JP2016085171A - アレイ物検査用照明装置、アレイ物検査装置およびアレイ物検査用導光板 - Google Patents

Abstract

【課題】アレイ物における個々の物をより均一に照明でき、暗視野照明を可能とするアレイ物検査用照明装置、これを用いたアレイ物検査装置およびこれに用いられるアレイ物検査用導光板を提供する。【解決手段】アレイ物検査用照明装置ＬＭａは、複数の所定の物をアレイ状に備えるアレイ物ＳＰａを照明する装置であって、所定の光を放射する光源部と、光源部から放射された光が入射され、この入射された光を導光する導光板２ａとを備え、導光板２ａは、当該導光板２ａの面拡がり方向に沿った仮想面と交差し、入射されて導光されている光を当該導光板２ａから外部へ射出する射出面を持つ射出部２１ａを備え、射出部２１ａは、所定の物を囲む大きさで導光板２ａに設定された互いに異なる複数の区画領域における各輪郭線の各上方にそれぞれ形成される。【選択図】図１

Description

本発明は、複数の所定の物をアレイ状に備えるアレイ物を検査するアレイ物検査装置に用いられるアレイ物検査用照明装置、前記アレイ物検査装置、および、このアレイ物検査用照明装置（アレイ物検査装置）に用いられるアレイ物検査用導光板に関する。

一般に、検査対象である被検査物における欠陥や異物の混入等の被検査物の異常を発見するために、被検査物を観察して検査する外観検査を実行することがある。この場合、被検査物を照明装置で照明することが多い。このような照明装置の１つとして、例えば、特許文献１に開示された検査用照明装置がある。

この特許文献１に開示された検査用照明装置は、底面部に開口部を有するハウジングと、ハウジングに配置された円形状を含む多角形状の導光板と、導光板の端面部に選択的に配置され、導光板に光を導入するための光源部とを具備し、前記導光板の、ハウジングの非開口部側における上面部には複数の凹部が互いに交差するようなパターンに配置されており、かつ凹部の導光板内面部分にはハーフミラー的な作用を呈するように構成されている。前記特許文献１によれば、このような構成の検査用照明装置では、導光板に入射された光は、導光板内で反射を繰り返しながら前記複数の凹部で導光板の下面方向に反射されて垂直下方に射出され、検査用照明装置の下方に配置された被検査物を照明する。

特開２０１０−１１２７３５号公報

ところで、一般に、被検査物を検査する場合に、一度に多数の被検査物を検査するために、複数の被検査物がアレイ状に配置される場合がある。あるいは、被検査物自体が複数の素子をアレイ状に持つ場合もある。このような複数の所定の物をアレイ状に備えるアレイ物を外観から外観検査するために、アレイ物を例えば前記特許文献１に開示された検査用照明装置等の照明装置で照明すると、アレイ物における互いに隣接する前記所定の物同士が影響（干渉）し合うために、個々の前記物を充分に照明し難い。例えば、複数のレンズをアレイ状に備えるレンズアレイ（アレイレンズ）や複数のプリズムをアレイ状に備えるプリズムアレイ（アレイプリズム）等の光学素子アレイを照明する場合、個々のレンズやプリズム等における凹凸形状の影響で、隣接するレンズやプリズム等の陰によって個々のレンズやプリズム等に相対的に暗い部分が生じたり、隣接するレンズやプリズム等での反射によって個々のレンズやプリズム等に相対的に明るい部分が生じたりする。このため、個々の前記物に照明ムラが生じ、均一に照明することが難しい。あるいは、個々の前記物全体を検査するために、部分ごとに適宜な照度で照明するべく、アレイ物の移動が必要となる。

また、表面に付着した異物等の発見には、一般に、明視野照明よりも暗視野照明が好ましい。しかしながら、前記特許文献１に開示された検査用照明装置は、導光板から垂直下方に光を射出しているため、明視野照明しか実現できない。

本発明は、上述の事情に鑑みて為された発明であり、その目的は、アレイ物における個々の物をより均一に照明でき、暗視野照明を可能とするアレイ物検査用照明装置、これを用いたアレイ物検査装置、および、このアレイ物検査用照明装置（アレイ物検査装置）に用いられるアレイ物検査用導光板を提供することである。

本発明者は、種々検討した結果、上記目的は、以下の本発明により達成されることを見出した。すなわち、本発明の一態様にかかるアレイ物検査用照明装置は、複数の所定の物をアレイ状に備えるアレイ物を照明するアレイ物検査用照明装置であって、所定の光を放射する光源部と、前記光源部から放射された光が入射され、前記入射された光を導光する導光板とを備え、前記導光板は、当該導光板の面拡がり方向に沿った仮想面と交差し、前記入射されて導光されている前記光を当該導光板から外部へ射出する射出面を持つ射出部を備え、前記射出部は、前記所定の物を囲む大きさで前記導光板に設定された互いに異なる複数の区画領域における各輪郭線の各上方にそれぞれ形成されることを特徴とする。前記所定の物を囲む大きさとは、好ましくは、導光板をアレイ物に重ねてその積層方向から見込んだ平面視にて、区画領域に前記所定の物を内包する、もしくは同じ大きさである。

このようなアレイ物検査用照明装置は、アレイ物における所定の物を囲む大きさで導光板に設定された互いに異なる複数の区画領域における各輪郭線の各上方にそれぞれ形成される射出部を備えるので、アレイ物における個々の前記物に対し、前記物の周囲から光を照明できる。このため、上記アレイ物検査用照明装置は、アレイ物における個々の物をより均一に照明できる。そして、この射出部は、導光板の面拡がり方向に沿った仮想面と交差する射出面を持つので、前記仮想面に対し斜め方向に光を射出できる。このため、上記アレイ物検査用照明装置は、アレイ物における個々の前記物に対し、斜め方向から光を照明でき、したがって、暗視野照明が可能となる。

また、他の一態様では、上述のアレイ物検査用照明装置において、前記複数の区画領域における各輪郭形状は、円形状、楕円形状、長円形状、多角形形状のうちのいずれかであり、前記射出部は、前記複数の区画領域における各輪郭線の各上方に連続的にまたは離散的にそれぞれ形成されることを特徴とする。前記離散的に形成される射出部は、複数の十字形状で形成されることが好ましく、あるいは、ドット形状（点形状、柱形状、錐形状）で形成されることが好ましい。

これによれば、複数の区画領域における各輪郭形状が円形状である場合には、アレイ物における個々の前記物の輪郭形状が円形状である当該アレイ物の照明に適したアレイ物検査用照明装置を提供できる。また、複数の区画領域における各輪郭形状が楕円形状である場合には、アレイ物における個々の前記物の輪郭形状が楕円形状である当該アレイ物の照明に適したアレイ物検査用照明装置を提供できる。また、複数の区画領域における各輪郭形状が長円形状である場合には、アレイ物における個々の前記物の輪郭形状が長円形状である当該アレイ物の照明に適したアレイ物検査用照明装置を提供できる。また、複数の区画領域における各輪郭形状が多角形形状である場合には、アレイ物における個々の前記物の輪郭形状が多角形形状である当該アレイ物の照明に適したアレイ物検査用照明装置を提供できる。そして、射出部が連続的に形成されている場合には、上記アレイ物検査用照明装置は、アレイ物における個々の前記物に対し、その全周囲から光を照明でき、したがって、より明るく照明できる。また、射出部が離散的に形成されている場合には、射出部の加工形成がし易い。

また、他の一態様では、これら上述のアレイ物検査用照明装置において、前記射出部は、前記導光板における前記アレイ物に対向する主面上に形成されることを特徴とする。

導光板におけるアレイ物に対向する主面にさらに対向する面（前記主面が導光板の表面である場合には導光板の裏面）上に射出部が形成される場合、導光板を介してアレイ物を照明することになり、導光板で散乱されてしまう。一方、上記アレイ物検査用照明装置は、導光板における前記アレイ物に対向する主面上に形成された射出部を備えるので、射出部から射出された時点の射出方向（前記斜め方向）を維持して直接的にアレイ物を照明できるから、効果的に暗視野照明を実現できる。

また、他の一態様では、これら上述のアレイ物検査用照明装置において、前記光源部は、前記所定の光を発光して放射する発光部と、前記発光部から放射される前記所定の光における光量および色のうちの少なくともいずれかを制御する光制御部とを備えることを特徴とする。

このようなアレイ物検査用照明装置は、所定の光における光量および色のうちの少なくともいずれかを制御する光制御部を備えるので、上記アレイ物検査用照明装置は、コントラストの判り易い好適な光量や色に調整でき、また、例えば表面に付着した異物（ゴミ）や傷等の外観検査の対象に応じて好適な、あるいは、例えば個々の前記物の各表面にコーティング（例えば反射防止コーティング等）の施されたアレイ物等の被検査物に応じて好適な、光量や色を調整できる。

また、他の一態様では、これら上述のアレイ物検査用照明装置において、前記導光板は、互いに対向する１対の第１および第２主面を備え、前記入射された光を前記第１および第２主面間で導光し、前記区画領域内に設けられ前記第１および第２主面間を貫通する開口部をさらに備えることを特徴とする。前記開口部は、前記複数の区画領域それぞれに設けられて良く、また、前記複数の区画領域の一部に設けられても良い。

