JP2018028138A - Soft magnetic metal powder and dust core - Google Patents
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Abstract
【課題】耐食性の良好な軟磁性金属粉末および当該軟磁性金属粉末から構成される圧粉磁心を提供すること。
【解決手段】軟磁性金属粒子を複数含む軟磁性金属粉末であって、軟磁性金属粒子の表面は被覆部により覆われ、被覆部は、Ｓｉの酸化物とアルカリ土類金属の酸化物とを含み、Ｓｉの酸化物に含まれるＳｉに対する、アルカリ土類金属の酸化物に含まれるアルカリ土類金属の比率が、原子量比率で０．０３以上０．５３以下である軟磁性金属粉末である。
【選択図】図１To provide a soft magnetic metal powder having good corrosion resistance and a dust core composed of the soft magnetic metal powder.
A soft magnetic metal powder including a plurality of soft magnetic metal particles, wherein the surface of the soft magnetic metal particles is covered with a coating portion, and the coating portion includes an oxide of Si and an oxide of an alkaline earth metal. In addition, the ratio of the alkaline earth metal contained in the alkaline earth metal oxide to the Si contained in the Si oxide is a soft magnetic metal powder having an atomic weight ratio of 0.03 to 0.53.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は軟磁性金属粉末および圧粉磁心に関する。 The present invention relates to a soft magnetic metal powder and a dust core.
民生用および車載用の各種電子機器の電源回路に用いられる電子部品として、トランス、チョークコイル、インダクタ等のコイル型電子部品が知られている。また、コイルを利用する機械部品としてモータ等が知られている。 Coil-type electronic components such as transformers, choke coils, and inductors are known as electronic components used in power supply circuits of various consumer and in-vehicle electronic devices. Further, a motor or the like is known as a mechanical part using a coil.
このようなコイル型電子部品およびモータにおいては、所定の磁気特性を発揮する磁性体の周囲あるいは内部に、電気伝導体であるコイル（巻線）が配置されている構成を有している。磁性体としては、所望の特性に応じて、種々の材料を用いることができる。従来、コイル型電子部品においては、磁性体として、高透磁率かつ低電力損失であるフェライト材料が用いられてきた。 Such a coil-type electronic component and motor have a configuration in which a coil (winding) that is an electrical conductor is disposed around or inside a magnetic body that exhibits predetermined magnetic characteristics. Various materials can be used as the magnetic material according to desired characteristics. Conventionally, in a coil-type electronic component, a ferrite material having high magnetic permeability and low power loss has been used as a magnetic material.
近年、コイル型電子部品のさらなる小型化、大電流化に対応するため、フェライト材料よりも、飽和磁束密度が高く、高磁界下においても良好な直流重畳特性を有する軟磁性金属材料を磁性体として用いることが試みられている。このような軟磁性金属材料としては、Ｆｅ系合金等が例示され、たとえば、軟磁性金属粒子を含む軟磁性金属粉末を圧縮成形して得られる圧粉磁心（コア）が広く用いられている。 In recent years, in order to cope with further miniaturization and large current of coil-type electronic components, a soft magnetic metal material having a higher saturation magnetic flux density than ferrite materials and good DC superposition characteristics even under a high magnetic field is used as a magnetic body. Attempts have been made to use it. Examples of such soft magnetic metal materials include Fe-based alloys and the like. For example, dust cores (cores) obtained by compression molding soft magnetic metal powder containing soft magnetic metal particles are widely used.
このような圧粉磁心に用いられる軟磁性金属材料は絶縁性が低い。そのため、圧粉磁心内部における渦電流損失を抑制する目的で、軟磁性金属粒子の表面には絶縁被膜が形成されている。たとえば、特許文献１には、絶縁被膜の耐熱性を高めることにより、高温での圧粉磁心の熱処理を可能にすることが記載されている。 The soft magnetic metal material used for such a dust core has low insulation. For this reason, an insulating coating is formed on the surface of the soft magnetic metal particles for the purpose of suppressing eddy current loss inside the dust core. For example, Patent Document 1 describes that a heat treatment of a dust core can be performed at a high temperature by increasing the heat resistance of an insulating coating.
一方、圧粉磁心に用いられる軟磁性金属材料は、Ｆｅを主成分とした金属であるため、水分が多い環境下では、耐食性、特に防錆性に劣るという問題があった。 On the other hand, since the soft magnetic metal material used for the powder magnetic core is a metal mainly composed of Fe, there is a problem that it is inferior in corrosion resistance, particularly in rust prevention, in an environment with a lot of moisture.
このような問題に対し、たとえば、特許文献２には、耐食性（防錆性）を向上させるため、希土類元素を含むリン酸塩被膜とシリケート被膜とで、希土類元素を含む鉄系磁石合金粉体をコーティングすることが記載されている。しかしながら、磁石合金粉体に希土類元素が含まれない場合、被膜の形成が困難であり、耐食性も十分ではなかった。 In order to improve such corrosion resistance (rust resistance), for example, Patent Document 2 discloses that an iron-based magnet alloy powder containing a rare earth element includes a phosphate film containing a rare earth element and a silicate film. Coating is described. However, when the rare earth element is not contained in the magnet alloy powder, it is difficult to form a film and the corrosion resistance is not sufficient.
一方、特許文献３には、軟磁性金属粉末の表面にＭｇＯとＳｉＯ２との混合酸化物ゲル被覆層を形成することが記載されている。 On the other hand, Patent Document 3 describes forming a mixed oxide gel coating layer of MgO and SiO 2 on the surface of a soft magnetic metal powder.
特許文献３には、軟磁性金属粒子の表面にＭｇＯとＳｉＯ２との混合酸化物ゲル被覆層を形成することにより、高密度、高強度、高比抵抗および高磁束密度を有する複合軟磁性焼結材が得られることを記載している。ところが、ＳｉＯ２に対してＭｇＯ比率が高いゲル被覆層を形成すると、不均一で粗い被膜になり、耐食性に関しては十分ではないという問題が判明した。 Patent Document 3 discloses a composite soft magnetic firing having high density, high strength, high specific resistance, and high magnetic flux density by forming a mixed oxide gel coating layer of MgO and SiO 2 on the surface of soft magnetic metal particles. It describes that a binder is obtained. However, when a gel coating layer having a high MgO ratio with respect to SiO 2 is formed, a non-uniform and rough film is formed, and the corrosion resistance is not sufficient.
