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JP2015029158A - Multilayer ceramic capacitor - Google Patents

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JP2015029158A
JP2015029158A JP2014231316A JP2014231316A JP2015029158A JP 2015029158 A JP2015029158 A JP 2015029158A JP 2014231316 A JP2014231316 A JP 2014231316A JP 2014231316 A JP2014231316 A JP 2014231316A JP 2015029158 A JP2015029158 A JP 2015029158A
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JP
Japan
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ceramic
dielectric
content
multilayer ceramic
ceramic capacitor
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JP2014231316A
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Japanese (ja)
Inventor
石田 淳
Atsushi Ishida
淳 石田
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reliable multilayer ceramic capacitor which is high in resistance against an impact from the outside, and superior in moisture resistance, and capable of reducing the occurrence of cracks or chips, and without suffering from moisture infiltration from portions where the cracks or chips occur.SOLUTION: A multilayer ceramic capacitor comprises: a ceramic elemental body 10 including dielectric layers and internal electrodes 2 arranged between the dielectric layers; and external electrodes provided to electrically connect with the corresponding internal electrodes 2. The ceramic elemental body has margin areas M. The content of Si in dielectric ceramic in each margin area M is made higher than those in other areas; the content of Si in dielectric ceramic in each margin area is 10-24%. Also, the content of Si in the dielectric ceramic in the outermost dielectric layer 1a is made higher than those in other areas other than the margin areas. The outermost dielectric layer is made thinner than the margin areas in thickness.

Description

本発明は、積層セラミックコンデンサに関し、詳しくは、内部電極を備えたセラミック素体に、上記内部電極と導通するように外部電極が配設された構造を有する積層セラミックコンデンサに関する。   The present invention relates to a multilayer ceramic capacitor, and more particularly, to a multilayer ceramic capacitor having a structure in which an external electrode is provided in a ceramic body having an internal electrode so as to be electrically connected to the internal electrode.

代表的なセラミック電子部品の一つに、例えば、特許文献1に開示されているような積層セラミックコンデンサがある。   One typical ceramic electronic component is, for example, a multilayer ceramic capacitor as disclosed in Patent Document 1.

この積層セラミックコンデンサは、図5に示すように、誘電体層であるセラミック層101を介して複数の内部電極102(102a,102b)が積層されたセラミック積層体(セラミック素体)110の一対の端面103(103a,103b)に、内部電極102(102a,102b)と導通するように一対の外部電極104(104a,104b)が配設された構造を有している。
そして、このような積層セラミックコンデンサは、種々の分野に広く用いられている。
As shown in FIG. 5, this multilayer ceramic capacitor has a pair of ceramic laminates (ceramic bodies) 110 in which a plurality of internal electrodes 102 (102a, 102b) are laminated via a ceramic layer 101 which is a dielectric layer. The end surface 103 (103a, 103b) has a structure in which a pair of external electrodes 104 (104a, 104b) are disposed so as to be electrically connected to the internal electrode 102 (102a, 102b).
Such multilayer ceramic capacitors are widely used in various fields.

しかしながら、上述のような積層セラミックコンデンサや、その製造工程で作製されるセラミック素体は、積層セラミックコンデンサを製造する場合に用いられる設備間の移動の際や、袋詰めされた状態で取り扱われる際などにおいて、積層セラミックコンデンサどうし、あるいは、セラミック素体どうしの衝突などによる衝撃で、割れや欠けが生じやすいという問題点がある。
また、割れや欠けが発生した部分から水分が侵入して、絶縁抵抗などの特性の劣化を招くという問題点があり、積層セラミックコンデンサとしての信頼性を低下させるという問題点がある。
However, when the multilayer ceramic capacitor as described above and the ceramic body produced in the manufacturing process are moved between facilities used for manufacturing the multilayer ceramic capacitor or handled in a packaged state. In such a case, there is a problem that cracks and chips are likely to occur due to an impact caused by a collision between multilayer ceramic capacitors or ceramic bodies.
In addition, there is a problem that moisture enters from a portion where a crack or chip occurs, leading to deterioration of characteristics such as insulation resistance, and there is a problem that reliability as a multilayer ceramic capacitor is lowered.

特開2013−12418号公報JP2013-12418A

本発明は、上記課題を解決するものであり、外部からの衝撃に対する耐性が高く、割れや欠けの発生を抑制することが可能で、かつ、割れや欠けの生じた部分からの水分の浸入を招くおそれがなく、耐湿性にも優れた信頼性の高い積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。   The present invention solves the above problems, has high resistance to external impact, can suppress the occurrence of cracks and chips, and prevents moisture from entering from the cracked or chipped parts. An object of the present invention is to provide a highly reliable monolithic ceramic capacitor that has no fear of incurring and has excellent moisture resistance.

