JP2014036175A

JP2014036175A - 基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板搬送用記憶媒体

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Publication number: JP2014036175A
Application number: JP2012177714A
Authority: JP
Inventors: Seiji Ozawa; 誠司小沢
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2012-08-10
Filing date: 2012-08-10
Publication date: 2014-02-24
Anticipated expiration: 2032-08-10
Also published as: JP5689096B2; KR101820934B1; KR20140021484A

Abstract

【課題】ウエハの載置ずれの修正の可否を判断するための部品を設けることなく、基板の載置ずれの修正の可否を判断する。
【解決手段】搬送アームの位置のずれ量が、モータの駆動を停止させるべきとして予め設定されている第１の許容範囲σ１を超えた場合、及び、吸着のタイミングのずれ量がモータの駆動を停止させるべきとして予め設定されている第２の許容範囲σ２を超えた場合には、ウエハの搬送を停止すべきと判断し、吸着のタイミングのずれ量が第２の許容範囲内であるが、搬送アームの位置を修正すべきとして予め設定されている第３の許容範囲σ３を超えた場合には、ウエハの位置を修正すべきと判断し、吸着のタイミングのずれ量が第３の許容範囲内である場合には、ウエハの位置を修正せずにウエハの搬送を行うべきと判断する。
【選択図】図１５Ａ

Description

この発明は、一の処理モジュールから他の処理モジュールに基板を搬送する基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板搬送用記憶媒体に関する。

半導体デバイスやＬＣＤ基板の製造プロセスにおいては、装置内に基板に対して処理を行うモジュールを複数設け、これらのモジュールに基板搬送装置により基板を順次搬送して、レジスト膜形成、露光、現像液供給等の処理を行うことが行われている。ここで、基板搬送装置は、基板を保持する搬送アームが基体に沿って進退自在に設けられると共に、基体が鉛直方向に移動自在に設けられている。

基板の搬送工程は、一の処理モジュールから基板を受け取る工程と、他の処理モジュールに基板を受け渡す工程を有している。ここで、一の処理モジュールから基板を受け取る工程では、一の処理モジュール内に設けられている突き上げピンに載置されている基板の下方から上記突き上げピンの上側まで搬送アームを上昇させることで、基板が搬送アームに保持される。その際、基板が搬送アームの先端部に設けられているフォークの中心で、かつフォークに対して水平に保持されるように、突き上げピンに対する搬送アームの位置が調整されている。

基板がフォークの中心で保持されておらず、又は基板がフォークに対して水平でない状態で搬送を行うと、基板が破損、落下し、又はスクラッチによる不良を生じる虞がある。このような不良を防止するため、基板の搬送においては、搬送アームと基板との相対位置を監視することが行われている。

搬送アームと基板との相対位置を監視する手法として、搬送アームの駆動部を鉛直方向に駆動させるためのモータ信号のパルス数を検知する手法が知られている。モータ信号のパルス数は、搬送アームの駆動部が正常に駆動している場合には同一のパルス数が検知される。そのため、モータ信号のパルス数が異なる場合には、搬送アームで基板を保持する際のタイミングや高さが正常時と異なっていると考えられ、基板がフォークの中心で保持されておらず、又はフォークに対して水平に保持されていない、いわゆる基板を保持する際のウエハの姿勢が安定していない状態であると判断することができる。

また、モータ信号のパルス数が正常であっても、フォークが鉛直方向に対して傾斜する場合や、フォークが折れ曲がっている場合には、フォークで保持されるウエハの姿勢は安定しない。このような基板の載置ずれを検知する基板搬送装置として、複数の保持爪に荷重が加わったときの各々の保持爪の歪み量を歪みセンサで検出することにより、基板載置部から基板を受け取ったときに基板の姿勢が異常な状態であるか否かを検出する基板搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この基板搬送装置によれば、基板の姿勢が異常であるか否かは、各々の保持爪に設けられた歪みセンサの歪み量が一定の閾値を超えているか否かで判断される。

いずれか一つの歪みセンサの歪み量が一定の閾値を超えていない場合には、基板が全ての保持爪に均等に載置されていないとして、基板の姿勢が異常であると判断される。このとき、オペレータが補正モードを選択することにより、基板の位置ずれを修正することができる。基板の位置ずれの修正は、フォークを進退方向に小さく数回動かすことで行われる。

特開２０１１−１６１５２１（特許請求の範囲、段落番号００７５、００７６、図６）。

しかしながら、特許文献１に記載される基板搬送装置では、基板の姿勢が異常である場合にはフォークの移動が禁止され、その後オペレータの判断により基板の位置ずれを修正する補正モードが実行される。そのため、自己診断の下基板の位置ずれを自動で修正する搬送基板装置と比べて、生産性が低下する。

この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板の位置ずれが大きい場合には搬送を停止させることで不良品の発生を防止し、基板の位置ずれがそれほど大きくない場合には、自己診断の下基板の位置ずれを自動で修正することで生産性を向上させた基板搬送装置及び基板搬送方法並びに記憶媒体を提供することを目的とするものである。

上記課題を解決するために、請求項１記載の基板搬送装置は、駆動部により鉛直及び水平方向に移動自在に駆動し、一の処理モジュールから他の処理モジュールに基板を搬送する基板搬送装置であって、上記基板の周囲を囲むように設けられている保持枠の内縁から各々内側に突出すると共に、上記内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられ、上記基板を吸着保持するための吸着孔を有する複数の保持部を有する搬送アームと、前記吸着孔への吸着のタイミングを検知するバキュームセンサと、上記搬送アームの位置を上記駆動部からの位置信号に基づいて検知する位置検知手段と、上記搬送アームの位置のずれ量が、上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第１の許容範囲を超えた場合に、上記基板の搬送を停止すべきと判断する停止判断手段と、上記吸着のタイミングのずれ量が上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第２の許容範囲を超えた場合には、上記基板の搬送を停止すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第２の許容範囲内であるが、上記搬送アームの位置を修正すべきとして予め設定されている第３の許容範囲を超えた場合には、上記基板の位置を修正すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第３の許容範囲内である場合には、上記基板の位置を修正せずに前記基板の搬送を行うべきと判断する吸着判断手段と、上記停止判断手段又は上記吸着判断手段で上記基板の搬送を停止すべきと判断した場合に、上記駆動部の駆動を停止させる信号を上記駆動部に送信する停止信号送信手段と、上記吸着判断手段で上記基板の位置を修正すべきと判断した場合に、上記駆動部の原点復帰を行う信号を上記駆動部に送信する復帰信号送信手段と、を備えることを特徴とする。この場合において、上記駆動部の原点復帰は、上記一の処理モジュールから受け取った基板を仮置きするためのバッファモジュールで行われることが好ましい（請求項２）。

