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JP2016009088A - Display device and manufacturing method of display device - Google Patents

Display device and manufacturing method of display device Download PDF

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JP2016009088A
JP2016009088A JP2014129597A JP2014129597A JP2016009088A JP 2016009088 A JP2016009088 A JP 2016009088A JP 2014129597 A JP2014129597 A JP 2014129597A JP 2014129597 A JP2014129597 A JP 2014129597A JP 2016009088 A JP2016009088 A JP 2016009088A
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JP
Japan
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display device
convex
convex structure
adhesive layer
circuit board
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Application number
JP2014129597A
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Japanese (ja)
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良規 久保田
Yoshiki Kubota
良規 久保田
崇 宮田
Takashi Miyata
崇 宮田
中島 嘉樹
Yoshiki Nakajima
嘉樹 中島
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display device that has excellent insulating properties and can prevent entry of bubbles to obtain good adhesion, and a manufacturing method of a display device.SOLUTION: A display device has a circuit board 30 including a pixel circuit having a pixel electrode formed thereon and a display sheet including an opposing electrode capable of applying a voltage between the pixel electrode and the opposing electrode, which are bonded with an adhesive layer therebetween. The circuit board 30 includes convex structure parts 95 and coating films 76 coating the convex structure parts 95; the coating film 76 has a concave-convex part 80 including a concave part 81 and a convex part 82 formed on a bonding surface on the adhesive layer; the convex structure parts 95 are formed to be overlapped on the convex parts 82.

Description

本発明は、表示装置および表示装置の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a display device and a method for manufacturing the display device.

従来、表示装置として、スイッチング素子等からなる回路上に画素電極が形成された回路基板と、電気泳動層とを接着層を介して貼り合せた電気泳動表示装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。このような電気泳動表示装置を製造する場合、一般的に、シート状の電気泳動シート(表示シート)が回路基板に接着剤で貼り付けられることで形成される。   2. Description of the Related Art Conventionally, as a display device, an electrophoretic display device in which a circuit substrate in which a pixel electrode is formed on a circuit including switching elements and an electrophoretic layer are bonded via an adhesive layer is known (for example, a patent) Reference 1). When manufacturing such an electrophoretic display device, a sheet-like electrophoretic sheet (display sheet) is generally formed by adhering to a circuit board with an adhesive.

特開2009−230061号公報JP 2009-230061 A

しかしながら、上述のような電気泳動表示装置においては、接着層を介して電気泳動シートを貼り合せる際、回路基板の上面が平坦面であるため、回路基板と接着層との間に気泡が入り込んでしまい、電気泳動シートの密着性が低下してしまうおそれがあった。   However, in the electrophoretic display device as described above, when the electrophoretic sheet is bonded through the adhesive layer, the upper surface of the circuit board is a flat surface, so that air bubbles enter between the circuit board and the adhesive layer. As a result, the adhesion of the electrophoretic sheet may be reduced.

また、従来、回路基板は表面が平坦化膜により覆われているが、半導体層、ゲート配線、およびソース配線等の交差部に起因した凸部により平坦化膜の膜厚が薄くなることで、絶縁性が低下してしまうことで表示不良等の不具合を生じるおそれがあった。   Conventionally, the surface of a circuit board is covered with a planarizing film, but the film thickness of the planarizing film is reduced by the protrusions caused by the intersections of the semiconductor layer, the gate wiring, and the source wiring, There is a risk that defects such as display defects may occur due to a decrease in insulation.

本発明の一つの態様は、上記の課題を解決するためになされたものであって、絶縁性に優れるとともに気泡の入り込みを防止することで良好な密着性を得ることが可能な表示装置および表示装置の製造方法を提供することを目的とする。   One aspect of the present invention has been made to solve the above-described problem, and is a display device and display capable of obtaining excellent adhesiveness by being excellent in insulation and preventing bubbles from entering. An object is to provide a method for manufacturing a device.

本発明の第1態様に従えば、画素電極が形成された画素回路を含む回路基板と、前記画素電極との間で電圧を印加可能な対向電極を含む表示シートと、が接着層を介して貼り合わされた表示装置において、前記回路基板は、凸構造部と、前記凸構造部を覆う被覆膜と、を含み、前記被覆膜は、前記接着層との貼り合せ面に、凹部および凸部を含む凹凸部が形成され、前記凸構造部は、前記凸部と重なるように形成された表示装置が提供される。   According to the first aspect of the present invention, a circuit board including a pixel circuit on which a pixel electrode is formed and a display sheet including a counter electrode capable of applying a voltage between the pixel electrode are interposed via an adhesive layer. In the bonded display device, the circuit board includes a convex structure portion and a coating film that covers the convex structure portion, and the coating film has a concave portion and a convex shape on a bonding surface with the adhesive layer. A display device is provided in which an uneven portion including a portion is formed, and the convex structure portion is formed to overlap the convex portion.

第1態様に係る表示装置によれば、回路基板に対して表示シートを貼り合せる際に生じた気泡が凹凸部の凹部に沿って外部に排出される。よって、接着層内への気泡の入り込みが防止されるので、気泡の入り込みに起因した密着性の低下が防止される。よって、接着層および凹凸部における密着性がより向上し、接着層を介して表示シートが回路基板に良好に貼り合わされたものとなる。
また、凸構造部が凸部と重なるように形成されるので、凹凸部を形成した場合であっても被覆膜の膜厚が十分に確保される。よって、絶縁性に優れることで良好な表示品質を備えた信頼性の高い表示装置が提供される。
According to the display device according to the first aspect, bubbles generated when the display sheet is bonded to the circuit board are discharged to the outside along the concave portions of the concave and convex portions. Accordingly, since bubbles are prevented from entering the adhesive layer, a decrease in adhesion due to the entry of bubbles is prevented. Therefore, the adhesiveness in an adhesive layer and an uneven | corrugated | grooved part improves more, and a display sheet will be favorably bonded to a circuit board through the adhesive layer.
Further, since the convex structure portion is formed so as to overlap the convex portion, the film thickness of the coating film is sufficiently ensured even when the concave and convex portion is formed. Therefore, a highly reliable display device having excellent display quality due to excellent insulation is provided.

また、上記第1態様に係る表示装置において、前記凹凸部は、平面視した状態において、前記被覆膜の最上面からの前記凹部による減少分が該被覆膜の最厚部分の厚さの10%以下となる領域に、前記凸構造部が重なるように形成されている構成としてもよい。
この構成によれば、凸構造部が被覆膜の最上面からの凹部による減少分が被覆膜の最厚部分の厚さの10%以下となる領域に配置されるので、凹凸部を形成した場合であっても被覆膜の膜厚が十分に確保される。よって、絶縁性に優れることで良好な表示品質を備えた信頼性の高い表示装置が提供される。
Further, in the display device according to the first aspect, in the state in which the concavo-convex portion is viewed in plan, a decrease due to the concave portion from the uppermost surface of the coating film is the thickness of the thickest portion of the coating film. It is good also as a structure currently formed so that the said convex structure part may overlap in the area | region used as 10% or less.
According to this configuration, since the convex structure portion is arranged in a region where the decrease due to the concave portion from the uppermost surface of the coating film is 10% or less of the thickness of the thickest portion of the coating film, the concave and convex portions are formed. Even if it is a case, the film thickness of a coating film is fully ensured. Therefore, a highly reliable display device having excellent display quality due to excellent insulation is provided.

本発明の第2態様に従えば、画素電極が形成された画素回路を含む回路基板と、前記画素電極との間で電圧を印加可能な対向電極を含む表示シートと、が接着層を介して貼り合わされた表示装置において、前記回路基板は、凸構造部と、前記凸構造部を覆う被覆膜と、を含み、前記被覆膜は、前記接着層との貼り合せ面に、凹部および凹部を含む凹凸部が形成され、前記凹凸部は、平面視した状態において、前記凹部が前記凸構造部に重ならないように形成されている表示装置が提供される。   According to the second aspect of the present invention, a circuit board including a pixel circuit on which a pixel electrode is formed and a display sheet including a counter electrode capable of applying a voltage between the pixel electrode are interposed via an adhesive layer. In the bonded display device, the circuit board includes a convex structure portion and a coating film that covers the convex structure portion, and the coating film has a concave portion and a concave portion on a bonding surface with the adhesive layer. A display device is provided in which the concavo-convex portion is formed, and the concavo-convex portion is formed so that the concave portion does not overlap the convex structure portion in a plan view.

第2態様に係る表示装置によれば、回路基板に対して表示シートを貼り合せる際に生じた気泡が凹凸部の凹部に沿って外部に排出される。よって、接着層内への気泡の入り込みが防止されるので、気泡の入り込みに起因した密着性の低下が防止される。よって、接着層および凹凸部における密着性がより向上し、接着層を介して表示シートが回路基板に良好に貼り合わされたものとなる。
また、凸構造部が凹凸部の凹部と重ならないので、凹凸部を形成した場合であっても被覆膜の膜厚が十分に確保される。よって、絶縁性に優れることで良好な表示品質を備えた信頼性の高い表示装置が提供される。
According to the display device according to the second aspect, bubbles generated when the display sheet is bonded to the circuit board are discharged to the outside along the concave portions of the concave and convex portions. Accordingly, since bubbles are prevented from entering the adhesive layer, a decrease in adhesion due to the entry of bubbles is prevented. Therefore, the adhesiveness in an adhesive layer and an uneven | corrugated | grooved part improves more, and a display sheet will be favorably bonded to a circuit board through the adhesive layer.
Moreover, since the convex structure portion does not overlap with the concave portion of the concavo-convex portion, the film thickness of the coating film is sufficiently ensured even when the concavo-convex portion is formed. Therefore, a highly reliable display device having excellent display quality due to excellent insulation is provided.

