JP2014197034A - 検査装置の診断及び測定変数設定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査装置の診断及び測定変数設定方法を提供する。
【解決手段】検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置のカメラを介して取得された撮影イメージの明るさと画素数とを軸としたヒストグラムの幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階と、前記ヒストグラムが明るさ軸の方向においてグラフの中央に近いように調整する過程を通じて前記検査装置の照明強度を調整する段階と、を含むことを特徴とする検査装置の照明強度の設定方法。
【選択図】図１

Description

本発明は検査装置の診断及び測定変数設定方法に関し、より詳細には光源とカメラとを使用する非接触式検査装置の現在の状態を診断し、検査基板の特性に対応される最適の測定条件を設定する方法に関する。

プリント回路基板（PCB）上に電子部品が実装された実装基板は多様な電子製品に使用されてきている。このような実装基板はベア基板のパッド領域にはんだを塗布した後、電子部品の端子をはんだ塗布領域に結合する方式で製造される。

一般的に、電子部品が実装されたプリント回路基板の信頼性を検証するために、電子部品の実装の前後においてプリント回路基板の製造がきちんと行われたかを検査する必要がある。例えば、電子部品をプリント回路基板に実装する前にプリント回路基板のパッド領域にはんだがきちんと塗布されたかを検査したり、電子部品をプリント回路基板に実装した後電子部品がきちんと実装されているかを検査したりする必要がある。

このような検査工程は検査を実行するために照明を提供する照明源と画像を撮影するためのカメラなどの構成を具備した検査プローブを含む検査装置を通じて行われる。

しかし、検査装置の長時間の使用によって検査プローブのハードウェア状態が変化して検査の信頼度が低下するという問題が発生してしまう。また、プリント回路基板製造社によって多様な色相及び反射度を有するので、同一の検査条件を通じて多様な特性のプリント回路基板を検査する場合、検査の信頼度が低下するという問題が発生してしまう。

従って、本発明の目的は、自動化されたテストプログラムを通じて検査プローブ（probe）のハードウェア状態をチェックして出荷時と比べて現在の動作状態が適切であるかを判断する検査装置の診断方法を提供することにある。

また、本発明の他の目的は検査基板の特性に応じて測定変数を自動に再設定して作業ファイル（job file）の設定時間を短縮し、検査精密度を向上させることのできる検査装置の測定変数設定方法を提供することにある。

本発明の一実施形態に係る検査装置の照明強度設定方法は、検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置のカメラを介して取得された撮影イメージの明るさと画素数とを軸としたヒストグラムの幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階と、前記ヒストグラムが明るさ軸の方向においてグラフの中央に近いように調整する過程を通じて前記検査装置の照明強度を調整する段階と、を含む。

前記検査装置の照明強度設定方法は、前記ヒストグラムの明るさ軸の方向における幅が狭くなるように調整する段階をさらに含んでいてもよい。

前記検査装置の照明強度設定方法は、前記照明強度の平均を媒介変数とする有効インデックス情報を用いて前記検査装置の照明強度を調整する段階をさらに含んでもよい。前記有効インデックス情報は視認性情報であってもよい。

前記照明強度の平均を媒介変数とする有効インデックス情報を用いて前記検査装置の照明強度を調整する段階は、前記検査装置の照明強度を変化しながら視認性情報を測定する段階と、測定された前記視認性情報において検査領域の面積に対する有効画素の比率が所定の有効値を超えるようにする照明強度を前記検査装置の照明強度に設定する段階と、を含んでいてもよい。前記検査装置の照明強度を変化しながら視認性情報を測定する段階後に、前記検査装置の照明強度設定方法は前記測定された視認性情報を用いて有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つを前記検査装置のカメラを介して可視的にあらかじめ表示する段階をさらに含んでもよい。

前記検査装置の照明は、格子パターン照明であってもよい。

前記検査装置の照明強度設定方法は、前記検査装置のカメラを介して取得した撮影イメージのヒストグラムの明るさ軸方向の幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階の前に、指定されたダーク値以下の際前記ダーク領域は第１カラーに表示され、指定されたブライト値以上の際前記ブライト領域は第２カラーに表示される段階をさらに含んでいてもよい。