上記課題を解決するために、本発明の積層セラミックコンデンサは、
誘電体セラミックからなる誘電体層と、前記前記誘電体層を介して積層され、前記誘電体層間の複数の界面に位置する複数の内部電極とを備えたセラミック素体であって、第1の主面および前記第1の主面と対向する第2の主面と、前記第1の主面に直交する第1の端面および前記第1の端面と対向する第2の端面と、前記第1の端面に直交する第1の側面および前記第1の側面と対向する第2の側面とを備える直方体形状を有し、前記第1の主面から前記第2の主面に向かう方向が前記誘電体層および前記内部電極の積層方向となり、かつ、前記複数の内部電極が交互に前記第1の端面および第2の端面に引き出されたセラミック素体と、
前記セラミック素体に、前記第1の端面および第2の端面に引き出された前記内部電極と導通するように配設された一対の外部電極と
を備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記セラミック素体を前記第1または第2の端面側からみた場合における、前記複数の内部電極と、前記内部電極間に介在する前記誘電体層とにより形成される積層部と、前記セラミック素体の前記第1および第2の側面との間に位置する、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率が、他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高く、かつ、
前記マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率が10〜24%の範囲にあること
を特徴としている。
In order to solve the above problems, the multilayer ceramic capacitor of the present invention is
A ceramic body comprising: a dielectric layer made of a dielectric ceramic; and a plurality of internal electrodes stacked via the dielectric layer and positioned at a plurality of interfaces between the dielectric layers, A main surface and a second main surface opposite to the first main surface; a first end surface orthogonal to the first main surface; a second end surface opposite to the first end surface; and the first A rectangular parallelepiped shape including a first side surface orthogonal to the end surface of the first side surface and a second side surface facing the first side surface, and a direction from the first main surface toward the second main surface is the dielectric. A ceramic body in which the body layers and the internal electrodes are stacked, and the plurality of internal electrodes are alternately drawn to the first end face and the second end face;
A multilayer ceramic capacitor comprising a pair of external electrodes disposed on the ceramic body so as to be electrically connected to the internal electrodes drawn out to the first end surface and the second end surface;
A laminate formed by the plurality of internal electrodes and the dielectric layer interposed between the internal electrodes when the ceramic body is viewed from the first or second end face side, and the ceramic body And the Si content in the dielectric ceramic in the margin region located between the first and second side surfaces is higher than the Si content in the dielectric ceramic in the other regions, and
The Si content in the dielectric ceramic in the margin region is in the range of 10 to 24%.

本発明の積層セラミックコンデンサにおいては、前記複数の内部電極のうち、前記積層方向において最も外側に位置する内部電極より外側に位置する最外誘電体層においても、誘電体セラミック中のSi含有率を、前記マージン領域を除いた他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高くすることが好ましい。   In the multilayer ceramic capacitor of the present invention, among the plurality of internal electrodes, the outermost dielectric layer positioned outside the outermost internal electrode in the stacking direction also has an Si content in the dielectric ceramic. It is preferable that the Si content in the dielectric ceramic in the other region excluding the margin region is higher.

最外誘電体層における誘電体セラミック中のSi含有率を高くすることにより、最外誘電体層に外部から衝撃が加わった場合の衝撃吸収能力を向上させることが可能になる。
その結果、マージン領域および最外誘電体層により、セラミック素体の側面および主面の合計4面から加わる衝撃を確実に吸収することが可能になり、さらに信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることが可能になる。
By increasing the Si content in the dielectric ceramic in the outermost dielectric layer, it is possible to improve the shock absorbing ability when an external impact is applied to the outermost dielectric layer.
As a result, the margin region and the outermost dielectric layer can reliably absorb the impact applied from the total four sides of the ceramic body, and a highly reliable multilayer ceramic capacitor can be obtained. Is possible.

また、前記最外誘電体層の厚みを、前記内部電極の幅方向端部から、前記幅方向端部と対向する前記セラミック素体の前記第1または第2の側面までの距離である、前記マージン領域の厚みより薄くすることが好ましい。   Further, the thickness of the outermost dielectric layer is a distance from the end in the width direction of the internal electrode to the first or second side surface of the ceramic body facing the end in the width direction. It is preferable to make it thinner than the thickness of the margin region.

最外誘電体層における誘電体セラミック中のSi含有率を高くすることで、最外誘電体層の厚みを厚くすることなく、必要な衝撃吸収性能を確保することができる。
したがって、最外誘電体層の厚みを、マージン領域の厚みより薄くした場合にも、必要な衝撃吸収性能を確保することができる。
また、最外誘電体層の厚みを薄くすることにより、積層セラミックコンデンサの高さ方向の寸法を小さくすることができる。
また、積層セラミックコンデンサの高さ方向の寸法を同じとした場合には、内部電極の積層数を増やすことが可能になる。
その結果、耐衝撃性などの信頼性を確保しつつ、積層セラミックコンデンサの高容量化を図ることが可能になる。
By increasing the Si content in the dielectric ceramic in the outermost dielectric layer, the necessary shock absorbing performance can be ensured without increasing the thickness of the outermost dielectric layer.
Therefore, even when the thickness of the outermost dielectric layer is made thinner than the thickness of the margin region, the necessary shock absorbing performance can be ensured.
Further, by reducing the thickness of the outermost dielectric layer, the dimension in the height direction of the multilayer ceramic capacitor can be reduced.
Further, when the height dimension of the multilayer ceramic capacitor is the same, the number of stacked internal electrodes can be increased.
As a result, it is possible to increase the capacity of the multilayer ceramic capacitor while ensuring reliability such as impact resistance.

上述のように、本発明の積層セラミックコンデンサにおいては、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率を、他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高くするとともに、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率を10〜24%の範囲となるようにしているので、マージン領域の弾性率を低下させて、外力に対するセラミック素体の撓み量を小さくすることができる。
その結果、外部からの衝撃が加わった場合に割れや欠けが発生することを防止することが可能になり、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることができる。
As described above, in the multilayer ceramic capacitor of the present invention, the Si content in the dielectric ceramic in the margin region is made higher than the Si content in the dielectric ceramic in the other regions, and the dielectric in the margin region Since the Si content in the ceramic is in the range of 10 to 24%, the elastic modulus of the margin region can be reduced and the amount of bending of the ceramic body with respect to external force can be reduced.
As a result, it is possible to prevent cracks and chips from occurring when an external impact is applied, and a highly reliable multilayer ceramic capacitor can be obtained.

なお、Si含有率が10〜24%であるとは、セラミック素体を第1または第2の端面側から、長さ方向の中央部まで研磨して露出させた露出面について、WDXにより分析した場合における、露出面の面積に対する、Siの検出された領域の面積の占める割合が10〜24%であることを意味している。   The Si content of 10 to 24% was analyzed by WDX for the exposed surface exposed by polishing the ceramic body from the first or second end surface side to the center in the length direction. In this case, the ratio of the area of the region where Si is detected to the area of the exposed surface is 10 to 24%.

