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JP2014029985A - 低再結合電気接点を含む太陽電池並びにそれを形成するシステム及び方法 - Google Patents

低再結合電気接点を含む太陽電池並びにそれを形成するシステム及び方法 Download PDF

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JP2014029985A JP2013091448A JP2013091448A JP2014029985A JP 2014029985 A JP2014029985 A JP 2014029985A JP 2013091448 A JP2013091448 A JP 2013091448A JP 2013091448 A JP2013091448 A JP 2013091448A JP 2014029985 A JP2014029985 A JP 2014029985A
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Abstract

【課題】低可動キャリア再結合速度電気接点による電気接点を含む太陽電池を提供する。
【解決手段】前面14及び対向する背面18を画定するセル本体20を含む。太陽電池10は、セル本体20の前面14との電気的接続を形成する前面電気接点60、セル本体20の背面18との電気的接続を形成する背面電気接点80、及び電気的絶縁層を含む少なくとも1つの中間層100をさらに含み、セル本体20と前面電気接点及60び/又は背面電気接点80との間に配置される。
【選択図】図1

Description

本開示は太陽電池に関し、より具体的には、低可動キャリア再結合速度電気接点による電気接点を含む太陽電池に関する。
太陽電池は、本明細書では光起電力電池と呼ばれることもあるが、太陽光などの光を直接電流に変換するデバイスである。太陽電池は太陽光の光子を吸収する半導体材料から形成することができる。吸収した光子のエネルギーが半導体材料の禁制帯幅よりも大きい場合には、吸収は半導体材料の価電子帯から半導体材料の伝導帯へ電子を励起し、これにより、本明細書では自由電子並びに正孔及び/又は可動キャリアとも呼ばれる電子正孔対を生成する。自由電子並びに正孔は太陽電池内部で移動して、直流電流を生成することができる。
太陽電池が太陽光を電気エネルギーに変換する効率は、太陽光の吸収に利用できる太陽電池の表面積の比率、太陽電池が吸収した太陽光から可動キャリアを生成する効率、及び/又は生成された可動キャリアが太陽電池から外部回路へ供給される際の効率を含む、様々な要因によって支配されている。半導体材料内部の可動キャリアの再結合は、自由電子と正孔との結合、及び半導体材料の伝導帯から半導体材料の価電子帯への自由電子の遷移を含みうるが、再結合した可動キャリアはもはや外部回路への供給には利用できないため、太陽電池の全体効率を低下させることがある。半導体材料内部で生成された可動キャリアが再結合する率は、本明細書では再結合速度及び/又は再結合率と呼ばれることがある。
可動キャリア再結合速度は、半導体材料内部の欠陥及び/又は不適合で加速されることがある。例示的な実施例として、半導体材料の表面は、半導体材料と半導体材料との電気的結合を形成するように構成される電気接点との間の界面に存在することがあるように、半導体材料の表面での不連続な特性によって集中する再結合部位、表面に存在しうるダングリングボンド、及び/又は半導体材料と電気接点との間での化学組成の変化を含みうる。このような再結合部位の集中を軽減すること及び/又はなくすことは、表面及び/又は表面の近傍での可動キャリアの再結合速度を減少させることによって、太陽電池の効率を著しく高めることができる。したがって、太陽電池アプリケーションに関しては電極を改善するニーズが存在する。
低再結合速度電気接点を含む太陽電池並びにそれを形成するシステム及び方法。太陽電池は、前面及び対向する背面を画定するセル本体を含む。太陽電池は、セル本体の前面との電気的接続を形成する前面電気接点、セル本体の背面との電気的接続を形成する背面電気接点、及び電気的絶縁層を含む少なくとも1つの中間層をさらに含み、セル本体と前面電気接点及び/又は背面電気接点との間に配置される。
本開示の一態様によれば、前面と対向する背面を画定するセル本体であって、n型III−V族半導体材料及びp型III−V族半導体材料のうちの一方を含むエミッタ層を含み、n型III−V族半導体材料及びp型III−V族半導体材料のうちの他方を含むベース層をさらに含み、さらに前記ベース層はエミッタ層とセル本体の背面との間に配置されるセル本体と;前記セル本体の前面との電気的接続を形成する前面電気接点であって、光学的に透明な前面電極と金属前面電極とを含む前面電気接点と;前面電気絶縁層を含み、セル本体の前面と前面電気接点との間に配置される前面中間層と;セル本体の背面との電気的接続を形成する背面電気接点であって、金属背面電極を含む背面電気接点と;背面電気絶縁層を含み、セル本体の背面と背面電気接点との間に配置される背面中間層と、を備える太陽電池が提供される。
本開示の一態様によれば、堆積された電気絶縁層を含む中間層が提供される。幾つかの実施形態では、中間層は天然の酸化層及び/又は成長した酸化層を含む。幾つかの実施形態では、中間層は表面安定化層を含む。幾つかの実施形態では。電気絶縁層及び表面安定化層は平行層を画定し、表面安定化層はセル本体と電気絶縁層との間に配置されている。
本開示の一態様によれば、前面と背面を画定するセル本体であって、半導体材料から形成されるセル本体と;セル本体の前面との電気的接続を形成する前面電気接点と;セル本体の背面との電気的接続を形成する背面電気接点と;セル本体と前面電気接点及び背面電気接点のうちの少なくとも1つとの間に配置される中間層であって、電気的絶縁層を含み、該電気的絶縁層は堆積された電気的絶縁層を含む中間層と、を備える太陽電池が提供される。
有利には、セル本体はn型III−V族半導体材料及びp型III−V族半導体材料のうちの一方を含むエミッタ層を含み、該セル本体はn型III−V族半導体材料及びp型III−V族半導体材料のうちの他方を含むベース層をさらに含み、さらに該ベース層はエミッタ層とセル本体の背面との間に配置される。
有利には、太陽電池はエミッタ層をさらに含み、該エミッタ層は前面電気接点の一部を形成し、さらに前記セル本体はベース層を含む。
有利には、電気絶縁層は、酸化物、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化ケイ素、二酸化ケイ素、硫化亜鉛、酸化ハフニウム、及び酸窒化ケイ素のうちの少なくとも1つを含む。
好ましくは、電気絶縁層は少なくとも1nm且つ6nm未満の厚みを有する。
有利には、中間層はセル本体の表面で可動キャリア再結合速度を減じるように構成される表面安定化層をさらに含む。
有利には、表面安定化層は2nm未満の厚みを有する。
有利には、表面安定化層及び電気絶縁層は平行層を画定し、さらに表面安定化層はセル本体と電気絶縁層との間に配置される。
有利には、中間層はセル本体と前面電気接点との間に配置される前面中間層である。
有利には、中間層はセル本体と背面電気接点との間に配置される背面中間層である。
有利には、太陽電池はセル本体と前面電気接点との間に配置される前面中間層及びセル本体と背面電気接点との間に配置される背面中間層を含む、複数の中間層を含む。
有利には、前面電気接点は、セル本体の前面と中間層のうちの少なくとも1つの上に堆積され、且つ電気的に連通している。
好ましくは、前面電気接点は金属前面電極を含む。好ましくは、前面電気接点は光学的に透明な前面電極を含む。
有利には、背面電気接点は、セル本体の背面と中間層のうちの少なくとも1つの上に堆積され、且つ電気的に連通している。好ましくは、背面電気接点は金属背面電極を含む。代替的に、背面電気接点は光学的に透明な背面電極を含む。
有利には、前面電気接点と背面電気接点のうちの少なくとも1つは、金属電極及び光学的に透明な電極を含み、さらに光学的に透明な電極は金属電極とセル本体との間に配置されている。
有利には、セル本体の前面はセル本体の光入射面である。
幾つかの実施形態では、前面電気接点は金属前面電極及び/又は光学的に透明な前面電極を含む。幾つかの実施形態では、背面電気接点は金属背面電極及び/又は光学的に透明な背面電極を含む。幾つかの実施形態では、セル本体は第1の導電型の半導体材料から形成されるエミッタ層及び第2の導電型の半導体材料から形成されるベース層を含む。幾つかの実施形態では、前面電気接点はエミッタ層及びベース層を含むセル本体を画定する。
本開示のさらなる態様によれば、前面と対向する背面を画定するセル本体であって、n型III−V族半導体材料及びp型III−V族半導体材料のうちの一方を含むエミッタ層を含み、n型III−V族半導体材料及びp型III−V族半導体材料のうちの他方を含むベース層をさらに含み、さらに前記ベース層はエミッタ層とセル本体の背面との間に配置されるセル本体と;前記セル本体の前面との電気的接続を形成する前面電気接点と;前記セル本体の背面との電気的接続を形成する背面電気接点と;セル本体と前面電気接点と背面電気接点のうちの少なくとも1つとの間に配置される中間層であって、電気的絶縁層を含む中間層と、を備える太陽電池が提供される。
有利には、電気絶縁層は堆積された電気絶縁層を含む。
