JP2016036860A - マルチワイヤ放電加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワイヤの振動を抑える事ができるマルチワイヤ放電加工装置を提供する。
【解決手段】ワイヤＲを挟んで対面して配設される弾性部材７１ａ，７２ａの間隔がワイヤＲの径方向上下が僅かに接触するように設定されるワイヤ防振手段７０Ａを備え、ワイヤ防振手段７０Ａは、インゴットＩの両側に配設され、移動手段によりインゴットＩの形状に対応させてワイヤＲに沿って進退され、インゴットＩの近傍に位置付けられる。弾性部材７１ａ，７２ａは、フェルトやウレタンゴム等から形成される。
【選択図】図２

Description

本発明は、マルチワイヤ放電加工装置に関する。

従来、円柱状インゴットからウェーハを切り出す場合等における切断手段として、砥粒を用いたワイヤーソーが知られている。しかし、このようなワイヤーソーでは、加工用砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時供給する必要があり、その取扱いは容易でない。また、ワイヤがワークに直接接触するため、特に硬度の高いSiC等の場合、加工中にワイヤが断線するおそれがあり、断線が生じた場合には復旧までに長時間を要する不都合があった。

そこで、マルチワイヤ放電加工装置が発案された。放電加工によりワイヤとインゴットは接触していないため、インゴットにかかる負荷が非常に低く、スラリーによるスクラッチ等の傷の発生もない点で優れている。

特開２０００−９４２２１号公報

しかしながら、ワイヤは０．５m/sec〜１m/secという非常に速い速度で走行しているため、ガイドローラに巻回されていながらも多少の振動が発生する。振動はそのまま加工するインゴットの切り溝の幅となるため、無駄な溝幅の増加を発生させている。溝幅が広くなると、ウェーハ（製品）として使用できる枚数が少なくなる。

そこで、本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワイヤの振動を抑える事ができるマルチワイヤ放電加工装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るマルチワイヤ放電加工装置は、ワイヤでインゴットを放電加工するマルチワイヤ放電加工装置であって、間隔をおいて配設された複数のガイドローラと、該ガイドローラの軸方向に間隔をあけて複数回巻き掛けられ該ガイドローラ間で並列して走行するワイヤと、インゴットを固定する基台部と、該基台部に固定されたインゴットが該ワイヤに切り込むように、該ワイヤと該基台部とを相対的に加工送りさせる駆動手段と、該ワイヤと該基台部に固定されたインゴットに高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットと、並列する該ワイヤを挟んで対面する一対の弾性部材を備え、該弾性部材の間隔は該ワイヤの径方向上下が僅かに接触するように設定されるワイヤ防振手段と、該ワイヤ防振手段をインゴットの形状に対応し該ワイヤに沿って進退させ、該インゴットの近傍に位置付ける移動手段と、を備え、該ワイヤ防振手段は、インゴットを挟んだ該ワイヤの走行方向の前後に配設されることを特徴とする。

また、上記マルチワイヤ放電加工装置において、該ワイヤ防振手段のインゴットと対面する側に、加工液を該ワイヤに沿って噴出するノズル手段を備え、該ノズル手段は、該ワイヤ防振手段と共に該移動手段で移動することが好ましい。

本発明のマルチワイヤ放電加工装置では、ワイヤの振動を防止するワイヤ防振手段をインゴットの両側に備え、ワイヤ防振手段の間隔をインゴットの形状に合わせて進退させることにより、極限までワイヤの振動を抑える事ができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係るマルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す正面図である。 図２は、実施形態１に係るワイヤ防振手段及びノズル手段の構成例（その１）を示す断面図である。 図３は、実施形態１に係るワイヤ防振手段及びノズル手段の構成例（その２）を示す断面図である。 図４は、実施形態２に係るワイヤ防振手段及びノズル手段の構成例を示す断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
実施形態１に係るマルチワイヤ放電加工装置について説明する。図１は、マルチワイヤ放電加工装置の構成例を示す正面図である。図２は、ワイヤ防振手段及びノズル手段の構成例（その１）を示す断面図である。図３は、ワイヤ防振手段及びノズル手段の構成例（その２）を示す断面図である。