このようなアレイ物検査用照明装置は、前記区画領域内に設けられた開口部を備えるので、この開口部を介して直接的に、アレイ物における前記所定の物を観察可能とする。したがって、導光板における異物（ゴミ）の付着や、第１および第２主面の面精度（歪み）等に、影響されることなく、上記アレイ物検査用照明装置は、アレイ物における前記所定の物を観察可能とする。

また、他の一態様では、これら上述のアレイ物検査用照明装置において、前記光源部は、前記所定の光を発光して放射する発光ダイオードを備えることを特徴とする。

このようなアレイ物検査用照明装置は、発光ダイオード（ＬＥＤ）を備える光源部を備えるので、水銀ランプやハロゲンランプ等を備える光源部に較べて発熱を少なくでき、発光をより早く安定化できる。

また、他の一態様では、これら上述のアレイ物検査用照明装置において、前記仮想面と直交する直交方向に沿って前記アレイ物および前記導光板を相対的に移動する移動機構をさらに備えることを特徴とする。

このようなアレイ物検査用照明装置は、仮想面と直交する直交方向に沿って導光板を移動する移動機構を備えるので、導光板とアレイ物との間の距離を適宜に調整することによって、暗視野照明と明視野照明とを択一的に実行できる。すなわち、導光板とアレイ物との間の距離が第１切替距離以下となるように導光板とアレイ物とを近接させると、上述したように、アレイ物における個々の前記物に対し、斜め方向から光が照明され、暗視野照明が可能となる。一方、導光板とアレイ物との間の距離が前記第１切替距離より長くなるように、導光板とアレイ物とを離間させると、アレイ物における個々の前記物に対し、略上方から光が照明され、明視野照明が可能となる。

また、他の一態様では、これら上述のアレイ物検査用照明装置において、前記光源部は、球状殻の一部の形状で形成された球状殻本体と、前記球状殻本体の内部に配置され、前記所定の光を発光して放射する発光部とを備えることを特徴とする。好ましくは、球状殻本体の内側面には、例えば硫酸バリウム等を主材料とする、入射光を拡散反射する拡散反射層が形成される。

このようなアレイ物検査用照明装置は、市販のいわゆるドーム型照明装置を光源部に利用できる。

また、他の一態様では、上述のアレイ物検査用照明装置において、前記仮想面と直交する直交方向に沿って前記光源部および前記導光板を相対的に移動する移動機構をさらに備えることを特徴とする。

このようなアレイ物検査用照明装置は、仮想面と直交する直交方向に沿って光源部および導光板のうちのいずれか一方を移動する移動機構を備えるので、光源部と導光板との間の距離、あるいは、導光板とアレイ物との間の距離を適宜に調整することによって、暗視野照明と明視野照明とを択一的に実行できる。すなわち、光源部と導光板との間の距離が第２切替距離以下になるように、光源部と導光板とを近接させると、光源部から放射された光は、導光板の側面から入射されることになり、上述したように、アレイ物における個々の前記物に対し、斜め方向から光が照明され、暗視野照明が可能となる。一方、光源部と導光板との間の距離が前記第２切替距離より長くなるように、光源部と導光板とを離間させると、アレイ物における個々の前記物に対し、導光板を介して略上方から光が照明され、明視野照明が可能となる。また、導光板とアレイ物との間の距離の切替は、上述と同様である。

そして、本発明の他の一態様にかかるアレイ物検査装置は、複数の所定の物をアレイ状に備える被検査物のアレイ物を照明するアレイ物検査用照明部と、前記アレイ物の光学像を撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像した前記アレイ物の画像に基づいて前記アレイ物の異常を検出する検出処理部とを備え、前記アレイ物検査用照明部は、これら上述のいずれかのアレイ物検査用照明装置であることを特徴とする。

このようなアレイ物検査装置は、これら上述のいずれかのアレイ物検査用照明装置を用いるので、アレイ物における個々の物をより均一に照明でき、暗視野照明を可能とする。

そして、本発明の他の一態様では、これらいずれかのアレイ物検査用照明装置、または、上述のアレイ物検査装置に用いられるアレイ物検査用導光板である。好ましくは、本発明の他の一態様にかかるアレイ物検査用導光板は、複数の所定の物をアレイ状に備えるアレイ物を照明するアレイ物検査用照明装置、または、前記アレイ物を検査するアレイ物検査装置に用いられるアレイ物検査用導光板であって、当該導光板の面拡がり方向に沿った仮想面と交差し、入射されて導光されている光を当該導光板から外部へ射出する射出面を持つ射出部を備え、前記射出部は、前記所定の物を囲む大きさで前記導光板に設定された互いに異なる複数の区画領域における各輪郭線の各上方にそれぞれ形成される。

このようなアレイ物検査用導光板は、アレイ物における個々の物をより均一に照明でき、暗視野照明を可能とする。

本発明にかかるアレイ物検査用照明装置は、アレイ物における個々の物をより均一に照明でき、暗視野照明を可能とする。そして、本発明によれば、これを用いたアレイ物検査装置、および、このアレイ物検査用照明装置（アレイ物検査装置）に用いられるアレイ物検査用導光板を提供できる。

第１実施形態におけるアレイ物検査装置の構成を示す図である。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第１態様の導光板の構成を示す斜視図である。 第１実施形態におけるアレイ物検査装置の動作を示すフローチャートである。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第２態様の導光板の構成を示す斜視図である。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第３態様の導光板の構成を示す斜視図である。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第４態様の導光板の構成を示す斜視図である。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第５態様の導光板の構成を示す斜視図である。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第６態様の導光板の構成を示す斜視図である。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第７態様の導光板の構成を示す斜視図である。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第７態様の導光板の構成を示す断面図である。 第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第８態様の導光板の構成を示す斜視図である。 第２実施形態におけるアレイ物検査装置の一部構成を示す斜視図である。

以下、本発明にかかる実施の一形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、適宜、その説明を省略する。本明細書において、総称する場合には添え字を省略した参照符号で示し、個別の構成を指す場合には添え字を付した参照符号で示す。

本実施形態におけるアレイ物検査装置は、複数の所定の物を一次元または二次元のアレイ状に備えるアレイ物を照明するアレイ物検査用照明装置を用い、前記アレイ物の異常の有無を検査する装置である。前記所定の物は、種々の物であって良く、例えば、比較的小さいサイズの同種または異種の被検査物であって良く、また例えば、同種または異種の機能を持つ素子（部品）であって良い。同種の被検査物として、一例では、血液や体液等の検体、化学物質および薬剤等が挙げられる。また、同種の素子として、一例では、光学素子および電子部品等が挙げられる。入射された光に所定の作用を及ぼして射出する前記光学素子として、一例では、ミラー、プリズム、光学フィルタ、レンズおよび回折格子等が挙げられる。異種の素子として、一例では、プリズムおよびレンズ等のように互いに異なる機能を持つ光学素子等が挙げられる。

そして、前記アレイ物検査用照明装置は、所定の光を放射する光源部と、前記光源部から放射された光が入射され、前記入射された光を導光する導光板（アレイ物検査用導光板）とを備える。前記導光板は、当該導光板の面拡がり方向に沿った仮想面と交差し、前記入射されて導光されている前記光を当該導光板から外部へ射出する射出面を持つ射出部を備え、前記射出部は、前記所定の物を囲む大きさで前記導光板に設定された互いに異なる複数の区画領域における各輪郭線の各上方にそれぞれ形成される。前記所定の物を囲む大きさとは、好ましくは、導光板をアレイ物に重ねてその積層方向から見込んだ平面視にて、区画領域に前記所定の物を内包する、もしくは同じ大きさである。

以下、このようなアレイ物検査用照明装置を用いたアレイ物検査装置について、一例の第１および第２実施形態によって、より具体的に説明し、そして、これら第１および第２実施形態における各アレイ物検査装置（アレイ物検査用照明装置）に利用される一例の第１ないし第８態様の各導光板について、より具体的に説明する。

（第１実施形態）
まず、第１実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａの構成について説明する。図１は、第１実施形態におけるアレイ物検査装置の構成を示す図である。図１（Ａ）は、暗視野照明の場合を示し、図１（Ｂ）は、明視野照明の場合を示す。図２は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第１態様の導光板の構成を示す斜視図である。

図１および図２において、第１実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、光源部１ａと、導光板２ａと、移動部３と、撮像部４と、制御処理部５とを備え、図１および図２に示す例では、さらに、入力部６と、出力部７と、インターフェース部（ＩＦ部）８とを備える。なお、導光板２ａは、アレイ物検査用導光板の一例に相当し、光源部１ａおよび導光板２ａは、アレイ物検査用照明装置ＬＭａの一例に相当し、図１および図２に示す例では、アレイ物検査用照明装置ＬＭａさらに、移動部３および制御処理部５における後述の制御部５１も備えている。

