JP2018018930A - Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing the same - Google Patents
Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing the same Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018018930A JP2018018930A JP2016147363A JP2016147363A JP2018018930A JP 2018018930 A JP2018018930 A JP 2018018930A JP 2016147363 A JP2016147363 A JP 2016147363A JP 2016147363 A JP2016147363 A JP 2016147363A JP 2018018930 A JP2018018930 A JP 2018018930A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silane coupling
- coupling agent
- layer
- electrolytic capacitor
- solid electrolytic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
Abstract
Description
本発明は、導電性高分子を固体電解質とする、固体電解コンデンサおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a solid electrolytic capacitor using a conductive polymer as a solid electrolyte and a method for manufacturing the same.
多孔質の弁作用金属からなる陽極体表面に誘電体層を形成し、誘電体層上にシランカップリング剤層を形成し、シランカップリング剤層上に固体電解質層を形成する固体電解コンデンサ及びその製造方法が、特許文献1に開示されている。
A solid electrolytic capacitor in which a dielectric layer is formed on a surface of an anode body made of a porous valve metal, a silane coupling agent layer is formed on the dielectric layer, and a solid electrolyte layer is formed on the silane coupling agent layer; The manufacturing method is disclosed in
固体電解コンデンサでは、もれ電流抑制を目的にシランカップリング剤層を厚く形成すると、膜厚が不均一になりやすい。シランカップリング剤層が必要以上に厚すぎると、トンネル効果による電子の電位障壁透過が阻害され、誘電体層の特性を十分に活用することができずにコンデンサの体積当たりの容量が低下する。一方、シランカップリング剤層が薄すぎると、トンネル効果によってもれ電流が増大する。 In a solid electrolytic capacitor, if the silane coupling agent layer is formed thick for the purpose of suppressing leakage current, the film thickness tends to be non-uniform. If the silane coupling agent layer is excessively thick, electron potential barrier transmission due to the tunnel effect is hindered, and the characteristics of the dielectric layer cannot be fully utilized, resulting in a decrease in capacitance per capacitor volume. On the other hand, if the silane coupling agent layer is too thin, the leakage current increases due to the tunnel effect.
従って、従来の固体電解コンデンサでは、もれ電流を低減すると同時に、体積当たりの容量の低下を抑制することが困難であるという課題がある。 Therefore, in the conventional solid electrolytic capacitor, there is a problem that it is difficult to reduce the leakage current and at the same time suppress the decrease in the capacity per volume.
本発明は、多孔質体の弁作用金属からなる陽極導体と、前記陽極導体の表面に配する誘電体層と、前記誘電体層の表面に配するシランカップリング剤層と、前記シランカップリング剤層の表面に配する固体電解質層を備えた固体電解コンデンサであって、前記シランカップリング剤層は前記誘電体層の表面における領域の75%以上において、厚さが10nm以上、50nm未満であることを特徴とする固体電解コンデンサとすることで、上記課題を解決する。 The present invention includes an anode conductor made of a porous valve metal, a dielectric layer disposed on the surface of the anode conductor, a silane coupling agent layer disposed on the surface of the dielectric layer, and the silane coupling. A solid electrolytic capacitor including a solid electrolyte layer disposed on a surface of the agent layer, wherein the silane coupling agent layer has a thickness of 10 nm or more and less than 50 nm in 75% or more of the region on the surface of the dielectric layer. The above-mentioned problem is solved by using a solid electrolytic capacitor characterized by being.
本発明の固体電解コンデンサは、前記シランカップリング剤層が単分子状態であっても良い。 In the solid electrolytic capacitor of the present invention, the silane coupling agent layer may be in a monomolecular state.
また、本発明の固体電解コンデンサは、前記シランカップリング剤層が非イオン性の官能基を有するものであっても良い。 In the solid electrolytic capacitor of the present invention, the silane coupling agent layer may have a nonionic functional group.
更に、本発明の固体電解コンデンサは、前記シランカップリング剤層を、前記誘電体層及び前記固体電解質層の内部にも配しても良い。 Furthermore, in the solid electrolytic capacitor of the present invention, the silane coupling agent layer may also be disposed inside the dielectric layer and the solid electrolyte layer.
