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JP2016088810A - Scribing method and scribing apparatus - Google Patents

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JP2016088810A
JP2016088810A JP2014225866A JP2014225866A JP2016088810A JP 2016088810 A JP2016088810 A JP 2016088810A JP 2014225866 A JP2014225866 A JP 2014225866A JP 2014225866 A JP2014225866 A JP 2014225866A JP 2016088810 A JP2016088810 A JP 2016088810A
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JP
Japan
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scribing
scribe
mother substrate
scribe lines
substrate
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JP2014225866A
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Japanese (ja)
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亮 森
Akira Mori
亮 森
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Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scribing apparatus for scribing a sealant portion of a mother substrate bonded through a sealant, capable of sufficiently deeply penetrating cracks.SOLUTION: A scribing method comprises: scribing a mother substrate 10 along a scribing schedule line SL1 defining a functional area of one end when scribing the mother substrate; scribing the mother substrate along a scribing line SL2 defining an adjacent functional area; and sequentially scribing the mother substrate not so as to position a scribe line formed at the N+1th time(N is an integer) out of scribe lines between any of scribe lines formed up to the Nth time. Thereby, without leaving a scribing schedule line after the next time between the existing scribing lines, cracks can be deeply penetrated.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は2枚の基板を貼り合わせたマザー基板を機能領域毎に分断する際のスクライブ方法及びスクライブ装置に関するものである。   The present invention relates to a scribing method and a scribing apparatus for dividing a mother substrate obtained by bonding two substrates together into functional regions.

液晶表示装置等の液晶パネルは2枚のガラス板を貼り合わせた構造となっている。特許文献1にはマザー基板に格子状に機能領域が形成され、各機能領域を切り出して液晶パネルとする方法が記載されている。マザー基板は、薄膜トランジスタ(TFT)が形成された基板と、カラーフィルタ(CF)が形成された基板とをシール材を介して貼り合わせることによって形成されている。シール材は2つの基板が貼り合わされた状態で液晶注入領域となる空間が残るように配置される。マザー基板から液晶パネルを切り出す場合には、マザー基板の上面及び下面にスクライブラインを形成する。そしてスクライブラインに沿ってマザー基板の上下の基板を分断することにより、個々の液晶パネルとすることができる。   A liquid crystal panel such as a liquid crystal display device has a structure in which two glass plates are bonded together. Patent Document 1 describes a method in which functional areas are formed in a lattice pattern on a mother substrate, and each functional area is cut out to form a liquid crystal panel. The mother substrate is formed by bonding a substrate on which a thin film transistor (TFT) is formed and a substrate on which a color filter (CF) is formed with a sealant interposed therebetween. The sealing material is arranged so that a space serving as a liquid crystal injection region remains in a state where the two substrates are bonded to each other. When the liquid crystal panel is cut out from the mother substrate, scribe lines are formed on the upper and lower surfaces of the mother substrate. Then, by dividing the upper and lower substrates of the mother substrate along the scribe line, individual liquid crystal panels can be obtained.

特許文献2にはマザー基板を両面から同時にスクライブするためのスクライブ装置が提案されている。このスクライブ装置は、先端にスクライビングホイールを有する2つのスクライブヘッドをマザー基板を挟むように配置し、マザー基板の面に平行な方向に移動させることによってマザー基板の両面をスクライブするものである。   Patent Document 2 proposes a scribing device for simultaneously scribing a mother substrate from both sides. In this scribing device, two scribing heads each having a scribing wheel at the tip are arranged so as to sandwich the mother substrate, and the both sides of the mother substrate are scribed by moving in a direction parallel to the surface of the mother substrate.

特開2006−137641号公報JP 2006-137441 A 特開2012−240902号公報JP 2012-240902 A

図1(a)は従来の液晶パネル用のマザー基板の一例を示す断面図である。図示のようにガラス基板101,102の間にはシール材103を介して液晶注入領域が設けられているが、隣り合う液晶注入領域の間にはシール材103が介在しない領域が存在していた。従って一点鎖線で示すように、シール材103が介在しない領域に2つのスクライビングホイール104によってマザー基板の両面から同時にスクライブラインを形成し、スクライブラインに沿って分断することができた。このようにスクライブラインを形成してマザー基板を分断すると、液晶パネルには液晶が注入されている機能領域の周りに所定幅の額縁領域が残ることとなる。   FIG. 1A is a cross-sectional view showing an example of a conventional mother substrate for a liquid crystal panel. As shown in the figure, a liquid crystal injection region is provided between the glass substrates 101 and 102 via a sealing material 103, but there is a region where the sealing material 103 is not interposed between adjacent liquid crystal injection regions. . Therefore, as indicated by the alternate long and short dash line, a scribe line was simultaneously formed on both sides of the mother substrate by the two scribing wheels 104 in a region where the seal material 103 was not interposed, and the scribe line could be divided along the scribe line. When the scribe line is formed in this manner and the mother substrate is divided, a frame region having a predetermined width remains around the functional region where the liquid crystal is injected in the liquid crystal panel.