光源部１ａは、制御処理部５に接続され、制御処理部５の制御に従って、所定の光を放射する装置である。光源部１ａは、その放射した前記所定の光を、導光板２ａにおける所定の箇所から入射する。例えば、光源部１ａは、前記所定の光を、導光板の２ａの側面における全部または一部から入射する。より具体的には、導光板２ａは、後述するように平面視にて矩形形状（正方形形状を含む）であるので、光源部１ａは、前記所定の光を、４個の側面全部（リング照明でもよい）または１個の側面から入射してもよいが、本実施形態では、４個の側面のうちの互いに隣接する２個の側面から入射する。このため、光源部１ａは、図２に示すように、２個の第１および第２光源部１ａ−１、１ａ−２を備えている。

そして、本実施形態では、光源部１ａ（１ａ−１、１ａ−２）は、前記所定の光を発光して放射する発光部１１ａと、発光部１１ａから放射される前記所定の光における光量および色のうちの少なくともいずれかを制御する光制御部とを備える。より具体的には、前記光制御部は、制御処理部５に機能的に構成された、後述の制御部５１である。また、第１光源部１ａ−１は、導光板２ａの厚さよりも幅広な第１回路基板１２ａ−１上に、所定の距離を空けて互いに離間するように搭載された第１および第２発光部１１ａ−１、１１ａ−２を備え、第１および第２発光部１１ａ−１、１１ａ−２は、制御処理部５に接続される。同様に、第２光源部１ａ−２は、導光板２ａの厚さよりも幅広な第２回路基板１２ａ−２上に、所定の距離を空けて互いに離間するように搭載された第３および第４発光部１１ａ−３、１１ａ−４を備え、第３および第４発光部１１ａ−３、１１ａ−４は、制御処理部５に接続される。第１ないし第４発光部１１ａ−１〜１１ａ−４は、それぞれ、例えば水銀ランプやハロゲンランプやキセノンランプ等であっても良いが、本実施形態では、発光ダイオード（ＬＥＤ）およびその周辺回路（駆動回路）を備えて構成される。第１ないし第４発光部１１ａ−１〜１１ａ−４は、それぞれ、１個の色の光のみを発光するように、１種類のＬＥＤ（例えば、緑色の光を発光するＧ−ＬＥＤや、また例えば白色光を発光するＷ−ＬＥＤ等）のみを備えて構成され、その光量のみが制御されても良いが、本実施形態では、可視光の範囲で発光色を制御できるように、複数の種類のＬＥＤ、例えば、赤色の光を発光するＲ−ＬＥＤと、緑色の光を発光するＧ−ＬＥＤと、青色の光を発光するＢ−ＬＥＤと、白色光を発光するＷ−ＬＥＤとを備えて構成される。そして、これら第１ないし第４発光部１１ａ−１〜１１ａ−４は、制御処理部５に接続され、制御部５１の制御に従った光量および色で発光する。なお、第１ないし第４発光部１１ａ−１〜１１ａ−４は、それぞれ、可視光に代え、または、可視光に追加して、他の波長の光、例えば、赤外光を発光しても良い。この場合、第４発光部１１ａ−１〜１１ａ−４は、それぞれ、赤外光を発光するＩＲ−ＬＥＤを備える。

導光板２ａは、光源部１ａから放射された光が入射され、この入射された光を導光する装置である。より具体的には、導光板２ａは、所定の間隔を空けて互いに対向する１対の第１および第２主面ＳＦａ−１、ＳＦａ−２（表面ＳＦａ−１および裏面ＳＦａ−２）を持つ、平面視にて矩形形状（正方形形状を含む）の板状体であり、前記所定の光を透過可能な材料、例えば無機ガラスや樹脂材料で形成される。なお、導光板２ａは、平面視にて矩形形状に限定されるものではなく、他の形状、例えば、三角形や六角形等の多角形形状や円形状等であっても良い。前記樹脂材料として、例えばアクリル樹脂やポリカーボネート等の有機ガラスが挙げられる。前記平面視にて矩形形状の板状体である導光板２ａの一側面には、図２に示すように、上述の第１光源部１ａ−１が、その第１および第２発光部１１ａ−１、１１ａ−２で発光された前記所定の光を入射可能に配設され、前記一側面に隣接する隣接側面には、上述の第２光源部１ａ−２が、その第３および第４発光部１１ａ−３、１１ａ−４で発光された前記所定の光を入射可能に配設される。なお、第１および第２発光部１１ａ−１、１１ａ−２それぞれで発光した各光を導光板２ａにより効率よく入射させるために、前記一側面における第１および第２発光部１１ａ−１、１１ａ−２それぞれに対応する各位置には、図１に示すように、第１および第２発光部１１ａ−１、１１ａ−２それぞれを嵌め込む各凹所がそれぞれ形成されて良い。同様に、第３および第４発光部１１ａ−３、１１ａ−４それぞれで発光した各光を導光板２ａにより効率よく入射させるために、前記隣接側面における第３および第４発光部１１ａ−３、１１ａ−４それぞれに対応する各位置には、第３および第４発光部１１ａ−３、１１ａ−４それぞれを嵌め込む各凹所がそれぞれ形成されて良い。また、導光板２ａに入射された各光をより効率よく利用するために、前記一側面に対向する第１他側面には、前記所定の光を反射する第１反射層が形成されて良く、同様に、前記隣接側面に対向する第２他側面には、前記所定の光を反射する第２反射層が形成されて良い。さらに、第１および第２回路基板１２ａ−１、１２ａ−２それぞれにも、回路部分等を除いた形成可能な箇所に、前記所定の光を反射する第３反射層が形成されて良い。第１および第２光源部１ａ−１、１ａ−２それぞれから放射され導光板２ａに前記一側面および前記隣接側面それぞれから入射された前記所定の各光は、第１および第２主面ＳＦａ−１、ＳＦａ−２間で反射、好ましくは全反射を繰り返し、導光板２ａの面拡がり方向へ導光される。

そして、導光板２ａは、当該導光板２ａの面拡がり方向に沿った仮想面と交差し、前記入射されて導光されている前記所定の光を当該導光板２ａから外部へ射出する射出面を持つ射出部２１ａを備える。前記仮想面は、本実施形態では、第１および第２主面が互いに平行であるので、第１主面（第２主面）に平行な面である。この射出部２１ａは、検査対象である被検査物としてのアレイ物ＳＰａにおける前記所定の物を囲む大きさで導光板２ａに設定された互いに異なる複数の区画領域ＡＲａにおける各輪郭線の各上方にそれぞれ形成される。

より具体的には、一例として、図２に示すように、平面視にて円形状の輪郭形状を持つ複数の素子ＥＬａを互いに所定の第１間隔を空けて２次元アレイ状に配列したアレイ物ＳＰａを好適な被検査物とするアレイ物検査装置ＣＭａである場合、第１態様としての導光板２ａは、次のように構成される。

複数の区画領域ＡＲａは、前記素子ＥＬａの輪郭形状に対応して、前記素子ＥＬａの輪郭形状より大きい大きさの平面視にて円形状で導光板２ａに、前記複数の素子ＥＬａの配置態様に対応して、互いに離間するように互いに所定の第２間隔を空けて２次元アレイ状に設定される。そして、これら複数の区画領域ＡＲａそれぞれに対応して、これら複数の区画領域ＡＲａにおける各輪郭線の各上方に、複数の射出部２１ａが連続的にまたは離散的に形成される。図２に示す例では、複数の射出部２１ａは、それぞれ、導光板２ａにおけるアレイ物ＳＰａと対向（正対）する第１主面ＳＦａ−１上に、平面視にて円形状の溝条または突条で連続的に形成される（環状の溝または環状の凸部）。これら複数の射出部２１ａそれぞれにおける各溝条または各突条は、その少なくとも１個の側面が導光板２ａの面拡がり方向に沿った仮想面、この例では第１主面ＳＦａ−１と交差するように形成され、前記１個の側面が射出面となる。例えば、これら各溝条または各突条は、断面Ｖ字形状となるように互いに交差する２個のテーパ状の側面を持つ凹部または突部で形成され、テーパ状の２個の各側面がそれぞれ射出面となる。また例えば、これら各溝条または各突条は、断面Ｃ字形状となるように湾曲した凹部または凸部で形成され、この湾曲した曲面が射出面となる。また例えば、これら各溝条または各突条は、断面Ｕ字形状となるように前記仮想面に直交して互いに離間した平行な２個の側面を持ち底部または頂部の稜線が例えばＲ面取りまたはＣ面取りされた凹部または突部で形成され、面取り部分のＲ面（曲面）またはＣ面（平面）がそれぞれ射出面となる。これら複数の射出部２１ａは、機械加工、レーザ加工、印刷加工および化学処理加工等の加工方法で形成される。前記射出面は、好ましくは、ランダムな細かい凹凸を有する粗面となるように形成され、導光板２ａ内で導光されている光を散乱で射出する。

