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JP2019091660A - 表示装置および表示装置の製造方法 - Google Patents

表示装置および表示装置の製造方法 Download PDF

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宏一 松橋
Koichi Matsuhashi
宏一 松橋
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Abstract

【課題】フレキシブルディスプレイの製造において、可撓性基材と保護膜との良好な切断実現する。【解決手段】表示装置の製造方法であって、樹脂を含み、複数の画素を備える表示領域が形成された基材に、保護膜を積層して積層体を作製すること、少なくとも一部が前記保護膜に接する光吸収層を形成すること、および、前記積層体の前記基材に対して前記光吸収層が形成されている側から、前記表示領域の外側に位置する所定のラインに沿ってレーザー光を照射して、前記積層体の一部を切断すること、を含み、前記光吸収層は、前記保護膜に比べて前記レーザー光をより吸収可能で、前記所定のラインの少なくとも一部は、前記光吸収層と重なっている。【選択図】図5

Description

本発明は、表示装置および表示装置の製造方法に関する。
有機エレクトロルミネッセンス(EL)表示装置や液晶表示装置など、表示領域を備える表示装置において、近年、可撓性を有する基材を用いて、表示パネルを曲げることができるフレキシブルディスプレイの開発が進められている。
ところで、下記特許文献1に開示されるように、表示パネルの表面には保護膜が積層される場合がある。
米国特許出願公開第2016/0174304号明細書
例えば、上記保護膜にサイズのばらつきや積層ずれがある場合、上記可撓性を有する基材および保護膜を切断して、両者の端部を切り揃える場合がある。切断は、通常、レーザー光照射により行う。しかし、基材と保護膜とのレーザー光の吸収度合が異なり、良好に切断されない(例えば、基材が優先的に切断されて基材の切断カスが残存する)場合がある。
本発明は、基材と保護膜との良好な切断を実現する表示装置の製造方法の提供を目的とする。
本発明の1つの局面によれば、表示装置の製造方法が提供される。本発明に係る製造方法は、樹脂を含み、複数の画素を備える表示領域が形成された基材に、保護膜を積層して積層体を作製すること、少なくとも一部が前記保護膜に接する光吸収層を形成すること、および、前記積層体の前記基材に対して前記光吸収層が形成されている側から、前記表示領域の外側に位置する所定のラインに沿ってレーザー光を照射して、前記積層体の一部を切断すること、を含み、前記光吸収層は、前記保護膜に比べて前記レーザー光をより吸収可能で、前記所定のラインの少なくとも一部は、前記光吸収層と重なっている。
本発明の別の局面によれば、表示装置が提供される。本発明に係る表示装置は、樹脂を含み、複数の画素を備える表示領域が形成された基材と、前記基材の少なくとも片側に配置された保護膜と、前記保護膜に比べて所定の波長の光をより吸収可能で、前記基材の前記保護膜が配置される側に、少なくとも一部が前記保護膜に接して配置された光吸収層と、を有し、前記光吸収層は、少なくとも前記基材の端面と前記保護膜の端面とが揃う辺に形成されている。
本発明の1つの実施形態に係る有機EL表示装置の概略の構成を示す模式図である。 図1に示す有機EL表示装置の表示パネルの一例を示す模式的な平面図である。 図2のIII−III断面の一例を示す図である。 図2に示す表示パネルの側面の一例を示す図である。 本発明の1つの実施形態における有機EL表示装置の製造方法について説明するための図である。 本発明の別の実施形態における表示パネルの側面を示す図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に評される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して詳細な説明を適宜省略することがある。
図1は、本発明の1つの実施形態に係る表示装置の概略の構成を、有機EL表示装置を例にして示す模式図である。有機EL表示装置2は、画像を表示する画素アレイ部4と、画素アレイ部4を駆動する駆動部とを備える。有機EL表示装置2は、基材として樹脂フィルムを用いたフレキシブルディスプレイであり、この樹脂フィルムで構成された基材の上に薄膜トランジスタ(TFT)や有機発光ダイオード(OLED)などの積層構造が形成される。なお、図1に示した概略図は一例であって、本実施形態はこれに限定されるものではない。
画素アレイ部4には、画素に対応してOLED6および画素回路8がマトリクス状に配置される。画素回路8は複数のTFT10,12やキャパシタ14で構成される。
上記駆動部は、走査線駆動回路20、映像線駆動回路22、駆動電源回路24および制御装置26を含み、画素回路8を駆動しOLED6の発光を制御する。