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、耐食性の良好な軟磁性金属粉末および当該軟磁性金属粉末から構成される圧粉磁心を提供することである。 The present invention has been made in view of such a situation, and an object thereof is to provide a soft magnetic metal powder having good corrosion resistance and a dust core composed of the soft magnetic metal powder.
本発明者らは、圧粉磁心を構成する軟磁性金属粒子の耐食性、特に酸化に対する耐食性（防錆性）について検討した結果、酸性または中性環境において錆が進行しやすいことに着目し、軟磁性金属粒子の表面にアルカリ性環境をもたらす物質を絶縁被膜に所定量含有させることにより軟磁性金属粉末が良好な耐食性を示すことを見出し、本発明を完成させるに至った。 As a result of examining the corrosion resistance of the soft magnetic metal particles constituting the powder magnetic core, particularly the corrosion resistance against oxidation (rust prevention), the present inventors have focused on the fact that rust tends to proceed in an acidic or neutral environment. It has been found that the soft magnetic metal powder exhibits good corrosion resistance by containing a predetermined amount of a substance that causes an alkaline environment on the surface of the magnetic metal particles in the insulating coating, and the present invention has been completed.
すなわち、本発明の第１の態様は、
［１］軟磁性金属粒子を複数含む軟磁性金属粉末であって、
軟磁性金属粒子の表面は被覆部により覆われ、
被覆部は、Ｓｉの酸化物とアルカリ土類金属の酸化物とを含み、
Ｓｉの酸化物に含まれるＳｉに対する、アルカリ土類金属の酸化物に含まれるアルカリ土類金属の比率が、原子量比率で０．０３以上０．５３以下である軟磁性金属粉末である。
That is, the first aspect of the present invention is:
[1] A soft magnetic metal powder containing a plurality of soft magnetic metal particles,
The surface of the soft magnetic metal particles is covered with a coating part,
The covering portion includes an oxide of Si and an oxide of an alkaline earth metal,
The ratio of the alkaline earth metal contained in the alkaline earth metal oxide to the Si contained in the Si oxide is a soft magnetic metal powder having an atomic weight ratio of 0.03 to 0.53.
［２］アルカリ土類金属がＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａから選ばれる１つ以上である［１］に記載の軟磁性金属粉末である。 [2] The soft magnetic metal powder according to [1], wherein the alkaline earth metal is one or more selected from Mg, Ca, Sr, and Ba.
被覆部におけるＳｉとアルカリ土類金属との比率を上記の範囲内とすることにより、軟磁性金属粉末の耐食性を向上させることができる。 The corrosion resistance of the soft magnetic metal powder can be improved by setting the ratio of Si to the alkaline earth metal in the covering portion within the above range.
［３］被覆部は、さらにＢの酸化物を含む［１］または［２］に記載の軟磁性金属粉末である。 [3] The covering portion is the soft magnetic metal powder according to [1] or [2], further including an oxide of B.
被覆部にＢがさらに含まれることにより、上記の効果をさらに高めることができる。 By further including B in the covering portion, the above effect can be further enhanced.
［４］Ｓｉの酸化物に含まれるＳｉに対する、Ｂの酸化物に含まれるＢの比率が、原子量比率で０．０４以上０．４１以下である［３］に記載の軟磁性金属粉末である。 [4] The soft magnetic metal powder according to [3], wherein the ratio of B contained in the B oxide to Si contained in the Si oxide is 0.04 or more and 0.41 or less in atomic weight ratio. .
特に、ＳｉとＢとの比率を上記の範囲内とすることにより、効果の増大が顕著となる。 In particular, when the ratio of Si and B is within the above range, the effect is significantly increased.
本発明の第２の態様は、
［５］［１］から［４］のいずれかに記載の軟磁性金属粉末から構成される圧粉磁心である。
The second aspect of the present invention is:
[5] A dust core composed of the soft magnetic metal powder according to any one of [1] to [4].
このような圧粉磁心は耐食性、特に防錆性に優れる。 Such a dust core is excellent in corrosion resistance, particularly rust prevention.
以下、本発明を、具体的な実施形態に基づき、以下の順序で詳細に説明する。
１．軟磁性金属粉末
１．１ 被覆部
２．圧粉磁心
３．軟磁性金属粉末の製造方法
４．圧粉磁心の製造方法
５．本実施形態の効果
Hereinafter, the present invention will be described in detail in the following order based on specific embodiments.
1. 1. Soft magnetic metal powder 1.1 Covering part 2. Powder magnetic core 3. Method for producing soft magnetic metal powder 4. Manufacturing method of dust core Effects of this embodiment
（１．軟磁性金属粉末）
本実施形態に係る軟磁性金属粉末は、複数の軟磁性金属粒子の集合体である。本実施形態では、軟磁性金属粒子の材質はＦｅを含むことが好ましい。具体的には、純鉄、Ｆｅ系合金、Ｆｅ−Ｓｉ系合金、Ｆｅ−Ａｌ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ系合金、Ｆｅ系アモルファス合金、Ｆｅ系ナノ結晶合金等が例示され、純鉄またはＦｅ−Ｓｉ系合金であることがより好ましい。
(1. Soft magnetic metal powder)
The soft magnetic metal powder according to the present embodiment is an aggregate of a plurality of soft magnetic metal particles. In the present embodiment, the soft magnetic metal particles preferably include Fe. Specifically, pure iron, Fe alloy, Fe-Si alloy, Fe-Al alloy, Fe-Ni alloy, Fe-Si-Al alloy, Fe-Co alloy, Fe amorphous alloy, Fe Examples of such a nanocrystalline alloy are pure iron or Fe-Si based alloys.
また、本実施形態では、軟磁性金属粉末は、材質が同じ複数の軟磁性金属粒子から構成されていてもよいし、材質が異なる複数の軟磁性金属粒子が混在して構成されていてもよい。たとえば、軟磁性金属粉末は、複数のＦｅ系合金粒子と、複数のＦｅ−Ｓｉ系合金粒子との混合物であってもよい。 In the present embodiment, the soft magnetic metal powder may be composed of a plurality of soft magnetic metal particles made of the same material, or a mixture of a plurality of soft magnetic metal particles made of different materials. . For example, the soft magnetic metal powder may be a mixture of a plurality of Fe-based alloy particles and a plurality of Fe—Si-based alloy particles.
軟磁性金属粉末が、２種類以上の異なる材質を有する軟磁性金属粒子から構成されている場合、ある材質で構成されている軟磁性金属粒子の粒度分布と、別の材質で構成されている軟磁性金属粒子の粒度分布とが異なっていてもよい。 When the soft magnetic metal powder is composed of soft magnetic metal particles having two or more different materials, the particle size distribution of the soft magnetic metal particles composed of one material and the soft particle composed of another material. The particle size distribution of the magnetic metal particles may be different.