請求項３記載の基板搬送方法は、基板の周囲を囲むように設けられている保持枠の内縁から各々内側に突出すると共に、上記内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられ、上記基板を吸着保持するための吸着孔を有する複数の保持部を有する搬送アームと、上記基板の上記吸引孔への吸着のタイミングを検知するバキュームセンサ、とを備え、駆動部により鉛直及び水平方向に移動自在に駆動する基板搬送装置を用いて、一の処理モジュールから他の処理モジュールに基板を搬送する基板搬送方法であって、上記搬送アームの位置を上記駆動部からの位置信号に基づいて検知する位置検知工程と、上記搬送アームの位置のずれ量が、上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第１の許容範囲を超えた場合に、上記基板の搬送を停止すべきと判断する停止判断工程と、上記吸着のタイミングのずれ量が上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第２の許容範囲を超えた場合には、上記基板の搬送を停止すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第２の許容範囲内であるが、上記搬送アームの位置を修正すべきとして予め設定されている第３の許容範囲を超えた場合には、上記基板の位置を修正すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第３の許容範囲内である場合には、上記基板の位置を修正せずに前記基板の搬送を行うべきと判断する吸着判断工程と、上記停止判断工程又は上記吸着判断工程で上記基板の搬送を停止すべきと判断した場合に、上記駆動部の駆動を停止させる信号を上記駆動部に送信する停止信号送信工程と、上記吸着判断工程で上記基板の位置を修正すべきと判断した場合に、上記駆動部の原点復帰を行う信号を上記駆動部に送信する復帰信号送信工程と、を備えることを特徴とする。この場合において、上記復帰信号送信工程は、上記一のモジュールから受け取った基板を仮置きするための仮置きモジュールに上記保持部を移動させて行うことが好ましい（請求項４）。

請求項５記載の記憶媒体は、コンピュータに制御プログラムを実行させるソフトウエアが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、上記制御プログラムは、基板を吸着保持するための吸着孔を有する搬送アームの位置を該搬送アームを鉛直及び水平方向に移動自在に駆動させる駆動部からの位置信号に基づいて検知する位置検知工程と、上記基板の上記吸引孔への吸着のタイミングを検知するバキュームセンサからの信号に基づいて判断する上記搬送アームの位置のずれ量が、上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第１の許容範囲を超えた場合に、上記基板の搬送を停止すべきと判断する停止判断工程と、上記吸着のタイミングのずれ量が上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第２の許容範囲を超えた場合には、上記基板の搬送を停止すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第２の許容範囲内であるが、上記搬送アームの位置を修正すべきとして予め設定されている第３の許容範囲を超えた場合には、上記基板の位置を修正すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第３の許容範囲内である場合には、上記基板の位置を修正せずに前記基板の搬送を行うべきと判断する吸着判断工程と、上記停止判断工程又は上記吸着判断工程で上記基板の搬送を停止すべきと判断した場合に、上記駆動部の駆動を停止させる信号を上記駆動部に送信する停止信号送信工程と、上記吸着判断工程で上記基板の位置を修正すべきと判断した場合に、上記駆動部の原点復帰を行う信号を上記駆動部に送信する復帰信号送信工程が実行されるように、コンピュータが基板搬送装置を制御するものである、ことを特徴とする。この場合において、上記制御プログラムで実行される上記復帰信号送信工程は、上記一のモジュールから受け取った基板を仮置きするための仮置きモジュールに上記保持部を移動させて行う工程であることが好ましい（請求項６）。

この発明は、上記のように構成されているので、保持枠の位置のずれ量が第１の許容範囲を超えている場合には基板の搬送が停止される。また、保持枠の位置のずれ量が第１の許容範囲を超えていない場合には、吸着のタイミングのずれ量が第２の許容範囲内であって第３の許容範囲を超えている場合であっても、基板の位置を修正することで基板の搬送が可能になる。また、吸着のタイミングのずれ量が第３の許容範囲以内である場合には、基板の位置を修正することなく基板の搬送を行うことができる。そのため、基板の位置ずれが大きい場合には搬送を停止させることで不良品の発生を防止し、基板の位置ずれがそれほど大きくない場合には、自己診断の下基板の位置ずれを自動で修正することで生産性を向上させることができる。

この発明に係る基板洗浄装置を適用したレジスト塗布・現像処理システムの一例を示す概略平面図である。上記レジスト塗布・現像処理システムの概略斜視図である。上記レジスト塗布・現像処理システムの概略縦断面図である。上記レジスト塗布・現像処理システムに設けられた処理部の概略斜視図である。この発明における搬送アームの斜視図である。上記搬送アームの平面図である。上記搬送アームの要部を拡大した平面図である。図７のＡ−Ａ線矢視図である。この発明における制御部を示す構成図である。この発明における受け渡しユニットでウエハを載置する直前の状態を示す搬送アームの概略断面図である。この発明における受け渡しユニットでウエハを載置した状態を示す搬送アームの概略断面図である。ウエハを載置する搬送アームの正常時の動作を説明する概略側面図である。ウエハを載置する搬送アームの異常時の動作を説明する概略側面図である。ウエハを搬送アームに載置する際の吸着タイミングとＺ軸速度とＺ軸位置を示すタイムチャートである。この発明のおける仮置きモジュールの概略斜視図である。搬送アームの位置調整工程を示すフローチャートである。搬送アームのプロセス処理工程の前半を示すフローチャートである。搬送アームのプロセス処理工程の後半を示すフローチャートである。搬送アームの自己診断モードを示すフローチャートである。

以下に、この発明を実施するための形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図１から図３に示されるレジスト塗布・現像処理システムにはキャリアブロックＳ１が設けられており、その載置台１０１上に載置された密閉型のキャリア１００から受け渡しアームＣが基板（ウエハＷ）を取り出して処理ブロックＳ２に受け渡し、処理ブロックＳ２から受け渡しアームＣが処理済みのウエハＷを受け取ってキャリア１００に戻すように構成されている。

処理ブロックＳ２は、図２に示すように、この例では現像処理を行うための第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１、レジスト膜の下層側に形成される反射防止膜の形成処理を行うための第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２、レジスト膜の塗布を行うための第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３、レジスト膜の上層側に形成される反射防止膜の形成を行うための第４のブロック（ＴＣＴ層）Ｂ４を、下から順に積層して構成されている。

第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２と第４のブロック（ＴＣＴ層）Ｂ４とは、各々反射防止膜を形成するための薬液をスピンコーティングにより塗布する塗布ユニットと、この塗布ユニットにて行われる処理の前処理及び後処理を行うための加熱・冷却系の処理ユニット群と、前記塗布ユニットと処理ユニット群との間に設けられ、これらの間でウエハＷの受け渡しを行う搬送アームＡ２，Ａ４と、で構成されている。第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３についても処理液がレジスト液であることを除けば同様の構成である。

一方、第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１については図３に示すように一つのＤＥＶ層Ｂ１内に現像ユニット１１０が２段に積層されている。そして、ＤＥＶ層Ｂ１内には、これら２段の現像ユニット１１０にウエハＷを搬送するための搬送アームＡ１が設けられている。つまり、２段の現像ユニットに対して搬送アームＡ１が共通化された構成となっている。

更に、処理ブロックＳ２には、図１及び図３に示すように、棚ユニットＵ５が設けられ、キャリアブロックＳ１からのウエハＷは棚ユニットＵ５の一つの受け渡しユニット、例えば第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２の対応する受け渡しユニットＣＰＬ２に、棚ユニットＵ５の近傍に設けられた昇降自在な受け渡しアームＤ１によって順次搬送される。次いで、ウエハＷは第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２内の搬送アームＡ２により、この受け渡しユニットＣＰＬ２から各ユニット（反射防止膜ユニット及び加熱・冷却系の処理ユニット群）に搬送され、これらユニットにて反射防止膜が形成される。