図１に示すように、マルチワイヤ放電加工装置１はワイヤＲでインゴットＩを放電加工するものであり、ワイヤＲを繰り出す繰り出しボビン２０と、間隔をおいて複数配設され、繰り出しボビン２０により繰り出されたワイヤＲを案内する円柱状のガイドローラ２１〜２４と、ワイヤＲを巻き取る巻き取りボビン２５とを備える。４箇所のガイドローラ２１〜２４は、矩形の形状を成すようにそれぞれが矩形の角に配設される。

ガイドローラ２１とガイドローラ２２で形成される線分と、ガイドローラ２４とガイドローラ２３で形成される線分は平行になるようにガイドローラ２１〜２４は配設されている。ガイドローラ２１〜２４は、繰り出しボビン２０から繰り出されたワイヤＲを複数回掛け回して巻き取りボビン２５に送り出す。

繰り出しボビン２０、ガイドローラ２１〜２４及び巻き取りボビン２５は、図示しないモータによって回転駆動される。なお、全てのガイドローラ２１〜２４をモータ駆動とする必要はなく、例えばガイドローラ２２，２４を従動ローラとしてもよい。

繰り出しボビン２０には、放電加工に用いられる黄銅などの金属線であるワイヤＲが巻き回されている。繰り出しボビン２０は、図示しないモータによって回転駆動され、ワイヤＲをガイドローラ２１に対して繰り出す。ガイドローラ２１は、繰り出しボビン２０から繰り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ２２に送り出す。ガイドローラ２２は、ガイドローラ２１から送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ２３に送り出す。ガイドローラ２３は、ガイドローラ２２から送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ２４に送り出す。ガイドローラ２４は、ガイドローラ２３から送り出されたワイヤＲを巻き掛けてガイドローラ２１に送り出す。これにより、ガイドローラ２１〜２４にワイヤＲが一周巻き掛けられたことになる。

ワイヤＲは、ガイドローラ２１〜２４の長手方向に所定の間隔をあけて複数回巻き掛けられる。この例では、６回巻き掛けられている。ワイヤＲは、最後にガイドローラ２２から巻き取りボビン２５に繰り出されて巻き取られる。このように、ワイヤＲは、ガイドローラ２１〜２４の軸方向に間隔をあけて複数回巻き掛けられてガイドローラ２１〜２４の間で並列して矢印Ｐ１〜Ｐ４方向に走行する。ワイヤＲは、一対の隣接するガイドローラ２３とガイドローラ２４との間に形成された切断ワイヤ部３０を構成し、切断ワイヤ部３０は、ワイヤＲが矢印Ｐ３の方向に走行するように構成されている。

切断ワイヤ部３０はインゴットＩを切断する箇所であり、ガイドローラ２３とガイドローラ２４で一定のテンションを有して張設され、所定の間隔でガイドローラ２３，２４の長手方向に配設された６本のワイヤＲから構成されている。例えば、切断ワイヤ部３０を構成するワイヤＲの間隔は０．５ｍｍ〜数ｍｍ程度である。インゴットＩは、このワイヤＲの間隔で切断される。インゴットＩは導電性がある材料であり、SiC（炭化ケイ素）、単結晶ダイヤ、シリコン、GaN（窒化ガリウム）等から形成される。この例では、インゴットＩの形状は円柱である。

切断ワイヤ部３０に対向した位置には、インゴットＩを設置するインゴット設置手段４０と、インゴットＩを加工送り方向（矢印Ｑ１方向）に駆動させる駆動手段４４と、切断ワイヤ部３０のワイヤＲの走行方向と垂直な方向にインゴットＩを駆動させる図示しない駆動手段とが設けられている。インゴット設置手段４０は切断ワイヤ部３０の上面側に配設され、基台部４１と、取り付け部４２とを備える。基台部４１は、取り付け部４２を介してインゴットＩを固定する。取り付け部４２は、基台部４１に固定され、インゴットＩを支持する取り付け面４３を有する。この取り付け面４３には、図示しない導電性接着剤によりインゴットＩの端面が接着固定される。

