JP2015059861A - Hardened layer inspection method and inspection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート状の金属板の表面に形成された硬化層を検査する技術に関する。 The present invention relates to a technique for inspecting a hardened layer formed on the surface of a sheet-like metal plate.
従来、シート状の金属板の表面に硬化層(例えば、窒化層)が均一の厚みで形成されているか否かを検査する技術が広く知られている。 Conventionally, a technique for inspecting whether a hardened layer (for example, a nitride layer) is formed on a surface of a sheet-like metal plate with a uniform thickness is widely known.
例えば、特許文献1には、無段変速機に用いられるリングの表面に、窒化層が均一の厚みで形成されているか否かを検査する技術が開示されている。
特許文献1に開示された技術によれば、リングに対して窒化処理の後に酸化処理を行う工程を付加し、窒化処理が適切に行われた部分と、そうでない部分とを、互いに異なる色に変化させることにより、色の相違によって窒化層が均一の厚みで形成されているか否かの判定を可能としている。
For example, Patent Document 1 discloses a technique for inspecting whether or not a nitride layer is formed with a uniform thickness on the surface of a ring used in a continuously variable transmission.
According to the technique disclosed in Patent Document 1, a process of performing an oxidation process after a nitriding process is added to the ring, and a part where the nitriding process is appropriately performed and a part where the nitriding process is not performed are made different from each other. By changing, it is possible to determine whether or not the nitride layer is formed with a uniform thickness due to the difference in color.
しかしながら、特許文献1に開示された技術においては、酸化処理によってリングが熱変形するおそれがある。また、色の相違によって窒化処理の良否判定を行うため、作業者によって異なる判定がなされるおそれがある。 However, in the technique disclosed in Patent Document 1, the ring may be thermally deformed by the oxidation treatment. In addition, since the quality of the nitriding process is determined based on the difference in color, there is a possibility that different determinations may be made depending on the operator.
本発明は、シート状の金属板を変形および損傷させることなく、当該金属板の表面に硬化層が均一の厚みで形成されているか否かを精度良く検査可能な技術を提供することを課題とする。 It is an object of the present invention to provide a technique capable of accurately inspecting whether a hardened layer is formed with a uniform thickness on the surface of the metal plate without deforming and damaging the sheet-like metal plate. To do.
本発明に係る検査方法は、シート状の金属板の表面に形成された硬化層の検査を行う検査方法であって、前記金属板に弾性限界以下の外力を付与しつつ、前記金属板を長手方向に沿って移動させる工程と、前記金属板の長手方向および短手方向に対して傾斜した直線状の光の筋が前記金属板の表面に現れるように、前記金属板の表面に向けて光を照射する工程と、前記光の筋に歪みが生じていない場合には、前記金属板における前記光の筋が位置する部分に、前記硬化層の厚みが不足した不良部分が存在しないと判定し、前記光の筋に歪みが生じている場合には、前記金属板における前記光の筋が歪んだ位置に、前記硬化層の厚みが不足した不良部分が存在すると判定する工程と、を含む。 An inspection method according to the present invention is an inspection method for inspecting a hardened layer formed on a surface of a sheet-like metal plate, and the metal plate is elongated while applying an external force below an elastic limit to the metal plate. And moving toward the surface of the metal plate so that linear light streaks inclined with respect to the longitudinal direction and the short-side direction of the metal plate appear on the surface of the metal plate. And when the light streak is not distorted, it is determined that there is no defective portion where the thickness of the hardened layer is insufficient in the portion where the light streak is located on the metal plate. Determining that there is a defective portion with insufficient thickness of the hardened layer at the position where the light streaks are distorted in the metal plate when the light streaks are distorted.
本発明に係る検査装置は、シート状の金属板の表面に形成された硬化層の検査を行う検査装置であって、前記金属板に弾性限界以下の外力を付与しつつ、前記金属板を長手方向に沿って移動させる複数のローラと、前記金属板の長手方向および短手方向に対して傾斜した直線状の光の筋が前記金属板の表面に現れるように、前記金属板の表面に向けて光を照射する光源と、前記金属板の表面における前記光源によって照らされた部分を撮像し、前記光の筋を含む画像を取得する撮像装置と、前記画像において、前記光の筋に歪みが生じていない場合には、前記金属板における前記光の筋が位置する部分に、前記硬化層の厚みが不足した不良部分が存在しないと判定し、前記光の筋に歪みが生じている場合には、前記金属板における前記光の筋が歪んだ位置に、前記硬化層の厚みが不足した不良部分が存在すると判定する解析装置と、を具備する。 An inspection apparatus according to the present invention is an inspection apparatus that inspects a hardened layer formed on a surface of a sheet-like metal plate, and applies the external force below the elastic limit to the metal plate while extending the metal plate in a longitudinal direction. A plurality of rollers that move along the direction and linear light streaks inclined with respect to the longitudinal direction and the short side direction of the metal plate so as to appear on the surface of the metal plate. A light source that emits light, an imaging device that captures an image of a portion of the surface of the metal plate that is illuminated by the light source, and acquires an image including the light streaks; In the case where it does not occur, it is determined that there is no defective portion where the thickness of the hardened layer is insufficient in the portion where the light streak is located in the metal plate, and the light streak is distorted Is the streak of light in the metal plate The distorted position, anda determining analyzer defective portion thickness is insufficient for the cured layer is present.