しかしながら近年、特にモバイル用の液晶パネルにおいては、額縁領域を極限まで狭くすることが主流になりつつある。このため図1(b)に示すように、基板111,112から成るマザー基板においてシール材113が介在しない領域を省略し、隣り合う液晶注入領域は1箇所のシール材113のみによって区切るよう構成することが考えられている。このようなマザー基板の両面を同時にスクライブする場合には、図1(b)に一点鎖線、図1(c)に拡大断面図を示すように、スクライブラインをシール材の直上、及び直下に形成することが必要となる。   However, in recent years, especially in mobile liquid crystal panels, it has become mainstream to narrow the frame area to the limit. For this reason, as shown in FIG. 1B, the mother substrate composed of the substrates 111 and 112 is configured such that a region where the sealing material 113 is not interposed is omitted and adjacent liquid crystal injection regions are separated by only one sealing material 113. It is considered. When scribing both surfaces of such a mother substrate at the same time, scribe lines are formed directly above and below the sealing material, as shown in the alternate long and short dash line in FIG. 1 (b) and in FIG. 1 (c). It is necessary to do.

しかるに特許文献2のスクライブ装置を用いてシール材の直上及び直下の位置にスクライブラインを同時に形成する際に、図2(a)に示すように間を開けてスクライブラインSL1,SL2をスクライブしたとする。この場合に既に形成されているスクライブラインSL1,SL2に挟まれたスクライブ予定ラインSL3をスクライブすると、スクライブラインSL1,SL2のクラックが開こうとする応力の影響を受け、クラックが浸透しにくくなるという問題点がある。   However, when the scribe lines of Patent Document 2 are used to simultaneously form scribe lines immediately above and below the seal material, the scribe lines SL1 and SL2 are scribed with a gap as shown in FIG. To do. In this case, if the scribe line SL3 sandwiched between the scribe lines SL1 and SL2 already formed is scribed, the cracks of the scribe lines SL1 and SL2 are affected by the stress to open, and the cracks are difficult to penetrate. There is a problem.

同様にして図2(b)に示すようにスクライブラインSL1,SL2を既にスクライブしていると、その間のスクライブ予定ラインSL3,SL4,SL5をスクライブしようとしてもこれらのスクライブの際にクラックが浸透しにくくなるという問題点が生じる。そしてクラックが不十分な状態でブレイクすると、ブレイク後の基板の端縁に細かい亀裂や破損が生じて、ガラス基板の強度が低下するという問題が生じる。   Similarly, when the scribe lines SL1 and SL2 are already scribed as shown in FIG. 2B, even if the scribe lines SL3, SL4 and SL5 are scribed in the meantime, the cracks penetrate during these scribes. The problem that it becomes difficult arises. And when a break occurs in a state where cracks are insufficient, a fine crack or breakage occurs at the edge of the substrate after the break, resulting in a problem that the strength of the glass substrate is lowered.

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、2枚の基板をシール材によって貼り合わされてなるマザー基板の表面を該シール材に沿ってスクライブする際に十分な深さのクラックを形成し、ブレイクすることができるスクライブ方法及びスクライブ装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made paying attention to such a conventional problem, and is sufficient for scribing the surface of a mother substrate obtained by bonding two substrates together with a sealing material along the sealing material. An object of the present invention is to provide a scribing method and a scribing device capable of forming and breaking a crack having a depth.

この課題を解決するために、本発明のスクライブ方法は、第1基板と第2基板をシール材を介して貼り合わせてなるマザー基板の表面に同一方向に平行に複数のスクライブラインを形成するスクライブ方法であって、前記複数のスクライブラインの夫々は前記シール材に対向する位置に形成されるものであり、前記複数のスクライブラインのうちN+1回目(Nは整数)に形成されるスクライブラインは、N回目までに形成されるスクライブラインのいずれの間にも位置しないように順次スクライブするものである。   In order to solve this problem, the scribing method of the present invention includes a scribing method in which a plurality of scribing lines are formed in parallel in the same direction on the surface of a mother substrate obtained by bonding a first substrate and a second substrate through a sealing material. In the method, each of the plurality of scribe lines is formed at a position facing the seal material, and a scribe line formed N + 1 times (N is an integer) among the plurality of scribe lines is: The scribing is performed sequentially so as not to be positioned between any of the scribe lines formed up to the Nth time.

