JP2019042620A

JP2019042620A - Droplet discharge device

Info

Publication number: JP2019042620A
Application number: JP2017165248A
Authority: JP
Inventors: 圭吾須貝; Keigo Sukai; 酒井　寛文; Hirobumi Sakai; 寛文酒井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2017-08-30
Filing date: 2017-08-30
Publication date: 2019-03-22

Abstract

【課題】吐出された液滴が形成する線の幅を一定に保つ技術を提供する。【解決手段】液滴吐出装置は、マニピュレーターと、液滴を吐出するためのノズルであって、前記マニピュレーターにより移動可能なノズルと、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室の容積を変更する容積変更部と、前記圧力室の容積を小さくする圧力上昇動作を行った後、前記圧力室の圧力を緩和させる圧力緩和動作を行うことにより、前記ノズルから前記液滴を吐出させる制御を行うとともに、前記ノズルの移動速度に応じて前記圧力緩和動作の時期を調整することにより、前記液滴の吐出量を調整する制御を行う制御部と、を備える。【選択図】図６A technique for keeping the width of a line formed by discharged droplets constant is provided. A droplet discharge device includes a manipulator, a nozzle for discharging a droplet, a nozzle movable by the manipulator, a pressure chamber communicating with the nozzle, and a volume of the pressure chamber is changed. A volume changing unit that performs a pressure increase operation that reduces the volume of the pressure chamber, and then performs a pressure relaxation operation that reduces the pressure of the pressure chamber, thereby performing control to discharge the droplets from the nozzle. And a control unit that performs control to adjust the discharge amount of the droplets by adjusting the timing of the pressure relaxation operation according to the moving speed of the nozzle. [Selection] Figure 6

Description

本発明は、液滴吐出装置に関する。 The present invention relates to a droplet discharge device.

特許文献１には、液体を塗布する予定の線に沿ってノズルを移動させながら、ノズルから液体を吐出させる液体吐出装置が記載されている。特許文献１に記載の液体吐出装置は、ノズルに連通する流路内に設けられたロッドを回転させることによって液体がノズルから押し出されることにより、液体を連続的に吐出する。そして、特許文献１に記載の液体吐出装置は、吐出された液体が形成する線の幅が一定となるように、ロッドの回転速度を調整することによって液体の吐出量を調整している。 Patent Document 1 describes a liquid discharge apparatus that discharges a liquid from a nozzle while moving the nozzle along a line to which the liquid is to be applied. In the liquid discharge device described in Patent Document 1, the liquid is continuously discharged by pushing the liquid from the nozzle by rotating the rod provided in the flow path communicating with the nozzle. And the liquid discharge apparatus of patent document 1 adjusts the discharge amount of the liquid by adjusting the rotational speed of a rod so that the width | variety of the line which the discharged liquid forms may become fixed.

特開昭６２−２６９７７１号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-26977

しかし、特許文献１に記載の液体吐出装置は、液体を連続的に吐出する装置であるため、吐出された液体とノズル内の液体とを分離させることによって液滴を吐出することについては考慮されていなかった。このため、吐出された液滴が形成する線の幅を一定に保つ技術が望まれていた。 However, since the liquid discharge device described in Patent Document 1 discharges liquid continuously, it is considered to discharge droplets by separating the discharged liquid and the liquid in the nozzle. It was not. For this reason, a technique for keeping the width of the line formed by the ejected droplet constant has been desired.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。 The present invention has been made to solve at least a part of the above-mentioned problems, and can be realized as the following modes.

（１）本発明の一形態によれば、液滴吐出装置が提供される。この液滴吐出装置は、マニピュレーターと、液滴を吐出するためのノズルであって、前記マニピュレーターにより移動可能なノズルと、前記ノズルに連通する圧力室と、前記圧力室の容積を変更する容積変更部と、前記圧力室の容積を小さくする圧力上昇動作を行った後、前記圧力室の圧力を緩和させる圧力緩和動作を行うことにより、前記ノズルから前記液滴を吐出させる制御を行うとともに、前記ノズルの移動速度に応じて前記圧力緩和動作の時期を調整することにより、前記液滴の吐出量を調整する制御を行う制御部と、を備える。このような形態の液滴吐出装置によれば、ノズルの移動速度に応じて液滴の吐出量を調整することにより、吐出された液滴が形成する線の幅を一定に保つことができる。 (1) According to one aspect of the present invention, a droplet discharge device is provided. This droplet discharge device is a manipulator and a nozzle for discharging droplets, and the nozzle movable by the manipulator, the pressure chamber communicated with the nozzle, and the volume change for changing the volume of the pressure chamber After performing the pressure raising operation for reducing the volume of the pressure chamber and the pressure chamber, the pressure relief operation for relieving the pressure of the pressure chamber is performed to control the discharge of the droplets from the nozzle, and And a control unit configured to perform control to adjust the discharge amount of the droplet by adjusting the timing of the pressure reducing operation according to the moving speed of the nozzle. According to the droplet discharge device of such a form, the width of the line formed by the discharged droplet can be kept constant by adjusting the discharge amount of the droplet according to the moving speed of the nozzle.

（２）上記形態の液滴吐出装置において、さらに、前記圧力室に液体を供給する供給流路と、前記供給流路と前記圧力室との連通を遮断する遮断部と、を備え、前記制御部は、前記遮断部を制御することによって前記供給流路と前記圧力室とを遮断した状態において、前記圧力上昇動作を行ってもよい。このような液滴吐出装置によれば、容積変更部が圧力室へ与える圧力を、効率的に液体に伝えることができる。 (2) The droplet discharge device according to the above aspect further includes a supply flow path for supplying a liquid to the pressure chamber, and a blocking unit for blocking communication between the supply flow path and the pressure chamber, the control The unit may perform the pressure increase operation in a state in which the supply flow path and the pressure chamber are shut off by controlling the shutoff unit. According to such a droplet discharge device, the pressure which the volume change section applies to the pressure chamber can be efficiently transmitted to the liquid.

（３）上記形態の液滴吐出装置において、前記制御部は、前記容積変更部により前記圧力室の容積を大きくするとともに、前記遮断部により前記供給流路と前記圧力室とを連通させることにより、前記圧力緩和動作を行ってもよい。このような形態の液滴吐出装置によれば、圧力緩和動作において、より確実に圧力室の圧力を緩和できる。 (3) In the droplet discharge device of the above aspect, the control unit increases the volume of the pressure chamber by the volume change unit, and causes the blocking unit to communicate the supply flow path with the pressure chamber. The pressure relief operation may be performed. According to the droplet discharge device of this type, the pressure in the pressure chamber can be more reliably relieved in the pressure relieving operation.