本発明によれば、多孔質体の弁作用金属からなる陽極導体の表面に、誘電体層を形成する工程と、前記誘電体層の表面にシランカップリング剤の溶液を塗布して乾燥させ、シランカップリング剤層を形成する工程と、前記シランカップリング剤層の表面に固体電解質層を形成する工程と、を含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法が得られる。 According to the present invention, a step of forming a dielectric layer on the surface of an anode conductor made of a valve metal of a porous body, and applying and drying a solution of a silane coupling agent on the surface of the dielectric layer, A method for producing a solid electrolytic capacitor comprising the steps of forming a silane coupling agent layer and forming a solid electrolyte layer on the surface of the silane coupling agent layer is obtained.
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、前記シランカップリング剤の溶液のpHが3.0以上6.0未満であっても良い。 In the method for producing a solid electrolytic capacitor of the present invention, the pH of the solution of the silane coupling agent may be 3.0 or more and less than 6.0.
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、前記シランカップリング剤の溶液が非プロトン性極性溶媒を含んでも良い。 In the method for producing a solid electrolytic capacitor of the present invention, the solution of the silane coupling agent may contain an aprotic polar solvent.
本発明の固体電解コンデンサの製造方法は、前記シランカップリング剤の溶液の温度が10℃以下であっても良い。 In the method for producing a solid electrolytic capacitor of the present invention, the temperature of the silane coupling agent solution may be 10 ° C. or less.
誘電体層の表面における領域の75%以上において、シランカップリング剤層を所定範囲の厚みとすることにより、シランカップリング剤層自身が誘電体最表面の電位障壁の一部として機能させることが可能となる。特に、シランカップリング剤層の厚さを10nm以上とすることで、電位障壁の修復のみならず、トンネル効果に起因する電子の透過を抑制し、固体電解コンデンサのもれ電流を減少することができる。また、シランカップリング剤層の厚さを50nm未満とすることで、固体電解コンデンサの容量の低下やESR(等価直列抵抗)の上昇を抑制することができる。 By setting the thickness of the silane coupling agent layer within a predetermined range in 75% or more of the area on the surface of the dielectric layer, the silane coupling agent layer itself can function as a part of the potential barrier on the outermost surface of the dielectric. It becomes possible. In particular, by setting the thickness of the silane coupling agent layer to 10 nm or more, not only the repair of the potential barrier but also the transmission of electrons due to the tunnel effect can be suppressed, and the leakage current of the solid electrolytic capacitor can be reduced. it can. Moreover, the fall of the capacity | capacitance of a solid electrolytic capacitor and the raise of ESR (equivalent series resistance) can be suppressed because the thickness of a silane coupling agent layer shall be less than 50 nm.
シランカップリング剤層の形成に単分子状態のシランカップリング剤を用いると、シランカップリング剤層の厚みを均一化することができるため、シランカップリング剤層が部分的に厚くなって容量が低下したり、逆に薄くなりすぎてもれ電流が増大したりする不具合を抑制することができる。 When a monomolecular silane coupling agent is used to form the silane coupling agent layer, the thickness of the silane coupling agent layer can be made uniform. It is possible to suppress a problem that the current decreases due to a decrease or an excessively thin current.
シランカップリング剤層がイオン性の官能基を有する場合、誘電体にドープされることで電位障壁が狭くなることから、十分な電位障壁を確保するためには非イオン性の官能基を有することが望ましい。 When the silane coupling agent layer has an ionic functional group, the potential barrier is narrowed by doping into the dielectric, so that it has a nonionic functional group to ensure a sufficient potential barrier. Is desirable.
シランカップリング剤層は、固体電解質層の層間に存在しても良く、誘電体層表面と固体電解質層の層間というように、2層以上に分割してもよい。分割した場合は各層の厚みの合計が10nm以上、50nm未満となれば良い。固体電解質層の層間にシランカップリング剤層を形成することによって、容量の減少をさらに抑制できる可能性がある。 The silane coupling agent layer may be present between the layers of the solid electrolyte layer, or may be divided into two or more layers, such as the surface of the dielectric layer and the layer between the solid electrolyte layers. When divided, the total thickness of each layer may be 10 nm or more and less than 50 nm. By forming a silane coupling agent layer between the solid electrolyte layers, there is a possibility that the capacity reduction can be further suppressed.
