JP2014191351A - 気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器の提供。
【解決手段】この気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器は、気体ガイド装置が取付けられ、該気体ガイド装置はフォトマスク収納容器の少なくとも一つの入気孔に連通し、並びにフォトマスク収納容器の第１気体流動空間に対応する第１出気開口及びフォトマスク収納容器の第２気体流動空間に対応する第２出気開口を具える。入気孔よりクリーンな気体が気体ガイド装置に供給される時、クリーンな気体は気体ガイド装置を流れ、並びに第１出気開口及び第２出気開口よりそれぞれ第１気体流動空間及び第２気体流動空間へと流れ、これによりクリーンな気体が均一に第１気体流動空間と第２気体流動空間に分布し、並びにフォトマスクの清浄度をアップし、有効にフォトマスクの空気との接触を防止し、ゆえに高清浄度気体の使用量を減らし、これにより高清浄度気体の充填効率をアップする。
【選択図】図２

Description

本発明は一種のフォトマスク収納容器に係り、特に一種の、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器に関する。

近代の半導体テクノロジーの発展は迅速で、そのうち光学リソグラフィー技術は重要な役割を果たし、パターン定義に関しては、いずれも光学リソグラフィー技術に頼る必要がある。光学リソグラフィー技術は半導体の応用上、設計された線路を特定形状を有する可透光のフォトマスクとして製作する。露光原理を利用し、すなわち光線にフォトマスクを通過させてシリコンウエハーに投影して特定パターンを露光表示させることができる。フォトマスク上に付着する塵埃顆粒（たとえば微粒子、粉塵或いは有機物）はいずれも投影成像の品質を劣化させ得るため、パターンを発生させるのに用いるフォトマスクは、絶対的な清浄度を保持しなければならない。このため、一般のウエハー工程においては、いずれもクリーンルームの環境で空気中の顆粒汚染を防止している。しかし、現在のクリーンルームも、全体的な無塵の状態を達成することはできない。

現代の半導体工程は、いずれも抗汚染のフォトマスク収納容器を利用してフォトマスクの保存と搬送を行ない、フォトマスクをクリーンに保っている。フォトマスク収納容器は半導体工程中に、フォトマスクを収容するのに用いられ、マスクの機械の間の搬送と伝送に用いられ、並びにフォトマスクを大気との接触より隔離し、フォトマスクが不純物により汚染されて変化を発生するのを防止する。これにより、先進の半導体工場では、通常、フォトマスク収納容器の清浄度はＳｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ（ＳＭＩＦ）に符合する必要があり、すなわち、清浄度はＣｌａｓｓ １以下に保持されなければならない。ゆえに、フォトマスク収納容器の清浄度をＳＭＩＦに符合させるため、主には、フォトマスク収納容器中に高清浄度気体を充填する。

現在、フォトマスク収納容器の底部には、少なくとも一つの入気孔があり、ゆえに、入気孔より高清浄度気体がフォトマスク収納容器内に充填され、高清浄度気体は自然にフォトマスク収納容器内を流動し、大部分の高清浄度気体は、フォトマスクとフォトマスク収納容器の底部の間の空間を流動し、小部分の高清浄度気体がフォトマスクとフォトマスク収納容器の上部の間の空間へと流動し、このため、高清浄度気体のフォトマスク収納容器内の分布が不均一となり、このために高清浄度気体のフォトマスクに対する清浄効果が不良となり、こうして、フォトマスクがきれいになるまで続けて高清浄度気体をフォトマスク収納容器内に充填しなければならなくなり、このために、高清浄度気体の使用量が増し、並びに高清浄度気体のフォトマスク収納容器内への充気の効率が悪くなる。

上述の問題を鑑み、本発明は一種の、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器を提供し、それは、気体ガイド装置を具え、気体ガイド装置がフォトマスク収納容器の入気孔より高清浄度気体をガイドして高清浄度気体を均一にフォトマスクとフォトマスク収納容器上部の間の空間及びフォトマスク及びフォトマスク収納容器底部の間の空間に分布させ、並びに上述の問題を改善する。

本発明の目的は、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器を提供し、それは少なくとも一つの気体ガイド装置を具え、気体ガイド装置はフォトマスク収納容器の少なくとも一つの入気孔より進入した高清浄度気体をガイドして均一にフォトマスクの上下空間に分布させ、有効に、高清浄度気体のフォトマスククリーニングの効率を高め、これにより高清浄度気体の使用量を減らし、並びに高清浄度気体の充填効率を高めるものとする。

本発明は一種の、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器を提供する。それは、 少なくとも一つの入気孔を具えたベースと、
カバーであって、該ベースをカバーし、並びに該ベースとの間に収容空間を有し、該収容空間にフォトマスクを収容し、該フォトマスクは該収容空間を第１気体流動空間と第２気体流動空間に分ける、上記カバーと、
少なくとも一つの気体ガイド装置であって、該ベースに設置され、該気体ガイド装置は第１気体ガイド流路、少なくとも一つの第２気体ガイド流路、少なくとも一つの第３気体ガイド流路、第１出気開口、第２出気開口を具え、該第１気体ガイド流路と該入気孔は連通し、該第２気体ガイド流路と該第３気体ガイド流路は該第１気体ガイド流路と連通し、該第１出気開口と該第２気体ガイド流路は連通し、該第２出気開口と該第３気体ガイド流路は連通し、該第１出気開口は該第１気体流動空間に対応し、該第２出気開口は該第２気体流動空間に対応し、該第１出気開口の開口面積は、該第２出気開口の開口面積より小さく、これにより、該第１気体流動空間内の高清浄度気体の流量と該第２気体流動空間内の該高清浄度気体の流量が同じとされる、上記少なくとも一つの気体ガイド装置と、
を包含する。