有利には、電気絶縁層は、酸化物、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化ケイ素、二酸化ケイ素、硫化亜鉛、酸化ハフニウム、及び酸窒化ケイ素のうちの少なくとも1つを含む。
有利には、電気絶縁層は天然の酸化層及び成長した酸化層のうちの少なくとも1つを含む。
有利には、電気絶縁層は少なくとも1nm且つ6nm未満の厚みを有する。
本開示による中間層を含む太陽電池の例示的な非排他的実施例の概略図である。 本開示による中間層を含む界面を含み、前面電気接点とセル本体との間にある、図1の太陽電池の一部の概略的ではないが例示的な非排他的実施例を提示する。 本開示による中間層を含む界面を含み、前面電気接点とセル本体との間にある、図1の太陽電池の一部のさらに概略的ではないが例示的な非排他的実施例を提示する。 本開示による中間層を含む界面を含み、セル本体と背面電気接点との間にある、図1の太陽電池の一部の概略的ではないが例示的な非排他的実施例を提示する。
図1〜4は、本開示による太陽電池10、及び/又はその一部の例示的な非排他的実施例を提示している。同様な、又は少なくともほぼ同様な目的を果たす要素は、図1〜4の各々で同様な番号でラベル表示されており、本明細書では、これらの要素は図1〜4の各々を参照して詳細に説明されないことがある。同様に、図1〜4の各々ではすべての要素がラベル表示されるわけではないが、一貫性を保つため本明細書では関連する参照番号が利用されてもよい。概して、所与の実施形態に含まれる可能性が高い要素は実線で示されており、一方、所与の実施形態で任意選択の要素は破線で示されている。しかしながら、実線で示される要素はすべての実施形態で必須というわけではないが、実線で示されている要素は特定の実施形態からは除外されうることは、本開示の範囲内のことである。
図1は本開示による太陽電池10の例示的な非排他的実施例の概略図である。太陽電池10は、太陽光及び/又は他の形態の電磁放射などの光を受け止めてその中へ吸収するように構成されており、本明細書では光入射面14とも呼ばれる前面14を含み、同様に、前面14とは反対に位置する、又は向き合っている、本明細書では光対向面18とも呼ばれる背面18を含む。太陽電池10は、前面24及び対向する背面28を含むセル本体20と、前面24との電気的接続を形成する前面電気接点60と、背面28との電気的接続を形成する背面電気接点80と、前面電気接点60とセル本体20との間及び/又は背面電気接点80とセル本体20との間に配置される、前面中間層101及び/又は背面中間層102などの少なくとも1つの中間層100とを、さらに含む。
中間層100は、前面電気接点60と前面24との間の電気的接続を改善するように、及び/又は背面電気接点80と背面28との間の電気的接続を改善するように構成される任意の好適な構造物を含みうる。これは、前面電気接点60と前面24との間の界面26での可動キャリア再結合速度を低減し、及び/又は背面電気接点80と背面28との間の界面30での可動キャリア再結合速度を低減する構造物に加えて、低抵抗電気接続を提供する構造物を含みうる。本開示による中間層100の例示的な非排他的実施例は、本明細書でより詳細に説明される。
中間層100が任意の好適な形状を含みうること、及び/又は画定しうることは、本開示の範囲内のことである。例示的な非排他的実施例として、中間層100は、少なくともほぼ平面的な、又は平面的な中間層100を含んでもよく、及び/またはそのような中間層100であってもよい。
中間層100はまた、任意の好適な化学組成を含んでもよく、及び/又は任意の好適な機械的、電気的、及び/又は化学的特性を有してもよい。例示的な非排他的実施例として、又図1に示したように、中間層100は電気絶縁層110を含んでもよく、及び/又は電気絶縁層110であってもよい。本開示による電気絶縁層110の例示的な非排他的実施例は、堆積された絶縁層、堆積された酸化層、天然の酸化層、成長した酸化層、酸化アルミニウム層、窒化ケイ素層、酸化ケイ素層、二酸化ケイ素層、硫化亜鉛層、酸化ハフニウム層、 及び/又は酸窒化ケイ素層を含む。概して、電気絶縁材料は、通過する電流の流れを停止、遮断、及び/又はさもなければ遅延させるために利用することができる。しかしながら、電気絶縁材料が薄層として形成される場合には、薄層の第1面上にある電子が薄層の第2面まで薄層をトンネルし、薄層を通り抜ける電流の流れをもたらす可能性が存在する。このトンネル現象の確率は薄層の厚みが減少すると増加する。
したがって、本開示による電気絶縁層110は、バルク状態では絶縁体として振舞う材料から構築することができるが、それ自体を通りぬける電流の流れをもたらすことがある。加えて、本開示による太陽電池10の場合には、セル本体20と前面電気接点60及び/又は背面電気接点80との間の電気絶縁層110の存在は、セル本体20と前面電気接点60及び/又は背面電気接点80との間の界面で可動キャリア再結合速度を減少させ、結果的に太陽電池10の効率を高める。
電気絶縁層110は、任意の好適な厚み104を含み、及び/又は画定することができる。例示的な非排他的実施例として、電気絶縁層は少なくとも0.1ナノメートル(nm)、少なくとも0.2nm、少なくとも0.25nm、少なくとも0.3nm、少なくとも0.4nm、少なくとも0.5nm、少なくとも0.6nm、少なくとも0.7nm、少なくとも0.75nm、少なくとも0.8nm、少なくとも0.9nm、少なくとも1nm、少なくとも1.1nm、少なくとも1.2nm、少なくとも1.25nm、少なくとも1.3nm、少なくとも1.4nm、少なくとも1.5nm、少なくとも1.6nm、少なくとも1.7nm、少なくとも1.75nm、少なくとも1.8nm、少なくとも1.9nm、少なくとも2nm、少なくとも2.25nm、少なくとも2.5nm、少なくとも3nm、少なくとも3.5nm、少なくとも4nm、少なくとも4.5nm、少なくとも5nm、又は少なくとも5.5nmの厚みを含みうる。付加的に又は代替的に、電気絶縁層はまた、15nm未満、14nm未満、13nm未満、12nm未満、11nm未満、10nm未満、9nm未満、8nm未満、7.5nm未満、7nm未満、6.5nm未満、6nm未満、5.5nm未満、5nm未満、4.5nm未満、4nm未満、3.5nm未満、又は3nm未満の厚みを含みうる。
該して、電気絶縁層110は比較的高いバルク電気抵抗率を有する。本開示による電気絶縁層110のバルク電気抵抗率の例示的な非排他的実施例は、10オーム・センチメートル(Ω・cm)を超える、10Ω・cmを超える、10Ω・cmを超える、10Ω・cmを超える、10Ω・cmを超える、10Ω・cmを超える、1010Ω・cmを超える、1011Ω・cmを超える、1012Ω・cmを超える、1013Ω・cmを超える、1014Ω・cmを超える、1015Ω・cmを超える、1016Ω・cmを超える、1017Ω・cmを超える、又は1018Ω・cmを超えるバルク電気抵抗率を含む。
本明細書でより詳細に説明されるように、電気絶縁層110が、セル本体20の前面24及び/又は背面28のすべて、又は少なくともほぼすべてと同一の広がりを有することができる平面的な、又は少なくともほぼ平面的な電気絶縁層を含みうることは、本開示の範囲内のことである。付加的に又は代替的に、電気絶縁層110が、前面電気接点60及び/又は背面電気接点80によって覆われている及び/又は接触している部分など、前面24及び/又は背面28の一部の上にのみ存在することはまた、本開示の範囲内のことである。
別の例示的な非排他的実施例として、又図1に示したように、中間層100は表面保護層120を含んでもよく、及び/又は表面保護層120であってもよい。表面保護層120は、セル本体20の前面24及び/又は背面28での、及び/又は近傍での可動キャリア再結合速度を減じるように構成される任意の好適な構造物を含みうる。例示的な非排他的実施例として、表面保護層120は、前面24及び/又は背面28の上、及び/又は近位での破壊原子価及び/又は再結合部位の集中を軽減するように構成されてもよい。別の例示的な非排他的実施例として、表面保護層120は、表面保護処理を受けた前面24及び/又は背面28などのセル本体20の表面を含んでもよく、及び/又はセル本体20の表面であってもよい。さらに別の例示的な非排他的実施例として、表面保護層120は、誘電体層を含んでもよく、及び/又は誘電体層であってもよい。
表面保護層120は、前面24及び/又は背面28の任意の好適な部分を横断して延びていてもよい。例示的な非排他的実施例として、表面保護層120は、平面的な又は少なくともほぼ平面的な表面保護層を含んでもよく、前面24及び/又は背面28のすべて、又は少なくともほぼすべてと同一の広がりを有していてもよい。
表面保護層120が任意の好適な厚み104を含みうること、及び/又は画定しうることは、本開示の範囲内のことである。例示的な非排他的実施例として、表面保護層120の厚み104は、5nm未満、4nm未満、3nm未満、2nm未満、1nm未満、0.8nm未満、0.6nm未満、0.5nm未満、0.4nm未満、0.3nm未満、0.2nm未満、又は0.1nm未満であってもよい。
さらに別の例示的な非排他的実施例として、中間層100は電気絶縁層110と表面保護層120の両方を含んでもよく、及び/又は電気絶縁層110と表面保護層120であってもよい。中間層100が電気絶縁層110と表面保護層120の2つを含む場合、これらの層は平行層、平面層、及び/又は実質的な平面層を画定し、任意の好適な方法で互いに向かい合うように向きを変えることができる。例示的な非排他的実施例として、表面保護層120はセル本体20と電気絶縁層110との間に配置可能である。中間層100が電気絶縁層110と表面保護層120の両方を含む場合、厚み104は、電気絶縁層110の厚みと表面保護層120の厚みとの合計として定義されるような中間層100の総厚み104を含んでもよく、及び/又は総厚み104であってもよい。