本発明によれば、シート状の金属板を変形および損傷させることなく、当該金属板の表面に硬化層が均一の厚みで形成されているか否かを精度良く検査できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can test | inspect accurately whether the hardening layer is formed in the surface of the said metal plate with uniform thickness, without deform | transforming and damaging a sheet-like metal plate.
以下では、図面を参照して、本発明に係る検査装置の一実施形態である検査装置1について説明する。
検査装置1は、リングRの表面に硬化層Raが均一の厚みで形成されているか否かを検査する装置である。
リングRは、本発明に係るシート状の金属板の一実施形態であり、無段変速機に用いられる環状の金属板である。リングRは、硬化層Raと、母材Rbとを有する(図4参照)。
硬化層Raは、リングRの強度等を向上させるための層である。硬化層Raとしては、例えば、窒化処理によって形成される窒化層が挙げられる。硬化層Raは、母材Rbの表面を覆うように形成されている。
母材Rbは、リングRにおける硬化層Ra以外の部分である。
Below, with reference to drawings, inspection device 1 which is one embodiment of the inspection device concerning the present invention is explained.
The inspection apparatus 1 is an apparatus that inspects whether or not the cured layer Ra is formed on the surface of the ring R with a uniform thickness.
The ring R is an embodiment of a sheet-like metal plate according to the present invention, and is an annular metal plate used for a continuously variable transmission. The ring R has a hardened layer Ra and a base material Rb (see FIG. 4).
The hardened layer Ra is a layer for improving the strength of the ring R and the like. Examples of the hardened layer Ra include a nitride layer formed by nitriding treatment. The hardened layer Ra is formed so as to cover the surface of the base material Rb.
The base material Rb is a part other than the hardened layer Ra in the ring R.
図1に示すように、検査装置1は、一対のローラ10・10と、ローラ制御装置20と、光源30と、撮像装置40と、解析装置50とを具備する。
As shown in FIG. 1, the inspection device 1 includes a pair of
ローラ10は、円柱状に形成され、軸心回りに回転可能に構成されている。本実施形態においては、二つのローラ10・10が設けられている。
一対のローラ10・10は、互いに所定の間隔を空けて配置されている。一対のローラ10・10は、それらの外周面が、リングRの内周面に接触した状態でリングRを支持し、互いに同方向(図1における黒塗り矢印参照)に回転することによって、リングRを一定の位置において回転させる。換言すれば、リングRは、一対のローラ10・10に巻回されており、リングRの長手方向に沿って、一対のローラ10・10により回転される。
The
The pair of
ローラ制御装置20は、一対のローラ10・10と電気的に接続され、それらを制御する。
ローラ制御装置20は、一対のローラ10・10を所定の回転速度で回転可能に構成されている。
また、ローラ制御装置20は、一対のローラ10・10を、互いに近接および離間する方向に移動可能に構成されている。ローラ制御装置20は、リングRが巻回された一対のローラ10・10を、互いに近接する方向に移動させることにより、リングRに付与する外力(リングRに生じる張力)を減少させ、互いに離間する方向に移動させることにより、リングRに付与する外力(リングRに生じる張力)を増加させる。
ローラ制御装置20は、リングRの検査が行われる際、一対のローラ10・10の位置を、リングRに弾性限界以下の外力が付与されるような位置に設定する。
The
The
In addition, the
When the inspection of the ring R is performed, the
図1および図2に示すように、光源30は、所定の方向に延出するライン状の光源であり、リングRの直線部分(一対のローラ10・10に沿って湾曲していない部分)の外周面に向けて光を照射する。
光源30は、その延出方向が、リングRの長手方向(図2における上下方向)および短手方向(図2における左右方向)に対して傾斜するように配置されている。
