JP2016006445A - 振動ミラーパッケージおよびプロジェクタ - Google Patents

Abstract

【課題】振動ミラー素子に対して適切に電気的接続を行うことが可能な振動ミラーパッケージを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳミラーパッケージ（振動ミラーパッケージ）３ｂは、ミラー部３１ａと駆動部３１ｂと第１電極３２とを含むＭＥＭＳミラー素子３１と、ＭＥＭＳミラー素子３１が収納される凹部３３ｃと、凹部３３ｃの底面３３ｄで、ＭＥＭＳミラー素子３１の第１電極３２に対応位置に設けられる電極接続部３４とを含み、一方端部に電極接続部３４が設けられる配線パターン３６が表面に形成された取付板３３ｃとを備え、ＭＥＭＳミラー素子３１と取付板３３ｃとは、第１電極３２と電極接続部３４とが対向して配置され、導電性接着剤８により、第１電極３２と電極接続部３４とが電気的に接続される。
【選択図】図２

Description

この発明は、振動ミラーパッケージおよびプロジェクタに関し、特に、振動ミラー素子を備える振動ミラーパッケージおよびプロジェクタに関する。

従来、振動ミラー素子を備える振動ミラーパッケージが知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、ミラー部を含むＭＥＭＳ素子と、ＭＥＭＳ素子が取り付けられる部材とを備えた振動ミラーパッケージが開示されている。ＭＥＭＳ素子は、電極パッドを有しており、ボンディングワイヤによりＭＥＭＳ素子が取り付けられる部材に設けられた電極に電気的に接続されている。なお、ボンディングワイヤは、振動するミラー部の駆動を規制することがないように、樹脂などにより封止されてはいない。

特開２０１１−９１４３６号公報

しかしながら、上記特許文献１では、ボンディングワイヤ同士が接触することにより短絡する場合があるという問題点がある。また、ボンディングワイヤ同士が近接することにより、ノイズが発生する場合があるという問題点がある。要するに、振動ミラー素子に対して適切に電気的接続を行うことが困難であるという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、振動ミラー素子に対して適切に電気的接続を行うことが可能な振動ミラーパッケージおよびプロジェクタを提供することである。

この発明の第１の局面による振動ミラーパッケージは、ミラー部と、ミラー部を駆動させる駆動部と、第１電極とを含む振動ミラー素子と、振動ミラー素子が収納される凹部と、凹部の内側面において、振動ミラー素子の第１電極に対応する位置に設けられる電極接続部とを含み、一方端部に電極接続部が設けられる配線パターンが表面に形成された取付部材とを備え、振動ミラー素子と取付部材とは、第１電極と電極接続部とが対向するように配置された状態で導電性接着剤により接着されることによって、第１電極と電極接続部とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成されている。

この発明の第１の局面による振動ミラーパッケージでは、上記のように、振動ミラー素子と取付部材とを、第１電極と電極接続部とが対向するように配置した状態で導電性接着剤により接着することによって、第１電極と電極接続部とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成する。これにより、振動ミラー素子と取付部材とは、導電性接着剤により電気的に接続されるとともに互いに固定されるので、従来のボンディングワイヤを用いた場合のように、短絡や、ノイズが発生することを防止することができる。すなわち、導電性接着材により、振動ミラー素子に対して適切に電気的接続を行うことができる。また、本発明では、凹部に第１電極を含む振動ミラー素子を収納する。これにより、振動ミラー素子が取付部材の凹部に収納されるので、部品を効率的に配置することができる。その結果、装置を小型化することができる。また、本発明では、凹部の内側面の第１電極に対応する位置に、配線パターンの一方端部である電極接続部を設けるとともに、配線パターンを取付部材の表面に形成する。これにより、取付部材の表面に配線パターンが形成されるので、従来のボンディングワイヤを用いた場合のように、ボンディングワイヤにより光の経路が制限されることを防止することができる。その結果、広範な光の走査角度を確保することができる。

上記第１の局面による振動ミラーパッケージにおいて、好ましくは、取付部材は、ミラー部に光が照射される側の面とは異なる面に設けられ、配線パターンの他方端部に接続される第２電極をさらに含んでいる。このように構成すれば、振動ミラー素子は、配線パターンの他方端部に接続された第２電極により、振動ミラー素子から離間した位置で、外部（フレキシブル配線基板など）と電気的に接続することができる。これにより、第２電極と外部とを電気的に接続する際に、振動ミラー素子が耐熱温度を超える高温にさらされることを抑制することができる。その結果、振動ミラー素子が熱により損傷するのを抑制することができる。

上記第１の局面による振動ミラーパッケージにおいて、好ましくは、取付部材の凹部は、振動ミラー素子が配置される縁部近傍に、かつ、振動ミラー素子が導電性接着剤により接着される接着面に、導電性接着剤を逃がす接着剤逃がし部を有している。このように構成すれば、接着剤逃がし部に余分な導電性接着剤を逃がすことにより、導電性接着剤の塗布量のバランスを取ることができるので、取付部材に対して、振動ミラー素子が傾いた状態で接着されるのを抑制することができる。