前面電気接点60は、セル本体20の前面24との電気的接続を形成するように構成される任意の好適な構造物を含んでもよく、又任意の好適な方法で電気的接続を形成してもよい。例示的な非排他的実施例として、前面電気接点60は金属前面電極64及び/又は光学的に透明な前面電極68を含む。別の例示的な非排他的実施例として、前面電気接点60はセル本体20の前面24と電気的に連通し、前面24の上に形成され、前面24から形成され、及び/又は前面24の上に堆積されていてもよい。
金属前面電極64は、該電極上に入射する光に対して透過的ではなく、太陽電池10から該電極上に入射される光を反射してもよく、及び/又は該電極に入射する光を吸収してもよい。このように、太陽電池10は、金属前面電極64がセル本体20の前面24の一部のみを覆うように設計されてもよく、且つ金属前面電極64はまた、本明細書では複数の金属線66を含むものとして参照されてもよい。これは図1では破線で概略的に示されており、金属前面電極64は太陽電池10の左側のみに存在している。本開示による金属前面電極64の例示的な非排他的実施例は、ニッケル・ゲルマニウム・金合金、パラジウム・ゲルマニウム・金合金、銅、及び/又はアルミニウムの金属前面電極64を含む。
加えて、太陽電池10が金属前面電極64を含む場合、前面キャップ層70は存在するときには、金属前面電極64とセル本体20との間、及び/又はセル本体20の前面24と前面中間層101との間に配置されることがある。前面キャップ層70は、金属前面電極64とセル本体20との間での拡散に対する障壁として作用するように、及び/又はそれらの間での拡散を低減するように構成されることがある。
光学的に透明な前面電極68は、セル本体内部に可動キャリアを生成するため、セル本体20によって吸収される光に対して透明、又は少なくともほぼ透明となるように構成されてもよい。これは、セル本体20によって吸収されて可動キャリアを生成するように、波長の範囲内にあるセル本体20上に入射する光の少なくとも50%、少なくとも60%、少なくとも70%、少なくとも80%、少なくとも90%、少なくとも95%、少なくとも97.5%、少なくとも99%、少なくとも99.9%に対して透明である、光学的に透明な前面電極68を含みうる。
光学的に透明な前面電極68は、任意の好適な構造物及び/又は組成を含みうる。本開示による光学的に透明な前面電極68の例示的な非排他的実施例は、例示的な非排他的実施例として、インジウム・スズ酸化物、酸化亜鉛、酸化スズ、セレン化亜鉛、グラフェン、カーボンナノチューブ、窒化ガリウム、及び/又はダイヤモンドを含む任意の好適な材料によって形成されうる、任意の好適な光学的に透明な前面電極68を含む。
光学的に透明な前面電極68は、その上に入射する光に対して少なくとも部分的に透明であるため、光学的に透明な前面電極68はセル本体20の前面24の大部分及び/又はすべてを占める。これを図1の破線で示す。
前面電気接点60は金属前面電極64及び光学的に透明な前面電極68を含みうる。前面電気接点60が金属前面電極64と光学的に透明な前面電極68を共に含む場合には、光学的に透明な前面電極68は電気的に分離された金属前面電極64とセル本体20との間に配置されてもよい。金属前面電極64と光学的に透明な前面電極68との組合せは、前面電気接点60に接触し、近位にあり、及び/又は覆われている前面24の比率を増やすことによって、セル本体20の前面24から前面電気接点60までの可動キャリアの伝導を改善することができる。これは、金属前面電極64を含むが光学的に透明な前面電極68を含まない前面電気接点60と比較して、金属前面電極64に含まれる複数の金属線66の間の間隔を増大させることができる。この間隔の増大は、入射する光の吸収に利用しうる前面24の比率を増大させ、及び/又は金属前面電気接点64による光の反射及び/又は吸収を減少させることができる。
背面電気接点80は、金属背面電極84及び/又は光学的に透明な背面電極88を含んでもよく、及び/又は光学的に透明な背面電極88であってもよい。さらに、背面キャップ層90は、金属背面電極84とセル本体20との間、及び/又はセル本体20の背面28と背面中間層102(存在する場合)との間に存在して、拡散を減少させることができる。背面電気接点80、金属背面電極84、光学的に透明な背面電極88、背面キャップ層90、及び/又はこれらの組合せの材料及び/又は構造は、前面電気接点60、金属前面電極64、光学的に透明な前面電極68、及び/又は前面キャップ層70の材料及び/又は構造とそれぞれほぼ同等となることがあり、前面電気接点60を参照して本明細書でより詳細に説明される。
前面電気接点60を参照して説明される構成に加えて、背面電気接点80は入射する光に対して透明である必要はないため、背面電気接点80はまた、セル本体20の背面24の大部分及び/又はすべてを覆う金属背面電極84を含むことができる。したがって、背面電気接点80が金属背面電極84と光学的に透明な背面電極88を両方含む場合には、2つの電極はセル本体20と金属背面電極84との間に光学的に透明な背面電極88を配置することによって、平行な及び/又はほぼ平行な層を画定することができる。
セル本体20の背面28の大部分又はすべてを覆う金属背面電極84の使用により、セル本体20と背面電気接点80との間に、及び/又は中間層100と背面電気接点80との間に、反射性の高い界面30を提供することができる。反射性の高い界面30は、セル本体20を通り界面30に達する光を反射してセル本体20に戻すことが可能で、これにより光からの光子の吸収による可動キャリアの生成の確率を高め、太陽電池の全体効率を高める。
セル本体20は入射する光を吸収し、前面電気接点60及び/又は背面電気接点80から可動キャリアを生成し、及び又は生成した可動キャリアを前面電気接点60及び/又は背面電気接点80に供給するように構成される、任意の好適な構造を含みうる。例示的な非排他的実施例として、セル本体20は前面24及び背面28を画定するほぼ平面的なセル本体を含んでもよく、及び/又はほぼ平面的なセル本体20であってもよい。別の例示的な非排他的実施例として、セル本体20は半導体材料22、すなわちIII−V族半導体材料、砒化ガリウム、砒化アルミニウムガリウム、リン化インジウムガリウム、砒化窒化インジウムガリウム、リン化インジウム、砒化インジウムガリウム、及び/又はケイ素を含む、例示的な非排他的実施例を含む、このような実施例から形成される、及び/又はこのような実施例の上に形成される。
セル本体20が半導体材料22を含む場合、セル本体20の第1の部分は第1の導電型42を含み、セル本体20の第2の部分は第1の導電型とは異なる第2の導電型50を含みうることは、本開示の範囲内のことである。第1の導電型及び第2の導電型の例示的な非排他的実施例は、n型及びp型を含む。例示的な非排他的実施例として、セル本体20の第1の部分はn型半導体材料を含み、そこでは自由電子がn型半導体材料の中に存在する大多数の可動キャリアを形成し、一方、セル本体20の第2の部分はp型半導体材料を含み、そこでは正孔がp型半導体材料の中に存在する大多数の可動キャリアを形成する。別の例示的な非排他的実施例として、セル本体20の第1の部分はp型半導体材料を含むことがあり、一方、セル本体20の第2の部分はn型半導体材料を含むことがある。
セル本体20は複数の層を含むことがあり、本明細書ではセル本体20の領域及び/又は部分と呼ばれることもある。これらの層は、ウィンドウ層36、エミッタ層40、ベース層48、及び/又は裏面電界層56を含みうる。
ウィンドウ層36は(存在する場合)、セル本体20の前面24の上に配置されること、及び/又はセル本体20の前面24を形成すること、前面電気接点60とエミッタ層40及び/又はベース層48との間に配置されること、本明細書でより詳細に説明される反射防止層32とエミッタ層40及び/又はベース層48との間に配置されること、前面中間層101とエミッタ層40及び/又はベース層48との間に配置されることがある。追加的に、又は代替的に、前面中間層101は前面電気接点60とウィンドウ層36との間に配置されることがある。
ウィンドウ層36は、セル本体20内部及び/又はセル本体20と前面電気接点60との間の界面26で、可動キャリア再結合速度を低減するように構成及び/又は設計されることがあり、且つ可動キャリアの生成するセル本体の残余部分によって吸収されることがある入射光の波長の範囲で、少なくともほぼ透明な任意の好適な材料を含みうる。例示的な非排他的実施例として、ウィンドウ層は、広いバンドギャップの半導体材料及び/又は第1の導電型42の半導体材料を含みうる。
ウィンドウ層36は任意の好適な厚みを含みうる。より厚いウィンドウ層36は典型的にその中の可動キャリアに対して低再結合速度を生成するが、また、ウィンドウ層を貫通してセル本体20の残余部分内に可動キャリアを生成するようにセル本体20の前面24に入射される光の割合を減少させる。したがって、ウィンドウ層の構造に関しては、太陽電池の性能、又は効率、トレードオフが存在する。