（４）上記形態の液滴吐出装置において、さらに、前記マニピュレーターの位置を検出する位置センサーを備え、前記制御部は、前記位置センサーの出力から前記ノズルの移動速度を計算し、算出された前記ノズルの移動速度に応じて前記圧力緩和動作の時期を調整してもよい。このような形態の液滴吐出装置によれば、液滴を吐出する位置の精度を向上できる。 (4) The droplet discharge device according to the above aspect further includes a position sensor that detects the position of the manipulator, and the control unit calculates the movement speed of the nozzle from the output of the position sensor, and the calculated The timing of the pressure relief operation may be adjusted according to the moving speed of the nozzle. According to the droplet discharge device of such a form, it is possible to improve the accuracy of the position at which the droplet is discharged.

（５）上記形態の液滴吐出装置において、前記制御部は、前記マニピュレーターの動作プログラムを備え、前記制御部は、前記動作プログラムから前記ノズルの移動速度を計算し、前記圧力上昇動作を行う前に、算出された前記ノズルの移動速度に応じて前記圧力緩和動作の時期を決定してもよい。このような形態の液滴吐出装置によれば、液滴吐出時における計算処理を軽減できる。 (5) In the droplet discharge device of the above aspect, the control unit includes an operation program of the manipulator, and the control unit calculates the moving speed of the nozzle from the operation program, and performs the pressure increase operation. The timing of the pressure relief operation may be determined according to the calculated moving speed of the nozzle. According to the droplet discharge device of such a form, calculation processing at the time of droplet discharge can be reduced.

本発明は、上述した液滴吐出装置としての形態以外にも、種々の形態で実現することが可能である。例えば、液滴吐出装置によって実行される液体吐出方法や、液滴吐出装置を制御するためのコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムが記録された一時的でない有形な記録媒体等の形態で実現することができる。 The present invention can be realized in various forms other than the form as the droplet discharge device described above. For example, the present invention can be realized in the form of a liquid discharge method executed by a droplet discharge device, a computer program for controlling a droplet discharge device, or a non-transitory tangible recording medium in which the computer program is recorded. .

本発明の第１実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す説明図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Explanatory drawing which shows schematic structure of the droplet discharge apparatus in 1st Embodiment of this invention. ヘッド部の概略構成を示す断面図。Sectional drawing which shows schematic structure of a head part. 液滴の吐出制御処理を表すタイミングチャート。7 is a timing chart showing droplet discharge control processing. 液滴吐出装置の概略図を示す図。FIG. 2 is a schematic view of a droplet discharge device. 圧力緩和動作の時期と液滴の吐出量との関係を示す図。The figure which shows the relationship between the time of pressure relaxation operation, and the discharge amount of a droplet. ノズルの移動速度と液滴の吐出量との関係を示す図。FIG. 6 is a view showing the relationship between the movement speed of a nozzle and the discharge amount of droplets. 液滴によって直角に折れ曲がる線を基材に描いた様子を示す図。The figure which shows a mode that the line which bends at right angles by a droplet was drawn on the base material. 第２実施形態における液滴の吐出制御処理を表すタイミングチャート。The timing chart showing discharge control processing of the droplet in a 2nd embodiment. 第３実施形態における液滴の吐出制御処理を表すタイミングチャート。The timing chart showing the discharge control processing of the droplet in a 3rd embodiment.

Ａ．第１実施形態：
Ａ１．液滴吐出装置の構成：
図１は、本発明の第１実施形態における液滴吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。液滴吐出装置１００は、タンク１０と、加圧ポンプ２０と、供給流路３０と、ヘッド部２００と、制御部４０と、を備える。本実施形態では、液滴吐出装置１００は、インクを吐出する装置である。 A. First embodiment:
A1. Configuration of droplet discharge device:
FIG. 1 is an explanatory view showing a schematic configuration of a droplet discharge device 100 according to a first embodiment of the present invention. The droplet discharge device 100 includes a tank 10, a pressure pump 20, a supply flow path 30, a head unit 200, and a control unit 40. In the present embodiment, the droplet discharge device 100 is a device that discharges ink.

タンク１０には液体が収容されている。液体としては、例えば、所定の粘度を有するインクが例示できる。所定の粘度としては、室温（２５℃）にて５０ｍＰａ・ｓ以上４０，０００ｍＰａ・ｓ以下が例示できる。タンク１０内の液体は、加圧ポンプ２０により供給流路３０を通じてヘッド部２００に供給される。加圧ポンプ２０は、例えば、１０ｋＰａから１０ＭＰａの圧力を液体に付与する。ヘッド部２００に供給された液体は、ヘッド部２００により吐出される。ヘッド部２００の動作は、制御部４０により制御される。 The tank 10 contains a liquid. As the liquid, for example, an ink having a predetermined viscosity can be exemplified. As predetermined viscosity, 50 mPa * s or more and 40,000 mPa * s or less can be illustrated at room temperature (25 degreeC). The liquid in the tank 10 is supplied to the head unit 200 through the supply flow path 30 by the pressurizing pump 20. The pressurizing pump 20 applies a pressure of, for example, 10 kPa to 10 MPa to the liquid. The liquid supplied to the head unit 200 is discharged by the head unit 200. The operation of the head unit 200 is controlled by the control unit 40.

制御部４０は、ＣＰＵやメモリーを備えたコンピューターとして構成されており、メモリーに記憶された制御プログラムを実行することにより、種々の処理を実現する。制御プログラムは、一時的でない有形な種々の記録媒体に記録されていてもよい。 The control unit 40 is configured as a computer including a CPU and a memory, and realizes various processes by executing a control program stored in the memory. The control program may be recorded on various non-temporary tangible recording media.

図２は、ヘッド部２００の概略構成を示す断面図である。ヘッド部２００は、ノズル２１１と、圧力室２１０と、容積変更部２２０と、遮断部２３０と、アクチュエーター２４０と、を備える。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the head unit 200. As shown in FIG. The head unit 200 includes a nozzle 211, a pressure chamber 210, a volume changing unit 220, a blocking unit 230, and an actuator 240.