周知のフォトマスク収納容器のベースは、少なくとも一つの入気孔を具え、ゆえに、入気孔より高清浄度気体がフォトマスク収納容器内に充填され、高清浄度気体は、フォトマスク収納容器のベースよりフォトマスク収納容器内に流入し、大部分の高清浄度気体は自然にフォトマスク収納容器のベースと、フォトマスク収納容器に収容されたフォトマスクの間の空間を流動し、少部分の高清浄度気体が、フォトマスクとフォトマスク収納容器のカバーの間の空間を流動し、このために高清浄度気体のフォトマスク収納容器内の分布が不均一となり、このため高清浄度気体のフォトマスクに対するクリーン効果が不良となり、甚だしくは高清浄度気体が完全には外界空気とフォトマスクとの接触を隔離できず、このために、持続して高清浄度気体をフォトマスク収納容器内に、フォトマスクが清浄とされるまで続けて充填しなければならなくなり、このため高清浄度気体の使用量が増し、効率的にフォトマスク収納容器に対して高清浄度気体の充填が行えなかった。

上述の問題を鑑み、本発明は一種の、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器を提供し、それは、気体ガイド装置により、高清浄度気体をガイドしてフォトマスクとフォトマスク収納容器のカバーの間の空間、及びフォトマスクとフォトマスク収納容器のベースの間の空間に均一に分布させ、これにより、高清浄度気体のフォトマスクのクリーニングの効率を高め、並びに外界の空気とフォトマスクの接触のチャンスを減らし、こうして、高清浄度気体の使用量を減らすのみならず、高清浄度気体の充填効率をアップする。

本発明の第１実施例のフォトマスク収納容器の外観図である。 本発明の第１実施例のフォトマスク収納容器の組立図である。 本発明の第１実施例のフォトマスク収納容器の断面図である。 本発明の第１実施例の気体ガイド装置の外観図である。 本発明の第１実施例の気体ガイド装置の組立図である。 本発明の図４ＡのＡ区域の局部拡大図である。 本発明の第１実施例のフォトマスク収納容器の使用状態図である。 本発明の第２実施例の気体ガイド装置の外観図である。 本発明の第２実施例の気体ガイド装置の組立図である。 本発明の第２実施例のフォトマスク収納容器の使用状態図である。 本発明の第３実施例のフォトマスク収納容器の底面図である。 本発明の図８ＡのＢ区域の局部拡大図である。 本発明の第３実施例のロック手段の表示図である。

本発明の技術内容、構造特徴、達成する目的を詳細に説明するため、以下に実施例を挙げ並びに図面を組み合わせて説明する。

図１、図２及び図３を参照されたい。それは本発明の第１実施例のフォトマスク収納容器の外観図、組立図及び断面図である。図示されるように、本実施例は一種のフォトマスク収納容器１を提供し、フォトマスク収納容器１は、ベース１０とカバー１２を包含する。カバー１２はベース１０をカバーするように設けられ、並びにベース１０との間に収容空間１１を有する。収容空間１１は、フォトマスク２を収容するのに用いられる。ベース１０は対向する二つの第１側辺１００ａ及び対向する二つの第２側辺１００ｂを具えている。ベース１０の収容空間１１に向いた第１表面１０１には二つの位置決め手段１３が設けられ、二つの位置決め手段１３は対向するよう設置され、並びにそれぞれベース１０の二つの第１側辺１００ａに近接する。ベース１０は二つの入気孔１４を具え、各入気孔１４は、ベース１０の、フォトマスク収納容器１外部を向いた第２表面１０２よりベース１０の第１表面１０１に貫通する。本実施例の二つの入気孔１４は二つの第２側辺１００ｂの一方（たとえば図３中のベース１０の右側の第２側辺１００ｂ）に近接する。各入気孔１４内に、さらに、充気バルブ１４１が設けられる。フォトマスク２がフォトマスク収納容器１のベース１０に設置される時、フォトマスク２は二つの第２側辺１００ｂの一方よりもう一方の第２側辺１００ｂに移動させられ（すなわち、図３の例では、ベース１０の左側から右側に移動させられる）、並びに二つの位置決め手段１３に設置され、二つの位置決め手段１３がフォトマスク２を支持し、並びにフォトマスク２が二つの第１側辺１００ａの間で移動するのを防止する。その後、カバー１２でベース１０が覆われ、フォトマスク２が収容空間１１内に位置させられる。続いて、二つの入気孔１４より高清浄度気体が充填され、充気バルブ１４１が高清浄度気体を濾過し、並びに高清浄度気体を収容空間１１に流入させ、高清浄度気体は収容空間１１内に位置するフォトマスク２をクリーニングすると共に、フォトマスク２と外界の空気との接触を阻止する。