図２に示す例では、アレイ物ＳＰａは、４個の凸レンズＥＬａ−１１〜ＥＬａ−２２を互いに離間するように互いに所定の第１間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列したレンズアレイである。これに対応して導光板２ａの第１主面ＳＦａ−１上には、互いに離間するように互いに所定の第２間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列された４個の円形状の区画領域ＡＲａ−１１〜ＡＲａ−２２が凸レンズＥＬａの輪郭を囲む大きさで設定されている。これら各区画領域ＡＲａ−１１〜ＡＲａ−２２における円形状（環状）の各輪郭線に沿って連続的に断面Ｖ字状の４個の溝条が４個の射出部２１ａ−１１〜２１ａ−２２として形成されている。

移動部３は、制御処理部５に接続され、制御処理部５の制御に従って、前記仮想面と直交する直交方向（Ｚ方向）に沿ってアレイ物ＳＰａおよび導光板２ａを相対的に移動する移動機構である。移動部３は、例えば、アレイ物ＳＰａをＺ方向に移動することによって、Ｚ方向に沿ってそれらを相対的に移動する移動機構であって良く、また例えば、アレイ物ＳＰａおよび導光板２ａそれぞれをＺ方向に移動することによって、Ｚ方向に沿ってそれらを相対的に移動する移動機構であって良いが、本実施形態では、導光板２ａをＺ方向に移動することによって、Ｚ方向に沿ってそれらを相対的に移動する移動機構である。より具体的には、移動部３は、例えばチャック機構等を持ち導光板２ａに係合して導光板２ａを保持する保持アームと、前記保持アームをＺ方向に案内（ガイド）する例えばレール等の案内部材と、前記保持アームを前記案内部材の案内に従ってＺ方向に駆動する、例えばモータおよび減衰機構等を持つ駆動部とを備える。移動部３は、本実施形態では、Ｚ方向だけなく、導光板２ａの面拡がり方向（Ｘ方向およびＹ方向の各方向）にも導光板２ａを移動可能に構成されており、例えば、ＸＹＺステージを備えて構成される。これによって射出部２１ａ直下は、観察し難いが、ＸＹ平面内で移動することで可能となる。互いに直交するＸ方向およびＹ方向は、図１に示すように、Ｘ方向に沿う直線とＹ方向に沿う直線とによって形成される平面（ＸＹ平面）の法線がＺ方向に沿うように設定される。

撮像部４は、制御処理部５に接続され、制御処理部５の制御に従って、アレイ物ＳＰａの光学像を撮像してアレイ物ＳＰａの画像データを生成する装置である。撮像部４は、その光軸がＺ方向に沿うように配置される。撮像部４は、このアレイ物ＳＰａの画像データを制御処理部５へ出力する。撮像部４は、例えば、アレイ物ＳＰａの光学像を所定の結像面上に結像する結像光学系、および、前記結像面に受光面を一致させて配置され、前記アレイ物ＳＰａの光学像を電気的な信号に変換するイメージセンサ等を備えて構成される。

入力部６は、制御処理部５に接続され、例えば、アレイ物ＳＰａの測定を指示するコマンド等の各種コマンド、および、例えばアレイ物ＳＰａにおける識別子（例えば被検査物の整理番号等）の入力等の測定する上で必要な各種データをアレイ物検査装置ＣＭａに入力する機器であり、例えば、所定の機能を割り付けられた複数の入力スイッチや、キーボードや、マウス等である。出力部７は、制御処理部５に接続され、制御処理部５の制御に従って、入力部６から入力されたコマンドやデータ、および、アレイ物検査装置ＣＭａによって測定されたアレイ物ＳＰａの測定結果（例えば、アレイ物ＳＰａの画像、異常の有無および認識した異常の場所）を出力する機器であり、例えばＣＲＴディスプレイ、ＬＣＤおよび有機ＥＬディスプレイ等の表示装置やプリンタ等の印刷装置等である。

なお、入力部６および出力部７からタッチパネルが構成されてもよい。このタッチパネルを構成する場合において、入力部６は、例えば抵抗膜方式や静電容量方式等の操作位置を検出して入力する位置入力装置であり、出力部７は、表示装置である。このタッチパネルでは、表示装置の表示面上に位置入力装置が設けられ、表示装置に入力可能な１または複数の入力内容の候補が表示され、ユーザが、入力したい入力内容を表示した表示位置を触れると、位置入力装置によってその位置が検出され、検出された位置に表示された表示内容がユーザの操作入力内容としてアレイ物検査装置ＣＭａに入力される。このようなタッチパネルでは、ユーザは、入力操作を直感的に理解し易いので、ユーザにとって取り扱い易いアレイ物検査装置ＣＭａが提供される。

ＩＦ部８は、制御処理部５に接続され、制御処理部５の制御に従って、外部機器との間でデータの入出力を行う回路であり、例えば、シリアル通信方式であるＲＳ−２３２Ｃのインターフェース回路、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）規格を用いたインターフェース回路、ＩｒＤＡ（Ｉｎｆｒａｒｅｄ Ｄａｔａ Ａｓｓｃｏｉａｔｉｏｎ）規格等の赤外線通信を行うインターフェース回路、および、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）規格を用いたインターフェース回路等である。

制御処理部５は、アレイ物検査装置ＣＭａの各部を当該各部の機能に応じてそれぞれ制御するための回路である。制御処理部５は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、メモリおよびそれら周辺回路を備えたマイクロコンピュータを備えて構成される。制御処理部５には、プログラムを実行することによって、制御部５１および検出処理部５２が機能的に構成される。

制御部５１は、アレイ物検査装置ＣＭａの各部を当該各部の機能に応じてそれぞれ制御するためのものである。制御部５１は、発光部１１ａから放射される前記所定の光における光量および色のうちの少なくともいずれかを制御する光制御部としても機能し、本実施形態では、第１ないし第４発光部１１ａ−１〜１１ａ−４を制御することによって光量および発光色を制御する。そして、制御部５１は、暗視野照明と明視野照明とを切り替えて暗視野照明と明視野照明とを択一的に実行するために、移動部３を制御することによって導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間隔ｈを制御する照明切替制御部としても機能する。より具体的には、制御部５１は、入力部６から暗視野照明の指示を受け付けると、暗視野照明を実行するべく、図１（Ａ）に示すように、導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間の距離ｈが第１切替距離ｈ０以下の予め設定された所定の距離ｈ１に設定されるように、移動部３を介して導光板２ａを移動する。制御部５１は、入力部６から明視野照明の指示を受け付けると、明視野照明を実行するべく、図１（Ｂ）に示すように、導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間の距離ｈが第１切替距離ｈ０より長い予め設定された所定の距離ｈ２に設定されるように、移動部３を介して導光板２ａを移動する。第１切替距離ｈ０は、上述のように構成された導光板２ａによって暗視野照明と明視野照明とが相互に切り替わる距離であり、区画領域ＡＲａの大きさに対する個々の前記物ＥＬａの大きさ（区画領域ＡＲａの大きさと個々の前記物ＥＬａの大きさとの比）、射出部２１ａにおける射出面の形状や粗さ等の面状態、および、個々の前記物ＥＬａにおける表面形状の曲率等に基づいて規定される。なお、制御部５１は、導光板２ａを前記所定の距離ｈ１または距離ｈ２に設定後に、撮像部４によって得られたアレイ物ＳＰａの画像における輝度値（例えば画像全体の平均輝度値や画像における予め設定された所定の領域での平均輝度値等）に基づいて、より適切な暗視野照明（最も暗くなる距離）またはより適切な明視野照明（最も明るくなる距離）となるように、導光板２ａを移動部３を介して微調整しても良い。

検出処理部５２は、撮像部４で撮像したアレイ物ＳＰａの画像に基づいてアレイ物ＳＰａの異常を検出するものである。アレイ物ＳＰａの異常は、正常な状態のアレイ物ＳＰａには見られない性状であり、例えば、表面や内部の傷および異形等の欠陥、ならびに、表面や内部のゴミ等の異物の存在等である。より具体的には、検出処理部５２は、撮像部４で撮像したアレイ物ＳＰａの画像に対し、例えば、所定の色を抽出する色抽出処理、グラデーションがある場合に輝度を等化してグラデーションの無い状態に補正するグラデーション補正処理および輪郭を強調する輪郭強調処理等の画像処理を実行し、所定の画像領域を検出するために画素値（輝度値）を予め設定された所定の閾値ｔｈで２値化する２値化処理を実行し、前記所定の画像領域の有無によってアレイ物ＳＰａの異常の有無を判定し、アレイ物ＳＰａの異常を検出する。

次に、第１実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａの動作について説明する。図３は、第１実施形態におけるアレイ物検査装置の動作を示すフローチャートである。

まず、ユーザ（オペレータ）によって図略の電源スイッチがオンされると、制御処理部５は、必要な各部の初期化を実行し、プログラムの実行によって、制御処理部５には、制御部５１および検出処理部５２が機能的に構成される。ユーザによって、検査したい被検査物のアレイ物ＳＰａが導光板２ａに正対するように、アレイ物検査装置ＣＭａにセットされる。そして、図３において、ユーザによって暗視野照明または明視野照明が設定される（Ｓ１）。例えば、ユーザによって入力部６から暗視野照明の指示を受け付けると、制御部５１は、移動部３を制御して導光板２ａをＺ方向に移動することによって、図１（Ａ）に示すように、導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間の距離ｈを前記所定の距離ｈ１に設定する。また例えば、ユーザによって入力部６から明視野照明の指示を受け付けると、制御部５１は、移動部３を制御して導光板２ａをＺ方向に移動することによって、図１（Ｂ）に示すように、導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間の距離ｈを前記所定の距離ｈ２に設定する。