この場合、好ましくは、接着剤逃がし部は、接着面の縁部の複数の隅部にそれぞれ形成されている。このように構成すれば、複数の隅部にそれぞれ形成される接着剤逃がし部によってバランスよく余分な導電性接着剤を逃がすことができるので、導電性接着剤の塗布量のバランスをより安定して取ることができる。その結果、取付部材に対して、振動ミラー素子が傾いた状態で接着されるのをより抑制することができる。

上記第１の局面による振動ミラーパッケージにおいて、好ましくは、取付部材の凹部の内側面は、振動ミラー素子を位置決めする位置決め部を構成している。このように構成すれば、位置決め部を構成する凹部の内側面により、取付部材に対して振動ミラー素子を容易に位置決めして固定することができるので、取付作業者の作業負担を軽減することができる。

上記第１の局面による振動ミラーパッケージにおいて、好ましくは、取付部材は、凹部とは反対側の面から凹部まで貫通し、ミラー部に照射される光を通す導光孔部と、導光孔部とは反対側の面に設けられ、配線パターンにより電極接続部と電気的に接続される第２電極とをさらに含み、振動ミラー素子のミラー部は、振動ミラー素子が導電性接着剤により接着される接着面側に配置されている。このように構成すれば、導電性接着剤により、取付部材の電極接続部に対して接着される第１電極とミラー部とが、同一面側に配置されるので、第１電極およびミラー部と、第１電極およびミラー部を電気的に接続する配線とを容易に形成することができる。

上記第１の局面による振動ミラーパッケージにおいて、好ましくは、取付部材は、凹部とは反対側の面に設けられ、配線パターンにより電極接続部と接続される第２電極をさらに含み、振動ミラー素子のミラー部は、振動ミラー素子が導電性接着剤により接着される接着面側とは反対側の面に配置されている。このように構成すれば、取付部材の凹部が、ミラー部に光が照射される側の面に設けられるので、振動ミラー素子を取付部材の第２電極側（設置面側）とは反対側から取り付けることができる。すなわち、振動ミラー素子を取付部材の露出面側（光の経路側）に配置することができる。その結果、設置面側から振動ミラー素子を取付部材に取り付ける場合のように、光を導光する孔（導光孔部）を設ける必要がないので、光を導光する孔（導光孔部）の深さ分だけ光路長を短くすることができる。

上記第１の局面による振動ミラーパッケージにおいて、好ましくは、取付部材は、振動ミラー素子を補強する補強部材である。このように構成すれば、補強部材としての機能を有する取付部材により、振動ミラー素子が補強されるので、振動ミラー素子が熱や外部応力などにより変形するのを抑制することができる。

この発明の第２の局面によるプロジェクタは、画像の投影のための光を出射する光源部と、光源部からの光を反射するミラー部と、ミラー部を駆動させる駆動部と、第１電極とを含む振動ミラー素子と、振動ミラー素子が収納される凹部と、凹部の内側面において、振動ミラー素子の第１電極に対応する位置に設けられる電極接続部とを含み、一方端部に電極接続部が設けられる配線パターンが表面に形成された取付部材とを備え、振動ミラー素子と取付部材とは、第１電極と電極接続部とが対向するように配置された状態で導電性接着剤により接着されることによって、第１電極と電極接続部とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成されている。

この発明の第２の局面によるプロジェクタでは、上記のように、振動ミラー素子と取付部材とを、第１電極と電極接続部とが対向するように配置した状態で導電性接着剤により接着することによって、第１電極と電極接続部とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成する。これにより、振動ミラー素子と取付部材とは、導電性接着剤により電気的に接続されるとともに互いに固定されるので、従来のボンディングワイヤを用いた場合のように、短絡や、ノイズが発生することを防止することができる。すなわち、導電性接着材により、振動ミラー素子に対して適切に電気的接続を行うことができる。また、本発明では、凹部に第１電極を含む振動ミラー素子を収納する。これにより、振動ミラー素子が取付部材の凹部に収納されるので、部品を効率的に配置することができる。その結果、プロジェクタの装置本体を小型化することができる。また、本発明では、凹部の内側面の第１電極に対応する位置に、配線パターンの一方端部である電極接続部を設けるとともに、配線パターンを取付部材の表面に形成する。これにより、取付部材の表面に配線パターンが形成されるので、従来のボンディングワイヤを用いた場合のように、ボンディングワイヤにより光の経路が制限されることを防止することができる。その結果、広範な光の走査角度を確保することが可能なプロジェクタを提供することができる。