本発明の他の実施形態に係る検査装置の照明強度設定方法は、検査装置内に検査基板を装着する段階と、前記検査装置の照明強度を変化しながら前記検査基板に光を照射する段階と、前記検査基板によって反射された光を前記検査装置のカメラを介して取得して前記検査基板のイメージデータを取得する段階と、前記取得された検査基板のイメージデータから前記照明強度設定のための測定データを取得する段階と、前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階と、を含む。

前記照明強度設定のための測定データは、視認性及び階調値のうち少なくとも一つを含んでいてもよい。

前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記視認性及び階調値に基づいて前記検査装置の照明強度が設定されてもよい。

前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記検査基板のイメージデータから前記測定データが所定の範囲内に入る有効画素の数がしきい値以上となる照明強度が前記検査装置の照明強度に設定されてもよい。

前記測定データに基づいて前記検査装置の照明強度を設定する段階において、前記検査基板のイメージデータから前記視認性及び前記階調値が設定された範囲内に入る有効画素の数がしきい値以上となる照明強度が前記検査装置の照明強度に設定されてもよい。

本発明の一実施形態に係る検査装置の診断方法は、検査装置内に設定ターゲットを装着する段階と、前記設定ターゲットを対象とするテストプログラムを使用して前記検査装置の照明のフォーカス状態、格子移送器具の移送状態、照明の均一性の状態及び照明の照度状態のうち少なくとも一つ以上を含む前記検査装置のハードウェア状態をチェックする段階と、チェックされた前記検査装置のハードウェア状態を使用者に表示する段階と、を含む。

前記設定ターゲットは照明のフォーカス状態をチェックするための第１領域、格子移送器具の移送状態をチェックするための第２領域、照明の均一性をチェックするための第３領域及び照明の照度状態をチェックするための第４領域のうち少なくとも一つの領域を含んでいてもよい。

前記検査装置のハードウェア状態を表示する段階においては、前記チェックされたハードウェア状態を数値化した情報及び前記チェックされたハードウェア状態と出荷時のハードウェア状態とを比較して等級化した情報のうち少なくとも一つを表示してもよい。

本発明による検査装置の診断及び測定変数設定方法によれば、自動化されたテストプログラムを使用して検査装置のハードウェアの現在状態をチェックすることで、出荷時と比べて現在の動作状態が適切であるかを判断することができる。また、多様な特性を有する検査基板に対応して最適の照明強度及び視認性基準値などの測定変数を自動に再設定することで、作業ファイルに格納される検査条件の設定時間を短縮して使用者の利便性を高め、間違った設定による測定誤謬を減少させ検査精密度を向上させることができる。

本発明の一実施形態に係る検査装置を概略的に示す図面である。 本発明の一実施形態に係る検査装置の診断方法を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る検査装置の測定設定方法を示すフローチャートである。 ヒストグラムの調整過程を示す図面である。 ヒストグラムの調整過程を示す図面である。 視認性基準値を設定する過程を示す図面である。 視認性基準値を設定する過程を示す図面である。 本発明の他の実施形態に係る検査装置の測定変数設定方法を示す流れ図である。 本発明のさらに他の実施形態に係る検査装置の測定変数設定方法を示す流れ図である。

本発明は多様な変更を加えることができ、多様な形態を有することできる。ここでは、特定の実施形態を図面に例示し本文に詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の開示形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物乃至代替物を含むこととして理解されるべきである。

第１、第２などの用語は多用な構成要素を説明するのに使用されることがあるが、前記構成要素は前記用語によって限定解釈されない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみとして使用される。例えば、本発明の権利範囲を外れることなく第１構成要素を第２構成要素ということができ、類似に第２構成要素も第１構成要素ということができる。

本出願において使用した用語は単なる特定の実施形態を説明するために使用されたもので、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は文脈上明白に示さない限り、複数の表現を含む。本出願において、「含む」または「有する」などの用語は明細書に記載された特徴、数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを意味し、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないこととして理解されるべきである。