上記第1、第2態様において、前記回路基板は、半導体層、走査線、およびデータ線を含み、前記凸構造部は、平面視した状態において、前記半導体層、前記走査線、および前記データ線の少なくとも二つが重なることで構成される構成としてもよい。
この構成によれば、半導体層、走査線、およびデータ配線の交差部において絶縁性を確保することができる。
In the first and second aspects, the circuit board includes a semiconductor layer, a scanning line, and a data line, and the convex structure portion has the semiconductor layer, the scanning line, and the data line in a plan view. It is good also as a structure comprised by overlapping at least two of these.
According to this configuration, insulation can be ensured at the intersection of the semiconductor layer, the scanning line, and the data wiring.

上記第1、第2態様において、前記表示シートが電気泳動シートである構成としてもよい。
この構成によれば、気泡の入り込みを防止することで回路基板に電気泳動シートが良好に貼り合わされた電気泳動表示装置が提供される。また、被覆膜の膜厚を確保することで絶縁性を確保することで表示品質に優れた電気泳動表示装置が提供される。
In the first and second aspects, the display sheet may be an electrophoretic sheet.
According to this configuration, an electrophoretic display device in which an electrophoretic sheet is favorably bonded to a circuit board by preventing air bubbles from entering is provided. In addition, an electrophoretic display device excellent in display quality can be provided by ensuring insulation by securing the film thickness of the coating film.

本発明の第3態様に従えば、画素電極が形成された画素回路、凸構造部、および前記凸構造部を覆う被覆膜を含む回路基板と、前記画素電極との間で電圧を印加可能な対向電極を含む表示シートと、が接着層を介して貼り合わされた表示装置の製造方法において、前記回路基板の形成工程は、前記接着層との貼り合せ面に、凹部および凸部を含む凹凸部を形成する凹凸形成ステップを含み、前記凹凸形成ステップは、前記凸構造部と前記凸部が重なるように前記凹凸部が形成される表示装置の製造方法が提供される。   According to the third aspect of the present invention, a voltage can be applied between the pixel electrode and the pixel circuit on which the pixel electrode is formed, the convex structure portion, and a circuit board including a coating film covering the convex structure portion, and the pixel electrode. In the method for manufacturing a display device in which a display sheet including a counter electrode is bonded via an adhesive layer, the circuit board forming step includes a concave and convex portion including a concave portion and a convex portion on a bonding surface with the adhesive layer. A method of manufacturing a display device in which the concavo-convex portion is formed so that the convex structure portion and the convex portion overlap with each other.

第3態様に係る表示装置の製造方法によれば、回路基板に対して表示シートを貼り合せる際に生じた気泡を凹凸部の凹部に沿って外部に排出することができる。よって、接着層内への気泡の入り込みが防止されるので、気泡の入り込みに起因した密着性の低下を防止することができる。
また、凸構造部が凸部と重なるように形成されるので、凹凸部を形成した場合であっても被覆膜の膜厚が十分に確保される。よって、絶縁性に優れることで良好な表示品質を備えた信頼性の高い表示装置が提供される。
According to the method for manufacturing a display device according to the third aspect, bubbles generated when the display sheet is bonded to the circuit board can be discharged to the outside along the concave portion of the concave and convex portion. Therefore, since bubbles are prevented from entering the adhesive layer, it is possible to prevent a decrease in adhesion due to the bubbles.
Further, since the convex structure portion is formed so as to overlap the convex portion, the film thickness of the coating film is sufficiently ensured even when the concave and convex portion is formed. Therefore, a highly reliable display device having excellent display quality due to excellent insulation is provided.

また、上記第3態様に係る表示装置の製造方法において、前記凹凸形成ステップは、平面視した状態において、前記被覆膜の最上面からの前記凹部による減少分が該被覆膜の最厚部分の厚さの10%以下となる領域に、前記回路基板の前記凸構造部が重なるように前記凹凸部を形成する構成としてもよい。
この構成によれば、凸構造部が被覆膜の最上面からの減少分が被覆膜の最厚部分の厚さの10%以下となる領域に配置されるので、凹凸部を形成した場合であっても被覆膜の膜厚を十分に確保できる。よって、絶縁性に優れることで良好な表示品質を備えた信頼性の高い表示装置を製造できる。
Further, in the method for manufacturing a display device according to the third aspect, the unevenness forming step may be configured such that, when viewed in plan, a decrease due to the concave portion from the uppermost surface of the coating film is a thickest portion of the coating film. It is good also as a structure which forms the said uneven | corrugated | grooved part so that the said convex structure part of the said circuit board may overlap in the area | region used as 10% or less of this thickness.
According to this configuration, since the convex structure portion is disposed in a region where the decrease from the uppermost surface of the coating film is 10% or less of the thickness of the thickest portion of the coating film, Even so, the film thickness of the coating film can be sufficiently secured. Therefore, a highly reliable display device having good display quality can be manufactured by being excellent in insulation.

本発明の第4態様に従えば、画素電極が形成された画素回路、凸構造部、および前記凸構造部を覆う被覆膜を含む回路基板と、前記画素電極との間で電圧を印加可能な対向電極を含む表示シートと、が接着層を介して貼り合わされた表示装置の製造方法において、前記回路基板の形成工程は、前記接着層との貼り合せ面に、凹部および凸部を含む凹凸部を形成する凹凸形成ステップを含み、前記凹凸形成ステップは、平面視した状態において、前記凹部が前記凸構造部に重ならないように前記凹凸部を形成する表示装置の製造方法が提供される。   According to the fourth aspect of the present invention, a voltage can be applied between the pixel electrode on which the pixel electrode is formed, the circuit structure including the convex structure portion, and the covering film covering the convex structure portion, and the pixel electrode. In the method for manufacturing a display device in which a display sheet including a counter electrode is bonded via an adhesive layer, the circuit board forming step includes a concave and convex portion including a concave portion and a convex portion on a bonding surface with the adhesive layer. A method of manufacturing a display device that forms the concavo-convex portion so that the concave portion does not overlap the convex structure portion in a plan view.

第4態様に係る表示装置の製造方法によれば、回路基板に対して表示シートを貼り合せる際に生じた気泡を凹凸部の凹部に沿って外部に排出することができる。よって、接着層内への気泡の入り込みが防止されるので、気泡の入り込みに起因した密着性の低下を防止することができる。
また、凸構造部が凹凸部の凹部と重ならないので、凹凸部を形成した場合であっても被覆膜の膜厚を十分に確保できる。よって、絶縁性に優れることで良好な表示品質を備えた信頼性の高い表示装置を製造できる。
According to the method for manufacturing a display device according to the fourth aspect, bubbles generated when the display sheet is bonded to the circuit board can be discharged to the outside along the concave portion of the concave and convex portion. Therefore, since bubbles are prevented from entering the adhesive layer, it is possible to prevent a decrease in adhesion due to the bubbles.
Moreover, since the convex structure portion does not overlap with the concave portion of the concavo-convex portion, a sufficient film thickness of the coating film can be ensured even when the concavo-convex portion is formed. Therefore, a highly reliable display device having good display quality can be manufactured by being excellent in insulation.

上記第3、第4態様において、前記回路基板は、半導体層、走査線、およびデータ線を含み、前記凸構造部は、平面視した状態において、前記半導体層、前記走査線、および前記データ線の少なくとも二つが重なることで構成される構成としてもよい。
この構成によれば、半導体層、走査線、およびデータ線の交差部において絶縁性を確保することができる。
In the third and fourth aspects, the circuit board includes a semiconductor layer, a scanning line, and a data line, and the convex structure portion has the semiconductor layer, the scanning line, and the data line in a plan view. It is good also as a structure comprised by overlapping at least two of these.
According to this configuration, insulation can be ensured at the intersection of the semiconductor layer, the scanning line, and the data line.

上記第3、第4態様において、前記表示シートが電気泳動シートである構成としてもよい。
この構成によれば、気泡の入り込みを防止することで回路基板に電気泳動シートが良好に貼り合わされた電気泳動表示装置が提供される。また、被覆膜の膜厚を確保することで絶縁性を確保することで表示品質に優れた電気泳動表示装置が提供される。
In the third and fourth aspects, the display sheet may be an electrophoretic sheet.
According to this configuration, an electrophoretic display device in which an electrophoretic sheet is favorably bonded to a circuit board by preventing air bubbles from entering is provided. In addition, an electrophoretic display device excellent in display quality can be provided by ensuring insulation by securing the film thickness of the coating film.