圧力室２１０は、液体が供給される部屋である。圧力室２１０は、液滴を外部に吐出するためのノズル２１１に連通している。圧力室２１０およびノズル２１１は、後述するマニピュレーターにより移動可能である。 The pressure chamber 210 is a chamber to which liquid is supplied. The pressure chamber 210 is in communication with a nozzle 211 for discharging a droplet to the outside. The pressure chamber 210 and the nozzle 211 can be moved by a manipulator described later.

圧力室２１０は、供給流路３０から液体が供給される。本実施形態では、供給流路３０は、圧力室２１０の重力方向における上側に設けられている。このようにすることにより、圧力室２１０の上端まで確実に液体を供給できるとともに、圧力室２１０の中でノズル２１１から最も離れた位置となることによりノズル２１１から侵入した気泡が供給流路３０まで到達することを抑制できる。 The pressure chamber 210 is supplied with liquid from the supply flow path 30. In the present embodiment, the supply flow passage 30 is provided on the upper side in the gravity direction of the pressure chamber 210. In this way, the liquid can be reliably supplied up to the upper end of the pressure chamber 210, and the air bubbles entering from the nozzle 211 can be supplied to the supply flow path 30 by becoming the position farthest from the nozzle 211 in the pressure chamber 210. It can suppress reaching.

遮断部２３０は、供給流路３０と圧力室２１０との連通を遮断する部材である。ここで、「連通」とは「流体が流通できるように連なっていること」を示す。遮断部２３０と供給流路３０との間には、液体の漏洩を抑制する観点から、シール部材２１５が設けられている。本実施形態では、遮断部２３０は、アクチュエーター２４０と接しており、アクチュエーター２４０により圧力室２１０に対してスライド移動可能な部材である。本実施形態では、アクチュエーター２４０として、ピエゾアクチュエーターを用いる。アクチュエーター２４０は、制御部４０により駆動される。 The blocking unit 230 is a member that blocks the communication between the supply flow passage 30 and the pressure chamber 210. Here, "communication" indicates that "the fluid is connected so as to be able to flow". A seal member 215 is provided between the blocking portion 230 and the supply flow path 30 from the viewpoint of suppressing the leakage of the liquid. In the present embodiment, the blocking portion 230 is in contact with the actuator 240 and is a member that can slide relative to the pressure chamber 210 by the actuator 240. In the present embodiment, a piezo actuator is used as the actuator 240. The actuator 240 is driven by the control unit 40.

図２は、圧力室２１０と供給流路３０との間が連通している状態を示す。本実施形態では、制御部４０がアクチュエーター２４０を制御することによって、アクチュエーター２４０を遮断部２３０に向かって伸ばすことにより、遮断部２３０の連通孔２３５が圧力室２１０に対して相対移動することにより、圧力室２１０と供給流路３０との間の連通が遮断される。 FIG. 2 shows a state in which the pressure chamber 210 and the supply flow path 30 are in communication with each other. In the present embodiment, when the control unit 40 controls the actuator 240 to extend the actuator 240 toward the blocking unit 230, the communication hole 235 of the blocking unit 230 moves relative to the pressure chamber 210. The communication between the pressure chamber 210 and the supply flow path 30 is cut off.

図２に示すように圧力室２１０の一壁面は、容積変更部２２０により構成されている。容積変更部２２０は、圧力室の容積を変更する部材である。本実施形態では、容積変更部２２０は、圧力室２１０の容積を小さくする圧力上昇動作を行った後、圧力室２１０の圧力を緩和させる圧力緩和動作を行うことにより、ノズル２１１から液滴を吐出させる。液体の漏洩を抑制する観点から、圧力室２１０の一壁面を構成する容積変更部２２０と圧力室２１０の他の壁面を構成する部材との間には、シール部材２２５が設けられている。 As shown in FIG. 2, one wall surface of the pressure chamber 210 is configured by a volume changing unit 220. The volume changer 220 is a member that changes the volume of the pressure chamber. In the present embodiment, after performing the pressure raising operation to reduce the volume of the pressure chamber 210, the volume changing unit 220 discharges droplets from the nozzle 211 by performing the pressure relaxing operation to relieve the pressure of the pressure chamber 210. Let From the viewpoint of suppressing the leakage of the liquid, a seal member 225 is provided between the volume changing portion 220 constituting one wall surface of the pressure chamber 210 and the member constituting the other wall surface of the pressure chamber 210.

本実施形態では、容積変更部２２０は、振動板２２２と、ピエゾアクチュエーター２２４とを備える。容積変更部２２０は、制御部４０により駆動される。制御部４０は、ピエゾアクチュエーター２２４を制御することによって、振動板２２２を圧力室２１０の内部に向けて変位させることにより、圧力室２１０の容積を小さくし、圧力室２１０内の圧力を高める圧力上昇動作を行う。そして、制御部４０は、ピエゾアクチュエーター２２４を制御することによって、振動板２２２を圧力室２１０の外部に向けて変位させることにより、圧力室２１０の容積を大きくし、圧力室２１０内の圧力を緩和させる圧力緩和動作を行う。これらの動作により、圧力室２１０内の液体がノズル２１１から液滴として吐出される。 In the present embodiment, the volume changing unit 220 includes a vibrating plate 222 and a piezo actuator 224. The volume change unit 220 is driven by the control unit 40. The control unit 40 controls the piezo actuator 224 to displace the diaphragm 222 toward the inside of the pressure chamber 210, thereby reducing the volume of the pressure chamber 210 and increasing the pressure in the pressure chamber 210. Do the action. Then, the control unit 40 controls the piezo actuator 224 to displace the diaphragm 222 toward the outside of the pressure chamber 210, thereby increasing the volume of the pressure chamber 210 and relieving the pressure in the pressure chamber 210. The pressure relief operation is performed. By these operations, the liquid in the pressure chamber 210 is discharged from the nozzle 211 as a droplet.

図３は、液滴の吐出制御処理を表すタイミングチャートである。図３において、横軸は時間を示し、縦軸は、上から順に、遮断部２３０の開閉と、圧力室２１０の容積の変化とを示す。図３では、遮断部２３０と容積変更部２２０との駆動信号のレベルが描かれている。図３には、液滴を一滴吐出する際の吐出制御処理が示されている。このため、液滴を連続的に吐出する場合、制御部４０により、吐出制御処理が連続して繰り返し行われる。 FIG. 3 is a timing chart showing the droplet discharge control process. In FIG. 3, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the opening and closing of the blocking portion 230 and the change in volume of the pressure chamber 210 in order from the top. In FIG. 3, the levels of drive signals of the blocking unit 230 and the volume changing unit 220 are illustrated. FIG. 3 shows a discharge control process when discharging one droplet. For this reason, in the case where droplets are continuously discharged, the control unit 40 continuously and repeatedly performs the discharge control process.

