗体層と、
前記基板に支持され且つ前記複数の発熱部への通電経路を構成する配線層と、
前記基板と前記抵抗体層との間に介在する絶縁層と、
を備え、
前記絶縁層に対して前記複数の発熱部とは反対側に位置し且つ前記複数の発熱部の厚さ方向視において前記複数の発熱部と重なり、前記絶縁層よりも熱反射率が大きい反射層を備える、サーマルプリントヘッド。
〔付記A2〕
前記反射層は、前記絶縁層と前記基板との間に介在する、付記A1に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A3〕
前記基板は、単結晶半導体からなる、付記A2に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A4〕
前記基板は、Siからなる、付記A3に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A5〕
前記反射層は、Cuを含む、付記A3または4に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A6〕
前記反射層は、Tiを含む、付記A3ないし5のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A7〕
前記反射層は、前記基板に接する反射第1層と、前記反射第1層上に形成された反射第2層と、を有する、付記A6に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A8〕
前記反射第2層は、前記絶縁層に接する、付記A7に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A9〕
前記反射第1層は、Tiからなり、前記反射第2層は、Cuからなる、付記A7または8に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A10〕
前記反射層は、前記配線層に対して絶縁されている、付記A3ないし9のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A11〕
前記反射層は、前記配線層の一部と導通している、付記A3ないし9のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A12〕
前記反射層は、前記基板と前記絶縁層とを接触させる貫通部を有する、付記A3ないし11のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A13〕
前記基板は、前記絶縁層が形成された主面と、前記主面から突出し且つ主走査方向に延びる凸部を有し、
前記凸部は、前記主面からの距離が最も大きい頂部と、当該頂部に対して副走査方向に繋がり且つ前記主面に対して傾斜した第1傾斜部と、を有し、
前記発熱部は、前記頂部と前記第1傾斜部との境界を跨いで、前記頂部の副走査方向における少なくとも一部と前記第1傾斜部の副走査方向における少なくとも一部とに形成されている、付記A3ないし12のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A14〕
前記凸部は、当該第1傾斜部に対して副走査方向において前記頂部とは反対側に繋がり且つ前記主面に対して前記第1傾斜部よりも大きな傾斜角度で傾斜した第2傾斜部を有する、付記A13に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A15〕
前記凸部は、前記頂部を挟んで副走査方向両側に位置する一対の前記第1傾斜部を有する、付記A14に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A16〕
前記凸部は、前記一対の第1傾斜部を挟んで副走査方向両側に位置する一対の第2傾斜部を有する、付記A15に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A17〕
前記発熱部は、前記頂部の副走査方向における全長と、前記一対の第1傾斜部の副走査方向における全長と、に形成されている、付記A16に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記A18〕
前記発熱部は、前記第1傾斜部と前記第2傾斜部との境界を跨いで、前記第2傾斜部の副走査方向における少なくとも一部にさらに形成されている、付記A15ないし17のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
[Appendix A1]
A substrate,
A resistor layer having a plurality of heating portions supported by the substrate and arranged in the main scanning direction;
A wiring layer that is supported by the substrate and constitutes a current-carrying path to the plurality of heat generating parts;
An insulating layer interposed between the substrate and the resistor layer;
With
A reflective layer that is located on the opposite side of the plurality of heat generating portions with respect to the insulating layer and overlaps the plurality of heat generating portions when viewed in the thickness direction of the plurality of heat generating portions and has a higher thermal reflectance than the insulating layer A thermal print head comprising:
[Appendix A2]
The thermal print head according to appendix A1, wherein the reflective layer is interposed between the insulating layer and the substrate.
[Appendix A3]
The thermal print head according to appendix A2, wherein the substrate is made of a single crystal semiconductor.
[Appendix A4]
The thermal print head according to appendix A3, wherein the substrate is made of Si.
[Appendix A5]
The thermal print head according to appendix A3 or 4, wherein the reflective layer contains Cu.
[Appendix A6]
The thermal print head according to any one of appendices A3 to A5, wherein the reflective layer includes Ti.
[Appendix A7]
The thermal print head according to appendix A6, wherein the reflective layer includes a reflective first layer in contact with the substrate and a reflective second layer formed on the reflective first layer.
[Appendix A8]
The thermal print head according to appendix A7, wherein the second reflective layer is in contact with the insulating layer.
[Appendix A9]
The thermal print head according to appendix A7 or 8, wherein the reflective first layer is made of Ti, and the reflective second layer is made of Cu.
[Appendix A10]
The thermal print head according to any one of appendices A3 to A9, wherein the reflective layer is insulated from the wiring layer.
[Appendix A11]
The thermal print head according to any one of appendices A3 to A9, wherein the reflective layer is electrically connected to a part of the wiring layer.
[Appendix A12]
The thermal print head according to any one of appendices A3 to 11, wherein the reflective layer has a penetrating portion that contacts the substrate and the insulating layer.
[Appendix A13]
The substrate has a main surface on which the insulating layer is formed, and a protrusion protruding from the main surface and extending in the main scanning direction,
The convex portion includes a top portion having the largest distance from the main surface, and a first inclined portion that is connected to the top portion in the sub-scanning direction and is inclined with respect to the main surface,
The heat generating portion is formed across at least a part of the top in the sub-scanning direction and at least a part of the first inclined in the sub-scanning direction across the boundary between the top and the first inclined part. A thermal print head according to any one of appendices A3 to A-12.
[Appendix A14]
The convex portion includes a second inclined portion that is connected to the opposite side of the top in the sub-scanning direction with respect to the first inclined portion and is inclined with respect to the main surface at a larger inclination angle than the first inclined portion. The thermal print head according to appendix A13.
[Appendix A15]
The thermal print head according to appendix A14, wherein the convex portion has a pair of the first inclined portions located on both sides in the sub-scanning direction with the top portion interposed therebetween.
[Appendix A16]
The thermal print head according to appendix A15, wherein the convex portion has a pair of second inclined portions located on both sides in the sub-scanning direction across the pair of first inclined portions.
[Appendix A17]
The thermal print head according to appendix A16, wherein the heat generating portion is formed in a total length in the sub-scanning direction of the top portion and a total length in the sub-scanning direction of the pair of first inclined portions.
[Appendix A18]
Any one of appendices A15 to A-17, wherein the heat generating portion is further formed in at least part of the second inclined portion in the sub-scanning direction across the boundary between the first inclined portion and the second inclined portion. The thermal print head described in 1.

<第6実施形態>
図28〜図30は、本開示の第6実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA6は、第1基板1、絶縁層19、保護層2、第1導電層3、第2導電層35、抵抗体層4、第2基板5、ドライバIC7および放熱部材8を備えている。サーマルプリントヘッドA6は、プラテンローラ91との間に挟まれて搬送される印刷媒体(図示略)に印刷を施すプリンタに組み込まれるものである。このような印刷媒体としては、たとえばバーコードシートやレシートを作成するための感熱紙が挙げられる。
<Sixth Embodiment>
28 to 30 illustrate a thermal print head according to a sixth embodiment of the present disclosure. The thermal print head A6 of this embodiment includes a first substrate 1, an insulating layer 19, a protective layer 2, a first conductive layer 3, a second conductive layer 35, a resistor layer 4, a second substrate 5, a driver IC 7, and a heat dissipation member. 8 is provided. The thermal print head A6 is incorporated in a printer that prints on a print medium (not shown) that is sandwiched between the platen roller 91 and conveyed. Examples of such a print medium include thermal paper for creating a barcode sheet or a receipt.

図28は、サーマルプリントヘッドA6を示す要部拡大平面図である。図29は、サーマルプリントヘッドA6を示す要部断面図である。図30は、サーマルプリントヘッドA6を示す要部拡大断面図である。図28においては、理解の便宜上、保護層2を省略している。図28においては、副走査方向yの図中下側が上流側であり、図中上側が下流側である。図29および図30においては、副走査方向yの図中右側が上流側であり、図中左側が下流側である。   FIG. 28 is a main part enlarged plan view showing the thermal print head A6. FIG. 29 is a cross-sectional view of a principal part showing a thermal print head A6. FIG. 30 is an enlarged cross-sectional view of a main part showing the thermal print head A6. In FIG. 28, the protective layer 2 is omitted for convenience of understanding. In FIG. 28, the lower side in the drawing in the sub-scanning direction y is the upstream side, and the upper side in the drawing is the downstream side. 29 and 30, the right side in the figure in the sub-scanning direction y is the upstream side, and the left side in the figure is the downstream side.

第1基板1は、たとえば上述した第1実施形態の第1基板1と同様の構成である。   The 1st board | substrate 1 is the structure similar to the 1st board | substrate 1 of 1st Embodiment mentioned above, for example.

図29および図30に示すように、絶縁層19は、第1主面11および凸部13を覆っており、第1基板1の第1主面11側をより確実に絶縁するためのものである。絶縁層19は、絶縁性材料からなり、たとえばSiO2やSiNまたはTEOS(オルトケイ酸テトラエチル)からなり、本実施形態においては、TEOSが採用されている。絶縁層19の厚さは特に限定されず、その一例を挙げるとたとえば5μm〜15μmであり、好ましくは5μm〜10μmである。 As shown in FIGS. 29 and 30, the insulating layer 19 covers the first main surface 11 and the convex portion 13, and more reliably insulates the first main surface 11 side of the first substrate 1. is there. The insulating layer 19 is made of an insulating material, for example, SiO 2 , SiN, or TEOS (tetraethyl orthosilicate). In this embodiment, TEOS is adopted. The thickness of the insulating layer 19 is not particularly limited. For example, the thickness is 5 μm to 15 μm, and preferably 5 μm to 10 μm.

抵抗体層4は、第1基板1に支持されており、本実施形態においては、絶縁層19を介して第1基板1に支持されている。抵抗体層4は、複数の発熱部41を有している。複数の発熱部41は、各々に選択的に通電されることにより、印刷媒体を局所的に加熱するものである。本実施形態においては、発熱部41は、抵抗体層4のうち第1導電層3および第2導電層35から露出した領域である。複数の発熱部41は、主走査方向xに沿って配置されており、主走査方向xにおいて互いに離間している。発熱部41の形状は特に限定されず、本実施形態においては、厚さ方向z視において副走査方向yを長手方向とする長矩形状である。抵抗体層4は、たとえばTaNからなる。抵抗体層4の厚さは特に限定されず、たとえば0.02μm〜0.1μmであり、好ましくは0.08μm程度である。   The resistor layer 4 is supported by the first substrate 1. In this embodiment, the resistor layer 4 is supported by the first substrate 1 via the insulating layer 19. The resistor layer 4 has a plurality of heat generating portions 41. The plurality of heat generating portions 41 locally heat the print medium by selectively energizing each. In the present embodiment, the heat generating portion 41 is a region exposed from the first conductive layer 3 and the second conductive layer 35 in the resistor layer 4. The plurality of heat generating portions 41 are arranged along the main scanning direction x and are separated from each other in the main scanning direction x. The shape of the heat generating portion 41 is not particularly limited, and in the present embodiment, it is a long rectangular shape with the sub-scanning direction y as the longitudinal direction when viewed in the thickness direction z. The resistor layer 4 is made of TaN, for example. The thickness of the resistor layer 4 is not particularly limited, and is, for example, 0.02 μm to 0.1 μm, and preferably about 0.08 μm.