電気泳動表示装置を示す等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram which shows an electrophoretic display device. 電気泳動表示装置の断面図である。It is sectional drawing of an electrophoretic display apparatus. 電気泳動素子を構成するマイクロカプセルの断面図である。It is sectional drawing of the microcapsule which comprises an electrophoretic element. (a)、(b)は電気泳動素子の動作を説明するための図である。(A), (b) is a figure for demonstrating operation | movement of an electrophoretic element. 素子基板の要部構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part structure of an element substrate. (a)、(b)、(c)は凹凸部の平面構造の一例を示す図である。(A), (b), (c) is a figure which shows an example of the planar structure of an uneven | corrugated | grooved part. (a)、(b)は凹凸部及び凸構造部の位置関係を示した図である。(A), (b) is the figure which showed the positional relationship of an uneven | corrugated | grooved part and a convex structure part. 凸構造部と凹部との位置関係の許容幅を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the tolerance | permissible_width | variety of the positional relationship of a convex structure part and a recessed part. 凸構造部と凹部との位置関係の許容幅を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the allowable width | variety of the positional relationship of a convex structure part and a recessed part. (a)〜(c)は電気泳動表示装置の製造工程の一例を示す図である。(A)-(c) is a figure which shows an example of the manufacturing process of an electrophoretic display device.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
In addition, in the drawings used in the following description, in order to make the features easy to understand, there are cases where the portions that become the features are enlarged for the sake of convenience, and the dimensional ratios of the respective components are not always the same as the actual ones. Absent.

本実施形態は、表示装置の一例として、アクティブマトリクス型の電気泳動表示装置を例示する。
図1は本実施形態の電気泳動表示装置を示す等価回路図である。図2は同、電気泳動表示装置の断面図である。図3は電気泳動素子を構成するマイクロカプセルの断面図である。図4(a)、(b)は電気泳動素子の動作を説明するための図である。
This embodiment illustrates an active matrix type electrophoretic display device as an example of a display device.
FIG. 1 is an equivalent circuit diagram showing an electrophoretic display device of this embodiment. FIG. 2 is a sectional view of the electrophoretic display device. FIG. 3 is a cross-sectional view of a microcapsule constituting an electrophoretic element. 4A and 4B are diagrams for explaining the operation of the electrophoretic element.

本実施形態の電気泳動表示装置100は、図1に示すように、複数の画素40が行方向および列方向にマトリクス状に配列された表示部5を備えている。表示部5の周辺には、走査線駆動回路61、データ線駆動回路62が配置されている。表示部5には、走査線駆動回路61から延びる複数の走査線36と、データ線駆動回路62から延びる複数のデータ線38とが設けられており、これらの交差位置に対応して画素40が設けられている。各画素40には、選択トランジスター41と画素電極35とが設けられている。
なお、「行方向」とは、表示部における「水平方向」のことであり、図1の左右方向に対応する。「列方向」とは、前記水平方向に直交する「垂直方向」のことであり、図1の上下方向に対応する。
As shown in FIG. 1, the electrophoretic display device 100 according to the present embodiment includes a display unit 5 in which a plurality of pixels 40 are arranged in a matrix in the row direction and the column direction. Around the display unit 5, a scanning line driving circuit 61 and a data line driving circuit 62 are arranged. The display unit 5 is provided with a plurality of scanning lines 36 extending from the scanning line driving circuit 61 and a plurality of data lines 38 extending from the data line driving circuit 62, and the pixels 40 correspond to these intersecting positions. Is provided. Each pixel 40 is provided with a selection transistor 41 and a pixel electrode 35.
Note that the “row direction” is the “horizontal direction” in the display unit, and corresponds to the horizontal direction in FIG. The “column direction” is a “vertical direction” orthogonal to the horizontal direction and corresponds to the vertical direction in FIG.

走査線駆動回路61は、m本の走査線36(G1、G2、…、Gm)を介して各画素40に接続されており、1行目からm行目までの走査線36を順次選択し、画素40に設けられた選択トランジスター41をオン状態とするタイミングを規定する選択信号を、選択した走査線36を介して供給する。また、データ線駆動回路62は、n本のデータ線38(S1、S2、…、Sn)を介して各画素40に接続されており、各画素40に対応する画素データを規定する画像信号を画素40に供給する。   The scanning line driving circuit 61 is connected to each pixel 40 via m scanning lines 36 (G1, G2,..., Gm), and sequentially selects the scanning lines 36 from the first row to the m-th row. A selection signal defining the timing for turning on the selection transistor 41 provided in the pixel 40 is supplied via the selected scanning line 36. The data line driving circuit 62 is connected to each pixel 40 via n data lines 38 (S1, S2,..., Sn), and receives an image signal that defines pixel data corresponding to each pixel 40. The pixel 40 is supplied.

電気泳動表示装置100は、図2に示すように、素子基板30(回路基板)と、対向基板31と、素子基板30と対向基板31との間に挟持された複数のマイクロカプセル20を配列してなる電気泳動素子32と、を備えている。   As shown in FIG. 2, the electrophoretic display device 100 has an element substrate 30 (circuit board), a counter substrate 31, and a plurality of microcapsules 20 sandwiched between the element substrate 30 and the counter substrate 31. An electrophoretic element 32.

本実施形態において、電気泳動素子32と画素電極35とが接着層50を介して接着されることにより、素子基板30と対向基板31とが接合されている。電気泳動素子32は、予め対向基板31側に形成され、接着層50までを含めた電気泳動シート(表示シート)51として取り扱われるのが一般的である。本実施形態において、電気泳動シート51は、接着層50、電気泳動素子32、対向電極37および基板本体79を含むシート体から構成される。   In the present embodiment, the electrophoretic element 32 and the pixel electrode 35 are bonded via the adhesive layer 50, whereby the element substrate 30 and the counter substrate 31 are bonded. The electrophoretic element 32 is generally formed on the counter substrate 31 side in advance and is handled as an electrophoretic sheet (display sheet) 51 including the adhesive layer 50. In the present embodiment, the electrophoretic sheet 51 is composed of a sheet body including the adhesive layer 50, the electrophoretic element 32, the counter electrode 37, and the substrate body 79.

後述の製造工程において、電気泳動シート51は、接着層50の表面に保護用の離型シートが貼り付けられた状態で取り扱われる。そして、別途画素電極35、選択トランジスター41や各種回路などが形成された素子基板30に対して、離型シートを剥がした当該電気泳動シート51を貼り付けることにより、表示部5を形成する。このため、接着層50は画素電極35側のみに存在している。   In the manufacturing process described later, the electrophoretic sheet 51 is handled in a state where a protective release sheet is attached to the surface of the adhesive layer 50. Then, the display unit 5 is formed by attaching the electrophoretic sheet 51 from which the release sheet is peeled off to the element substrate 30 on which the pixel electrode 35, the selection transistor 41, various circuits, and the like are separately formed. For this reason, the adhesive layer 50 exists only on the pixel electrode 35 side.

素子基板30は、各画素40に対応して設けられた複数の画素電極35を含む。画素電極35は、例えばITO(インジウム・スズ酸化物)等の透明導電材料やAl等の金属材料などにより形成されており、後述する対向電極37との間で電気泳動素子32に電圧を印加する電極である。   The element substrate 30 includes a plurality of pixel electrodes 35 provided corresponding to the respective pixels 40. The pixel electrode 35 is made of, for example, a transparent conductive material such as ITO (indium tin oxide) or a metal material such as Al, and applies a voltage to the electrophoretic element 32 with the counter electrode 37 described later. Electrode.

対向基板31は、基板本体79と対向電極37とを含む。基板本体79は、ガラスやプラスチック等からなる基板であり、視認側に配置されるため、透明基板が用いられる。基板本体79の電気泳動素子32側の一面には、個々の画素電極35と対向するように対向電極37が形成されている。対向電極37は、画素電極35とともに電気泳動素子32に電圧を印加する電極であり、MgAg(マグネシウム銀)、ITO、IZO(インジウム・亜鉛酸化物)などの透明導電材料から形成されている。   The counter substrate 31 includes a substrate body 79 and a counter electrode 37. The substrate body 79 is a substrate made of glass, plastic, or the like, and is disposed on the viewing side, so that a transparent substrate is used. A counter electrode 37 is formed on one surface of the substrate body 79 on the side of the electrophoretic element 32 so as to face each pixel electrode 35. The counter electrode 37 is an electrode that applies a voltage to the electrophoretic element 32 together with the pixel electrode 35, and is made of a transparent conductive material such as MgAg (magnesium silver), ITO, or IZO (indium / zinc oxide).

図3に示すように、マイクロカプセル20は、例えば50μm程度の粒径を有しており、内部に分散媒21と、多数の白色粒子(電気泳動粒子)27と、多数の黒色粒子(電気泳動粒子)26とが封入された球状体である。マイクロカプセル20は、図2に示すように、対向電極37と画素電極35との間に挟持され、1つの画素40内に複数のマイクロカプセル20が配置されている。なお、図2には、1つの画素40内に複数のマイクロカプセル20が配置された構成を描いてあるが、1つの画素40内に1つのマイクロカプセル20が配置された構成であっても良い。   As shown in FIG. 3, the microcapsule 20 has a particle size of, for example, about 50 μm, and has a dispersion medium 21, a large number of white particles (electrophoretic particles) 27, and a large number of black particles (electrophoresis). Particles) 26 are encapsulated spherical bodies. As shown in FIG. 2, the microcapsule 20 is sandwiched between the counter electrode 37 and the pixel electrode 35, and a plurality of microcapsules 20 are arranged in one pixel 40. 2 shows a configuration in which a plurality of microcapsules 20 are arranged in one pixel 40, a configuration in which one microcapsule 20 is arranged in one pixel 40 may be used. .

マイクロカプセル20の外殻部20a(壁膜)は、ポリメタクリル酸メチル、ポリメタクリル酸エチルなどのアクリル樹脂、ユリア樹脂、アラビアガムなどの透光性を持つ高分子樹脂などを用いて形成されている。分散媒21は、白色粒子27と黒色粒子26とをマイクロカプセル20内に分散させる液体である。   The outer shell portion 20a (wall film) of the microcapsule 20 is formed using an acrylic resin such as polymethyl methacrylate or polyethyl methacrylate, a translucent polymer resin such as a urea resin, or gum arabic. Yes. The dispersion medium 21 is a liquid that disperses the white particles 27 and the black particles 26 in the microcapsules 20.