特別に定義しない限り、技術的、科学的用語を含んでここで使用される全ての用語は本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されるのと同一の意味を有する。

一般的に使用される辞書に定義されている用語と同じ用語は関連技術の文脈上有する意味と一致する意味を有すると解釈されるべきであり、本出願で明白に定義しない限り、理想的またも過度に形式的な意味に解釈されない。

以下、図面を参照して本発明の好適な一実施形態をより詳細に説明する。

図１は本発明の一実施形態に係る検査装置を概略的に示す図面である。図１において、図面符号１５０は検査対象物、設定ターゲットまたは検査基板を示す。

図１を参照すると、本発明の一実施形態に係る検査装置１００は検査対象物１５０を支持及び移送するためのステージ１４０、検査対象物１５０にパターン照明を照射するための一つ以上の第１照明部１１０、検査対象物１５０に２次元情報の取得のための照明を照射するための第２照明部１２０及び検査対象物１５０から反射される光を受けパターンイメージ及び平面イメージを撮影する少なくとも一つのカメラ１３０を含む。

第１照明部１１０は検査対象物１５０の高さ情報、視認性（visibility）情報などの３次元情報を取得するためにパターン照明を検査対象物１５０に照射する。例えば、第１照明部１１０は光を発生する光源１１２、光源１１２からの光をパターン照明に変換する格子素子１１４、格子素子１１４をピッチ移送するための格子移送器具１１６及び格子素子１１４によって変換したパターン照明を検査対象物１５０に投影するための投影レンズ１１８を含む。格子素子１１４は位相遷移されたパターン照明を発生するためにピエゾアクチュエータ（piezo actuator：PZT）などの格子移送器具１１６を通じて２π/ｎ分ごとにｎ番移送してもよい。ここで、ｎは２以上の自然数である。このような構成を有する第１照明部１１０は検査精密度を高めるためにカメラ１３０を中心に円周方向に沿って一定の角度で離隔するように複数個設置してもよい。

第２照明部１２０は円形のリング形状で形成されステージ１４０に隣接するように設置される。第２照明部１２０は検査対象物１５０の初期アラインまたは検査領域設定などのために２次元情報を取得するための照明を検査対象物１５０に照射する。例えば、第２照明部１２０は白色光を発生する蛍光ランプを含むか、または赤色、緑色及び青色光をそれぞれ発生する赤色発光ダイオード、緑色発光ダイオード及び青色発光ダイオードを含んでもよい。

カメラ１３０は第１照明部１１０のパターン照明の照射を通じて検査対象物１５０のパターンイメージを撮影し、第２照明部１２０の２次元情報を取得するための照明の照射を通じて検査対象物１５０の平面イメージを撮影する。例えば、カメラ１３０は検査対象物１５０と垂直に上部方向に設置される。

このような構成を有する検査装置１００は第１照明部１１０及び第２照明部１２０を用いて検査対象物１５０に光を照射し、前記光によって検査対象物１５０から反射されるイメージをカメラ１３０を通じて撮影することで、検査対象物１５０の３次元イメージ及び２次元イメージを取得して検査対象物１５０を測定することができる。一方、図１に示された検査装置１００は一例に過ぎなく、一つ以上の照明部とカメラを含む多様な構成に変更可能である。

以下、前記した構成を有する検査装置１００の診断方法及び測定変数設定方法に対して具体的に説明する。

図２は本発明の一実施形態に係る検査装置の診断方法を示すフローチャートである。

図１及び図２を参照すると、検査装置１００にの現在状態を診断するために、検査装置１００診断用に別途製作された設定ターゲット１５０を検査装置１００内のステージ１４０に装着する（Ｓ１００）。