フォトマスク２が収容空間１１内に設置される時、フォトマスク２は収容空間１１を第１気体流動空間１１１及び第２気体流動空間１１２に区画する。第１気体流動空間１１１は、フォトマスク２の下表面２２とベース１０間の空間を指し、第２気体流動空間１１２はフォトマスク２の上表面２１とカバー１２の間の空間を指す。第１気体流動空間１１１と第２気体流動空間１１２の高清浄度気体の流量を同じとするため、本実施例のフォトマスク収納容器１は、二つの気体ガイド装置３を設け、各気体ガイド装置３はベース１０に設置され、並びに二つの位置決め手段１３の間に配置され、且つベース１０の二つの第２側辺１００ｂの一方に近接する。各気体ガイド装置３は対応する入気孔１４の上方を被覆し、対応する入気孔１４と連通し、各気体ガイド装置３は、入気孔１４より進入する高清浄度気体を第１気体流動空間１１１と第２気体流動空間１１２へと流動させ、これにより第１気体流動空間１１１と第２気体流動空間１１２内の気体流量を同じとする。

以下に本実施例の気体ガイド装置３の細部構造について詳細に説明する。図４Ａから図４Ｃを参照されたい。それは本発明の第１実施例の気体ガイド装置の外観図、組立図及び図４ＡのＡ部分の局部拡大図である。図示されるように、本実施例の気体ガイド装置３はガイド座体３１及び被覆体３２を包含する。ガイド座体３１はＬ字形を呈し、並びに第１本体３１ａと第２本体３１ｂを具えている。ガイド座体３１がベース１０の第１表面１０１に設置される時、第１本体３１ａはベース１０の第１表面１０１に設置され、並びに第１端３１１ａと第２端３１２ａを具えている。第１端３１１ａは対応する入気孔１４の上方に位置し、第２端３１２ａはベース１０の第２側辺１００ｂに近接する。第２本体３１ｂもまた第１端３１１ｂと第２端３１２ｂを具え、第２本体３１ｂの第１端３１１ｂは第１本体３１ａの第２端３１２ａに設置され、第２本体３１ｂの第２端３１２ｂはベース１０から離れる方向に延伸され、第２本体３１ｂは第１本体３１ａに垂直であり、こうしてＬ字形のガイド座体３１を形成する。

第１本体３１ａは第１表面３１３ａと第１表面３１３ａに背向する第２表面３１４ａを具えている。第１表面３１３ａはベース１０の第１表面１０１より離れ、第２表面３１４ａはベース１０の第１表面１０１と接触する。第１本体３１ａの第１端３１１ａは貫通孔３１５ａを具え、貫通孔３１５ａは第１本体３１ａの第１表面３１３ａ及び第２表面３１４ａを貫通し、並びに入気孔１４に対応し、すなわち、入気孔１４と連通する。第１本体３１ａの第１表面３１３ａは第１収容溝３１６ａを具え、第１収容溝３１６ａの一端は貫通孔３１５ａと連通し、その他端は、第２本体３１ｂに向けて延伸される。第２本体３１ｂもまた第１表面３１３ｂと該第１表面３１３ｂに背向する第２表面３１４ｂを具え、第１表面３１３ｂはベース１０の内部に向き、並びに第２収容溝３１６ｂを具えている。第２収容溝３１６ｂは第２本体３１ｂの第１端３１１ｂより第２本体３１ｂの第２端３１２ｂに向けて延伸され、並びに第１収容溝３１６ａと連通する。本実施例の第１本体３１ａと第２本体３１ｂは一体成形してもよく、これについては詳しく説明しない。

被覆体３２はガイド座体３１を被覆し、ゆえに、被覆体３２とガイド座体３１は同様にＬ字形を呈する。被覆体３２は第１被覆部３２ａと第２被覆部３２ｂを具え、第１被覆部３２ａは第１本体３１ａに設置され、第１本体３１ａの第１表面３１３ａと接触する第１被覆部３２ａの表面に第１凹溝３２１ａを具えている。本実施例の第１凹溝３２１ａは完全に第１本体３１ａの貫通孔３１５ａ及び第１収容溝３１６ａを被覆し、すなわち、第１凹溝３２１ａの形状は、貫通孔３１５ａと第１収容溝３１６ａが構成する形状に符合し、第１凹溝３２１ａと貫通孔３１５ａ及び第１収容溝３１６ａの間に第１気体ガイド流路３３ａを形成する。