その後、ウエハＷは棚ユニットＵ５の受け渡しユニットＢＦ２、棚ユニットＵ５の近傍に設けられた昇降自在な受け渡しアームＤ１、棚ユニットＵ５の受け渡しユニットＣＰＬ３及び搬送アームＡ３を介して第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３に搬入され、レジスト膜が形成される。更に、ウエハＷは、搬送アームＡ３→棚ユニットＵ５の受け渡しユニットＢＦ３に受け渡される。なお、レジスト膜が形成されたウエハＷは、第４のブロック（ＴＣＴ層）Ｂ４にて更に反射防止膜が形成される場合もある。この場合は、ウエハＷは受け渡しユニットＣＰＬ４を介して搬送アームＡ４に受け渡され、反射防止膜の形成された後、搬送アームＡ４により受け渡しユニットＴＲＳ４に受け渡される。

一方、ＤＥＶ層Ｂ１内の上部には、棚ユニットＵ５に設けられた受け渡しユニットＣＰＬ１１から棚ユニットＵ６に設けられた受け渡しユニットＣＰＬ１２にウエハＷを直接搬送するための専用の搬送手段であるシャトルアームＥが設けられている。レジスト膜や更に反射防止膜の形成されたウエハＷは、受け渡しアームＤ１を介して受け渡しユニットＢＦ３，ＴＲＳ４から受け取り受け渡しユニットＣＰＬ１１に受け渡され、ここからシャトルアームＥにより棚ユニットＵ６の受け渡しユニットＣＰＬ１２に直接搬送される。ここで、図１に示すように棚ユニットＵ６と洗浄装置１０２との間に設置された受け渡しアームＤ２は、回転，進退及び昇降自在に構成され、洗浄前後のウエハＷを夫々専門に搬送する例えば２つのアームを備えている。ウエハＷは、受け渡しアームＤ２の洗浄前専用のアームによって受け渡しユニットＣＰＬ１２から取り出され、洗浄装置１０２内に搬入されて裏面洗浄を受ける。洗浄を終えたウエハＷは受け渡しアームＤ２の洗浄後専用のアームで受け渡しユニットＴＲＳ１３に載置された後、インターフェイスブロックＳ３に取り込まれることになる。なお、図３中のＣＰＬが付されている受け渡しユニットは温調用の冷却ユニットを兼ねており、ＢＦが付されている受け渡しユニットは複数枚のウエハＷを載置可能なバッファユニットを兼ねている。

次いで、インターフェイスアームＢにより露光装置Ｓ４に搬送され、ここで所定の露光処理が行われた後、棚ユニットＵ６の受け渡しユニットＴＲＳ６に載置されて処理ブロックＳ２に戻される。次いで、ウエハＷは、第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１にて現像処理が行われ、搬送アームＡ１により棚ユニットＵ５の受け渡しユニットＴＲＳ１に受け渡される。その後、受け渡しアームＤ１により棚ユニットＵ５における受け渡しアームＣのアクセス範囲の受け渡しユニットに搬送され、受け渡しアームＣ介してキャリアに戻される。なお図１においてＵ１〜Ｕ４は各々加熱部と冷却部とを積層した熱系ユニット群である。

〈搬送アーム〉
次に、図４〜図９に基づいて、この発明の基板搬送装置１について説明する。基板搬送装置１は、一の処理モジュールから他の処理モジュールにウエハＷを搬送しウエハＷを吸着保持する搬送アームＡ１〜Ａ４と、ウエハＷの吸着保持のタイミングを検知するバキュームセンサ４３とを備える。

次に、搬送アームＡ１〜Ａ４について説明する。搬送アームＡ１〜Ａ４は、各々第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１，第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２，第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３，第４のブロック（ＴＣＴ層層）Ｂ４に設けられているが、以降では、第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３に設けられている搬送アームＡ３について説明する。

搬送アームＡ３は、ウエハＷの周囲を囲むように設けられている保持枠をなす２枚のフォーク３（３Ａ，３Ｂ）が夫々基台３１に沿って進退自在（図４〜図６中Ｘ方向に移動自在）に構成されると共に、基台３１が回転機構３２により鉛直軸まわりに回転自在に構成されている。

搬送アームＡ３は塗布モジュール２３と棚ユニットＵ１〜Ｕ４との間に配置されている。塗布モジュール２３及び棚ユニットＵ１〜Ｕ４は互いに対向するように設けられ、塗布モジュール２３及び棚ユニットＵ１〜Ｕ４の対向面にはウエハＷの受け渡しを行うための搬送口２４が設けられている。また、棚ユニットＵ３には、搬送アームＡ３でウエハＷを保持する際の保持位置の修正を行うユニットである仮置きユニットＰＴ１〜ＰＴ４が設けられている。

フォーク３Ａ，３Ｂは、その基端側が夫々進退機構３３Ａ，３３Ｂに支持され、これら進退機構３３Ａ，３３Ｂが基台３１内部に設けられたタイミングベルトを用いて、基台３１に沿って移動するように構成されている。こうして、フォーク３Ａ，３Ｂは、進退機構３３Ａ，３３Ｂが基台３１の先端側へ前進した位置にあるウエハＷの受け渡し位置と、進退機構３３Ａ，３３Ｂが基台３１の基端側に後退した位置にある待機位置との間で進退自在に構成される。

回転機構３２の下方側には昇降台３４が設けられており、この昇降台３４は上下方向（図４，図５，図７中Ｚ軸方向）に直線状に伸びるＺ軸ガイドレール（図示せず）に沿って、駆動部をなすモータＭの回転により昇降自在に設けられている。

Ｚ軸ガイドレールは、カバー体３５によって覆われている。また、カバー体３５は、図４に示すように、Ｙ軸方向に直線状に伸びるＹ軸ガイドレール３６に沿って摺動移動するように構成されている。

なお図９には図示の便宜上、昇降台３４を省略して基体３１の下方側に昇降機構３７を描いている。この例の昇降機構３７は前記Ｚ軸ガイドレールの内部に設けられた図示しない昇降軸をモータＭより回転させることによって、基体３１をＺ軸ガイドレールに沿って昇降させるように構成されており、モータＭはエンコーダ３８に接続されている。また、エンコーダ３８のパルス数はカウンタ３９によりカウントされ、カウントされたパルス数が制御コンピュータ５に送信される。このエンコーダ３８、カウンタ３９及び制御コンピュータ５がこの発明の位置検出手段に相当する。

図５〜図７に示すように、円弧状に形成されたフォーク３Ａ，３Ｂの内縁には保持部をなす保持爪３０Ａ〜３０Ｄが設けられている。保持爪３０Ａ〜３０Ｄは、フォーク３Ａ，３Ｂの内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられている。

図７，図８に示すように、各保持爪３０Ａ〜３０Ｄには、吸着孔４１Ａ〜４１Ｄが設けられている。吸着孔４１Ａ〜４１Ｄは、フォーク３Ａ，３Ｂの内部に形成された真空配管４２Ａ，４２Ｂを介して、真空ポンプＰに接続されている。また、真空配管４２Ａ，４２Ｂには、バキュームセンサ４３が設けられており、バキュームセンサ４３で検知された真空配管４２Ａ，４２Ｂの真空度が制御部５１に送信される。