本実施形態では、まず、時間ｔ１１から時間ｔ１２において、制御部４０は、容積変更部２２０により圧力室２１０の容積を小さくする圧力上昇動作を行う。ここで、圧力上昇動作は、遮断部２３０によって供給流路３０と圧力室２１０とを遮断した状態において行われる。そして、時間ｔ１３から時間ｔ１４において、制御部４０は、容積変更部２２０により圧力室２１０の容積を大きくすることにより、圧力室２１０の圧力を緩和させる圧力緩和動作を行う。その後、時間ｔ１５から時間ｔ１６において、制御部４０は、遮断部２３０により供給流路３０と圧力室２１０とを連通させることにより、圧力室２１０へ液体を供給し、時間ｔ１７から時間ｔ１８において、遮断部２３０により供給流路３０と圧力室２１０とを遮断する。 In the present embodiment, first, from time t11 to time t12, the control unit 40 performs the pressure increase operation to reduce the volume of the pressure chamber 210 by the volume change unit 220. Here, the pressure raising operation is performed in a state where the supply flow path 30 and the pressure chamber 210 are cut off by the blocking unit 230. Then, from time t13 to time t14, the control unit 40 performs the pressure relaxation operation for relaxing the pressure of the pressure chamber 210 by increasing the volume of the pressure chamber 210 by the volume change unit 220. Thereafter, from time t15 to time t16, the control unit 40 supplies the liquid to the pressure chamber 210 by connecting the supply flow passage 30 and the pressure chamber 210 by the blocking unit 230, and shuts off at time t17 to time t18. The supply flow path 30 and the pressure chamber 210 are shut off by the portion 230.

図４は、マニピュレーター２５０を含む液滴吐出装置１００の概略図を示す図である。ヘッド部２００は、マニピュレーター２５０と接続されている。このため、ヘッド部２００の圧力室２１０およびノズル２１１は、移動可能となる。マニピュレーター２５０は、制御部４０により制御される。本実施形態では、マニピュレーター２５０として、垂直多関節ロボットを用いるが、これに限られず、例えば、水平多関節ロボット、パラレルリンクロボット、直交ロボット等の他のロボットや、ＸＹステージやＸＹＺステージなどの他の移動機構を用いてもよい。本実施形態では、マニピュレーター２５０によりヘッド部２００は、互いに直交する方向であるＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に移動可能である。 FIG. 4 is a schematic view of the droplet discharge device 100 including the manipulator 250. As shown in FIG. The head unit 200 is connected to the manipulator 250. Thus, the pressure chamber 210 and the nozzle 211 of the head unit 200 can move. The manipulator 250 is controlled by the control unit 40. In the present embodiment, a vertical articulated robot is used as the manipulator 250. However, the present invention is not limited to this. For example, other robots such as a horizontal articulated robot, parallel link robot, orthogonal robot, and others such as XY stage and XYZ stage A moving mechanism of In the present embodiment, the head unit 200 is movable by the manipulator 250 in the X direction, the Y direction, and the Z direction which are directions orthogonal to each other.

本実施形態では、制御部４０は、マニピュレーター２５０の動作プログラム４２を備える。制御部４０は、動作プログラム４２からノズル２１１の移動速度を計算し、圧力上昇動作を行う前に、算出された移動速度に応じて圧力緩和動作の時期を決定することも可能である。このようにすることにより、液滴吐出時における計算処理を軽減できる。 In the present embodiment, the control unit 40 includes an operation program 42 of the manipulator 250. The control unit 40 can also calculate the moving speed of the nozzle 211 from the operation program 42, and determine the timing of the pressure relief operation according to the calculated moving speed before performing the pressure raising operation. By doing this, it is possible to reduce the calculation processing at the time of droplet discharge.

また、本実施形態では、マニピュレーター２５０は、マニピュレーター２５０の位置を検出する位置センサー２５２を備える。制御部４０は、位置センサー２５２の出力からノズル２１１の移動速度を計算し、算出された移動速度に応じて圧力緩和動作の時期を調整することも可能である。このようにすることにより、液滴を吐出する位置の精度を向上できる。 Further, in the present embodiment, the manipulator 250 includes a position sensor 252 that detects the position of the manipulator 250. The control unit 40 can also calculate the moving speed of the nozzle 211 from the output of the position sensor 252, and adjust the timing of the pressure relief operation according to the calculated moving speed. By doing this, it is possible to improve the accuracy of the position where the droplet is discharged.

本実施形態の液滴吐出装置１００は、ノズル２１１の移動速度に応じて圧力緩和動作の時期を調整することにより、液滴の吐出量を調整する。まず、圧力緩和動作の時期を調整することにより、液滴の吐出量を調整するメカニズムについて説明する。 The droplet discharge device 100 according to the present embodiment adjusts the discharge amount of droplets by adjusting the timing of the pressure relaxation operation according to the moving speed of the nozzle 211. First, a mechanism for adjusting the discharge amount of the droplet by adjusting the timing of the pressure relaxation operation will be described.

図５は、圧力緩和動作の時期と液滴の吐出量との関係を示す図である。横軸は時間を示し、縦軸は、上から順に、圧力室２１０内の圧力と、容積変更部２２０のピエゾアクチュエーター２２４の駆動電圧とを示す。ここで、ピエゾアクチュエーター２２４は、電圧が印加されることにより伸長し、電圧が大きくなるほど伸長する長さが長くなる。 FIG. 5 is a view showing the relationship between the timing of the pressure relief operation and the discharge amount of the droplet. The horizontal axis indicates time, and the vertical axis indicates the pressure in the pressure chamber 210 and the drive voltage of the piezo actuator 224 of the volume change unit 220 in order from the top. Here, the piezo actuator 224 expands when a voltage is applied, and as the voltage increases, the length of expansion increases.

図５において、まず、時間ｔ１において、制御部４０は、ピエゾアクチュエーター２２４への電圧の印加を開始する。これによって、ピエゾアクチュエーター２２４が伸び、圧力室２１０内の容積が小さくなるとともに、圧力室２１０内の圧力が大きくなる。ここで、制御部４０により圧力室２１０内の容積を小さくする動作が、圧力上昇動作である。 In FIG. 5, first, at time t1, the control unit 40 starts application of a voltage to the piezo actuator 224. As a result, the piezo actuator 224 is extended, the volume in the pressure chamber 210 is reduced, and the pressure in the pressure chamber 210 is increased. Here, the operation of reducing the volume in the pressure chamber 210 by the control unit 40 is a pressure increase operation.