第２被覆部３２ｂは完全に第２収容溝３１６ｂ内に収容され、第２本体３１ｂと接触する第２被覆部３２ｂの表面に少なくとも一つの第２凹溝３２１ｂ及び少なくとも一つの第３凹溝３２１ｃを具える。第２凹溝３２１ｂ及び第３凹溝３２１ｃは第１凹溝３２１ａと連通する。第２本体３１ｂと未接触の第２被覆部３２ｂの表面に、第１出気開口３２２ａと第２出気開口３２２ｂを具え、第１出気開口３２２ａは第１気体流動空間１１１に対応し、第２出気開口３２２ｂは第１出気開口３２２ａの上方に位置し、並びに第２気体流動空間１１２に対応する（図３を参照されたい）。第１出気開口３２２ａと第２凹溝３２１ｂは連通し、第２出気開口３２２ｂと第３凹溝３２１ｃは連通する。第２被覆部３２ｂが第２本体３１ｂの第２収容溝３１６ｂ内に収容される時、第２凹溝３２１ｂ及び第３凹溝３２１ｃは第２収容溝３１６ｂとの間に、それぞれ少なくとも一つの第２気体ガイド流路３３ｂと少なくとも一つの第３気体ガイド流路３３ｃを形成する。第２気体ガイド流路３３ｂと第３気体ガイド流路３３ｃはそれぞれ第１気体ガイド流路３３ａと連通し、また、それぞれ第１気体出口３２２ａと第２気体出口３２２ｂと連通する。

さらに、図５を参照されたい。それは本発明の第１実施例のフォトマスク収納容器の使用状態図である。図示されるように、フォトマスク収納容器１の二つの入気孔１４に高清浄度気体４が充填される時、高清浄度気体４は入気孔１４より対応する気体ガイド装置３の第１気体ガイド流路３３ａへと流動する。高清浄度気体４は第１気体ガイド流路３３ａよりそれぞれ第２気体ガイド流路３３ｂ及び第３気体ガイド流路３３ｃに流入する。最後に第２気体ガイド流路３３ｂに流入した高清浄度気体４は、第１出気開口３２２ａより第１気体流動流路３３ａへと流れる。同様に、第３気体ガイド流路３３ｃに流入した高清浄度気体４は、第２出気開口３２２ｂより第２気体流動空間１１２へと流れる。

本実施例の第１出気開口３２２ａの開口面積は第２出気開口３２２ｂの開口面積より小さく、気体流速及び気体の第１出気開口３２２ａ及び第２出気開口３２２ｂへの流動の距離が同じで、第１出気開口３２２ａより第１気体流動空間１１１に流入する高清浄度気体４の瞬間流量は、第２出気開口３２２ｂより第２気体流動空間１１２に進入する高清浄度気体４の瞬間流量より小さい。このほか、本実施例の第２気体ガイド流路３３ｂの長さは第３気体ガイド流路３３ｃの長さより短く、もし、第１出気開口３２２ａの開口面積が第２出気開口３２２ｂの開口面積と同じとされれば、同じ気体流速及び同じ時間の下で、高清浄度気体４が第１出気開口３２２ａより第１気体流動空間１１１に進入する流量は、第２出気開口３２２ｂより第２気体流動空間１１２に進入する流量より多くなる。

以上からわかるように、本実施例の第１出気開口３２２ａの開口面積は第２出気開口３２２ｂの開口面積より小さく、第２気体ガイド流路３３ｂの長さは第３気体ガイド流路３３ｃの長さと等しい等の条件の組合せの下で、上述の二種類の状況の結果を総合すると、第１出気開口３２２ａより第１気体流動空間１１１内に流入する高清浄度気体４の流量と、第２出気開口３２２ｂより第２気体流動空間１１２内に流入する高清浄度気体４の流量は一致させられ、これにより、高清浄度気体４が均一にフォトマスク２の各部品をクリーニングし、高清浄度気体４のフォトマスク２に対するクリーニング効果をアップでき、フォトマスク２に対するクリーニング時間を短くする時、高清浄度気体４の供給時間も減らせ、これにより、高清浄度気体４の使用量を減らして、すなわち、気体ガイド装置３により効率的に高清浄度気体４をフォトマスク収納容器１内に充填できることが示される。本実施例の第１出気開口３３２ａ及び第２出気開口３３２ｂはそれぞれ細長い矩形孔とされ、高清浄度気体４の第１出気開口３３２ａ及び第２出気開口３３２ｂより第１気体流動空間１１１及び第２気体流動空間１１２へと流れる気圧を増加させ、これにより、高清浄度気体４を第１気体流動空間１１１及び第２気体流動空間１１２に噴射させ、並びに高清浄度気体４を急速に第１気体流動空間１１１及び第２気体流動空間１１２へと流動させ、且つ第１出気開口３３２ａ及び第２出気開口３３２ｂは細長い矩形孔とされ、第１出気開口３３２ａ及び第２出気開口３３２ｂより流出する高清浄度気体４は第１気体流動空間１１１及び第２気体流動空間１１２において大面積の分布が可能で、これにより有効に高清浄度気体４のフォトマスク収納容器１の充填の効率を高められる。

同時に、フォトマスク収納容器１のベース１０はさらに、少なくとも一つの出気孔１５を包含し、該出気孔１５は二つの入気孔１４に対向し、出気孔１５はもう一つの第２側辺１００ｂに近接する（図５の例では、すなわち、ベース１０の左側に位置する）。フォトマスク２がベース１０に設置される時、二つの入気孔１４と出気孔１５はフォトマスク２の両側に位置し、二つの入気孔１４より進入する高清浄度気体４を、二つの気体ガイド装置３のガイドにより第１気体流動空間１１１及び第２気体流動空間１１２に至らせ、高清浄度気体４を第１気体流動空間１１１及び第２気体流動空間１１２の一端より他端に流動させ、すなわち、高清浄度気体４にフォトマスク２の上表面２１及び下表面２２を通過させる。高清浄度気体４がフォトマスク２を通過する時、高清浄度気体４とフォトマスク２の残留物が混合され、残留物を含んだ高清浄度気体４が出気孔１５へと流動し、並びに出気孔１５より排出され、こうして有効に、フォトマスク収納容器１内を高い清浄度に保持する。