図７、図９に示すように、受け渡しユニットＣＰＬ３には円盤状のクーリングプレート４６が設けられている。クーリングプレート４６の直径はフォーク３Ａ，３Ｂの内径よりもわずかに小さくなる。クーリングプレート４６には保持爪３０Ａ〜３０Ｄと対抗する切欠き４７Ａ〜４７Ｄが設けられている。また、クーリングプレート４６に３本の支持ピン４５が上方向に向かって取り付けられており、支持ピン４５にウエハＷを載置することが可能となっている。

〈制御部〉
図９に基づいて、搬送基板装置１を制御する制御部５１について説明する。制御部５１は、制御コンピュータ５に内蔵されており、制御コンピュータ５は、制御部５１の他に、ウエハＷの搬送を制御するための制御プログラム格納部５２と、エンコーダ３８からの信号やバキュームセンサ４３からの信号を読み取る読取部５３と、読取部５３で読み取られたデータを記憶するデータ記憶部５４と、ウエハＷの搬送を停止する際にアラームを発生させるアラーム発生手段５５を内蔵している。また、制御コンピュータ５は、読取部５３に挿着されると共に、制御コンピュータ５に制御プログラムを実行させるソフトウエアが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体５６が備えられており、制御プログラムに基づいて各部に制御信号を出力するように構成されている。記憶媒体５６としては、ハードディスク、コンパクトディスク、フラッシュメモリ、フレキシブルディスク、メモリカードなどがある。

制御プログラム格納部５２には、ウエハＷをキャリア１００から処理ブロックＳ２に受け渡し、処理済みのウエハＷを処理ブロックＳ２からキャリア１００に戻す搬送プログラム５２ａと、搬送アームＡ１〜Ａ４に保持されているウエハＷの保持位置をチェックし、チェックした結果に基づいてウエハＷの保持位置を調節する自己診断プログラム５２ｂと、チェックした結果、ウエハＷの搬送をすべきでないと判断した場合には、ウエハＷの搬送を停止する搬送停止プログラム５２ｃと、読取部５３で読み取られる信号と、データ記憶部５４に記憶されているデータとから、搬送プロプログラム５２ａを実行するか、自己診断プログラム５２ｂを実行するか、搬送停止プログラム５２ｃを実行するかを判断する判断プログラム５２ｄが格納されている。

〈ウエハの保持〉
図９〜図１２に基づいて、搬送アームＡ１〜Ａ４にウエハＷを載置する動作について説明する。

図１０Ａには、受け渡しユニットＣＰＬ３に搬送アームＡ３を挿入した状態が示されている。受け渡しユニットＣＰＬ３には、支持ピン４５を有するクーリングプレート４６が設けられており、この支持ピン４５にウエハＷが載置されている。また、搬送アームＡ３の進退機構３３Ａ，３３Ｂは、クーリングプレート４６の下側に挿入される。そして、進退機構３３Ａがクーリングプレート４６の下側に挿入された状態で、昇降台３４を鉛直方向に駆動するモータＭのエンコーダ３８からの信号が、データ記憶部５４に記憶される。

次に、図１０Ｂに示すように、モータＭの駆動により、昇降台３４が上方に移動するため、搬送アームＡ３が上方に移動して、支持ピン４５上に保持されているウエハＷが搬送アームＡ３上に載置される。このとき、フォーク３Ａ，３Ｂの内周がクーリングプレート４６の直径よりもわずかに大きく、クーリングプレート４６に保持爪３０Ａ〜３０Ｄに対応する切欠き４７Ａ〜４７Ｄに設けられているため、搬送アームＡ３とクーリングプレート４６との干渉は生じない。そして、ウエハＷは真空配管４２Ａ，４２Ｂに開設される真空ポンプＰを駆動させることにより吸着保持される。

次に、図１２に基づいて、ウエハＷを搬送アームＡ３上に載置する際のモータＭの駆動と真空ポンプＰによる真空引きのタイミングについて説明する。図１２において、Ｚ軸速度を示す実線は、モータＭが正常に動作しているときの搬送アームＡ３のＺ軸速度を示している。また、Ｚ軸位置はＺ軸速度の波形を積分することで求めることができる。

搬送アームＡ３は、受け渡しユニットＣＰＬ３に挿入された状態（時間ｔ０）から速度Ｖ２になるまでは、上方向に加速しながら移動する。搬送アームＡ３の速度がＶ２となる時間ｔ１で、搬送アームＡ３と支持ピン４５上に保持されているウエハＷとの距離が近づくため、搬送プログラム５２ａに基づいて、時間ｔ１で上方向に移動している搬送アームＡ３を減速する制御が実行される。

次に、搬送アームＡ３の速度が搬送アームＡ３へのウエハＷの載置を安定して行うことができる速度Ｖ１まで減速される時間ｔ２で、搬送アームＡ３の速度をＶ１とする等速度運動とする制御が実行される。その後、搬送アームＡ３が速度Ｖ１の等速度運動を行っている時間ｔ３で、搬送アームＡ３にウエハＷが載置され、吸着孔４１Ａ〜４１ＤによりウエハＷが吸着保持される。

時間ｔ３で吸着孔４１Ａ〜４１ＤによりウエハＷが吸着保持された後、搬送アームＡ３は時間ｔ４において加速を開始し、時間ｔ５において速度Ｖ３まで加速して上昇した後、時間ｔ６で運動が停止される。

吸着孔４１Ａ〜４１ＤによるウエハＷの吸着保持が正常に行われているか否かは、時間ｔ２とｔ３の間の時間によって判断される。ウエハＷの吸着保持は、正常時には、時間ｔ２で搬送アームＡ３の速度をＶ１とする等速度運動を開始してから時間ｔｃを経過した時に行われる。換言すれば、搬送アームＡ３の速度をＶ１とする等速度運動の開始時には、搬送アームＡ３はウエハＷの下方であって距離Ｚ１となる場所に位置する。

一方、図１１Ｂに示されるように、搬送アームＡ３の速度をＶ１とする等速度運動の開始時に、搬送アームＡ３がウエハＷの下方であって距離Ｚ１よりも近い距離Ｚ２となる場所に位置する場合には、図１２の点線で示したバキュームセンサタイミングのように、正常時と比較して時間ｔ２に近い時間でバキュームセンサ４３がＯＮとなる。このときは、搬送アームＡ３の速度をＶ１とする等速度運動の開始からウエハＷの吸着保持までの時間ｔｃが短くなるため、時間ｔ２とｔ３の間の時間差と時間ｔｃとの間にずれ（ずれ量ｒ）が生じる。

また、搬送アームＡ３の速度をＶ１とする等速度運動の開始時に、搬送アームＡ３がウエハＷの下方であって距離Ｚ１よりも遠い距離Ｚ３となる場所に位置する場合には、図１２の一点鎖線で示したバキュームセンサタイミングのように、正常時と比較して時間ｔ２から遠い時間でバキュームセンサ４３がＯＮとなる。このときは、搬送アームＡ３の速度をＶ１とする等速度運動の開始からウエハＷの吸着保持までの時間ｔｃが長くなるため、時間ｔ２とｔ３の間の時間差と時間ｔｃとの間にずれ（ずれ量ｒ）が生じる。