そして、時間ｔ２以降において、ピエゾアクチュエーター２２４の駆動電圧は一定に保たれるため、圧力室２１０内の容積は一定に保たれるが、ノズル２１１から液体の一部が露出し始める時間ｔ３まで圧力室２１０内の圧力は上昇する。その後、ノズル２１１から液体の一部が徐々に露出していくことによって、圧力室２１０内の圧力は徐々に減少していく。そして、適切な時期に、制御部４０により圧力室２１０の容積を大きくすることによって、ノズル２１１内の液体が圧力室２１０へ引き戻されて、ノズル２１１内の液体とノズル２１１から露出した液体とが分離することにより、所望のサイズの液滴が吐出される。ここで、制御部４０により圧力室２１０の圧力を緩和させる動作が、圧力緩和動作である。本実施形態では、圧力緩和動作は、制御部４０が容積変更部２２０を制御することにより行われる。具体的には、制御部４０が、容積変更部２２０のピエゾアクチュエーター２２４への電圧の印加を止めることによって、圧力室２１０の容積が大きくなることにより、圧力室２１０内の圧力が緩和される。 Since the drive voltage of the piezo actuator 224 is kept constant after time t2, the volume in the pressure chamber 210 is kept constant, but the pressure is maintained until time t3 when part of the liquid starts to be exposed from the nozzle 211. The pressure in the chamber 210 rises. After that, a part of the liquid is gradually exposed from the nozzle 211, whereby the pressure in the pressure chamber 210 gradually decreases. Then, by increasing the volume of the pressure chamber 210 by the control unit 40 at an appropriate time, the liquid in the nozzle 211 is pulled back to the pressure chamber 210, and the liquid in the nozzle 211 and the liquid exposed from the nozzle 211 are By separation, droplets of a desired size are ejected. Here, the operation of relieving the pressure of the pressure chamber 210 by the control unit 40 is a pressure relieving operation. In the present embodiment, the pressure reducing operation is performed by the control unit 40 controlling the volume changing unit 220. Specifically, when the control unit 40 stops the application of the voltage to the piezo actuator 224 of the volume change unit 220, the volume of the pressure chamber 210 is increased, whereby the pressure in the pressure chamber 210 is alleviated.

圧力上昇動作から圧力緩和動作までの時間を短くするほど、つまり、圧力緩和動作の時期を早めるほど、ノズル２１１から露出した液体の量が少ないため、吐出される液滴のサイズが小さくなる。一方、圧力上昇動作から圧力緩和動作までの時間を長くするほど、つまり、圧力緩和動作の時期を遅らせるほど、ノズル２１１から露出した液体の量が多くなるため、吐出される液滴のサイズが大きくなる。図５では、時間ｔ４において圧力緩和動作が開始された場合における液滴サイズが最も小さく、この液滴サイズが液滴サイズ１と示されている。一方、時間ｔ５において圧力緩和動作が開始された場合における液滴サイズが最も大きく、この液滴サイズが液滴サイズ６と示されている。なお、液滴サイズは６つに限られず、適宜調整可能である。 As the time from the pressure rising operation to the pressure relieving operation is shortened, that is, as the timing of the pressure relieving operation is advanced, since the amount of the liquid exposed from the nozzle 211 is small, the size of the ejected droplet becomes smaller. On the other hand, the amount of liquid exposed from the nozzle 211 increases as the time from the pressure rising operation to the pressure relieving operation is lengthened, that is, as the timing of the pressure relieving operation is delayed, the size of the discharged droplet increases. Become. In FIG. 5, the droplet size is smallest when the pressure relaxation operation is started at time t4, and this droplet size is shown as droplet size 1. On the other hand, when the pressure relaxation operation is started at time t5, the droplet size is the largest, and this droplet size is shown as droplet size 6. The droplet size is not limited to six, and can be appropriately adjusted.

上述したように、圧力緩和動作の時期を調整することにより、液滴の吐出量を調整することができる。次に、ノズル２１１の移動速度と圧力緩和動作の時期との関係について説明する。 As described above, the discharge amount of the droplet can be adjusted by adjusting the timing of the pressure relaxation operation. Next, the relationship between the moving speed of the nozzle 211 and the timing of the pressure reducing operation will be described.

図６は、ノズル２１１の移動速度と液滴の吐出量との関係を示す図である。具体的には、図６は、連続的に吐出される液滴によって直角に折れ曲がる線を基材に描く際におけるノズル２１１の移動速度と液滴の吐出量との関係を示す。図６において、横軸は時間を示し、縦軸は、ノズル２１１の移動速度を示す。また、図６において、各時間において吐出される液滴サイズを紙面上側に記載する。 FIG. 6 is a view showing the relationship between the moving speed of the nozzle 211 and the discharge amount of the droplet. Specifically, FIG. 6 shows the relationship between the moving speed of the nozzle 211 and the discharge amount of the droplet when drawing a line on the substrate which is bent at a right angle by the continuously discharged droplet. In FIG. 6, the horizontal axis indicates time, and the vertical axis indicates the moving speed of the nozzle 211. Moreover, in FIG. 6, the droplet size discharged in each time is described on the paper surface upper side.

連続的に吐出される液滴によって直角に折れ曲がる線を基材に描く際、まず、第１の直線部分Ｒ１が描かれた後、カーブ部分Ｒ２が描かれ、最後に第２の直線部分Ｒ３が描かれる。具体的には、まず、制御部４０は、ノズル２１１の移動を開始させた後、第１の直線部分Ｒ１において、ノズル２１１の移動速度を加速させる。そして、制御部４０は、カーブ部分Ｒ２に差し掛かる手前からノズル２１１の移動速度を減速し、カーブ部分Ｒ２を超えたあたりから第２の直線部分Ｒ３にかけてノズル２１１の移動速度を加速させる。そして、制御部４０は、ノズル２１１の移動速度を減速させて、ノズル２１１の移動を停止させる。 When drawing a line which bends at a right angle on the substrate by droplets discharged continuously, first, after drawing a first straight line part R1, a curve part R2 is drawn and finally a second straight line part R3 be painted. Specifically, first, after starting the movement of the nozzle 211, the control unit 40 accelerates the movement speed of the nozzle 211 in the first linear portion R1. Then, the control unit 40 decelerates the moving speed of the nozzle 211 from near the curve part R2 and accelerates the moving speed of the nozzle 211 from the point beyond the curve part R2 to the second straight part R3. Then, the control unit 40 decelerates the moving speed of the nozzle 211 and stops the movement of the nozzle 211.