分散媒21としては、水、アルコール系溶媒(メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブなど)、エステル類(酢酸エチル、酢酸ブチルなど)、ケトン類(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなど)、脂肪族炭化水素(ぺンタン、ヘキサン、オクタンなど)、脂環式炭化水素(シクロへキサン、メチルシクロへキサンなど)、芳香族炭化水素(ベンゼン、トルエン、長鎖アルキル基を有するベンゼン類(キシレン、ヘキシルベンゼン、ヘブチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンなど))、ハロゲン化炭化水素(塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、1,2−ジクロロエタンなど)、カルボン酸塩などを例示することができ、その他の油類であってもよい。これらの物質は単独または混合物として用いることができ、さらに界面活性剤などを配合してもよい。   Examples of the dispersion medium 21 include water, alcohol solvents (methanol, ethanol, isopropanol, butanol, octanol, methyl cellosolve, etc.), esters (ethyl acetate, butyl acetate, etc.), ketones (acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, etc.). ), Aliphatic hydrocarbons (pentane, hexane, octane, etc.), alicyclic hydrocarbons (cyclohexane, methylcyclohexane, etc.), aromatic hydrocarbons (benzene, toluene, benzenes having a long-chain alkyl group ( Xylene, hexylbenzene, hebutylbenzene, octylbenzene, nonylbenzene, decylbenzene, undecylbenzene, dodecylbenzene, tridecylbenzene, tetradecylbenzene)), halogenated hydrocarbons (methylene chloride, chloroform, tetrachloride) Element, and 1,2-dichloroethane), can be exemplified a carboxylate, it may be other oils. These substances can be used alone or as a mixture, and a surfactant or the like may be further blended.

白色粒子27は、例えば、二酸化チタン、亜鉛華、三酸化アンチモン等の白色顔料からなる粒子(高分子あるいはコロイド)であり、例えば負に帯電されて用いられる。黒色粒子26は、例えば、アニリンブラック、カーボンブラック等の黒色顔料からなる粒子(高分子あるいはコロイド)であり、例えば正に帯電されて用いられる。   The white particles 27 are particles (polymer or colloid) made of a white pigment such as titanium dioxide, zinc white, and antimony trioxide, and are used, for example, by being negatively charged. The black particles 26 are particles (polymer or colloid) made of a black pigment such as aniline black or carbon black, and are used by being charged positively, for example.

これら白色顔料および黒色顔料には、必要に応じて、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンドなどの粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤等の分散剤、潤滑剤、安定化剤などを添加することができる。
また、黒色粒子26および白色粒子27に代えて、例えば赤色、緑色、青色、イエロー、シアン、マゼンタ等の顔料を用いてもよい。係る構成によれば、カラーフィルターを用いることなく、表示部5に赤色、緑色、青色、イエロー、シアン、マゼンタ等を表示することができる。
なお、上記構成に代えて、着色した分散媒21に1種類の荷電粒子を分散させた1粒子系であっても良い。あるいは、着色した分散媒21に2種類以上の荷電粒子を分散させた構成であっても良い。
また、分散媒及び粒子をマイクロカプセル内に封入する構成に代えて、一対の基板間に分散媒及び粒子を充填する構成であってもよく、この場合には、一対の基板間に隔壁を設け、隔壁によって区画されたセル内に分散媒及び粒子を充填してもよい。
If necessary, these white pigments and black pigments may include electrolytes, surfactants, metal soaps, resins, rubbers, oils, varnishes, compound charge control agents, titanium-based coupling agents, aluminum-based cups. A dispersing agent such as a ring agent and a silane coupling agent, a lubricant, a stabilizer, and the like can be added.
Further, instead of the black particles 26 and the white particles 27, for example, pigments such as red, green, blue, yellow, cyan, magenta and the like may be used. According to such a configuration, red, green, blue, yellow, cyan, magenta, and the like can be displayed on the display unit 5 without using a color filter.
Instead of the above configuration, a one-particle system in which one type of charged particle is dispersed in the colored dispersion medium 21 may be used. Alternatively, a configuration in which two or more kinds of charged particles are dispersed in the colored dispersion medium 21 may be used.
Further, instead of the configuration in which the dispersion medium and particles are enclosed in the microcapsule, a configuration in which the dispersion medium and particles are filled between a pair of substrates may be used. In this case, a partition wall is provided between the pair of substrates. The dispersion medium and the particles may be filled in the cells partitioned by the partition walls.

上記構成の電気泳動素子32において、画素40を白表示させる場合には、図4(a)に示すように、対向電極37を相対的に高電位に保持し、画素電極35を相対的に低電位に保持する。すなわち、対向電極37の電位を基準電位としたとき、画素電極35を負極性に保持する。これにより、負に帯電した白色粒子27が対向電極37に引き寄せられる一方、正に帯電した黒色粒子26が画素電極35に引き寄せられる。その結果、対向電極37側からこの画素を見ると白色が視認される。   In the electrophoretic element 32 configured as described above, when the pixel 40 is displayed in white, as shown in FIG. 4A, the counter electrode 37 is held at a relatively high potential, and the pixel electrode 35 is relatively lowered. Hold at potential. That is, when the potential of the counter electrode 37 is set as a reference potential, the pixel electrode 35 is held negative. Thereby, the negatively charged white particles 27 are attracted to the counter electrode 37, while the positively charged black particles 26 are attracted to the pixel electrode 35. As a result, when this pixel is viewed from the counter electrode 37 side, white is visually recognized.

一方、画素40を黒表示させる場合には、図4(b)に示すように、対向電極37を相対的に低電位に保持し、画素電極35を相対的に高電位に保持する。すなわち、対向電極37の電位を基準電位としたとき、画素電極35を正極性に保持する。これにより、正に帯電した黒色粒子26が対向電極37側へ引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子27が画素電極35に引き寄せられる。その結果、対向電極37側からこの画素を見ると黒色が視認される。   On the other hand, when the pixel 40 is displayed in black, as shown in FIG. 4B, the counter electrode 37 is held at a relatively low potential, and the pixel electrode 35 is held at a relatively high potential. That is, when the potential of the counter electrode 37 is set as a reference potential, the pixel electrode 35 is kept positive. As a result, the positively charged black particles 26 are attracted toward the counter electrode 37, while the negatively charged white particles 27 are attracted to the pixel electrode 35. As a result, when this pixel is viewed from the counter electrode 37 side, black is visually recognized.

続いて、素子基板30の構成について詳細に説明する。図5は素子基板30の要部構成を示す断面図である。
図5に示すように、素子基板30の電気泳動素子32が配置される側の面には、図1に示した走査線36、データ線38、選択トランジスター41などが形成されている。
Next, the configuration of the element substrate 30 will be described in detail. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the main configuration of the element substrate 30.
As shown in FIG. 5, the scanning line 36, the data line 38, the selection transistor 41, and the like shown in FIG. 1 are formed on the surface of the element substrate 30 on which the electrophoretic element 32 is disposed.

素子基板30を構成する基板本体71は、ガラスやプラスチック等で構成されている。この基板本体71は、視認側とは反対側に配置されるため、透明なものでなくてもよい。基板本体71の電気泳動素子32側の一面に半導体層72が形成され、半導体層72を覆うようにゲート絶縁膜73が形成されている。半導体層72には、例えばアモルファスシリコン、多結晶シリコン等の非単結晶シリコン材料、酸化物半導体材料、In−Ga−Zn−O等の透明酸化物半導体材料、フルオレン−ビチオフェン共重合体等の有機物半導体材料、等を用いることができる。半導体層72に酸化物半導体材料を用いる場合には、ゲート絶縁膜73にも酸化物絶縁材料を用いることが望ましく、また、半導体層72に有機物半導体材料を用いる場合には、ゲート絶縁膜73にも有機絶縁材料を用いることが望ましい。   The substrate body 71 constituting the element substrate 30 is made of glass, plastic, or the like. Since the substrate body 71 is disposed on the side opposite to the viewing side, it does not have to be transparent. A semiconductor layer 72 is formed on one surface of the substrate body 71 on the electrophoretic element 32 side, and a gate insulating film 73 is formed so as to cover the semiconductor layer 72. The semiconductor layer 72 includes, for example, non-single-crystal silicon materials such as amorphous silicon and polycrystalline silicon, oxide semiconductor materials, transparent oxide semiconductor materials such as In—Ga—Zn—O, and organic substances such as fluorene-bithiophene copolymers. A semiconductor material or the like can be used. When an oxide semiconductor material is used for the semiconductor layer 72, an oxide insulating material is preferably used for the gate insulating film 73. When an organic semiconductor material is used for the semiconductor layer 72, the gate insulating film 73 is used. It is also desirable to use an organic insulating material.

ゲート絶縁膜73上には、選択トランジスター41のゲート電極として機能する走査線36が形成されている。走査線36には、例えばAl−Nd合金とMoとの金属積層膜等を用いることができる。その他、Al単体、ITO、Cu、Cr、Ta、Mo、Nb、Ag、Pt、Pd、In、Ndやそれらの合金等を用いることができる。   On the gate insulating film 73, the scanning line 36 that functions as the gate electrode of the selection transistor 41 is formed. For the scanning line 36, for example, a metal laminated film of an Al—Nd alloy and Mo can be used. In addition, Al alone, ITO, Cu, Cr, Ta, Mo, Nb, Ag, Pt, Pd, In, Nd, and alloys thereof can be used.