本発明によれば、上記のように、振動ミラー素子に対して適切に電気的接続を行うことが可能な振動ミラーパッケージおよびプロジェクタを提供することができる。

本発明の第１〜第３実施形態によるプロジェクタの全体構成を示したブロック図である。 本発明の第１実施形態によるプロジェクタのＭＥＭＳミラーパッケージを示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるプロジェクタの水平方向を走査するＭＥＭＳミラーパッケージを示した平面図である。 図３の取付板にＭＥＭＳミラー素子を取り付けた状態における５００−５００線に沿った断面図である。 図４におけるＭＥＭＳミラー素子の部分を拡大した部分拡大図である。 本発明の第１実施形態によるプロジェクタの垂直方向を走査するＭＥＭＳミラーパッケージを示した平面図である。 本発明の第２実施形態によるプロジェクタの水平方向を走査するＭＥＭＳミラーパッケージを示した平面図である。 本発明の第３実施形態によるプロジェクタの水平方向を走査するＭＥＭＳミラーパッケージを示した平面図である。 図８の取付板にＭＥＭＳミラーを取り付けた状態における６００−６００線に沿った断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
図１〜図６を参照して、本発明の第１実施形態によるプロジェクタ１００の構成について説明する。

本発明の第１実施形態によるプロジェクタ１００は、図１に示すように、光出射部１と、光走査部２と、制御部７とを備えている。

光出射部１は、画像９０の投影のための赤色、青色および緑色の光を合成して、光走査部２に向けて出射するように構成されている。光走査部２は、光出射部１から照射される光を所定方向に走査するように構成されている。そして、プロジェクタ１００は、光出射部１から出射された光を、光走査部２において走査することにより、画像９０をスクリーン９１に投影するように構成されている。

次に、プロジェクタ１００の各部の構成について詳細に説明する。

光出射部１は、３つ（赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ））の光源部１０ａ〜１０ｃと、３つのプリズム１１ａ〜１１ｃと、光源ドライバ１２とを備えている。

光源部１０ａは、赤色の光を、プリズム１１ａに向けて出射するように構成されている。また、光源部１０ｂは、緑色の光を、プリズム１１ｂに向けて出射するように構成されている。また、光源部１０ｃは、青色の光を、プリズム１１ｃに向けて出射するように構成されている。

３つのプリズム１１ａ〜１１ｃは、それぞれ、３つのレーザ光（赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ））を合成して、３つのレーザ光の光軸を揃えるように構成されている。

光源ドライバ１２は、制御部７から駆動信号を受けて、光源部１０ａ〜１０ｃから所定タイミングで光を出射させるように構成されている。

光走査部２は、水平光走査部３と、垂直光走査部４と、基台部５と、ミラードライバ６とを備えている。

なお、水平光走査部３と垂直光走査部４とは、同様の構成を備えている。そこで、以下では、水平光走査部３について詳細に説明し、垂直光走査部４については水平光走査部３との相違点について説明する（水平光走査部３と同様の構成については説明を省略する）。

水平光走査部３は、光出射部１からの光を反射させるとともに、スクリーン９１に対して水平方向に光を走査するように構成されている。また、水平光走査部３は、フレキシブル配線基板３ａと、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）ミラーパッケージ３ｂとを備えている。なお、ＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂは、本発明の「振動ミラーパッケージ」の一例である。

フレキシブル配線基板３ａは、ＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂの後述する第２電極３５（図２参照）に接続されることにより、ＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂと制御部７との間において、駆動に要する信号（駆動信号およびフィードバック信号）を相互に伝送するように構成されている。

図２に示すように、ＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂは、ＭＥＭＳミラー素子３１と、ＭＥＭＳミラー素子３１が取り付けられる取付板３３とを備えている。なお、ＭＥＭＳミラー素子３１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。また、取付板３３は、本発明の「取付部材」および「補強部材」の一例である。

ＭＥＭＳミラー素子３１および取付板３３は、共に、矩形形状かつ平板形状に形成されている。また、ＭＥＭＳミラー素子３１および取付板３３は、互いに平行に配置されている。

ここで、以下の説明では、取付板３３の長辺方向を、Ａ方向とする。また、取付板３３の短辺方向を、Ｂ方向とする。

また、取付板３３は、一方面側を画像９０投影のための光（図4参照）が通過するように構成されている。そこで、取付板３３に対して、光の経路側の取付板３３の面を、第１面３３ａとする。また、取付板３３の第１面３３ａとは反対側の面を、第２面３３ｂとする。また、第１面３３ａおよび第２面３３ｂに直交する方向を、Ｃ方向とする。また、Ｃ方向のうちの第２面３３ｂから第１面３３ａに向かう方向を、Ｃ１方向とする。また、Ｃ１方向の逆方向を、Ｃ２方向とする。

ＭＥＭＳミラー素子３１は、ミラー部３１ａと、ミラー部３１ａを駆動させる一対の駆動部３１ｂと、第１電極３２とを含んでいる。

また、ＭＥＭＳミラー素子３１は、取付板３３の第２面３３ｂに設けられる後述する凹部３３ｃにＣ２方向側から収納されるように構成されている。また、図３に示すように、ＭＥＭＳミラー素子３１は、導電性接着剤８により、取付板３３に対して接着されるように構成されている。なお、導電性接着剤８は、硬化温度がＭＥＭＳミラー素子３１の耐熱温度よりも低いものが使用される。

ミラー部３１ａは、光を反射するように構成されている。また、ミラー部３１ａは、円形状に形成されている。また、ミラー部３１ａは、ＭＥＭＳミラー素子３１の一方面側（Ｃ１方向側）に配置されている。ここで、ミラー部３１ａに光が照射される側のＭＥＭＳミラー素子３１の一方面を、光入射面３１ｃとする。