以後、設定ターゲット１５０を対象にして自動化されたテストプログラムを使用して検査装置１００のハードウェア状態をチェックする（Ｓ１１０）。具体的に、検査装置１００はステージ１４０に装着された設定ターゲット１５０に第１照明部１１０または第２照明部１２０を介して照明を照射した後カメラ１３０を通じてイメージを撮影し、撮影されたイメージを分析して検査装置１００に具備された検査プローブのハードウェア状態をチェックする。例えば、検査装置１００は第１照明部１１０または第２照明部１２０に対する照明のフォーカス状態、格子移送器具１１６の移送状態、照明の均一性の状態及び照明の照度の状態などについて自動的に現在状態をチェックする。ここで、前記照明のフォーカス状態は、第１照明部１１０または第２照明部１２０を通じて設定ターゲット１５０に投影されたパターンのＭＴＦ（Modulation Transfer Function）を計算した値に対応する。前記格子移送器具１１６の移送状態は、ピエゾアクチュエータ（ＰＺＴ）の移送がカメラ１３０から見たとき等間隔であるかを数値化した値に対応する。前記照明の均一性の状態は、カメラ１３０の視野範囲（Field of View：ＦＯＶ）において照明の最大値と最小値との差異を数値化した値に対応する。前記照明の照度の状態は、現時点で最も明るい照度を、測定に必要な照度のうち、所定の最も暗い照度と比較してチェックするための測定変数に対応する。

一方、設定ターゲット１５０は多様な種類のハードウェア状態のチェックのために複数の領域に区分することができる。例えば、設定ターゲット１５０は照明のフォーカス状態をチェックするための第１領域、格子移送器具１１６の移送状態をチェックするための第２領域、照明の均一性の状態をチェックするための第３領域及び照明の照度の状態をチェックするための第４領域を含んでもよい。それぞれの領域には該当ハードウェアのチェックのための適切なパターンが形成されてもよい。また、一つの領域で２つ以上のハードウェア状態のチェックを行えるようにしてもよい。

検査装置１００に対するハードウェア状態のチェックが完了されると、チェックされたハードウェアの現在状態を使用者に表示する（Ｓ１２０）。例えば、検査装置１００のハードウェア状態をチェックした後、照明のフォーカス状態、格子移送器具１１６の移送状態、照明の均一性の状態及び照明の照度の状態などのチェックされた現在状態を数値化した情報、及びチェックされた現在の状態と出荷当時の状態とを比較して現在のハードウェア状態を等級別に区分した情報のうち少なくとも一つの情報を表示する。使用者は表示されたハードウェア状態の等級を確認して該当ハードウェアのメンテナンスが必要か否かを判断することができる。

このように、自動化されたテストプログラムを使用して検査装置１００のハードウェアの出荷当時の状態と現在の状態とを比較して表示することで、現在の動作状態の適切さを判断することができる。

前記した検査装置１００を通じて検査基板１５０を検査する場合に、検査基板１５０が製造メーカーによって色相及び反射度などの特性が異なる場合があるので、検査基板１５０の特性に合わせて測定変数を最適化してもよい。前記測定変数は、例えば、照明強度、視認性などを含んでいてもよい。

図３は本発明の一実施形態に係る検査装置の測定変数設定方法を示すフローチャートである。

図１及び図３を参照すると、検査基板１５０の特性に対応される検査装置１００の測定変数を設定するために、検査基板１５０を検査装置１００内のステージ１４０上に装着する（Ｓ２００）。

以後、検査基板１５０の特性に対応される検査装置１００の照明強度は自動に設定される（Ｓ２１０）。具体的に、検査装置１００はステージ１４０に装着された検査基板１５０に第１照明部１１０または第２照明部１２０を介して照明を照射した後カメラ１３０を通じて撮影イメージを取得する。前記撮影イメージを撮影することにより、好適には、第１及び第２照明部１１０、１２０及びカメラ１３０を含む検査プローブを、検査基板１５０上の空きスペースのうち、できるだけ小さい位置に移動した後に、撮影イメージを取得してもよい。以後、前記撮影イメージのヒストグラムの調整を通じて検査装置１００の照明強度を設定する。

図４ａ及び図４ｂはヒストグラムの調整過程を示す図面である。図４ａは撮影イメージのヒストグラムを示し、図４ｂは調整後のヒストグラムを示す。図４ａ及び図４ｂのヒストグラムにおいて、ｘ軸はイメージの明るさを表し、ｙ軸はイメージの明るさに対応する画素数を表す。