駆動手段４４は、基台部４１に固定されたインゴットＩがワイヤＲに切り込むように、ワイヤＲと基台部４１とを相対的に加工送りさせる。例えば、駆動手段４４は、鉛直方向に対して平行に延在される図示しないボールねじと、パルスモータ等で構成される駆動源とを有し、ボールねじのナットに固定された基台部４１を、加工送り方向（矢印Ｑ１方向）に駆動させる。そして、切断ワイヤ部３０のワイヤＲによりインゴットＩをスライスしてウェーハを形成する。

マルチワイヤ放電加工は、誘電体である水や油などの加工液Ｆの中で実施され、切断ワイヤ部３０は加工液Ｆが満たされた加工槽５０の中に浸漬される。加工槽５０の中で、貯留された加工液Ｆに浸漬された切断ワイヤ部３０のワイヤＲがインゴットＩを加工する。

加工槽５０の中には、ウェーハを収容するための籠５１が配置されている。籠５１は、インゴットＩの真下に配置され、インゴットＩの長手方向及び短手方向の長さよりも大きく形成され、一定の深さを有している。基台部４１の取り付け部４２に固定されたインゴットＩから分離されたウェーハは、加工槽５０の中に配置された籠５１に沈下して収容される。

マルチワイヤ放電加工装置１は、切断ワイヤ部３０に給電する給電手段６０を備える。給電手段６０は、高周波パルス電源ユニット６１と、電極６２とを備える。高周波パルス電源ユニット６１は、ワイヤＲと基台部４１に固定されたインゴットＩに高周波パルス電力を供給する。例えば、高周波パルス電源ユニット６１は、電極６２に接続され、電極６２を介して高周波パルス電力をワイヤＲに供給する。この例で、電極６２は、ガイドローラ２１とガイドローラ２４との間に張設されるワイヤＲに接続され、さらにガイドローラ２２とガイドローラ２３との間に張設されるワイヤＲに接続されている。また、高周波パルス電源ユニット６１は、基台部４１に接続され、基台部４１を介して高周波パルス電力をインゴットＩに供給する。

高周波パルス電源ユニット６１から高周波パルス電力を供給して、ワイヤＲとインゴットＩとの極間に電圧を印加すると、切断ワイヤ部３０のワイヤＲは、正面に配置されたインゴットＩに対して放電を行う。例えば、液中で絶縁状態にあるインゴットＩとワイヤＲの間隔が数十μｍ位まで近づくと、両者の絶縁が破壊されて放電が発生する。この放電によってインゴットＩが加熱されて溶融され、さらに液体の温度が急激に上昇することにより液体が気化し、体積膨張によって溶融箇所を飛散させる。このように、高周波パルス電力を供給して極間に電圧を印加することで、ワイヤＲによりインゴットＩを溶融すると共に飛散させる処理を断続的に行ってインゴットＩを切断する。このとき、インゴットＩとワイヤＲとの隙間に加工屑が生じるが、後述するノズル手段８０Ａによって加工屑を除去する。

放電加工の処理を実施している間、ワイヤＲは０．５m/sec〜１m/secという非常に速い速度で走行している。このため、ガイドローラ２１〜２４に巻回されていながらも、ワイヤＲには多少の振動が発生する。この振動を抑えるために、ワイヤ防振手段７０Ａを備える。ワイヤ防振手段７０Ａは、一対の部材から構成され、インゴットＩを挟んだワイヤＲの走行方向の前後に配設される。

ワイヤ防振手段７０ＡをインゴットＩの形状に対応させてワイヤＲに沿って進退させ、インゴットＩの近傍に位置付ける移動手段９０を備える。移動手段９０は、ワイヤ防振手段７０Ａを支持するブラケット９１と、ワイヤＲの走行方向（矢印Ｑ２方向）に対して平行に延在される図示しないボールねじと、パルスモータ等で構成される駆動源とを有し、ボールねじのナットにはブラケット９１が固定されている。移動手段９０は、ボールねじのナットに固定されたブラケット９１を、矢印Ｑ２方向に移動させる。