なお、Si含有率が10%を下回ると、マージン領域の弾性率の低下が望めず、セラミック素体に割れや欠けが生じやすくなる。
また、Si含有率が24%を上回ると、ガラスとしての特性が顕著に現れ、割れ/欠けが生じやすくなる。
If the Si content is less than 10%, a decrease in the elastic modulus of the margin region cannot be expected, and the ceramic body is likely to be cracked or chipped.
On the other hand, when the Si content exceeds 24%, the characteristics as glass are remarkably exhibited, and cracks / chips tend to occur.

本発明の一実施形態にかかる積層セラミックコンデンサの構成を示す正面断面図である。It is a front sectional view showing the composition of the multilayer ceramic capacitor concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態にかかる積層セラミックコンデンサの外観構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an external configuration of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態にかかる積層セラミックコンデンサの構成を示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the structure of the multilayer ceramic capacitor concerning one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態にかかる積層セラミックコンデンサの変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the multilayer ceramic capacitor concerning one Embodiment of this invention. 従来の積層セラミックコンデンサの構成を示す正面断面図である。It is front sectional drawing which shows the structure of the conventional multilayer ceramic capacitor.

以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。   Embodiments of the present invention will be described below to describe the features of the present invention in more detail.

図1は、本発明の一実施形態(実施形態1)にかかる積層セラミックコンデンサ50の構成を示す正面断面図、図2は積層セラミックコンデンサ50の外観構成を示す斜視図である。   FIG. 1 is a front sectional view showing a configuration of a multilayer ceramic capacitor 50 according to one embodiment (Embodiment 1) of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an external configuration of the multilayer ceramic capacitor 50.

この積層セラミックコンデンサ50は、図1および2に示すように、誘電体セラミックからなる誘電体層1と、誘電体層1間の複数の界面に配設された複数の内部電極2(2a,2b)とを備えたセラミック素体10と、セラミック素体10の外表面に、内部電極2(2a,2b)と導通するように配設された一対の外部電極5(5a,5b)を備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the multilayer ceramic capacitor 50 includes a dielectric layer 1 made of a dielectric ceramic and a plurality of internal electrodes 2 (2a, 2b) disposed at a plurality of interfaces between the dielectric layers 1. And a pair of external electrodes 5 (5a, 5b) disposed on the outer surface of the ceramic body 10 so as to be electrically connected to the internal electrodes 2 (2a, 2b). Yes.

また、内部電極2(2a,2b)と、後述するセラミック素体10の第1の主面11aおよび第2の主面11bとの間には、補助電極6(6a,6b)が配設されている。補助電極6(6a,6b)は、隣り合う内部電極2(2a,2b)と同電位の外部電極と導通している。ただし外部電極と導通していなくてもよい。
また、上記補助電極6(6a,6b)を備えていない構成とすることも可能である。
An auxiliary electrode 6 (6a, 6b) is disposed between the internal electrode 2 (2a, 2b) and a first main surface 11a and a second main surface 11b of the ceramic body 10, which will be described later. ing. The auxiliary electrode 6 (6a, 6b) is electrically connected to an external electrode having the same potential as the adjacent internal electrode 2 (2a, 2b). However, it may not be electrically connected to the external electrode.
Further, it is possible to adopt a configuration in which the auxiliary electrode 6 (6a, 6b) is not provided.

セラミック素体10を構成する誘電体層1は、BaTiO3系や、CaZrO3系のセラミック誘電体から形成されている。
また、内部電極2は、NiもしくはCuなどの卑金属を主成分とする金属層である。
The dielectric layer 1 constituting the ceramic body 10 is made of a BaTiO 3 -based or CaZrO 3 -based ceramic dielectric.
The internal electrode 2 is a metal layer mainly composed of a base metal such as Ni or Cu.

セラミック素体10は、直方体形状を有しており、第1の主面11aおよび第1の主面11aと対向する第2の主面11bと、第1の主面11aに直交する第1の端面21aおよび第1の端面21aと対向する第2の端面21bと、第1の端面21aに直交する第1の側面31aおよび第1の側面31aと対向する第2の側面31bとを備えている。   The ceramic body 10 has a rectangular parallelepiped shape, and includes a first main surface 11a, a second main surface 11b facing the first main surface 11a, and a first main surface 11a orthogonal to the first main surface 11a. An end surface 21a, a second end surface 21b facing the first end surface 21a, a first side surface 31a orthogonal to the first end surface 21a, and a second side surface 31b facing the first side surface 31a are provided. .

なお、第1の主面11aと第2の主面11bを結ぶ方向を高さ方向とした場合に、この高さ方向が誘電体層1および内部電極2(2a,2b)の積層方向となる。   When the direction connecting the first main surface 11a and the second main surface 11b is the height direction, the height direction is the stacking direction of the dielectric layer 1 and the internal electrodes 2 (2a, 2b). .

第1の端面21aと第2の端面21bには、複数の内部電極2(2a,2b)が交互に引き出されており、第1の端面21aには内部電極2aが引き出され、第2の端面21bには内部電極2bが引き出されている。   A plurality of internal electrodes 2 (2a, 2b) are alternately drawn out on the first end face 21a and the second end face 21b, the internal electrode 2a is drawn out on the first end face 21a, and the second end face The internal electrode 2b is drawn out to 21b.

また、この実施形態にかかる積層セラミックコンデンサ50において、外部電極5(5a,5b)は、焼結金属層12(12a,12b)と、めっき層32(32a,32b)とを備えた構造とされている。   In the multilayer ceramic capacitor 50 according to this embodiment, the external electrode 5 (5a, 5b) has a structure including the sintered metal layer 12 (12a, 12b) and the plating layer 32 (32a, 32b). ing.