ずれ量γがモータＭの駆動を停止させるべきとして予め設定されている第２の許容範囲σ２を超えている場合には、ウエハＷの吸着保持のタイミングに関するずれが大きいため、制御部５１はウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に吸着保持されておらず、ウエハＷの搬送を停止すべきと判断する。また、ずれ量γと時間ｔｃとのずれが２の許容範囲σ２以内であるが、フォーク３Ａ，３Ｂの位置を修正すべきとして予め設定されている第３の許容範囲σ３を超えている場合には、真空引きのタイミングのずれがある程度の大きさであるため、制御部５１はウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されていないものの、ウエハＷの載置位置を調節することでウエハＷのスクラッチの発生を防止することができると判断する。

ここで、第２の許容範囲σ２，第３の許容範囲σ３は、搬送アームＡ１〜Ａ４及びシャトルアームＥと各モジュールの位置ずれ許容値を真空引きのタイミングずれに換算することで任意に定めることができる。一例として、第２の許容範囲σ２についてはＺ軸速度がＶ１の等速度運動を行っている時間（ｔ４−ｔ２）の２５％とし、第３の許容範囲σ３については時間（ｔ４−ｔ２）の１２％と定めることができる。

〈仮置きモジュール〉
図１３に基づいて、仮置きユニットＰＴ３について説明する。仮置きユニットＰＴ３は、支持部７２の上部にウエハＷが載置されるステージ部７３を備えている。ステージ部７３は、例えば先端が円弧状に構成された板状体に形成され、ステージ部７３とフォーク３Ａとの間でウエハＷの受け渡しを行うときには、フォーク３Ａがステージ部７３を所定の空間を介して囲むように、その形状及び大きさが決定されている。

〈基板搬送方法〉
図１４〜図１６に基づいて、この発明の基板搬送方法について説明する。ウエハＷの搬送は、搬送アームＡ１〜Ａ４及びシャトルアームＥで行われるが、搬送アームＡ１〜Ａ４及びシャトルアームＥの動作は同様であるため、以下では搬送アームＡ３の搬送動作について説明する。

基板搬送装置１によるウエハＷの搬送では、最初に、図１４に示される搬送アームＡ３の位置調整が行われる。搬送アームＡ３の位置調整では、最初にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸（全軸）のイニシャライズ（初期化）が行われる（ステップＳ１）。Ｘ軸のイニシャライズでは、制御部５１からＸ軸を駆動するモータＭに、Ｘ軸を初期化する信号が伝達され、この信号に基づいてＸ軸が初期化される。また、Ｙ軸、Ｚ軸についても、Ｘ軸と同様に、制御部５１からの信号に基づいて初期化される。

次に、制御部５１からの信号に基づいて、搬送アームＡ３がＣＰＬ３に載置されているウエハＷを受け取る位置まで移動し、ウエハＷを受け取る前の搬送アームＡ３の位置データＰ１及びウエハＷを受け取った状態の搬送アームＡ３の位置データＰ２が読取部５３で読み取られ、データ記憶部５４に記憶される（ステップＳ２）。また、ステップＳ２では、搬送アームＡ３が仮置きユニットＰＴ３に移動し、ステージ部７３にウエハＷを載置する前の搬送アームＡ３の位置データＰ３及びステージ部７３にウエハＷを載置した状態の搬送アームＡ３の位置データＰ４が読取部５３で読み取られ、データ記憶部５４に記憶される。

また、搬送プログラム５２ａに基づいて、ウエハＷを保持する搬送アームＡ３がＣＯＴ層Ｂ３内の図示しないスピンチャックの上方（ウエハＷを送出する位置）まで移動し、ウエハＷを図示しないスピンチャックに受け渡す前の搬送アームＡ３の位置データＰ５及びウエハＷを図示しないスピンチャックに受け渡した後の状態の搬送アームＡ３の位置データＰ６が読取部５３で読み取られ、データ記憶部５４に記憶される（ステップＳ３）。

次に、ＣＰＬ３に載置されているウエハＷを搬送アームＡ３に吸着保持させる際のバキュームのタイミングと真空配管４２Ａ，４２Ｂの真空度、ＣＯＴ層Ｂ３内の図示しないスピンチャックに保持されているウエハＷを吸着保持させる際のバキュームのタイミングと真空配管４２Ａ，４２Ｂの真空度、及びステージ部７３に載置されているウエハＷを吸着保持させる際のバキュームのタイミングと真空配管４２Ａ，４２Ｂの真空度がバキュームセンサ４３で検知される。これらの真空引きに関するデータ（ＶＡＣデータ）は読取部５３で読み取られ、データ記憶部５４に記憶される（ステップＳ４）。

以上のステップＳ１〜Ｓ４を実行することにより、搬送アームＡ３の全軸を初期化した状態で、基板を受け取る位置と送出する位置、ＶＡＣデータをデータ記憶部に記憶される。これらのデータは、基板搬送装置１による各モジュールへの搬送時において、搬送アームＡ３におけるウエハＷの姿勢が正常であるか否かの基準データとなる。

次に、図１５Ａ，図１５Ｂに基づいて、一の処理モジュールから他の処理モジュールにウエハＷを搬送する工程の一例について説明する。まず、一の処理モジュールから他の処理モジュールにウエハＷを搬送する前に、図１５Ａに示すステップＳ１と同様の全軸イニシャライズが行われる（ステップＳ１１）。次に、搬送アームＡ３を一の処理モジュールであるＣＰＬ３に移動した状態で停止し（ステップＳ１２）、搬送アームＡ３の停止位置データを読取部５３に送信することで、搬送アームＡ３の位置データがデータ記憶部５４に記憶される（ステップＳ１３）。

次に、ステップＳ２で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ１と、ステップＳ１３で取得した搬送アームＡ３の停止位置データとの差（位置ずれ量δ１）から、搬送アームＡ３の停止位置のずれが第１の許容範囲σ１を超えているか否かを判断する（ステップＳ１４）。位置ずれ量δ１が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、ＣＬＰ３に移動した搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、制御部５１はウエハＷを保持した場合にウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されないと判断する。そのため、制御部５１はウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

従って、ステップＳ１４がこの発明の停止判断工程に相当し、ステップＳ１４で位置ずれ量δ１が第１の許容範囲δ１を超えているか否かを判断する制御部５１がこの発明の停止判断手段に相当する。また、ステップＳ１１５がこの発明の停止信号送信工程であり、ステップＳ１１５における制御部５１がこの発明の停止信号送信手段に相当する。

また、位置ずれ量δ１が第１の許容範囲σ１以内である場合には、ＣＬＰ３に移動した搬送アームＡ３の停止位置の位置ずれは小さいため、制御部５１はウエハＷを保持した場合にウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されると判断する。そのため、制御部５１はウエハＷの落下や破損を生じる虞はないと判断して、搬送アームＡ３の駆動を継続する。ここで、第１の許容範囲σ１は、搬送を継続した場合にはウエハＷの破損、落下を生じるおそれがあるとして定めた位置ずれ量である。