可動キャリア再結合速度を大幅に低減しうる前面中間層101と併用される場合、太陽電池10は、ウィンドウ層36を含むが前面中間層101を含まない同等の太陽電池10の中で使用されうるウィンドウ層36よりも薄いウィンドウ層36を使用可能であることは、本開示の範囲内のことである。代替的に、太陽電池10はウィンドウ層36を含まないこともまた、本開示の範囲内のことである。本開示によるウィンドウ層36の厚みの例示的な非排他的実施例は(存在する場合)、500オングストローム(Å)未満の、450Å未満の、400Å未満の、350Å未満の、300Å未満の、250Å未満の、200Å未満の、150Å未満の、100Å未満の、75Å未満の、50Å未満の、又は25Å未満の厚さのウィンドウ層36、並びに10Åを超える、20Åを超える、30Åを超える、40Åを超える、50Åを超える、75Åを超える、100Åを超える、125Åを超える、150Åを超える、175Åを超える、又は200Åを超える厚さのウィンドウ層を含む。
本開示による太陽電池10は、セル本体20の中に存在しうる及び/又は前面電気接点60の一部を形成しうるエミッタ層40を含む。エミッタ層40がセル本体20の一部を形成する場合、エミッタ層40は第1の導電型42の半導体材料を含みうる。代替的に、エミッタ層40が前面電気接点60の一部を形成する場合、エミッタ層40は光学的に透明な前面電極68を参照してより詳細に説明される任意の材料を含みうる。
エミッタ層40がセル本体20の一部を形成する場合、エミッタ層40はウィンドウ層36とベース層48との間、前面中間層101とベース層48との間、前面電気接点60とベース層48との間、及び/又は反射防止層32とベース層48との間に配置されることがある。追加的に、又は代替的に、前面中間層101は前面電気接点60とエミッタ層40との間、及び/又は反射防止層32とエミッタ層40との間に配置されることがある。
エミッタ層40が前面電気接点60の一部を形成する場合、エミッタ層40は光学的に透明な前面電極68に含まれていてもよく、及び/又は光学的に透明な前面電極68であってもよい。加えて、中間層100はエミッタ層40とベース層48との間、及び/又はエミッタ層40とセル本体20との間に配置されてもよい。
ベース層48は第2の導電型50の半導体材料含んでもよく、及び/又はセル本体20の厚みの大部分を含んでもよい。ベース層48は、エミッタ層40と裏面電界層56との間、エミッタ層40と背面電気接点80との間、前面電気接点60と裏面電界層56との間、及び/又は前面電気接点60と背面電気接点80との間に配置されてもよい。追加的に、又は代替的に、前面中間層101はベース層48と前面電気接点60との間に配置されてもよく、及び/又は背面中間層102はベース層48と背面電気接点80との間に配置されてもよい。
セル本体20が、前面24及び/又は背面28のような、一又は複数の研磨された及び/又は凹凸のある面を含みうることは、本開示の範囲内のことである。セル本体20が研磨された表面を含む場合、研磨された表面の粗度の二乗平均平方根は、100ナノメートル(nm)未満、75nm未満、50nm未満、40nm未満、30nm未満、20nm未満、10nm未満、5nm未満、4nm未満、3nm未満、2nm未満、又は1nm未満となることがある。追加的に、又は代替的に、又セル本体20が凹凸のある表面を含む場合には、凹凸のある表面の粗度の二乗平均平方根は、少なくとも0.1マイクロメートル(μm)、少なくとも0.2μm、少なくとも0.3μm、少なくとも0.4μm、少なくとも0.5μm、少なくとも0.75μm、少なくとも1μm、少なくとも1.25μm、少なくとも1.5μm、又は少なくとも2μmとなることがある。追加的に、又は代替的に、凹凸のある表面の粗度の二乗平均平方根は、3μm未満、2.5μm未満、2μm未満、1.5μm未満、1.25μm未満、又は1μm未満となることもある。
裏面電界層56は(存在する場合)、ベース層48の可動キャリア濃度又はドーパント濃度よりも高い可動キャリア濃度又はドーパント濃度を含みうる第2の導電型50の半導体材料を含むことがあり、及び/又は太陽電池10内部の可動キャリア再結合を低減するように構成されることがある。裏面電界層56は、ベース層48と背面電気接点80との間、及び/又はベース層48と背面中間層102との間に配置されることがある。追加的に、又は代替的に、背面中間層102は裏面電界層56と背面電気接点80との間に配置されることがある。
反射防止層32は、セル本体20からの光の反射を低減し、及び/又は光の吸収を高めるように構成された任意の好適な構造を含みうる。本開示による反射防止層32の例示的な非排他的実施例は、薄膜反射防止層、平面的な反射防止層、ほぼ平面的な反射防止層、及び/又は誘電体反射防止層を含む。
反射防止層32は、任意の好適な部分を覆うことがあり、本明細書ではセル本体20の前面24の断片、及び/又は太陽電池10の前面14の断片と呼ばれることもある。例示的な非排他的実施例として、又図1に示したように、反射防止層32は、金属前面電極64を含まない前面24の一部、及び/又はセル本体20内部で吸収するため入射光を通すように構成された前面24の一部を覆うことがある。別の例示的な非排他的実施例として、反射防止層32は、前面14の少なくとも一部、及び/又は太陽電池10の露出している前面の少なくとも一部、及び/又は前面電気接点60を画定することができる。さらに別の例示的な非排他的実施例として、反射防止層32は、前面電気接点60とセル本体20との間の電気的接続を提供するように構成される複数の開口部34を含んでもよく、及び/又は画定してもよい。
図2は、前面電気接点60とセル本体20との間に前面中間層101を含む界面26を含む、図1の太陽電池10の一部の概略的ではないが例示的な非排他的実施例を提供する。図2では、前面電気接点60は金属前面電極64を含み、且つ前面中間層101とセル本体20の前面24との間に前面キャップ層70を含むことができる。太陽電池10が前面キャップ層70を含む場合、前面キャップ層70は金属前面電極64に対向する前面24の一部の上に存在するだけであってもよい。反射防止層32は、金属前面電極64を含まないセル本体20の前面24の一部を覆うことがあり、且つ金属前面電極64と中間層100及び/又はセル本体20との間の電気的接続を提供しうる複数の開口部34を含むことがある。
図2では、前面中間層101は電気絶縁層110及び/又は表面保護層120を含む。前面中間層101が電気絶縁層110と表面保護層120の両方を含む場合、当該層は、セル本体20から電気絶縁層110を分離する表面保護層120によって、ほぼ平行な層を形成することができる。図2に示すように、前面中間層101、及び/又は電気絶縁層110、及び/又はその中の表面保護層120は、少なくとも金属表面電極64とセル本体20との間に存在し、前面24のほとんどすべて、又はすべての上に存在し、これによって反射防止層32を(存在する場合には)セル本体20から分離する。
図2のセル本体20はウィンドウ層36を含むこと、及び第1の導電型42の半導体材料から形成されるエミッタ層40を含むことがある。セル本体20はベース層48を含むこと、及び第2の導電型50の半導体材料から形成される裏面電界層56を含むことがある。しかしながら、セル本体20がウィンドウ層36及び/又は裏面電界層56を含まないことがあるのは、本開示の範囲内のことである。
図3は、前面電気接点60とセル本体20との間にある前面中間層101を含む界面26を含む、図1の太陽電池10の一部のさらに概略的ではないが例示的な非排他的実施例を提供する。図3では、前面電気接点60は光学的に透明な前面電極68を含む。前面電気接点60はまた、金属前面電極64を含むことができ、反射防止層32の開口部34を通って延伸し、光学的に透明な前面電極68と電気的に連通することができる。
前面中間層101は電気絶縁層110及び/又は表面保護層120を含んでいてもよい。前面中間層101が電気絶縁層110と表面保護層120の双方を含む場合、当該層は、セル本体20から電気絶縁層110を分離する表面保護層120によって、ほぼ平行な層を形成することができる。
本明細書でより詳細に説明されるように、エミッタ層40は光学的に透明な前面電極68によって画定されること、及び/又はセル本体20の一部を形成することがある。エミッタ層40がセル本体20の一部を形成する場合、エミッタ層40は前面中間層101とベース層48との間に存在することがあり、且つ第1の導電型42の半導体材料で構成されることがある。セル本体20はベース層48をさらに含み、さらに裏面電界層56も含むことがあり、両者はいずれも第2の導電型50の半導体材料から構成される。
図4は、セル本体20と背面電気接点80との間に背面中間層102を含む界面30を含む、図1の太陽電池10の一部の概略的ではないが例示的な非排他的実施例を提供する。セル本体20は図2〜3のセル本体20とほぼ同様となることがあり、これを参照して本明細書でより詳細に解説される。
背面中間層102は、セル本体20と背面電気接点80との間に配置されることがあり、電気絶縁層110及び/又は表面保護層120を含むことがある。背面中間層102が電気絶縁層110と表面保護層120の双方を含む場合、当該層は、セル本体20から電気絶縁層110を分離する表面保護層120によって、ほぼ平行な層を形成することができる。