第１本体３１ａの第１端３１１ａはそれに対応する入気孔１４の上方に位置し、第１本体３１ａの貫通孔３１５ａは入気孔１４に対応し、貫通孔３１５ａの孔径は入気孔１４の孔径と同じかそれより大きくなければならない。入気孔１４より流入した高清浄度気体４は、完全に貫通孔３１５ａに流入でき、高清浄度気体４は完全に第１気体ガイド流路３３ａに流入し、高清浄度気体４は第１気体ガイド流路３３ａに沿って第２気体ガイド流路３３ｂ及び第３気体ガイド流路３３ｃに進入し、並びに第２気体ガイド流路３３ｂの第１出気開口３２２ａ及び第３気体ガイド流路３３ｃの第２出気開口３２２ｂよりそれぞれ第１気体流動空間１１１及び第２気体流動空間１１２に流入し、こうして高清浄度気体４の流失が防止され、さらに高清浄度気体４の使用量を減少し、並びに高清浄度気体４のフォトマスク収納容器１内への充填の効率をアップする。

このほか、第１本体３１ａに設置された第１被覆部３２ａの第１凹溝３２１ａの、入気孔１４に対応する側壁は円弧形を呈する。高清浄度気体４が入気孔１４より気体ガイド装置３に進入する時、高清浄度気体４は発散状を呈し並びに自由に第１気体ガイド流路３３ａを流動する。すなわち一部の高清浄度気体４は第２気体ガイド流路３３ｂ及び第３気体ガイド流路３３ｃに向けて流動し、一部の高清浄度気体４は円弧形の側壁に接触し、高清浄度気体４は円弧形の側壁に沿って流動し、並びに高清浄度気体４は第２気体ガイド流路３３ｂ及び第３気体ガイド流路３３ｃに向けて流動する。こうして高清浄度気体４の流動を案内し、並びに入気孔１４に流入する高清浄度気体４が完全にフォトマスク収納容器１内に提供されるようにし、高清浄度気体４の使用量を減らし、並びに高清浄度気体４のフォトマスク収納容器１内への充填の効率をアップする。

本実施例のフォトマスク収納容器１はさらに連接手段１７を包含する。連接手段１７の両端は、それぞれ各一つの気体ガイド装置３の第１本体３１ａに接続され、これにより二つの第１本体３１ａが連接手段１７により連接されて、単一装置を形成し、こうして二つの気体ガイド装置３の二つの第１本体３１ａがベース１０の第１表面１０１に取付けられる。連接手段１７は二つの第１本体３１ａと一体成形されてもよく、こうして部品数量を減らして、組立プロセスを効果的に簡易化できる。本実施例の気体ガイド装置３はまた、フォトマスク２をフォトマスク収納容器１内に位置決めし並びにフォトマスク２の二つの位置決め手段１３からの離脱を防止する機能を有し、フォトマスク２がベース１０の二つの位置決め手段１３に設置される時、各気体ガイド装置３の第２本体３１ｂの第１表面３１３ｂはフォトマスク２の側辺に当接し、こうしてフォトマスク２がフォトマスク収納容器１が運送過程中に発生する振動或いはぐらつきにより、フォトマスク収納容器１内で移動を発生するのを防止する。ゆえに、周知のフォトマスク収納容器１をフォトマスク２の側辺に当接するために用いられた制限手段は、本実施例の気体ガイド装置３に交換され、本実施例の気体ガイド装置３は気体ガイド機能を有する制限手段であると見なすことができる。

本実施例の被覆体３２は軟性材料を使用し、これにより第２被覆部３２ｂの厚さは第２本体３１ｂの第２収容溝３１６ｂの厚さと等しいかそれより小さく、すなわち、第１出気開口３２２ａと第２出気開口３２２ｂの第２被覆部３２ｂの表面は第２本体３１ｂの第１表面３１３ｂより低くなる。フォトマスク２がフォトマスク収納容器１内に設置される時、フォトマスク２の側辺は第２本体３１ｂの第１表面３１３ｂに当接し、第２本体３１ｂの第１表面３１３ｂはフォトマスク２を支持し、フォトマスク２に第２被覆部３２ｂと第２本体３１ｂ間の第２気体ガイド流路３３ｂ及び第３気体ガイド流路３３ｃを圧縮させず、これにより高清浄度気体に順調に第２気体ガイド流路３３ｂ及び第３気体ガイド流路３３ｃを流動させる。同時に、本実施例の第１被覆部３２ａは支持柱３２３ａを具え、支持柱３２３ａは第１凹溝３２１ａ内に設置され、並びに入気孔１４内の充気バルブ１４１に対応する。第１被覆部３２ａが第１本体３１ａに取付けられる時、支持柱３２３ａは充気バルブ１４１の表面に当接し、並びに入気孔１４を被覆せず、こうして第１被覆部３２ａと第１本体３１ａ間に形成される第１気体ガイド流路３３ａの空間を維持し、高清浄度気体に順調に第１気体ガイド流路３３ａを流動させる。