シランカップリング剤の溶液のpHを3.0以上6.0未満とすることによって、シランカップリング剤同士の縮合反応、すなわち高分子化を抑制し、シランカップリング剤の単分子状態を維持することが可能である。 By setting the pH of the solution of the silane coupling agent to 3.0 or more and less than 6.0, the condensation reaction between the silane coupling agents, that is, the polymerization is suppressed, and the monomolecular state of the silane coupling agent is maintained. It is possible.
シランカップリング剤の溶液が非プロトン性極性溶媒を含むことで、触媒であるプロトンの濃度が低くなるため、シランカップリング剤の高分子化を抑制することができる。 Since the solution of the silane coupling agent contains the aprotic polar solvent, the concentration of protons as a catalyst is lowered, so that polymerization of the silane coupling agent can be suppressed.
シランカップリング剤の溶液の温度を10℃以下とすると、低温のため化学反応が起きにくくなり、シランカップリング剤の高分子化を抑制することができる。 When the temperature of the solution of the silane coupling agent is 10 ° C. or lower, the chemical reaction is difficult to occur due to the low temperature, and the polymerization of the silane coupling agent can be suppressed.
本発明により、シランカップリング剤層を誘電体層の表面における所定領域で所定範囲の厚みとすることで、シランカップリング剤層自身が電位障壁の一部として電子の透過を抑制し、トンネル効果に起因する固体電解コンデンサのもれ電流を低減するとともに、実質的な電位障壁が厚くなるため、固体電解コンデンサの耐電圧の向上に寄与することに加え、体積当たりの容量の低下を抑制することができる固体電解コンデンサおよびその製造方法の提供が可能となる。 According to the present invention, the silane coupling agent layer has a thickness within a predetermined range in a predetermined region on the surface of the dielectric layer, so that the silane coupling agent layer itself suppresses transmission of electrons as a part of the potential barrier, and tunnel effect In addition to reducing the leakage current of the solid electrolytic capacitor due to the thickness and increasing the substantial potential barrier, in addition to contributing to the improvement of the withstand voltage of the solid electrolytic capacitor, suppressing the decrease in capacity per volume It is possible to provide a solid electrolytic capacitor that can be manufactured and a method for manufacturing the same.
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
図1は、本発明の固体電解コンデンサの断面図であり、図2は図1の破線部分の拡大図である。 FIG. 1 is a cross-sectional view of a solid electrolytic capacitor of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view of a broken line portion of FIG.
図1のように、多孔質体の弁作用金属からなる陽極導体1と、その陽極導体1の表面に誘電体層2を形成し、その誘電体層2の表面における領域の75%以上において、厚さが10nm以上、50nm未満のシランカップリング剤層9を形成し、シランカップリング剤層9の表面に固体電解質層4を形成し、固体電解質層4の表面に陰極層5を形成し、陽極リード3および陰極層5にそれぞれリードフレーム71、72を接続する。接続は、溶接や導電性接着剤6を用いて行う。リードフレーム71、72の外部電極となる部分を露出させて全体を外装樹脂8でモールド成型することにより、固体電解コンデンサを得る。
As shown in FIG. 1, the
誘電体層2は、弁作用金属(例えばTa)の陽極酸化によって形成する。金属側に隣接している部分は、Ta2O5の化学当量以上の過剰タンタル原子を含んでいるn形酸化タンタル層であり、続く層はTa2O5の化学当量の組成をもつ真性半導体であるi層である。i層は化成電圧(酸化被膜を形成させるための電圧)に比例した厚さを有する。その最表面は、誘電体層上に構成される固体電解質(導電性高分子、シランカップリング剤等)によって、p形酸化タンタル層が誘起される結果、誘電体の構造は,p−i−n接合が形成され、良好な絶縁性が得られる。ただし、導電性高分子が形成されると、導電性高分子が酸化皮膜から電子を引き抜き、電子障壁を低くする。
The