本実施形態では、ノズル２１１の移動速度が速いほど、圧力上昇動作から圧力緩和動作までの時間を長くすることにより、液滴サイズを大きくする。一方、ノズル２１１の移動速度が遅いほど、圧力上昇動作から圧力緩和動作までの時間を短くすることにより、液滴サイズを小さくする。 In the present embodiment, as the moving speed of the nozzle 211 is higher, the droplet size is increased by lengthening the time from the pressure increase operation to the pressure relaxation operation. On the other hand, as the moving speed of the nozzle 211 is slower, the droplet size is made smaller by shortening the time from the pressure rising operation to the pressure relaxing operation.

図７は、連続的に吐出される液滴によって直角に折れ曲がる線を基材に描いた様子を示す図である。紙面上側には、本実施形態のように、ノズル２１１の移動速度に応じて圧力緩和動作の時期を調整する場合を示し、紙面下側には、比較例として、ノズル２１１の移動速度にかかわらず圧力緩和動作の時期を一定とする場合を示す。また、紙面左側には、各位置において吐出された複数の液滴を示し、紙面右側には、各位置において吐出された複数の液滴が結合することによって描かれた線を示す。 FIG. 7 is a diagram showing a line drawn on a substrate at right angles by continuously discharged droplets. The upper side of the drawing shows the case of adjusting the timing of the pressure relaxation operation according to the moving speed of the nozzle 211 as in this embodiment, and the lower side of the drawing shows the moving speed of the nozzle 211 as a comparative example. The case where the time of pressure relief operation is fixed is shown. The left side of the drawing shows a plurality of droplets ejected at each position, and the right side of the drawing shows a line drawn by the combination of a plurality of droplets ejected at each position.

ノズル２１１の移動速度にかかわらず圧力緩和動作の時期を一定とする場合、比較例に示すように、ノズル２１１の移動開始部分や移動終了部分やカーブ部分などのノズル２１１の移動速度が減速される部分において、線幅が大きくなってしまう。一方、本実施形態のように、ノズル２１１の移動速度に応じて圧力緩和動作の時期を調整する場合、線幅は一定となる。 When the timing of the pressure relaxation operation is constant regardless of the moving speed of the nozzle 211, as shown in the comparative example, the moving speed of the nozzle 211 such as the movement start portion, the movement end portion and the curve portion of the nozzle 211 is reduced. In the part, the line width becomes large. On the other hand, when the timing of the pressure relaxation operation is adjusted according to the moving speed of the nozzle 211 as in the present embodiment, the line width is constant.

以上の説明のとおり、第１実施形態の液滴吐出装置１００では、ノズル２１１の移動速度に応じて圧力緩和動作の時期を調整することにより、液滴の吐出量を調整する。このため、ノズル２１１の移動速度が変化することによって液滴の吐出量がばらつくことを抑制できるため、吐出された複数の液滴が結合することによって描かれた線の幅を一定に保つことができる。 As described above, the droplet discharge device 100 according to the first embodiment adjusts the discharge amount of droplets by adjusting the timing of the pressure relaxation operation according to the moving speed of the nozzle 211. For this reason, since variation in the discharge amount of the droplets can be suppressed by changing the moving speed of the nozzle 211, the width of the drawn line can be kept constant by combining the plurality of discharged droplets. it can.

また、第１実施形態の液滴吐出装置１００において、制御部４０は、遮断部２３０を制御することによって供給流路３０と圧力室２１０とを遮断した状態において、圧力上昇動作を行う。このようにすることにより、容積変更部２２０が圧力室２１０へ与える圧力を、効率的に液体に伝えることができる。 Further, in the droplet discharge device 100 according to the first embodiment, the control unit 40 performs the pressure increase operation in a state in which the supply flow path 30 and the pressure chamber 210 are blocked by controlling the blocking unit 230. By doing this, the pressure that the volume changer 220 applies to the pressure chamber 210 can be efficiently transmitted to the liquid.

また、液滴吐出装置１００は、供給流路３０と圧力室２１０とを遮断する遮断部２３０を備えるため、圧力室２１０に液体を充填する時期を調整することができるとともに、供給流路３０内の圧力を予め高くすることによって、液体の充填時間を短くすることができる。 In addition, since the droplet discharge device 100 includes the blocking unit 230 that blocks the supply flow passage 30 and the pressure chamber 210, it is possible to adjust the timing of filling the pressure chamber 210 with the liquid, and the inside of the supply flow passage 30. The filling time of the liquid can be shortened by raising the pressure in advance.

Ｂ．第２実施形態：
図８は、第２実施形態における液滴の吐出制御処理を表すタイミングチャートである。第１実施形態では、図３で説明したように、圧力緩和動作は、容積変更部２２０が制御されることにより行われる。一方、第２実施形態では、圧力緩和動作は、容積変更部２２０の代わりに遮断部２３０が制御されることにより行われる。 B. Second embodiment:
FIG. 8 is a timing chart showing the droplet discharge control process in the second embodiment. In the first embodiment, as described with reference to FIG. 3, the pressure reducing operation is performed by controlling the volume changing unit 220. On the other hand, in the second embodiment, the pressure relief operation is performed by controlling the shutoff unit 230 instead of the volume change unit 220.

図８において、横軸は時間を示し、縦軸は、上から順に、遮断部２３０の開閉と、圧力室２１０の容積の変化とを示す。第２実施形態では、第１実施形態と同様に、時間ｔ２１から時間ｔ２２において、制御部４０は、圧力上昇動作として、容積変更部２２０により圧力室２１０の容積を小さくする。ここで、圧力上昇動作は、遮断部２３０によって供給流路３０と圧力室２１０とを遮断した状態において行われる。 In FIG. 8, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the opening and closing of the blocking portion 230 and the change in volume of the pressure chamber 210 in order from the top. In the second embodiment, as in the first embodiment, from time t21 to time t22, the control unit 40 decreases the volume of the pressure chamber 210 by the volume change unit 220 as a pressure increase operation. Here, the pressure raising operation is performed in a state where the supply flow path 30 and the pressure chamber 210 are cut off by the blocking unit 230.