図６Ａから図６Ｂを参照されたい。それは本発明の第２実施例の気体ガイド装置の外観図及び組立図である。図示されるように、本実施例の、上述の実施例と異なるところは、上述の実施例のフォトマスク収納容器１は二つの気体ガイド装置３を具えて、各気体ガイド装置３が一つの入気孔１４に対応していたが、本実施例のフォトマスク収納容器１は一つだけ気体ガイド装置３が設置され、この気体ガイド装置３が二つの入気孔１４に対応することにある。本実施例の気体ガイド装置３は同時に二つの入気孔１４に対応する必要があるため、ガイド座体３１及び被覆体３２の構造は上述の実施例とは異なる。

本実施例のガイド座体３１の第１本体３１ａは、二つの貫通孔３１５ａを具え、二つの貫通孔３１５ａはそれぞれ二つの入気孔１４に対応する。第１本体３１ａの第１表面３１３ａはＴ字形を呈する第１収容溝３１６ａを具え、第１収容溝３１６ａは二つの貫通孔３１５ａと連通する。被覆体３２の第１被覆部３２ａは第１収容溝３１６ａ及び二つの貫通孔３１５ａに対応する第１凹溝３２１ａを具えている。図７も参照されたい。被覆体３２がガイド座体３１に設置される時、第１被覆部３２ａは第１本体３１ａに設置され、第１凹溝３２１ａは二つの貫通孔３１５ａ及び第１収容溝３１６ａに対応し、並びに二つの貫通孔３１５ａ及び第１収容溝３１６ａとの間に、第１気体ガイド流路３３ａを形成する。第１気体ガイド流路３３ａは第２気体ガイド流路３３ｂ及び第３気体ガイド流路３３ｃと連通する。本実施例の気体ガイド装置３の上述の実施例の気体ガイド装置３との差異は構造の違いにあり、その機能は完全に同じであるため、ここでは重複して説明しない。

本実施例の気体ガイド装置３はさらに二つの制限手段１８を包含し、二つの制限手段１８は座体１８１及び制限ストッパ片１８２を包含し、制限ストッパ片１８２は座体１８１上に設置される。二つの制限手段１８は第１本体３１ａ上に設置され、すなわち、各制限手段１８の座体１８１は、第１本体３１ａに設置され、二つの制限手段１８はそれぞれガイド座体３１の第２本体３１ｂの両端に位置する。フォトマスク２がフォトマスク収納容器１内に設置される時、各制限ストッパ片１８２はフォトマスク２の側辺に当接し、これによりフォトマスク２がフォトマスク収納容器１内で移動するのを防止する。本実施例の二つの制限ストッパ片１８２から近隣の第２側辺１００ｂまでの距離は、第２被覆部３２ｂから近隣の第２側辺１００ｂまでの距離より大きく、及び、第２被覆部３２ｂは二つの制限ストッパ片１８２よりも第２側辺１００ｂに接近し、こうして、フォトマスク２は直接第２被覆部３２ｂに当接せず、第２被覆部３２ｂが第２本体３１ｂに向けて圧縮されるのが防止され、これにより、第２気体ガイド流路３３ｂ及び第３気体ガイド流路３３ｃの空間が縮小するのが防止され、高清浄度気体４が順調に第２気体ガイド流路３３ｂと第３気体ガイド流路３３ｃを流動する。

同様に、第２被覆部３２ｂの第２凹溝３２１ｂ及び第３凹溝３２１ｃの面積は比較的大きく、すなわち、第２被覆部３２ｂの中空区域が比較的多く、ゆえに、第２本体３１ｂの第２収容溝３１６ｂ内に少なくとも一つの支持凸部３１７ｂが設置され、支持凸部３１７ｂは第２被覆部３２ｂの第２凹溝３２１ｂに対応し、並びに第２凹溝３２１ｂを支持し、これにより第２凹溝３２１ｂと第２本体３１ｂの間に形成される第２気体ガイド流路３３ｂの空間を維持し、高清浄度気体に順調に、第２気体ガイド流路３３ｂ内を流動させる。本実施例は上述の実施例と同様に、第１被覆部３１ａに支持柱３２２ａが設置され、これについては重複した説明を行わない。

図８Ａから図８Ｃを参照されたい。それは本発明の第３実施例のフォトマスク収納容器の底面図、図８ＡのＢ区域の局部拡大図及びロック手段の表示図である。図示されるように、本実施例のフォトマスク収納容器１の上述の実施例のフォトマスク収納容器との違いは、フォトマスク収納容器１のカバー１２の底面１２１にさらに複数のロック手段１２２が設けられ、ベース１０の第２表面１０２に複数のラッチ孔１０４が設けられ、これらラッチ孔１０４はこれらロック手段１２２に対応することにある。カバー１２がベース１０に設置される時、これらロック手段１２２はベース１０のこれらラッチ孔１０４に係合し、これによりこれらロック手段１２２がベース１０に挟持され、これによりカバー１２がベース１０に固定される。