図28および図30に示すように、本実施形態においては、発熱部41は、頂部410、一対の第1部411および一対の第2部412を有する。頂部410は、発熱部41のうち凸部13の頂部130の副走査方向yにおける少なくとも一部に形成された部分である。第1部411は、発熱部41のうち凸部13の第1傾斜部131の副走査方向yにおける少なくとも一部に形成された部分である。第2部412は、発熱部41のうち凸部13の第2傾斜部132の副走査方向yにおける少なくとも一部に形成された部分である。なお、本実施形態においては、第1基板1と抵抗体層4との間に絶縁層19が介在しているが、上述したとおり絶縁層19は十分に薄い層である。このため、発熱部41が、厚さ方向z視もしくは頂部130、第1傾斜部131および第2傾斜部132のそれぞれの法線方向視において重なるように形成されている場合、頂部130、第1傾斜部131および第2傾斜部132に形成されていると説明し、以下も同様である。   As shown in FIGS. 28 and 30, in the present embodiment, the heat generating portion 41 has a top portion 410, a pair of first portions 411 and a pair of second portions 412. The top portion 410 is a portion formed in at least a part of the heat generating portion 41 in the sub-scanning direction y of the top portion 130 of the convex portion 13. The first part 411 is a part formed in at least part of the heat generating part 41 in the sub-scanning direction y of the first inclined part 131 of the convex part 13. The second part 412 is a part formed in at least part of the heat generating part 41 in the sub-scanning direction y of the second inclined part 132 of the convex part 13. In the present embodiment, the insulating layer 19 is interposed between the first substrate 1 and the resistor layer 4, but as described above, the insulating layer 19 is a sufficiently thin layer. Therefore, when the heat generating portion 41 is formed so as to overlap in the thickness direction z view or in the normal direction view of the top portion 130, the first inclined portion 131, and the second inclined portion 132, the top portion 130, the first portion It is described that it is formed in the inclined portion 131 and the second inclined portion 132, and the same applies to the following.

本実施形態においては、頂部410は、頂部130の副走査方向y全長にわたって形成されている。また、発熱部41は、頂部130と一対の第1傾斜部131との境界を跨いでいる。また、一対の第1部411は、一対の第1傾斜部131の副走査方向y全長にわたって形成されている。発熱部41は、一対の第1傾斜部131と一対の第2傾斜部132との境界を跨いでいる。また、一対の第2部412は、第2傾斜部132の副走査方向yにおける一部のみに形成されている。   In the present embodiment, the top portion 410 is formed over the entire length y of the top portion 130 in the sub-scanning direction. Further, the heat generating portion 41 straddles the boundary between the top portion 130 and the pair of first inclined portions 131. The pair of first portions 411 is formed over the entire length in the sub-scanning direction y of the pair of first inclined portions 131. The heat generating portion 41 straddles the boundary between the pair of first inclined portions 131 and the pair of second inclined portions 132. Further, the pair of second parts 412 is formed only on a part of the second inclined part 132 in the sub-scanning direction y.

第2導電層35は、副走査方向yにおける単位長さ当たりの抵抗値が抵抗体層4の発熱部41と第1導電層3との間の値をとる層である。図28および図30に示すように、抵抗体層4のうち、第2導電層35から露出した部分が、複数の発熱部41となっている。第2導電層35は、発熱部41に対して副走査方向yに隣接し且つ第1導電層3に接する複数の副発熱部36を有する。副発熱部36は、第2導電層35のうち第1導電層3から露出した部位である。第2導電層35の材質および厚さは、上述した抵抗値の関係を満たすものが適宜採用される。第2導電層35の材質としては、たとえばTiを含むものが挙げられる。第2導電層35の厚さは、抵抗体層4の発熱部41の厚さが0.08μmである場合に、0.02μm〜0.06μm程度であり、抵抗体層4の発熱部41よりも薄い。第2導電層35は、抵抗体層4上に形成されており、抵抗体層4に接している。   The second conductive layer 35 is a layer in which the resistance value per unit length in the sub-scanning direction y takes a value between the heat generating portion 41 of the resistor layer 4 and the first conductive layer 3. As shown in FIGS. 28 and 30, a portion of the resistor layer 4 exposed from the second conductive layer 35 is a plurality of heat generating portions 41. The second conductive layer 35 has a plurality of sub-heat generating portions 36 adjacent to the heat generating portion 41 in the sub-scanning direction y and in contact with the first conductive layer 3. The sub heat generating portion 36 is a portion exposed from the first conductive layer 3 in the second conductive layer 35. As the material and thickness of the second conductive layer 35, those satisfying the above-described relationship of the resistance value are appropriately adopted. Examples of the material of the second conductive layer 35 include those containing Ti. The thickness of the second conductive layer 35 is about 0.02 μm to 0.06 μm when the thickness of the heat generating portion 41 of the resistor layer 4 is 0.08 μm. Is also thin. The second conductive layer 35 is formed on the resistor layer 4 and is in contact with the resistor layer 4.

本実施形態においては、第2導電層35は、一対の副発熱部36を有する。一対の副発熱部36は、それぞれが第1部361および第2部362を有する。第1部361は、凸部13の第1傾斜部131に形成された部位であり、図示された例においては、第1部361は、第1傾斜部131の副走査方向yにおける一部に形成されている。第2部362は、第2傾斜部132に形成された部位であり、図示された例においては、第2傾斜部132の副走査方向yにおける一部に形成されている。また、副発熱部36は、第1傾斜部131と第2傾斜部132との境界を跨いでいる。   In the present embodiment, the second conductive layer 35 has a pair of auxiliary heat generating portions 36. Each of the pair of sub-heating parts 36 includes a first part 361 and a second part 362. The first part 361 is a part formed on the first inclined part 131 of the convex part 13, and in the illustrated example, the first part 361 is a part of the first inclined part 131 in the sub-scanning direction y. Is formed. The second part 362 is a part formed in the second inclined part 132, and in the illustrated example, is formed in a part of the second inclined part 132 in the sub-scanning direction y. Further, the auxiliary heat generating part 36 straddles the boundary between the first inclined part 131 and the second inclined part 132.

第2導電層35の副走査方向yにおける単位長さ当たりの抵抗値が上述した範囲であることにより、発熱部41に通電された際には、副発熱部36における発熱量が発熱部41における発熱量よりも小さく、第1導電層3における発熱量よりも大きくなる。たとえば、発熱部41が200℃程度となる通電条件において、副発熱部36は100℃程度となる。   When the resistance value per unit length in the sub-scanning direction y of the second conductive layer 35 is in the above-described range, when the heat generating portion 41 is energized, the amount of heat generated in the sub heat generating portion 36 is in the heat generating portion 41. It is smaller than the calorific value and larger than the calorific value in the first conductive layer 3. For example, under the energization condition where the heat generating portion 41 is about 200 ° C., the sub heat generating portion 36 is about 100 ° C.

第1導電層3は、上述した第1ないし第5実施形態における配線層3と類似の構成であり、複数の発熱部41に通電するための通電経路を構成するためのものである。第1導電層3は、第1基板1に支持されており、本実施形態においては、図29および図30に示すように、第2導電層35上に積層されている。第1導電層3は、抵抗体層4および第2導電層35よりも低抵抗な金属材料からなり、たとえばCuからなる。第1導電層3の厚さは特に限定されず、たとえば0.3μm〜2.0μmである。このような第1導電層3は、副走査方向yにおける単位長さ当たりの抵抗値が発熱部41および第2導電層35よりも小さい。   The first conductive layer 3 has a configuration similar to that of the wiring layer 3 in the first to fifth embodiments described above, and constitutes an energization path for energizing the plurality of heat generating portions 41. The first conductive layer 3 is supported by the first substrate 1 and is laminated on the second conductive layer 35 in this embodiment, as shown in FIGS. 29 and 30. The first conductive layer 3 is made of a metal material having a lower resistance than the resistor layer 4 and the second conductive layer 35, for example, Cu. The thickness of the 1st conductive layer 3 is not specifically limited, For example, they are 0.3 micrometer-2.0 micrometers. Such a first conductive layer 3 has a resistance value per unit length in the sub-scanning direction y smaller than that of the heat generating portion 41 and the second conductive layer 35.

図28、図29および図30に示すように、本実施形態においては、第1導電層3は、複数の個別電極31および共通電極32を有する。   As shown in FIGS. 28, 29, and 30, in the present embodiment, the first conductive layer 3 includes a plurality of individual electrodes 31 and a common electrode 32.

図28および図30に示すように、複数の個別電極31は、各々が概ね副走査方向y方向に延びる帯状であり、複数の発熱部41に対して副走査方向y上流側に配置されている。本実施形態においては、個別電極31の副走査方向y下流側端は、凸部13の副走査方向y上流側の第2傾斜部132に重なる位置に配置されている。図29に示すように、個別電極31は、個別パッド311を有する。個別パッド311は、ドライバIC7と導通させるためのワイヤ61が接続される部分である。   As shown in FIGS. 28 and 30, each of the plurality of individual electrodes 31 has a strip shape extending substantially in the sub-scanning direction y direction, and is disposed upstream of the plurality of heat generating portions 41 in the sub-scanning direction y. . In the present embodiment, the downstream end in the sub scanning direction y of the individual electrode 31 is disposed at a position overlapping the second inclined portion 132 on the upstream side in the sub scanning direction y of the convex portion 13. As shown in FIG. 29, the individual electrode 31 has an individual pad 311. The individual pad 311 is a portion to which a wire 61 for conducting with the driver IC 7 is connected.

図2、図28、図29および図30に示すように、共通電極32は、連結部323と複数の帯状部324とを有する。複数の帯状部324は、複数の発熱部41に対して副走査方向y下流側に配置されている。複数の帯状部324の副走査方向y上流側端は、複数の個別電極31の副走査方向y下流側端と、発熱部41を挟んで対向している。帯状部324の副走査方向y上流側端は、凸部13の副走査方向y下流側の第2傾斜部132に重なる位置に配置されている。連結部323は、複数の帯状部324の副走査方向y下流側に位置し、複数の帯状部324が繋がっている。連結部323は、主走査方向xに延びており、帯状部324の主走査方向x方向寸法よりも副走査方向y寸法が大きい、比較的幅広の部分である。図1に示すように、連結部323は、複数の発熱部41の副走査方向y下流側から、主走査方向x両側を迂回して、副走査方向y上流側へと延びている。   As shown in FIGS. 2, 28, 29, and 30, the common electrode 32 includes a connecting portion 323 and a plurality of strip portions 324. The plurality of strip portions 324 are arranged on the downstream side in the sub-scanning direction y with respect to the plurality of heat generating portions 41. The upstream end in the sub-scanning direction y of the plurality of strip portions 324 is opposed to the downstream end in the sub-scanning direction y of the plurality of individual electrodes 31 with the heat generating portion 41 interposed therebetween. The upstream end in the sub-scanning direction y of the band-shaped portion 324 is disposed at a position overlapping the second inclined portion 132 on the downstream side in the sub-scanning direction y of the convex portion 13. The connecting portion 323 is located downstream in the sub-scanning direction y of the plurality of strip portions 324, and the plurality of strip portions 324 are connected. The connecting portion 323 is a relatively wide portion that extends in the main scanning direction x and has a dimension in the sub-scanning direction y larger than the size in the main scanning direction x direction of the band-shaped portion 324. As shown in FIG. 1, the connecting portion 323 extends from the downstream side of the plurality of heat generating portions 41 in the sub-scanning direction y to the upstream side of the sub-scanning direction y, bypassing both sides of the main scanning direction x.

本実施形態においては、複数の帯状部324の副走査方向y下流側部分と連結部323とが、第1基板1の第1主面11に形成されている。   In the present embodiment, the sub-scanning direction y downstream portion of the plurality of strip portions 324 and the connecting portion 323 are formed on the first main surface 11 of the first substrate 1.

保護層2は、第1導電層3および抵抗体層4を覆っている。保護層2は、絶縁性の材料からなり、第1導電層3および抵抗体層4を保護している。保護層2の材質は、たとえばSiO2、SiN、SiC、AlN等であり、これらの単層もしくは複数層によって構成される。保護層2の厚さは特に限定されず、たとえば1.0μm〜10μm程度である。 The protective layer 2 covers the first conductive layer 3 and the resistor layer 4. The protective layer 2 is made of an insulating material and protects the first conductive layer 3 and the resistor layer 4. The material of the protective layer 2 is, for example, SiO 2 , SiN, SiC, AlN or the like, and is constituted by a single layer or a plurality of layers. The thickness of the protective layer 2 is not specifically limited, For example, it is about 1.0 micrometer-10 micrometers.