走査線駆動回路20は、画素の水平方向の並び(画素行)ごとに設けられた走査信号線28に接続されている。走査線駆動回路20は、制御装置26から入力されるタイミング信号に応じて走査信号線28を順番に選択し、選択した走査信号線28に、点灯TFT10をオンする電圧を印加する。
映像線駆動回路22は、画素の垂直方向の並び(画素列)ごとに設けられた映像信号線30に接続されている。映像線駆動回路22は、制御装置26から映像信号を入力され、走査線駆動回路20による走査信号線28の選択に合わせて、選択された画素行の映像信号に応じた電圧を各映像信号線30に出力する。当該電圧は、選択された画素行にて点灯TFT10を介してキャパシタ14に書き込まれる。駆動TFT12は、書き込まれた電圧に応じた電流をOLED6に供給し、これにより、選択された走査信号線28に対応する画素のOLED6が発光する。
駆動電源回路24は、画素列ごとに設けられた駆動電源線32に接続され、駆動電源線32および選択された画素行の駆動TFT12を介してOLED6に電流を供給する。
ここで、OLED6の下部電極は、駆動TFT12に接続される。一方、各OLED6の上部電極は、全画素のOLED6に共通の電極で構成される。下部電極を陽極(アノード)として構成する場合は、高電位が入力され、上部電極は陰極(カソード)となって低電位が入力される。下部電極を陰極(カソード)として構成する場合は、低電位が入力され、上部電極は陽極(アノード)となって高電位が入力される。
図2は、図1に示す有機EL表示装置の表示パネルの一例を示す模式的な平面図である。表示パネル40の表示領域42に、図1に示した画素アレイ部4が設けられ、上述したように画素アレイ部4にはOLED6が配列される。上述したようにOLED6を構成する上部電極は、各画素に共通に形成され、表示領域42全体を覆う。
矩形である表示パネル40の一辺には、部品実装領域46が設けられ、表示領域42につながる配線が配置される。部品実装領域46には、駆動部を構成するドライバIC48が搭載されたり、フレキシブルプリント基板(FPC)50が接続されたりする。FPC50は、制御装置26やその他の回路20,22,24等に接続されたり、その上にICを搭載されたりする。
図3は、図2のIII−III断面の一例を示す図である。表示パネル40は、例えば、樹脂フィルム(樹脂膜)で構成された可撓性を有する基材70の上に、TFT72などが形成された回路層74、OLED6およびOLED6を封止する封止層106などが積層された構造を有する。基材70を構成する樹脂としては、例えば、ポリイミド系樹脂が挙げられる。基材70は、例えば、ポリイミドなどの樹脂材料を含む樹脂膜を塗布にて成膜して形成される。基材70の厚みは、例えば、10μm以上100μm以下の範囲である。封止層106の上には保護膜114が積層される。封止層106の上に接着層を介してシート状、或いはフィルム状の保護膜114を貼り合わせてもよい。
本実施形態においては、画素アレイ部4はトップエミッション型であり、OLED6で生じた光は、基材70側とは反対側(図3において上向き)に出射される。なお、有機EL表示装置2におけるカラー化方式をカラーフィルタ方式とする場合には、例えば、封止層106と保護膜114との間、または、図示しない対向基板側にカラーフィルタが配置される。このカラーフィルタに、OLED6にて生成した白色光を通すことで、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)の光を作る。
表示領域42の回路層74には、上述した画素回路8、走査信号線28、映像信号線30、駆動電源線32などが形成される。駆動部の少なくとも一部分は、基材70上に回路層74として表示領域42に隣接する領域に形成することができる。上述したように、駆動部を構成するドライバIC48やFPC50を、部品実装領域46にて、回路層74の配線116に接続することができる。
図3に示すように、基材70上には、無機絶縁材料で形成された下地層80が配置されている。無機絶縁材料としては、例えば、窒化シリコン(SiN)、酸化シリコン(SiO)およびこれらの複合体が用いられる。
表示領域42においては、下地層80を介して、基材70上には、トップゲート型のTFT72のチャネル部およびソース・ドレイン部となる半導体領域82が形成されている。半導体領域82は、例えば、ポリシリコン(p−Si)で形成される。半導体領域82は、例えば、基材70上に半導体層(p−Si膜)を設け、この半導体層をパターニングし、回路層74で用いる箇所を選択的に残すことにより形成される。
TFT72のチャネル部の上には、ゲート絶縁膜84を介してゲート電極86が配置されている。ゲート絶縁膜84は、代表的には、TEOSで形成される。ゲート電極86は、例えば、スパッタリング等で形成した金属膜をパターニングして形成される。ゲート電極86上には、ゲート電極86を覆うように層間絶縁層88が配置されている。層間絶縁層88は、例えば、上記無機絶縁材料で形成される。TFT72のソース・ドレイン部となる半導体領域82(p−Si)には、イオン注入により不純物が導入され、さらにそれらに電気的に接続されたソース電極90aおよびドレイン電極90bが形成され、TFT72が構成される。