図４ａ及び図４ｂを参照すると、ヒストグラムの調整はヒストグラムの平均Ａがグラフのｘ軸方向において中央に近いように位置する過程、ヒストグラムの幅Ｂがダーク領域Ｃ及びブライト領域Ｄを避けるように調整する過程、及びヒストグラムの幅Ｂが最大に狭くなるように調整する過程などを通じて行われる。このようなヒストグラムの調整を通じてできるだけ狭い範囲の照明強度を設定することで、該当検査基板１５０の特性に対応した最適化された照明強度の範囲を設定することができる。

カメラで測定可能な階調値は０乃至２５５である。ヒストグラムが中央に位置する場合、測定された照明強度はカメラで測定可能な階調値の範囲内に入るようになる。従って、カメラで照明強度が測定可能な画素の数を増加するためにヒストグラムをｘ軸方向において図の中央に近いように調整することができる。

一方、照明の強度を設定することにおいて、指定したブライト値以上である部分があれば赤い色で表示し、指定したダーク値以下である部分があれば青い色で可視的に表示する方式で望ましい照明強度の範囲を設定することができる。

照明強度を設定した後、検査基板１５０の特性に対応した検査装置１００の視認性基準値を設定する（Ｓ２２０）。前記視認性基準値は検査の有効性を判断するための測定変数であり、０〜１の範囲内で使用者の設定に応じて決定される。

図５ａ及び図５ｂは視認性基準値を設定する過程を示す図面である。図５ａ及び図５ｂは照明強度の変化によって視認性基準値を超える有効画素の比率を示す。

図５ａ及び図５ｂを参照すると、視認性基準値を設定するために、照明強度の設定段階（Ｓ２１０）で設定された照明強度の範囲内で照明の強度を変化しながら視認性情報を測定する。視認性情報の測定結果、図５ａに示すように、検査領域（Region of Interest：ＲＯＩ）の面積に対する有効画素面積の比率が使用者が所望する有効値以下であることがあり得る。この際、前記有効値は使用者によって事前に設定される値であり、例えば、約９５％に設定されてもよい。すなわち、検査基板１５０の色相、反射度などの特性によって、視認性基準値があまりに高く設定されている場合、有効画素面積の比率が前記有効値を超えなくなる。従って、このような場合には検査を有効に実行することができなくなるので、視認性基準値を該当検査基板１５０の特性に対応できるように再設定する必要がある。これにより、測定された視認性情報に対して検査領域の面積、例えば、検査領域の総面積に対する有効画素の比率が既設定された前記有効値を超えるように視認性基準値を設定する。例えば、視認性基準値を変化しながら有効画素面積の比率変化を測定していくと図５ｂに示すように、有効画素面積の比率が前記有効値を超える視認性値を検出することができ、このようにして検出した視認性値を視認性基準値に設定するようになる。

一方、前記測定された視認性情報を用いて前記有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つを可視的に前記検査装置のカメラを介して示されるようにあらかじめ表示してもよい。

以後、照明強度の設定段階（Ｓ２１０）及び視認性基準値の設定段階（Ｓ２２０）で設定された照明強度及び視認性基準値を設定値として格納する（Ｓ２３０）。

このように、多様な特性を有する検査基板１５０に応じた最適の照明強度及び視認性基準値を自動に再設定することで、多様な検査基板１５０に対する有効な検査を実行し検査の信頼性を向上させることができる。

一方、照明強度または視認性基準値を設定する過程中、検査領域内で実際にはんだが塗布されるパッド領域を除いたホール、シルクなどの特定領域の情報を取得して、以後実行される実際の検査工程にこのような情報を活用して検査の信頼性を向上させることができる。

図６は本発明の他の実施形態に係る検査装置の測定変数設定方法を示す流れ図である。

図１及び図６を参照すると、検査基板１５０の特性に対応した検査装置１００の測定変数を設定するために、検査基板１５０を検査装置１００内のステージ１４０上に装着する（Ｓ３００）。

