JP2015178161A - 搬送ロボットおよび搬送システム - Google Patents
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Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
| KR20180077734A (ko) * | 2016-12-29 | 2018-07-09 | 현대중공업지주 주식회사 | 기판이송장치 |
| CN114193427A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-03-18 | 河南经济贸易技师学院 | 一种电气自动化多方位可调式机械臂 |
| JP2022049332A (ja) * | 2020-09-16 | 2022-03-29 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板搬送装置 |
| JP2023501943A (ja) * | 2019-11-01 | 2023-01-20 | ラム リサーチ コーポレーション | 重力場センサを備えたウエハハンドリングロボット |
| KR20230106249A (ko) * | 2022-01-06 | 2023-07-13 | 삼익티에이치케이 주식회사 | 산업용로봇 경로오차보상 시스템 및 이를 이용한 방법 |
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Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP7129788B2 (ja) * | 2018-02-16 | 2022-09-02 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボットの補正値算出方法 |
| KR102134784B1 (ko) * | 2018-10-12 | 2020-07-17 | 하이윈 테크놀로지스 코포레이션 | 구형 링키지 로봇 아암 |
| CN109202955A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-01-15 | 引先自动化科技(苏州)有限公司 | 盒转移用臂及具备其的搬送系统 |
| US11427412B2 (en) * | 2019-05-09 | 2022-08-30 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate conveying robot and substrate conveying method |
| JP7356269B2 (ja) * | 2019-07-01 | 2023-10-04 | 川崎重工業株式会社 | ロボット制御装置、並びにそれを備えるロボット及びロボットシステム |
| CN113508456B (zh) * | 2020-02-05 | 2025-10-28 | 株式会社安川电机 | 搬运系统、搬运方法以及搬运装置 |
| TWI715434B (zh) * | 2020-02-06 | 2021-01-01 | 三和技研股份有限公司 | 可供調整承接位置之機械手臂 |
| JP7446169B2 (ja) * | 2020-06-26 | 2024-03-08 | キヤノントッキ株式会社 | 基板搬送装置、基板処理システム、基板搬送方法、電子デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 |
| CN112454317B (zh) * | 2020-11-20 | 2022-03-25 | 爱佩仪测量设备有限公司 | 用于三坐标测量划线机的助力划线模块 |
| US11712804B2 (en) | 2021-03-29 | 2023-08-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Systems and methods for adaptive robotic motion control |
| US11724390B2 (en) | 2021-03-29 | 2023-08-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Systems and methods for automated preloading of actuators |
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Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005246547A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Daihen Corp | ロボット制御システム |
| JP5146642B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2013-02-20 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法 |
| CN104647363B (zh) * | 2010-07-14 | 2016-04-20 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人、工业用机器人的控制方法及工业用机器人的指示方法 |
| JP5578973B2 (ja) * | 2010-07-16 | 2014-08-27 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
| US8958907B2 (en) * | 2011-03-31 | 2015-02-17 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Robot arm apparatus |
| JP5387622B2 (ja) * | 2011-06-17 | 2014-01-15 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボット |
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2014
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Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180077734A (ko) * | 2016-12-29 | 2018-07-09 | 현대중공업지주 주식회사 | 기판이송장치 |
| KR102340634B1 (ko) * | 2016-12-29 | 2021-12-16 | 현대중공업지주 주식회사 | 기판이송장치 |
| JP2023501943A (ja) * | 2019-11-01 | 2023-01-20 | ラム リサーチ コーポレーション | 重力場センサを備えたウエハハンドリングロボット |
| JP7705388B2 (ja) | 2019-11-01 | 2025-07-09 | ラム リサーチ コーポレーション | 重力場センサを備えたウエハハンドリングロボット |
| US12485554B2 (en) | 2019-11-01 | 2025-12-02 | Lam Research Corporation | Wafer handling robot with gravitational field sensor |
| JP2022049332A (ja) * | 2020-09-16 | 2022-03-29 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板搬送装置 |
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| KR20230106249A (ko) * | 2022-01-06 | 2023-07-13 | 삼익티에이치케이 주식회사 | 산업용로봇 경로오차보상 시스템 및 이를 이용한 방법 |
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| CN114193427A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-03-18 | 河南经济贸易技师学院 | 一种电气自动化多方位可调式机械臂 |
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