焼結金属層12(12a,12b)は,Cu粉末やNi粉末を導電成分とする導電ペーストをセラミック素体10に塗布して焼き付けることにより形成される焼き付け電極(厚膜電極)である。なお、焼結金属層12(12a,12b)の構成材料は、上述のCuやNiに限られるものではなく、さらに他の金属材料を用いることも可能である。   The sintered metal layer 12 (12a, 12b) is a baked electrode (thick film electrode) formed by applying and baking a conductive paste containing Cu powder or Ni powder as a conductive component on the ceramic body 10. The constituent material of the sintered metal layer 12 (12a, 12b) is not limited to the above-described Cu or Ni, and other metal materials can also be used.

そして、焼結金属層12(12a,12b)は、セラミック素体10の第1の端面21aおよび第2の端面21bから、セラミック素体10の第1および第2の主面11a,11b、および第1および第2の側面31a,31bに回り込むように形成されている。
なお、焼結金属層12の厚みは、通常、0.5μm〜10μmの範囲にあることが望ましい。
ただし、焼結金属層12の厚みは上述の範囲に限られるものではなく、他の厚みとすることも可能である。
The sintered metal layer 12 (12a, 12b) is formed from the first end surface 21a and the second end surface 21b of the ceramic body 10 and the first and second main surfaces 11a, 11b of the ceramic body 10 and It is formed so as to go around the first and second side surfaces 31a and 31b.
The thickness of the sintered metal layer 12 is usually desirably in the range of 0.5 μm to 10 μm.
However, the thickness of the sintered metal layer 12 is not limited to the above range, and may be other thicknesses.

めっき層32(32a,32b)は、焼結金属層12(12a,12b)の全体を覆うように形成されている。   The plating layer 32 (32a, 32b) is formed so as to cover the entire sintered metal layer 12 (12a, 12b).

また、この実施形態では、めっき層32(32a,32b)は、焼結金属層12(12a,12b)上に形成されたNiめっき層33(33a,33b)と、Niめっき層33(33a,33b)上に形成されたSnめっき層34(34a,34b)を備えた2層構造のめっき層とされている。   In this embodiment, the plating layer 32 (32a, 32b) includes the Ni plating layer 33 (33a, 33b) formed on the sintered metal layer 12 (12a, 12b) and the Ni plating layer 33 (33a, 33b). 33b) a plating layer having a two-layer structure including the Sn plating layer 34 (34a, 34b) formed thereon.

また、この積層セラミックコンデンサ50において、上述の補助電極6(6a,6b)と、その外側のセラミック層(すなわち、第1の主面11aおよび第2の主面11b側のセラミック層)との境界には、MgとMnを含有した境界層が69%以上に設けられている。また、補助電極6(6a,6b)は、その連続性が60%以上である。さらに、連続性が途切れている領域である欠損部の39%以上にSiを含む偏析物が存在している。なお、境界層中におけるMg含有量に対するMn含有量のモル比Mn/Mgは特に限定されるものではないが、Mn/Mg=0.005〜0.7の範囲にあることが、特に好ましい。   In the multilayer ceramic capacitor 50, the boundary between the auxiliary electrode 6 (6a, 6b) and the outer ceramic layer (that is, the ceramic layer on the first main surface 11a and the second main surface 11b side). Is provided with 69% or more of a boundary layer containing Mg and Mn. The auxiliary electrode 6 (6a, 6b) has a continuity of 60% or more. Furthermore, segregated materials containing Si are present in 39% or more of the defect portions, which are regions where continuity is interrupted. The molar ratio Mn / Mg of the Mn content to the Mg content in the boundary layer is not particularly limited, but is particularly preferably in the range of Mn / Mg = 0.005 to 0.7.

この補助電極6(6a,6b)の境界層の存在は以下のようにして確認した。まず、積層セラミックコンデンサを、長さ方向と厚み方向により規定される面が露出するような態様で、研磨機により研磨した。このとき、積層セラミックコンデンサの幅方向の1/2程度の深さまで研磨を行った後、研磨による内部電極のダレを除去した。   The presence of the boundary layer of the auxiliary electrode 6 (6a, 6b) was confirmed as follows. First, the multilayer ceramic capacitor was polished by a polishing machine in such a manner that the surface defined by the length direction and the thickness direction was exposed. At this time, after polishing to a depth of about ½ in the width direction of the multilayer ceramic capacitor, sagging of the internal electrode due to the polishing was removed.

それから、上述のようにして研磨した研磨端面において、積層セラミックコンデンサの長さ方向の中央部の位置において、内部電極2とほぼ直交する直線を引く(想定する)。そして、補助電極6(6a,6b)の境界部分と上記直線とが直交する領域(境界層)を電子顕微鏡を用いて倍率1万倍で観察した。そして、この実施形態では、観察視野の幅を10μmとし、FE−WDXにて観察を行うことにより、補助電極6(6a,6b)の境界層の存在を確認した。   Then, on the polished end face polished as described above, a straight line substantially perpendicular to the internal electrode 2 is drawn (assumed) at the central position in the length direction of the multilayer ceramic capacitor. And the area | region (boundary layer) where the boundary part of the auxiliary electrode 6 (6a, 6b) and the said straight line orthogonally crossed was observed by magnification 10,000 times using the electron microscope. And in this embodiment, the presence of the boundary layer of the auxiliary electrode 6 (6a, 6b) was confirmed by setting the width of the observation visual field to 10 μm and performing observation with FE-WDX.

また、内部電極2(2a,2b)の厚みは以下のようにして求めた。
まず、上記研磨端面を厚み方向に3等分に分割し、上部領域、中間領域、下部領域の3つの領域に分割した。そして、各領域において、最外の内部電極2を除いて、上記の直線と直交する位置の内部電極2の厚みを、それぞれ無作為に5層ずつ測定して、その平均値を求めた。なお、内部電極の厚みは、走査型電子顕微鏡を用いて測定した。ただし、内部電極が欠落しているなどの理由で測定できない部分は測定対象から除いた。
The thickness of the internal electrode 2 (2a, 2b) was determined as follows.
First, the polishing end face was divided into three equal parts in the thickness direction, and was divided into three regions: an upper region, an intermediate region, and a lower region. And in each area | region, except the outermost internal electrode 2, the thickness of the internal electrode 2 of the position orthogonal to said straight line was measured at random 5 layers each, and the average value was calculated | required. The thickness of the internal electrode was measured using a scanning electron microscope. However, parts that could not be measured due to a lack of internal electrodes were excluded from the measurement target.