各ロック手段１２２はロック部１２２１及び回転アーム１２２２を具え、回転アーム１２２２の一端はロック部１２２１に接続され、回転アーム１２２２は対応するカバー１２の取付け溝１２３内に枢接され、取付け溝１２３は少なくとも一つの切欠き１２３１を具え、切欠き１２３１はベース１０のラッチ孔１０４に対応し、並びにロック部１２２１の設置に供される。カバー１２がベース１０に設置される時、ロック部１２２１はまずカバー１２の外側に向けて移動し、並びに回転アーム１２２２を駆動し、回転アーム１２２２はロック部１２２１を駆動して対応するラッチ孔１０４に向けて移動させ、ロック部１２２１をラッチ孔１０４内に係合させる。カバー１２をベース１０より離脱させる時は、まず、ロック部１２２１を駆動してカバー１２の外側に向けて移動させ並びにラッチ孔１０４より離脱させ、ベース１０をカバー１２より離脱させ、その後、ロック部１２２１を釈放すると、回転アーム１２２２がロック部１２２１を駆動してもとの位置に戻す。

本実施例中、各ロック部１２２１のラッチ孔１０４と接触する表面に、さらにロール１２２３が設けられ、ロック部１２２１が対応するラッチ孔１０４に係合する時、ロール１２２３がロック部１２２１の移動に伴い回転し、ロール１２２３とラッチ孔１０４の側壁が接触し、並びに対応するラッチ孔１０４内に入る。本実施例の各ロック手段１２２のロック部１２２１は、ロール１２２３の設置により、対応するラッチ孔１０４との間の接触面積が減らされ、これにより、ロック部１２２１とラッチ孔１０４間の摩擦力が減らされ、並びにロック部１２２１が順調にラッチ孔１０４を出入りできるものとされる。

本実施例のラッチ孔１０４のロール１２２３との接触の表面にさらに少なくとも一つのガイド凸部１０４１が設けられ、ガイド凸部１０４１のロール１２２３の接触の表面は斜面とされ、こうしてロール１２２３とラッチ孔１０４間の接触面積がさらに減らされ、有効にロール１２２３とラッチ孔１０４間の摩擦力が減らされ、ロック部１２２１がさらに順調にラッチ孔１０４を出入りできるものとされ、並びにこれらロック手段１２２のこれらロック部１２２１のベース１０に対する挟持力を増加し、カバー１２をしっかりとベース１０上に固定し、有効にカバー１２とベース１０間の気密性を高める。

以上からわかるように、本発明は一種の、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器を提供し、フォトマスク収納容器内に少なくとも一つの気体ガイド装置が設置され、気体ガイド装置のガイドにより入気孔より流入した高清浄度気体がフォトマスクの上下空間に均一に分布し、高清浄度気体が均一にフォトマスクに対してクリーニングを行えるものとされ、有効に高清浄度気体のフォトマスクに対するクリーニング効率をアップし、フォトマスク収納容器の高清浄度の状態を維持し、フォトマスクと外界の空気の接触を防止し、同時に高清浄度気体の使用量を減らし、高清浄度気体の充填効率を効果的にアップする。また、本発明の気体ガイド装置はフォトマスクのフォトマスク収納容器内での移動発生を防止する効果を有する。また、本発明のフォトマスク収納容器のロック手段はロールを有し、ロック手段と対応するラッチ孔間の摩擦を減らし、ロック手段に順調にラッチ孔を出入りさせることができる。

ゆえに、本発明は新規性、進歩性及び産業上の利用価値を有し、特許法に規定する特許出願の要件を有し、ここに特許出願をいたす次第です。

ただし、以上述べたことは、本発明の実施例にすぎず、本発明の実施の範囲を限定するものではなく、本発明の特許請求の範囲に基づきなし得る同等の変化と修飾は、いずれも本発明の権利のカバーする範囲内に属するものとする。

１ フォトマスク収納容器
１０ ベース
１００ａ 第１側辺
１００ｂ 第２側辺
１０１ 第１表面
１０２ 第２表面
１０４ ラッチ孔
１１ 収容空間
１１１ 第１気体流動空間
１１２ 第２気体流動空間
１２ カバー
１２１ 底面
１２２ ロック手段
１２２１ ロック部
１２２２ 回転アーム
１２２３ ロール
１２３ 取付け溝
１２３１ 切欠き
１３ 位置決め手段
１４ 入気孔
１４１ 充気バルブ
１５ 出気孔
１７ 連接手段
１８ 制限手段
１８１ 座体
１８２ 制限ストッパ片
２ フォトマスク
２１ 上表面
２２ 下表面
３ 気体ガイド装置
３１ ガイド座体
３１ａ 第１本体
３１１ａ 第１端
３１２ａ 第２端
３１３ａ 第１表面
３１４ａ 第２表面
３１５ａ 貫通孔
３１６ａ 第１収容溝
３１ｂ 第２本体
３１１ｂ 第１端
３１２ｂ 第２端
３１３ｂ 第１表面
３１４ｂ 第２表面
３１５ｂ 貫通孔
３１６ｂ 第２収容溝
３１７ｂ 支持凸部
３２ 被覆体
３２ａ 第１被覆部
３２１ａ 第１凹溝
３２３ａ 支持柱
３２ｂ 第２被覆部
３２１ｂ 第２凹溝
３２１ｃ 第３凹溝
３２２ａ 第１出気開口
３２２ｂ 第２出気開口
３３ａ 第１気体ガイド流路
３３ｂ 第２気体ガイド流路
３３ｃ 第３気体ガイド流路
４ 高清浄度気体