なお、異なる材質とは、金属または合金を構成する元素が異なる場合、構成する元素が同じであってもその組成が異なる場合等が例示される。 Examples of different materials include a case where elements constituting a metal or an alloy are different, and a case where the constituent elements are the same even if the constituent elements are the same.
また、本実施形態に係る軟磁性金属粉末の平均粒子径（Ｄ５０）は、１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であることがより好ましい。また、当該平均粒子径は、６０μｍ以下であることが好ましく、４５μｍ以下であることがより好ましい。平均粒子径の測定方法としては、特に制限されないが、レーザー回折散乱法を用いることが好ましい。なお、軟磁性金属粉末を構成する軟磁性金属粒子の形状は特に制限されない。 Moreover, the average particle diameter (D50) of the soft magnetic metal powder according to the present embodiment is preferably 10 μm or more, and more preferably 25 μm or more. The average particle diameter is preferably 60 μm or less, and more preferably 45 μm or less. The method for measuring the average particle diameter is not particularly limited, but it is preferable to use a laser diffraction scattering method. The shape of the soft magnetic metal particles constituting the soft magnetic metal powder is not particularly limited.
（１．１ 被覆部）
本実施形態では、軟磁性金属粉末に含まれる軟磁性金属粒子の表面には被覆部が形成してある。この被覆部は、軟磁性金属粒子の表面に接触して接触した部分を覆うように固定されている。また、被覆部は、粒子の表面の少なくとも一部を覆っていればよいが、表面の全部を覆っていることが好ましい。さらに、被覆部は粒子の表面を連続的に覆っていてもよいし、断続的に覆っていてもよい。
(1.1 Covering part)
In the present embodiment, a coating portion is formed on the surface of the soft magnetic metal particles contained in the soft magnetic metal powder. The covering portion is fixed so as to cover a portion in contact with the surface of the soft magnetic metal particle. Moreover, although the coating | coated part should just cover at least one part of the surface of particle | grains, it is preferable to cover the whole surface. Furthermore, the coating | coated part may cover the surface of particle | grains continuously, and may cover it intermittently.
被覆部は、Ｓｉ（シリコン）の酸化物とアルカリ土類金属の酸化物とを含んでいる。絶縁性に優れるＳｉの酸化物を有する被覆部が、さらにアルカリ土類金属を含むことにより、軟磁性金属粒子の表面近傍を弱アルカリ性の環境に制御することができる。その結果、軟磁性金属粉末に水分が接触侵入した場合であっても、錆の進行が抑制され、軟磁性金属粉末の酸化を効率よく抑制できる。すなわち、本実施形態に係る軟磁性金属粉末は良好な耐食性、特に防錆性を有している。 The covering portion contains an oxide of Si (silicon) and an oxide of an alkaline earth metal. When the coating portion having an oxide of Si having excellent insulating properties further contains an alkaline earth metal, the vicinity of the surface of the soft magnetic metal particles can be controlled in a weakly alkaline environment. As a result, even if moisture enters the soft magnetic metal powder, the progress of rust is suppressed, and the oxidation of the soft magnetic metal powder can be efficiently suppressed. That is, the soft magnetic metal powder according to this embodiment has good corrosion resistance, particularly rust prevention.
本実施形態では、被覆部において、Ｓｉの酸化物に含まれるＳｉに対する、アルカリ土類金属の酸化物に含まれるアルカリ土類金属（ＡＥ）の比率（ＡＥ／Ｓｉ）は、原子量比率で０．０３以上であり、好ましくは０．１０以上である。Ｓｉの酸化物を含む被覆部において、Ｓｉに対するアルカリ土類金属の存在比率が小さすぎる場合、軟磁性金属粒子の表面近傍を弱アルカリ性の環境にする作用が不十分となり、軟磁性金属粉末の耐食性、特に防錆性が低下してしまう傾向にある。 In the present embodiment, the ratio (AE / Si) of the alkaline earth metal (AE) contained in the alkaline earth metal oxide to Si contained in the Si oxide in the covering portion is set to an atomic weight ratio of 0.00. 03 or more, preferably 0.10 or more. When the ratio of the alkaline earth metal to Si is too small in the covering portion containing Si oxide, the action of making the surface of the soft magnetic metal particles in a weak alkaline environment becomes insufficient, and the corrosion resistance of the soft magnetic metal powder In particular, the antirust property tends to decrease.
また、被覆部において、Ｓｉの酸化物に含まれるＳｉに対する、アルカリ土類金属の酸化物に含まれるアルカリ土類金属の比率（ＡＥ／Ｓｉ）は、原子量比率で０．５３以下であり、好ましくは０．４０以下である。Ｓｉの酸化物を含む被覆部において、Ｓｉに対するアルカリ土類金属の存在比率が大きすぎる場合、軟磁性金属粒子と被覆部との密着性が悪化し、その結果、軟磁性金属粉末の耐食性、特に防錆性が低下してしまう傾向にある。さらには、軟磁性金属粉末を成形して得られる圧粉磁心の密度も低下することとなり、所定の磁気特性（たとえば、透磁率）が得られない傾向にある。 In the covering portion, the ratio of the alkaline earth metal contained in the alkaline earth metal oxide to the Si contained in the Si oxide (AE / Si) is 0.53 or less in terms of atomic weight ratio, preferably Is 0.40 or less. In the covering portion containing Si oxide, if the presence ratio of the alkaline earth metal to Si is too large, the adhesion between the soft magnetic metal particles and the covering portion deteriorates, and as a result, the corrosion resistance of the soft magnetic metal powder, particularly There exists a tendency for rust prevention property to fall. Furthermore, the density of the powder magnetic core obtained by molding the soft magnetic metal powder also decreases, and there is a tendency that predetermined magnetic characteristics (for example, magnetic permeability) cannot be obtained.