また、誘電体層1の厚みは、上記の上部領域、中間領域、下部領域の3つの領域において、上記の直線と直交する位置の誘電体層1の厚みをそれぞれ無作為に5層ずつ測定して、その平均値を求めた。なお、誘電体層の厚みは、走査型電子顕微鏡を用いて測定した。   In addition, the thickness of the dielectric layer 1 is measured by randomly measuring five layers of the dielectric layer 1 at positions orthogonal to the straight line in each of the three regions, the upper region, the middle region, and the lower region. The average value was obtained. The thickness of the dielectric layer was measured using a scanning electron microscope.

そして、この実施形態の積層セラミックコンデンサ50においては、図3に示すように、セラミック素体10を第1または第2の端面側21a,21b(図2)からみた場合における、複数の内部電極2と、内部電極2間に介在する誘電体層1とにより形成される積層部40と、積層部40とセラミック素体10の第1および第2の側面31a,31bとの間に位置するマージン領域Mにおける誘電体セラミック中のSi含有率を、他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高くするとともに、マージン領域におけるSi含有率を10〜24%の範囲となるようにしている。   In the multilayer ceramic capacitor 50 of this embodiment, as shown in FIG. 3, the plurality of internal electrodes 2 when the ceramic body 10 is viewed from the first or second end face side 21a, 21b (FIG. 2). And a laminated portion 40 formed by the dielectric layer 1 interposed between the internal electrodes 2, and a margin region located between the laminated portion 40 and the first and second side surfaces 31a and 31b of the ceramic body 10 The Si content in the dielectric ceramic at M is set higher than the Si content in the dielectric ceramic in other regions, and the Si content in the margin region is in the range of 10 to 24%.

なお、ここでSi含有率は、セラミック素体を第1または第2の端面側から、長さ方向の中央部まで研磨して露出させた露出面について、研磨ダレを除去し、WDXにより分析した場合における、露出面の面積に対してSiの検出された領域の面積の占める割合である。   Here, the Si content was analyzed by WDX after removing the polishing sagging on the exposed surface exposed by polishing the ceramic body from the first or second end surface side to the center in the length direction. In this case, the ratio of the area of the detected Si area to the area of the exposed surface.

このように、マージン領域Mにおける誘電体セラミック中のSi含有率を、他の領域よりも高くし、かつ、マージン領域におけるSi含有率を10〜24%とすることにより、外部からの衝撃が加わった場合に割れや欠けが発生することを防止することが可能になり、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることができる。   As described above, by making the Si content in the dielectric ceramic in the margin region M higher than in other regions and setting the Si content in the margin region to 10 to 24%, an external impact is applied. In this case, it is possible to prevent cracks and chips from occurring, and a highly reliable multilayer ceramic capacitor can be obtained.

なお、マージン領域Mにおける誘電体セラミック中のSi含有率を他の領域よりも高くする方法としては、例えば、内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートにSi成分を含有させておくことで、焼成工程でSiを偏析させ、焼成後にマージン領域Mにおける誘電体セラミック中のSi含有率が、他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高くなるようにする方法などが挙げられる。
また、所定のセラミックグリーンシートにSiO2含有材料を別途添加するように構成することも可能である。
As a method for increasing the Si content in the dielectric ceramic in the margin region M as compared with other regions, for example, by adding a Si component to the ceramic green sheet on which the internal electrode pattern is formed, firing is performed. Examples include a method in which Si is segregated in the process, and the Si content in the dielectric ceramic in the margin region M after firing is higher than the Si content in the dielectric ceramic in other regions.
It is also possible to configure so as separately adding SiO 2 containing material to a predetermined ceramic green sheets.

また、この積層セラミックコンデンサ50においては、図4に示すように、マージン領域MのSi含有率を高くするとともに、複数の内部電極2のうち、積層方向において最も外側に位置する内部電極2の外側に位置する最外誘電体層1aにおける誘電体セラミック中のSi含有率を、マージン領域Mを除いた他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高くするように構成することも可能である。
なお、最外誘電体層1aにおける誘電体セラミック中のSi含有率と、マージン領域MのSi含有率とを異ならせてもよい。
Further, in this multilayer ceramic capacitor 50, as shown in FIG. 4, the Si content in the margin region M is increased, and the outer side of the inner electrode 2 located on the outermost side in the stacking direction among the plurality of inner electrodes 2. It is also possible to make the Si content in the dielectric ceramic in the outermost dielectric layer 1a located at a position higher than the Si content in the dielectric ceramic in other regions except the margin region M. is there.
Note that the Si content in the dielectric ceramic in the outermost dielectric layer 1a may be different from the Si content in the margin region M.

なお、最外誘電体層1aにおける誘電体セラミック中のSi含有率を高くすることにより、最外誘電体層1aに外部から衝撃が加わった場合の衝撃吸収能力を向上させることが可能になる。その結果、マージン領域Mおよび最外誘電体層1aにより、セラミック素体10の第1および第2の側面31a,31b、および、第1および第2の主面11a,11bの合計4面から加わる衝撃をより確実に吸収することが可能になる。   It should be noted that by increasing the Si content in the dielectric ceramic in the outermost dielectric layer 1a, it is possible to improve the impact absorbing ability when an external impact is applied to the outermost dielectric layer 1a. As a result, the first and second side surfaces 31a and 31b of the ceramic body 10 and the first and second main surfaces 11a and 11b are added by the margin region M and the outermost dielectric layer 1a. It becomes possible to absorb the impact more reliably.