シランカップリング剤層9の形成に用いるシランカップリング剤は、有機物(導電性高分子)と親和性の高い有機物官能基と、加水分解性OR基を有するケイ素化合物である。OR基を加水分解してOH基に変化させ、誘電体表面と反応させることによって、無機物表面等と化学結合を形成する。また、有機物官能基は導電性高分子と親和性が高いため、有機物官能基と導電性高分子の密着性を向上する効果があり、シランカップリング剤を介して誘電体と導電性高分子層を結びつけることができる。また、OH基が電子供性であり、導電性高分子の形成によって低くなった誘電体最表面の電子障壁を修復する効果がある。 The silane coupling agent used for forming the silane coupling agent layer 9 is a silicon compound having an organic functional group having high affinity with an organic substance (conductive polymer) and a hydrolyzable OR group. The OR group is hydrolyzed to change to an OH group and reacted with the dielectric surface to form a chemical bond with the inorganic surface. In addition, since the organic functional group has a high affinity with the conductive polymer, there is an effect of improving the adhesion between the organic functional group and the conductive polymer, and the dielectric and the conductive polymer layer are interposed via a silane coupling agent. Can be tied together. In addition, since the OH group is electrophilic, there is an effect of repairing the electron barrier on the outermost surface of the dielectric that has been lowered by the formation of the conductive polymer.
シランカップリング剤層9の形成においては、シランカップリング剤を含む溶液中に浸漬した後、乾燥させることで被膜を得る。得られる被膜は極めて薄いため、所望の膜厚となるまで繰り返し浸漬、乾燥を行う。被膜は、付着しやすい所には更に付着し、付着しにくい所との間で膜厚に大きな差異が生じやすいため、均一な膜厚とすることが難しい。また、酸性溶媒を用いるとシランカップリング剤の一部が縮合した塊が生じるため、均一な膜厚とすることがさらに困難になる。 In the formation of the silane coupling agent layer 9, the film is obtained by dipping in a solution containing the silane coupling agent and then drying. Since the resulting coating is extremely thin, it is repeatedly dipped and dried until the desired film thickness is obtained. It is difficult to obtain a uniform film thickness because the film is more likely to adhere to a place where it easily adheres, and a large difference in film thickness tends to occur between places where it is difficult to adhere. Moreover, since the lump which a part of silane coupling agent condensed will arise when an acidic solvent is used, it will become still more difficult to set it as a uniform film thickness.
シランカップリング剤層9の膜厚を均一に形成するためには、5%以下の単分子状態のシランカップリング剤水溶液を用いて、複数回浸漬させることが好ましい。また、水溶液のpHは3.0以上6.0未満が好ましく、その範囲外では、シランカップリング剤同士の縮合によって、シランカップリング剤が高分子化するため、シランカップリング剤層の厚みが不均一となる可能性が有る。 In order to uniformly form the film thickness of the silane coupling agent layer 9, it is preferable to immerse the film several times using a silane coupling agent aqueous solution in a monomolecular state of 5% or less. Further, the pH of the aqueous solution is preferably 3.0 or more and less than 6.0, and outside the range, the silane coupling agent is polymerized by condensation between the silane coupling agents, so the thickness of the silane coupling agent layer is There is a possibility of non-uniformity.
シランカップリング剤は、加水分解によってOR基をOH基に置換したあとに使用する。OH基に置換したあとに、非プロトン性極性溶媒を混合することが好ましい。これは、プロトンが触媒となってOH基を有するシランカップリング剤同士の高分子化が進むため、プロトンの濃度を抑制できるからである。非プロトン性極性溶媒としてはジメチルスルホキシド、アセトニトリル、アセトンが好ましい。また、シランカップリング剤溶液の液温は10℃以下がシランカップリング剤同士の縮合を抑制するため好ましい。 The silane coupling agent is used after the OR group is replaced with an OH group by hydrolysis. It is preferable to mix an aprotic polar solvent after substitution with an OH group. This is because protons can be used as a catalyst to increase the polymerization of silane coupling agents having an OH group, so that the proton concentration can be suppressed. The aprotic polar solvent is preferably dimethyl sulfoxide, acetonitrile or acetone. Further, the liquid temperature of the silane coupling agent solution is preferably 10 ° C. or lower because the condensation between the silane coupling agents is suppressed.