第1層間絶縁膜74が、走査線36を覆うように基板本体71の全面に形成されている。第1層間絶縁膜74には、例えばシリコン窒化膜、シリコン酸化膜、シリコン窒化酸化膜等の無機絶縁材料、あるいは有機絶縁材料を用いることができる。第1層間絶縁膜74上には、コンタクトホール75を介して半導体層72のソース領域と電気的に接続されたデータ線38が形成されている。第1層間絶縁膜74上には、コンタクトホール77を介して半導体層72のドレイン領域と電気的に接続されたドレイン線(ドレイン電極)65が形成されている。データ線38およびドレイン線65にも走査線36と同様の材料を用いることができる。なお、図5では、ゲート電極が半導体層72より図5中の上側に形成されるトップゲート構造となっているが、ゲート電極が半導体層72より下側に形成されるボトムゲート構造であってもよい。   A first interlayer insulating film 74 is formed on the entire surface of the substrate body 71 so as to cover the scanning lines 36. For the first interlayer insulating film 74, for example, an inorganic insulating material such as a silicon nitride film, a silicon oxide film, or a silicon nitride oxide film, or an organic insulating material can be used. A data line 38 electrically connected to the source region of the semiconductor layer 72 through the contact hole 75 is formed on the first interlayer insulating film 74. A drain line (drain electrode) 65 that is electrically connected to the drain region of the semiconductor layer 72 through the contact hole 77 is formed on the first interlayer insulating film 74. The same material as that of the scanning line 36 can be used for the data line 38 and the drain line 65. 5 has a top gate structure in which the gate electrode is formed above the semiconductor layer 72 in FIG. 5, the bottom gate structure in which the gate electrode is formed below the semiconductor layer 72. Also good.

第2層間絶縁膜76が、データ線38およびドレイン線65を覆うように第1層間絶縁膜74上の全面に形成されている。第2層間絶縁膜76には、第1層間絶縁膜74と同様、例えばシリコン窒化膜、シリコン酸化膜、シリコン窒化酸化膜等の無機絶縁材料、あるいは有機絶縁材料を用いることができる。第2層間絶縁膜76上には、コンタクトホール78を介してドレイン線65を介して半導体層72のドレイン領域と電気的に接続された画素電極35が形成されている。ここでは、画素電極35の平面形状は図示しないが、データ線38と走査線36とが略直交する配置に合わせて略矩形状に形成されている。   A second interlayer insulating film 76 is formed on the entire surface of the first interlayer insulating film 74 so as to cover the data lines 38 and the drain lines 65. As the first interlayer insulating film 74, for example, an inorganic insulating material such as a silicon nitride film, a silicon oxide film, or a silicon nitride oxide film, or an organic insulating material can be used for the second interlayer insulating film 76. A pixel electrode 35 electrically connected to the drain region of the semiconductor layer 72 through the contact hole 78 and the drain line 65 is formed on the second interlayer insulating film 76. Here, although the planar shape of the pixel electrode 35 is not illustrated, the data line 38 and the scanning line 36 are formed in a substantially rectangular shape in accordance with the substantially orthogonal arrangement.

ところで、本実施形態の電気泳動表示装置100は、図2に示したように電気泳動素子32と画素電極35とが接着層50を介して接着されることにより、素子基板30と対向基板31とが接合されている。そのため、電気泳動表示装置100においては、接着層50における密着性の向上および接着時の気泡の噛み込みを防止することが望まれている。これは、接着層50の密着性が低下すると機械的強度が低下してしまうため、装置の信頼性が低下してしまうためである。また、接着層50内において気泡の噛み込みが生じると表示品質が低下してしまうためである。   Incidentally, in the electrophoretic display device 100 of the present embodiment, the electrophoretic element 32 and the pixel electrode 35 are bonded via the adhesive layer 50 as shown in FIG. Are joined. Therefore, in the electrophoretic display device 100, it is desired to improve the adhesion in the adhesive layer 50 and to prevent the entrapment of bubbles during bonding. This is because if the adhesiveness of the adhesive layer 50 is lowered, the mechanical strength is lowered, so that the reliability of the apparatus is lowered. Further, when bubbles are caught in the adhesive layer 50, the display quality is deteriorated.

これに対し、本実施形態においては、第2層間絶縁膜76の上面、すなわち電気泳動シート51との貼り合せ面に凹凸部80を形成している。凹凸部80は、凹部81および凸部82を含む。画素電極35は、凹凸部80の形状に倣った凹凸形状を有したものとなっている。   On the other hand, in the present embodiment, the concavo-convex portion 80 is formed on the upper surface of the second interlayer insulating film 76, that is, the bonding surface with the electrophoretic sheet 51. The uneven portion 80 includes a concave portion 81 and a convex portion 82. The pixel electrode 35 has an uneven shape that follows the shape of the uneven portion 80.

本実施形態において、凸部82の上面は、図5に示したように、画素電極35よりも小さく形成されている。具体的に凸部82の上面は、平面の面積(平面視した際の面積)が20μm以上あればよい。また、凹凸部80は、凹部81に対する凸部82の高さが1.0μm以上に設定されるのが望ましく、本実施形態では、1.5μm程度に設定したときが、気泡の入り込みを防止することで良好な密着性を得ることができた。凹部81は、表示部5の外部まで連通するように形成されている。 In the present embodiment, the upper surface of the convex portion 82 is formed smaller than the pixel electrode 35 as shown in FIG. Specifically, the upper surface of the convex portion 82 only needs to have a planar area (area in plan view) of 20 μm 2 or more. Further, it is desirable that the height of the convex portion 82 with respect to the concave portion 81 is set to 1.0 μm or more in the concave-convex portion 80. In this embodiment, when the concave portion 80 is set to about 1.5 μm, entry of bubbles is prevented. As a result, good adhesion could be obtained. The recess 81 is formed so as to communicate with the outside of the display unit 5.

また、本実施形態において、接着層50により素子基板30に貼り合わされる電気泳動シート51のサイズが、凹凸部80の形成領域(第2層間絶縁膜76)のサイズよりも大きくなっている。そのため、接着層50は、第2層間絶縁膜76の側端面を覆った状態となっている。また、シール材60は、接着層50に接するように表示部5および周辺回路部6を封止している。この構成によれば、凹凸部80(第2層間絶縁膜76)の外縁部が接着層50およびシール材60により覆われるので、第2層間絶縁膜76の内部への水分の入り込みを防止した高い封止性を得ることができる。   Further, in the present embodiment, the size of the electrophoretic sheet 51 bonded to the element substrate 30 by the adhesive layer 50 is larger than the size of the formation region (second interlayer insulating film 76) of the uneven portion 80. Therefore, the adhesive layer 50 covers the side end surface of the second interlayer insulating film 76. Further, the sealing material 60 seals the display unit 5 and the peripheral circuit unit 6 so as to be in contact with the adhesive layer 50. According to this configuration, since the outer edge portion of the concavo-convex portion 80 (second interlayer insulating film 76) is covered with the adhesive layer 50 and the sealing material 60, the entry of moisture into the second interlayer insulating film 76 is prevented. Sealability can be obtained.

また、凹凸部80において、凹部81および凸部82の面積比を10〜90%に設定することが望ましい。   Moreover, in the uneven | corrugated | grooved part 80, it is desirable to set the area ratio of the recessed part 81 and the convex part 82 to 10 to 90%.

凹凸部80の平面構造について説明する。図6(a)、(b)、(c)は、凹凸部80の平面構造の一例を示す図である。
凹凸部80は、凸部82の上面82aの平坦面形状が図6(a)に示すような六角形であっても良いし、図6(b)に示すような円形であっても良いし、図6(c)に示すような矩形(正方形)であっても良い。なお、これらの形状に限らず、凸部の上面が平坦面になっていれば良い。
The planar structure of the uneven portion 80 will be described. FIGS. 6A, 6 </ b> B, and 6 </ b> C are diagrams illustrating an example of a planar structure of the uneven portion 80.
In the concavo-convex portion 80, the flat surface shape of the upper surface 82a of the convex portion 82 may be a hexagon as shown in FIG. 6A, or may be a circle as shown in FIG. A rectangle (square) as shown in FIG. In addition, not only these shapes but the upper surface of a convex part should just be a flat surface.

ところで、素子基板30には、図5に示したように、第2層間絶縁膜76の下層において、半導体層72、走査線36およびデータ線38が形成されている。これら半導体層72、走査線36およびデータ線38は表示部5内の所定領域に形成されるため、平面視した状態において、これらは基板上において部分的に交差したものとなる。以上から、素子基板30には、上述の半導体層72、走査線36およびデータ線38の少なくとも2つが平面的に交差した部分において、他の部分に比べて上方に突出した凸構造が形成されている。   Meanwhile, as shown in FIG. 5, the semiconductor substrate 72, the scanning line 36, and the data line 38 are formed on the element substrate 30 below the second interlayer insulating film 76. Since the semiconductor layer 72, the scanning line 36, and the data line 38 are formed in a predetermined region in the display unit 5, they are partially crossed on the substrate in a plan view. From the above, the element substrate 30 is formed with a convex structure that protrudes upward in comparison with other portions at a portion where at least two of the semiconductor layer 72, the scanning line 36, and the data line 38 intersect in a plane. Yes.