また、被覆部において、Ｓｉの酸化物およびアルカリ土類金属の酸化物は、Ｓｉおよびアルカリ土類金属を含む複合酸化物の形態で存在していることが好ましい。さらに、Ｓｉとアルカリ土類金属元素との複合酸化物は、結晶性が低いことがより好ましい。具体的には、ＳｉＯ２のガラス構造中に、アルカリ土類金属が分散している構造が好ましい。このような構造を有することにより、ＳｉＯ２のガラス構造中に、アルカリ土類金属の原子が均一に分散できるため、上述した効果がより高められる。 In the covering portion, the Si oxide and the alkaline earth metal oxide are preferably present in the form of a composite oxide containing Si and the alkaline earth metal. Furthermore, it is more preferable that the composite oxide of Si and an alkaline earth metal element has low crystallinity. Specifically, a structure in which an alkaline earth metal is dispersed in a glass structure of SiO 2 is preferable. By having such a structure, since the alkaline earth metal atoms can be uniformly dispersed in the SiO 2 glass structure, the above-described effects are further enhanced.
たとえば、アルカリ土類金属がＭｇ（マグネシウム）の場合、被覆部には、ＳｉとＭｇとの複合酸化物であるＭｇＳｉＯ３が存在していることが好ましい。被覆部において、Ｓｉの酸化物およびＭｇの酸化物の全てがＭｇＳｉＯ３として存在している必要はなく、Ｓｉの酸化物、Ｍｇの酸化物およびＭｇＳｉＯ３が混在していてもよい。 For example, when the alkaline earth metal is Mg (magnesium), it is preferable that MgSiO 3 that is a composite oxide of Si and Mg is present in the coating portion. In the covering portion, it is not necessary that all of the Si oxide and the Mg oxide exist as MgSiO 3 , and Si oxide, Mg oxide, and MgSiO 3 may be mixed.
被覆部において、Ｓｉの酸化物およびアルカリ土類金属元素の酸化物が複合酸化物の形態で存在している否かは、たとえば、Ｘ線光電子分光法（以下、ＸＰＳともいう）により、被覆部におけるアルカリ土類金属原子と酸素との化学結合状態の情報を取得することにより判断することができる。測定されるアルカリ土類金属の所定の結合エネルギーのピークが、アルカリ土類金属の酸化物におけるアルカリ土類金属の所定の結合エネルギーのピークからシフトしている場合、被覆部において、Ｓｉとアルカリ土類金属とを含む複合酸化物が存在していることを示す。 Whether or not the oxide of Si and the oxide of the alkaline earth metal element are present in the form of a composite oxide in the coating is determined by, for example, X-ray photoelectron spectroscopy (hereinafter also referred to as XPS). This can be determined by obtaining information on the state of chemical bonding between the alkaline earth metal atom and oxygen. When the peak of the predetermined binding energy of the alkaline earth metal to be measured is shifted from the peak of the predetermined binding energy of the alkaline earth metal in the oxide of the alkaline earth metal, Si and the alkaline earth in the covering portion This indicates that there is a composite oxide containing a similar metal.
複合酸化物がＭｇＳｉＯ３の場合、ＸＰＳ分析において、Ｍｇの２ｓスペクトルの結合エネルギーのピークが８９〜９１ｅＶの範囲内であれば、複合酸化物が存在していることを示す。 When the composite oxide is MgSiO 3 , the XPS analysis shows that the composite oxide exists if the peak of the binding energy of the Mg 2s spectrum is within the range of 89 to 91 eV.
また、複合酸化物の結晶性が低いか否かの判断は、たとえば、Ｘ線回折法により得られる当該複合酸化物の回折パターンにおいて、所定のピークの半値幅を測定すればよい。半値幅は、一般的に結晶性の目安となり、半値幅が大きいほど結晶性の悪いことを示す。したがって、半値幅が０．８以上であれば、当該複合酸化物の結晶性が低いと判断することができる。 In addition, the determination of whether or not the composite oxide has low crystallinity may be performed by measuring the half-value width of a predetermined peak in the diffraction pattern of the composite oxide obtained by the X-ray diffraction method, for example. The full width at half maximum is generally a measure of crystallinity, and the larger the full width at half maximum, the worse the crystallinity. Therefore, if the half width is 0.8 or more, it can be determined that the crystallinity of the composite oxide is low.
アルカリ土類金属としては、Ｍｇ、Ｃａ（カルシウム）、Ｓｒ（ストロンチウム）およびＢａ（バリウム）が例示され、本実施形態では、Ｍｇが好ましい。 Examples of the alkaline earth metal include Mg, Ca (calcium), Sr (strontium), and Ba (barium). In the present embodiment, Mg is preferable.
さらに、被覆部は、Ｓｉの酸化物およびアルカリ土類金属の酸化物に加えて、Ｂ（ホウ素）の酸化物を含んでいることが好ましい。このようにすることにより、上述した効果をさらに高めることができる。 Further, it is preferable that the covering portion contains an oxide of B (boron) in addition to the oxide of Si and the oxide of alkaline earth metal. By doing in this way, the effect mentioned above can further be heightened.
本実施形態では、被覆部において、Ｓｉの酸化物に含まれるＳｉに対する、Ｂの酸化物に含まれるＢの比率（Ｂ／Ｓｉ）は、原子量比率で０．０４以上であり、好ましくは０．１０以上である。 In the present embodiment, in the covering portion, the ratio of B contained in the B oxide (B / Si) to Si contained in the Si oxide is 0.04 or more in terms of atomic weight ratio, preferably 0.8. 10 or more.
また、被覆部において、Ｓｉの酸化物に含まれるＳｉに対する、Ｂの酸化物に含まれるＢの比率（Ｂ／Ｓｉ）は、原子量比率で０．４１以下であり、好ましくは０．３０以下である。 In the covering portion, the ratio of B contained in the B oxide (B / Si) to Si contained in the Si oxide is 0.41 or less, preferably 0.30 or less in terms of atomic weight ratio. is there.
（２．圧粉磁心）
本実施形態に係る圧粉磁心は、上述した軟磁性金属粉末から構成され、所定の形状を有するように形成されていれば特に制限されない。本実施形態では、当該圧粉磁心は、当該軟磁性金属粉末と結合剤としての樹脂とを含み、当該軟磁性金属粉末を構成する軟磁性金属粒子同士が樹脂を介して結合することにより所定の形状に固定されている。また、当該圧粉磁心は、上述した軟磁性金属粉末と他の磁性粉末との混合粉末から構成され、所定の形状に形成されていてもよい。
(2. Powder magnetic core)
The dust core according to the present embodiment is not particularly limited as long as it is made of the above-described soft magnetic metal powder and has a predetermined shape. In the present embodiment, the dust core includes the soft magnetic metal powder and a resin as a binder, and the soft magnetic metal particles constituting the soft magnetic metal powder are bonded to each other through the resin. It is fixed in shape. Moreover, the said powder magnetic core is comprised from the mixed powder of the soft-magnetic metal powder mentioned above and other magnetic powder, and may be formed in the predetermined | prescribed shape.