なお、シランカップリング剤層9は、固体電解質層4の層間に存在しても良く、誘電体層2表面と固体電解質層4の層間というように2層以上に分割してもよい。分割した場合は各層の厚みの合計が10nm以上、50nm未満となれば良い。固体電解質層4の層間にシランカップリング剤層9を形成することによって、容量の減少をさらに抑制できる可能性がある。
The silane coupling agent layer 9 may exist between the
シランカップリング剤層9の厚みは、研磨によって断面形成後、イオンミリング装置にて断面を加工して研磨による断面のだれを除去し、アンモニア水溶液にてシランカップリング剤同士を結合させてSEM(走査型電子顕微鏡)を用いて観察する。アンモニア水溶液によるシランカップリング剤の結合を行わないと、SEMの電子線でシランカップリング剤が揮発して観察に支障が生じる。 The thickness of the silane coupling agent layer 9 is determined by forming a cross section by polishing, processing the cross section with an ion milling apparatus to remove any slack in the cross section by polishing, bonding the silane coupling agents with an aqueous ammonia solution, and combining the SEM ( Observation is performed using a scanning electron microscope. If the silane coupling agent is not bonded with an aqueous ammonia solution, the silane coupling agent is volatilized by the electron beam of the SEM, and observation is hindered.
固体電解質層4は、化学重合または電解重合法または導電性高分子溶液を塗布し乾燥する方法のいずれか1種以上の方法で形成され、少なくとも多孔質体の一部を充填する必要がある。固体電解質層4としては、ピロール、チオフェン、アニリンおよびその誘導体を少なくとも一種以上含む単量体からなる重合体を含むことが好ましい。加えて、ドーパントとしてスルホン酸系化合物を含むことが好ましい。また、前記の導電性高分子材料以外にも、二酸化マンガン、酸化ルテニウム等の酸化物誘導体、TCNQ(7,7,8,8,−テトラシアノキノジメタンコンプレックス塩)等の有機物半導体等が含まれていても良い。
The
固体電解質層4の形成は、既知の方法を用いれば良い。例えば、陽極導体1の表面に形成された誘電体層2の上に前記導電性高分子組成物を塗布または含浸し、乾燥することにより、固体電解質層4が得られる。なお、固体電解質層4は、二層以上の層から構成されていても良い。
A known method may be used to form the
陰極層5は、導体で構成されていれば、材質は特に限定されない。例えば、グラファイト等からなるカーボン層と、銀導電性樹脂層とからなる2層構造とすることができる。 The material of the cathode layer 5 is not particularly limited as long as it is made of a conductor. For example, a two-layer structure including a carbon layer made of graphite or the like and a silver conductive resin layer can be used.