背面電気接点80はセル本体20との電気的接続を形成するように構成された任意の好適な構造を含むことができる。例示的な非排他的実施例として、背面電気接点80は金属背面電極84及び/又は光学的に透明な背面電極88を含むことができる。本明細書でより詳細に説明されるように、背面電気接点80はセル本体20の背面28のほぼすべて、及び/又はすべてを覆うことができ、背面キャップ層90はセル本体20と背面電気接点80との間で拡散のための電位を下げることができる。加えて、本明細書でより詳細に説明されているように、背面電気接点80は金属背面電極84と光学的に透明な背面電極88を共に含み、光学的に透明な背面電極88は金属背面電極84と中間層100との間に配置することができる。
図2〜4は背面電気接点80から前面電気接点60を分離する単一のセル本体20を図解しているが、太陽電池10が、少なくともほぼ同一の広がりを有する複数の層の中で、最上部で互いに電気的に連通するように配置される複数のセル本体20と共に、少なくとも前面セル本体及び背面セル本体を含む複数のセル本体20を含みうることは、本開示の範囲内のことである。太陽電池10が複数のセル本体20を含む場合、複数のセル本体20の第1の部分は、複数のセル本体の第2の部分よりも、様々な波長、又は波長範囲の入射光を吸収するように構成され、これにより太陽電池10によって吸収されうる入射光全体の割合を増すことができる。太陽電池10が複数のセル本体20を含む場合、前面電気接点60は前面セル本体との電気的接続を形成するように構成可能であり、背面電気接点80は背面セル本体との電気的接続を形成するように構成可能である。
半導体製造技術は概して、又太陽電池製造技術は特に、図1〜4を参照して本明細書でより詳細に説明される太陽電池を形成、構築、又は製造する幅広い方法を提供する。これは少なくともトップダウン、ボトムアップ、及び/又はリフトオフ製造技術を含みうる。同様に、すでに説明した構造は単一の製造方法に限定されることを意図したものではなく、他の好適な方法で形成されうる。
この点を考慮して、又本明細書で使用されているように、「配置される」という用語は、所定の要素が所定の場所に位置付けられる、置かれる、設置される、形成される、製造される、堆積される、埋め込まれる、及び/又は成長することを伝えることを意図している。例示的な非排他的実施例として、第1の層が第2の層と第3の層との間に配置される場合、第1の層が第2の層と第3の層との間に位置付けられること、第2の層と第3の層との間に置かれること、第2の層と第3の層との間に設置されること、第2の層と第3の層との間に形成されること、第3の層が第1の層の上に配置された状態で第2の層の上に形成されること、第2の層が第1の層の上に配置された状態で第3の層の上に形成されること、第2の層と第3の層との間に製造されること、第3の層が第1の層の上に配置された状態で第2の層の上に製造されること、第2の層が第1の層の上に配置された状態で第3の層の上に製造されること、第2の層と第3の層との間に堆積されること、第3の層が第1の層の上に配置された状態で第2の層の上に堆積されること、第2の層が第1の層の上に配置された状態で第3の層の上に堆積されること、第2の層と第3の層との間に埋め込まれること、第3の層が第1の層の上に配置された状態で第2の層の上に埋め込まれること、第2の層が第1の層の上に配置された状態で第3の層の上に埋め込まれること、第2の層と第3の層との間に成長すること、第3の層が第1の層の上に配置された状態で第2の層の上に成長すること、及び/又は、第2の層が第1の層の上に配置された状態で第3の層の上に成長することは、本開示の範囲内のことである。また、一又は複数の追加層が第1の層と第2の層との間、及び/又は第1の層と第3の層との間に配置されうることも、本開示の範囲内のことである。
このように、図1〜4で開示される太陽電池10は、所定の太陽電池の製造方法を説明しうるが、該方法は任意の他の好適な層に対して任意の好適な層を位置付けること、置くこと、設置すること、形成すること、製造すること、堆積すること、埋め込むこと、及び/又は成長させることを含む。例示的な非排他的実施例として、又図1を参照して、太陽電池10を形成する方法は、セル本体20を製造すること、前面電気接点60を製造すること、背面電気接点80を製造すること、且つセル本体20と前面電気接点60との間に、及び/又はセル本体20と背面電気接点80との間に中間層100を製造することを含むことがある。
上述の製造の変形形態により、太陽電池10の内部の2つの層及び/又は構造の間の界面が種々の構造を含みうることは、本開示の範囲内のことである。例示的な非排他的実施例として、又第1の層がエピタキシャル成長工程によって第2の層に接するように形成される場合、界面は、第1の層の構成と第2の層の構成との間で、ほぼ完全な階段状の変化を示す原子的にほぼ平らな表面を画定することができる。例示的な非排他的実施例として、又第1の層が拡散及び/又はインプラント工程によって第2の層に接して形成される場合、界面は、第1の層のバルク構成と第2の層のバルク構成との間の濃度勾配領域を画定することができる。この点を考慮して、「面」又は「表面」という表現は、太陽電池10の層及び/又は構造を参照して本明細書で使用される場合には、第1の層の構成又は構造と第2の層の構成又は構造との間の任意の好適な描写を参照してもよく、且つ2つの層又は構造の間の濃度勾配領域内での場所に加えて、分離された、又は少なくともほぼ分離された界面を含んでもよい。
本明細書による発明対象物の例示的な非排他的な実施例は、以下に列挙される段落に記載される。
A1.前面と対向する背面とを含むセル本体と、
前記前面と電気的接続を形成する前面電気接点と、
前記背面と電気的接続を形成する背面電気接点と、
前記セル本体と前記前面電気接点及び前記背面電気接点のうちの少なくとも1つとの間に低可動キャリア再結合速度接続を形成する手段と
を備える太陽電池。
A2.前記形成する手段は、前記セル本体と前記前面電気接点及び前記背面電気接点のうちの少なくとも1つとの間に配置される中間層を含む、段落A1に記載の太陽電池。
B1.前面と対向する背面とを含むセル本体と、
前記前面と電気的接続を形成する前面電気接点と、
前記背面と電気的接続を形成する背面電気接点と、
前記セル本体と前記前面電気接点及び前記背面電気接点のうちの少なくとも1つとの間に配置される中間層と
を備える太陽電池。
C1.前記中間層は少なくともほぼ平面的な、及び任意選択により平面的な中間層を含む、段落A2乃至B1のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C2.前記中間層は電気絶縁層を含み、且つ任意選択により電気絶縁層である、段落A2乃至C1のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C3.前記電気絶縁層は堆積された絶縁層を含み、且つ任意選択により前記堆積された絶縁層は堆積された酸化層を含む、段落C2に記載の太陽電池。
C4.前記電気絶縁層は、酸化物、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化ケイ素、二酸化ケイ素、硫化亜鉛、酸化ハフニウム、及び酸窒化ケイ素のうちの少なくとも1つを含む、段落C2乃至C3のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C5.前記電気絶縁層は天然の酸化層及び成長した酸化層のうちの少なくとも1つを含む、段落C2に記載の太陽電池。
C6.前記電気絶縁層は、少なくとも0.1ナノメートル(nm)、少なくとも0.2nm、少なくとも0.25nm、少なくとも0.3nm、少なくとも0.4nm、少なくとも0.5nm、少なくとも0.6nm、少なくとも0.7nm、少なくとも0.75nm、少なくとも0.8nm、少なくとも0.9nm、少なくとも1nm、少なくとも1.1nm、少なくとも1.2nm、少なくとも1.25nm、少なくとも1.3nm、少なくとも1.4nm、少なくとも1.5nm、少なくとも1.6nm、少なくとも1.7nm、少なくとも1.8nm、少なくとも1.9nm、少なくとも2nm、少なくとも2.25nm、少なくとも2.5nm、少なくとも3nm、少なくとも3.5nm、少なくとも4nm、少なくとも4.5nm、少なくとも5nm、少なくとも5.5nmの厚み、及び/又は15nm未満、14nm未満、13nm未満、12nm未満、11nm未満、10nm未満、9nm未満、8nm未満、7.5nm未満、7nm未満、6.5nm未満、6nm未満、5.5nm未満、5nm未満、4.5nm未満、4nm未満、3.5nm未満、又は3nm未満の厚みを有する、段落C2乃至C5のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C7.前記電気絶縁層の電気抵抗率は、10オーム・センチメートル(Ω・cm)を超える、10Ω・cmを超える、10Ω・cmを超える、10Ω・cmを超える、10Ω・cmを超える、10Ω・cmを超える、1010Ω・cmを超える、1011Ω・cmを超える、1012Ω・cmを超える、1013Ω・cmを超える、1014Ω・cmを超える、1015Ω・cmを超える、1016Ω・cmを超える、1017Ω・cmを超える、又は1018Ω・cmを超える、段落C2乃至C6のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C8.前記電気絶縁層は平面的な、又は少なくともほぼ平面的な、セル本体の前面及びセル本体の背面のうちの少なくとも1つのすべて、又は少なくともほぼすべてと同一の広がりを有する電気絶縁層である、段落C2乃至C7のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C9.前記電気絶縁層は平面的な、又は少なくともほぼ平面的な、前記前面電気接点と前記セル本体との間に存在し、且つ任意選択により前記電気絶縁層は前記前面電気接点を含まない前記セル本体の前記前面の上に存在しない電気絶縁層である、段落C2乃至C7のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C10.前記中間層は表面保護層を含み、且つ任意選択により表面保護層となる、段落A2乃至C9のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C11.前記表面保護層は前記セル本体の表面で可動キャリア再結合速度を低減するように構成されており、任意選択により前記セル本体の前記表面は前面及び背面のうちの少なくとも1つを含み、さらに任意選択により前記セル本体の前記表面は前記表面保護層の一部と接し形成するセル本体の表面を含む、段落C10に記載の太陽電池。