位置ずれ量δ１が第１の許容範囲σ１以内である場合には、ウエハＷが搬送アームＡ３の保持爪３０Ａ〜３０Ｄに吸着保持されることで搬送アームＡ３がウエハＷを受け取り（ステップＳ１５）、ウエハＷを搬送アームＡ３に吸着保持する際の搬送アームＡ３の位置データとＶＡＣデータが読取部５３で読みとられ、データ記憶部５４に記憶される。（ステップＳ１６）。

次に、ステップＳ２で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ２と、ステップＳ１６で取得した搬送アームＡ３の位置データの差（位置ずれ量δ２）が第１の許容範囲σ１を超えているか否かが判断される（ステップＳ１７）。位置ずれ量δ２が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、ＣＬＰ３における搬送アームＡ３のウエハ受取位置の位置ずれは大きいため、制御部５１はウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されていないと判断する。そのため、制御部５１はウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。また、位置ずれ量δ２が第１の許容範囲σ１以内である場合には、ＣＬＰ３における搬送アームＡ３のウエハ受取位置の位置ずれは小さいため、制御部５１はウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されていると判断する。そのため、制御部５１はウエハＷの落下や破損を生じる虞はないと判断して、搬送アームＡ３の駆動を継続する。

位置ずれ量δ２が第１の許容範囲σ１以内である場合には、次に、ウエハＷを吸着保持する際の真空引きのタイミングがずれているか否かを判断する（ステップＳ１８）。ステップＳ４で検知された真空引きのタイミングと、ステップＳ１６で検知された真空引きのタイミングの差（ずれ量γ１）が第２の許容範囲σ２を超えている場合には、真空引きのタイミングのずれが大きいため、制御部５１はウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されていないと判断する。そのため、制御部５１はウエハＷにスクラッチが生じる虞があると判断して、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する。（ステップＳ１１５）。ここで、第２の許容範囲σ２は搬送を継続した場合にはウエハＷのスクラッチを生じる虞があるとして定めた位置ずれ量である。

ずれ量γ１が第２の許容範囲σ２以内である場合には、ずれ量γ１が第３の許容範囲σ３を超えているか否かが判断される（ステップＳ１９）。ここで、第３の許容範囲σ３は、搬送を継続してもウエハＷのスクラッチを生じない範囲であるとして定めた位置ずれ量であり、第２の許容範囲σ２よりも小さな値となる。

ずれ量γ１が第３の許容範囲σ３を超えている場合には、真空引きのタイミングのずれがある程度の大きさであるため、制御部５１はウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されていないものの、ウエハＷの載置位置を調節することでウエハＷのスクラッチの発生を防止することができると判断する。このときは、搬送アームＡ３に保持されているウエハＷの位置ずれを自己診断し、修復する自己診断モードが実行される（ステップＳ１１０）。自己診断モードの詳細については後述する。また、ずれ量γ１が第３の許容範囲σ３以内である場合には、ウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されているか、又は載置の位置ずれが小さいためウエハＷのスクラッチが生じないと判断して、ウエハＷを保持する搬送アームＡ３がＣＯＴ層Ｂ３に移動される（ステップＳ１１２）。そして、搬送アームＡ３がＣＯＴ層Ｂ３内の図示しないスピンチャックの上方に移動して停止した状態で、搬送アームＡ３の停止位置データを読取部５３で読み取り、データ記憶部５４に記憶する（ステップＳ１１３）。従って、ステップＳ１８，Ｓ１９がこの発明の吸着判断工程に相当し、ステップＳ１８，Ｓ１９でずれ量γ１が第２の許容範囲δ２、第３の許容範囲δ３を超えているか否かを判断する制御部５１がこの発明の吸着判断手段に相当する。

次に、ステップＳ３で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ５と、ステップＳ１１３で取得した搬送アームＡ３の停止位置データとの差（位置ずれ量δ３）に基づいて、搬送アームＡ３の停止位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ１１４）。位置ずれ量δ３が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、図示しないスピンチャック上に移動した搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、制御部５１はウエハＷを図示しないスピンチャックに対して均等に載置することができないと判断する。そのため、制御部５１はウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。また、位置ずれ量δ３が第１の許容範囲σ１以内である場合には、図示しないスピンチャックにウエハＷを載置し、搬送アームＡ３の停止位置データを読取部５３で読み取り、データ記憶部５４に記憶する（ステップＳ１１６）。

次に、ステップＳ３で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ６と、ステップＳ１１６で取得した搬送アームＡ３の停止位置データとの差（位置ずれ量δ４）に基づいて、搬送アームＡ３の停止位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ１１７）。位置ずれ量δ４が第１の許容範囲を超えている場合には、図示しないスピンチャックにウエハＷを載置した状態の搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、制御部５１は上記スピンチャックに載置されているウエハＷが保持爪３０Ａ〜３０Ｄに均等に載置されないと判断する。そのため、制御部５１はウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して、アラームを発生させたうえで、搬送プログラム５２ｃに基づいて搬送アームの駆動を停止する（ステップＳ１１５）。位置ずれ量δ４が第１の許容範囲σ１以内である場合には、制御部５１は、一のモジュールである受け渡しユニットＣＰＬ３から他のモジュールであるＣＯＴ層Ｂ３へのウエハＷの搬送が正常に行われたと判断して、受け渡しユニットＣＰＬ３からＣＯＴ層Ｂ３へのウエハＷの搬送を終了する。

図１６に基づいて、ステップＳ１１０の自己診断モードの詳細について説明する。自己診断モードでは、ウエハＷを保持している搬送アームＡ３を仮置きユニットＰＴ３に移動し（ステップＳ２１）、搬送アームＡ３の位置データを読取部５３で読み取り、データ記憶部５４に記憶する（ステップＳ２２）。

次に、ステップＳ２で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ３と、ステップＳ２２で取得した搬送アームＡ３の位置データとの差（位置ずれ量δ５）を比較して、搬送アームＡ３の停止位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ２３）。位置ずれ量δ５が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、仮置きユニットＰＴ３に移動した搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、制御部５１でウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して図１５Ａ，図１５Ｂに示される搬送工程に戻り、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

また、位置ずれ量δ５が第１の許容範囲σ１以内である場合には、ウエハＷを仮置きユニットＰＴ３のステージ部７３に載置する（ステップＳ２４）。そして、ウエハＷをステージ部７３に載置した搬送アームＡ３の位置データを読取部５３で読み取り、データ記憶部５４に記憶する（ステップＳ２５）。

次に、ステップＳ２で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ４と、ステップＳ２５で取得した搬送アームＡ３の位置データの差（位置ずれ量δ６）に基づいて、搬送アームＡ３の停止位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ２６）。位置ずれ量δ６が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、ウエハＷをステージ部７３に載置した搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、ウエハＷを搬送アームＡ３で保持した場合にはウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して図１５Ａ，図１５Ｂに示される搬送工程に戻り、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

また、位置ずれ量δ６が第１の許容範囲σ１以内である場合には、ステージ部７３に載置されているウエハＷが搬送アームＡ３に吸着保持され（ステップＳ２７）、搬送アームＡ３の位置データとＶＡＣデータが読取部５３で読み取られ、データ記憶部５４に記憶される（ステップＳ２８）。