(実施例1)
Ta粉末を縦3.5mm、横3.0mm、厚さ1.5mmの直方体に成型し、陽極リード3としてTaワイヤーを埋め込んだプレス体を焼結してTa焼結体を作製した。この焼結体をリン酸水溶液中で陽極酸化を行い、誘電体層2を形成した。
Example 1
A Ta powder was molded into a rectangular parallelepiped having a length of 3.5 mm, a width of 3.0 mm, and a thickness of 1.5 mm, and a press body in which a Ta wire was embedded as the anode lead 3 was sintered to prepare a Ta sintered body. This sintered body was anodized in an aqueous phosphoric acid solution to form a
次に、酢酸によってpHが3.0以上6.0未満に調整された3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの5質量%水溶液に誘電体層2で被覆されたTa焼結体を浸漬し、120℃、60分乾燥した。この操作を3回繰り返すことによって、シランカップリング剤層9を形成した。なお、シランカップリング層の膜厚は10nm以上、50nm未満であり、その領域の面積は全体の75%であった。
Next, the Ta sintered body covered with the
陽極導体1を、3,4−エチレンジオキシチオフェンを含むモノマー溶液と、ドーパントとしての1,3,6−ナフタレントリスルホン酸と、酸化剤であるペルオキソ二硫酸アンモニウムを含む酸化剤溶液と、を含む溶液に浸漬させた。浸漬を繰り返し、化学酸化重合法によってポリ3,4−エチレンジオキシチオフェンを含む固体電解質層4である導電性高分子層を形成した。
The
導電性ペーストとしてグラファイトペーストと銀ペーストを使用して陰極層5を形成し、導電性接着剤6を介してリードフレーム71と陰極層5、溶接により陽極リード3とリードフレーム72を接続した後、外部電極を除いた全体を外装樹脂8でモールド外装し、固体電解コンデンサを得た。
After forming the cathode layer 5 using graphite paste and silver paste as the conductive paste, connecting the
(実施例2)
実施例1と同様にTa焼結体を作製し、陽極酸化を行い、誘電体層2を形成した。その後、酢酸によってpHが3.0以上6.0未満に調整された3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの5質量%水溶液に誘電体層2で被覆されたTa焼結体を浸漬し、120℃、60分乾燥した。尚、シランカップリング剤水溶液は、膜厚の均一化促進のために、温度を5±1℃に管理した。
(Example 2)
In the same manner as in Example 1, a Ta sintered body was produced, anodized, and the
前記操作を3回繰り返すことによって、シランカップリング剤層9を形成した。なお、シランカップリング層の膜厚は10nm以上、30nm未満であり、その領域の面積は全体の80%であった。 By repeating the above operation three times, a silane coupling agent layer 9 was formed. The film thickness of the silane coupling layer was 10 nm or more and less than 30 nm, and the area of the region was 80% of the whole.
更に、実施例1と同様に固体電解質層4を形成し、陰極層5を形成し、導電性接着剤6や溶接を用いて陰極層5および陽極リード3それぞれにリードフレーム71、72を接続した後、全体を外装樹脂8でモールド外装し、固体電解コンデンサを得た。
Further, the
(実施例3)
実施例1と同様にTa焼結体を作製し、陽極酸化を行い、誘電体層2を形成した。その後、酢酸によってpHが3.0以上6.0未満に調整され、ジメチルスルホキシドが30質量%含まれた3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの5質量%水溶液に誘電体層2で被覆されたTa焼結体を浸漬し、120℃、60分乾燥した。
(Example 3)
In the same manner as in Example 1, a Ta sintered body was produced, anodized, and the
前記操作を3回繰り返すことによって、シランカップリング剤層9を形成した。なお、シランカップリング層の膜厚は10nm以上、30nm未満であり、その領域の面積は全体の80%であった。 By repeating the above operation three times, a silane coupling agent layer 9 was formed. The film thickness of the silane coupling layer was 10 nm or more and less than 30 nm, and the area of the region was 80% of the whole.