図29に示すように、本実施形態においては、保護層2は、パッド用開口21を有する。パッド用開口21は、保護層2を厚さ方向zに貫通している。複数のパッド用開口21は、個別電極31の複数の個別パッド311を露出させている。   As shown in FIG. 29, in the present embodiment, the protective layer 2 has a pad opening 21. The pad opening 21 penetrates the protective layer 2 in the thickness direction z. The plurality of pad openings 21 expose the plurality of individual pads 311 of the individual electrode 31.

第2基板5は、たとえば上述した第1実施形態の第2基板5と同様の構成である。   The second substrate 5 has the same configuration as the second substrate 5 of the first embodiment described above, for example.

ドライバIC7は、たとえば上述した第1実施形態のドライバIC7と同様の構成である。   The driver IC 7 has the same configuration as the driver IC 7 of the first embodiment described above, for example.

保護樹脂78は、たとえば上述した第1実施形態の保護樹脂78と同様の構成である。   The protective resin 78 has the same configuration as the protective resin 78 of the first embodiment described above, for example.

コネクタ59は、たとえば上述した第1実施形態のコネクタ59と同様の構成である。   The connector 59 has the same configuration as the connector 59 of the first embodiment described above, for example.

放熱部材8は、たとえば上述した第1実施形態の放熱部材8と同様の構成である。   The heat dissipation member 8 has the same configuration as the heat dissipation member 8 of the first embodiment described above, for example.

次に、サーマルプリントヘッドA6の製造方法の一例について、図31〜図36を参照しつつ、以下に説明する。   Next, an example of a method for manufacturing the thermal print head A6 will be described below with reference to FIGS.

まず、たとえば図7〜図10に示す工程を経ることにより、凸部13を有する第1基板1を用意する。   First, for example, the first substrate 1 having the convex portions 13 is prepared through the steps shown in FIGS.

次いで、図31に示すように、絶縁層19を形成する。絶縁層19の形成は、たとえばCVDを用いて第1基板1の第1主面11側にTEOSを堆積させることによって行う。   Next, as shown in FIG. 31, an insulating layer 19 is formed. The insulating layer 19 is formed by depositing TEOS on the first main surface 11 side of the first substrate 1 using, for example, CVD.

次いで、図32に示すように、抵抗体膜4Aを形成する。抵抗体膜4Aの形成は、たとえば、スパッタリングによって絶縁層19上にTaNの薄膜を形成することによって行う。   Next, as shown in FIG. 32, a resistor film 4A is formed. The resistor film 4A is formed, for example, by forming a TaN thin film on the insulating layer 19 by sputtering.

次いで、図33に示すように第2導電膜35Aを形成する。第2導電膜35Aの形成は、たとえばスパッタリングによって抵抗体膜4A上にTiの薄膜を形成することによって行う。   Next, as shown in FIG. 33, a second conductive film 35A is formed. The second conductive film 35A is formed by forming a Ti thin film on the resistor film 4A by sputtering, for example.

次いで、図34に示すように、第2導電膜35Aを覆う導電膜3Aを形成する。導電膜3Aの形成は、たとえばめっきやスパッタリング等によってCuからなる層を形成することによって行う。   Next, as shown in FIG. 34, a conductive film 3A covering the second conductive film 35A is formed. The conductive film 3A is formed by forming a layer made of Cu, for example, by plating or sputtering.

次いで、図35および図36に示すように、導電膜3Aおよび第2導電膜35Aの選択的なエッチングと抵抗体膜4Aの選択的なエッチングとを施すことにより、第1導電層3、第2導電層35および抵抗体層4が得られる。第1導電層3は、上述の複数の個別電極31と共通電極32とを有する。第2導電層35は、複数の副発熱部36を有する。抵抗体層4は、複数の発熱部41を有する。   Next, as shown in FIGS. 35 and 36, by selectively etching the conductive film 3A and the second conductive film 35A and selectively etching the resistor film 4A, the first conductive layer 3 and the second conductive layer 3 The conductive layer 35 and the resistor layer 4 are obtained. The first conductive layer 3 has the plurality of individual electrodes 31 and the common electrode 32 described above. The second conductive layer 35 has a plurality of sub-heating parts 36. The resistor layer 4 has a plurality of heat generating portions 41.

次いで、保護層2を形成する。保護層2の形成は、たとえばCVDを用いて絶縁層19、第1導電層3、第2導電層35および抵抗体層4上にSiNおよびSiCを堆積させることにより実行される。また、保護層2をエッチング等によって部分的に除去することによりパッド用開口21を形成する。この後は、第1支持面81への第1基板1および第2基板5の取付け、ドライバIC7の第2基板5への搭載、複数のワイヤ61および複数のワイヤ62のボンディング、保護樹脂78の形成等を経ることにより、上述のサーマルプリントヘッドA6が得られる。   Next, the protective layer 2 is formed. The protective layer 2 is formed by depositing SiN and SiC on the insulating layer 19, the first conductive layer 3, the second conductive layer 35, and the resistor layer 4 by using, for example, CVD. Further, the protective layer 2 is partially removed by etching or the like to form the pad opening 21. Thereafter, the first substrate 1 and the second substrate 5 are attached to the first support surface 81, the driver IC 7 is mounted on the second substrate 5, the bonding of the plurality of wires 61 and the plurality of wires 62, and the protective resin 78. Through the formation and the like, the above-described thermal print head A6 is obtained.

次に、サーマルプリントヘッドA6の作用について説明する。   Next, the operation of the thermal print head A6 will be described.

本実施形態によれば、発熱部41に対して副走査方向yに隣り合う位置に第2導電層35が設けられている。通電時において、第2導電層35は、発熱部41よりも低く、第1導電層3よりも高い温度となる。これにより、発熱部41と第1導電層3とが隣り合う場合と比較して、副走査方向yにおける温度勾配を緩和することが可能である。これにより、熱応力に起因した破損等を抑制することが可能であり、サーマルプリントヘッドA6の耐久性及び信頼性を向上させることができる。発熱部41の副走査方向y両側に副発熱部36が設けられていることは、温度勾配の緩和による耐久性及び信頼性向上に好ましい。   According to the present embodiment, the second conductive layer 35 is provided at a position adjacent to the heat generating portion 41 in the sub-scanning direction y. At the time of energization, the second conductive layer 35 has a temperature lower than that of the heat generating portion 41 and higher than that of the first conductive layer 3. Thereby, compared with the case where the heat generating part 41 and the 1st conductive layer 3 adjoin, it is possible to relieve | moderate the temperature gradient in the subscanning direction y. Thereby, it is possible to suppress breakage and the like due to thermal stress, and it is possible to improve the durability and reliability of the thermal print head A6. The provision of the sub-heat generating portions 36 on both sides of the heat generating portion 41 in the sub-scanning direction y is preferable for improving durability and reliability by relaxing the temperature gradient.

発熱部41に対して副走査方向y上流側に副発熱部36が設けられていることにより、副走査方向yに送られてきた印刷用紙は、副発熱部36によって加熱された後に、より高い温度の発熱部41によって加熱される。第2導電層35は、第1導電層3よりも高い温度となる程度に発熱するものの、たとえば発熱部41が200℃程度となる通電条件において100℃程度となる。この程度の温度であれば、一般的な感熱用紙である印刷用紙は、副発熱部36による加熱によっては、明瞭な発色を生じない。一方、発熱部41によって加熱されると、副発熱部36によって予熱されていたことにより、より迅速かつ明瞭に発色が生じる。したがって、印刷品位や印刷速度の向上を図ることができる。また、副発熱部36を備えない場合と比較して、発熱部41の温度を下げても印刷用紙を発色させることが可能である。これにより、上述した温度勾配をさらに緩和することが可能であり、耐久性及び信頼性向上に寄与する。このことは、エネルギー負荷を発熱部41のみに集中させず副発熱部36に分散させることとなるので、発熱部41の変質や劣化を抑制することに繋がる。更に、上述した温度勾配も緩和することが可能となるため、印字効率を低下させることなく耐久性及び信頼性向上に寄与することになる。   By providing the sub-heating unit 36 upstream of the heating unit 41 in the sub-scanning direction y, the printing paper sent in the sub-scanning direction y is higher after being heated by the sub-heating unit 36. It is heated by the heat generating part 41 of temperature. Although the second conductive layer 35 generates heat to a temperature higher than that of the first conductive layer 3, for example, the second conductive layer 35 has a temperature of about 100 ° C. under energization conditions in which the heat generating portion 41 is about 200 ° C. If the temperature is at this level, the printing paper, which is a general heat-sensitive paper, does not produce a clear color due to heating by the sub-heating unit 36. On the other hand, when heated by the heat generating part 41, the color is generated more quickly and clearly because it has been preheated by the sub heat generating part 36. Therefore, it is possible to improve the printing quality and the printing speed. Further, as compared with the case where the sub heat generating portion 36 is not provided, it is possible to develop the color of the printing paper even if the temperature of the heat generating portion 41 is lowered. Thereby, the above-described temperature gradient can be further relaxed, which contributes to improvement in durability and reliability. This causes the energy load to be distributed to the sub-heat generating portion 36 without being concentrated only on the heat generating portion 41, thereby leading to suppressing deterioration and deterioration of the heat generating portion 41. Furthermore, since the temperature gradient described above can be relaxed, it contributes to the improvement of durability and reliability without reducing the printing efficiency.

また、第1基板1の凸部13は、頂部130および第1傾斜部131を有している。発熱部41は、頂部130に形成された頂部410と第1傾斜部131に形成された第1部411とを有しており、頂部130と第1傾斜部131との境界を跨いで形成されている。このため、図4に示すサーマルプリントヘッドA1と同様に、サーマルプリントヘッドA6にプラテンローラ91が押し当てられると、プラテンローラ91の弾性変形により、プラテンローラ91が頂部410および第1部411のいずれか一方または双方に接する。図4に示すように、プラテンローラ91の中心910が副走査方向yにおいて凸部13の中心と一致する構成の場合、プラテンローラ91は、頂部410と強い圧力で接する。一方、プラテンローラ91の中心910が凸部13の中心に対して副走査方向yに意図せずずれてしまうと、プラテンローラ91と頂部410との圧力が低下する。しかしながら、本実施形態においては、発熱部41が第1部411を有するため、プラテンローラ91がずれた場合には、プラテンローラ91が第1部411に対して接する割合が大きくなり、依然として発熱部41に適切に押し当てられる。したがって、サーマルプリントヘッドA6によれば、プラテンローラ91が意図せずにずれた場合や、あるいはプラテンローラ91の直径が異なる場合等であっても、印字品質の低下を抑制することが可能であり、印字品質を向上させることができる。   Further, the convex portion 13 of the first substrate 1 has a top portion 130 and a first inclined portion 131. The heat generating part 41 has a top part 410 formed on the top part 130 and a first part 411 formed on the first inclined part 131, and is formed across the boundary between the top part 130 and the first inclined part 131. ing. For this reason, similarly to the thermal print head A1 shown in FIG. 4, when the platen roller 91 is pressed against the thermal print head A6, the platen roller 91 is moved to either the top portion 410 or the first portion 411 by elastic deformation of the platen roller 91. Either or both. As shown in FIG. 4, when the center 910 of the platen roller 91 coincides with the center of the convex portion 13 in the sub-scanning direction y, the platen roller 91 contacts the top portion 410 with a strong pressure. On the other hand, if the center 910 of the platen roller 91 is unintentionally displaced in the sub-scanning direction y with respect to the center of the convex portion 13, the pressure between the platen roller 91 and the top portion 410 is reduced. However, in the present embodiment, since the heat generating portion 41 has the first portion 411, when the platen roller 91 is displaced, the ratio of the platen roller 91 in contact with the first portion 411 increases, and the heat generating portion still remains. 41 is appropriately pressed. Therefore, according to the thermal print head A6, it is possible to suppress a decrease in print quality even when the platen roller 91 is unintentionally displaced or when the diameter of the platen roller 91 is different. Printing quality can be improved.