一対の駆動部３１ｂは、それぞれ、棒形状に形成されている。また、一対の駆動部３１ｂは、それぞれ、一方端部でミラー部３１ａを揺動可能に支持している。また、一対の駆動部３１ｂは、ミラー部３１ａを挟むように、同一軸線α上に配置されている。なお、軸線αは、Ｂ方向に延びている。また、駆動部３１ｂは、配線（図示せず）により第１電極３２に接続される圧電素子（図示せず）を含んでいる。

第１電極３２は、光入射面３１ｃのミラー部３１ａが配置されていない４隅近傍に配置されている。また、導電性接着剤８は、光入射面３１ｃの４隅近傍に均等に塗布される。

取付板３３は、凹部３３ｃと、電極接続部３４と、導光孔部３３ｆと、第２電極３５とを備えている。

取付板３３は、樹脂により形成されている。また、取付板３３は、取り付けられるＭＥＭＳミラー素子３１を補強するように構成されている。また、取付板３３は、一方端部に電極接続部３４が設けられる配線パターン３６が表面に形成されている。なお、配線パターン３６の他方端部には、第２電極３５が接続されている。すなわち、電極接続部３４と第２電極３５とは、配線パターン３６により電気的に接続されている。なお、配線パターン３６の形成方法については後述する。

凹部３３ｃは、第２面３３ｂの略中央に設けられている。また、図４に示すように、凹部３３ｃは、底面３３ｄおよび側面３３ｅから構成されている。また、凹部３３ｃは、平面視において、矩形形状（図３参照）に形成されている。また、凹部３３ｃのＣ方向の深さは、ＭＥＭＳミラー素子３１のＣ方向の厚みよりも大きくなるように構成されている。なお、底面３３ｄおよび側面３３ｅは、本発明の「内側面」の一例である。

また、凹部３３ｃの側面３３ｅは、ＭＥＭＳミラー素子３１を位置決めする位置決め部を構成している。すなわち、図３に示すように、平面視において、凹部３３ｃの外形（矩形形状）は、ＭＥＭＳミラー素子３１の収納を妨げない程度に、ＭＥＭＳミラー素子３１の外形（矩形形状）よりも僅かに大きくなるように構成されている。したがって、凹部３３ｃは、側面３３ｅによって収納されたＭＥＭＳミラー素子３１の移動を規制することにより、ＭＥＭＳミラー素子３１の水平位置（底面３３ｄと平行な方向の位置（Ａ方向およびＢ方向の位置））を位置決めするように構成されている。

また、凹部３３ｃは、ＭＥＭＳミラー素子３１が配置される縁部近傍に、かつ、ＭＥＭＳミラー素子３１（光入射面３１ｃ）が導電性接着剤８により接着される底面３３ｄ（接着面）に、導電性接着剤８を逃がす接着剤逃がし孔部８１を有している。詳細には、接着剤逃がし孔部８１は、凹部３３ｃの底面３３ｄ（接着面）の縁部の４つの隅部にそれぞれ形成されている。また、接着剤逃がし孔部８１は、取付板３３を厚み方向（Ｃ方向）に貫通するように構成されている。なお、接着剤逃がし孔部８１は、本発明の「接着剤逃がし部」の一例である。

電極接続部３４は、ＭＥＭＳミラー素子３１の第１電極３２に対応する位置に設けられている。つまり、電極接続部３４は、第１電極３２が設けられたＭＥＭＳミラー素子３１の光入射面３１ｃに対向する位置に配置される底面３３ｄの所定位置に設けられている。

ここで、第１実施形態では、取付板３３とＭＥＭＳミラー素子３１とは、取付板３３の電極接続部３４とＭＥＭＳミラー素子３１の第１電極３２とが対向するように配置された状態で導電性接着剤８により接着されるように構成されている。これにより、電極接続部３４と第１電極３２とは、電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成されている。したがって、取付板３３の第２電極３５は、配線パターン３６、電極接続部３４および導電性接着剤８を介して、ＭＥＭＳミラー素子３１の第１電極３２と電気的に接続されるように構成されている。

図４および図５に示すように、導光孔部３３ｆは、第１面３３ａから凹部３３ｃまで貫通するように構成されている。また、導光孔部３３ｆは、第１面３３ａの略中央に設けられている。また、導光孔部３３ｆは、ＭＥＭＳミラー素子３１のミラー部３１ａに照射される光を通すように構成されている。

また、導光孔部３３ｆは、平面視において、ＭＥＭＳミラー素子３１のミラー部３１ａおよび駆動部３１ｂが配置される範囲よりも僅かに大きい範囲に設けられている。これにより、導光孔部３３ｆは、ミラー部３１ａおよび駆動部３１ｂの駆動範囲を確保して、駆動するミラー部３１ａおよび駆動部３１ｂと、取付板３３とが接触するのを防止している。