また、最外誘電体層1aの厚みt1は、マージン領域Mの厚みtMより薄くなるように構成されていることが望ましい。   Further, it is desirable that the thickness t1 of the outermost dielectric layer 1a be configured to be thinner than the thickness tM of the margin region M.

マージン領域Mの厚みtMは、図3および4に示すように、内部電極2の幅方向端部2xaまたは2xbから、幅方向端部2xa,2xbと対向するセラミック素体10の第1または第2の側面31a,31bまでの距離である。   As shown in FIGS. 3 and 4, the margin region M has a thickness tM from the width direction end 2xa or 2xb of the internal electrode 2 to the first or second of the ceramic body 10 facing the width direction ends 2xa and 2xb. It is the distance to the side surfaces 31a and 31b.

最外誘電体層1aの厚みt1を、マージン領域Mの厚みtMより薄くした場合、積層セラミックコンデンサの高さ方向の寸法を同じにすると、内部電極の積層数を増やすことが可能になり、耐衝撃性などの信頼性を確保しつつ、積層セラミックコンデンサの高容量化を図ることができる。   When the thickness t1 of the outermost dielectric layer 1a is made smaller than the thickness tM of the margin region M, if the dimensions in the height direction of the multilayer ceramic capacitor are made the same, the number of stacked internal electrodes can be increased, and the resistance The capacity of the multilayer ceramic capacitor can be increased while ensuring reliability such as impact properties.

この実施形態では、積層セラミックコンデンサ50として、
(a)外部電極を含めた寸法が、長さ(L):1.0mm、幅(W):0.5mm、高さ(T):0.5mmの積層セラミックコンデンサと、
(b)外部電極を含めた寸法が、長さ(L):0.6mm、幅(W):0.3mm、高さ(T):0.3mmの積層セラミックコンデンサと、
(c)外部電極を含めた寸法が、長さ(L):0.4mm、幅(W):0.2mm、高さ(T):0.2mmの積層セラミックコンデンサと
を作製した。
In this embodiment, as the multilayer ceramic capacitor 50,
(A) Multi-layer ceramic capacitor having dimensions including an external electrode: length (L): 1.0 mm, width (W): 0.5 mm, height (T): 0.5 mm;
(B) Multi-layer ceramic capacitors having dimensions including the external electrode, the length (L): 0.6 mm, the width (W): 0.3 mm, and the height (T): 0.3 mm;
(C) A monolithic ceramic capacitor having dimensions including the external electrode of length (L): 0.4 mm, width (W): 0.2 mm, and height (T): 0.2 mm was produced.

ただし、本発明は上述のような寸法の積層セラミックコンデンサに限られるものではなく、異なる寸法の積層セラミックコンデンサにも適用することが可能である。   However, the present invention is not limited to the monolithic ceramic capacitor having the dimensions as described above, and can be applied to monolithic ceramic capacitors having different dimensions.

次に、この積層セラミックコンデンサ50の製造方法について説明する。
まず、BaTiO3もしくはCaZrO3を主成分とする誘電体セラミック粉末にバインダーと溶剤を配合して分散させたセラミック原料スラリーを、PETフィルムなどの樹脂フィルム上に薄く伸ばしてシート状に成形することにより、セラミックグリーンシートを作製する。
Next, a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 50 will be described.
First, a ceramic raw material slurry in which a binder and a solvent are mixed and dispersed in a dielectric ceramic powder mainly composed of BaTiO 3 or CaZrO 3 is thinly stretched on a resin film such as a PET film and formed into a sheet shape. A ceramic green sheet is prepared.

それから、セラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷、グラビア印刷などの方法を用いて、導電ペーストを印刷し、内部電極パターンを形成する。   Then, a conductive paste is printed on the ceramic green sheet using a method such as screen printing or gravure printing to form an internal electrode pattern.

それから、内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートと、内部電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシート(外層用セラミックグリーンシート)を、所定の順序で、所定枚数積み重ねる。   Then, a predetermined number of ceramic green sheets on which internal electrode patterns are formed and ceramic green sheets on which no internal electrode patterns are formed (ceramic green sheets for outer layers) are stacked in a predetermined order.

そして、得られた積層ブロックを、プレスして、各セラミックグリーンシートを圧着する。積層ブロックをプレスするにあたっては、例えば、圧着ブロックを樹脂フィルムで挟み、静水圧プレスなどの方法によりプレスを行う。   And the obtained laminated block is pressed and each ceramic green sheet is crimped | bonded. In pressing the laminated block, for example, the pressure-bonding block is sandwiched between resin films and pressed by a method such as isostatic pressing.

その後、プレスされた積層圧着体を、押切り、切削などの方法を用いて、直方体形状のチップ(個片)に分割し、バレル研磨を行う。   Thereafter, the pressed laminated pressure-bonded body is divided into rectangular parallelepiped-shaped chips (pieces) using a method such as pressing and cutting, and barrel polishing is performed.

バレル研磨を行ったチップ(焼成後にセラミック素体10(図1)となる個片)を、所定の温度に加熱してバインダーを除去した後、例えば、900〜1000℃で本焼成を行い、直方体形状のセラミック素体を得る。   The barrel-polished chip (the piece that becomes the ceramic body 10 (FIG. 1) after firing) is heated to a predetermined temperature to remove the binder, and then fired at, for example, 900 to 1000 ° C. to obtain a rectangular parallelepiped. A shaped ceramic body is obtained.

なお、本発明の積層セラミックコンデンサの場合、セラミックグリーンシートとして、例えば、内部電極パターンと同時に焼成する(コファイアーする)ことが可能で、かつ、Siを含むセラミックグリーンシートを用い、コファイアーの工程で、Siをマージン領域Mに偏析させることにより、マージン領域Mにおける誘電体セラミック中のSi含有率を、他の領域よりも高くなるように構成することができる。   In the case of the multilayer ceramic capacitor of the present invention, for example, the ceramic green sheet can be fired (cofired) simultaneously with the internal electrode pattern, and a ceramic green sheet containing Si is used to perform the cofire process. Thus, by segregating Si into the margin region M, the Si content in the dielectric ceramic in the margin region M can be configured to be higher than in other regions.