C12.前記表面保護層は、少なくとも一部が表面保護層の一部と接して形成するセル本体の表面上で、及び任意選択によりセル本体の表面の近位で、破壊原子価及び再結合部位のうちの少なくとも1つの集中を軽減するように構成される、段落C10乃至C11のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C13.前記表面保護層は、5nm未満、4nm未満、3nm未満、2nm未満、1nm未満、0.8nm未満、0.6nm未満、0.5nm未満、0.4nm未満、0.3nm未満、0.2nm未満、又は0.1nm未満の厚みを有する、段落C10乃至C12のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C14.前記表面保護層は、表面保護処理を受けたセル本体の表面を含む、段落C10乃至C13のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C15.前記表面保護層は誘電体層を含み、且つ任意選択により誘電体層である、段落C10乃至C14のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C16.前記中間層は表面保護層及び電気絶縁層を含み、任意選択により表面保護層及び電気絶縁層は平行層を画定し、任意選択により表面保護層及び電気絶縁層はほぼ平面的な層を画定し、さらに任意選択により表面保護層はセル本体と電気絶縁層との間に配置される、段落C10乃至C15のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C17.前記表面保護層は、セル本体の前面及びセル本体の背面のうちの少なくとも1つのすべて、又は少なくともほぼすべてと同一の広がりを有する、平面的な、又は少なくともほぼ平面的な表面保護層である、段落C10乃至C16のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C18.前記中間層はセル本体と前面電気接点との間に配置される前面中間層である、段落A2乃至C17のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C19.前記中間層はセル本体と背面電気接点との間に配置される背面中間層である、段落A2乃至C17のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C20.前記太陽電池は、段落C16に記載の前面中間層及びC17に記載の背面中間層を含む複数の中間層を含む、段落A2乃至C17のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C21.前記前面電気接点は、セル本体の前面に堆積され、且つ電気的に連通している、段落A1乃至C20のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C22.前記前面電気接点は、金属前面電極を含み、且つ任意選択により金属前面電極は、ニッケル・ゲルマニウム・金合金、パラジウム・ゲルマニウム・金合金、銅、及びアルミニウムのうちの少なくとも1つを含む、段落A1乃至C21のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C23.前記前面電気接点は、金属前面電極とセル本体との間に配置される前面キャップ層をさらに含み、任意選択により前面キャップ層は金属前面電極のセル本体への拡散を減少するように構成され、且つさらに任意選択により前面キャップ層は前面中間層とセル本体との間に配置されている、段落C22に記載の太陽電池。
C24.前記前面電気接点は、光学的に透明な前面電極を含み、且つ任意選択により光学的に透明な前面電極は、インジウム・スズ酸化物、酸化亜鉛、酸化スズ、セレン化亜鉛、グラフェン、カーボンナノチューブ、窒化ガリウム、及びダイヤモンドのうちの少なくとも1つを含む、段落A1乃至C23のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C25.前記前面電気接点は、金属前面電極と光学的に透明な前面電極の両方を含み、任意選択により光学的に透明な前面電極は金属前面電極とセル本体との間に配置され、任意選択により金属前面電極は複数の前面金属線を含み、さらに任意選択により複数の前面金属線の中から選択された1つ線と複数の前面金属線の中の隣接する1つの線との間の間隔は、金属前面電極を含むが光学的に透明な前面電極を含まない同等な太陽電池の中での間隔よりも大きい、段落A1乃至C24のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C26.前記背面電気接点は、セル本体の背面に堆積され、且つ電気的に連通している、段落A1乃至C25のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C27.前記背面電気接点は、金属背面電極を含み、且つ任意選択により金属背面電極は、銅とアルミニウムのうちの少なくとも1つを含む、段落A1乃至C26のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C28.前記背面電気接点は、金属背面電極とセル本体との間に配置される背面絶縁体をさらに含む、段落C27に記載の太陽電池。
C29.前記背面電気接点は、金属前面電極とセル本体との間に配置される背面キャップ層をさらに含み、任意選択により背面キャップ層は金属背面電極のセル本体への拡散を減少するように構成され、且つさらに任意選択により背面キャップ層は前面中間層とセル本体との間に配置されている、段落C27乃至C28のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C30.前記背面電気接点は、光学的に透明な背面電極を含み、且つ任意選択により光学的に透明な背面電極は、インジウム・スズ酸化物、酸化亜鉛、酸化スズ、セレン化亜鉛、グラフェン、カーボンナノチューブ、窒化ガリウム、及びダイヤモンドのうちの少なくとも1つを含む、段落A1乃至C29のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C31.前記背面電気接点は、金属背面電極と光学的に透明な背面電極の両方を含む、段落A1乃至C30のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C32.前記光学的に透明な背面電極は、金属背面電極とセル本体との間に配置される、段落C31に記載の太陽電池。
C33.前記金属背面電極は複数の背面金属線を含み、且つ任意選択により複数の背面金属線の中から選択された1つ線と複数の背面金属線の中の隣接する1つの線との間の間隔は、金属背面電極を含むが光学的に透明な背面電極を含まない同等な太陽電池の中での間隔よりも大きい、段落C31乃至C32のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C34.前記金属背面電極と光学的に透明な背面電極は、平面的な及び/又はほぼ平面的な電極層を画定する、段落C31乃至C33のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C35.前記セル本体は、ほぼ平面的な、及び任意選択により平面的なセル本体を含む、段落A1乃至C34のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C36.前記太陽電池は反射防止層を含み、任意選択により反射防止層はセル本体の前面を画定し、さらに任意選択により反射防止層は太陽電池の露出している前面の少なくとも一部を画定する、段落A1乃至C35のいずれか1つに記載の太陽電池。
C37.前記反射防止層は、平面的な反射防止層及びほぼ平面的な反射防止層のうちの少なくとも1つを含む、段落C36に記載の太陽電池。
C38.前記反射防止層は誘電体反射防止層を含み、任意選択により反射防止層は、前面電気接点とセル本体との間に電気的接続を提供するように構成される複数の開口部を含む、段落C33乃至C37のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C39.前記セル本体はウィンドウ層を含む、段落A1乃至C38のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C40.前記ウィンドウ層は反射防止層とエミッタ層との間に配置される、段落C39に記載の太陽電池。