Claims (10)

1. 気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、
   ベースであって、少なくとも一つの入気孔を具えた、上記ベースと、
   カバーであって、該ベースを被覆し、並びに該ベースとの間に収容空間を具え、該収容空間にフォトマスクを収容し、該フォトマスクが該収容空間を第１気体流動空間と第２気体流動空間に区画する、上記カバーと、
   少なくとも一つの気体ガイド装置であって、該ベースに設置され、該気体ガイド装置は、第１気体ガイド流路、少なくとも一つの第２気体ガイド流路、少なくとも一つの第３気体ガイド流路、第１出気開口及び第２出気開口を具え、該第１気体ガイド流路は該入気孔と連通し、該第２気体ガイド流路及び該第３気体ガイド流路は該第１気体ガイド流路と連通し、該第１出気開口と該第２気体ガイド流路は連通し、該第２出気開口と該第３気体ガイド流路は連通し、該第１出気開口は該第１気体流動空間に対応し、該第２出気開口は該第２気体流動空間に対応する、上記少なくとも一つの気体ガイド装置と、
   を包含し、該第１出気開口の開口面積は、該第２出気開口の開口面積より小さく、これにより該第１気体流動空間内の高清浄度気体の流量が該第２気体流動空間内の該高清浄度気体の流量と同じとされることを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
2. 請求項１記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、該気体ガイド装置は、
   ガイド本体であって、該ベースに設置され、並びに該入気孔の上方に位置する、上記ガイド本体と、
   被覆体であって、該ガイド本体に設置され、並びに該ガイド本体との間に、該第１気体ガイド流路、該第２気体ガイド流路及び該第３気体ガイド流路を形成し、該第１出気開口と該第２出気開口は該被覆体に設置される、上記被覆体と、
   を包含することを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
3. 請求項２記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、該ガイド本体は、
   第１本体であって、該ベースに設置され、並びに該入気孔の上方に位置し、該第１本体は少なくとも一つの貫通孔及び第１収容溝を具え、該貫通孔は該入気孔に対応し、該第１収容みぞは該貫通孔と連通する、上記第１本体と、
   第２本体であって、該第１本体に設置され、該第２本体は第２収容溝を具え、該第２収容溝は該第１収容溝と連通する、上記第２本体と、
   を包含することを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
4. 請求項３記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、該被覆体は、
   第１被覆部であって、該第１本体に設置され、該第１被覆部は第１凹溝を具え、該第１凹溝は該第１収容溝及び該貫通孔に対応し、並びに該第１気体ガイド流路を形成する、上記第１被覆部と、
   第２被覆部であって、該第２収容溝内に収容され、該第２被覆部は少なくとも一つの第２凹溝及び少なくとも一つの第３凹溝を具え、該第２凹溝及び該第３凹溝は該第２収容溝に対応し、並びにそれぞれ該第２気体ガイド流路と該第１気体ガイド流路を形成する、上記第２被覆部と、
   支持柱であって、該第１凹溝内に位置し、並びに該入気孔内の充気バルブの表面に当接する、上記支持柱と、
   支持凸部であって、該第２本体の該第２収容溝内に位置し、該第２被覆部の該第２凹溝に対応し、並びに該第２被覆部を支持する、上記支持凸部と、
   を包含することを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
5. 請求項１記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、該第１出気開口と該第２出気開口はそれぞれ矩形孔とされることを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
6. 請求項４記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、さらに、
   少なくとも一つの制限手段であって、それは座体及び制限ストッパ片を包含し、該座体は該第１本体に設置され、該制限ストッパ片は該座体に設置され、並びに該フォトマスクの側辺に当接する、上記少なくとも一つの制限手段を包含したことを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
7. 請求項６記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、該制限ストッパ片と該制限ストッパ片のベースに近隣する側辺との間の距離は、該第２被覆部と該側辺との間の距離より大きいことを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
8. 請求項４記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、該第２被覆部の厚さは該第２収容溝の高さと等しいかそれより小さく、該第２収容溝の両側の表面は該フォトマスクの側辺に当接することを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
9. 請求項１記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、さらに、複数のロック手段を包含し、該複数のロック手段は、それぞれ該カバーの複数の取付け溝に枢設され、各該ロック手段は、
   回転アームであって、その一端が対応する該取付け溝に枢接される、上記回転アームと、
   ロック部であって、該回転アームの他端に接続され、該回転アームが該ロック部に伴い回転し、該ロック部は該ベースのラッチ孔に係合し、そのうち、該ロック部の該ラッチ孔に接触する表面にロールが嵌設された上記ロック部と、
   を包含することを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。
10. 請求項９記載の気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器において、該ラッチ孔の該ロールと接触する表面に、少なくとも一つのガイド凸部が設けられ、該ガイド凸部の該ロールと接触する表面は斜面とされることを特徴とする、気体ガイド装置を具えたフォトマスク収納容器。

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