この課題を解決するために、本発明のスクライブ装置は、第1基板と第2基板をシール材により貼り合わせてなるマザー基板の表面に同一方向に平行に複数のスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、前記マザー基板の表面を前記シール材に沿ってスクライブするスクライブヘッドを有し、前記スクライブヘッド及び前記マザー基板の少なくとも一方を前記マザー基板の表面に平行に相対的に移動させ、前記複数のスクライブラインのうちN+1回目(Nは整数)に形成されるスクライブラインは、N回目までに形成されるスクライブラインのいずれの間にも位置しないように順次前記マザー基板の表面を前記シール材に沿ってスクライブするものである。   In order to solve this problem, the scribing apparatus of the present invention is a scribing apparatus that forms a plurality of scribing lines in parallel in the same direction on the surface of a mother substrate formed by bonding a first substrate and a second substrate with a sealing material. A scribing head for scribing the surface of the mother substrate along the sealing material, wherein at least one of the scribing head and the mother substrate is moved relative to the surface of the mother substrate in parallel. The scribe lines formed at the (N + 1) th (N is an integer) among the scribe lines are sequentially placed on the surface of the mother substrate as the sealing material so as not to be positioned between any of the scribe lines formed up to the Nth. Scribe along.

ここで複数のスクライブヘッドを用いて前記複数のスクライブラインを形成するようにしてもよい。   Here, the plurality of scribe lines may be formed using a plurality of scribe heads.

このような特徴を有する本発明によれば、既設のスクライブラインの間に次回以降のスクライブラインが形成されないようにスクライブ順序を決定することにより、十分な深さのクラックを基板の両面に形成することができる。従ってブレイク後の基板の端縁に細かい亀裂や破損が生じることがなく、分断後の基板の不良を未然に防止することができるという効果が得られる。   According to the present invention having such a feature, cracks having a sufficient depth are formed on both surfaces of the substrate by determining the scribe order so that the next and subsequent scribe lines are not formed between the existing scribe lines. be able to. Therefore, there is no effect that a fine crack or breakage does not occur at the edge of the substrate after the break, and the defect of the substrate after the division can be prevented in advance.

図1は従来の液晶パネル用マザー基板とそのブレイク過程を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing a conventional mother board for a liquid crystal panel and its breaking process. 図2は従来の液晶パネル用マザー基板とそのブレイク過程を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a conventional mother board for a liquid crystal panel and its breaking process. 図3は本発明の実施の形態による加工対象のマザー基板の一例を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing an example of a mother substrate to be processed according to the embodiment of the present invention. 図4は本実施の形態で加工対象となるマザー基板の一部を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a part of a mother substrate to be processed in the present embodiment. 図5Aは本発明の実施の形態によるスクライブ装置の一例を示す側面図である。FIG. 5A is a side view showing an example of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図5Bは本発明の実施の形態によるスクライブ装置の一例を示す側面図である。FIG. 5B is a side view showing an example of a scribing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図6は本実施の形態におけるスクライブ方法の第1の例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a first example of the scribing method in the present embodiment. 図7は本発明の実施の形態におけるスクライブ方法の第2の例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a second example of the scribing method according to the embodiment of the present invention. 図8は本発明のマルチスクライブヘッドを用いたスクライブ装置によるスクライブ方法の第1の例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a first example of the scribing method by the scribing apparatus using the multi-scribe head of the present invention. 図9は本発明のマルチスクライブヘッドを用いたスクライブ装置によるスクライブ方法の第2の例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a second example of the scribing method by the scribing apparatus using the multi-scribe head of the present invention.

まず、加工対象である液晶表示パネル製造用のマザー基板について説明する。マザー基板10は、図3に正面図を示すように、複数の単位表示パネル(単位基板)のパターンが形成された2枚の基板が貼り合わされて構成されている。マザー基板10は多数の機能領域が図示のように格子状に形成されている。   First, a mother substrate for manufacturing a liquid crystal display panel to be processed will be described. As shown in the front view of FIG. 3, the mother substrate 10 is configured by bonding two substrates on which patterns of a plurality of unit display panels (unit substrates) are formed. The mother substrate 10 has a large number of functional areas formed in a lattice shape as shown in the figure.