また、本実施形態においては、頂部410が頂部130の副走査方向y全長にわたって形成されており、頂部410の副走査方向y両側に一対の第1部411が設けられている。このため、プラテンローラ91のずれが、副走査方向yの上流側および下流側のいずれに生じても、印字品質の低下を抑制することができる。また、一対の第1部411は、第1傾斜部131の副走査方向y全長にわたって形成されている。これは、プラテンローラ91が意図せずずれた場合の印字品質の低下を抑制するのに好ましい。   In the present embodiment, the top portion 410 is formed over the entire length of the top portion 130 in the sub-scanning direction y, and a pair of first portions 411 are provided on both sides of the top portion 410 in the sub-scanning direction y. For this reason, even if the displacement of the platen roller 91 occurs on either the upstream side or the downstream side in the sub-scanning direction y, it is possible to suppress a decrease in print quality. The pair of first portions 411 is formed over the entire length y of the first inclined portion 131 in the sub-scanning direction. This is preferable for suppressing a decrease in print quality when the platen roller 91 is unintentionally displaced.

また、本実施形態においては、凸部13は、一対の第2傾斜部132を有している。すなわち、凸部13は、頂部130(第1主面11)に対して2段階の傾斜となった第1傾斜部131および第2傾斜部132が副走査方向yに並んだ構成となっている。このため、頂部130と第1傾斜部131とがなす角度を小さくすることが可能であり、印字品質の向上に好ましい。また、頂部130と第1傾斜部131とのなす角度が小さいほど、印字における印刷用紙の通過による保護層2の摩耗防止を抑制することができる。また、第1部411が第1傾斜部131を副走査方向y全長にわたって設けられていることにより、第2導電層35や第1導電層3の副走査方向y端が一対の第1傾斜部131上に位置しておらず一対の第1傾斜部131や一対の第2傾斜部132上に位置している。このため、第1傾斜部131と重なる位置に、第2導電層35や第1導電層3の端縁の存在による段差が生じることを回避可能であり、印刷用紙のスムーズな通過や、紙かすの付着防止に有利である。また、一対の第2部412が設けられていることは、プラテンローラ91が意図せずずれた場合の印字品質の低下を抑制するのにさらに好ましい。   In the present embodiment, the convex portion 13 has a pair of second inclined portions 132. That is, the convex portion 13 has a configuration in which the first inclined portion 131 and the second inclined portion 132 that are inclined in two steps with respect to the top portion 130 (first main surface 11) are arranged in the sub-scanning direction y. . For this reason, the angle formed by the top portion 130 and the first inclined portion 131 can be reduced, which is preferable for improving the printing quality. Further, the smaller the angle formed between the top portion 130 and the first inclined portion 131 is, the more the prevention of wear of the protective layer 2 due to the passage of printing paper during printing can be suppressed. Further, since the first portion 411 is provided with the first inclined portion 131 over the entire length in the sub-scanning direction y, the second conductive layer 35 and the first conductive layer 3 have a pair of first inclined portions at the ends in the sub-scanning direction y. It is not located on 131 but is located on a pair of 1st inclination part 131 and a pair of 2nd inclination part 132. FIG. For this reason, it is possible to avoid a step due to the presence of the edges of the second conductive layer 35 and the first conductive layer 3 at a position overlapping with the first inclined portion 131. This is advantageous for preventing the adhesion of the resin. Further, the provision of the pair of second portions 412 is more preferable for suppressing a decrease in print quality when the platen roller 91 is unintentionally displaced.

共通電極32が複数の発熱部41に対して副走査方向y下流側に位置していることにより、複数の発熱部41の副走査方向y上流側には、複数の個別電極31のみが配列されている。これにより、複数の個別電極31の主走査方向xにおける配列ピッチを縮小することが可能であり、印字の高精細化を図ることができる。   Since the common electrode 32 is located downstream in the sub-scanning direction y with respect to the plurality of heat generating portions 41, only the plurality of individual electrodes 31 are arranged on the upstream side in the sub-scanning direction y of the plurality of heat generating portions 41. ing. Thereby, it is possible to reduce the arrangement pitch of the plurality of individual electrodes 31 in the main scanning direction x, and it is possible to achieve high-definition printing.

<第6実施形態 第1変形例>
図37は、サーマルプリントヘッドA6の第1変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA61においては、発熱部41および一対の副発熱部36の位置が上述した例と異なる。
<6th Embodiment 1st modification>
FIG. 37 shows a first modification of the thermal print head A6. In the thermal print head A61 of this modification, the positions of the heat generating portion 41 and the pair of sub heat generating portions 36 are different from the above-described example.

本実施形態においては、発熱部41は、頂部410、第1部411および第2部412を有しており、それぞれの個数が1である。頂部410は、頂部130のうち副走査方向yにおける下流側の一部のみに形成されている。すなわち、本実施形態においては、第2導電層35の副走査方向y下流側端が、頂部130に重なる位置に設けられている。第1部411は、副走査方向y下流側に位置する第1傾斜部131の副走査方向yにおける全長にわたって形成されている。発熱部41は、頂部130と第1傾斜部131との境界に跨って形成されている。第2部412は、副走査方向y下流側に位置する第2傾斜部132の副走査方向y上流側の一部のみに形成されている。すなわち、第2導電層35の副走査方向y上流側端は、副走査方向y下流側の第2傾斜部132に重なる位置に設けられている。発熱部41は、副走査方向y下流側の第1傾斜部131と副走査方向y下流側の第2傾斜部132との境界に跨って形成されている。   In the present embodiment, the heat generating part 41 has a top part 410, a first part 411 and a second part 412, and the number of each is one. The top portion 410 is formed only on a part of the top portion 130 on the downstream side in the sub-scanning direction y. That is, in the present embodiment, the downstream end in the sub-scanning direction y of the second conductive layer 35 is provided at a position overlapping the top portion 130. The first portion 411 is formed over the entire length in the sub-scanning direction y of the first inclined portion 131 located downstream in the sub-scanning direction y. The heat generating portion 41 is formed across the boundary between the top portion 130 and the first inclined portion 131. The second portion 412 is formed only on a part of the second inclined portion 132 located on the downstream side in the sub scanning direction y on the upstream side in the sub scanning direction y. That is, the upstream end in the sub-scanning direction y of the second conductive layer 35 is provided at a position overlapping the second inclined portion 132 on the downstream side in the sub-scanning direction y. The heat generating portion 41 is formed across the boundary between the first inclined portion 131 on the downstream side in the sub-scanning direction y and the second inclined portion 132 on the downstream side in the sub-scanning direction y.

一対の副発熱部36のうち副走査方向y上流側に位置するものは、頂部360および第1部361を有する。頂部360は、頂部130の副走査方向yにおける一部に形成されており、発熱部41の頂部410と隣接している。頂部360は、副走査方向y寸法が頂部410よりも大きい。第1部361は、第1傾斜部131の副走査方向yにおける一部に形成されている。すなわち、第1導電層3の個別電極31の副走査方向y下流側端が、第1傾斜部131上に位置している。この副発熱部36は、頂部130と第1傾斜部131との境界を跨いでいる。   Of the pair of sub-heat generating portions 36, the one located on the upstream side in the sub-scanning direction y has a top portion 360 and a first portion 361. The top portion 360 is formed at a part of the top portion 130 in the sub-scanning direction y, and is adjacent to the top portion 410 of the heat generating portion 41. The top portion 360 has a larger y dimension in the sub-scanning direction than the top portion 410. The first part 361 is formed in a part of the first inclined part 131 in the sub-scanning direction y. That is, the downstream end in the sub-scanning direction y of the individual electrode 31 of the first conductive layer 3 is located on the first inclined portion 131. The sub heat generating portion 36 straddles the boundary between the top portion 130 and the first inclined portion 131.

一対の副発熱部36のうち副走査方向y下流側に位置するものは、第2部362を有する。第2部362は、第2傾斜部132の副走査方向yにおける一部に形成されており、発熱部41の第2部412と隣接している。第2部362は、副走査方向y寸法が第2部412よりも大きい。第2部362は、第1傾斜部131の副走査方向yにおける一部に形成されている。すなわち、第1導電層3の共通電極32の副走査方向y下流側端が、第2傾斜部132上に位置している。   The pair of sub-heating units 36 located on the downstream side in the sub-scanning direction y has a second unit 362. The second part 362 is formed in a part of the second inclined part 132 in the sub-scanning direction y, and is adjacent to the second part 412 of the heat generating part 41. The second part 362 is larger in the sub-scanning direction y dimension than the second part 412. The second part 362 is formed in a part of the first inclined part 131 in the sub-scanning direction y. That is, the downstream end in the sub-scanning direction y of the common electrode 32 of the first conductive layer 3 is located on the second inclined portion 132.

本変形例によっても、サーマルプリントヘッドA61の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、発熱部41が、凸部13の副走査方向y下流側部分に偏って形成されている。これにより、プラテンローラ91の中心910を凸部13に対して副走査方向y下流側に偏らせた場合に、良好な印字品質が得られる。このような配置は、プラテンローラ91と保護樹脂78との干渉を回避するのに有利であり、第1基板1の副走査方向y寸法を縮小することができる。また、発熱部41の副走査方向y長さを縮小することにより、発熱部41のより小さい領域において集中的に発熱が生じる。これは、より鮮明な印字に好ましい。   This modification can also improve the durability and reliability of the thermal print head A61. Further, the heat generating portion 41 is formed to be biased toward the downstream side portion of the convex portion 13 in the sub-scanning direction y. Thereby, when the center 910 of the platen roller 91 is biased to the downstream side in the sub-scanning direction y with respect to the convex portion 13, good print quality can be obtained. Such an arrangement is advantageous in avoiding interference between the platen roller 91 and the protective resin 78, and the size of the first substrate 1 in the sub-scanning direction y can be reduced. Further, by reducing the length y of the heat generating portion 41 in the sub-scanning direction, heat is generated intensively in a smaller area of the heat generating portion 41. This is preferable for clearer printing.

<第6実施形態 第2変形例>
図38は、サーマルプリントヘッドA6の第2変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA62においては、第2導電層35が、1つの発熱部41に対して1つの副発熱部36のみを有する。
<Sixth Embodiment Second Modification>
FIG. 38 shows a second modification of the thermal print head A6. In the thermal print head A62 of the present modification, the second conductive layer 35 has only one sub heat generating part 36 for one heat generating part 41.

本例においては副発熱部36は、発熱部41の副走査方向y上流側にのみ設けられている。副発熱部36は、たとえば第1部361と第2部362とを有している。発熱部41の副走査方向y下流側端においては、第2導電層35の副走査方向y上流側端と第1導電層3の副走査方向y上流側端とが一致しているか、あるいは第1導電層3の副走査方向y上流側端のみが存在する。   In this example, the sub-heating unit 36 is provided only on the upstream side in the sub-scanning direction y of the heating unit 41. The auxiliary heat generating part 36 has, for example, a first part 361 and a second part 362. At the downstream end in the sub-scanning direction y of the heat generating portion 41, the upstream end in the sub-scanning direction y of the second conductive layer 35 and the upstream end in the sub-scanning direction y of the first conductive layer 3 coincide with each other. Only the upstream end in the sub-scanning direction y of one conductive layer 3 exists.

このような変形例によっても、サーマルプリントヘッドA62の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、発熱部41の副走査方向y上流側に副発熱部36が設けられていることにより、印刷品位および印刷速度の向上を図ることができる。   Such a modification can also improve the durability and reliability of the thermal print head A62. Further, since the sub heat generating portion 36 is provided upstream of the heat generating portion 41 in the sub scanning direction y, it is possible to improve the printing quality and the printing speed.