そのため、図3(a)に示すように、光源30から照射された光がリングRの外周面にて反射し、リングRの長手方向(図3(a)における上下方向)および短手方向(図3(a)における左右方向)に対して傾斜した直線状の光の筋Lが、リングRの外周面に現れる。なお、光源30は、光の筋LがリングRの短手方向における両端にわたって延出するように配置される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
The
Therefore, as shown in FIG. 3A, the light emitted from the
図1に示すように、撮像装置40は、リングRの外周面における光源30によって照らされた部分、つまり、リングRの外周面における光の筋L(図3(a)参照)が現れた部分、を撮像し、光の筋Lの全体像を含む画像を取得する。
一対のローラ10・10の回転に伴ってリングRが回転するため、リングRの外周面における光源30によって照らされた部分を撮像装置40によって連続的または断続的に撮像することにより、リングRの外周面全域を示す複数の画像が取得されることとなる。
As shown in FIG. 1, the
Since the ring R rotates with the rotation of the pair of
解析装置50は、撮像装置40と電気的に接続され、撮像装置40が取得した画像を解析することによって、リングRの表面に硬化層Raが均一の厚みで形成されているか否かを判定する。
The
図3(a)に示すように、リングRにおける光源30によって照らされた部分において、硬化層Raが均一の厚みで形成されている場合には、光の筋Lの形状が直線状のまま変化することはない。
一方、図3(b)に示すように、リングRにおける光源30によって照らされた部分において、硬化層Raが均一の厚みで形成されていない場合には、光の筋Lの形状が変化する。詳細には、リングRにおける光源30によって照らされた部分において、硬化層Raの厚みが不足した(硬化層Raが他の部分と比べて薄い、または硬化層Raが全く形成されていない)不良部分が存在する場合には、当該不良部分にて光の筋Lが歪む。
なお、図3(b)は、リングRにおける光源30によって照らされた部分の中央に、不良部分が存在している場合を示している。
As shown in FIG. 3A, in the portion illuminated by the
On the other hand, as shown in FIG. 3B, in the portion illuminated by the
FIG. 3B shows a case where a defective portion exists in the center of the portion illuminated by the
リングRの不良部分にて光の筋Lが歪む仕組みについて説明する。
図4(a)に示すように、リングRに不良部分が存在しない場合、つまり硬化層RaがリングRの表面(外周面および内周面)に均一の厚みで形成されている場合には、ローラ制御装置20が一対のローラ10・10を所定の位置に移動させることによって、リングRに外力を付与した際、リングRにおける内周面側の部分には、リングRが伸びる方向の応力が生じ、リングRにおける外周面側の部分には、リングRが縮む方向の応力が生じて、リングRが均一に弾性変形する。
一方、図4(b)に示すように、表面(外周面および内周面)に硬化層Raが形成されたリングRに不良部分が存在する場合には、ローラ制御装置20が一対のローラ10・10を所定の位置に移動させることによって、リングRに外力を付与した際、リングRに不良部分が存在しない場合と同様に、リングRにおける内周面側の部分には、リングRが伸びる方向の応力が生じ、リングRにおける外周面側の部分には、リングRが縮む方向の応力が生じるが、不良部分に応力が集中し、リングRが不均一に弾性変形する。つまり、リングRにおいて、硬化層Raと母材Rbとは互いに弾性率が異なるため、硬化層Raの厚みが他の部分と異なる不良部分は、他の部分と異なる弾性変形をするのである。
なお、図4(b)は、リングRの外周面に硬化層Raが全く形成されていない不良部分が存在する場合を示している。
A mechanism in which the light streak L is distorted at the defective portion of the ring R will be described.
As shown in FIG. 4A, when there is no defective portion in the ring R, that is, when the hardened layer Ra is formed with a uniform thickness on the surface (outer peripheral surface and inner peripheral surface) of the ring R, When the
On the other hand, as shown in FIG. 4B, when there is a defective portion in the ring R on which the hardened layer Ra is formed on the surface (outer peripheral surface and inner peripheral surface), the
FIG. 4B shows a case where there is a defective portion where no hardened layer Ra is formed on the outer peripheral surface of the ring R.