一方、本実施形態では、上述のように電気泳動シート51との貼り合せ面となる第2層間絶縁膜76に凹凸部80を形成している。第2層間絶縁膜76は、凹凸部80の凹部81において膜厚が相対的に薄くなっている。そのため、上述した素子基板30に形成される凸構造と凹凸部80の凹部81とが平面的に重なった場合、第2層間絶縁膜76の膜厚が所定膜厚(最低膜厚)よりも薄くなってしまう。第2層間絶縁膜76の膜厚が薄くなると、素子基板30における絶縁性が低下してしまい、電気泳動素子32に対して所望の電圧を印加することができずに表示不良などの不具合を生じる可能性がある。また、第2層間絶縁膜76の膜厚が薄い部分は、素子基板30に存在している異物などの特異的な凸部を埋めることができず、該異物が表面に露出してしまうおそれもある。   On the other hand, in the present embodiment, the concavo-convex portion 80 is formed in the second interlayer insulating film 76 that becomes a bonding surface with the electrophoretic sheet 51 as described above. The second interlayer insulating film 76 is relatively thin in the recess 81 of the uneven portion 80. For this reason, when the convex structure formed on the element substrate 30 and the concave portion 81 of the concave and convex portion 80 overlap in a planar manner, the thickness of the second interlayer insulating film 76 is thinner than a predetermined thickness (minimum thickness). turn into. When the film thickness of the second interlayer insulating film 76 is reduced, the insulating property of the element substrate 30 is lowered, and a desired voltage cannot be applied to the electrophoretic element 32, causing problems such as display defects. there is a possibility. Further, the thin portion of the second interlayer insulating film 76 cannot fill a specific convex portion such as a foreign substance existing on the element substrate 30, and the foreign substance may be exposed on the surface. is there.

そこで、本実施形態に係る電気泳動表示装置100では、凹凸部80と素子基板30に形成される凸構造との平面的な位置関係を調整することで第2層間絶縁膜(被覆膜)76の膜厚を確保するようにした。これにより、電気泳動素子32に対して所望の電圧を印加することができ、表示不良などの不具合を防止することが可能となっている。また、素子基板30に存在している異物などの特異的な凸部を確実に埋めることが可能となっている。   Therefore, in the electrophoretic display device 100 according to the present embodiment, the second interlayer insulating film (coating film) 76 is adjusted by adjusting the planar positional relationship between the concavo-convex portion 80 and the convex structure formed on the element substrate 30. The film thickness was ensured. As a result, a desired voltage can be applied to the electrophoretic element 32, and problems such as display defects can be prevented. In addition, it is possible to reliably fill specific convex portions such as foreign matters existing on the element substrate 30.

図7は凹凸部80と凸構造部95との平面的な位置関係を示した図であり、図7(a)は平面構成を示す図であり、図7(b)は図7(a)におけるA−A線矢視による断面図である。図7においては、凸構造部95が走査線36およびデータ線38の交差部から構成されている場合を例に挙げた。なお、凸構造部95は走査線36およびデータ線38の交差部に限定されることは無く、走査線36、データ線38および半導体層72の少なくとも二つの交差部から構成されたものを含む。すなわち、凸構造部95は、走査線36、データ線38および半導体層72の全部が交差した交差部から構成されたものを含む。   7 is a diagram showing a planar positional relationship between the concavo-convex portion 80 and the convex structure portion 95, FIG. 7 (a) is a diagram showing a planar configuration, and FIG. 7 (b) is a diagram of FIG. 7 (a). It is sectional drawing by the AA arrow in FIG. In FIG. 7, the case where the convex structure portion 95 is configured by the intersection of the scanning line 36 and the data line 38 is taken as an example. The convex structure portion 95 is not limited to the intersection of the scanning line 36 and the data line 38, but includes a structure constituted by at least two intersections of the scanning line 36, the data line 38, and the semiconductor layer 72. In other words, the convex structure portion 95 includes a portion formed by an intersection where all of the scanning line 36, the data line 38, and the semiconductor layer 72 intersect.

本実施形態において、凹凸部80は、図7(a)、(b)に示すように、第2層間絶縁膜76の凹部81が凸構造部95に平面的に重ならないように形成されている。すなわち、凸部82が凸構造部95に平面的に重なるように形成されていると換言することもできる。これによれば、第2層間絶縁膜76は、膜厚が薄くなる凹部81と凸構造部95とが重なる。膜厚が相対的に厚くなる凸部82と凸構造部95とが重なることが無いため、膜厚が薄くなってしまうことが防止される。よって、電気泳動素子32に対して所望の電圧を印加することができ、表示不良などの不具合を防止することができる。また、素子基板30に存在している異物などの特異的な凸部を確実に埋めることができる。   In the present embodiment, as shown in FIGS. 7A and 7B, the concavo-convex portion 80 is formed so that the concave portion 81 of the second interlayer insulating film 76 does not overlap the convex structure portion 95 in a plane. . In other words, it can also be said that the convex part 82 is formed so as to overlap the convex structure part 95 in a planar manner. According to this, in the second interlayer insulating film 76, the concave portion 81 and the convex structure portion 95 whose thickness is reduced overlap. Since the convex part 82 and the convex structure part 95 whose film thickness are relatively thick do not overlap, it is possible to prevent the film thickness from becoming thin. Therefore, a desired voltage can be applied to the electrophoretic element 32, and problems such as display defects can be prevented. In addition, it is possible to reliably fill specific protrusions such as foreign substances existing on the element substrate 30.

本実施形態においては、凹部81が凸構造部95に平面的に完全に重ならないように形成される場合、すなわち、凸部82が凸構造部95に平面的に完全に重なるように形成される場合のみに限定されることは無い。すなわち、第2層間絶縁膜76の所定膜厚を確保できる範囲であれば、凸構造部95が凹部81の一部に平面的に重なっていても良い。   In the present embodiment, the concave portion 81 is formed so as not to completely overlap the convex structure portion 95 in a planar manner, that is, the convex portion 82 is formed to completely overlap the convex structure portion 95 in a planar manner. It is not limited to cases only. That is, as long as the predetermined film thickness of the second interlayer insulating film 76 can be ensured, the convex structure portion 95 may planarly overlap a part of the concave portion 81.

図8は凸構造部95と凹部81との位置関係の許容幅を説明するための断面図である。図9は凸構造部95と凹部81との位置関係の許容幅を説明するための平面図である。なお、図9においては、凸構造部95が走査線36およびデータ線38の交差部から構成されている場合を例に挙げるが、これに限定されることはない。   FIG. 8 is a cross-sectional view for explaining the allowable width of the positional relationship between the convex structure portion 95 and the concave portion 81. FIG. 9 is a plan view for explaining the allowable width of the positional relationship between the convex structure portion 95 and the concave portion 81. In FIG. 9, the case where the convex structure portion 95 is configured by the intersection of the scanning line 36 and the data line 38 is taken as an example, but the present invention is not limited to this.

図8に示すように、凹凸部80は、第2層間絶縁膜76の最上面76aからの凹部81による減少分が最厚部分の厚さHの10%以下となる領域Aに、素子基板30の凸構造部95が重なるように形成されている。ここで、第2層間絶縁膜76の最厚部分とは、第1層間絶縁膜74の上面から凸部82の上面(最上面76a)までの最大厚さに相当する。すなわち、凹凸部80は、第2層間絶縁膜76が最大厚さの90%(9割)以上の膜厚となる領域に凸構造部95が重なるように形成されている。   As shown in FIG. 8, the concavo-convex portion 80 is located in the element substrate 30 in a region A where a decrease due to the concave portion 81 from the uppermost surface 76 a of the second interlayer insulating film 76 is 10% or less of the thickness H of the thickest portion. The convex structure portions 95 are formed so as to overlap each other. Here, the thickest portion of the second interlayer insulating film 76 corresponds to the maximum thickness from the upper surface of the first interlayer insulating film 74 to the upper surface of the convex portion 82 (uppermost surface 76a). That is, the concavo-convex portion 80 is formed so that the convex structure portion 95 overlaps a region where the second interlayer insulating film 76 has a film thickness of 90% (90%) or more of the maximum thickness.

図9に示すように、凸部82の周囲には、凸構造部95の配置が許容される許容領域A1が生じている。このように凸構造部95は凹部81の一部に平面的に重なる場合であっても、上記許容領域A1内であれば第2層間絶縁膜76の膜厚を十分確保することが可能である。よって、電気泳動素子32に対して所望の電圧を印加することができ、表示不良などの不具合を防止することができる。また、素子基板30に存在している異物などの特異的な凸部を確実に埋めることができる。   As shown in FIG. 9, an allowable area A <b> 1 in which the arrangement of the convex structure portion 95 is allowed is generated around the convex portion 82. Thus, even when the convex structure portion 95 overlaps with a part of the concave portion 81 in a plan view, it is possible to ensure a sufficient film thickness of the second interlayer insulating film 76 as long as it is within the allowable region A1. . Therefore, a desired voltage can be applied to the electrophoretic element 32, and problems such as display defects can be prevented. In addition, it is possible to reliably fill specific protrusions such as foreign substances existing on the element substrate 30.