<第6実施形態 第3変形例>
図39は、サーマルプリントヘッドA6の第3変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA63においては、第2導電層35が、副走査方向yにおける一部のみに形成されている。
<Sixth Embodiment Third Modification>
FIG. 39 shows a third modification of the thermal print head A6. In the thermal print head A63 of this modification, the second conductive layer 35 is formed only in a part in the sub-scanning direction y.

本例においては、第2導電層35は、凸部13の一部を覆うように形成されており、第1主面11を覆う領域には形成されていない。図示された例においては、第2導電層35は、凸部13の頂部130および一対の第1傾斜部131それぞれのすべてと、一対の第2傾斜部132の一部ずつとに形成されている。   In the present example, the second conductive layer 35 is formed so as to cover a part of the convex portion 13 and is not formed in a region covering the first main surface 11. In the illustrated example, the second conductive layer 35 is formed on each of the top portion 130 of the convex portion 13 and each of the pair of first inclined portions 131 and part of the pair of second inclined portions 132. .

このような変形例によっても、耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、第2導電層35の形成面積を縮小することにより、製造コストの低減を図ることができる。   Also by such a modification, durability and reliability can be improved. In addition, the manufacturing cost can be reduced by reducing the formation area of the second conductive layer 35.

<第7実施形態>
図40は、本開示の第7実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA7は、第1導電層3、第2導電層35および抵抗体層4の積層構造が、上述した実施形態と異なっている。
<Seventh embodiment>
FIG. 40 illustrates a thermal print head according to the seventh embodiment of the present disclosure. The thermal print head A7 of this embodiment is different from the above-described embodiment in the laminated structure of the first conductive layer 3, the second conductive layer 35, and the resistor layer 4.

本実施形態においては、第2導電層35は、抵抗体層4および第2導電層35上に形成されている。図示された例においては、第2導電層35は、第1導電層3のすべてを覆っており、抵抗体層4のうち第1導電層3から露出した部分の一部を覆っている。   In the present embodiment, the second conductive layer 35 is formed on the resistor layer 4 and the second conductive layer 35. In the illustrated example, the second conductive layer 35 covers the entire first conductive layer 3 and covers a part of the resistor layer 4 exposed from the first conductive layer 3.

本実施形態によっても、サーマルプリントヘッドA7の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、本実施形態から理解されるように、第2導電層35は、第1導電層3と抵抗体層4との間に設けられてもよいし、第2導電層35と保護層2との間に設けられてもよい。   Also according to this embodiment, the durability and reliability of the thermal print head A7 can be improved. As understood from the present embodiment, the second conductive layer 35 may be provided between the first conductive layer 3 and the resistor layer 4, or the second conductive layer 35, the protective layer 2, and the like. May be provided.

<第8実施形態>
図41は、本開示の第8実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA8は、第1基板1がセラミックスによって形成されている点が、上述した実施形態と異なっている。
<Eighth Embodiment>
FIG. 41 shows a thermal print head according to the eighth embodiment of the present disclosure. The thermal print head A8 of this embodiment is different from the above-described embodiment in that the first substrate 1 is formed of ceramics.

第1基板1は、第1主面11および第1裏面12を有しており、上述した実施形態における凸部13を有していない。絶縁層19は、全体として厚さが略均一な層とされている。このため、複数の副発熱部36および複数の発熱部41は、周辺部位に対して突出した構成とはなっていない。   The 1st board | substrate 1 has the 1st main surface 11 and the 1st back surface 12, and does not have the convex part 13 in embodiment mentioned above. The insulating layer 19 is a layer having a substantially uniform thickness as a whole. For this reason, the plurality of sub-heating units 36 and the plurality of heating units 41 are not configured to protrude from the peripheral portion.

このような実施形態によっても、副発熱部36の存在によりサーマルプリントヘッドA8の耐久性及び信頼性を向上させることができる。   Even in such an embodiment, the durability and reliability of the thermal print head A8 can be improved by the presence of the auxiliary heat generating portion 36.

<第8実施形態 第1変形例>
図42は、サーマルプリントヘッドA8の第1変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA81は、絶縁層19が凸部192を有している。凸部192は、絶縁層19が部分的にz方向に突出した部位である。凸部192は、x方向に長く延びる形状である。個別電極31と共通電極32とは、凸部192を挟んでy方向両側に設けられている。複数の発熱部41は、z方向視において凸部192と重なる領域に設けられている。
<Eighth Embodiment First Modification>
FIG. 42 shows a first modification of the thermal print head A8. In the thermal print head A81 of this modification, the insulating layer 19 has a convex portion 192. The convex portion 192 is a portion where the insulating layer 19 partially projects in the z direction. The convex portion 192 has a shape that extends long in the x direction. The individual electrode 31 and the common electrode 32 are provided on both sides in the y direction with the convex portion 192 interposed therebetween. The plurality of heat generating portions 41 are provided in a region overlapping the convex portion 192 when viewed in the z direction.

保護層2は、凸部210を有する。凸部210は、z方向視において凸部192と重なっており、z方向に突出した形状である。凸部210は、第1面211、一対の第2面212および一対の第3面213を有する。第1面211は、凸部210のうちz方向において第1基板1から最も離間した面であり、図示された例においては、z方向に膨出する曲面である。一対の第2面212は、第1面211のy方向両端に繋がっている。第2面212は、z方向に対して略直角な面である。一対の第3面213は、一対の第2面212のy方向外方に繋がっている。一対の第3面213は、y方向において第2面212から離間するほど、z方向において第1基板1に近づくように傾いた面である。   The protective layer 2 has a convex portion 210. The convex portion 210 overlaps with the convex portion 192 when viewed in the z direction, and has a shape protruding in the z direction. The convex part 210 has a first surface 211, a pair of second surfaces 212, and a pair of third surfaces 213. The first surface 211 is the surface of the convex portion 210 that is farthest from the first substrate 1 in the z direction, and in the illustrated example, is a curved surface that bulges in the z direction. The pair of second surfaces 212 are connected to both ends of the first surface 211 in the y direction. The second surface 212 is a surface substantially perpendicular to the z direction. The pair of third surfaces 213 are connected to the outside of the pair of second surfaces 212 in the y direction. The pair of third surfaces 213 are surfaces that are inclined so as to approach the first substrate 1 in the z direction as they are separated from the second surface 212 in the y direction.

このような変形例によっても、副発熱部36の存在によりサーマルプリントヘッドA81の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、凸部192を設けることにより、保護層2の凸部210の第1面211や一対の第2面212を介して複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能であり、印刷品質の向上に好ましい。   Even in such a modification, the durability and reliability of the thermal print head A81 can be improved due to the presence of the sub-heat generating portion. Further, by providing the convex portion 192, it is possible to strongly press the plurality of heat generating portions 41 against the printing paper via the first surface 211 and the pair of second surfaces 212 of the convex portion 210 of the protective layer 2, Preferred for improving print quality.

<第8実施形態 第2変形例>
図43は、サーマルプリントヘッドA8の第2変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA82は、絶縁層19が、第1主面11のy方向における一部のみを覆うように設けられている。絶縁層19は、z方向に緩やかに膨出した形状であり、x方向に長く延びている。複数の発熱部41および複数の副発熱部36は、絶縁層19上に設けられている。
<Eighth Embodiment Second Modification>
FIG. 43 shows a second modification of the thermal print head A8. In the thermal print head A82 of this modification, the insulating layer 19 is provided so as to cover only a part of the first main surface 11 in the y direction. The insulating layer 19 has a shape that gently bulges in the z direction and extends long in the x direction. The plurality of heat generating portions 41 and the plurality of sub heat generating portions 36 are provided on the insulating layer 19.

保護層2は、凸部220を有する。凸部220は、z方向視において絶縁層19と重なっており、全体としてz方向に膨出した形状である。凸部220は、第1面221、一対の第2面222および一対の第3面223を有する。第1面221は、凸部220のうちy方向略中央に位置する面であり、図示された例においては、z方向に緩やかに膨出する曲面である。一対の第2面222は、第1面221のy方向両端に繋がっている。第2面222は、y方向において第1面221から離間するほどz方向において第1基板1から離間する形状であり、z方向に対してわずかに傾いている。一対の第3面223は、y方向において第2面222から離間するほど、z方向において第1基板1に近づくように緩やかに傾いた面である。   The protective layer 2 has a convex portion 220. The convex part 220 overlaps with the insulating layer 19 when viewed in the z direction, and has a shape bulging in the z direction as a whole. The convex part 220 has a first surface 221, a pair of second surfaces 222, and a pair of third surfaces 223. The first surface 221 is a surface located substantially in the center of the y direction in the convex portion 220, and in the illustrated example, is a curved surface that gently bulges in the z direction. The pair of second surfaces 222 are connected to both ends of the first surface 221 in the y direction. The second surface 222 has a shape that is separated from the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the first surface 221 in the y direction, and is slightly inclined with respect to the z direction. The pair of third surfaces 223 are surfaces that are gradually inclined so as to approach the first substrate 1 in the z direction as they are separated from the second surface 222 in the y direction.

このような変形例によっても、副発熱部36の存在によりサーマルプリントヘッドA82の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、膨出形状の絶縁層19を備えることにより、保護層2の凸部220を介して複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能であり、印刷品質の向上に好ましい。   Even in such a modification, the durability and reliability of the thermal print head A 82 can be improved due to the presence of the auxiliary heat generating portion 36. Further, the provision of the bulging insulating layer 19 makes it possible to strongly press the plurality of heat generating portions 41 against the printing paper via the convex portions 220 of the protective layer 2, which is preferable for improving the printing quality.

<第8実施形態 第3変形例>
図44は、サーマルプリントヘッドA8の第3変形例を示している。本変形例のサーマルプリントヘッドA83は、絶縁層19が第1主面11のy方向における一部のみを覆うように設けられており、さらに凸部192を有する。凸部192は、絶縁層19の一部が周辺部位よりも突出した形状に形成されている。本変形例においては、複数の発熱部41は、凸部192上に設けられている。一対の副発熱部36は、凸部192の副走査方向y両側に設けられている。
<Eighth Embodiment Third Modification>
FIG. 44 shows a third modification of the thermal print head A8. In the thermal print head A83 of this modification, the insulating layer 19 is provided so as to cover only a part of the first main surface 11 in the y direction, and further has a convex portion 192. The convex portion 192 is formed in a shape in which a part of the insulating layer 19 protrudes from the peripheral portion. In the present modification, the plurality of heat generating portions 41 are provided on the convex portion 192. The pair of sub heat generating portions 36 are provided on both sides of the convex portion 192 in the sub scanning direction y.