そして、時間ｔ２３から時間ｔ２４において、制御部４０は、圧力緩和動作として、遮断部２３０を制御することによって、供給流路３０と圧力室２１０とを連通させることにより、圧力室２１０内の圧力を緩和させる。このようにすることにより、ノズル２１１から液滴が吐出する。そして、時間ｔ２４から時間ｔ２６において、制御部４０は、容積変更部２２０により圧力室２１０の容積を大きくするとともに、時間ｔ２５から時間ｔ２７において、遮断部２３０により供給流路３０と圧力室２１０とを遮断する。以上の説明のとおり、第２実施形態によれば、遮断部２３０を制御することにより、圧力緩和動作を行うことができる。 Then, from time t23 to time t24, the control unit 40 controls the blocking unit 230 as a pressure relief operation to connect the pressure in the pressure chamber 210 by connecting the supply flow passage 30 and the pressure chamber 210. Relieve. By doing this, droplets are discharged from the nozzle 211. Then, from time t24 to time t26, the control unit 40 increases the volume of the pressure chamber 210 by the volume change unit 220, and from the time t25 to time t27, the blocking unit 230 increases the supply flow path 30 and the pressure chamber 210. Cut off. As described above, according to the second embodiment, the pressure relief operation can be performed by controlling the blocking unit 230.

Ｃ．第３実施形態：
図９は、第３実施形態における液滴の吐出制御処理を表すタイミングチャートである。第２実施形態では、圧力緩和動作は、遮断部２３０が制御されることにより行われる。一方、第３実施形態では、圧力緩和動作は、容積変更部２２０により圧力室２１０の容積を大きくするとともに、遮断部２３０により供給流路３０と圧力室２１０とを連通させることにより行われる。 C. Third embodiment:
FIG. 9 is a timing chart showing droplet discharge control processing in the third embodiment. In the second embodiment, the pressure relief operation is performed by controlling the blocking unit 230. On the other hand, in the third embodiment, the pressure reducing operation is performed by increasing the volume of the pressure chamber 210 by the volume changing unit 220 and connecting the supply flow passage 30 and the pressure chamber 210 by the blocking unit 230.

図９において、横軸は時間を示し、縦軸は、上から順に、遮断部２３０の開閉と、圧力室２１０の容積の変化とを示す。第３実施形態では、第１実施形態と同様に、時間ｔ３１から時間ｔ３２において、制御部４０は、圧力上昇動作として、容積変更部２２０により圧力室２１０の容積を小さくする。ここで、圧力上昇動作は、遮断部２３０によって供給流路３０と圧力室２１０とを遮断した状態において行われる。 In FIG. 9, the horizontal axis indicates time, and the vertical axis indicates the opening and closing of the blocking portion 230 and the change in volume of the pressure chamber 210 in order from the top. In the third embodiment, as in the first embodiment, from time t31 to time t32, the control unit 40 decreases the volume of the pressure chamber 210 by the volume change unit 220 as a pressure increase operation. Here, the pressure raising operation is performed in a state where the supply flow path 30 and the pressure chamber 210 are cut off by the blocking unit 230.

そして、時間ｔ３３から時間ｔ３４において、制御部４０は、圧力緩和動作として、遮断部２３０を制御することによって、供給流路３０と圧力室２１０とを連通させるとともに、容積変更部２２０を制御することによって、圧力室２１０の容積を大きくする。このようにすることにより、ノズル２１１から液滴が吐出する。その後、時間ｔ３５から時間ｔ３６において、制御部４０は、遮断部２３０により供給流路３０と圧力室２１０とを遮断する。 Then, from time t33 to time t34, the control unit 40 controls the blocking unit 230 as a pressure relieving operation, thereby connecting the supply flow passage 30 and the pressure chamber 210 and controlling the volume change unit 220. Increases the volume of the pressure chamber 210. By doing this, droplets are discharged from the nozzle 211. Thereafter, from time t35 to time t36, the control unit 40 shuts off the supply flow passage 30 and the pressure chamber 210 by the shut-off unit 230.

第３実施形態によれば、容積変更部２２０により圧力室２１０の容積を大きくするとともに、遮断部２３０により供給流路３０と圧力室２１０とを連通させることにより圧力緩和動作が行われるため、より確実に圧力室２１０の圧力を緩和できる。このようにすることにより、例えば、粘度の高い液体を用いて液滴を吐出する場合に、液滴の吐出量の調整をより確実に行うことができる。 According to the third embodiment, the volume changing portion 220 increases the volume of the pressure chamber 210, and the blocking portion 230 communicates the supply flow passage 30 with the pressure chamber 210 so that the pressure reducing operation is performed. The pressure in the pressure chamber 210 can be reliably relieved. By doing this, for example, when discharging a droplet using a liquid with high viscosity, it is possible to more reliably adjust the discharge amount of the droplet.

Ｄ．その他の実施形態：
上述の実施形態では、ノズル２１１の移動速度が遅いほど、圧力上昇動作から圧力緩和動作までの時間を短くすることにより、液滴サイズを小さくする。しかし、本発明では、これに限られない。例えば、基材にこれから吐出する複数の液滴が結合することによって描かれる線と、予め基材に描かれた線と、を結合する場合、線同士を結合する部分において、液滴の吐出量を小さくしてもよい。このようにすることにより、線同士を結合する部分においても、線幅を一定に保つことができる。 D. Other embodiments:
In the above-described embodiment, the droplet size is reduced by shortening the time from the pressure increase operation to the pressure relaxation operation as the moving speed of the nozzle 211 is slower. However, the present invention is not limited to this. For example, in the case where a line drawn by bonding a plurality of droplets to be discharged from the substrate to the substrate and a line drawn in advance on the substrate are combined, the discharge amount of the droplets in the portion connecting the lines May be made smaller. By doing this, the line width can be kept constant even in the portion where the lines are joined.

上述の実施形態におけるピエゾアクチュエーター２２４の代わりに、ソレノイドや磁歪素子など、種々のアクチュエーターを用いてもよく、さらに、伸長する量を拡大させるために拡大変位機構を備えていてもよい。 Instead of the piezo actuator 224 in the above-described embodiment, various actuators such as a solenoid and a magnetostrictive element may be used, and an enlargement displacement mechanism may be further provided to expand the amount of extension.