C41.中間層はウィンドウ層と反射防止層との間に配置されており、任意選択により中間層はウィンドウ層の上に形成され、さらに任意選択により反射防止層は中間層の上に形成される、段落C40に記載の太陽電池。
C42.前記ウィンドウ層は禁制帯幅の広い半導体材料を含む、段落C39乃至C41のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C43.前記ウィンドウ層は少なくとも光学的にほぼ透明な、段落C39乃至C42のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C44.前記ウィンドウ層はウィンドウ層の厚みを含み、任意選択によりウィンドウ層の厚みは500オングストローム(Å)未満、450Å未満、400Å未満、350Å未満、300Å未満、250Å未満、200Å未満、150Å未満、100Å未満、75Å未満、50Å未満、又は25Å未満であって、さらに任意選択によりウィンドウ層の厚みは10Åを超える、20Åを超える、30Åを超える、40Åを超える、50Åを超える、75Åを超える、100Åを超える、125Åを超える、150Åを超える、175Åを超える、又は200Åを超える、段落C39乃至C43のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C45.前記ウィンドウ層は第1の導電型の半導体材料を含む、段落C39乃至C44のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C46.前記セル本体、及び任意選択により太陽電池はウィンドウ層を含まない、段落A1乃至C45のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C47.前記セル本体はエミッタ層を含む、段落A1乃至C46のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C48.前記エミッタ層はウィンドウ層とベース層との間に存在する、段落C47に記載の太陽電池。
C49.前記ウィンドウ層は、エミッタ層に接触、エミッタ層上に堆積、及びエミッタ層内に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落C48に記載の太陽電池。
C50.前記エミッタ層は反射防止層とベース層との間に存在する、段落C47に記載の太陽電池。
C51.前記エミッタ層は、ベース層に接触、ベース層上に堆積、及びベース層内に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落C47乃至C50のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C52.中間層はエミッタ層と反射防止層との間に配置され、任意選択により反射防止層は中間層の上に形成され、任意選択により中間層はエミッタ層の上に形成され、任意選択によりベース層の上に形成され、さらに任意選択により太陽電池はウィンドウ層を含まない、段落C47に記載の太陽電池。
C53.前記エミッタ層は第1の導電型の半導体材料を含む、段落C47乃至C52のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C54.前記太陽電池はエミッタ層を含み、さらにエミッタ層は前面電気接点の一部を形成する、段落A1乃至C46のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C55.中間層はエミッタ層とセル本体及びセル本体のベース層のうちの少なくとも1つとの間に配置される、段落C54に記載の太陽電池。
C56.前記エミッタ層は、中間層に接触、中間層上に堆積、及び中間層内に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落C54乃至C55のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C57.前記中間層は、セル本体及びセル本体のベース層のうちの少なくとも1つとの間に接触、堆積、及び形成のうちの少なくとも1つの状態にある、段落C54乃至C56のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C58.前記セル本体はベース層をさらに含む、段落A1乃至C57のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C59.前記ベース層は第1の導電型の半導体材料を含む、段落C58に記載の太陽電池。
C60.前記ベース層はエミッタ層と裏面電界層との間に配置される、段落C58乃至C59のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C61.前記エミッタ層は、ベース層に接触、ベース層上に堆積、及びベース層内に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落C58乃至C60のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C62.前記中間層はエミッタ層とベース層との間に配置される、段落C58乃至C60のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C63.前記中間層は、ベース層に接触、ベース層上に堆積、及びベース層内に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落C62に記載の太陽電池。
C64.前記エミッタ層は、中間層に接触、及び中間層上に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落C62乃至C63のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C65.前記ベース層は少なくとも1つの凹凸のある面を含み、任意選択により少なくとも1つの凹凸のある面は、少なくとも0.1マイクロメートル(μm)、少なくとも0.2μm、少なくとも0.3μm、少なくとも0.4μm、少なくとも0.5μm、少なくとも0.75μm、少なくとも1μm、少なくとも1.25μm、少なくとも2μmとなる粗度の二乗平均平方根を含み、任意選択により少なくとも1つの凹凸のある面は、3μm未満、2.5μm未満、2μm未満、1.5μm未満、1.25μm未満、又は1μm未満となる粗度の二乗平均平方根を含み、さらに任意選択により少なくとも1つの凹凸のある面は、ベース層の前面及びベース層の背面のうちの少なくとも1つ、及び任意選択により両方を含む、段落C58乃至C64のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C66.前記ベース層は少なくとも1つの研磨された面を含み、任意選択により少なくとも1つの研磨された面は、100ナノメートル(nm)未満、75nm未満、50nm未満、40nm未満、30nm未満、20nm未満、10nm未満、5nm未満、4nm未満、3nm未満、2nm未満、又は1nm未満となる粗度の二乗平均平方根を含み、さらに任意選択により少なくとも1つの研磨された面は、ベース層の前面及びベース層の背面のうちの少なくとも1つ、及び任意選択により両方を含む、段落C58乃至C65のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C67.前記セル本体は裏面電界層を含む、段落A1乃至C66のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C68.前記裏面電界層は第2の導電型の半導体材料を含み、且つ任意選択により裏面電界層の可動キャリア濃度がセル本体のベース層の可動キャリア濃度を上回る、段落C67に記載の太陽電池。
C69.前記裏面電界層はベース層と背面電気接点との間に配置される、段落C67乃至C68のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C70.前記裏面電界層は、ベース層に接触、ベース層上に堆積、及びベース層上に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落C67乃至C69のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C71.前記太陽電池は複数のセル本体を含み、複数のセル本体は少なくとも前面セル本体及び背面セル本体を含み、さらに複数のセル本体は同一の広がりを有する複数の層の中で、最上部で互いに電気的に連通するように配置される、段落A1乃至C70のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C72.前記複数のセル本体の第1の部分は、複数のセル本体の第2の部分よりも、様々な波長、又は波長範囲の電磁放射を吸収するように構成される、段落C71に記載の太陽電池。
C73.前記前面電気接点は前面セル本体と電気的接続を形成するように構成されており、さらに背面電気接点は背面セル本体と電気的接続を形成するように構成される、段落C71乃至C72のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