保護層2は、凸部230を有する。凸部230は、z方向視において絶縁層19と重なっており、全体としてz方向に膨出した形状である。凸部230は、第1面231、一対の第2面232、一対の第3面233、一対の第4面234、一対の第5面235および一対の第6面236を有する。第1面231は、凸部210のうちz方向において第1基板1から最も離間した面であり、図示された例においては、z方向に対して略直角な面である。一対の第2面232は、第1面231のy方向両端に繋がっている。第2面232は、y方向において第1面231から離間するほどz方向において第1基板1に近づく形状であり、z方向に対して若干傾いている。一対の第3面233は、一対の第2面232のy方向外方に繋がっている。第3面233は、y方向において第2面232から離間するほどz方向において第1基板1から離間するように傾いている。第3面233のz方向寸法は第2面232のz方向寸法よりも小さい。一対の第4面234は、一対の第3面233のy方向外方に繋がっている。第4面234は、y方向において第3面233から離間するほどz方向において第1基板1に近づくように傾いており、緩やかな曲面である。一対の第5面235は、一対の第4面234のy方向外方に繋がっている。第5面235は、y方向において第4面234から離間するほどz方向において第1基板1から離間する形状であり、z方向に対して若干傾いている。一対の第6面236は、一対の第5面235のy方向外方に繋がっている。第6面236は、y方向において第5面235から離間するほどz方向において第1基板1に近づくように傾いており、緩やかな曲面である。   The protective layer 2 has a convex portion 230. The convex portion 230 overlaps with the insulating layer 19 when viewed in the z direction, and has a shape bulging in the z direction as a whole. The convex portion 230 includes a first surface 231, a pair of second surfaces 232, a pair of third surfaces 233, a pair of fourth surfaces 234, a pair of fifth surfaces 235, and a pair of sixth surfaces 236. The first surface 231 is the surface of the convex portion 210 that is farthest from the first substrate 1 in the z direction, and in the illustrated example, is a surface that is substantially perpendicular to the z direction. The pair of second surfaces 232 are connected to both ends of the first surface 231 in the y direction. The second surface 232 has a shape that approaches the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the first surface 231 in the y direction, and is slightly inclined with respect to the z direction. The pair of third surfaces 233 are connected to the outside of the pair of second surfaces 232 in the y direction. The third surface 233 is inclined so as to be separated from the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the second surface 232 in the y direction. The z direction dimension of the third surface 233 is smaller than the z direction dimension of the second surface 232. The pair of fourth surfaces 234 are connected to the outside of the pair of third surfaces 233 in the y direction. The fourth surface 234 is a gently curved surface that is inclined so as to be closer to the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the third surface 233 in the y direction. The pair of fifth surfaces 235 are connected to the outside of the pair of fourth surfaces 234 in the y direction. The fifth surface 235 is shaped to be separated from the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the fourth surface 234 in the y direction, and is slightly inclined with respect to the z direction. The pair of sixth surfaces 236 are connected to the outside of the pair of fifth surfaces 235 in the y direction. The sixth surface 236 is a gently curved surface that is inclined so as to be closer to the first substrate 1 in the z direction as it is separated from the fifth surface 235 in the y direction.

このような変形例によっても、副発熱部36の存在によりサーマルプリントヘッドA83の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、絶縁層19が凸部192を備えることにより、保護層2の凸部230を介して複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能であり、印刷品質をさらに向上させることができる。   Even in such a modification, the durability and reliability of the thermal print head A83 can be improved due to the presence of the auxiliary heat generating portion. In addition, since the insulating layer 19 includes the protrusions 192, the plurality of heat generating portions 41 can be strongly pressed against the printing paper via the protrusions 230 of the protective layer 2, and the print quality can be further improved. it can.

<第9実施形態>
図45は、本開示の第9実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA9は、第1基板1が、第1主面11、第1裏面12、端面16および傾斜面17を有している。第1基板1は、セラミックスからなる。端面16は、z方向において第1主面11と第1裏面12との間に位置しており、y方向と直角である面である。端面16は、第1裏面12と繋がっている。傾斜面17は、第1主面11と端面16との間に介在しており、第1主面11と端面16とを繋いでいる。傾斜面17は、第1主面11および端面16に対して傾斜している。
<Ninth Embodiment>
FIG. 45 illustrates a thermal print head according to the ninth embodiment of the present disclosure. In the thermal print head A9 of this embodiment, the first substrate 1 has a first main surface 11, a first back surface 12, an end surface 16, and an inclined surface 17. The first substrate 1 is made of ceramics. The end surface 16 is a surface that is located between the first main surface 11 and the first back surface 12 in the z direction and is perpendicular to the y direction. The end surface 16 is connected to the first back surface 12. The inclined surface 17 is interposed between the first main surface 11 and the end surface 16, and connects the first main surface 11 and the end surface 16. The inclined surface 17 is inclined with respect to the first main surface 11 and the end surface 16.

絶縁層19は、第1基板1の傾斜面17上に形成されている。絶縁層19は、第1主面11および端面16と面一であり、x方向視において略三角形状である。   The insulating layer 19 is formed on the inclined surface 17 of the first substrate 1. The insulating layer 19 is flush with the first main surface 11 and the end surface 16 and has a substantially triangular shape when viewed in the x direction.

抵抗体層4は、第1主面11の少なくとも一部、絶縁層19および端面16の少なくとも一部を覆っている。抵抗体層4は、絶縁層19のすべてを覆っている。   The resistor layer 4 covers at least a part of the first main surface 11, at least a part of the insulating layer 19 and the end surface 16. The resistor layer 4 covers all of the insulating layer 19.

第2導電層35は、抵抗体層4の発熱部41となるべき部分を露出させている。発熱部41は、絶縁層19上に設けられている。また、一対の副発熱部36が発熱部41の両側に設けられている。   The second conductive layer 35 exposes a portion of the resistor layer 4 that should become the heat generating portion 41. The heat generating portion 41 is provided on the insulating layer 19. In addition, a pair of sub heat generating portions 36 are provided on both sides of the heat generating portion 41.

第1導電層3は、絶縁層19上において抵抗体層4および第2導電層35を露出させている。これにより、複数の発熱部41および複数の副発熱部36は、絶縁層19上に設けられている。   The first conductive layer 3 exposes the resistor layer 4 and the second conductive layer 35 on the insulating layer 19. Thereby, the plurality of heat generating portions 41 and the plurality of sub heat generating portions 36 are provided on the insulating layer 19.

保護層2は、第1基板1の第1主面11、端面16および第1裏面12のそれぞれと重なるように形成されている。保護層2は、凸部240を有する。凸部240は、傾斜面17と直角である方向視において絶縁層19と重なっており、全体として膨出した形状である。凸部240は、第1面241、一対の第2面242および一対の第3面243を有する。第1面241は、凸部240のx方向視略中央に位置しており、図示された例においては、略平面である。一対の第2面242は、第1面241の両側に繋がっており、第1面241から離間するほど傾斜面17から離間する形状の面である。一対の第3面243は、一対の第2面242の外方に繋がっており、x方向視において緩やかに膨出した面である。   The protective layer 2 is formed so as to overlap each of the first main surface 11, the end surface 16, and the first back surface 12 of the first substrate 1. The protective layer 2 has a convex portion 240. The convex portion 240 overlaps the insulating layer 19 when viewed in a direction perpendicular to the inclined surface 17 and has a bulged shape as a whole. The convex portion 240 has a first surface 241, a pair of second surfaces 242, and a pair of third surfaces 243. The first surface 241 is located substantially at the center of the convex portion 240 when viewed in the x direction, and is substantially flat in the illustrated example. The pair of second surfaces 242 are connected to both sides of the first surface 241, and are surfaces that are separated from the inclined surface 17 as the distance from the first surface 241 increases. The pair of third surfaces 243 is connected to the outside of the pair of second surfaces 242 and is a surface that gently bulges when viewed in the x direction.

また、保護層2は、膨出部249を有する。膨出部249は、第1裏面12のうちy方向において傾斜面17が位置する側の部分を覆っている。膨出部249は、z方向において第1裏面12から離間するように膨出した形状である。   Further, the protective layer 2 has a bulging portion 249. The bulging portion 249 covers a portion of the first back surface 12 on the side where the inclined surface 17 is located in the y direction. The bulging portion 249 has a shape that bulges away from the first back surface 12 in the z direction.

本実施形態によっても、副発熱部36の存在により、サーマルプリントヘッドA9の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能である。   Also in the present embodiment, the durability and reliability of the thermal print head A9 can be improved due to the presence of the auxiliary heat generating portion 36. In addition, the plurality of heat generating portions 41 can be strongly pressed against the printing paper.

<第10実施形態>
図46は、本開示の第10実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA10は、第1基板1が、第1主面11、第1裏面12おおび端面16を有する。第1基板1は、セラミックスからなる。端面16は、第1主面11および第1裏面12と繋がっている。端面16は、y方向に膨出する曲面である。
<Tenth Embodiment>
FIG. 46 illustrates a thermal print head according to the tenth embodiment of the present disclosure. In the thermal print head A10 of this embodiment, the first substrate 1 has a first main surface 11, a first back surface 12, and an end surface 16. The first substrate 1 is made of ceramics. The end surface 16 is connected to the first main surface 11 and the first back surface 12. The end surface 16 is a curved surface that bulges in the y direction.

絶縁層19は、第1基板1の端面16を覆うように形成されている。絶縁層19は、y方向に膨出した形状とされている。   The insulating layer 19 is formed so as to cover the end face 16 of the first substrate 1. The insulating layer 19 has a shape bulging in the y direction.

抵抗体層4は、絶縁層19を覆うように形成されている。第2導電層35は、y方向において絶縁層19と重なる領域において抵抗体層4を露出させている。これにより、複数の発熱部41は、絶縁層19上に設けられている。第1導電層3は、y方向視において絶縁層19と重なる領域において第2導電層35を露出させている。これにより、複数の副発熱部36は、絶縁層19上に設けられている。   The resistor layer 4 is formed so as to cover the insulating layer 19. The second conductive layer 35 exposes the resistor layer 4 in a region overlapping the insulating layer 19 in the y direction. Accordingly, the plurality of heat generating portions 41 are provided on the insulating layer 19. The first conductive layer 3 exposes the second conductive layer 35 in a region overlapping the insulating layer 19 when viewed in the y direction. Thereby, the plurality of sub-heat generating portions 36 are provided on the insulating layer 19.

抵抗体層4は、絶縁層19上に形成されることにより全体として湾曲している。抵抗体層4のうち第1導電層3と重なる部分は、y方向寸法が寸法y2となるように湾曲している。寸法y2は、寸法y1よりも大きい。   The resistor layer 4 is curved as a whole by being formed on the insulating layer 19. The portion of the resistor layer 4 that overlaps the first conductive layer 3 is curved so that the y-direction dimension is the dimension y2. The dimension y2 is larger than the dimension y1.

保護層2は、第1面251、一対の第2面252、一対の第3面253、第4面254および第5面255を有する。第1面251は、保護層2のうちz方向において略中央に位置する面であり、図示された例においては、y方向に対して略直角である面である。一対の第2面252は、第1面251のz方向両端に繋がっており、z方向において第1面251から離間するほどy方向において第1基板1から離間するように傾いている。一対の第3面253は、一対の第3面253のz方向外方に繋がっている。第3面253は、絶縁層19の形状に概ね沿った膨出形状の曲面である。第4面254は、一端が一方の第3面253に繋がっており、他端が第1導電層3に接している。第4面254は、第3面253から滑らかに繋がる曲面である。第5面255は、他方の第3面253に繋がっている。第5面255は、第3面253からy方向に離間するほど第1裏面12に近づく形状である。第5面255は、第3面253よりも面積が大きく、略平面である。   The protective layer 2 has a first surface 251, a pair of second surfaces 252, a pair of third surfaces 253, a fourth surface 254, and a fifth surface 255. The first surface 251 is a surface located substantially in the center in the z direction of the protective layer 2, and in the illustrated example, is a surface that is substantially perpendicular to the y direction. The pair of second surfaces 252 are connected to both ends of the first surface 251 in the z direction, and are inclined so as to be separated from the first substrate 1 in the y direction as they are separated from the first surface 251 in the z direction. The pair of third surfaces 253 are connected to the outside of the pair of third surfaces 253 in the z direction. The third surface 253 is a bulge-shaped curved surface that generally follows the shape of the insulating layer 19. The fourth surface 254 has one end connected to one third surface 253 and the other end in contact with the first conductive layer 3. The fourth surface 254 is a curved surface that is smoothly connected to the third surface 253. The fifth surface 255 is connected to the other third surface 253. The fifth surface 255 has a shape that approaches the first back surface 12 as the distance from the third surface 253 in the y direction increases. The fifth surface 255 has a larger area than the third surface 253 and is substantially flat.

本実施形態によっても、副発熱部36の存在により、サーマルプリントヘッドA10の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、複数の発熱部41を印刷用紙により強く押し当てることが可能である。   Also in the present embodiment, the durability and reliability of the thermal print head A10 can be improved due to the presence of the sub heat generating portion 36. In addition, the plurality of heat generating portions 41 can be strongly pressed against the printing paper.