更に、実施例1と同様に固体電解質層4を形成し、陰極層5を形成し、導電性接着剤6や溶接を用いて陰極層5および陽極リード3それぞれにリードフレーム71、72を接続した後、全体を外装樹脂8でモールド外装し、固体電解コンデンサを得た。
Further, the
(実施例4)
実施例1と同様にTa焼結体を作製し、陽極酸化を行い、誘電体層2を形成した。その後、酢酸によってpHが3.0以上6.0未満に調整された3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの5質量%水溶液に誘電体層2で被覆されたタンタル焼結体を浸漬し、120℃、60分乾燥した。
Example 4
In the same manner as in Example 1, a Ta sintered body was produced, anodized, and the
陽極導体1を、3,4−エチレンジオキシチオフェンを含むモノマー溶液と、ドーパントとしての1,3,6−ナフタレントリスルホン酸と、酸化剤であるペルオキソ二硫酸アンモニウムを含む酸化剤溶液と、を含む溶液に浸漬させた。その後、酢酸によってpHが3.0以上6.0未満に調整された3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの5質量%水溶液に浸漬した。この操作を2回繰り返した。
The
更に、3,4−エチレンジオキシチオフェンを含むモノマー溶液と、ドーパントとしての1,3,6−ナフタレントリスルホン酸と、酸化剤であるペルオキソ二硫酸アンモニウムを含む酸化剤溶液と、を含む溶液に浸漬させた。浸漬を繰り返し、化学酸化重合法によってポリ3,4−エチレンジオキシチオフェンを含む固体電解質層4である導電性高分子層を形成した。
Furthermore, it is immersed in a solution containing a monomer solution containing 3,4-ethylenedioxythiophene, 1,3,6-naphthalene trisulfonic acid as a dopant, and an oxidizing agent solution containing ammonium peroxodisulfate as an oxidizing agent. I let you. The immersion was repeated, and the conductive polymer layer, which is the
なお、本実施例における導電性高分子層間のシランカップリング剤層と誘電体表面のシランカップリング剤層の膜厚は、合計が10nm以上、50nm未満となり、当該膜厚の領域の面積は全体の75%であった。 In addition, the film thickness of the silane coupling agent layer between the conductive polymer layers in this example and the silane coupling agent layer on the dielectric surface is 10 nm or more and less than 50 nm. Of 75%.
更に、実施例1と同様に陰極層5を形成し、導電性接着剤6や溶接を用いて陰極層5および陽極リード3それぞれにリードフレーム71、72を接続した後、全体を外装樹脂8でモールド外装し、固体電解コンデンサを得た。 Further, the cathode layer 5 is formed in the same manner as in Example 1, and the lead frames 71 and 72 are connected to the cathode layer 5 and the anode lead 3 using the conductive adhesive 6 and welding, respectively, and then the whole is covered with the exterior resin 8. The mold was packaged to obtain a solid electrolytic capacitor.
(比較例)
実施例1と同様にTa焼結体を作製し、陽極酸化を行い、誘電体層2を形成した。次に、pHが7の3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの1質量%水溶液に誘電体層2で被覆されたTa焼結体を浸漬し、120℃、60分乾燥した。この操作を3回繰り返すことによって、シランカップリング剤層9を形成した。なお、シランカップリング剤層の膜厚が10nm以上、50nm未満の面積は、全体の50%であった。
(Comparative example)
In the same manner as in Example 1, a Ta sintered body was produced, anodized, and the
更に、実施例1と同様に固体電解質層4を形成し、陰極層5を形成し、導電性接着剤6や溶接を用いて陰極層5および陽極リード3それぞれにリードフレーム71、72を接続した後、全体を外装樹脂8でモールド外装し、固体電解コンデンサを得た。
Further, the
表1に示すように、本発明の実施例1〜4では、比較例の構成よりももれ電流が顕著に低減されていた。また容量についても、比較例よりも5〜8%程度の改善がなされた。 As shown in Table 1, in Examples 1 to 4 of the present invention, the leakage current was significantly reduced as compared with the configuration of the comparative example. Also, the capacity was improved by about 5 to 8% compared to the comparative example.
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は上記構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の変更や修正が可能である。すなわち、当業者であればなし得るであろう各種変形、修正もまた本発明に含まれることは勿論である。 As mentioned above, although the Example of this invention was described, this invention is not limited to the said structure, A change and correction of a structure are possible in the range which does not deviate from the summary of this invention. That is, it goes without saying that various modifications and corrections that can be made by those skilled in the art are also included in the present invention.