なお、上述のように、凹凸部80と素子基板30に形成される凸構造との平面的な位置関係を調整する領域としては、例えば、接着層50を介して電気泳動シート51が接合される素子基板30の上面の全域において行うのが最も望ましく、これによれば、電気絶縁性を確保するとともに表示不良の発生を確実に抑えることができる。   As described above, for example, the electrophoretic sheet 51 is bonded via the adhesive layer 50 as the region for adjusting the planar positional relationship between the concavo-convex portion 80 and the convex structure formed on the element substrate 30. It is most desirable to carry out over the entire upper surface of the element substrate 30. According to this, it is possible to ensure electrical insulation and reliably suppress the occurrence of display defects.

上記位置調整は、素子基板30の上面の全域において必ずしも行う必要は無く、例えば、少なくとも表示部5内において行うようにしても良く、これによれば、電気絶縁性を確保するとともに表示不良の発生を確実に抑えることができる。あるいは、少なくとも表示部5のうち画素電極35と平面的に重なっている領域において上記位置調整を行うようにしても良く、これによれば、電気絶縁性を確保することができる。また、少なくとも表示部5のうち画素電極35と平面的に重ならない領域において上記位置調整を行うようにしても良く、これによれば、表示不良の発生を抑えることができる。   The position adjustment is not necessarily performed over the entire upper surface of the element substrate 30. For example, the position adjustment may be performed at least in the display unit 5. According to this, electrical insulation is ensured and display defects occur. Can be reliably suppressed. Alternatively, the position adjustment may be performed at least in a region of the display unit 5 that overlaps the pixel electrode 35 in a planar manner, and according to this, electrical insulation can be ensured. Further, the position adjustment may be performed at least in a region of the display unit 5 that does not overlap the pixel electrode 35 in a planar manner, and according to this, it is possible to suppress the occurrence of display defects.

本実施形態では、素子基板30における凸構造部95が走査線36、データ線38および半導体層72の少なくとも二つの交差部により構成される場合を例示したが、これに限定されることはない。この場合、例えば、上記位置調整は、少なくとも電源電圧を供給する配線(以下、電源電圧線と称す)が上層となる交差部をもつ領域、少なくとも表示部5のうち電源電圧線が上層となる交差部をもつ領域、少なくとも配線への電圧供給が時間的に他の配線よりも長い配線が上層となる交差部をもつ領域、少なくとも表示部5のうち配線への電圧供給が時間的に他の配線よりも長い配線が上層となる交差部をもつ領域、少なくとも構成材料のひとつにAlを含む配線が含まれる交差部をもつ領域、或いは、少なくとも表示部5のうち構成材料のひとつにAlを含む配線が含まれる交差部をもつ領域において行うようにしても良い。   In the present embodiment, the case where the convex structure portion 95 in the element substrate 30 is configured by at least two intersecting portions of the scanning line 36, the data line 38, and the semiconductor layer 72 is illustrated, but the present invention is not limited to this. In this case, for example, the position adjustment may be performed in an area having an intersection where at least a wiring for supplying a power supply voltage (hereinafter referred to as a power supply voltage line) is an upper layer, or at least an intersection where the power supply voltage line is an upper layer in the display unit 5. A region having a portion, at least a region having a crossing where a voltage supply to a wiring is longer in time than other wirings, and at least a voltage supply to the wiring in at least the display portion 5 is another wiring in time A region having a crossing portion in which a longer wiring is an upper layer, a region having a crossing portion in which wiring containing Al is included in at least one of the constituent materials, or a wiring containing Al in one of the constituent materials in at least the display portion 5 It may be performed in a region having an intersecting portion including.

続いて、電気泳動表示装置100の製造方法を説明するとともに、上記凹凸部80における別の作用効果について説明する。図10(a)〜(c)は電気泳動表示装置100の製造工程の一例を示す図である。なお、図10においては、素子基板30の構造を簡略化し、画素電極35の図示を省略している。また、図10においては、対向基板31の構造を簡略化し、対向電極37の図示を省略している。   Next, a method for manufacturing the electrophoretic display device 100 will be described, and another effect of the uneven portion 80 will be described. 10A to 10C are diagrams illustrating an example of a manufacturing process of the electrophoretic display device 100. FIG. In FIG. 10, the structure of the element substrate 30 is simplified, and the pixel electrode 35 is not shown. In FIG. 10, the structure of the counter substrate 31 is simplified, and the counter electrode 37 is not shown.

まず、画素電極35、選択トランジスター41や各種回路を含む素子基板30を形成する。素子基板30の形成工程においては、上記凹凸部80を形成するステップ(凹凸形成ステップ)を含んでいる。凹凸部80は、例えば、フォトリソグラフィ法により第2層間絶縁膜76を形成する際、露光量等を調整することで、平面視した状態において、凹部81が凸構造部95に重ならないように形成される。あるいは、凹凸部80は、平面視した状態において、第2層間絶縁膜76の最上面からの凹部81による減少分が第2層間絶縁膜76の最厚部分の厚さの10%以下となる領域に凸構造部95が重なるように形成される。   First, the element substrate 30 including the pixel electrode 35, the selection transistor 41, and various circuits is formed. The process of forming the element substrate 30 includes a step of forming the concavo-convex portion 80 (a concavo-convex forming step). The concavo-convex portion 80 is formed so that the concave portion 81 does not overlap the convex structure portion 95 in a plan view by adjusting an exposure amount or the like when the second interlayer insulating film 76 is formed by a photolithography method, for example. Is done. Alternatively, the concavo-convex portion 80 is a region in which a decrease due to the concave portion 81 from the uppermost surface of the second interlayer insulating film 76 is 10% or less of the thickness of the thickest portion of the second interlayer insulating film 76 in a plan view. The convex structure portion 95 is formed so as to overlap.

続いて、接着層50の表面に保護用の離型シートが貼り付けられた状態の電気泳動シート51を用意する。そして、図10(a)に示すように、離型シートを剥がした電気泳動シート51を素子基板30と貼り合せる。電気泳動シート51および素子基板30の貼り合せは、所定の温度で加熱した状態で互いを押圧することで行われる。   Subsequently, an electrophoretic sheet 51 in a state where a protective release sheet is attached to the surface of the adhesive layer 50 is prepared. Then, as shown in FIG. 10A, the electrophoretic sheet 51 from which the release sheet has been peeled is bonded to the element substrate 30. The electrophoretic sheet 51 and the element substrate 30 are bonded together by pressing each other while being heated at a predetermined temperature.

ここで、電気泳動シート51を貼り合わせる際、接着層50および素子基板30間に空気だまり(気泡)が生じる。電気泳動シート51が素子基板30に貼り合わされて接着層50が凹凸部80の凸部82と接触すると、接着層50および凸部82間から押し出された気泡90は、図10(b)に示すように凹部81に流れ込む。   Here, when the electrophoretic sheet 51 is bonded, an air pocket (bubble) is generated between the adhesive layer 50 and the element substrate 30. When the electrophoretic sheet 51 is bonded to the element substrate 30 and the adhesive layer 50 comes into contact with the convex portion 82 of the concavo-convex portion 80, the bubbles 90 pushed out between the adhesive layer 50 and the convex portion 82 are shown in FIG. So as to flow into the recess 81.

さらに電気泳動シート51を押圧することで接着層50が凹部81内に入り込んでいく。本実施形態において、凹部81は表示部5の外部まで連通するように形成されているため、凹部81に流れ込んだ気泡90は外部領域に確実に排出される。最終的に、図10(c)に示すように、電気泳動素子32と素子基板30とが接着層50を介して接着されることにより、素子基板30と対向基板31とが接合された電気泳動表示装置100が製造される。   Further, when the electrophoretic sheet 51 is pressed, the adhesive layer 50 enters the recess 81. In the present embodiment, since the recess 81 is formed so as to communicate with the outside of the display unit 5, the bubbles 90 that have flowed into the recess 81 are reliably discharged to the external region. Finally, as shown in FIG. 10C, the electrophoretic element 32 and the element substrate 30 are bonded via the adhesive layer 50, whereby the element substrate 30 and the counter substrate 31 are joined. The display device 100 is manufactured.

本実施形態によれば、素子基板30に対して電気泳動シート51を貼り合せる際に生じた気泡90を凸部82により凹部81内に良好に押し出すことで外部に良好に排出することができる。よって、接着層50内への気泡90の入り込みが防止されるので、気泡90の入り込みに起因した密着性の低下が防止される。   According to the present embodiment, the bubbles 90 generated when the electrophoretic sheet 51 is bonded to the element substrate 30 can be favorably discharged to the outside by being pushed out into the recess 81 by the protrusion 82. Accordingly, since the bubbles 90 are prevented from entering the adhesive layer 50, a decrease in adhesion due to the entry of the bubbles 90 is prevented.

また、凸構造部95が第2層間絶縁膜76の最上面からの凹部81による減少分が最厚部分の厚さの10%以下となる領域に配置される、あるいは、凸構造部95が凹凸部80の凹部81と重ならないので、凹凸部80を形成した場合であっても第2層間絶縁膜76の膜厚を十分に確保することができる。よって、絶縁性に優れることで良好な表示品質を備えた信頼性の高い電気泳動表示装置100を製造することができる。   Further, the convex structure portion 95 is arranged in a region where the decrease due to the concave portion 81 from the uppermost surface of the second interlayer insulating film 76 is 10% or less of the thickness of the thickest portion, or the convex structure portion 95 is uneven. Since it does not overlap with the concave portion 81 of the portion 80, the film thickness of the second interlayer insulating film 76 can be sufficiently secured even when the concave-convex portion 80 is formed. Therefore, the highly reliable electrophoretic display device 100 having good display quality can be manufactured by being excellent in insulation.