TFT72上には、層間絶縁膜92が配置されている。層間絶縁膜92の表面には、配線94が配置される。配線94は、例えば、スパッタリング等で形成した金属膜をパターニングすることにより形成される。配線94を形成する金属膜と、ゲート電極86、ソース電極90aおよびドレイン電極90bの形成に用いた金属膜とで、例えば、配線116および図1に示した走査信号線28、映像信号線30、駆動電源線32を多層配線構造で形成することができる。この上に、平坦化膜96およびパッシベーション膜98が形成され、表示領域42において、パッシベーション膜98上にOLED6が形成されている。平坦化膜96は、例えば、樹脂材料で形成される。パッシベーション膜98は、例えば、SiN等の無機絶縁材料で形成される。
OLED6は、下部電極100、有機材料層102および上部電極104を含む。有機材料層102は、具体的には、正孔輸送層、発光層、電子輸送層等を含む。OLED6は、代表的には、下部電極100、有機材料層102および上部電極104を基材70側からこの順に積層して形成される。本実施形態では、下部電極100がOLED6の陽極(アノード)であり、上部電極104が陰極(カソード)である。
図3に示すTFT72が、nチャネルを有した駆動TFT12であるとすると、下部電極100は、TFT72のソース電極90aに接続される。具体的には、上述した平坦化膜96の形成後、下部電極100をTFT72に接続するためのコンタクトホール110が形成され、例えば、平坦化膜96表面およびコンタクトホール110内に形成した導電体部をパターニングすることにより、TFT72に接続された下部電極100が画素ごとに形成される。下部電極は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、IZO(Indium Zinc Oxide)等の透過性導電材料、Ag、Al等の金属で形成される。
上記構造上には、画素を分離するリブ112が配置されている。例えば、下部電極100の形成後、画素境界にリブ112を形成し、リブ112で囲まれた画素の有効領域(下部電極100の露出する領域)に、有機材料層102および上部電極104が積層される。上部電極104は、例えば、MgとAgの極薄合金やITO、IZO等の透過性導電材料で形成される。
上部電極104上には、表示領域42全体を覆うように封止層106が配置されている。封止層106は、第1封止膜161、封止平坦化膜160および第2封止膜162をこの順で含む積層構造を有している。第1封止膜161および第2封止膜162は、無機材料(例えば、無機絶縁材料)で形成される。具体的には、化学気相成長(CVD)法によりSiN膜を成膜することにより形成される。封止平坦化膜160は、有機材料(例えば、硬化性樹脂組成物等の樹脂材料)を用いて形成される。一方、部品実装領域46では、封止層106は配置されていない。
例えば、機械的な強度を確保するため、表示パネル40の表面に保護膜が積層される。本実施形態では、封止層106の上には表保護膜114が接着層(図示せず)を介して積層され、基材70の裏側(表保護膜114が積層される側とは反対側)には裏保護膜124が接着層(図示せず)を介して積層されている。表保護膜114は、表示領域42および表示領域42を囲む額縁領域44を覆うように積層されている。額縁領域44は、表示領域42と比較して、例えば、TFT72と、OLED6とを含まない点で異なっている。額縁領域44の回路層74には、電気配線等が形成されている。そして、回路層74の上に封止層106が配置されている。一方、部品実装領域46にはICやFPCを接続し易くするため表保護膜114を設けない。なお、部品実装領域46におけるFPC50やドライバIC48を取り付ける部分と表示領域42との間で表示パネル40を湾曲させて、FPC50などを表示領域42の裏側に折り返した状態とする場合、例えば、裏保護膜124は、湾曲部を除いた領域にのみ積層してもよい。
保護膜114,124は、後述の切断に用いられるレーザー光を透過し得る。具体的には、基材70は、保護膜114,124に比べて、切断に用いられるレーザー光をより吸収可能である。保護膜114,124は、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステル系樹脂フィルム、シクロオレフィン系樹脂フィルム等の樹脂フィルムで構成される。保護膜114,124の厚みは、例えば、50μm以上200μm以下の範囲である。