上記のように、リングRの不良部分は、他の部分とは異なる弾性変形をするため、光源30によってリングRの外周面が照らされた際、光源30からの光が不良部分にて、他の部分とは異なる態様で反射する。その結果、光の筋Lが不良部分にて歪むのである。
ただし、光の筋LがリングRの短手方向に沿って延出するように光源30を配置した場合には、光源30からの光が不良部分にて反射しても光の筋Lに歪みが生じないため、光の筋Lが短手方向に対して傾斜するように光源30を配置する必要がある。
また、光の筋LがリングRの長手方向に沿って延出するように光源30を配置した場合には、リングRの回転に伴ってリングRの外周面全域を光源30によって照らすことができないため、光の筋Lが長手方向に対して傾斜するように、換言すれば、光の筋LがリングRの短手方向における両端にわたって延出するように、光源30を配置する必要がある。
As described above, the defective portion of the ring R undergoes elastic deformation different from that of the other portions. Therefore, when the outer peripheral surface of the ring R is illuminated by the
However, when the
Further, when the
解析装置50は、撮像装置40が取得した画像に対して、所定の画像処理(例えば、二値化、およびエッジ検出)を行い、当該画像における光の筋Lの歪みを検出した場合には、リングRにおける光の筋Lが歪んだ位置に不良部分が存在していると判定する。
さらに、解析装置50は、光の筋Lの歪みを検出した場合、当該歪みの形状および大きさに基づいて、不良部分の大きさを算出する。
When the
Further, when the distortion of the light streak L is detected, the
以上のように構成された検査装置1は、以下の工程を行うことによって、リングRの表面に硬化層Raが均一の厚みで形成されているか否かを検査する。
まず、ローラ制御装置20が、一対のローラ10・10を、リングRに弾性限界以下の外力が付与されるような位置に移動させ、互いに同方向に回転させることによってリングRを回転させる。
次に、光源30が、リングRの長手方向および短手方向に対して傾斜した直線状の光の筋LがリングRの外周面に現れるように、リングRの外周面に向けて光を照射する。
そして、撮像装置40が、リングRの外周面における光の筋Lが現れた部分を複数回撮像し、光の筋Lの全体像を含む画像を複数個取得する。
最後に、解析装置50が、撮像装置40が取得した各画像に対して、所定の画像処理を行い、光の筋Lの歪みを検出した場合には、リングRにおける光の筋Lが歪んだ位置に不良部分が存在していると判定する。
The inspection apparatus 1 configured as described above inspects whether or not the cured layer Ra is formed on the surface of the ring R with a uniform thickness by performing the following steps.
First, the
Next, the
Then, the
Finally, when the
このように、検査装置1は、リングRの外周面の状態から直接的に不良部分を検出することなく、リングRの外周面に現れた光の筋Lの形状に基づいて不良部分を検出するため、ロバスト性に優れる点で有利である。
さらに、リングRの外周面に付着した汚れでは、光の筋Lの形状が変化しないため、リングRの不良部分以外を検出するといった誤検出を抑制できる点で有利である。
つまり、検査装置1によれば、リングRの表面に硬化層Raが均一の厚みで形成されているか否かを精度良く検査できる。
As described above, the inspection apparatus 1 detects a defective portion based on the shape of the light streaks L appearing on the outer peripheral surface of the ring R without directly detecting the defective portion from the state of the outer peripheral surface of the ring R. Therefore, it is advantageous in terms of excellent robustness.
Furthermore, since dirt adhering to the outer peripheral surface of the ring R does not change the shape of the light streaks L, it is advantageous in that it can suppress erroneous detection such as detecting a portion other than the defective portion of the ring R.
That is, according to the inspection apparatus 1, it is possible to accurately inspect whether or not the cured layer Ra is formed on the surface of the ring R with a uniform thickness.
また、検査装置1によってリングRを検査する際、リングRに付与される外力は、弾性限界以下であるため、リングRが変形および損傷することがない。つまり、検査装置1によるリングRの検査は、非破壊検査であるため、リングRを検査後に製品として出荷することが可能である。そのため、検査に用いたリングRを廃棄する必要がなく、リングRの検査に要するコストを低減できる。
また、検査装置1においては、一対のローラ10・10にリングRが巻回され、ローラ制御装置20によって一対のローラ10・10を移動させることにより、リングRに外力を付与しているため、種々のサイズのリングRに対応可能である。
In addition, when the inspection device 1 inspects the ring R, the external force applied to the ring R is equal to or less than the elastic limit, so that the ring R is not deformed or damaged. That is, since the inspection of the ring R by the inspection device 1 is a nondestructive inspection, the ring R can be shipped as a product after the inspection. Therefore, it is not necessary to discard the ring R used for the inspection, and the cost required for the inspection of the ring R can be reduced.