以後、検査基板１５０の特性に対応した検査装置１００の照明強度の１次範囲を自動に設定する（Ｓ３１０）。照明強度の１次範囲の設定は検査装置１００のカメラ１３０を介して取得した撮影イメージのヒストグラムの調整を通じて行われてもよい。ヒストグラムの調整は図４ｂに示すように、ヒストグラムの平均Ａがグラフのｘ軸方向において中央に近いように位置するよう調整する過程、ヒストグラムの幅Ｂがダーク領域Ｃ及びブライト領域Ｄを避けるように調整する過程、ヒストグラムの幅Ｂが最も狭くなるように調整する過程などを通じて行われる。このとき、ヒストグラムの幅Ｂに該当する照明強度の範囲が照明強度の１次範囲Ｒ１となる。このようなヒストグラムの調整を通じて該当検査基板１５０の特性に対応してまず照明強度の１次範囲Ｒ１を設定することができる。また、照明強度の１次範囲Ｒ１の設定過程において、指定したブライト値以上である部分があれば赤い色で表示し、指定したダーク値以下である部分があれば青い色で可視的に表示する方式で照明強度の１次範囲Ｒ１を設定してもよい。

以後、前記照明強度の１次範囲Ｒ１内においての有効インデックス情報を用いて検査装置１００の照明強度の２次範囲Ｒ２を自動で設定する（Ｓ３２０）。前記有効インデックス情報としては、例えば、視認性情報が使用されてもよい。

照明強度の２次範囲Ｒ２を設定するために、照明強度の１次範囲Ｒ１の設定段階Ｓ３１０で設定された照明強度の１次範囲Ｒ１内で照明の強度を変化しながら視認性情報を測定する。以後、図５ｂに示すように、視認性情報の測定結果、検査領域の面積、例えば、検査領域の総面積に対する有効画素面積の比率が所定の有効値を超える範囲を照明強度の２次範囲Ｒ２に設定する。

一方、前記測定された視認性情報を用いて前記有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つを可視的に前記検査装置のカメラを介してあらかじめ表示してもよい。

以後、設定された照明強度の２次範囲Ｒ２を設定値として格納する（Ｓ３３０）。

このように、検査装置１００の照明強度に対してヒストグラム分析を通じて１次範囲Ｒ１を設定した後、１次範囲Ｒ１内で視認性情報を用いて２次範囲Ｒ２を設定することで、検査基板１５０の特性に対応した照明強度の細かい設定調整が可能となる。このように設定された照明強度の２次範囲Ｒ２内で検査を実行することで、検査の精密度を高くすることができる。一方、照明強度を設定する過程中、検査領域内で実際にはんだが塗布されるパッド領域を除いたホール、シルクなどの特定領域の情報を取得して、以後に進行される実際の検査工程にこのような情報を活用して検査の信頼性を向上させることができる。

図７は本発明のさらに他の実施形態に係る検査装置の測定変数設定方法を示す。

図１及び図７を参照すると、検査基板１５０の特性に対応する検査装置１００の測定変数を設定するために、検査基板１５０を検査装置１００内のステージ１４０上に装着する（Ｓ４００）。

以後、検査装置１００の第１照明部１１０の照明強度を変化しながら検査基板１５０に光を照射した後（Ｓ４１０）、検査基板１５０によって反射された光を検査装置１００のカメラ１３０を介して取得して照明強度に応じた検査基板１５０のイメージデータを取得する（Ｓ４２０）。

以後、取得された検査基板１５０のイメージデータで画素別に視認性及び階調値を測定する（Ｓ４３０）。すなわち、照明強度ごとに撮影したイメージデータそれぞれにおいて画素別視認性及び階調値を測定する。