また、マージン領域Mにおける誘電体セラミック中のSi含有率を、他の領域よりも高くする他の方法としては、セラミックグリーンシートのマージン領域となる部分に、Si含有セラミックスラリーを塗布する方法などを用いることも可能である。   In addition, as another method for increasing the Si content in the dielectric ceramic in the margin region M as compared with other regions, a method of applying a Si-containing ceramic slurry to a portion that becomes a margin region of the ceramic green sheet, etc. It is also possible to use it.

また、最外誘電体層における誘電体セラミック中のSi含有率を高くする方法としても、マージン領域Mにおける誘電体セラミック中のSi含有率を高くする場合と同様に、Siを偏析させる方法、Si成分を別途添加する方法などを用いることができる。   Further, as a method of increasing the Si content in the dielectric ceramic in the outermost dielectric layer, as in the case of increasing the Si content in the dielectric ceramic in the margin region M, a method of segregating Si, Si A method of adding components separately can be used.

それから、このセラミック素体の他方端面側を保持し、Cu粉末やNi粉末を導電成分とする導電ペーストを定盤上に塗布することにより形成した導電ペースト層に、セラミック素体の一方端面を浸漬することで、セラミック素体の一方端面に、導電ペーストを塗布し、乾燥する。   Then, the other end face side of the ceramic body is held, and one end face of the ceramic body is immersed in a conductive paste layer formed by applying a conductive paste containing Cu powder or Ni powder on the surface plate. Thus, the conductive paste is applied to one end surface of the ceramic body and dried.

次に、セラミック素体の他方端面についても、同様の方法で、導電ペーストを塗布し、乾燥する。   Next, a conductive paste is applied and dried on the other end face of the ceramic body in the same manner.

それから、上述のようにして付与したセラミック素体の一方端部および他方端部の導電ペーストを焼き付けることにより、焼結金属層を形成する。   Then, a sintered metal layer is formed by baking the conductive paste at one end and the other end of the ceramic body applied as described above.

その後、焼結金属層上に、NiめっきおよびSnめっきの順でめっきを行い、Niめっき層およびSnめっき層を形成する。
これにより、図1および2に示すような構造を備えた本発明の実施形態にかかる積層セラミックコンデンサ50が得られる。
Thereafter, Ni plating and Sn plating are performed in this order on the sintered metal layer to form a Ni plating layer and a Sn plating layer.
Thereby, the multilayer ceramic capacitor 50 according to the embodiment of the present invention having the structure as shown in FIGS. 1 and 2 is obtained.

<試験>
本発明の効果を確認するため、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率を他の領域よりも高くするとともに、表1に示すように、マージン領域におけるSi含有率を異ならせた試料番号1〜5の積層セラミックコンデンサ(試料)を作製した。
<Test>
In order to confirm the effect of the present invention, Sample No. 1 in which the Si content in the dielectric ceramic in the margin region was made higher than the other regions, and as shown in Table 1, the Si content in the margin region was varied. -5 multilayer ceramic capacitors (samples) were produced.

なお、積層セラミックコンデンサとしては、外部電極を含めた寸法が、長さ(L):0.6mm、幅(W):0.3mm、高さ(T):0.3mmのものを作製した。   In addition, as a multilayer ceramic capacitor, the dimension including an external electrode was produced with length (L): 0.6 mm, width (W): 0.3 mm, and height (T): 0.3 mm.

そして、これらの積層セラミックコンデンサをステージに固定し、5.0gの重りを、高さ方向に20mm離れた位置から落下させ、割れおよび欠けの発生した試料の数を調べた。なお、試料数は10個とした。その結果を表1に示す。   Then, these multilayer ceramic capacitors were fixed to the stage, a 5.0 g weight was dropped from a position 20 mm away in the height direction, and the number of samples in which cracks and chips occurred was examined. The number of samples was 10. The results are shown in Table 1.

Figure 2015029158
Figure 2015029158

表1に示すように、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率を10〜24%とした試料番号2〜4の試料の場合、それぞれ10個の試料のいずれにおいても割れおよび欠けの発生は認められなかった。   As shown in Table 1, in the case of Sample Nos. 2 to 4 where the Si content in the dielectric ceramic in the margin region is 10 to 24%, the occurrence of cracks and chips in any of the 10 samples. I was not able to admit.

一方、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率を8%とした試料番号1の試料の場合、および、誘電体セラミック中のSi含有率を30%とした試料番号5の試料の場合、10個の試料中、2個の試料において、割れおよび欠けの発生が認められた。   On the other hand, in the case of the sample No. 1 in which the Si content in the dielectric ceramic in the margin region is 8%, and in the case of the sample No. 5 in which the Si content in the dielectric ceramic is 30%, 10 Of the two samples, cracks and chipping were observed in two samples.

なお、試料番号2〜4の試料については、積層セラミックコンデンサを第1または第2の端面側から、長さ方向の中央部まで研磨して露出させた露出面について、WDXにより分析し、シリコン含有率が設計どおりになっていることを確認した。   In addition, about the sample of sample numbers 2-4, it analyzed by WDX about the exposed surface which grind | polished and exposed the multilayer ceramic capacitor from the 1st or 2nd end surface side to the center part of a length direction, and contains silicon It was confirmed that the rate was as designed.