ブラケット９１の形状は直方体であり、長手方向が鉛直方向を向くように装置本体に取り付けられている。ブラケット９１の下端側にはワイヤ防振手段７０Ａが取り付けられ、ブラケット９１の上端側は、ボールねじのナットに固定されている。装置本体には、ブラケット９１が移動する範囲において、長穴９２が開口されている。

一対のワイヤ防振手段７０Ａは、ワイヤ切断部３０のワイヤＲの振動を抑制するために、円柱状のインゴットＩに対して最短距離をとるように、ワイヤＲの走行方向（矢印Ｑ２方向）に進退移動する。例えば、ワイヤＲにより切断するインゴットＩの加工長に応じて、ワイヤ防振手段７０Ａの間隔Ｌ１は決定される。例えば、加工送り方向（矢印Ｑ１方向）において、切断するインゴットＩの入口側では、切断するインゴットＩの加工長が中心付近より短いため、ワイヤ防振手段７０Ａの間隔Ｌ１は短くなる。一方、切断するインゴットＩの中心付近では、切断するインゴットＩの加工長が入口側より長いため、ワイヤ防振手段７０Ａの間隔Ｌ１は長くなる。

ワイヤ防振手段７０Ａの間隔Ｌ１は、加工送り方向（矢印Ｑ１方向）への移動距離と、インゴットＩの半径の長さを用いて三平方の定理により求められる。例えば、ワイヤＲがインゴットＩの中心に到達した場合、加工長が直径の長さとなり、ワイヤ防振手段７０Ａの間隔Ｌ１は、直径の長さに所定の長さを加算した長さとなる。所定の長さとは、ワイヤ防振手段７０ＡがインゴットＩに接触しないようにするための長さである。このように、一対のワイヤ防振手段７０Ａは、加工送り方向に移動されるインゴットＩの外周面と一定の間隔を有しながら、インゴットＩの外周面の形状に沿って移動する。

ワイヤ防振手段７０Ａは、図２に示すように、並列するワイヤＲを挟んで対面する一対の弾性部材７１ａ，７２ａと、弾性部材７１ａ，７２ａを収容する直方体の筐体７３ａとを備える。筐体７３ａは、弾性部材７１ａ，７２ａを収容する収容部７４ａと、後述するノズル手段８０Ａを構成する中空部８２ａとを有する。筐体７３ａは、例えば、長手方向に半分に分けられた一対の枠体７５ａ，７６ａから構成されている。枠体７５ａの収容部７４ａには弾性部材７１ａが収容され、枠体７６ａの収容部７４ａには弾性部材７２ａが収容されている。

弾性部材７１ａ，７２ａは、フェルトやウレタンゴム等から形成され、直方体の形状を成している。弾性部材７１ａ，７２ａは、長手方向の長さが、並列するワイヤＲの並列方向の長さよりも長く形成されている。これにより、図３に示すように、弾性部材７１ａ，７２ａは、並列するワイヤＲの全て（同図では６本）に接触できるようになる。弾性部材７１ａ，７２ａがワイヤＲと接触する接触面７１０ａ，７２０ａは、平らに形成されている。

弾性部材７１ａ，７２ａは、筐体７３ａの収容部７４ａの内面よりも一回り小さく形成されており、弾性部材７１ａ，７２ａが収容部７４ａに嵌合するようになっている。弾性部材７１ａは、その側面が枠体７５ａの収容部７４ａに接着剤等により固定され、弾性部材７２ａも同様に、その側面が枠体７６ａの収容部７４ａに接着剤等により固定されている。

例えば、弾性部材７１ａ，７２ａを筐体７３ａに取り付ける場合、弾性部材７１ａの側面に接着剤を塗布し、枠体７５ａの収容部７４ａに嵌合して接着固定する。同様に、弾性部材７２ａの側面に接着剤を塗布し、枠体７６ａの収容部７４ａに嵌合して接着固定する。次に、弾性部材７１ａと弾性部材７２ａとが対向するように、枠体７５ａと枠体７６ａとを組み合わせて接着剤等により固定する。