図4は、図2に示す表示パネル40の長辺側の側面の一例を示す図である。表保護膜114上には、後述の切断に用いられるレーザー光を吸収可能な光吸収層115が隣接して形成されている。具体的には、表保護膜114に比べて、切断に用いられるレーザー光をより吸収可能な光吸収層115が形成されている。本実施形態では、光吸収層115は、基材70の端面と表保護膜114の端面とが揃う辺(具体的には、矩形の表保護膜114の三辺114a,114b,114c)に形成されているが、例えば、表保護膜114全体を覆うように形成されていてもよい。
光吸収層115は、表保護膜114を構成する樹脂フィルムとは異なる組成を有する材料(代表的には、樹脂)を含む。例えば、光吸収層115は、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂等の樹脂材料を含む。光吸収層115は、例えば、基材70の厚みよりも厚くなるように形成される。具体的には、光吸収層115の厚みは、好ましくは50μm以上、さらに好ましくは60μm以上200μm以下の範囲である。
図5は、本発明の1つの実施形態における有機EL表示装置の製造方法について説明するための図である。具体的には、図5は、基材70にTFT72を含む回路層74、OLED6および封止層106などを形成した後に、基材70よりもサイズの大きい保護膜114,124が積層された積層体(表示パネル中間体と称する)を示す平面図である。
表示パネル40が得られる前の表示パネル中間体40aでは、封止層106上に接着層を介して短辺が基材70より長い矩形の表保護膜114が、部品実装領域46を除く領域に積層されている。また、基材70の裏側には、接着層を介して基材70よりもサイズの大きい矩形の裏保護膜124が積層されている。通常、接着層は、予め保護膜表面に形成されている。なお、TFT72を含む回路層74、OLED6および封止層106などの形成は、ハンドリング性等の観点から、代表的には、基板(例えば、ガラス基板)に支持された基材70に対して行う。この場合、基材70から基板を剥離した後に、基材70に裏保護膜124を積層する。
例えば、保護膜114,124にはサイズのばらつきや積層ずれがあるので、表示パネル中間体40aの端部を切断し、除去することで、均一なサイズを有する表示パネルを得ることができる。図示例では、カットラインL(L1+L2)に沿って、表示パネル中間体40aの部品実装領域46の辺を除く三辺において表保護膜114、基材70および裏保護膜124を切断し、基材70の端面と保護膜114,124の端面とを揃える。
表保護膜114上には、少なくともカットラインL上に(カットラインLに対応して)光吸収層115が形成されている。図示例では、光吸収層115は、カットラインLを覆うように、部品実装領域46に向かって開口するコ字形状に形成されている。光吸収層115は、例えば、表保護膜114の所定の領域に、光吸収層115の形成材料(例えば、樹脂組成物)を塗布し、必要に応じて加熱等の各種処理を施すことにより形成する。光吸収層115は、表保護膜114を基材70に積層する前に形成してもよいし、積層した後に形成してもよい。
表示パネル中間体40aの切断は、レーザー光照射により行う。具体的には、表示パネル中間体40aの基材70に対して光吸収層115が形成されている側から、レーザー光をカットラインLに沿って照射することにより行う。切断に用いられるレーザー光としては、例えば、基材70の材質に応じて、適宜選択され得る。例えば、基材70がポリイミドを含む場合、200nm〜400nmの範囲内の波長を有するレーザー光が選択される。
表保護膜114が存在する領域(カットラインL1)では、上述のとおり、表保護膜114上に、表保護膜114に比べて、上記切断に用いられるレーザー光をより吸収し得る光吸収層115が形成されている。したがって、照射されたレーザー光は光吸収層115に吸収され、そのエネルギー(例えば、熱)は隣接する表保護膜114に伝わり、表保護膜114が切断され得る。こうして、レーザー光が表保護膜114を透過して基材70が優先的に切断されるのを抑制し得る。その結果、基材70の切断カス(例えば、樹脂の炭化物)が基材70と表保護膜114の間に残存することなく、良好に切断され得る。表保護膜114が存在しない領域(カットラインL2)では、基材70を切断後に裏保護膜124が切断される。このように、適切な光吸収層115を形成することで、良好な切断を実現し得る。また、切断に用いるレーザー光の種類の選択幅が広がり、加工性の向上にも寄与し得る。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態で示した構成と実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。具体例としては、上記実施形態のように表保護膜114上に光吸収層115を形成するかわりに、例えば、図6に示すように、基材70と表保護膜114との間に、表保護膜114に隣接して光吸収層115を形成してもよい。この場合も、一旦、表保護膜114を透過したレーザー光が光吸収層115に吸収され、そのエネルギーは隣接する表保護膜に114に伝わり表保護膜114が切断され得、基材70が優先的に切断されるのを抑制し得る。