次に、ステップＳ２で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ３と、ステップＳ２８で取得した搬送アームＡ３の位置データとの差（位置ずれ量δ７）を比較して、搬送アームＡ３の停止位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ２９）。位置ずれ量δ７が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、ステージ部７３に載置されたウエハＷを保持する搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、ウエハＷを搬送アームＡ３で保持した場合にはウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して図１５Ａ，図１５Ｂに示される搬送工程に戻り、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

ステップＳ２９において、位置ずれ量δ７が第１の許容範囲σ１以内である場合には、次の工程で保持爪３０Ａ〜３０Ｄに吸着保持されているウエハＷの保持位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ２１０）。ステップＳ４で検知された真空引きのタイミングと、ステップＳ２８で検知された真空引きのタイミングの差（ずれ量γ２）が第２の許容範囲σ２を超えている場合には、保持爪３０Ａ〜３０Ｄに吸着保持されているウエハＷの保持位置がずれているため、ウエハＷにスクラッチが生じる虞があると判断して、図１５Ａ，図１５Ｂに示される搬送工程に戻り、搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

ずれ量γ２が第２の許容範囲σ２以内である場合には、ずれ量γ２が第３の許容範囲σ３を超えているか否かが判断される（ステップＳ２１１）。ずれ量γ２が第３の許容範囲σ３を超えている場合には、制御部５１は、ウエハＷの搬送を継続した場合にはウエハＷにスクラッチを生じる可能性があるが、ウエハＷの落下、破損を生じるおそれはないと判断し、搬送アームＡ３を仮置きユニットＰＴ３から移動させて、ウエハＷの保持位置を修正するための全軸初期化を行う（ステップＳ２１２）。また、ずれ量γ２が第３の許容範囲σ３以内である場合には、搬送アームＡ３に保持されているウエハＷの位置ずれ量は小さく、ウエハＷの落下、破損のおそれ、及びウエハＷにスクラッチを生じる可能性はないと判断される。従って、図１６に示される自己診断モードを終了し、図１５Ａに示されるＣＯＴ層Ｂ３の図示しないスピンチャックにウエハＷを載置する工程に戻る（ステップＳ１１２）。

ステップＳ２１２で、搬送アームＡ３の全軸初期化が行われた後、搬送アームＡ３が仮置きユニットＰＴ３に移動され（ステップＳ２１３）、搬送口２４にフォーク３Ａ，３Ｂを挿入した状態で搬送アームＡ３の位置データが読取部５３で読み取られ、データ記憶部５４で記憶される（ステップＳ２１４）。

次に、ステップＳ２で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ３と、ステップＳ２１４で取得した搬送アームＡ３の位置データとの差（位置ずれ量δ８）に基づいて、搬送アームＡ３の停止位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ２１５）。位置ずれ量δ８が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、仮置きユニットＰＴ３に移動した搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、ウエハＷを搬送アームＡ３で保持した場合にはウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して図１５Ａ，図１５Ｂに示される搬送工程に戻り、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

また、位置ずれ量δ８が第１の許容範囲σ１以内である場合には、ウエハＷを仮置きユニットＰＴ３のステージ部７３に載置することで、搬送アームＡ３からウエハＷを送出し（ステップＳ２１６）、搬送アームＡ３の位置データが読取部５３で読み取られ、データ記憶部５４に記憶される（ステップＳ２１７）。

次に、ステップＳ２で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ４と、ステップＳ２１７で取得した搬送アームＡ３の位置データとの差（位置ずれ量δ９）を比較して、搬送アームＡ３の停止位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ２１８）。位置ずれ量δ９が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、ウエハＷをステージ部７３に載置した搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、ウエハＷを搬送アームＡ３で保持した場合にはウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して図１５Ａ，図１５Ｂに示される搬送工程に戻り、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

また、位置ずれ量δ９が第１の許容範囲σ１以内である場合には、ステージ部７３に載置されているウエハＷが搬送アームＡ３で保持され（ステップＳ２１９）、搬送アームＡ３の位置データとＶＡＣデータが読取部５３で読み取られ、データ記憶部５４に記憶される（ステップＳ２２０）。

次に、ステップＳ２で取得した搬送アームＡ３の位置データＰ３と、ステップＳ２２０で取得した搬送アームＡ３の位置データの差（位置ずれ量δ１０）に基づいて、搬送アームＡ３の停止位置がずれているか否かを判断する（ステップＳ２２１）。位置ずれ量δ１０が第１の許容範囲σ１を超えている場合には、ウエハＷを保持する搬送アームＡ３の停止位置が大きくずれているため、搬送アームＡ３を移動させた場合にはウエハＷの落下や破損を生じる虞があると判断して図１２に示される搬送工程に戻り、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

また、ステップＳ２２１において、位置ずれ量δ１０が第１の許容範囲σ１以内である場合には、次の工程でウエハＷを保持爪３０Ａ〜３０Ｄで吸着保持する際の吸着タイミングがずれているか否かを判断する（ステップＳ２２２）。ステップＳ４で検知された真空引きのタイミングと、ステップＳ２２０で検知された真空引きのタイミングの差（ずれ量γ３）が第２の許容範囲σ３を超えている場合には、ウエハＷの保持位置がずれているため、ウエハＷにスクラッチが生じる虞があると判断して図１５Ａ，図１５Ｂに示される搬送工程に戻り、アラームを発生させたうえで、搬送停止プログラム５２ｃに基づいて搬送アームＡ３の駆動を停止する（ステップＳ１１５）。

また、ずれ量γ３が第２の許容範囲σ３以内である場合には、ウエハＷの保持位置のずれはスクラッチを生じない範囲であるため、ウエハＷの搬送を継続することができるとして自己診断モードを終了し、図１５Ａに示されるステップＳ１１１に進む。

以上のように、この発明の基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板搬送用記憶媒体は、フォーク３Ａ，３Ｂの位置のずれ量が第１の許容範囲σ１を超えている場合、又は吸着のタイミングのずれ量が第２の許容範囲内σ２を超えた場合には、ウエハＷの搬送が停止される。また、フォーク３Ａ，３Ｂの位置のずれ量が第１の許容範囲σ１を超えていない場合には、吸着のタイミングのずれ量が第２の許容範囲σ２以内であって第３の許容範囲σ３を超えている場合であっても、ウエハＷの位置を修正することで基板の搬送が可能になる。また、吸着のタイミングのずれ量が第３の許容範囲σ３以内である場合には、ウエハＷの位置を修正することなくウエハＷの搬送を行うことができる。そのため、ウエハＷの位置ずれが大きい場合には搬送を停止させることで不良品の発生を防止し、ウエハＷの位置ずれがそれほど大きくない場合には、自己診断の下ウエハＷの位置ずれを自動で修正することで生産性を向上させることができる。

また、フォーク３Ａ，３Ｂの位置のずれ量が第１の許容範囲σ１以内であり、吸着のタイミングのずれ量が第２の許容範囲σ２以内であって第３の許容範囲σ３を超えている場合には、自己修復モードが実行される。従って、自己修復モードが実行されている場合には、ウエハＷの吸着保持のずれが生じており、搬送工程で生じているずれの原因を特定するためのサポートを果たすことができる。