このとき、図３に示すように、ワイヤ防振手段７０Ａの弾性部材７１ａと弾性部材７２ａとの間隔Ｌ２は、ワイヤＲの径方向上下が僅かに接触するように設定される。例えば、ワイヤＲの径が１００μｍの場合、ワイヤＲと弾性部材７１ａ，７２ａとの接点を結ぶワイヤＲの直径Ｄの上下０〜１０μｍ程度の範囲でワイヤＲ側に弾性部材７１ａ，７２ａを配置する。この例では、間隔Ｌ２は８０〜１００μｍとなる。

枠体７５ａと枠体７６ａとを組み合わせた状態で、ワイヤＲが筐体７３ａを挿通するための開口部７７ａが設けられている。開口部７７ａは、ワイヤＲの走行方向において、収容部７４ａの前後に設けられている。開口部７７ａは、各ワイヤＲを挿通する穴部でもよいし、ワイヤＲの並列方向に開口された矩形状の開口部でもよい。

ワイヤ防振手段７０ＡのインゴットＩと対面する側に、加工液ＦをワイヤＲに沿って噴出するノズル手段８０Ａが配設されている。すなわち、インゴットＩから見て、最初にノズル手段８０Ａが配設され、次にワイヤ防振手段７０Ａが配設されている。インゴットＩの両側に配設されたノズル手段８０Ａは、インゴットＩの加工溝に向けて加工液Ｆを直線状に噴出する。インゴットＩは、両側から加工液Ｆが噴出されることになる。

ノズル手段８０Ａとワイヤ防振手段７０Ａとは、筐体７３ａに一体形成されている。ノズル手段８０Ａは、ワイヤ防振手段７０Ａと共に移動手段９０で移動する。

ノズル手段８０Ａは、加工液ＦをインゴットＩに向けて噴出する噴出口８１ａと、噴出口８１ａが設けられた中空部８２ａと、加工液Ｆを中空部８２ａに供給する供給配管８３ａと、供給配管８３ａを中空部８２ａに取り付ける配管取付部８４ａとを有している。

噴出口８１ａは矩形状に形成され、ワイヤＲが噴出口８１ａを通過するように形成されている。噴出口８１ａの長手方向の長さは、並列するワイヤＲの並列方向の長さよりも若干長く設定され、噴出口８１ａの短手方向の長さは、ワイヤＲが接触しない程度の長さに設定されている。これにより、噴出口８１ａからワイヤＲに沿って加工液Ｆが直線状に噴出されるようになる。供給配管８３ａは、一端が配管取付部８４ａを介して中空部８２ａに接続され、他端が図示しない加工液供給部に接続されている。

加工液供給部から所定の液圧で加工液Ｆが供給され、加工液供給部から供給された加工液Ｆは、供給配管８３ａを経由して中空部８２ａ内に満たされて噴出口８１ａからワイヤＲに沿ってインゴットＩに向けて噴出される。インゴットＩの加工溝に向けて噴出された加工液Ｆは、インゴットＩとワイヤＲとの隙間に存在する加工屑を流して除去し、加工屑による放電加工の精度低下を防止する。

以上のように、実施形態１に係るマルチワイヤ放電加工装置１によれば、弾性部材７１ａ，７２ａの間隔がワイヤＲの径方向上下が僅かに接触するように設定されるワイヤ防振手段７０Ａを備え、ワイヤ防振手段７０Ａは、移動手段９０によりインゴットＩの形状に対応させてワイヤＲに沿って進退され、インゴットＩの近傍に位置付けられる。

これにより、ワイヤＲの振動を弾性部材７１ａ，７２ａによって減衰できるので、極限までワイヤＲの振動を抑える事ができる。実験によると、ワイヤＲの径が１００μｍの場合に、ワイヤ防振手段７０Ａを配設しないとき、ワイヤＲの振動による振幅が約１００μｍあったが、ワイヤ防振手段７０Ａを配設した場合、ワイヤＲの振動による振幅を約１０μｍ以下に抑制することができた。従って、ワイヤＲの振動による加工溝の広がりを抑制できるので、ウェーハとして使用できる枚数が少なくなることを抑えることができる。また、インゴットＩをワイヤＲのピッチ間隔で切断できるので、特に、インゴットＩから薄いウェーハを形成する場合に有効である。