以後、前記視認性及び階調値に基づいて第１照明部１１０の照明強度を設定する（Ｓ４４０）。例えば、検査基板１５０のイメージデータから前記階調値及び視認性が所定の有効範囲内の有効画素の数をカウントした後、有効画素の数が臨界値以上となるようにする照明強度を第１照明部１１０の照明強度に設定する。または、検査基板１５０のイメージデータから前記階調値及び視認性が所定の有効範囲内に入る有効画素に対する視認性の合計がしきい値以上となるような照明強度を第１照明部１１０の照明強度に設定してもよい。すなわち、照明強度別に取得されたイメージデータそれぞれに対して前記階調値及び視認性に基づいて有効画素を算出した後、前記有効画素数または有効画素に対する視認性の合計などが最大となるイメージデータに対応する照明強度を第１照明部１１０の照明強度に設定してもよい。

一方、前記測定された視認性情報を用いて前記有効画素に対応する領域及び有効画素に対応しない領域のうち少なくとも一つが前記検査装置のカメラを介して視認可能であるように、あらかじめ表示しておくことができる。

カメラで測定可能な階調値は０乃至２５５である。従って、位相遷移モアレ測定方式でパターン照明を使用して３次元形状を測定するために、光源の干渉効果による正弦波（sinusoidal wave）形態の照明強度の変化範囲が０から２５５の間のとき検査領域で０以下または２５５以上で正弦波形を離れるなどの歪曲のない正弦波形が測定可能である。従って、０と２５５との間に、例えば、１０と２３０を設定して正弦波形の歪曲が起こらないように照明強度を設定することができる。即ち、階調値を照明強度を設定するための変数として使用することができる。

視認性は測定データの正弦波形の品質を測定し信頼度の高い測定データであるかの可否を判別するために用いられる。信頼度の高い測定データを取得するためにしきい値以上の視認性が確保された正弦波形が得られるように照明強度を設定することができる。すなわち、視認性を照明強度を設定するための変数として使用することができる。

カラー、反射度などのようなボード特性が使用者または照明強度設定方法によって入力されると、前記ボード特性に対する照明強度及び視認性を事前に設定された範囲内で自動に設定して最適のパラメータを導出する。これを通じて作業ファイルの設定時間を短縮し精密度を向上させることができる。すなわち、作業ファイル検査条件を測定対象物に合わせて自動に再調整して測定誤差を減少させることができる。

上述したように、自動化されたテストプログラムを使用して検査装置１００のハードウェアの現在状態をチェックすることで、出荷当時の状態と比較して現在動作状態の適切さを判断することができる。また、多様な特性を有する検査基板１５０に対応して最適の照明強度及び視認性基準値などの測定変数を自動に再設定することで、作業ファイルに格納される検査条件の設定時間を短縮して使用者の利便性を高め、間違った設定による測定誤差を減少させて検査の精密度を向上させることができる。

以上、本発明を実施形態によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。

１００ 検査装置
１１０ 第１照明部
１１２ 光源
１１４ 格子素子
１１６ 格子移送器具
１１８ 投影レンズ
１２０ 第２照明部
１３０ カメラ
１４０ ステージ

Claims (3)

1. 検査装置内に検査基板を装着する段階と、
   前記検査装置のカメラを介して取得された撮影イメージの明るさ分布を示すヒストグラムの幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように前記ヒストグラムが明るさ軸の方向においてグラフの中央に近いように前記検査装置の照明強度を調整する過程を通じて前記照明強度の第１範囲を設定する段階と、
   前記照明強度の第１範囲内で検査領域の全体面積に対する有効画素の比率が所定の有効値を超えるように前記検査装置の照明強度を調整する過程を通じて前記照明強度の第２範囲を設定する段階を含み、
   前記有効画素は全画素の平均輝度に対する該画素の輝度の比が所定の基準値以上の画素である
   ことを特徴とする検査装置の照明強度の設定方法。
2. 前記検査装置の照明は、格子パターン照明であることを特徴とする請求項１記載の検査装置の照明強度の設定方法。
3. 前記検査装置のカメラを介して取得した撮影イメージのヒストグラムの明るさ軸方向の幅がダーク領域及びブライト領域を避けるように調整する段階の前に、指定されたダーク値以下の際前記ダーク領域は第１カラーに表示され、指定されたブライト値以上の際前記ブライト領域は第２カラーに表示される段階をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の検査装置の照明強度の設定方法。