導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間の距離ｈを設定すると、制御部５１は、第１および第２光源部１ａ−１、１ａ−１を制御し、第１ないし第４発光部１１ａ−１〜１１ａ−４を発光させ、アレイ物ＳＰａを照明する（Ｓ２）。すなわち、第１ないし第４発光部１１ａ−１〜１１ａ−４で発光された光は、導光板２ａに前記一側面および前記隣接側面それぞれから入射され、第１および第２主面ＳＦａ−１、ＳＦａ−２間で反射を繰り返し、導光板２ａの面拡がり方向へ導光される。このように導光板２ａ内を伝播している光は、射出部２１ａに到達すると、その射出面で散乱され、前記仮想面に対し斜め方向で導光板２ａから外部へ射出される。射出部２１ａによって導光板２ａから射出された光は、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａに対し、前記物ＥＬａの周囲から照明する。したがって、アレイ物ＳＰａにおける個々の物ＥＬａは、より均一に照明される。そして、暗視野照明の設定されている場合では、図１（Ａ）に示すように、導光板２ａから斜めに射出された光は、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａに対し斜め方向から入射する。したがって、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａが暗視野照明で照明される。一方、明視野照明の設定されている場合では、図１（Ｂ）に示すように、導光板２ａから斜めに射出された光は、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａに対し略上方から入射する。したがって、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａが明視野照明で照明される。

アレイ物ＳＰａの照明中に、制御部５１は、撮像部４を制御し、撮像部４によってアレイ物ＳＰａを撮像し、アレイ物ＳＰａの画像を取得する（Ｓ３）。

アレイ物ＳＰａの画像を取得すると、検出処理部５２は、撮像部４で撮像したアレイ物ＳＰａの画像に基づいてアレイ物ＳＰａの異常を検出する（Ｓ４）。

そして、制御部５１は、撮像部４で取得したアレイ物ＳＰａの画像および検出処理部５２の検出結果を出力部７へ出力し（Ｓ５）、処理を終了する。なお、制御部５１は、必要に応じて、アレイ物ＳＰａの画像および検出処理部５２の検出結果をＩＦ部８を介して図略の外部機器へ出力しても良い。

以上説明したように、本実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａ（アレイ物検査用照明装置ＬＭａおよびアレイ物検査用導光板としての導光板２ａを含む、以下、同じ）は、アレイ物ＳＰａにおける所定の物ＥＬａを囲む大きさで導光板２ａに設定された互いに異なる複数の区画領域ＡＲａにおける各輪郭線の各上方にそれぞれ形成される射出部２１ａを備えるので、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａに対し、前記物ＥＬａの周囲から光を照明できる。このため、上記アレイ物検査装置ＣＭａは、アレイ物ＳＰａにおける個々の物ＥＬａをより均一に照明でき、より精度の高い外観検査を一括で実施できる。そして、この射出部２１ａは、導光板２ａの面拡がり方向に沿った仮想面と交差する射出面を持つので、前記仮想面に対し斜め方向に光を射出できる。このため、上記アレイ物検査装置ＣＭａは、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａに対し、斜め方向から光を照明でき、したがって、暗視野照明が可能となる。

本実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、複数の区画領域ＡＲａにおける各輪郭形状が円形状であるので、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａの輪郭形状が円形状である当該アレイ物ＳＰａの照明に適している。

また、仮に、導光板２ａにおけるアレイ物ＳＰａに対向する第１主面ＳＦａ−１にさらに対向する第２主面ＳＦａ−２面上に射出部２１ａが形成される場合、導光板２ａを介してアレイ物ＳＰａを照明することになり、導光板２ａで散乱されてしまう。しかしながら、本実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、導光板２ａにおけるアレイ物ＳＰａに対向する第１主面ＳＦａ−１上に形成された射出部２１ａを備えるので、射出部２１ａから射出された時点の射出方向（前記斜め方向）を維持して直接的にアレイ物ＳＰａを照明できるから、効果的に暗視野照明を実現できる。

本実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、所定の光における光量および色を制御する光制御部として機能する制御部５１を備えるので、例えば入力部６を介したユーザの入力指示によって、コントラストの判り易い好適な光量や色に調整でき、また、例えば表面に付着した異物（ゴミ）や傷等の外観検査の対象に応じて好適な、あるいは、例えば個々の前記物ＥＬａの各表面にコーティング（例えば反射防止コーティング等）の施されたアレイ物ＳＰａ等の被検査物に応じて好適な、光量や色を調整できる。

本実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、発光ダイオード（ＬＥＤ）を備える光源部１ａを備えるので、水銀ランプやハロゲンランプ等を備える光源部に較べて発熱を少なくでき、発光をより早く安定化できる。

本実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、仮想面と直交する直交方向（Ｚ方向）に沿って導光板２ａを移動する移動部３を備えるので、導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間の距離を適宜に調整することによって、暗視野照明と明視野照明とを択一的に実行できる。このため、本実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、暗視野照明と明視野照明とを適宜に切り替えることによって種々の種類の異常を検出できる。

なお、上述の第１実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、円形状の区画領域ＡＲａに対応した円形状の射出部２１ａを持つ導光板２ａを備えたが、これに限定されるものではなく、楕円形状、長円形状および多角形形状等の区画領域ＡＲに対応した楕円形状、長円形状および多角形形状等の射出部２１を持つ導光板２であっても良い。より具体的には、第１実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａは、次の第２ないし第８態様の導光板２ｂ〜２ｈのいずれかを備えて構成されても良い。なお、後述の第２実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭｂもこれら第１ないし第８態様の導光板２ａ〜２ｈのいずれかを備えて構成される。

図４は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第２態様の導光板の構成を示す斜視図である。図５は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第３態様の導光板の構成を示す斜視図である。図６は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第４態様の導光板の構成を示す斜視図である。図７は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第５態様の導光板の構成を示す斜視図である。図８は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第６態様の導光板の構成を示す斜視図である。図９は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第７態様の導光板の構成を示す斜視図である。図１０は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第７態様の導光板の構成を示す断面図である。図１１は、第１実施形態のアレイ物検査装置における主に第８態様の導光板の構成を示す斜視図である。なお、図６ないし図８には、区画領域ＡＲｄ〜ＡＲｆの境界線が一点鎖線の仮想線で示されている。

第２態様の導光板２ｂは、図４に示すように、平面視にて矩形形状（正方形形状を含む。）の輪郭形状を持つ複数の素子ＥＬｂを互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第３間隔を空けて２次元アレイ状に配列したアレイ物ＳＰｂを好適な被検査物とするアレイ物検査装置ＣＭａに用いられる。この第２態様の導光板２ｂは、次のように構成される。

複数の区画領域ＡＲｂは、前記素子ＥＬｂの輪郭形状に対応して、前記素子ＥＬｂの輪郭形状より大きい大きさの平面視にて矩形形状で導光板２ｂに、前記複数の素子ＥＬｂの配置態様に対応して、互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第４間隔を空けて２次元アレイ状に設定される。そして、これら複数の区画領域ＡＲｂそれぞれに対応して、これら複数の区画領域ＡＲｂにおける各輪郭線の各上方に、複数の射出部２１ｂが連続的に形成される。図４に示す例では、複数の射出部２１ｂは、それぞれ、導光板２ｂにおけるアレイ物ＳＰｂと対向する第１主面ＳＦｂ−１上に、平面視にて矩形形状の溝条で連続的に形成される。これら複数の射出部２１ｂそれぞれにおける各溝条は、断面Ｖ字形状となるように互いに交差する２個のテーパ状の側面を持つ凹部で形成され、テーパ状の２個の各側面がそれぞれ射出面となる。前記射出面は、後述の第３ないし第８態様も同様に、好ましくは、ランダムな細かい凹凸を有する粗面となるように形成され、導光板２ｂ内で導光されている光を散乱で射出する。

図４に示す例では、アレイ物ＳＰｂは、４個の四角錐プリズムＥＬｂ−１１〜ＥＬｂ−２２を互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第３間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列したプリズムアレイである。これに対応して導光板２ｂの第１主面ＳＦｂ−１上には、互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第４間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列された４個の正方形形状の区画領域ＡＲｂ−１１〜ＡＲｂ−２２が、四角錐プリズムＥＬｂの輪郭を囲む大きさで設定されている。これら各区画領域ＡＲｂ−１１〜ＡＲｂ−２２における正方形形状の各輪郭線に沿って連続的に断面Ｖ字状の平面視にて格子状（田字状）の溝条が４個の射出部２１ｂ−１１〜２１ｂ−２２として形成されている。互いに隣接する射出部２１ｂ−１１〜２１ｂ−２２同士では、前記溝状が共通とされている。