Further, in the inspection device 1, since the ring R is wound around the pair of
なお、本実施形態においては、検査装置1によって環状のリングRの検査を行ったが、本発明によれば、光源から照射される光を反射し、外周面に光の筋が現れるような金属板であれば、あらゆるシート状の金属板の検査を行うことが可能である。
例えば、所定の方向に延出するシート状の金属板を検査する場合には、当該金属板を複数のローラによって外力を付与しながら搬送して、検査装置1と同様に、金属板の外周面に現れる光の筋の形状に基づいて、金属板の不良部分を検出すればよい。
In the present embodiment, the annular ring R is inspected by the inspection device 1. However, according to the present invention, the metal that reflects the light emitted from the light source and appears as a light streak on the outer peripheral surface. Any sheet metal plate can be inspected as long as it is a plate.
For example, when inspecting a sheet-like metal plate extending in a predetermined direction, the metal plate is conveyed while applying an external force by a plurality of rollers, and the outer peripheral surface of the metal plate is the same as the inspection device 1. The defective portion of the metal plate may be detected based on the shape of the streaks of light appearing on the surface.
また、本実施形態においては、撮像装置40および解析装置50を用いて、リングRの不良部分の有無を判定しているが、撮像装置40および解析装置50を用いずに、作業者が目視によって光の筋Lの歪みを確認することにより、リングRの不良部分の有無を判定することも可能である。
In the present embodiment, the
1 検査装置
10 ローラ
20 ローラ制御装置
30 光源
40 撮像装置
50 解析装置
R リング(金属板)
Ra 硬化層
Rb 母材
L 光の筋
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Ra Hardened layer Rb Base material L Light streaks
Claims (2)
前記金属板に弾性限界以下の外力を付与しつつ、前記金属板を長手方向に沿って移動させる工程と、
前記金属板の長手方向および短手方向に対して傾斜した直線状の光の筋が前記金属板の表面に現れるように、前記金属板の表面に向けて光を照射する工程と、
前記光の筋に歪みが生じていない場合には、前記金属板における前記光の筋が位置する部分に、前記硬化層の厚みが不足した不良部分が存在しないと判定し、前記光の筋に歪みが生じている場合には、前記金属板における前記光の筋が歪んだ位置に、前記硬化層の厚みが不足した不良部分が存在すると判定する工程と、を含む、
ことを特徴とする検査方法。 An inspection method for inspecting a cured layer formed on the surface of a sheet-like metal plate,
A step of moving the metal plate along the longitudinal direction while applying an external force below the elastic limit to the metal plate;
Irradiating light toward the surface of the metal plate such that linear light streaks inclined with respect to the longitudinal direction and the short direction of the metal plate appear on the surface of the metal plate;
When the light streak is not distorted, it is determined that there is no defective portion with insufficient thickness of the hardened layer in the portion of the metal plate where the light streak is located. Determining that there is a defective part with insufficient thickness of the hardened layer at a position where the streaks of light in the metal plate are distorted when distortion occurs.
Inspection method characterized by that.
前記金属板に弾性限界以下の外力を付与しつつ、前記金属板を長手方向に沿って移動させる複数のローラと、
前記金属板の長手方向および短手方向に対して傾斜した直線状の光の筋が前記金属板の表面に現れるように、前記金属板の表面に向けて光を照射する光源と、
前記金属板の表面における前記光源によって照らされた部分を撮像し、前記光の筋を含む画像を取得する撮像装置と、
前記画像において、前記光の筋に歪みが生じていない場合には、前記金属板における前記光の筋が位置する部分に、前記硬化層の厚みが不足した不良部分が存在しないと判定し、前記光の筋に歪みが生じている場合には、前記金属板における前記光の筋が歪んだ位置に、前記硬化層の厚みが不足した不良部分が存在すると判定する解析装置と、を具備する、
ことを特徴とする検査装置。 An inspection device for inspecting a hardened layer formed on the surface of a sheet-like metal plate,
A plurality of rollers for moving the metal plate along the longitudinal direction while applying an external force below the elastic limit to the metal plate;
A light source that emits light toward the surface of the metal plate such that linear light streaks inclined with respect to the longitudinal direction and the short direction of the metal plate appear on the surface of the metal plate;
An imaging device that captures an image of a portion of the surface of the metal plate illuminated by the light source and acquires an image including the light streaks;
In the image, when the light streak is not distorted, it is determined that there is no defective part in which the thickness of the hardened layer is insufficient in the part where the light streak is located in the metal plate, An analysis device that determines that there is a defective portion with insufficient thickness of the hardened layer at a position where the light streak in the metal plate is distorted when the light streak is distorted,
Inspection apparatus characterized by that.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022024563A (en) * | 2020-07-28 | 2022-02-09 | 日立建機株式会社 | Method, device, and system for inspecting surface |
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2013
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022024563A (en) * | 2020-07-28 | 2022-02-09 | 日立建機株式会社 | Method, device, and system for inspecting surface |
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