また、ワイヤ防振手段７０Ａの弾性部材７１ａ，７２ａはワイヤＲに僅かに接触するように設定されているので、従来のように、ワイヤを防振部材に押し当てて防振を抑制するような手段と比較して、弾性部材７１ａ，７２ａの摩耗を抑えることができる。これにより、弾性部材７１ａ，７２ａの交換頻度を少なくでき、コストを抑えることができる。また、弾性部材７１ａ，７２ａは弾性を有するため、ワイヤＲに振動が生じてもワイヤＲの圧力が一部分に集中せずに分散するため、摩耗が抑えられる。

また、ノズル手段８０Ａがワイヤ防振手段７０Ａの近傍に形成され、一体的に移動可能であるため、できるだけ近くから加工液ＦをインゴットＩに供給しつつ、ワイヤ防振手段７０ＡとインゴットＩの距離も必要以上に離れることがないため防振効果も充分に発揮できる。また、ワイヤ防振手段７０Ａ及びノズル手段８０Ａを同一の移動手段９０で移動させるので、装置の構成を単純化できる。

〔実施形態２〕
次に、実施形態２に係るワイヤ防振手段及びノズル手段について説明する。図４は、実施形態２に係るワイヤ防振手段及びノズル手段の構成例を示す断面図である。上述したワイヤ防振手段７０Ａに比べて、実施形態２に係るワイヤ防振手段７０Ｂは、図４に示すように、インゴットＩに近い位置に配設される。すなわち、実施形態１では、インゴットＩから見て、最初にノズル手段８０Ａが配設され、次にワイヤ防振手段７０Ａが配設されていたが、実施形態２では、インゴットＩから見て、最初にワイヤ防振手段７０Ｂが配設され、次にノズル手段８０Ｂが配設されている。

ワイヤ防振手段７０Ｂは、並列するワイヤＲを挟んで対面する一対の弾性部材７１ｂ，７２ｂと、弾性部材７１ｂ，７２ｂを収容する直方体の筐体７３ｂとを備える。筐体７３ｂは、弾性部材７１ｂ，７２ｂを収容する収容部７４ｂと、ノズル手段８０Ｂを構成する中空部８２ｂとを有する。ワイヤ防振手段７０Ｂの弾性部材７１ｂと弾性部材７２ｂとの間隔は、ワイヤＲの径方向上下が僅かに接触するように設定される。

筐体７３ｂには、ワイヤＲが筐体７３ｂを挿通するための開口部７７ｂが設けられている。開口部７７ｂは、ワイヤＲの走行方向において、中空部８２ｂの前後に設けられている。

ワイヤ防振手段７０ＢのインゴットＩと対面しない側に、加工液ＦをワイヤＲに沿って噴出するノズル手段８０Ｂが配設されている。インゴットＩの両側に配設されたノズル手段８０Ｂは、ワイヤ防振手段７０Ｂを介してインゴットＩに向けて加工液Ｆを噴出する。

ノズル手段８０Ｂとワイヤ防振手段７０Ｂとは、筐体７３ｂに一体形成されている。ノズル手段８０Ｂは、ワイヤ防振手段７０Ｂと共に移動手段９０で移動する。

ノズル手段８０Ｂは、加工液ＦをインゴットＩに向けて噴出する噴出口８１ｂと、噴出口８１ｂに連通された中空部８２ｂと、加工液Ｆを中空部８２ｂに供給する供給配管８３ｂと、供給配管８３ｂを中空部８２ｂに取り付ける配管取付部８４ｂとを有している。噴出口８１ｂは矩形状に形成され、ワイヤＲが噴出口８１ｂを通過するように形成されている。

図示しない加工液供給部から所定の液圧で加工液Ｆが供給され、加工液供給部から供給された加工液Ｆは、供給配管８３ｂを経由して中空部８２ｂ内に満たされ、開口部７７ｂ及び弾性部材７１ｂ，７２ｂの隙間を通過して噴出口８１ｂからインゴットＩの加工溝に向けて噴出される。なお、ノズル手段８０Ｂは、弾性部材７１ｂ，７２ｂを介して加工液ＦをインゴットＩに向けて噴出するので、ノズル手段８０Ａよりも高い液圧で加工液Ｆを中空部８２ｂ内に供給するのが好ましい。