このような圧粉磁心は、コイル型電子部品の磁心として好適に用いられる。たとえば、所定形状の圧粉磁心内部に、ワイヤが巻回された空芯コイルが埋設されたコイル型電子部品であってもよいし、所定形状の圧粉磁心の表面にワイヤが所定の巻き数だけ巻回されてなるコイル型電子部品であってもよい。ワイヤが巻回される磁心の形状としては、ＦＴ型、ＥＴ型、ＥＩ型、ＵＵ型、ＥＥ型、ＥＥＲ型、ＵＩ型、ドラム型、トロイダル型、ポット型、カップ型等を例示することができる。 Such a dust core is preferably used as a magnetic core of a coil-type electronic component. For example, it may be a coil-type electronic component in which an air-core coil around which a wire is wound is embedded in a dust core having a predetermined shape, or a wire may be wound on a surface of a dust core having a predetermined shape. It may be a coil-type electronic component that is wound only. Examples of the shape of the magnetic core around which the wire is wound include FT type, ET type, EI type, UU type, EE type, EER type, UI type, drum type, toroidal type, pot type, and cup type. it can.
（３．軟磁性金属粉末の製造方法）
続いて、上記の軟磁性金属粉末を製造する方法について説明する。本実施形態では、被覆部が形成される前の軟磁性金属粉末は、公知の軟磁性金属粉末の製造方法と同様の方法を用いて得ることができる。具体的には、ガスアトマイズ法、水アトマイズ法、回転ディスク法等を用いて製造することができる。
(3. Method for producing soft magnetic metal powder)
Next, a method for producing the soft magnetic metal powder will be described. In the present embodiment, the soft magnetic metal powder before the coating portion is formed can be obtained using a method similar to a known method for producing a soft magnetic metal powder. Specifically, it can be manufactured using a gas atomizing method, a water atomizing method, a rotating disk method, or the like.
公知の方法により製造される軟磁性金属粉末を構成する軟磁性金属粒子に対して被覆部を形成する。被覆部を形成する方法としては、特に制限されず、公知の方法を採用することができる。たとえば、軟磁性金属粒子に対して湿式処理を行うことにより被覆部を形成することができる。具体的には、被覆部を構成することとなる化合物またはその前駆体等を溶解した溶液に軟磁性金属粒子を浸漬する、または、当該溶液を軟磁性金属粒子に噴霧し、熱処理等を行うことにより、被覆部を形成することができる。 A coating is formed on the soft magnetic metal particles constituting the soft magnetic metal powder produced by a known method. The method for forming the covering portion is not particularly limited, and a known method can be adopted. For example, the coating portion can be formed by performing wet processing on the soft magnetic metal particles. Specifically, the soft magnetic metal particles are immersed in a solution in which the compound constituting the coating portion or a precursor thereof is dissolved, or the solution is sprayed on the soft magnetic metal particles to perform heat treatment or the like. Thus, the covering portion can be formed.
（４．圧粉磁心の製造方法）
圧粉磁心の製造方法としては、特に制限されず、公知の方法を採用することができる。まず、被覆部を形成した軟磁性金属粒子を含む軟磁性金属粉末と、結合剤としての公知の樹脂とを混合し、混合物を得る。また、必要に応じて、得られた混合物を造粒粉としてもよい。そして、混合物または造粒粉を金型内に充填して圧縮成形し、作製すべき磁性体（圧粉磁心）の形状を有する成形体を得る。得られた成形体に対して、熱処理を行うことにより、軟磁性金属粒子が樹脂を介して固定された所定形状の圧粉磁心が得られる。得られた圧粉磁心に、ワイヤを所定回数だけ巻回することにより、インダクタ等のコイル型電子部品が得られる。
(4. Manufacturing method of powder magnetic core)
A method for producing the dust core is not particularly limited, and a known method can be adopted. First, a soft magnetic metal powder containing soft magnetic metal particles having a coating portion and a known resin as a binder are mixed to obtain a mixture. Moreover, it is good also as granulated powder for the obtained mixture as needed. Then, the mixture or granulated powder is filled in a mold and compression molded to obtain a molded body having the shape of a magnetic body (dust core) to be produced. By subjecting the obtained molded body to heat treatment, a powder magnetic core having a predetermined shape in which soft magnetic metal particles are fixed via a resin is obtained. A coil-type electronic component such as an inductor is obtained by winding a wire around the obtained dust core a predetermined number of times.
また、上記の混合物または造粒粉と、ワイヤを所定回数だけ巻回して形成された空心コイルとを、金型内に充填して圧縮成形しコイルが内部に埋設された成形体を得てもよい。得られた成形体に対して、熱処理を行うことにより、コイルが埋設された所定形状の圧粉磁心が得られる。このような圧粉磁心は、その内部にコイルが埋設されているので、インダクタ等のコイル型電子部品として機能する。 Alternatively, the mixture or granulated powder and an air core coil formed by winding a wire a predetermined number of times may be filled into a mold and compression molded to obtain a molded body in which the coil is embedded. Good. By performing heat treatment on the obtained molded body, a powder magnetic core having a predetermined shape in which a coil is embedded is obtained. Since such a dust core has a coil embedded therein, it functions as a coil-type electronic component such as an inductor.
（５．本実施形態の効果）
上記の（１）から（４）において説明した本実施形態では、軟磁性金属粒子の表面に形成される被覆部が、絶縁性に優れるＳｉの酸化物に加えて、アルカリ土類金属の酸化物を含んでいる。そして、Ｓｉに対するアルカリ土類金属（ＡＥ）の原子量比率（ＡＥ／Ｓｉ）を上述した範囲内とすることにより、軟磁性金属粒子が水分、特に塩分を含む水分に接触した場合であっても、当該粒子の酸化を抑制できる。しかも、軟磁性金属粉末を用いて圧粉磁心を形成した場合に、圧粉磁心の密度を高めることができ、その結果、所定の磁気特性（たとえば、透磁率）を発揮することができる。
(5. Effects of the present embodiment)
In the present embodiment described in the above (1) to (4), the covering portion formed on the surface of the soft magnetic metal particles is an oxide of an alkaline earth metal in addition to the oxide of Si having excellent insulating properties. Is included. And by making the atomic weight ratio (AE / Si) of the alkaline earth metal (AE) to Si within the above-mentioned range, even when the soft magnetic metal particles are in contact with moisture, particularly moisture containing salt, Oxidation of the particles can be suppressed. In addition, when the dust core is formed using soft magnetic metal powder, the density of the dust core can be increased, and as a result, predetermined magnetic properties (for example, magnetic permeability) can be exhibited.