2 有機EL表示装置、4 画素アレイ部、6 OLED、8 画素回路、10 点灯TFT、12 駆動TFT、14 キャパシタ、20 走査線駆動回路、22 映像線駆動回路、24 駆動電源回路、26 制御装置、28 走査信号線、30 映像信号線、32 駆動電源線、40 表示パネル、42 表示領域、44 額縁領域、46 部品実装領域、48 ドライバIC、50 FPC、70 基材、72 TFT、74 回路層、80 下地層、82 半導体領域、84 ゲート絶縁膜、86 ゲート電極、88 層間絶縁層、90a ソース電極、90b ドレイン電極、92 層間絶縁膜、94 配線、96 平坦化膜、97 ダム、98 パッシベーション膜、100 下部電極、102 有機材料層、104 上部電極、106 封止層、110 コンタクトホール、112 リブ、114 表保護膜、115 光吸収層、116 配線、124 裏保護膜、160 封止平坦化膜、161 第1封止膜、162 第2封止膜。

Claims (18)

  1. 樹脂を含み、複数の画素を備える表示領域が形成された基材に、保護膜を積層して積層体を作製すること、
    少なくとも一部が前記保護膜に接する光吸収層を形成すること、および、
    前記積層体の前記基材に対して前記光吸収層が形成されている側から、前記表示領域の外側に位置する所定のラインに沿ってレーザー光を照射して、前記積層体の一部を切断すること、を含み、
    前記光吸収層は、前記保護膜に比べて前記レーザー光をより吸収可能で、
    前記所定のラインの少なくとも一部は、前記光吸収層と重なる、
    表示装置の製造方法。
  2. 前記光吸収層がアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂およびシリコーン系樹脂からなる群から選ばれる一種以上を含む、請求項1に記載の表示装置の製造方法。
  3. 前記基材は、前記保護膜に比べて前記レーザー光をより吸収可能である、請求項1または2に記載の表示装置の製造方法。
  4. 前記基材の前記表示領域を覆うように前記保護膜を積層する、請求項1から3のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
  5. 前記基材の前記表示領域が形成されていない側に前記保護膜を積層する、請求項1から4のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
  6. 前記保護膜の前記基材が配置されていない側に前記光吸収層を形成する、請求項1から5のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
  7. 前記基材と前記保護膜との間に前記光吸収層を形成する、請求項1から6のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
  8. 前記レーザー光が200nm〜400nmの範囲内の波長を有する、請求項1から7のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
  9. 前記光吸収層が、前記保護膜とは異なる組成を有する樹脂材料を含む、請求項1から8に記載の表示装置の製造方法。
  10. 樹脂を含み、複数の画素を備える表示領域が形成された基材と、
    前記基材の少なくとも片側に配置された保護膜と、
    前記保護膜に比べて所定の波長の光をより吸収可能で、前記基材の前記保護膜が配置される側に、少なくとも一部が前記保護膜に接して配置された光吸収層と、を有し、
    前記光吸収層は、少なくとも前記基材の端面と前記保護膜の端面とが揃う辺に形成されている、
    表示装置。
  11. 前記基材は、前記保護膜に比べて前記所定の波長の光をより吸収可能である、請求項10に記載の表示装置。
  12. 前記基材がポリイミドを含む、請求項10または11に記載の表示装置。
  13. 前記保護膜が、ポリエステル系樹脂フィルムおよび/またはシクロオレフィン系樹脂フィルムである、請求項10から12のいずれかに記載の表示装置。
  14. 前記光吸収層がアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂およびシリコーン系樹脂からなる群から選ばれる一種以上を含む、請求項10から13のいずれかに記載の表示装置。
  15. 前記所定の波長の光が200nm〜400nmの範囲内の波長を含む、請求項10から14のいずれかに記載の表示装置。
  16. 前記光吸収層が、前記保護膜の全体を覆う、請求項10から15のいずれかに記載の表示装置。
  17. 前記光吸収層が、前記保護膜の前記基材とは反対の側に位置する、請求項10から16のいずれかに記載の表示装置。
  18. 前記光吸収層が、前記保護膜と前記基材との間に位置する、請求項10から16のいずれかに記載の表示装置。
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