図4はこのマザー基板10の一部を示す断面図である。マザー基板10は複数のカラーフィルタが形成された第1基板(CF基板ともいう)11と、複数のTFT及び端子領域が形成された第2基板(TFT基板ともいう)12とが、シール材13を挟んで貼り合わされている。そして図4(a)に示すように1つのシール材13が隣接する機能領域を画定しており、シール材13の間には液晶14が封入されている。この基板を機能領域毎の表示パネルに分断する場合には、このシール材13の真上を縦方向及び横方向にスクライブし、分離することが必要となる。   FIG. 4 is a cross-sectional view showing a part of the mother substrate 10. A mother substrate 10 includes a first substrate 11 (also referred to as a CF substrate) on which a plurality of color filters are formed, and a second substrate (also referred to as a TFT substrate) 12 on which a plurality of TFTs and terminal regions are formed. It is pasted together. As shown in FIG. 4A, one sealing material 13 defines adjacent functional areas, and a liquid crystal 14 is sealed between the sealing materials 13. When the substrate is divided into display panels for each functional area, it is necessary to scribe the seal material 13 directly in the vertical and horizontal directions to separate them.

図5A,図5Bは本発明の実施の形態によるスクライブ装置を側面から見た概略図である。これらの図に示されるように、左右一対の支柱20a,20bが台座21及びブロック22a,22b上に取り付けられている。この支柱の間の上部には可動ガイド支柱23a,23bが平行に設けられ、下方には可動ガイド支柱24a,24bが平行に設けられる。可動ガイド支柱23a,23bと24a,24bとは夫々横スライド部材25,26を夫々x軸方向(左右方向)に移動させるものである。横スライド部材25,26には夫々z軸方向(上下方向)にスクライブヘッドを移動させるための縦スライド部材27,28が設けられている。縦スライド部材27の下端部にはスクライブヘッド29が設けられる。縦スライド部材28の上端部には、スクライブヘッド30が設けられる。スクライブヘッド29,30は、その先端に夫々スクライビングホイール31,32を保持するものである。   5A and 5B are schematic views of the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention as seen from the side. As shown in these drawings, a pair of left and right support columns 20a and 20b are mounted on a base 21 and blocks 22a and 22b. Movable guide columns 23a and 23b are provided in parallel at the upper part between the columns, and movable guide columns 24a and 24b are provided in the lower side. The movable guide columns 23a, 23b and 24a, 24b move the horizontal slide members 25, 26 in the x-axis direction (left-right direction), respectively. The horizontal slide members 25 and 26 are provided with vertical slide members 27 and 28 for moving the scribe head in the z-axis direction (vertical direction), respectively. A scribe head 29 is provided at the lower end of the vertical slide member 27. A scribe head 30 is provided at the upper end of the vertical slide member 28. The scribing heads 29 and 30 hold the scribing wheels 31 and 32 at their tips, respectively.

ここでスクライブヘッド29は第1のスクライブヘッドであり、スクライブヘッド30は第2のスクライブヘッドである。又縦スライド部材27,28はこれらのスクライブヘッドを互いに接近又は離反する方向に移動させる移動部を構成しており、可動ガイド支柱23a,23b,24a,24bと横スライド部材25,26は、スクライブヘッド29,30をx軸方向に移動させる移動部を構成している。   Here, the scribe head 29 is a first scribe head, and the scribe head 30 is a second scribe head. The vertical slide members 27 and 28 constitute a moving unit for moving these scribing heads in directions toward or away from each other. The movable guide columns 23a, 23b, 24a and 24b and the horizontal slide members 25 and 26 are scribed. A moving unit is configured to move the heads 29 and 30 in the x-axis direction.