このような第２態様の導光板２ｂでは、複数の区画領域ＡＲｂにおける各輪郭形状が矩形形状であるので、アレイ物ＳＰｂにおける個々の前記物ＥＬｂの輪郭形状が矩形形状である当該アレイ物ＳＰｂの照明に適している。また、射出部２１ｂが連続的に形成されているので、アレイ物における個々の前記物ＥＬｂに対し、その全周囲から光を照明でき、したがって、より明るく照明できる。

第３態様の導光板２ｃは、図５に示すように、平面視にて長円形状の輪郭形状を持つ複数の素子ＥＬｃを互いに離間するように互いに所定の第５間隔を空けて２次元アレイ状に配列したアレイ物ＳＰｃを好適な被検査物とするアレイ物検査装置ＣＭａに用いられる。この第３態様の導光板２ｃは、次のように構成される。

複数の区画領域ＡＲｃは、前記素子ＥＬｃの輪郭形状に対応して、前記素子ＥＬｃの輪郭形状より大きい大きさの平面視にて長円形状で導光板２ｃに、前記複数の素子ＥＬｃの配置態様に対応して、互いに離間するように互いに所定の第６間隔を空けて２次元アレイ状に設定される。そして、これら複数の区画領域ＡＲｃそれぞれに対応して、これら複数の区画領域ＡＲａにおける各輪郭線の各上方に、複数の射出部２１ｃが連続的に形成される。図５に示す例では、複数の射出部２１ｃは、それぞれ、導光板２ｃにおけるアレイ物ＳＰｃと対向する第１主面ＳＦｃ−１上に、平面視にて長円形状の溝条で連続的に形成される。これら複数の射出部２１ｃそれぞれにおける各溝条は、断面Ｖ字形状となるように互いに交差する２個のテーパ状の側面を持つ凹部で形成され、テーパ状の２個の各側面がそれぞれ射出面となる。

図５に示す例では、アレイ物ＳＰｃは、４個のカプセル薬剤ＥＬｃ−１１〜ＥＬｃ−２２を互いに離間するように互いに所定の第５間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列したパッケージである。これに対応して導光板２ｃの第１主面ＳＦｃ−１上には、互いに離間するように互いに所定の第６間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列された４個の長円形状の区画領域ＡＲｃ−１１〜ＡＲｃ−２２がカプセル薬剤ＥＬｃの輪郭を囲む大きさで設定されている。これら各区画領域ＡＲｃ−１１〜ＡＲｃ−２２における長円形状の各輪郭線に沿って連続的に断面Ｖ字状の４個の溝条が４個の射出部２１ｃ−１１〜２１ｃ−２２として形成されている。

このような第３態様の導光板２ｃでは、複数の区画領域ＡＲｂにおける各輪郭形状が長円形状であるので、アレイ物ＳＰｃにおける個々の前記物ＥＬｃの輪郭形状が長円形状である当該アレイ物ＳＰｃの照明に適している。また、射出部２１ｃが連続的に形成されているので、アレイ物における個々の前記物ＥＬｃに対し、その全周囲から光を照明でき、したがって、より明るく照明できる。

第４態様の導光板２ｄは、図６に示すように、上述のアレイ物ＳＰａを好適な被検査物とするアレイ物検査装置ＣＭａに用いられる。この第４態様の導光板２ｄは、次のように構成される。

複数の区画領域ＡＲｄは、前記素子ＥＬａを囲む大きさの平面視にて矩形形状で導光板２ｄに、前記複数の素子ＥＬａの配置態様に対応して、互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第８間隔を空けて２次元アレイ状に設定される。そして、これら複数の区画領域ＡＲｄそれぞれに対応して、これら複数の区画領域ＡＲｂにおける各輪郭線の各上方に、複数の射出部２１ｄが離散的に形成される。図６に示す例では、複数の射出部２１ｄは、それぞれ、導光板２ｄにおけるアレイ物ＳＰａと対向する第１主面ＳＦｄ−１上に、平面視にて十字状（Ｘ字状、クロス形状）の溝条で離散的に形成される。これら複数の射出部２１ｄそれぞれにおける各溝条は、断面Ｖ字形状となるように互いに交差する２個のテーパ状の側面を持つ凹部で形成され、テーパ状の２個の各側面がそれぞれ射出面となる。

図６に示す例では、レンズアレイのアレイ物ＳＰａに対応して導光板２ｄの第１主面ＳＦｄ−１上には、互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第８間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列された４個の正方形形状の区画領域ＡＲｄ−１１〜ＡＲｄ−２２が、レンズＥＬａを囲む大きさで設定されている。これら各区画領域ＡＲｄ−１１〜ＡＲｄ−２２における正方形形状の各輪郭線の各頂点（四隅）に断面Ｖ字状の平面視にて十字状（クロス状）の溝条が４個の射出部２１ｄ−１１〜２１ｄ−２２として形成されている。互いに隣接する射出部２１ｄ−１１〜２１ｄ−２２同士では、前記十字状の溝状が共通とされている。

このような第４態様の導光板２ｄでは、射出部２１ｄが離散的に形成されているので、射出部２１ｄの加工形成がし易い。

第５態様の導光板２ｅは、図７に示すように、上述のアレイ物ＳＰａを好適な被検査物とするアレイ物検査装置ＣＭａに用いられる。この第５態様の導光板２ｅは、次のように構成される。

複数の区画領域ＡＲｅは、前記素子ＥＬａを囲む大きさの平面視にて矩形形状で導光板２ｅに、前記複数の素子ＥＬａの配置態様に対応して、互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第１０間隔を空けて２次元アレイ状に設定される。そして、これら複数の区画領域ＡＲｅそれぞれに対応して、これら複数の区画領域ＡＲｅにおける各輪郭線の各上方に、複数の射出部２１ｅが離散的に形成される。図７に示す例では、複数の射出部２１ｅは、それぞれ、導光板２ｅにおけるアレイ物ＳＰａと対向する第１主面ＳＦｅ−１上に、平面視にてドット形状（点形状、柱形状、錐形状）、より具体的には前記仮想面と交差するテーパ状の側面を持つ円錐形状の凹部で離散的に形成され、テーパ状の側面が射出面となる。

図７に示す例では、レンズアレイのアレイ物ＳＰａに対応して導光板２ｅの第１主面ＳＦｅ−１上には、互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第１０間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列された４個の正方形形状の区画領域ＡＲｅ−１１〜ＡＲｅ−２２が、レンズＥＬａを囲む大きさで設定されている。これら各区画領域ＡＲｅ−１１〜ＡＲｅ−２２における正方形形状の各輪郭線の各頂点（四隅）に断面Ｖ字状の円錐形状の凹部が４個の射出部２１ｅ−１１〜２１ｅ−２２として形成されている。互いに隣接する射出部２１ｅ−１１〜２１ｅ−２２同士では、前記円錐形状の凹部が共通とされている。

このような第５態様の導光板２ｅでは、射出部２１ｅが離散的に形成されているので、射出部２１ｅの加工形成がし易い。

第６態様の導光板２ｆは、図８に示すように、上述のアレイ物ＳＰａを好適な被検査物とするアレイ物検査装置ＣＭａに用いられる。この第６態様の導光板２ｆは、次のように構成される。

複数の区画領域ＡＲｆは、前記素子ＥＬａを囲む大きさの平面視にて矩形形状で導光板２ｆに、前記複数の素子ＥＬａの配置態様に対応して、互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第１２間隔を空けて２次元アレイ状に設定される。そして、これら複数の区画領域ＡＲｆそれぞれに対応して、これら複数の区画領域ＡＲｆにおける各輪郭線の各上方に、複数の射出部２１ｆが離散的に形成される。図８に示す例では、複数の射出部２１ｆは、それぞれ、導光板２ｆにおけるアレイ物ＳＰａと対向する第１主面ＳＦｆ−１上に、平面視にてドット形状、より具体的には前記仮想面と交差するようにＲ面取りされた先端を持つ円柱形状の突部で離散的に立設するように形成され、Ｒ面（曲面）が射出面となる。

図８に示す例では、レンズアレイのアレイ物ＳＰａに対応して導光板２ｆの第１主面ＳＦｆ−１上には、互いに隣接するように各中心位置が互いに所定の第１２間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列された４個の正方形形状の区画領域ＡＲｆ−１１〜ＡＲｆ−２２が、レンズＥＬａを囲む大きさで設定されている。これら各区画領域ＡＲｆ−１１〜ＡＲｆ−２２における正方形形状の各輪郭線の各頂点（四隅）にＲ面取りされた先端を持つ円柱形状の突部が４個の射出部２１ｆ−１１〜２１ｆ−２２として形成されている。互いに隣接する射出部２１ｆ−１１〜２１ｆ−２２同士では、前記円柱形状の突部が共通とされている。

このような第６態様の導光板２ｆでは、射出部２１ｆが離散的に形成されているので、射出部２１ｆの加工形成がし易い。また、射出部２１ｆが突部になっていることから、射出部２１ｆをＺ軸方向でアレイ物ＳＰａにより近づけられるため、より大きな角度から照明できるので、より暗視野照明化し易いという効果がある。