以上の結果より、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率を、他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高くするとともに、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率を10〜24%の範囲とすることにより、外部からの衝撃に対する耐性が高く、割れや欠けの発生を抑制することが可能で、かつ、割れや欠けの生じた部分からの水分の浸入がなく、耐湿性にも優れた信頼性の高い積層セラミックコンデンサが得られることが確認された。   From the above results, the Si content in the dielectric ceramic in the margin region is made higher than the Si content in the dielectric ceramic in the other regions, and the Si content in the dielectric ceramic in the margin region is 10 to 10. By setting the range to 24%, resistance to external impact is high, generation of cracks and chips can be suppressed, moisture does not enter from the cracked or chipped part, and moisture resistance is achieved. It was confirmed that an excellent and reliable multilayer ceramic capacitor was obtained.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various application and deformation | transformation are possible within the scope of the invention.

1 誘電体層
1a 最外層誘電体
2(2a,2b) 内部電極
2xa,2xb 内部電極の幅方向端部
5(5a,5b) 外部電極
6(6a、6b) 補助電極
10 セラミック素体
11a セラミック素体の第1の主面
11b セラミック素体の第2の主面
12(12a,12b) 焼結金属層
20 内部電極の厚み増大部
21a セラミック素体の第1の端面
21b セラミック素体の第2の端面
31a セラミック素体の第1の側面
31b セラミック素体の第2の側面
32(32a,32b) めっき層
33(33a,33b) Niめっき層
34(34a,34b) Snめっき層
50 積層セラミックコンデンサ
L 積層セラミックコンデンサの長さ
T 積層セラミックコンデンサの高さ
W 積層セラミックコンデンサの幅
M マージン領域
t1 最外誘電体層
tM マージン領域の厚み
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dielectric layer 1a Outermost layer dielectric 2 (2a, 2b) Internal electrode 2xa, 2xb End part of width of internal electrode 5 (5a, 5b) External electrode 6 (6a, 6b) Auxiliary electrode 10 Ceramic element body 11a Ceramic element First main surface of body 11b Second main surface of ceramic body 12 (12a, 12b) Sintered metal layer 20 Internal electrode thickness increasing portion 21a First end surface of ceramic body 21b Second of ceramic body End surface 31a First side surface 31b of ceramic body 32b Second side surface of ceramic body 32 (32a, 32b) Plating layer 33 (33a, 33b) Ni plating layer 34 (34a, 34b) Sn plating layer 50 Multilayer ceramic capacitor L Length of multilayer ceramic capacitor T Height of multilayer ceramic capacitor W Width of multilayer ceramic capacitor M Margin area t1 Outermost dielectric layer tM Margin area thickness

Claims (3)

誘電体セラミックからなる誘電体層と、前記前記誘電体層を介して積層され、前記誘電体層間の複数の界面に位置する複数の内部電極とを備えたセラミック素体であって、第1の主面および前記第1の主面と対向する第2の主面と、前記第1の主面に直交する第1の端面および前記第1の端面と対向する第2の端面と、前記第1の端面に直交する第1の側面および前記第1の側面と対向する第2の側面とを備える直方体形状を有し、前記第1の主面から前記第2の主面に向かう方向が前記誘電体層および前記内部電極の積層方向となり、かつ、前記複数の内部電極が交互に前記第1の端面および第2の端面に引き出されたセラミック素体と、
前記セラミック素体に、前記第1の端面および第2の端面に引き出された前記内部電極と導通するように配設された一対の外部電極と
を備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記セラミック素体を前記第1または第2の端面側からみた場合における、前記複数の内部電極と、前記内部電極間に介在する前記誘電体層とにより形成される積層部と、前記セラミック素体の前記第1および第2の側面との間に位置する、マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率が、他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高く、かつ、
前記マージン領域における誘電体セラミック中のSi含有率が10〜24%の範囲にあること
を特徴とする積層セラミックコンデンサ。
A ceramic body comprising: a dielectric layer made of a dielectric ceramic; and a plurality of internal electrodes stacked via the dielectric layer and positioned at a plurality of interfaces between the dielectric layers, A main surface and a second main surface opposite to the first main surface; a first end surface orthogonal to the first main surface; a second end surface opposite to the first end surface; and the first A rectangular parallelepiped shape including a first side surface orthogonal to the end surface of the first side surface and a second side surface facing the first side surface, and a direction from the first main surface toward the second main surface is the dielectric. A ceramic body in which the body layers and the internal electrodes are stacked, and the plurality of internal electrodes are alternately drawn to the first end face and the second end face;
A multilayer ceramic capacitor comprising a pair of external electrodes disposed on the ceramic body so as to be electrically connected to the internal electrodes drawn out to the first end surface and the second end surface;
A laminate formed by the plurality of internal electrodes and the dielectric layer interposed between the internal electrodes when the ceramic body is viewed from the first or second end face side, and the ceramic body And the Si content in the dielectric ceramic in the margin region located between the first and second side surfaces is higher than the Si content in the dielectric ceramic in the other regions, and
A multilayer ceramic capacitor, wherein a Si content in the dielectric ceramic in the margin region is in a range of 10 to 24%.
前記複数の内部電極のうち、前記積層方向において最も外側に位置する内部電極より外側に位置する最外誘電体層においても、誘電体セラミック中のSi含有率を、前記マージン領域を除いた他の領域における誘電体セラミック中のSi含有率よりも高くしたことを特徴とする請求項1記載の積層セラミックコンデンサ。   Among the plurality of internal electrodes, even in the outermost dielectric layer located outside the internal electrode located on the outermost side in the stacking direction, the Si content in the dielectric ceramic other than the margin region 2. The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the content is higher than the Si content in the dielectric ceramic in the region. 前記最外誘電体層の厚みを、前記内部電極の幅方向端部から、前記幅方向端部と対向する前記セラミック素体の前記第1または第2の側面までの距離である、前記マージン領域の厚みより薄くしたことを特徴とする請求項1または2記載の積層セラミックコンデンサ。   The margin region, wherein the thickness of the outermost dielectric layer is a distance from the widthwise end of the internal electrode to the first or second side surface of the ceramic body facing the widthwise end. 3. The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the thickness is less than the thickness of the multilayer ceramic capacitor.
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