図４に示すように、第２電極３５は、第２面３３ｂのＡ方向（長手方向）の端部近傍にそれぞれ設けられている。また、第２電極３５は、一方端部に電極接続部３４が設けられる配線パターン３６の他方端部が接続されるように構成されている。

また、第２電極３５の表面には、バンプ３５ａが形成されている。第２電極３５は、ミラー部３１ａの温度上昇を抑制するため、局所的にバンプ３５ａに熱を加えることにより、バンプ３５ａを溶融するとともに、フレキシブル配線基板３ａと電気的に接続されるように構成されている。なお、バンプ３５ａの材料としては、Ａｕや半田などが用いられる。

ここで、取付板３３の配線パターン３６は、凹部３３ｃの底面３３ｄと、凹部３３ｃの側面３３ｅと、第２電極３５が設けられる第２面３３ｂとの、それぞれの表面上に立体的に形成されている。このような立体的な配線パターン３６の形成には、ＭＩＤ（Ｍｏｌｄｅｄ Ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ Ｄｅｖｉｃｅ）工法が用いられる。なお、ＭＩＤ工法とは、樹脂などの非導電性を有する立体成型物（本発明では、取付板３３）の表面に、スパッタリングなどにより金属薄膜を成形した後、レーザ加工によって金属薄膜を部分的に除去することにより、立体成型物の表面に立体的な配線パターンを形成する工法である。

図１に示すように、垂直光走査部４は、水平光走査部３からの光を反射させるとともに、スクリーン９１に対して垂直方向に光を走査するように構成されている。また、垂直光走査部４は、水平光走査部３と同様に、フレキシブル配線基板４ａと、ＭＥＭＳミラーパッケージ４ｂとを備えている。

図６に示すように、ＭＥＭＳミラーパッケージ４ｂは、ＭＥＭＳミラー素子４１と、取付板４３とを備えている。

取付板４３は、取付板３３と同様に、長辺方向がＡ方向となる。また、取付板４３は、短辺方向がＢ方向から傾斜するＤ方向となる。また、ＭＥＭＳミラー素子４１は、ＭＥＭＳミラー素子３１と同様に、ミラー部４１ａと、ミラー部４１ａを駆動させる一対の駆動部４１ｂと、第１電極４２とを含んでいる。

取付板４３は、取付板３３と同様に、凹部４３ｃと、電極接続部４４と、導光孔部４３ｆと、第２電極４５とを備えている。一対の駆動部４１ｂは、ミラー部４１ａを挟むように、同一軸線β上に配置されている。なお、軸線βは、Ａ方向に延びている。

凹部４３ｃは、凹部３３ｃと同様に、底面４３ｄおよび側面４３ｅから構成されている。また、凹部４３ｃは、凹部３３ｃと同様に、接着剤逃がし孔部８１を有している。電極接続部４４と第２電極４５とは、配線パターン４６により電気的に接続されている。また、第２電極４５の表面には、第２電極３５と同様に、バンプ４５ａが形成されている。なお、底面４３ｄおよび側面４３ｅは、本発明の「内側面」の一例である。

図１に示すように、１つの基台部５には、それぞれ、ＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂおよび４ｂが取り付けられるように構成されている。詳細には、図２に示すように、基台部５（図１参照）は、互いにミラー部３１ａおよび４１ａを対向させるとともに、それぞれ、平板形状を有するＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂおよび４ｂがＶ字形状をなすように配置された状態で、ＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂおよび４ｂを固定するように構成されている。

図１に示すように、ミラードライバ６は、制御部７から駆動信号を受けて、駆動部３１ｂおよび４１ｂ（図２参照）の圧電素子（図示せず）に対して電圧を印加することにより、ミラー部３１ａおよび４１ａ（図２参照）を駆動（揺動）させるように構成されている。

制御部７は、外部から入力される映像信号に基づいて、光出射部１と、光走査部２とを制御するように構成されている。詳細には、制御部７は、映像信号に基づいて光源ドライバ１２を介して光源部１０ａ〜１０ｃからの光の出射を制御するとともに、映像信号に基づいてミラードライバ６を介してミラー部３１ａおよび４１ａ（図２参照）の揺動を制御するように構成されている。また、制御部７は、光源部１０ａ〜１０ｃから光の出射のタイミング、および、ミラー部３１ａおよび４１ａの揺動のタイミングを調整するように構成されている。