なお、上述では、射出部２１ｆの先端は、Ｒ面とされたが、対応するアレイ物ＳＰに向けた射出面を有する１〜４面のＣ面とされても良い。

第７態様の導光板２ｇは、図９および図１０に示すように、上述のアレイ物ＳＰａを好適な被検査物とするアレイ物検査装置ＣＭａに用いられる。この第７態様の導光板２ｇは、次のように構成される。

複数の区画領域ＡＲｇは、前記素子ＥＬａの輪郭形状に対応して、前記素子ＥＬａの輪郭形状より大きい大きさの平面視にて円形状で導光板２ｇに、前記複数の素子ＥＬａの配置態様に対応して、互いに離間するように互いに所定の第１４間隔を空けて２次元アレイ状に設定される。そして、これら複数の区画領域ＡＲｇそれぞれに対応して、これら複数の区画領域ＡＲｇにおける各輪郭線の各上方に、複数の射出部２１ｇが連続的に形成される。図９および図１０に示す例では、複数の区画領域ＡＲｇには、それぞれ、その区画領域ＡＲｇ内に、例えば円形状の区画領域ＡＲｇと同じ大きさ（この例では同じ直径）で第１および第２主面ＳＦｇ−１、ＳＦｇ−２を貫通する円柱形状の開口部２２ｇが設けられ、第１主面ＳＦｇ−１側の端部が周方向に連続的に前記仮想面と交差するようにＣ面取りされる。これによって、複数の区画領域ＡＲｇには、それぞれ、Ｃ面取りされたＣ面を射出面とする射出部２１ｇが形成される。

図９および図１０に示す例では、レンズアレイのアレイ物ＳＰａに対応して導光板２ｇの第１主面ＳＦｇ−１上には、互いに離間するように互いに所定の第１４間隔を空けて２行２列で２次元アレイ状に配列された４個の円形状の区画領域ＡＲｇ−１１〜ＡＲｇ−２２が凸レンズＥＬａの輪郭を囲む大きさで設定されている。これら各区画領域ＡＲｇ−１１〜ＡＲｇ−２２における円形状と同じ大きさで円柱形状の４個の開口部２２ｇ−１１〜２２ｇ−２２が設けられ、その第１主面ＳＦｇ−１側の端部に周方向に沿って連続的にＣ面取りされて４個の射出部２１ｇ−１１〜２１ｇ−２２が形成されている。

なお、開口部２２ｇは、複数の区画領域ＡＲｇの一部に設けられても良い。また射出部２１ｇの射出面は、Ｃ面取りに代えてＲ面取りでも良い。

このような第７態様の導光板２ｇでは、複数の区画領域ＡＲｇにおける各輪郭形状が円形状であるので、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａの輪郭形状が円形状である当該アレイ物ＳＰａの照明に適している。また、射出部２１ｇが連続的に形成されているので、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａに対し、その全周囲から光を照明でき、したがって、より明るく照明できる。そして、第７態様の導光板２ｇでは、区画領域ＡＲｇ内に設けられた開口部２２ｇを備えるので、この開口部２２ｇを介して直接的に、アレイ物ＳＰａにおける前記所定の物ＥＬａを観察可能とする。したがって、導光板２ｇにおける異物（ゴミ）の付着や、第１および第２主面ＳＦｇ−１、ＳＦｇ−２の面精度（歪み）等に、影響されることなく、アレイ物ＳＰａにおける前記所定の物ＥＬａを観察可能とする。

第８態様の導光板２ｈは、図１１に示すように、平面視にて円形状の輪郭形状を持つ複数の第１素子ＥＬｈおよび平面視にて矩形形状（正方形形状を含む。）の輪郭形状を持つ複数の第２素子ＥＬｈを、互いに離間するように互いに所定の第１５間隔を空けて２次元アレイ状に配列したアレイ物ＳＰｈを好適な被検査物とするアレイ物検査装置ＣＭａに用いられる。すなわち、アレイ物ＳＰｈは、互いに異なる輪郭形状を持つ複数の素子ＥＬｈを２次元アレイ状に配列したものである。この第８態様の導光板２ｈは、次のように構成される。

複数の区画領域ＡＲｈは、円形状の前記第１素子ＥＬｈの輪郭形状に対応して、前記第１素子ＥＬｈの輪郭形状より大きい大きさの平面視にて円形状で導光板２ｈに、前記複数の第１素子ＥＬｈの配置態様に対応して、互いに離間するように互いに所定の第１６間隔を空けて２次元アレイ状に設定される第１領域、および、矩形形状の前記第２素子ＥＬｈの輪郭形状に対応して、前記第２素子ＥＬｈの輪郭形状より大きい大きさの平面視にて矩形形状で導光板２ｈに、前記複数の第２素子ＥＬｈの配置態様に対応して、互いに離間するように互いに前記第１６間隔を空けて２次元アレイ状に設定される第２領域を備えて構成される。そして、これら複数の区画領域ＡＲｈそれぞれに対応して、これら複数の区画領域ＡＲｈにおける各輪郭線の各上方に、複数の射出部２１ｈが連続的に形成される。図１１に示す例では、複数の射出部２１ｈは、それぞれ、導光板２ｈにおけるアレイ物ＳＰｈと対向する第１主面ＳＦｈ−１上に、円形状の区画領域ＡＲｈでは平面視にて円形状の溝条で連続的に形成され、矩形形状の区画領域ＡＲｈでは平面視にて矩形形状の溝条で連続的に形成される。これら複数の射出部２１ｈそれぞれにおける各溝条は、断面Ｖ字形状となるように互いに交差する２個のテーパ状の側面を持つ凹部で形成され、テーパ状の２個の各側面がそれぞれ射出面となる。

図１１に示す例では、アレイ物ＳＰｈは、互いに離間するように互いに所定の第１５間隔を空けた２行２列の２次元アレイ状の配列における１行１列および１行２列の各位置に位置する２個の凸レンズＥＬｈ−１１、ＥＬｈ−１２、および、前記配列における２行１列および２行２列の各位置に位置する２個の四角錐プリズムＥＬｈ−２１、ＥＬｈ−２２を備える光学素子アレイである。これに対応して導光板２ｈの第１主面ＳＦｈ−１上には、互いに離間するように互いに所定の第１６間隔を空けた２行２列の２次元アレイ状の配列における１行１列および１行２列の各位置に２個の円形状の区画領域ＡＲｈ−１１、ＡＲｈ−１２が、凸レンズＥＬｈの輪郭を囲む大きさで設定され、前記配列における２行１列および２行２列の各位置に２個の矩形形状の区画領域ＡＲｈ−２１、ＡＲｈ−２２が、四角錐プリズムＥＬｈの輪郭を囲む大きさで設定されている。これら各区画領域ＡＲｈ−１１〜ＡＲｈ−２２における各形状の各輪郭線に沿って連続的に断面Ｖ字状の平面視にて環状の溝条が４個の射出部２１ｈ−１１〜２１ｈ−２２として形成されている。

このような第８態様の導光板２ｈでは、複数の区画領域ＡＲｈにおける各輪郭形状が互いに異なる複数の形状であるので、アレイ物ＳＰｈにおける個々の前記物ＥＬｈの輪郭形状が互いに異なる複数の形状である当該アレイ物ＳＰｈの照明に適している。また、射出部２１ｈが連続的に形成されているので、アレイ物における個々の前記物ＥＬｈに対し、その全周囲から光を照明でき、したがって、より明るく照明できる。

次に、別の実施形態について説明する。

（第２実施形態）
第１実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａ（アレイ物検査用照明装置ＬＭａ）は、導光板２（２ａ〜２ｈ）の側面に配置された光源部１ａを備えたが、第２実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭｂ（アレイ物検査用照明装置ＬＭｂ）は、いわゆるドーム型の光源部１ｂを備えるものである。

図１２は、第２実施形態におけるアレイ物検査装置の一部構成を示す斜視図である。図１２（Ａ）は、暗視野照明の場合を示し、図１２（Ｂ）は、明視野照明の場合を示す。図１２には、第２実施形態のアレイ物検査装置ＣＭｂおよびアレイ物検査用照明装置ＬＭｂにおける導光板２ａおよび光源部１ｂのみが図示され、他の構成の図示は、省略されている。

第２実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭｂは、光源部１ｂと、導光板２ａと、移動部９と、撮像部４と、制御処理部５とを備え、第１実施形態と同様に、さらに、入力部６と、出力部７と、ＩＦ部８とを備える。これら第２実施形態のアレイ物検査装置ＣＭｂにおける導光板２ａ、撮像部４、制御処理部５、入力部６、出力部７およびＩＦ部８は、それぞれ、第１実施形態のアレイ物検査装置ＣＭａにおける導光板２ａ、撮像部４、制御処理部５、入力部６、出力部７およびＩＦ部８と同様であるので、その説明を省略する。