1 陽極導体
2 誘電体層
3 陽極リード
4 固体電解質層
5 陰極層
6 導電性接着剤
8 外装樹脂
9 シランカップリング剤層
71、72 リードフレーム
DESCRIPTION OF
Claims (8)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016147363A JP2018018930A (en) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016147363A JP2018018930A (en) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018018930A true JP2018018930A (en) | 2018-02-01 |
Family
ID=61076323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016147363A Pending JP2018018930A (en) | 2016-07-27 | 2016-07-27 | Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2018018930A (en) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08293436A (en) * | 1995-04-25 | 1996-11-05 | Nec Toyama Ltd | Solid-state electrolytic capacitor and its manufacture |
| JP2000165037A (en) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | Copper foil for printed wiring board excellent in chemical resistance and heat resistance and method for producing the same |
| JP2003197468A (en) * | 2001-10-19 | 2003-07-11 | Nec Tokin Toyama Ltd | Solid electrolytic capacitor and manufacturing method therefor |
| WO2008123253A1 (en) * | 2007-03-26 | 2008-10-16 | Zeon Corporation | Method for manufacturing composite body |
| JP2009263458A (en) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Shirakawa Kazuko | Surface treatment composition and surface treating method |
| JP2012033644A (en) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Sanyo Electric Co Ltd | Solid electrolytic capacitor manufacturing method |
| JP2012049287A (en) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | Surface modification silicon substrate |
| WO2014002828A1 (en) * | 2012-06-26 | 2014-01-03 | 三洋電機株式会社 | Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing same |
-
2016
- 2016-07-27 JP JP2016147363A patent/JP2018018930A/en active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08293436A (en) * | 1995-04-25 | 1996-11-05 | Nec Toyama Ltd | Solid-state electrolytic capacitor and its manufacture |
| JP2000165037A (en) * | 1998-11-30 | 2000-06-16 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | Copper foil for printed wiring board excellent in chemical resistance and heat resistance and method for producing the same |
| JP2003197468A (en) * | 2001-10-19 | 2003-07-11 | Nec Tokin Toyama Ltd | Solid electrolytic capacitor and manufacturing method therefor |
| WO2008123253A1 (en) * | 2007-03-26 | 2008-10-16 | Zeon Corporation | Method for manufacturing composite body |
| JP2009263458A (en) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Shirakawa Kazuko | Surface treatment composition and surface treating method |
| JP2012033644A (en) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Sanyo Electric Co Ltd | Solid electrolytic capacitor manufacturing method |
| JP2012049287A (en) * | 2010-08-26 | 2012-03-08 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | Surface modification silicon substrate |
| WO2014002828A1 (en) * | 2012-06-26 | 2014-01-03 | 三洋電機株式会社 | Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI478189B (en) | Solid electrolytic capacitor and method of manufacturing thereof | |
| JP5736534B2 (en) | Solid electrolytic capacitor | |
| JP5484995B2 (en) | Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof | |
| JP2012043958A (en) | Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof | |
| JP5933397B2 (en) | Solid electrolytic capacitor manufacturing method and solid electrolytic capacitor | |
| CN103021665A (en) | Method of manufacturing solid electrolytic capacitor | |
| JP4845699B2 (en) | Solid electrolytic capacitor and method for producing solid electrolytic capacitor | |
| JP5062770B2 (en) | Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof | |
| CN102420052B (en) | Solid electrolytic capacitor | |
| JP6142292B2 (en) | Solid electrolytic capacitor | |
| CN102473528B (en) | Manufacturing method for solid electrolytic capacitor | |
| JP2006140443A (en) | Solid electrolytic capacitor and method of manufacturing the same | |
| JP2011216649A (en) | Method of manufacturing solid-state electrolytic capacitor | |
| JP4789751B2 (en) | Manufacturing method of solid electrolytic capacitor | |
| CN102420053B (en) | The manufacture method of solid electrolytic capacitor and solid electrolytic capacitor | |
| JP4803741B2 (en) | Manufacturing method of solid electrolytic capacitor | |
| JP2018018930A (en) | Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing the same | |
| JP5810286B2 (en) | Manufacturing method of solid electrolytic capacitor | |
| JP4891140B2 (en) | Manufacturing method of solid electrolytic capacitor | |
| JP2009295660A (en) | Solid-state electrolytic capacitor and method of manufacturing the same | |
| JP4688710B2 (en) | Electrolytic capacitor manufacturing method | |
| JP2010177498A (en) | Wound type solid electrolyte capacitor | |
| JP2001203128A (en) | Method for manufacturing solid electrolytic capacitor | |
| JPH10154639A (en) | Method for manufacturing solid capacitor | |
| JP5566709B2 (en) | Solid electrolytic capacitor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181130 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190809 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190821 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200304 |