このような効果は、被覆部に含まれるＳｉの酸化物とアルカリ土類金属との少なくとも一部が複合酸化物として存在している場合に、より顕著となる。さらに、Ｓｉの酸化物が形成するガラス骨格の隙間にアルカリ土類金属が均一に分散して存在できるように、当該複合酸化物の結晶性が低いことが好ましい。 Such an effect becomes more conspicuous when at least a part of the Si oxide and the alkaline earth metal contained in the covering portion exists as a composite oxide. Furthermore, it is preferable that the crystallinity of the complex oxide is low so that the alkaline earth metal can be uniformly dispersed in the gaps of the glass skeleton formed by the Si oxide.
また、このような効果は、Ｓｉの酸化物およびアルカリ土類金属の酸化物を含む被覆部が、Ｂの酸化物をさらに含むことによっても、顕著に増大する。 Further, such an effect is remarkably increased when the covering portion containing the Si oxide and the alkaline earth metal oxide further contains the B oxide.
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の範囲内において種々の態様で改変しても良い。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to said embodiment at all, You may modify | change in various aspects within the scope of the present invention.
以下、実施例を用いて、発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an invention is demonstrated in detail using an Example, this invention is not limited to these Examples.
（実験例１）
まず、軟磁性金属粉末として、材質がＦｅ−４．５Ｓｉ合金であり、平均粒径が３０μｍである軟磁性金属粒子からなる粉末を準備した。準備した軟磁性金属粉末１００質量％に対して、４．０質量％の２−プロパノール、０．４５質量％のトリメトキシメチルシラン（Ｓｉの酸化物の原料）、０．１０質量％のマグネシウムエトキシド（Ｍｇの酸化物の原料）および１．０質量％の純水を混合してコーティング溶液を作製した。準備した軟磁性金属粉末１００質量％に、作製したコーティング溶液を混合し、撹拌しながら５０℃のホットプレート上で乾燥させた。乾燥後の粉末を１４０メッシュの篩を通した後、１８０℃、１時間の条件で熱処理を行い、Ｓｉの酸化物およびＭｇの酸化物を含む被覆部が形成された実施例１に係る軟磁性金属粉末を得た。
(Experimental example 1)
First, as the soft magnetic metal powder, a powder made of soft magnetic metal particles having a material of Fe-4.5Si alloy and an average particle diameter of 30 μm was prepared. 4.0% by mass of 2-propanol, 0.45% by mass of trimethoxymethylsilane (raw material of Si oxide), 0.10% by mass of magnesium ethoxy with respect to 100% by mass of the prepared soft magnetic metal powder A coating solution was prepared by mixing a metal (a raw material for Mg oxide) and 1.0% by mass of pure water. The prepared coating solution was mixed with 100% by mass of the prepared soft magnetic metal powder, and dried on a hot plate at 50 ° C. with stirring. The dried powder was passed through a 140-mesh sieve and then heat-treated at 180 ° C. for 1 hour to form a coating containing Si oxide and Mg oxide. Metal powder was obtained.
また、０．１１質量％のカルシウムエトキシドを添加した以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物、およびＣａの酸化物を含む被覆部が形成された実施例２に係る軟磁性金属粉末を得た。また、０．１８質量％のストロンチウムイソプロポキシドを添加した以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物、およびＳｒの酸化物を含む被覆部が形成された実施例３に係る軟磁性金属粉末を得た。また、０．２０質量％のバリウムエトキシドを添加した以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物、およびＢａの酸化物を含む被覆部が形成された実施例４に係る軟磁性金属粉末を得た。 Further, the soft magnetism according to Example 2 in which the covering portion containing the oxide of Si and the oxide of Ca was formed in the same manner as in Example 1 except that 0.11% by mass of calcium ethoxide was added. Metal powder was obtained. Further, in the same manner as in Example 1 except that 0.18% by mass of strontium isopropoxide was added, the softening according to Example 3 in which the covering portion containing the oxide of Si and the oxide of Sr was formed. A magnetic metal powder was obtained. Moreover, the soft magnetism according to Example 4 in which a covering portion containing an oxide of Si and an oxide of Ba was formed in the same manner as in Example 1 except that 0.20% by mass of barium ethoxide was added. Metal powder was obtained.
準備した軟磁性金属粉末１００質量％に対して、０．２質量％のリン酸と４．０質量％の２−プロパノールとを混合してコーティング溶液を作製した。準備した軟磁性金属粉末１００質量％に、作製したコーティング溶液を混合し、撹拌しながら５０℃のホットプレート上で乾燥させた。乾燥後の粉末を１４０メッシュの篩を通した後、リン酸を含む被覆部が形成された比較例１に係る軟磁性金属粉末を得た。 A coating solution was prepared by mixing 0.2% by mass of phosphoric acid and 4.0% by mass of 2-propanol with respect to 100% by mass of the prepared soft magnetic metal powder. The prepared coating solution was mixed with 100% by mass of the prepared soft magnetic metal powder, and dried on a hot plate at 50 ° C. with stirring. The dried powder was passed through a 140-mesh sieve, and a soft magnetic metal powder according to Comparative Example 1 in which a covering portion containing phosphoric acid was formed was obtained.
準備した軟磁性金属粉末１００質量％に対して、０．２質量％のリン酸と４．０質量％の２−プロパノールとを混合してコーティング溶液を作製した。準備した軟磁性金属粉末１００質量％に、作製したコーティング溶液を混合し、撹拌しながら５０℃のホットプレート上で乾燥させた。乾燥後の粉末を１４０メッシュの篩を通した後、軟磁性金属粉末１００質量％に対して０．０３５％のＭｇＯ粒子を混合して、リン酸を含む被覆部が形成された軟磁性金属粉末と、ＭｇＯ粒子と、の混合粉末（比較例２）を得た。 A coating solution was prepared by mixing 0.2% by mass of phosphoric acid and 4.0% by mass of 2-propanol with respect to 100% by mass of the prepared soft magnetic metal powder. The prepared coating solution was mixed with 100% by mass of the prepared soft magnetic metal powder, and dried on a hot plate at 50 ° C. with stirring. After the dried powder is passed through a 140 mesh sieve, 0.035% MgO particles are mixed with 100% by mass of the soft magnetic metal powder, and a soft magnetic metal powder having a coating portion containing phosphoric acid is formed. A mixed powder (Comparative Example 2) of MgO particles was obtained.