本実施形態の構成により、回路基板に対して表示シートを貼り合せる際に生じた気泡が凹凸部の凹部に沿って外部に排出されるので、接着層内への気泡の入り込みが防止され、気泡の入り込みに起因した密着性の低下が防止される。よって、接着層および凹凸部における密着性がより向上し、接着層を介して表示シートが回路基板に良好に貼り合わされたものとなる。
さらに、凸構造部が凸部と重なるように形成されるので、凹凸部を形成した場合であっても被覆膜の膜厚が十分に確保される。よって、絶縁性に優れることで良好な表示品質を備えた信頼性の高い表示装置が提供される。
According to the configuration of the present embodiment, bubbles generated when the display sheet is bonded to the circuit board are discharged to the outside along the recesses of the concavo-convex portion, so that the entry of bubbles into the adhesive layer is prevented, and the bubbles Decrease in adhesion due to the penetration of is prevented. Therefore, the adhesiveness in an adhesive layer and an uneven | corrugated | grooved part improves more, and a display sheet will be favorably bonded to a circuit board through the adhesive layer.
Furthermore, since the convex structure portion is formed so as to overlap the convex portion, the film thickness of the coating film is sufficiently ensured even when the concave and convex portion is formed. Therefore, a highly reliable display device having excellent display quality due to excellent insulation is provided.

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、表示装置の一例として、素子基板30と電気泳動シート51とを接着層50貼り合せた電気泳動表示装置100を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。すなわち、接着層を介して貼り合わされる表示シートが液晶層或いは有機エレクトロルミネッセンス素子を含んだ、例えば、液晶表示装置又は有機エレクトロルミネッセンス装置に本発明を適用しても良い。
The technical scope of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in the above embodiment, the electrophoretic display device 100 in which the element substrate 30 and the electrophoretic sheet 51 are bonded to each other is described as an example of the display device, but the present invention is not limited to this. That is, the present invention may be applied to, for example, a liquid crystal display device or an organic electroluminescence device in which the display sheet bonded via the adhesive layer includes a liquid crystal layer or an organic electroluminescence element.

H…厚さ、30…素子基板(回路基板)、35…画素電極、36…走査線、37…対向電極、38…データ線、50…接着層、51…電気泳動シート(表示シート)、72…半導体層、76…第2層間絶縁膜(被覆膜)、80…凹凸部、81…凹部、82…凸部、90…凸構造部、100…電気泳動表示装置。   H: thickness, 30: element substrate (circuit board), 35: pixel electrode, 36: scanning line, 37: counter electrode, 38 ... data line, 50 ... adhesive layer, 51 ... electrophoresis sheet (display sheet), 72 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Semiconductor layer, 76 ... 2nd interlayer insulation film (coating film), 80 ... Uneven part, 81 ... Concave part, 82 ... Convex part, 90 ... Convex structure part, 100 ... Electrophoretic display device.

Claims (10)

画素電極が形成された画素回路を含む回路基板と、前記画素電極との間で電圧を印加可能な対向電極を含む表示シートと、が接着層を介して貼り合わされた表示装置において、
前記回路基板は、凸構造部と、前記凸構造部を覆う被覆膜と、を含み、
前記被覆膜は、前記接着層との貼り合せ面に、凹部および凸部を含む凹凸部が形成され、
前記凸構造部は、前記凸部と重なるように形成されたことを特徴とする表示装置。
In a display device in which a circuit board including a pixel circuit in which a pixel electrode is formed and a display sheet including a counter electrode capable of applying a voltage between the pixel electrode are bonded together via an adhesive layer,
The circuit board includes a convex structure part, and a coating film covering the convex structure part,
The coating film has a concave and convex portion including a concave portion and a convex portion on the bonding surface with the adhesive layer,
The display device, wherein the convex structure portion is formed to overlap the convex portion.
前記凹凸部は、平面視した状態において、前記被覆膜の最上面からの前記凹部による減少分が該被覆膜の最厚部分の厚さの10%以下となる領域に、前記凸構造部が重なるように形成されていることを特徴とする表示装置。   In the state where the uneven portion is seen in a plan view, the convex structure portion is formed in a region where a decrease due to the concave portion from the uppermost surface of the coating film is 10% or less of the thickness of the thickest portion of the coating film. A display device characterized by being formed to overlap each other. 画素電極が形成された画素回路を含む回路基板と、前記画素電極との間で電圧を印加可能な対向電極を含む表示シートと、が接着層を介して貼り合わされた表示装置において、
前記回路基板は、凸構造部と、前記凸構造部を覆う被覆膜と、を含み、
前記被覆膜は、前記接着層との貼り合せ面に、凹部および凹部を含む凹凸部が形成され、
前記凹凸部は、平面視した状態において、前記凹部が前記凸構造部に重ならないように形成されていることを特徴とする表示装置。
In a display device in which a circuit board including a pixel circuit in which a pixel electrode is formed and a display sheet including a counter electrode capable of applying a voltage between the pixel electrode are bonded together via an adhesive layer,
The circuit board includes a convex structure part, and a coating film covering the convex structure part,
The coating film is formed with a concave and convex portion including a concave portion and a concave portion on the bonding surface with the adhesive layer,
The display device according to claim 1, wherein the concave-convex portion is formed so that the concave portion does not overlap the convex structure portion in a plan view.
前記回路基板は、半導体層、走査線、およびデータ線を含み、
前記凸構造部は、平面視した状態において、前記半導体層、前記走査線、および前記データ線の少なくとも二つが重なることで構成される
ことを特徴とする請求項1〜3に記載の表示装置。
The circuit board includes a semiconductor layer, a scanning line, and a data line,
The display device according to claim 1, wherein the convex structure portion is configured by overlapping at least two of the semiconductor layer, the scanning line, and the data line in a plan view.
前記表示シートが電気泳動シートである
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の表示装置。
The display device according to any one of claims 1 to 4, wherein the display sheet is an electrophoretic sheet.
画素電極が形成された画素回路、凸構造部、および前記凸構造部を覆う被覆膜を含む回路基板と、前記画素電極との間で電圧を印加可能な対向電極を含む表示シートと、が接着層を介して貼り合わされた表示装置の製造方法において、
前記回路基板の形成工程は、前記接着層との貼り合せ面に、凹部および凸部を含む凹凸部を形成する凹凸形成ステップを含み、
前記凹凸形成ステップは、前記凸構造部と前記凸部が重なるように前記凹凸部が形成されることを特徴とする表示装置の製造方法。
A pixel circuit on which a pixel electrode is formed, a convex structure portion, a circuit substrate including a coating film covering the convex structure portion, and a display sheet including a counter electrode capable of applying a voltage between the pixel electrodes, In the manufacturing method of the display device bonded through the adhesive layer,
The step of forming the circuit board includes a concavo-convex forming step of forming a concavo-convex portion including a concave portion and a convex portion on the bonding surface with the adhesive layer,
In the method of manufacturing a display device, the unevenness forming step includes forming the unevenness portion so that the convex structure portion and the convex portion overlap each other.
前記凹凸形成ステップは、平面視した状態において、前記被覆膜の最上面からの前記凹部による減少分が該被覆膜の最厚部分の厚さの10%以下となる領域に、前記回路基板の前記凸構造部が重なるように前記凹凸部を形成することを特徴とする請求項6に記載の表示装置の製造方法。   In the planar view, the step of forming the irregularities includes the circuit board in a region where a decrease due to the concave portion from the uppermost surface of the coating film is 10% or less of the thickness of the thickest portion of the coating film. The method for manufacturing a display device according to claim 6, wherein the concavo-convex portion is formed so that the convex structure portions of the pits overlap. 画素電極が形成された画素回路、凸構造部、および前記凸構造部を覆う被覆膜を含む回路基板と、前記画素電極との間で電圧を印加可能な対向電極を含む表示シートと、が接着層を介して貼り合わされた表示装置の製造方法において、
前記回路基板の形成工程は、前記接着層との貼り合せ面に、凹部および凸部を含む凹凸部を形成する凹凸形成ステップを含み、
前記凹凸形成ステップは、平面視した状態において、前記凹部が前記凸構造部に重ならないように前記凹凸部を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
A pixel circuit on which a pixel electrode is formed, a convex structure portion, a circuit substrate including a coating film covering the convex structure portion, and a display sheet including a counter electrode capable of applying a voltage between the pixel electrodes, In the manufacturing method of the display device bonded through the adhesive layer,
The step of forming the circuit board includes a concavo-convex forming step of forming a concavo-convex portion including a concave portion and a convex portion on the bonding surface with the adhesive layer,
The manufacturing method of a display device, wherein the unevenness forming step forms the unevenness portion so that the recess does not overlap the convex structure portion in a plan view.
前記回路基板は、半導体層、走査線、およびデータ線を含み、
前記凸構造部は、平面視した状態において、前記半導体層、前記走査線、および前記データ線の少なくとも二つが重なることで構成されることを特徴とする請求項6〜8に記載の表示装置の製造方法。
The circuit board includes a semiconductor layer, a scanning line, and a data line,
The display device according to claim 6, wherein the convex structure portion is configured by overlapping at least two of the semiconductor layer, the scanning line, and the data line in a plan view. Production method.
前記表示シートとして電気泳動シートを用いることを特徴とする請求項6〜9のいずれか一項に記載の表示装置の製造方法。   The method for manufacturing a display device according to claim 6, wherein an electrophoretic sheet is used as the display sheet.
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