次にマザー基板10をスクライブして各機能領域に分断する際の動作について図6を用いて説明する。まず図6(a)に示すように、マザー基板10を最も左端の機能領域とこれに隣接する機能領域とを画定するスクライブ予定ラインSL1に沿って、マザー基板10の上面、下面を同時にスクライブする。この場合には隣接する領域のシール材13の真上及び真下にスクライブラインを形成する。尚以下の説明ではこのスクライブを終えたスクライブラインを実線で示し、スクライブ予定ラインを一点鎖線で示している。次に図6(b)に示すようにスクライブラインSL1に隣り合うスクライブ予定ラインSL2をスクライブする。更にスクライブ予定ラインSL3,SL4・・・と順次間を空けずにスクライブして、一定方向のスクライブを完了する。即ち複数のスクライブラインのうちN+1回目(Nは整数)に形成されるスクライブラインは、N回目までに形成されるスクライブラインのいずれの間にも位置しないように、順次マザー基板の両面からスクライブする。   Next, the operation when the mother substrate 10 is scribed and divided into functional areas will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG. 6A, the upper surface and the lower surface of the mother substrate 10 are simultaneously scribed along a planned scribe line SL1 that defines the leftmost functional region and the functional region adjacent thereto. . In this case, scribe lines are formed immediately above and below the sealing material 13 in the adjacent region. In the following description, the scribe line after the scribe is indicated by a solid line, and the scribe line is indicated by a one-dot chain line. Next, as shown in FIG. 6B, the scribe line SL2 adjacent to the scribe line SL1 is scribed. Further, scribing is performed without sequentially leaving the scheduled scribe lines SL3, SL4,. That is, the scribe lines formed at the (N + 1) th time (N is an integer) among the plurality of scribe lines are sequentially scribed from both sides of the mother substrate so as not to be positioned between any of the scribe lines formed up to the Nth time. .

次いでテーブルを90°回転させて既に形成したスクライブラインに対して垂直に、同様にして一端から順次スクライブし、格子状にスクライブラインを形成してゆく。こうすれば既に形成されたスクライブラインの間に次回以降のスクライブ予定ラインが残されることがなく、クラックが深く浸透するため、ブレイクの工程で正常にブレイクを行うことができる。   Next, the table is rotated 90 °, and the scribe lines are sequentially scribed from one end in the same manner perpendicularly to the scribe lines already formed, thereby forming the scribe lines in a lattice shape. By doing so, the next and subsequent scribe lines are not left between the scribe lines that have already been formed, and the crack penetrates deeply, so that the break can be normally performed in the break process.

尚、一端から順次スクライブすることに代えて、図7(a)に示すように中央にスクライブラインSL1を形成し、次いで図7(b)に示すようにその両側にスクライブラインSL2,SL3を形成し、更にその夫々の外側にスクライブラインSL4,SL5を形成し、以下順次外側にスクライブラインを形成していってもよい。この場合にも既にスクライブしたスクライブラインの間に次回以降のスクライブ予定ラインが残されないため、深くクラックを形成することができる。   Instead of sequentially scribing from one end, a scribe line SL1 is formed in the center as shown in FIG. 7A, and then scribe lines SL2 and SL3 are formed on both sides thereof as shown in FIG. 7B. Further, the scribe lines SL4 and SL5 may be formed on the outer sides of the respective scribe lines, and the scribe lines may be sequentially formed on the outer sides. Also in this case, since the next scheduled scribe line is not left between the already scribed scribe lines, a deep crack can be formed.

この実施の形態では、図4に示すように上下にスクライブヘッドを持つスクライブ装置について説明しているが、本発明は上下に複数のスクライブヘッドを有するマルチヘッドスクライブ装置にも適用できる。複数のスクライブヘッドはすべてのヘッドが同時に使用される場合もあり、一部のヘッドのみが使用される場合もある。   In this embodiment, a scribe device having a scribe head above and below is described as shown in FIG. 4, but the present invention can also be applied to a multi-head scribe device having a plurality of scribe heads above and below. In some cases, all of the scribe heads may be used at the same time, or only some of the heads may be used.

マルチヘッドスクライブ装置でマザー基板10をスクライブする際には、例えば図8(a)に示すように、マザー基板10の一端から3本のスクライブラインSL1,SL2,SL3を同時にスクライブする。次にスクライブラインSL4〜SL6を図8(b)に示すようにスクライブし、次いでスクライブラインSL7〜SL9をスクライブする。このように3本の単位でスクライブする際にも、隣接するスクライブ予定ラインについて間を開けることなく順次スクライブしていく。こうして既設のスクライブラインの間に次回以降のスクライブ予定ラインが残されないよう順次スクライブしていけば、クラックを深く浸透させることができる。   When the mother substrate 10 is scribed by the multi-head scribing device, for example, as shown in FIG. 8A, three scribe lines SL1, SL2, and SL3 are simultaneously scribed from one end of the mother substrate 10. Next, the scribe lines SL4 to SL6 are scribed as shown in FIG. 8B, and then the scribe lines SL7 to SL9 are scribed. In this way, even when scribing in units of three, scribing is performed sequentially with no gap between adjacent scribe planned lines. In this way, if the scribe lines are sequentially squeezed between the existing scribe lines so that the next scheduled scribe line is not left, the cracks can be deeply penetrated.