なお、導光板２ａは、アレイ物検査用導光板の一例に相当し、光源部１ｂおよび導光板２ａは、第２実施形態におけるアレイ物検査用照明装置ＬＭｂの一例に相当し、第１実施形態と同様に、さらに、移動部３および制御部５１を備える。また、図１２に示す例では、アレイ物ＳＰａに対応して第１態様の導光板２ａが用いられているが、第２実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭｂ（アレイ物検査用照明装置ＬＭｂ）は、第１実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａ（アレイ物検査用照明装置ＬＭａ）と同様に、第２ないし第８態様の導光板２ｂ〜２ｈを備えることが可能である。

光源部１ｂは、図１２に示すように、球状殻の一部の形状で形成された球状殻本体１２ｂと、球状殻本体１２ｂの内部に配置され、前記所定の光を発光して放射する発光部１１ｂとを備える。球状殻の球状は、例えば、真円を回転することによって得られる軌跡の形状である真球、楕円を回転することによって得られる軌跡の形状である楕円球、および、放物線を回転することによって得られる軌跡の形状であるパラボラ等である。球状殻本体１２ｂの頂部には、導光板２ａを介したアレイ物ＳＰａの光学像を撮像部４に入射させるために、貫通開口が形成されている。球状殻本体１２ｂの内側面には、例えば硫酸バリウム等を主材料とする、入射光を拡散反射する拡散反射層が形成されることが好ましい。そして、発光部１１ｂは、第１実施形態の発光部１１ａと同様に、複数種類からなる複数のＬＥＤを備え、これらＬＥＤは、球状殻本体１２ｂにおける開口した底部の内側面に、周方向に等間隔で配設されている。発光部１１ｂは、制御処理部５に接続され、制御処理部５の制御に従った光量および色で発光する。

図略の移動部９は、制御処理部５に接続され、制御処理部５の制御に従って、前記仮想面と直交する直交方向（Ｚ方向）に沿って光源部１ｂおよび導光板２ａを相対的に移動する移動機構である。移動部９は、例えば、導光板２ａをＺ方向に移動することによって、Ｚ方向に沿ってそれらを相対的に移動する移動機構であって良く、また例えば、光源部１ｂおよび導光板２ａそれぞれをＺ方向に移動することによって、Ｚ方向に沿ってそれらを相対的に移動する移動機構であって良いが、本実施形態では、光源部１ｂをＺ方向に移動することによって、Ｚ方向に沿ってそれらを相対的に移動する移動機構である。より具体的には、移動部９は、光源部１ｂに固定されて光源部１ｂを支持する支持アームと、前記支持アームをＺ方向に案内（ガイド）する例えばレール等の案内部材と、前記支持アームを前記案内部材の案内に従ってＺ方向に駆動する、例えばモータおよび減衰機構等を持つ駆動部とを備える。

このようなアレイ物検査装置ＣＭｂでは、光源部１ｂと導光板２ａとの間の距離が第２切替距離Ｈ０以下の予め設定された所定の距離Ｈ１に設定されるように、光源部１ｂと導光板２ａとを近接させると、光源部１ｂから放射された光は、導光板２ａの側面から入射されることになり、上述したように、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａに対し、斜め方向から光が照明され、暗視野照明が可能となる。一方、光源部１ｂと導光板２ａとの間の距離が前記第２切替距離Ｈ０より長い予め設定された所定の距離Ｈ２に設定されるように、光源部１ｂと導光板２ａとを離間させると、アレイ物ＳＰａにおける個々の前記物ＥＬａに対し、導光板２ａを介して略上方から光が照明され、明視野照明が可能となる。前記第２切替距離Ｈ０は、上述のように構成された導光板２ａによって暗視野照明と明視野照明とが相互に切り替わる距離であり、第１切替距離ｈ０と同様に、区画領域ＡＲａの大きさに対する個々の前記物ＥＬａの大きさ（区画領域ＡＲａの大きさと個々の前記物ＥＬａの大きさとの比）、射出部２１ａにおける射出面の形状や粗さ等の面状態、および、個々の前記物ＥＬａにおける表面形状の曲率等に基づいて規定される。

このような第２実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭｂ（アレイ物検査用照明装置ＬＭｂおよびアレイ物検査用導光板としての導光板２ａを含む、以下、同じ）は、第１実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭａと同様な作用効果を奏する。そして、第２実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭｂは、市販のいわゆるドーム型照明装置を光源部１ｂに利用できる。

第２実施形態におけるアレイ物検査装置ＣＭｂは、仮想面と直交する直交方向（Ｚ方向）に沿って光源部１ｂを移動する移動部９を備えるので、光源部１ｂと導光板２ａとの間の距離を適宜に調整することによって、暗視野照明と明視野照明とを択一的に実行できる。

なお、上述の第２実施形態では、光源部１ｂと導光板２ａとの間の距離を切り換えることによって、暗視野照明と明視野照明とが択一的に実現されたが、光源部１ｂと導光板２ａとの間の距離を固定して、第１実施形態と同様に、導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間の距離を切り換えることによって、暗視野照明と明視野照明とが択一的に実現されてもよい。導光板２ａとアレイ物ＳＰａとの間の距離の切替は、上述と同様である。

また、上述の第１および第２実施形態では、アレイ物ＳＰａ〜ＳＰｃ、ＳＰｈは、凸形状の前記所定の物ＥＬａ〜ＥＬｃ、ＥＬｈを備えて構成されたが、これに限定されず、前記所定の物ＥＬは、凹形状、凹凸形状、平面内部に曲面が形成された形状等であっても良い。

また、上述の第１および第２実施形態において、好ましくは、光源部１は、光源基板および導光板保持部の導光板下面より導光板射出面側への突出量を小さくして、導光板２をアレイ物ＳＰに近接させた場合でも光源基板が邪魔にならないように構成される。

本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および／または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。

ＣＭａ、ＣＭｂ アレイ物検査装置
ＬＭａ、ＬＭｂ アレイ物検査用照明装置
ＳＰａ〜ＳＰｃ、ＳＰｈ アレイ物
１ａ、１ｂ 光源部
２ａ〜２ｈ 導光板
３、９ 移動部
４ 撮像部
５ 制御処理部
５１ 制御部
５２ 検出処理部

Claims (11)

1. 複数の所定の物をアレイ状に備えるアレイ物を照明するアレイ物検査用照明装置であって、
   所定の光を放射する光源部と、
   前記光源部から放射された光が入射され、前記入射された光を導光する導光板とを備え、
   前記導光板は、当該導光板の面拡がり方向に沿った仮想面と交差し、前記入射されて導光されている前記光を当該導光板から外部へ射出する射出面を持つ射出部を備え、
   前記射出部は、前記所定の物を囲む大きさで前記導光板に設定された互いに異なる複数の区画領域における各輪郭線の各上方にそれぞれ形成されること
   を特徴とするアレイ物検査用照明装置。
2. 前記複数の区画領域における各輪郭形状は、円形状、楕円形状、長円形状、多角形形状のうちのいずれかであり、
   前記射出部は、前記複数の区画領域における各輪郭線の各上方に連続的にまたは離散的にそれぞれ形成されること
   を特徴とする請求項１に記載のアレイ物検査用照明装置。
3. 前記射出部は、前記導光板における前記アレイ物に対向する主面上に形成されること
   を特徴とする請求項１または請求項２に記載のアレイ物検査用照明装置。
4. 前記光源部は、前記所定の光を発光して放射する発光部と、前記発光部から放射される前記所定の光における光量および色のうちの少なくともいずれかを制御する光制御部とを備えること
   を特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のアレイ物検査用照明装置。
5. 前記導光板は、互いに対向する１対の第１および第２主面を備え、前記入射された光を前記第１および第２主面間で導光し、前記区画領域内に設けられ前記第１および第２主面間を貫通する開口部をさらに備えること
   を特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のアレイ物検査用照明装置。
6. 前記光源部は、前記所定の光を発光して放射する発光ダイオードを備えること
   を特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のアレイ物検査用照明装置。
7. 前記仮想面と直交する直交方向に沿って前記アレイ物および前記導光板を相対的に移動する移動機構をさらに備えること
   を特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のアレイ物検査用照明装置。
8. 前記光源部は、球状殻の一部の形状で形成された球状殻本体と、前記球状殻本体の内部に配置され、前記所定の光を発光して放射する発光部とを備えること
   を特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のアレイ物検査用照明装置。
9. 前記仮想面と直交する直交方向に沿って前記光源部および前記導光板を相対的に移動する移動機構をさらに備えること
   を特徴とする請求項８に記載のアレイ物検査用照明装置。
10. 複数の所定の物をアレイ状に備える被検査物のアレイ物を照明するアレイ物検査用照明部と、
    前記アレイ物の光学像を撮像する撮像部と、
    前記撮像部で撮像した前記アレイ物の画像に基づいて前記アレイ物の異常を検出する検出処理部とを備え、
    前記アレイ物検査用照明部は、請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載のアレイ物検査用照明装置であること
    を特徴とするアレイ物検査装置。
11. 請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載のアレイ物検査用照明装置、または、請求項１０に記載のアレイ物検査装置に用いられるアレイ物検査用導光板。