<第11実施形態>
図47は、本開示の第11実施形態に係るサーマルプリントヘッドを示している。本実施形態のサーマルプリントヘッドA11は、第1基板1が、たとえばセラミックス等の絶縁材料からなる。また、保護層2、第1導電層3、第2導電層35および抵抗体層4が、印刷と焼成とを用いた手法によって形成されている。
<Eleventh embodiment>
FIG. 47 shows a thermal print head according to the eleventh embodiment of the present disclosure. In the thermal print head A11 of this embodiment, the first substrate 1 is made of an insulating material such as ceramics. The protective layer 2, the first conductive layer 3, the second conductive layer 35, and the resistor layer 4 are formed by a technique using printing and baking.

本実施形態においては、絶縁層19は、ヒーターグレーズ部1901および平坦部1902を有する。ヒーターグレーズ部1901は、z方向に緩やかに膨出した部分である。平坦部1902は、第1主面11のうちヒーターグレーズ部1901から露出した部分を覆っており、平坦な形状である。絶縁層19は、たとえばガラスからなる。   In the present embodiment, the insulating layer 19 has a heater glaze portion 1901 and a flat portion 1902. The heater glaze portion 1901 is a portion that gently bulges in the z direction. The flat portion 1902 covers a portion of the first main surface 11 exposed from the heater glaze portion 1901 and has a flat shape. The insulating layer 19 is made of glass, for example.

第1導電層3は、たとえばAuを含むレジネートAuペーストを印刷し、これを焼成することによって形成されている。第1導電層3は、ヒーターグレーズ部1901と平坦部1902とに跨って形成されている。第1導電層3の個別電極31および共通電極32は、ヒーターグレーズ部1901の一部ずつに形成されている。   The first conductive layer 3 is formed, for example, by printing a resinate Au paste containing Au and firing it. The first conductive layer 3 is formed across the heater glaze part 1901 and the flat part 1902. The individual electrode 31 and the common electrode 32 of the first conductive layer 3 are formed on each part of the heater glaze portion 1901.

第2導電層35は、たとえばTiや抵抗体材料を含むペーストを印刷し、これを焼成することによって形成されている。第2導電層35は、ヒーターグレーズ部1901に形成されており、個別電極31および共通電極32と一部が重なっている。図示された例においては、第2導電層35は、ヒーターグレーズ部1901と第1導電層3との間に介在している。第2導電層35は、ヒーターグレーズ部1901上において、y方向に離間する2つの領域を有する。   The second conductive layer 35 is formed, for example, by printing a paste containing Ti or a resistor material and baking the paste. The second conductive layer 35 is formed in the heater glaze portion 1901 and partially overlaps the individual electrode 31 and the common electrode 32. In the illustrated example, the second conductive layer 35 is interposed between the heater glaze portion 1901 and the first conductive layer 3. The second conductive layer 35 has two regions separated in the y direction on the heater glaze portion 1901.

抵抗体層4は、たとえばTaNや抵抗体材料を含むペーストを印刷し、これを焼成することによって形成されている。抵抗体層4は、ヒーターグレーズ部1901上において第2導電層35の一部と重なるように形成されている。抵抗体層4のうち第2導電層35に挟まれた部分が、発熱部41となっている。また、発熱部41のy方向両側において、第2導電層35のうち第1導電層3から露出した部分が一対の副発熱部36を構成している。   The resistor layer 4 is formed, for example, by printing a paste containing TaN or a resistor material and baking the paste. The resistor layer 4 is formed on the heater glaze portion 1901 so as to overlap a part of the second conductive layer 35. A portion of the resistor layer 4 sandwiched between the second conductive layers 35 is a heat generating portion 41. Further, on both sides in the y direction of the heat generating portion 41, portions of the second conductive layer 35 exposed from the first conductive layer 3 constitute a pair of sub heat generating portions 36.

保護層2は、たとえばガラスからなり、第1導電層3、第2導電層35および抵抗体層4を覆っている。   The protective layer 2 is made of glass, for example, and covers the first conductive layer 3, the second conductive layer 35, and the resistor layer 4.

本実施形態によっても、副発熱部36の存在により、サーマルプリントヘッドA11の耐久性及び信頼性を向上させることができる。また、印刷および焼成の手法によって形成された第1導電層3、第2導電層35および抵抗体層4は、摩擦による損傷が生じにくいという利点がある。   Also in the present embodiment, the durability and reliability of the thermal print head A <b> 11 can be improved due to the presence of the sub-heating unit 36. In addition, the first conductive layer 3, the second conductive layer 35, and the resistor layer 4 formed by printing and firing methods have an advantage that damage due to friction is less likely to occur.

本開示に係るサーマルプリントヘッドは、上述した実施形態に限定されるものではない。本開示に係るサーマルプリントヘッドの各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。   The thermal print head according to the present disclosure is not limited to the above-described embodiment. The specific configuration of each part of the thermal print head according to the present disclosure can be modified in various ways.

〔付記B1〕
基板と、
前記基板に支持され且つ主走査方向に配列された複数の発熱部を有する抵抗体層と、
前記基板に支持され且つ前記複数の発熱部への通電経路を構成し、副走査方向における単位長さあたりの抵抗値が前記発熱部よりも小さい第1導電層と、
前記発熱部に対して副走査方向に隣接し且つ前記第1導電層に接する副発熱部を有し、副走査方向における単位長さ当たりの抵抗値が前記発熱部と前記第1導電層との間の値をとる第2導電層と、を備える、サーマルプリントヘッド。
〔付記B2〕
前記基板は、単結晶半導体からなり、主面と前記主面から突出し且つ主走査方向に延びる凸部とを有し、
前記凸部は、前記主面からの距離が最も大きい頂部と、当該頂部に対して副走査方向両側に繋がり且つ前記主面に対して傾斜した一対の第1傾斜部と、を有し、
前記発熱部は、前記頂部の副走査方向における少なくとも一部に形成されている、付記B1に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B3〕
前記凸部は、前記一対の第1傾斜部に対して副走査方向において前記頂部とは反対側に繋がり且つ前記主面に対して前記第1傾斜部よりも大きな傾斜角度で傾斜した一対の第2傾斜部を有する、付記B2に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B4〕
前記発熱部は、前記頂部の副走査方向における全長に形成されている、付記B3に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B5〕
前記副発熱部は、前記第1傾斜部の副走査方向における少なくとも一部に形成されている、付記B4に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B6〕
前記発熱部は、前記頂部と前記一対の第1傾斜部との境界を跨いで、前記一対の第1傾斜部の副走査方向における一部ずつにさらに形成されている、付記B5に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B7〕
一対の前記副発熱部が、前記一対の第1傾斜部と前記一対の第2傾斜部との境界を各別に跨ぐように形成されている、付記B6に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B8〕
前記副発熱部は、前記第1傾斜部および前記第2傾斜部の副走査方向における一部ずつに形成されている、付記B7に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B9〕
前記発熱部は、前記頂部の副走査方向における一部と副走査方向下流側に位置する前記第1傾斜部の副走査方向の少なくとも一部とに、前記頂部と当該第1傾斜部との境界を跨ぐように形成されており、
前記副発熱部は、前記頂部の副走査方向における一部と副走査方向上流側に位置する前記第1傾斜部の少なくとも一部とに、前記頂部と当該第1傾斜部との境界を跨ぐように形成されている、付記B2に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B10〕
前記発熱部は、副走査方向下流側に位置する前記第1傾斜部の全長と副走査方向下流側に位置する前記第2傾斜部の一部とに、当該第1傾斜部と当該第2傾斜部との境界を跨ぐように形成されている、付記B9に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B11〕
一対の前記副発熱部を備え、
一方の前記副発熱部は、前記頂部の副走査方向における一部と副走査方向上流側に位置する第1傾斜部の一部とに、前記頂部と当該第1傾斜部との境界を跨ぐように形成されている、付記B10に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B12〕
他方の前記副発熱部は、副走査方向下流側に位置する前記第2傾斜部の一部に形成されている、付記B11に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B13〕
前記抵抗体層は、前記基板と前記第1導電層との間に形成されている、付記B1ないし12のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B14〕
前記第2導電層は、前記抵抗体層と前記第1導電層との間に形成されている、付記B13に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B15〕
前記第2導電層は、前記抵抗体層および前記第1導電層に対して前記基板とは反対側に形成されている、付記B13に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B16〕
前記抵抗体層は、TaNを含む、付記B1ないし15のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B17〕
前記第1導電層は、Cuを含む、付記B1ないし16のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B18〕
前記第2導電層は、Tiを含む、付記B1ないし17のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B19〕
前記第2導電層は、前記抵抗体層よりも厚さが薄い、付記B1ないし18のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B20〕
前記基板は、セラミックスからなる、付記B1に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B21〕
前記抵抗体層は、前記基板と前記第1導電層との間に位置する、付記B20に記載のサーマルプリントヘッド。
〔付記B22〕
前記第2導電層は、前記基板と前記抵抗体層との間に介在する部位を有しており、
前記抵抗体層および前記第1導電層は、金属を含有するペーストを焼成することによって形成されている、付記B20に記載のサーマルプリントヘッド。
[Appendix B1]
A substrate,
A resistor layer having a plurality of heating portions supported by the substrate and arranged in the main scanning direction;
A first conductive layer supported by the substrate and constituting a current-carrying path to the plurality of heat generating units, wherein a resistance value per unit length in the sub-scanning direction is smaller than that of the heat generating unit;
A sub-heat generating portion adjacent to the heat generating portion in the sub-scanning direction and in contact with the first conductive layer, and a resistance value per unit length in the sub-scanning direction is determined between the heat generating portion and the first conductive layer; And a second conductive layer having a value in between.
[Appendix B2]
The substrate is made of a single crystal semiconductor, and has a main surface and a protrusion protruding from the main surface and extending in the main scanning direction,
The convex portion has a top portion having the largest distance from the main surface, and a pair of first inclined portions connected to both sides in the sub-scanning direction with respect to the top portion and inclined with respect to the main surface,
The thermal print head according to appendix B1, wherein the heat generating portion is formed at least in part in the sub-scanning direction of the top portion.
[Appendix B3]
The convex portion is connected to the opposite side of the top portion in the sub-scanning direction with respect to the pair of first inclined portions and is inclined with respect to the main surface at a larger inclination angle than the first inclined portion. The thermal print head according to appendix B2, having two inclined portions.
[Appendix B4]
The thermal print head according to appendix B3, wherein the heat generating portion is formed over the entire length of the top in the sub-scanning direction.
[Appendix B5]
The thermal print head according to appendix B4, wherein the sub heat generating portion is formed at least in part in the sub scanning direction of the first inclined portion.
[Appendix B6]
The thermal unit according to appendix B5, wherein the heat generating portion is further formed in part in the sub-scanning direction of the pair of first inclined portions across the boundary between the top portion and the pair of first inclined portions. Print head.
[Appendix B7]
The thermal print head according to appendix B6, wherein the pair of sub-heating portions are formed so as to straddle the boundary between the pair of first inclined portions and the pair of second inclined portions.
[Appendix B8]
The thermal print head according to appendix B7, wherein the sub-heat generating portion is formed in each part of the first inclined portion and the second inclined portion in the sub-scanning direction.
[Appendix B9]
The heat generating portion is a boundary between the top portion and the first inclined portion at a portion of the top portion in the sub-scanning direction and at least a portion of the first inclined portion located downstream in the sub-scanning direction. Is formed to straddle
The sub-heat generating part straddles a boundary between the top part and the first inclined part over a part of the top part in the sub-scanning direction and at least a part of the first inclined part located upstream in the sub-scanning direction. The thermal print head according to appendix B2, which is formed in
[Appendix B10]
The heat generating part includes the first inclined part and the second inclined part on the entire length of the first inclined part located on the downstream side in the sub-scanning direction and on a part of the second inclined part located on the downstream side in the sub-scanning direction. The thermal print head according to appendix B9, formed so as to straddle the boundary with the portion.
[Appendix B11]
A pair of the sub-heating parts,
One of the sub-heat generating portions extends over a boundary between the top portion and the first inclined portion between a portion of the top portion in the sub-scanning direction and a portion of the first inclined portion located upstream in the sub-scanning direction. The thermal print head according to appendix B10,
[Appendix B12]
The other sub-heating portion is the thermal print head according to appendix B11, which is formed in a part of the second inclined portion located downstream in the sub-scanning direction.
[Appendix B13]
The thermal print head according to any one of appendices B1 to 12, wherein the resistor layer is formed between the substrate and the first conductive layer.
[Appendix B14]
The thermal print head according to appendix B13, wherein the second conductive layer is formed between the resistor layer and the first conductive layer.
[Appendix B15]
The thermal print head according to appendix B13, wherein the second conductive layer is formed on a side opposite to the substrate with respect to the resistor layer and the first conductive layer.
[Appendix B16]
The thermal print head according to any one of appendices B1 to 15, wherein the resistor layer includes TaN.
[Appendix B17]
The thermal print head according to any one of appendices B1 to 16, wherein the first conductive layer contains Cu.
[Appendix B18]
The thermal print head according to any one of appendices B1 to 17, wherein the second conductive layer contains Ti.
[Appendix B19]
The thermal print head according to any one of appendices B1 to 18, wherein the second conductive layer is thinner than the resistor layer.
[Appendix B20]
The thermal print head according to appendix B1, wherein the substrate is made of ceramics.
[Appendix B21]
The thermal print head according to appendix B20, wherein the resistor layer is located between the substrate and the first conductive layer.
[Appendix B22]
The second conductive layer has a portion interposed between the substrate and the resistor layer,
The thermal print head according to appendix B20, wherein the resistor layer and the first conductive layer are formed by firing a paste containing a metal.