上述の実施形態では、圧力室２１０は供給流路３０と接続されているが、さらに、圧力室２１０から液体を排出する排出流路と、排出流路から排出された液体を供給流路に再供給する循環流路と、を備えてもよい。このようにすることにより、沈降性の顔料や金属粒子、フィラー等の材料を含む液体の時間経過に対する成分沈降を抑制しながら吐出することもできるとともに、液体を効率的に利用することができる。 In the above-described embodiment, the pressure chamber 210 is connected to the supply flow channel 30, but further, the discharge flow channel for discharging the liquid from the pressure chamber 210 and the liquid discharged from the discharge flow channel are re-supplied to the supply flow channel. And a circulation channel to be supplied. In this way, it is possible to discharge while suppressing sedimentation of the component over time of the liquid containing materials such as settling pigments, metal particles, and fillers, and it is possible to use the liquid efficiently.

上述の実施形態では、遮断部２３０を備えるが、遮断部２３０を備えなくてもよい。 In the above-mentioned embodiment, although the blocking part 230 is provided, the blocking part 230 may not be provided.

本発明は、インクを吐出する液滴吐出装置１００に用いることができるが、これに限らず、インク以外の他の液滴を吐出する任意の液滴吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液滴吐出装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（ＦｉｅｌｄＥｍｉｓｓｉｏｎＤｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液滴吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液滴吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液滴吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液滴吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液滴吐出装置。 Although the present invention can be used for the droplet discharge device 100 that discharges ink, the present invention is not limited to this, and can be applied to any droplet discharge device that discharges a droplet other than ink. For example, the present invention is applicable to various droplet discharge devices as described below.
(1) Image recording apparatus such as a facsimile machine.
(2) Color material discharge device used for manufacturing a color filter for an image display device such as a liquid crystal display.
(3) An electrode material discharge device used to form an electrode of an organic EL (Electro Luminescence) display, a surface emission display (Field Emission Display, FED) or the like.
(4) A droplet discharge device that discharges a liquid containing a bioorganic substance used for manufacturing a biochip.
(5) A sample ejection device as a precision pipette.
(6) Lubricant discharge device.
(7) Dispensing device for resin liquid.
(8) A droplet discharge device which discharges lubricating oil at a pinpoint on a precision machine such as a watch or a camera.
(9) A droplet discharge device for discharging a transparent resin liquid such as an ultraviolet curable resin liquid onto a substrate to form a micro hemispherical lens (optical lens) or the like used for an optical communication element or the like.
(10) A droplet discharge apparatus which discharges an acidic or alkaline etching solution to etch a substrate or the like.
(11) A droplet discharge apparatus including a liquid discharge head that discharges droplets of any other minute amount.

なお、「液滴」とは、液滴吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液滴吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。 Note that “droplet” refers to the state of liquid discharged from the droplet discharge device, and includes granular, teardrop-like, and threadlike tails. Further, the “liquid” mentioned here may be any material that can be consumed by the droplet discharge device. For example, the “liquid” may be any material in the liquid phase when the substance is in the liquid phase, and is a liquid material in high or low viscosity, sol, gel water, other inorganic solvents, organic solvents, solutions, Materials in a liquid state such as liquid resin and liquid metal (metal melt) are also included in the “liquid”. Moreover, not only the liquid as one state of the substance, but also those obtained by dissolving, dispersing or mixing particles of functional materials consisting of solid matter such as pigment and metal particles in a solvent are included in the “liquid”. Typical examples of the liquid include ink and liquid crystal. Here, the ink includes general aqueous inks and oil-based inks, and various liquid compositions such as gel inks and hot melt inks.

また、本発明は、３Ｄプリンターに用いてもよい。 The present invention may also be used in 3D printers.

本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be realized in various configurations without departing from the scope of the invention. For example, the technical features of the embodiment corresponding to the technical features in the respective forms described in the section of the summary of the invention are for solving some or all of the problems described above, or a part of the effects described above It is possible to replace or combine as appropriate to achieve all or all. Also, if the technical features are not described as essential in the present specification, they can be deleted as appropriate.

１０…タンク、２０…加圧ポンプ、３０…供給流路、４０…制御部、４２…動作プログラム、１００…液滴吐出装置、２００…ヘッド部、２１０…圧力室、２１１…ノズル、２１５…シール部材、２２０…容積変更部、２２２…振動板、２２４…ピエゾアクチュエーター、２２５…シール部材、２３０…遮断部、２３５…連通孔、２４０…アクチュエーター、２５０…マニピュレーター、２５２…位置センサー DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Tank, 20 ... Pressure pump, 30 ... Supply flow path, 40 ... Control part, 42 ... Operation program, 100 ... Droplet discharge apparatus, 200 ... Head part, 210 ... Pressure chamber, 211 ... Nozzle, 215 ... Seal Members 220: volume changer 222: diaphragms 224: piezo actuators 225: seal members 230: shutoffs 235: communication holes 240: actuators 250: manipulators 252: position sensors

Claims

A droplet discharge device,
A manipulator,
A nozzle for discharging a droplet, the nozzle being movable by the manipulator;
A pressure chamber in communication with the nozzle;
A volume change unit that changes a volume of the pressure chamber;
After performing the pressure raising operation to reduce the volume of the pressure chamber, the pressure relief operation to relieve the pressure of the pressure chamber is performed to perform control to discharge the liquid droplet from the nozzle, and the movement of the nozzle A control unit that performs control of adjusting the discharge amount of the droplet by adjusting the timing of the pressure reducing operation according to the speed;

The droplet discharge device according to claim 1, further comprising:
A supply channel for supplying a liquid to the pressure chamber;
A shut-off unit that shuts off the communication between the supply flow passage and the pressure chamber;
The droplet discharge device, wherein the control unit performs the pressure increase operation in a state in which the supply flow path and the pressure chamber are blocked by controlling the blocking unit.

The droplet discharge device according to claim 2, wherein
The control unit causes the pressure changing operation to be performed by increasing the volume of the pressure chamber by the volume changing unit and connecting the supply flow path and the pressure chamber by the blocking unit. .

The droplet discharge device according to any one of claims 1 to 3, further comprising:
A position sensor for detecting the position of the manipulator;
The control unit calculates the moving speed of the nozzle from the output of the position sensor, and adjusts the timing of the pressure reducing operation according to the calculated moving speed of the nozzle.

The droplet discharge device according to any one of claims 1 to 3, wherein
The control unit includes an operation program of the manipulator.
The control unit calculates the moving speed of the nozzle from the operation program, and determines the timing of the pressure relaxing operation according to the calculated moving speed of the nozzle before performing the pressure increasing operation. Discharge device.