又一端より順次スクライブすることに代えて、図9(a)に示すように中央にスクライブラインSL1〜SL3を形成し、次いで図9(b)に示すように一方の外側にスクライブラインSL4〜SL6を形成する。次に他方の外側にスクライブラインSL7〜SL9を形成する。以下同様にして順次外側にスクライブしていってもよい。この場合にも既設のスクライブラインの間に次回以降のスクライブ予定ラインが残されないため、深くクラックを形成することができる。   Instead of sequentially scribing from one end, scribe lines SL1 to SL3 are formed in the center as shown in FIG. 9A, and then scribe lines SL4 to SL6 are formed outside one as shown in FIG. 9B. Form. Next, scribe lines SL7 to SL9 are formed on the other outer side. In the same manner, it may be sequentially scribed outward. Also in this case, since the next and subsequent scribe lines are not left between the existing scribe lines, a deep crack can be formed.

本発明は、2枚の基板をシール材によって貼り合わされてなるマザー基板の表面を該シール材に沿ってスクライブするスクライブ装置及び分断装置に適用することができる。   The present invention can be applied to a scribing device and a cutting device for scribing the surface of a mother substrate formed by bonding two substrates together with a sealing material along the sealing material.

10 マザー基板
11 第1基板
12 第2基板
13 シール材
14 液晶
20a,20b 支柱
23a,23b,24a,24b 可動ガイド支柱
25,26 横スライド部材
27.28 縦スライド部材
29,30 スクライブヘッド
31,32 スクライビングホイール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Mother board | substrate 11 1st board | substrate 12 2nd board | substrate 13 Sealing material 14 Liquid crystal 20a, 20b Support | pillar 23a, 23b, 24a, 24b Movable guide support | pillar 25, 26 Horizontal slide member 27.28 Vertical slide member 29, 30 Scribe head 31, 32 Scribing wheel

Claims (4)

第1基板と第2基板をシール材を介して貼り合わせてなるマザー基板の表面に同一方向に平行に複数のスクライブラインを形成するスクライブ方法であって、
前記複数のスクライブラインの夫々は前記シール材に対向する位置に形成されるものであり、
前記複数のスクライブラインのうちN+1回目(Nは整数)に形成されるスクライブラインは、N回目までに形成されるスクライブラインのいずれの間にも位置しないように順次スクライブするスクライブ方法。
A scribing method for forming a plurality of scribe lines in parallel in the same direction on a surface of a mother substrate obtained by bonding a first substrate and a second substrate through a sealing material,
Each of the plurality of scribe lines is formed at a position facing the sealing material,
A scribing method in which a scribe line formed N + 1 times (N is an integer) among the plurality of scribe lines is sequentially scribed so as not to be positioned between any of the scribe lines formed up to the Nth time.
複数のスクライブヘッドを用いて前記複数のスクライブラインを形成する請求項1記載のスクライブ方法。   The scribing method according to claim 1, wherein the plurality of scribe lines are formed using a plurality of scribe heads. 第1基板と第2基板をシール材により貼り合わせてなるマザー基板の表面に同一方向に平行に複数のスクライブラインを形成するスクライブ装置であって、
前記マザー基板の表面を前記シール材に沿ってスクライブするスクライブヘッドを有し、
前記スクライブヘッド及び前記マザー基板の少なくとも一方を前記マザー基板の表面に平行に相対的に移動させ、
前記複数のスクライブラインのうちN+1回目(Nは整数)に形成されるスクライブラインは、N回目までに形成されるスクライブラインのいずれの間にも位置しないように順次前記マザー基板の表面を前記シール材に沿ってスクライブするスクライブ装置。
A scribing device that forms a plurality of scribe lines in parallel in the same direction on the surface of a mother substrate formed by bonding a first substrate and a second substrate with a sealing material,
A scribing head for scribing the surface of the mother substrate along the sealing material;
Moving at least one of the scribe head and the mother substrate relatively parallel to the surface of the mother substrate;
Among the plurality of scribe lines, the surface of the mother substrate is sequentially sealed so that the scribe line formed at the N + 1th time (N is an integer) is not positioned between any of the scribe lines formed up to the Nth time. A scribing device that scribes along the material.
複数のスクライブヘッドを用いて前記複数のスクライブラインを形成する請求項3記載のスクライブ装置。   The scribing apparatus according to claim 3, wherein the plurality of scribe lines are formed using a plurality of scribe heads.
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