以上のように、実施形態２に係るマルチワイヤ放電加工装置１によれば、上述した実施形態１の効果を有し、さらに、ワイヤ防振手段７０ＢはインゴットＩに近い位置に配設されるので、切断ワイヤ部３０におけるワイヤＲの振動を抑制する効果が高くなる。また、ワイヤ防振手段７０ＢはインゴットＩに近い位置に配設されるので、ワイヤ防振手段７０Ｂの弾性部材７１ｂ，７２ｂのサイズを小さくすることができ、ワイヤ防振手段７０Ｂを小型化することができる。

なお、ワイヤ防振手段７０Ａ（７０Ｂ）とノズル手段８０Ａ（８０Ｂ）とを同じ筐体７３ａ（７３ｂ）に配設したが、別体としてもよい。

また、噴出口８１ａ，８１ｂの形状は、矩形に限定されない。噴出口８１ａ，８１ｂは、加工液ＦをインゴットＩの加工溝に向けて噴出できればよいので、例えば、楕円形の開口部や複数の穴部などを設けるようにしてもよい。

また、ワイヤＲの位置を固定してインゴットＩを加工送り方向に移動させて放電加工したが、これに限定されない。例えば、インゴットＩの位置を固定して、ワイヤＲを加工送り方向に移動させて放電加工してもよいし、インゴットＩとワイヤＲの両方を相対的に加工送り方向に移動させて放電加工してもよいし、インゴットＩをワイヤＲの下方から上昇させて放電加工しても良い。

また、弾性部材７１ａ，７２ａがワイヤＲと接触する接触面７１０ａ，７２０ａは、平らに形成されている例を示したが、ワイヤＲの円弧部の形状に沿った凹部を接触面７１０ａ，７２０ａに設け、ワイヤＲの径方向上下が凹部に僅かに接触するようにしてもよい。これにより、ワイヤＲの並列方向への振動を凹部により効果的に抑制できる。

７０Ａ，７０Ｂ ワイヤ防振手段
７１ａ，７１ｂ 弾性部材
７２ａ，７２ｂ 弾性部材
７３ａ，７３ｂ 筐体
７４ａ，７４ｂ 収容部
７７ａ，７７ｂ 開口部
８０Ａ，８０Ｂ ノズル手段
８１ａ，８１ｂ 噴出口
８２ａ，８２ｂ 中空部
８３ａ，８３ｂ 供給配管
８４ａ，８４ｂ 配管取付部
Ｆ 加工液

Claims (2)

1. ワイヤでインゴットを放電加工するマルチワイヤ放電加工装置であって、
   間隔をおいて配設された複数のガイドローラと、
   該ガイドローラの軸方向に間隔をあけて複数回巻き掛けられ該ガイドローラ間で並列して走行するワイヤと、
   インゴットを固定する基台部と、
   該基台部に固定されたインゴットが該ワイヤに切り込むように、該ワイヤと該基台部とを相対的に加工送りさせる駆動手段と、
   該ワイヤと該基台部に固定されたインゴットに高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットと、
   並列する該ワイヤを挟んで対面する一対の弾性部材を備え、該弾性部材の間隔は該ワイヤの径方向上下が僅かに接触するように設定されるワイヤ防振手段と、
   該ワイヤ防振手段をインゴットの形状に対応し該ワイヤに沿って進退させ、該インゴットの近傍に位置付ける移動手段と、を備え、
   該ワイヤ防振手段は、インゴットを挟んだ該ワイヤの走行方向の前後に配設されることを特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。
2. 該ワイヤ防振手段のインゴットと対面する側に、加工液を該ワイヤに沿って噴出するノズル手段を備え、
   該ノズル手段は、該ワイヤ防振手段と共に該移動手段で移動することを特徴とする請求項１記載のマルチワイヤ放電加工装置。

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