本発明に係るサーマルプリントヘッドは、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係るサーマルプリントヘッドの各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。   The thermal print head according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. The specific configuration of each part of the thermal print head according to the present invention can be variously modified.

A1,A10,A11,A12,A13,A14,A2,A3,A31,A32,A33,A4,A5,A6,A61,A62,A63,A7,A8,A81,A82,A83,A9:サーマルプリントヘッド
1 :第1基板
1A :基板材料
2 :保護層
3 :第1導電層
3 :配線層
3A :導電膜
4 :抵抗体層
4A :抵抗体膜
5 :第2基板
7 :ドライバIC
8 :放熱部材
11 :第1主面
11A :主面
12 :第1裏面
12A :裏面
13 :凸部
13A :凸部
15 :反射層
15a :反射第1層
15b :反射第2層
16 :端面
17 :傾斜面
19 :絶縁層
21 :パッド用開口
31 :個別電極
32 :共通電極
35 :第2導電層
35A :第2導電膜
36 :副発熱部
41 :発熱部
49 :貫通部
51 :第2主面
52 :第2裏面
59 :コネクタ
61 :ワイヤ
62 :ワイヤ
78 :保護樹脂
81 :第1支持面
82 :第2支持面
91 :プラテンローラ
130 :頂部
130A :頂部
131 :第1傾斜部
132 :第2傾斜部
132A :傾斜部
151 :反射第1部
152 :反射第2部
153 :反射第3部
154 :反射第4部
159 :貫通部
191 :貫通部
192 :凸部
210 :凸部
211 :第1面
212 :第2面
213 :第3面
220 :凸部
221 :第1面
222 :第2面
223 :第3面
230 :凸部
231 :第1面
232 :第2面
233 :第3面
234 :第4面
235 :第5面
236 :第6面
240 :凸部
241 :第1面
242 :第2面
243 :第3面
249 :膨出部
251 :第1面
252 :第2面
253 :第3面
254 :第4面
255 :第5面
311 :個別パッド
323 :連結部
324 :帯状部
360 :頂部
361 :第1部
362 :第2部
410 :頂部
411 :第1部
412 :第2部
910 :中心
1901 :ヒーターグレーズ部
1902 :平坦部
x :主走査方向
y :副走査方向
y1,y2:寸法
α1,α2:角度
A1, A10, A11, A12, A13, A14, A2, A3, A31, A32, A33, A4, A5, A6, A61, A62, A63, A7, A8, A81, A82, A83, A9: Thermal print head 1 : First substrate 1A: Substrate material 2: Protective layer 3: First conductive layer 3: Wiring layer 3A: Conductive layer 4: Resistor layer 4A: Resistor film 5: Second substrate 7: Driver IC
8: Heat dissipation member 11: First main surface 11A: Main surface 12: First back surface 12A: Back surface 13: Convex portion 13A: Convex portion 15: Reflective layer 15a: Reflective first layer 15b: Reflective second layer 16: End surface 17 : Inclined surface 19: Insulating layer 21: Pad opening 31: Individual electrode 32: Common electrode 35: Second conductive layer 35A: Second conductive film 36: Sub-heating part 41: Heating part 49: Penetration part 51: Second main Surface 52: second back surface 59: connector 61: wire 62: wire 78: protective resin 81: first support surface 82: second support surface 91: platen roller 130: top portion 130A: top portion 131: first inclined portion 132: first 2 inclined part 132A: inclined part 151: reflective first part 152: reflective second part 153: reflective third part 154: reflective fourth part 159: penetrating part 191: penetrating part 192: convex part 210: convex part 211: first 1 side 2 2: 2nd surface 213: 3rd surface 220: Convex part 221: 1st surface 222: 2nd surface 223: 3rd surface 230: Convex part 231: 1st surface 232: 2nd surface 233: 3rd surface 234: 4th surface 235: 5th surface 236: 6th surface 240: convex part 241: 1st surface 242: 2nd surface 243: 3rd surface 249: bulging part 251: 1st surface 252: 2nd surface 253: 1st 3rd surface 254: 4th surface 255: 5th surface 311: Individual pad 323: Connection part 324: Band-shaped part 360: Top part 361: 1st part 362: 2nd part 410: Top part 411: 1st part 412: 2nd part 910: Center 1901: Heater glaze part 1902: Flat part x: Main scanning direction y: Sub scanning direction y1, y2: Dimensions α1, α2: Angle

Claims (18)

基板と、
前記基板に支持され且つ主走査方向に配列された複数の発熱部を有する抵抗体層と、
前記基板に支持され且つ前記複数の発熱部への通電経路を構成する配線層と、
前記基板と前記抵抗体層との間に介在する絶縁層と、
を備え、
前記絶縁層に対して前記複数の発熱部とは反対側に位置し且つ前記複数の発熱部の厚さ方向視において前記複数の発熱部と重なり、前記絶縁層よりも熱反射率が大きい反射層を備える、サーマルプリントヘッド。
A substrate,
A resistor layer having a plurality of heating portions supported by the substrate and arranged in the main scanning direction;
A wiring layer that is supported by the substrate and constitutes a current-carrying path to the plurality of heat generating parts;
An insulating layer interposed between the substrate and the resistor layer;
With
A reflective layer that is located on the opposite side of the plurality of heat generating portions with respect to the insulating layer and overlaps the plurality of heat generating portions when viewed in the thickness direction of the plurality of heat generating portions and has a higher thermal reflectance than the insulating layer A thermal print head comprising:
前記反射層は、前記絶縁層と前記基板との間に介在する、請求項1に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 1, wherein the reflective layer is interposed between the insulating layer and the substrate. 前記基板は、単結晶半導体からなる、請求項2に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 2, wherein the substrate is made of a single crystal semiconductor. 前記基板は、Siからなる、請求項3に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 3, wherein the substrate is made of Si. 前記反射層は、Cuを含む、請求項3または4に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 3, wherein the reflective layer contains Cu. 前記反射層は、Tiを含む、請求項3ないし5のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 3, wherein the reflective layer contains Ti. 前記反射層は、前記基板に接する反射第1層と、前記反射第1層上に形成された反射第2層と、を有する、請求項6に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 6, wherein the reflective layer has a reflective first layer in contact with the substrate, and a reflective second layer formed on the reflective first layer. 前記反射第2層は、前記絶縁層に接する、請求項7に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 7, wherein the second reflective layer is in contact with the insulating layer. 前記反射第1層は、Tiからなり、前記反射第2層は、Cuからなる、請求項7または8に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 7 or 8, wherein the first reflective layer is made of Ti, and the second reflective layer is made of Cu. 前記反射層は、前記配線層に対して絶縁されている、請求項3ないし9のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 3, wherein the reflective layer is insulated from the wiring layer. 前記反射層は、前記配線層の一部と導通している、請求項3ないし9のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 3, wherein the reflective layer is electrically connected to a part of the wiring layer. 前記反射層は、前記基板と前記絶縁層とを接触させる貫通部を有する、請求項3ないし11のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 3, wherein the reflective layer has a penetrating portion that contacts the substrate and the insulating layer. 前記基板は、前記絶縁層が形成された主面と、前記主面から突出し且つ主走査方向に延びる凸部を有し、
前記凸部は、前記主面からの距離が最も大きい頂部と、当該頂部に対して副走査方向に繋がり且つ前記主面に対して傾斜した第1傾斜部と、を有し、
前記発熱部は、前記頂部と前記第1傾斜部との境界を跨いで、前記頂部の副走査方向における少なくとも一部と前記第1傾斜部の副走査方向における少なくとも一部とに形成されている、請求項3ないし12のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。
The substrate has a main surface on which the insulating layer is formed, and a protrusion protruding from the main surface and extending in the main scanning direction,
The convex portion includes a top portion having the largest distance from the main surface, and a first inclined portion that is connected to the top portion in the sub-scanning direction and is inclined with respect to the main surface,
The heat generating portion is formed across at least a part of the top in the sub-scanning direction and at least a part of the first inclined in the sub-scanning direction across the boundary between the top and the first inclined part. The thermal print head according to any one of claims 3 to 12.
前記凸部は、当該第1傾斜部に対して副走査方向において前記頂部とは反対側に繋がり且つ前記主面に対して前記第1傾斜部よりも大きな傾斜角度で傾斜した第2傾斜部を有する、請求項13に記載のサーマルプリントヘッド。   The convex portion includes a second inclined portion that is connected to the opposite side of the top in the sub-scanning direction with respect to the first inclined portion and is inclined with respect to the main surface at a larger inclination angle than the first inclined portion. The thermal print head according to claim 13. 前記凸部は、前記頂部を挟んで副走査方向両側に位置する一対の前記第1傾斜部を有する、請求項14に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 14, wherein the convex portion has a pair of the first inclined portions located on both sides in the sub-scanning direction with the top portion interposed therebetween. 前記凸部は、前記一対の第1傾斜部を挟んで副走査方向両側に位置する一対の第2傾斜部を有する、請求項15に記載のサーマルプリントヘッド。   The thermal print head according to claim 15, wherein the convex portion has a pair of second inclined portions located on both sides in the sub-scanning direction with the pair of first inclined portions interposed therebetween. 前記発熱部は、前記頂部の副走査方向における全長と、前記一対の第1傾斜部の副走査方向における全長と、に形成されている、請求項16に記載のサーマルプリントヘッド。   17. The thermal print head according to claim 16, wherein the heat generating portion is formed in a total length in the sub-scanning direction of the top portion and a total length in the sub-scanning direction of the pair of first inclined portions. 前記発熱部は、前記第1傾斜部と前記第2傾斜部との境界を跨いで、前記第2傾斜部の副走査方向における少なくとも一部にさらに形成されている、請求項15ないし17のいずれかに記載のサーマルプリントヘッド。   18. The heat generation portion is further formed on at least part of the second inclined portion in the sub-scanning direction across the boundary between the first inclined portion and the second inclined portion. Thermal print head according to crab.
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