第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第１実施形態では、上記のように、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）と取付板３３（４３）とを、第１電極３２（４２）と電極接続部３４（４４）とが対向するように配置した状態で導電性接着剤８により接着することによって、第１電極３２（４２）と電極接続部３４（４４）とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成する。これにより、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）と取付板３３（４３）とは、導電性接着剤８により電気的に接続されるとともに互いに固定されるので、従来ボンディングワイヤを用いた場合のように、短絡や、ノイズが発生することを防止することができる。すなわち、導電性接着材８により、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）に対して適切に電気的接続を行うことができる。また、本発明では、凹部３３ｃ（４３ｃ）に第１電極３２（４２）を含むＭＥＭＳミラー素子３１（４１）を収納する。これにより、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が取付板３３（４３）の凹部３３ｃ（４３ｃ）に収納されるので、部品を効率的に配置することができる。その結果、装置を小型化することができる。また、本発明では、凹部３３ｃ（４３ｃ）の底面３３ｄ（４３ｄ）の第１電極３２（４２）に対応する位置に、配線パターン３６（４６）の一方端部である電極接続部３４（４４）を設けるとともに、配線パターン３６（４６）を取付板３３（４３）の表面に形成する。これにより、取付板３３（４３）の表面に配線パターン３６（４６）が形成されるので、従来のボンディングワイヤを用いた場合のように、ボンディングワイヤにより光の経路が制限されることを防止することができる。その結果、広範な光の走査角度を確保することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、取付板３３（４３）の第２面３３ｂに、配線パターン３６（４６）の他方端部に接続される第２電極３５（４５）を設ける。これにより、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）は、配線パターン３６（４６）の他方端部に接続された第２電極３５（４５）により、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）から離間した位置で、フレキシブル配線基板３ａ（３ｂ）と電気的に接続することができる。これにより、第２電極３５（４５）と外部とを電気的に接続する際に、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が耐熱温度を超える高温にさらされることを抑制することができる。その結果、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が熱により損傷するのを抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、取付板３３（４３）の凹部３３ｃ（４３ｃ）に対して、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が配置される縁部近傍に、かつ、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が導電性接着剤８により接着される接着面に、導電性接着剤８を逃がす接着剤逃がし孔部８１を設ける。これにより、接着剤逃がし孔部８１に余分な導電性接着剤８を逃がすことにより、導電性接着剤８の塗布量のバランスを取ることができるので、取付板３３（４３）に対して、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が傾いた状態で接着されるのを抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、接着剤逃がし孔部８１を、接着面の縁部の複数の隅部にそれぞれ形成する。これにより、複数の隅部にそれぞれ形成される接着剤逃がし孔部８１によってバランスよく余分な導電性接着剤８を逃がすことができるので、導電性接着剤８の塗布量のバランスをより安定して取ることができる。その結果、取付板３３（４３）に対して、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が傾いた状態で接着されるのをより抑制することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、取付板３３（４３）の凹部３３ｃ（４３ｃ）の側面３３ｅ（４３ｅ）により、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）を位置決めする位置決め部を構成する。これにより、位置決め部を構成する凹部３３ｃ（４３ｃ）の側面３３ｅ（４３ｅ）により、取付板３３（４３）に対してＭＥＭＳミラー素子３１（４１）を容易に位置決めして固定することができるので、取付作業者の作業負担を軽減することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、取付板３３（４３）に対して、凹部３３ｃ（４３ｃ）とは反対側の第１面３３ａから凹部３３ｃ（４３ｃ）まで貫通し、ミラー部３２ａ（４２ａ）に照射される光を通す導光孔部３３ｆ（４３ｆ）と、導光孔部３３ｆ（４３ｆ）とは反対側の第２面３３ｂに、配線パターン３６（４６）により電極接続部３４（４４）と電気的に接続される第２電極３５（４５）とを設け、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）のミラー部３２ａ（４２ａ）を、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が導電性接着剤８により接着される接着面側に配置する。これにより、導電性接着剤８により、取付板３３（４３）の電極接続部３４（４４）に対して接着される第１電極３２（４２）とミラー部３２ａ（４２ａ）とが、同一面（光入射面３１ｃ）側に配置されるので、第１電極３２（４２）およびミラー部３２ａ（４２ａ）と、第１電極３２（４２）およびミラー部３２ａ（４２ａ）を電気的に接続する配線とを容易に形成することができる。

また、第１実施形態では、上記のように、取付板３３（４３）により、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）を補強する。これにより、補強部材としての機能を有する取付板３３（４３）により、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が補強されるので、ＭＥＭＳミラー素子３１（４１）が熱や外部応力などにより変形するのを抑制することができる。

（第２実施形態）
次に、図１および図７を参照して、第２実施形態について説明する。この第２実施形態では、取付板３３（４３）の凹部３３ｃ（４３ｃ）が接着剤逃がし孔部８１を有している上記第１実施形態と異なり、取付板２３３の凹部３３ｃが接着剤逃がし孔部８１を有していない例について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成は、第１実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。なお、取付板２３３は、本発明の「取付部材」および「補強部材」の一例である。

図７に示すように、第２実施形態によるプロジェクタ２００（図１参照）では、水平光走査部３側の取付板２３３の底面３３ｄは、第１実施形態のように接着剤逃がし孔部８１が４隅に形成されてはおらず、外縁が四角形状に形成されている。なお、垂直光走査部側の取付板（図示せず）も同様に構成されているため、説明を省略する。

第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第２実施形態では、上記第１実施形態と同様に、ＭＥＭＳミラー素子３１と取付板２３３とを、第１電極３２と電極接続部３４とが対向するように配置した状態で導電性接着剤８により接着することによって、第１電極３２と電極接続部３４とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成する。これにより、導電性接着材８により、ＭＥＭＳミラー素子３１に対して適切に電気的接続を行うことができる。