以上、この発明の基板搬送装置及び基板搬送方法並びに基板搬送用記憶媒体について説明したが、この発明を実施するための形態はこれに限られない。この発明を実施するための形態としては、一の処理モジュールを受け渡しユニットＣＰＬ３、他の処理モジュールを第３のブロック（ＣＯＴ層）Ｂ３として説明したが、一の処理モジュールは受け渡しユニットＣＰＬ１，ＣＰＬ２，ＣＰＬ４であってもよく、他の処理モジュールは第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１，第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２，第４のブロック（ＴＣＴ層層）Ｂ４であってもよい。

また、この発明を実施するための形態では、ウエハＷの自己診断は仮置きユニットＰＴ３で行われているが、受け渡しユニットＣＰＬ１と第１のブロック（ＤＥＶ層）Ｂ１の処理モジュールの間でウエハＷの搬送を行う場合には、ウエハＷの自己診断は仮置きユニットＰＴ１で行われる。また、受け渡しユニットＣＰＬ２と第２のブロック（ＢＣＴ層）Ｂ２の処理モジュールの間でウエハＷの搬送を行う場合、受け渡しユニットＣＰＬ４と第４のブロック（ＴＣＴ層）Ｂ４の処理モジュールの間でウエハＷの搬送を行う場合には、ウエハＷの自己診断は仮置きユニットＰＴ２，ＰＴ４で行われる。

また、ウエハＷの自己診断は、仮置きモジュールＰＴ３で行わず、処理ブロックＳ２中の受け渡しユニットＣＰＬ２，ＣＰＬ３，ＣＰＬ１１，ＣＰＬ１２で行われてもよい。

１基板搬送装置
３Ａ，３Ｂフォーク（保持枠）
３０Ａ〜３０Ｄ保持爪（保持部）
４１Ａ〜４１Ｄ吸着孔
４３バキュームセンサ
５１制御部
Ａ１〜Ａ４搬送アーム
ＰＴ１〜ＰＴ４仮置きユニット
Ｗウエハ

Claims

駆動部により鉛直及び水平方向に移動自在に駆動し、一の処理モジュールから他の処理モジュールに基板を搬送する基板搬送装置であって、
上記基板の周囲を囲むように設けられている保持枠の内縁から各々内側に突出すると共に、上記内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられ、上記基板を吸着保持するための吸着孔を有する複数の保持部を有する搬送アームと、
前記吸着孔への吸着のタイミングを検知するバキュームセンサと、
上記搬送アームの位置を上記駆動部からの位置信号に基づいて検知する位置検知手段と、
上記搬送アームの位置のずれ量が、上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第１の許容範囲を超えた場合に、上記基板の搬送を停止すべきと判断する停止判断手段と、
上記吸着のタイミングのずれ量が上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第２の許容範囲を超えた場合には、上記基板の搬送を停止すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第２の許容範囲内であるが、上記搬送アームの位置を修正すべきとして予め設定されている第３の許容範囲を超えた場合には、上記基板の位置を修正すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第３の許容範囲内である場合には、上記基板の位置を修正せずに前記基板の搬送を行うべきと判断する吸着判断手段と、
上記停止判断手段又は上記吸着判断手段で上記基板の搬送を停止すべきと判断した場合に、上記駆動部の駆動を停止させる信号を上記駆動部に送信する停止信号送信手段と、
上記吸着判断手段で上記基板の位置を修正すべきと判断した場合に、上記駆動部の原点復帰を行う信号を上記駆動部に送信する復帰信号送信手段と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
請求項１に記載の基板搬送装置において、
上記駆動部の原点復帰は、上記一の処理モジュールから受け取った基板を仮置きするためのバッファモジュールで行われることを特徴とする基板搬送装置。
基板の周囲を囲むように設けられている保持枠の内縁から各々内側に突出すると共に、上記内縁に沿って互いに間隔を開けて設けられ、上記基板を吸着保持するための吸着孔を有する複数の保持部を有する搬送アームと、
上記基板の上記吸引孔への吸着のタイミングを検知するバキュームセンサ、とを備え、
駆動部により鉛直及び水平方向に移動自在に駆動する基板搬送装置を用いて、一の処理モジュールから他の処理モジュールに基板を搬送する基板搬送方法であって、
上記搬送アームの位置を上記駆動部からの位置信号に基づいて検知する位置検知工程と、
上記搬送アームの位置のずれ量が、上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第１の許容範囲を超えた場合に、上記基板の搬送を停止すべきと判断する停止判断工程と、
上記吸着のタイミングのずれ量が上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第２の許容範囲を超えた場合には、上記基板の搬送を停止すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第２の許容範囲内であるが、上記搬送アームの位置を修正すべきとして予め設定されている第３の許容範囲を超えた場合には、上記基板の位置を修正すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第３の許容範囲内である場合には、上記基板の位置を修正せずに前記基板の搬送を行うべきと判断する吸着判断工程と、
上記停止判断工程又は上記吸着判断工程で上記基板の搬送を停止すべきと判断した場合に、上記駆動部の駆動を停止させる信号を上記駆動部に送信する停止信号送信工程と、
上記吸着判断工程で上記基板の位置を修正すべきと判断した場合に、上記駆動部の原点復帰を行う信号を上記駆動部に送信する復帰信号送信工程と、を備えることを特徴とする基板搬送方法。
請求項３に記載の基板搬送方法において、
上記復帰信号送信工程は、上記一のモジュールから受け取った基板を仮置きするための仮置きモジュールに上記保持部を移動させて行うことを特徴とする基板搬送方法。
コンピュータに制御プログラムを実行させるソフトウエアが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
上記制御プログラムは、基板を吸着保持するための吸着孔を有する搬送アームの位置を該搬送アームを鉛直及び水平方向に移動自在に駆動させる駆動部からの位置信号に基づいて検知する位置検知工程と、
上記基板の上記吸引孔への吸着のタイミングを検知するバキュームセンサからの信号に基づいて判断する上記搬送アームの位置のずれ量が、上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第１の許容範囲を超えた場合に、上記基板の搬送を停止すべきと判断する停止判断工程と、
上記吸着のタイミングのずれ量が上記駆動部の駆動を停止させるべきとして予め設定されている第２の許容範囲を超えた場合には、上記基板の搬送を停止すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第２の許容範囲内であるが、上記搬送アームの位置を修正すべきとして予め設定されている第３の許容範囲を超えた場合には、上記基板の位置を修正すべきと判断し、上記吸着のタイミングのずれ量が上記第３の許容範囲内である場合には、上記基板の位置を修正せずに前記基板の搬送を行うべきと判断する吸着判断工程と、
上記停止判断工程又は上記吸着判断工程で上記基板の搬送を停止すべきと判断した場合に、上記駆動部の駆動を停止させる信号を上記駆動部に送信する停止信号送信工程と、
上記吸着判断工程で上記基板の位置を修正すべきと判断した場合に、上記駆動部の原点復帰を行う信号を上記駆動部に送信する復帰信号送信工程が実行されるように、コンピュータが基板搬送装置を制御するものである、ことを特徴とする基板搬送用記憶媒体。
請求項５に記載の基板搬送用記憶媒体において、
上記制御プログラムで実行される上記復帰信号送信工程は、上記一のモジュールから受け取った基板を仮置きするための仮置きモジュールに上記保持部を移動させて行う工程であることを特徴とする基板搬送用記憶媒体。