上記で得られた各粉末の耐食性を以下のようにして評価した。まず、得られた粉末を有効桁数５桁以上の電子天秤で５．００００ｇ秤量した。秤量した粉末をアルミカップ容器に入れ、試験前の重量を測定した。続いて、アルミカップ容器内にイオン交換水を１０ｇ入れて、粉末を浸漬させた後、３５℃のホットプレートに容器を載せて２４時間保持した。保持後の容器を１００℃のホットプレートに載せて３０分乾燥させた。試験後の粉末の重量を測定した後、試験前後での粉末の重量変化を計算し、増加した量を粉末の酸化量（錆量）として算出した。結果を表１に示す。 The corrosion resistance of each powder obtained above was evaluated as follows. First, 5.0000 g of the obtained powder was weighed with an electronic balance having 5 or more effective digits. The weighed powder was put in an aluminum cup container, and the weight before the test was measured. Subsequently, 10 g of ion-exchanged water was put in an aluminum cup container, the powder was immersed therein, and the container was placed on a 35 ° C. hot plate and held for 24 hours. The container after holding was placed on a hot plate at 100 ° C. and dried for 30 minutes. After measuring the weight of the powder after the test, the change in the weight of the powder before and after the test was calculated, and the increased amount was calculated as the oxidation amount (rust amount) of the powder. The results are shown in Table 1.
表１より、軟磁性金属粉末とＭｇＯ粒子とを混合しただけでは、良好な耐食性が得られず、被覆部がＭｇＯを含むことにより、粉末の酸化量、すなわち、粉末の錆を抑制できることが確認できた。また、Ｍｇ以外のアルカリ土類金属の酸化物であるＣａの酸化物、Ｓｒの酸化物、Ｂａの酸化物においても同様に錆を抑制できることが確認できた。 From Table 1, it is confirmed that only by mixing soft magnetic metal powder and MgO particles, good corrosion resistance cannot be obtained, and the coating part contains MgO, so that the amount of oxidation of the powder, that is, rust of the powder can be suppressed. did it. It was also confirmed that rust can be similarly suppressed in Ca oxide, Sr oxide, and Ba oxide, which are oxides of alkaline earth metals other than Mg.
（実験例２）
マグネシウムエトキシドの添加量を０．０１質量％とした以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物およびＭｇの酸化物を含む被覆部が形成された実施例５に係る軟磁性金属粉末を得た。
(Experimental example 2)
A soft magnetic metal according to Example 5 in which a covering portion containing an oxide of Si and an oxide of Mg was formed in the same manner as in Example 1, except that the amount of magnesium ethoxide added was 0.01% by mass. A powder was obtained.
また、マグネシウムエトキシドの添加量を０．０３６質量％とした以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物およびＭｇの酸化物を含む被覆部が形成された実施例６に係る軟磁性金属粉末を得た。 Further, the softening according to Example 6 in which the covering portion containing the oxide of Si and the oxide of Mg was formed in the same manner as in Example 1 except that the addition amount of magnesium ethoxide was 0.036% by mass. A magnetic metal powder was obtained.
また、トリメトキシメチルシランの添加量を０．２２５質量％、マグネシウムエトキシドの添加量を０．０７６質量％とした以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物およびＭｇの酸化物を含む被覆部が形成された実施例７に係る軟磁性金属粉末を得た。 Further, the oxides of Si and Mg were the same as in Example 1 except that the addition amount of trimethoxymethylsilane was 0.225% by mass and the addition amount of magnesium ethoxide was 0.076% by mass. Thus, a soft magnetic metal powder according to Example 7 in which a covering portion containing s was formed was obtained.
また、トリメトキシメチルシランの添加量を０．２２５質量％とした以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物およびＭｇの酸化物を含む被覆部が形成された実施例８に係る軟磁性金属粉末を得た。 Moreover, it concerns on Example 8 in which the coating part containing the oxide of Si and the oxide of Mg was formed like Example 1 except the addition amount of trimethoxymethylsilane having been 0.225 mass%. A soft magnetic metal powder was obtained.
また、トリメトキシメチルシランの添加量を０．２２５質量％とし、マグネシウムエトキシドの添加量を０．２質量％とした以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物およびＭｇの酸化物を含む被覆部が形成された比較例３に係る軟磁性金属粉末を得た。得られた粉末について、実験例１と同様にして、耐食性を評価した。結果を表２および図１に示す。 Further, the oxide of Si and the oxidation of Mg were performed in the same manner as in Example 1 except that the addition amount of trimethoxymethylsilane was 0.225% by mass and the addition amount of magnesium ethoxide was 0.2% by mass. The soft magnetic metal powder which concerns on the comparative example 3 in which the coating | coated part containing an object was formed was obtained. The obtained powder was evaluated for corrosion resistance in the same manner as in Experimental Example 1. The results are shown in Table 2 and FIG.
実施例１、実施例５〜８および比較例３に係る軟磁性金属粉末を用いて、以下のようにして圧粉磁心を作製した。実施例１、実施例５〜８および比較例３に係る軟磁性金属粉末１００質量％に対して、エポキシ樹脂溶液を４．０質量％加え撹拌し、乾燥させた。乾燥後の粉末を４２メッシュの篩を通した後、５０℃のホットプレート上で乾燥させ、造粒粉を作製した。得られた造粒粉に対してステアリン酸亜鉛を０．１質量％加え、これを金型内に充填して、成形圧５８９ＭＰａの条件で外径１７．５ｍｍ、内径１０．０ｍｍ、高さ４．０ｍｍのトロイダルコアを作製した。得られたトロイダルコアを２００℃５時間の熱処理を行い、エポキシ樹脂を硬化させて、圧粉磁心を得た。 Using the soft magnetic metal powder according to Example 1, Examples 5 to 8, and Comparative Example 3, dust cores were produced as follows. 4.0% by mass of the epoxy resin solution was added to 100% by mass of the soft magnetic metal powder according to Example 1, Examples 5 to 8 and Comparative Example 3, and the mixture was stirred and dried. The dried powder was passed through a 42-mesh sieve and then dried on a hot plate at 50 ° C. to produce granulated powder. To the obtained granulated powder, 0.1% by mass of zinc stearate was added, and this was filled in a mold, and the outer diameter was 17.5 mm, the inner diameter was 10.0 mm, and the height was 4 at a molding pressure of 589 MPa. A toroidal core of 0.0 mm was produced. The obtained toroidal core was heat-treated at 200 ° C. for 5 hours to cure the epoxy resin to obtain a dust core.