（第３実施形態）
次に、図１、図８および図９を参照して、第３実施形態について説明する。この第３実施形態では、第２面３３ｂに、凹部３６（４６）を設けた上記第１実施形態と異なり、第１面３３ａに、凹部３３３ｃを設けた例について説明する。なお、上記第１実施形態と同様の構成は、第１実施形態と同じ符号を付して図示するとともに説明を省略する。

図７および図８に示すように、第３実施形態によるプロジェクタ３００（図１参照）では、水平光走査部３（図１参照）のＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂは、ＭＥＭＳミラー素子３３１と、取付板３３３とを備えている。なお、以下では、垂直光走査部４については、水平光走査部３と同様の構成であるため、説明を省略する。なお、ＭＥＭＳミラーパッケージ３ｂは、本発明の「振動ミラーパッケージ」の一例である。また、ＭＥＭＳミラー素子３３１は、本発明の「振動ミラー素子」の一例である。また、取付板３３３は、本発明の「取付部材」および「補強部材」の一例である。

ＭＥＭＳミラー素子３３１は、ミラー部３１ａと、ミラー部３１ａを駆動させる一対の駆動部３１ｂと、固定部３３ｃと、第１電極３３２とを含んでいる。また、ＭＥＭＳミラー素子３３１は、取付板３３３の後述する凹部３３３ｃに収納されるように構成されている。

ミラー部３１ａは、ＭＥＭＳミラー素子３３１が導電性接着剤８により接着される接着面とは反対側の面に配置されている。すなわち、ＭＥＭＳミラー素子３３１は、第1実施形態とは異なり、光入射面３１ｃとは反対側の面で導電性接着剤８により、取付板３３３に接着される。

第１電極３３２は、光入射面３１ｃとは反対側の面に設けられている。なお、第１電極３３２は、スルーホールなどに設けられた配線（図示せず）により、駆動部３１ｂに含まれる圧電素子（図示せず）に電気的に接続されている。

取付板３３３は、凹部３３３ｃと、電極接続部３４と、配線孔部３３８と、第２電極３５とを備えている。

また、取付板３３３は、一方端部に電極接続部３４が設けられる配線パターン３３６が表面に形成されている。なお、配線パターン３３６の他方端部には、第２電極３７ｂが接続されている。

凹部３３３ｃは、第１面３３ａの略中央に設けられている。

電極接続部３４は、ＭＥＭＳミラー素子３３１の第１電極３３２に対応する底面３３ｄの所定位置に設けられている。

配線孔部３３３ｆは、配線孔部３３３ｆは、第２面３３ｂから凹部３３３ｃまで貫通するように構成されている。また、配線孔部３３３ｆは、第２面３３ｂの略中央に設けられている。また、配線孔部３３８には、孔内の表面に配線パターン３３６が通されている。

第２電極３５は、第２面３３ｂのＡ方向の端部近傍にそれぞれ設けられている。

第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

第３実施形態では、上記第１実施形態と同様に、ＭＥＭＳミラー素子３３１と取付板３３３とを、第１電極３３２と電極接続部３４とが対向するように配置した状態で導電性接着剤８により接着することによって、第１電極３３２と電極接続部３４とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成する。これにより、導電性接着材８により、ＭＥＭＳミラー素子３３１に対して適切に電気的接続を行うことができる。

また、第３実施形態では、上記のように、取付板３３３に、凹部３３３ｃとは反対側の面（第２面３３ｂ）に配置され、配線パターン３３６により電極接続部３４と接続される第２電極３５を設け、ＭＥＭＳミラー素子３３１のミラー部３２ａを、ＭＥＭＳミラー素子３３１が導電性接着剤８により接着される接着面側とは反対側の面に配置する。すなわち、光入射面３１ｃとは反対側の面を接着面とする。これにより、取付板３３３の凹部３３３ｃが、第１面３３ａに設けられるので、ＭＥＭＳミラー素子３３１を取付板３３３の第２電極３５側（設置面側）とは反対側から取り付けることができる。すなわち、ＭＥＭＳミラー素子３３１を取付板３３３の露出面側（光の経路側）に配置することができる。その結果、設置面側からＭＥＭＳミラー素子を取付板に取り付ける場合のように、光を導光する孔（導光孔部）を設ける必要がないので、光を導光する孔（導光孔部）の深さ分だけ光路長を短くすることができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記第１〜第３実施形態では、ＭＥＭＳミラーパッケージを備えたプロジェクタに本発明を適用した例を示したが、プロジェクタ以外のＭＥＭＳミラーパッケージを備える装置またはＭＥＭＳミラーパッケージ単体に本発明を適用してもよい。たとえば、ヘッドアップディスプレイに本発明を適用してもよい。

また、上記第１〜第３実施形態では、ＭＩＤ工法により、配線パターンを形成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、配線パターンとなる金属部品を、取付板（取付部材）に取り付けることにより、配線パターンを形成してもよい。

また、上記第１〜第３実施形態では、スクリーンに対する水平方向および垂直方向を、それぞれ、別々のＭＥＭＳミラー素子により走査した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、１つのＭＥＭＳミラー素子によりスクリーンに対して光を水平方向および垂直方向に走査してもよい。

また、上記第１〜第３実施形態では、本発明の取付部材（補強部材）としての取付板を樹脂により形成した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、非導電性を有していれば、取付板を樹脂以外の材料により形成してもよい。たとえば、取付部材（補強部材）をセラミックスにより形成してもよい。

また、上記第１〜第３実施形態では、側面により、取付板（取付部材）に対して、ＭＥＭＳミラー素子を位置決めする例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、位置決めボスを凹部に設けることにより、取付板（取付部材）に対して、ＭＥＭＳミラー素子を位置決めしてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、貫通孔により導電性接着剤を逃がす例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、溝部により導電性接着剤を逃がしてもよい。

また、上記第１および第３実施形態では、第２電極にＡｕバンプによりフレキシブル配線基板に接続した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、たとえば、導電性接着剤によりフレキシブル配線基板に接続してもよい。

３ｂ、４ｂ ＭＥＭＳミラーパッケージ（振動ミラーパッケージ）
８ 導電性接着剤
１０ａ〜１０ｃ 光源部
３１、４１、３３１ ＭＥＭＳミラー素子（振動ミラー素子）
３１ａ、４１ａ、 ミラー部
３１ｂ、４１ｂ 駆動部
３２、４２、３３２ 第１電極
３３、４３、２３３、３３３ 取付板（取付部材、補強部材）
３３ｃ、４３ｃ、３３３ｃ 凹部
３３ｄ、４３ｄ 底面（内側面）
３３ｅ、４３ｅ 側面（内側面）
３３ｆ、４３ｆ 導光孔部
３４、４４ 電極接続部
３５、４５ 第２電極
３６、４６、３３６ 配線パターン
８１ 接着剤逃がし孔部（接着剤逃がし部）
９０ 画像
１００、２００、３００ プロジェクタ

Claims (9)

1. ミラー部と、前記ミラー部を駆動させる駆動部と、第１電極とを含む振動ミラー素子と、
   前記振動ミラー素子が収納される凹部と、凹部の内側面において、前記振動ミラー素子の前記第１電極に対応する位置に設けられる電極接続部とを含み、一方端部に前記電極接続部が設けられる配線パターンが表面に形成された取付部材とを備え、
   前記振動ミラー素子と前記取付部材とは、前記第１電極と前記電極接続部とが対向するように配置された状態で導電性接着剤により接着されることによって、前記第１電極と前記電極接続部とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成されている、振動ミラーパッケージ。
2. 前記取付部材は、前記ミラー部に光が照射される側の面とは異なる面に設けられ、前記配線パターンの他方端部に接続される第２電極をさらに含む、請求項１に記載の振動ミラーパッケージ。
3. 前記取付部材の前記凹部は、前記振動ミラー素子が配置される縁部近傍に、かつ、前記振動ミラー素子が前記導電性接着剤により接着される接着面に、前記導電性接着剤を逃がす接着剤逃がし部を有している、請求項１または２に記載の振動ミラーパッケージ。
4. 前記接着剤逃がし部は、前記接着面の縁部の複数の隅部にそれぞれ形成されている、請求項３に記載の振動ミラーパッケージ。
5. 前記取付部材の前記凹部の前記内側面は、前記振動ミラー素子を位置決めする位置決め部を構成している、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動ミラーパッケージ。
6. 前記取付部材は、前記凹部とは反対側の面から前記凹部まで貫通し、前記ミラー部に照射される光を通す導光孔部と、前記導光孔部とは反対側の面に設けられ、前記配線パターンにより前記電極接続部と電気的に接続される第２電極とをさらに含み、
   前記振動ミラー素子の前記ミラー部は、前記振動ミラー素子が前記導電性接着剤により接着される接着面側に配置されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動ミラーパッケージ。
7. 前記取付部材は、前記凹部とは反対側の面に設けられ、前記配線パターンにより前記電極接続部と接続される第２電極をさらに含み、
   前記振動ミラー素子の前記ミラー部は、前記振動ミラー素子が前記導電性接着剤により接着される接着面側とは反対側の面に配置されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動ミラーパッケージ。
8. 前記取付部材は、前記振動ミラー素子を補強する補強部材である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の振動ミラーパッケージ。
9. 画像の投影のための光を出射する光源部と、
   前記光源部からの光を反射するミラー部と、前記ミラー部を駆動させる駆動部と、第１電極とを含む振動ミラー素子と、
   前記振動ミラー素子が収納される凹部と、前記凹部の内側面において、前記振動ミラー素子の前記第１電極に対応する位置に設けられる電極接続部とを含み、一方端部に前記電極接続部が設けられる配線パターンが表面に形成された取付部材とを備え、
   前記振動ミラー素子と前記取付部材とは、前記第１電極と前記電極接続部とが対向するように配置された状態で導電性接着剤により接着されることによって、前記第１電極と前記電極接続部とが電気的に接続されるとともに互いに固定されるように構成されている、プロジェクタ。
   

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