得られた圧粉磁心について、初透磁率および密度の測定を行った。初透磁率は、圧粉磁心にワイヤを巻きつけ巻き数を５０ｔｕｒｎとして、ＬＣＲメーター（ＨＰ社ＬＣＲ４２８Ａ）によって測定した。また、密度は、得られた圧粉磁心の寸法および重量から算出した。結果を表２に示す。 The initial magnetic permeability and density of the obtained powder magnetic core were measured. The initial magnetic permeability was measured with an LCR meter (HP Corporation LCR428A) with a wire wound around the dust core and a winding number of 50 turns. The density was calculated from the size and weight of the obtained dust core. The results are shown in Table 2.
表２および図１より、被覆部において、Ｓｉに対するＭｇの原子量比率（Ｍｇ（ａｔ％）／Ｓｉ（ａｔ％））が上述した範囲外である場合には、粉末の酸化量（錆量）が多く、しかも圧粉磁心の初透磁率が低いことが確認できた。 From Table 2 and FIG. 1, when the atomic weight ratio of Mg to Si (Mg (at%) / Si (at%)) is outside the above-described range in the coating portion, the oxidation amount (rust amount) of the powder is In addition, it was confirmed that the initial permeability of the dust core was low.
（実験例３）
０．０２質量％のホウ酸トリエチルを添加した以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物、Ｍｇの酸化物およびＢの酸化物を含む被覆部が形成された実施例９に係る軟磁性金属粉末を得た。
(Experimental example 3)
Except for adding 0.02% by mass of triethyl borate, in the same manner as in Example 1, according to Example 9 in which a covering portion including an oxide of Si, an oxide of Mg, and an oxide of B was formed A soft magnetic metal powder was obtained.
また、０．０５質量％のホウ酸トリエチルを添加した以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物、Ｍｇの酸化物およびＢの酸化物を含む被覆部が形成された実施例１０に係る軟磁性金属粉末を得た。 Further, Example 10 in which a covering portion containing an oxide of Si, an oxide of Mg and an oxide of B was formed in the same manner as in Example 1 except that 0.05% by mass of triethyl borate was added. A soft magnetic metal powder according to the above was obtained.
また、０．１５質量％のホウ酸トリエチルを添加した以外は、実施例１と同様にして、Ｓｉの酸化物、Ｍｇの酸化物およびＢの酸化物を含む被覆部が形成された実施例１１に係る軟磁性金属粉末を得た。 Further, Example 11 in which a covering portion containing an oxide of Si, an oxide of Mg and an oxide of B was formed in the same manner as in Example 1 except that 0.15% by mass of triethyl borate was added. A soft magnetic metal powder according to the above was obtained.
また、ホウ酸トリエチルの添加量を０．２質量％とした以外は、実施例４と同様にして、Ｓｉの酸化物、Ｍｇの酸化物およびＢの酸化物を含む被覆部が形成された実施例１２に係る軟磁性金属粉末を得た。得られた粉末について、実験例１と同様にして、耐食性を評価した。結果を表３に示す。 Further, in the same manner as in Example 4 except that the addition amount of triethyl borate was changed to 0.2% by mass, a covering portion containing an oxide of Si, an oxide of Mg and an oxide of B was formed. A soft magnetic metal powder according to Example 12 was obtained. The obtained powder was evaluated for corrosion resistance in the same manner as in Experimental Example 1. The results are shown in Table 3.
得られた実施例９〜１２に係る軟磁性金属粉末を用いて、実施例１と同様にして、圧粉磁心を作製し、実験例２と同様にして、初透磁率および密度の測定を行った。結果を表３に示す。 Using the obtained soft magnetic metal powders according to Examples 9 to 12, a dust core was prepared in the same manner as in Example 1, and the initial permeability and density were measured in the same manner as in Experimental Example 2. It was. The results are shown in Table 3.
表３より、被覆部がＢの酸化物をさらに含むことにより、粉末の耐食性がさらに向上することが確認できた。 From Table 3, it was confirmed that the corrosion resistance of the powder was further improved when the coating portion further contained an oxide of B.
（実験例４）
実施例１に係る軟磁性金属粒子の表面について、ＸＰＳ分析による評価を行った。ＸＰＳ分析は、Ｘ線光電子分光装置（ＵＬＶＡＣ−ＰＨＩ社製 ＰＨＩ ＱｕａｎｔｅｒａＩＩ）によりＸ線源（Ａｌ−ＫαモノクロメータＸ線）、分析領域φ１００μｍ、１５ｋＶ２５Ｗの条件によりサンプル表面を測定した。結果を図２に示す。
(Experimental example 4)
The surface of the soft magnetic metal particle according to Example 1 was evaluated by XPS analysis. In XPS analysis, the surface of the sample was measured with an X-ray photoelectron spectrometer (PHI Quantera II manufactured by ULVAC-PHI) under the conditions of an X-ray source (Al-Kα monochromator X-ray), an analysis region φ100 μm, and 15 kV25W. The results are shown in FIG.
図２より、Ｍｇ２ｓスペクトルにおいて、結合エネルギーのピークが８９〜９１ｅＶの範囲内にあることが確認できた。したがって、実施例１に係る軟磁性金属粒子の被覆部には、ＭｇとＳｉとの複合酸化物であるＭｇＳｉＯ３が存在していることが確認できた。 From FIG. 2, it was confirmed that the peak of the binding energy is in the range of 89 to 91 eV in the Mg2s spectrum. Therefore, it was confirmed that MgSiO 3 , which is a composite oxide of Mg and Si, was present in the coating portion of the soft magnetic metal particles according to Example 1.
Claims (5)
前記軟磁性金属粒子の表面は被覆部により覆われ、
前記被覆部は、Ｓｉの酸化物とアルカリ土類金属の酸化物とを含み、
前記Ｓｉの酸化物に含まれるＳｉに対する、前記アルカリ土類金属の酸化物に含まれるアルカリ土類金属の比率が、原子量比率で０．０３以上０．５３以下である軟磁性金属粉末。 A soft magnetic metal powder comprising a plurality of soft magnetic metal particles,
The surface of the soft magnetic metal particles is covered with a coating portion,
The covering portion includes an oxide of Si and an oxide of an alkaline earth metal,
The soft magnetic metal powder in which the ratio of the alkaline earth metal contained in the alkaline earth metal oxide to the Si contained in the Si oxide is 0.03 or more and 0.53 or less in atomic weight ratio.
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