C74.前記セル本体の前面はセル本体の光入射面となるように構成されている、段落C1乃至C73のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D1.前記セル本体は、
ベース層であって、第2の導電型の半導体を含み、さらにセル本体の背面よりもセル本体の前面に近くなるように配置されるベース層と、
裏面電界層であって、第2の導電型の半導体を含み、さらにベース層とセル本体の背面との間に配置される裏面電界層と
を含む、段落A1乃至B1のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D2.前記裏面電界層は、ベース層に接触、ベース層上に形成、及びベース層内に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落D1に記載の太陽電池。
D3.前記裏面電界層の可動キャリア濃度は、ベース層の可動キャリア濃度よりも高い、段落D1乃至D2のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D4.前記太陽電池は反射防止層をさらに含み、ベース層は反射防止層と裏面電界層との間に配置される、段落D1乃至D3のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D5.前記中間層は前面電気接点とセル本体との間に配置される前面中間層である、段落D1乃至D4のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D6.前記前面中間層は表面保護層及び電気絶縁層を含み、さらに表面保護層は電気絶縁層とセル本体との間に配置される、段落D5に記載の太陽電池。
D7.前記前面電気接点は光学的に透明な前面電極を含む、段落D5乃至D6のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D8.前記光学的に透明な前面電極は太陽電池のエミッタ層を画定する、段落D7に記載の太陽電池。
D9.前記太陽電池はエミッタ層をさらに含み、エミッタ層は第1の導電型の半導体材料を含み、さらエミッタ層は前面中間層とベース層との間に配置される、段落D5乃至D6のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D10.前記エミッタ層は、ベース層に接触、ベース層上に形成、及びベース層内に形成、のうちの少なくとも1つの状態にある、段落D9に記載の太陽電池。
D11.前記太陽電池はウィンドウ層をさらに含み、ウィンドウ層は第1の導電型の半導体材料を含み、さらにウィンドウ層はエミッタ層と前面中間層との間に配置される、段落D9乃至D10のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D12.前記ウィンドウ層は反射防止層とエミッタ層との間に配置される、段落D11に記載の太陽電池。
D13.前記反射防止層は前面電気接点とセル本体との間の電気的接続を提供するように構成されている複数の開口部を含み、前面電気接点は金属前面電極を含み、さらに前面電気接点は金属前面電極とセル本体との間に配置される前面キャップ層を含み、前面キャップ層は金属前面電極のセル本体への拡散を減少するように構成される、段落D11乃至D12のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D14.前記前面電気接点は金属前面電極を含み、太陽電池は前面電気接点とエミッタ層との間のウィンドウ層を含まず、且つ任意選択により太陽電池は前面電気接点とエミッタ層との間の前面キャップ層を含まない、段落D9乃至D10のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D15.前記電気絶縁層は金属前面電極とエミッタとの間に配置されているが、ほぼ対向する金属前面電極を含まないエミッタの一部の上には置かれていない、段落D14に記載の太陽電池。
D16.前記電気絶縁層はほぼすべての、及び任意選択によりすべてのエミッタ層を覆う、段落D14に記載の太陽電池。
D17.前記中間層は背面電気接点とセル本体との間に配置されている背面中間層であり、任意選択により太陽電池は複数の中間層を含み、さらに任意選択により太陽電池は背面中間層及び前面中間層を含む、段落D1乃至D16のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D18.前記背面中間層は表面保護層及び電気絶縁層を含み、さらに表面保護層は電気絶縁層とセル本体との間に配置される、段落D17に記載の太陽電池。
D19.前記背面電気接点は、金属背面電極を含み、且つ任意選択により金属背面電極は、平面的な金属背面電極とほぼ平面的な金属背面電極のうちの少なくとも1つを含む、段落D17乃至D18のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D20.前記金属背面電極はほぼすべての、任意選択によりすべてのセル本体の背面を覆う、段落D19に記載の太陽電池。
D21.前記背面電気接点は、金属背面電極と背面中間層との間に配置される背面キャップ層をさらに含む、段落D19乃至D20のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D22.前記背面電気接点は光学的に透明な背面電極を含み、且つ任意選択により光学的に透明な背面電極は、光学的に透明な平面的な背面電極と光学的に透明なほぼ平面的な背面電極のうちの少なくとも1つを含む、段落D17乃至D18のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D23.前記光学的に透明な背面電極はほぼすべての、任意選択によりすべてのセル本体の背面を覆う、段落D22に記載の太陽電池。
D24.前記背面電気接点は金属背面電極をさらに含み、さらに光学的に透明な背面電極は金属背面電極と背面中間層との間に配置される、段落D22乃至D23のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D25.前記金属背面電極はほぼすべての、任意選択によりすべてのセル本体の背面を覆う、段落D24に記載の太陽電池。
D26.段落C1乃至C74のいずれかの太陽電池の機能のいずれかと組合せられる、段落D1乃至D25のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D27.前記セル本体の少なくとも一部は半導体材料から形成される、段落A1乃至D26のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
D28.前記半導体材料は第1の導電型の半導体材料及び第2の導電型の半導体材料を含む、段落D27に記載の太陽電池。
D29.前記第1の導電型はn型及びp型のうちの一方を含み、さらに第2の導電型はn型及びp型のうちの他方を含む、段落D28に記載の太陽電池。
D30.前記半導体材料はIII−V族半導体材料、砒化ガリウム、砒化アルミニウムガリウム、リン化インジウムガリウム、ゲルマニウム、砒化窒化インジウムガリウム、リン化インジウム、砒化インジウムガリウム、及び/又はケイ素を含む、段落D27乃至D29のいずれか1つの段落に記載の太陽電池。
E1.太陽電池内に低可動キャリア再結合速度電気接点を形成する方法であって、前記方法は、
セル本体を製造することであって、該セル本体は少なくとも第2の導電型の半導体材料を含むベース層及び第1の導電型の半導体材料を含むエミッタ層を含み、さらに該セル本体は前面及び耐効する背面を画定する、セル本体を製造すること、
前面との電気的接続を形成する前面電気接点を製造すること、
背面との電気的接続を形成する背面電気接点を製造すること、
少なくとも1つの絶縁層を
(1)前面電気接点とセル本体との間、及び
(2)背面電気接点とセル本体との間
のうちの少なくとも1つに含む中間層を製造すること
を備える方法。
E2.前記中間層は表面保護層を含む、段落E1に記載の方法。
E3.前記太陽電池は段落A1乃至D30のいずれか1つの段落に記載の太陽電池を含む、段落E1乃至E2のいずれか1つの段落に記載の方法。
F1.段落E1乃至E3のいずれか1つの段落に記載の方法による、段落A1乃至D30のいずれかの太陽電池の使用。
F2.段落A1乃至D30のいずれか1つの段落に記載の太陽電池による、段落E1乃至E3のいずれか1つの段落に記載の方法の使用。
F3.太陽電池内の可動キャリアの可動キャリア再結合速度を低減させるため、少なくとも電気絶縁層を含む中間層の使用。
本明細書で使用されるように、「選択的な」及び「選択的に」という表現は、一又は複数のコンポーネントの動作、運動、構成、又はその他の活動、あるいは装置の特性を変更する場合には、特定の動作、運動、構成、又はその他の活動が、ユーザーによる装置の1つの特徴、又は一又は複数のコンポーネントの直接的または間接的操作であることを意味する。
本明細書で使用されるように、「適合した」及び「構成された」という表現は、要素、コンポーネント、又は他の主題が所与の機能を果たすように設計されている及び/又は意図されていることを意味する。このように、「適合した」及び「構成された」という表現の使用は、所与の要素、コンポーネント、又は他の主題が、単純に、所与の機能を実行する「ことができる」という意味ではなく、そのような要素、コンポーネント、及び/又は他の主題が、そのような機能を実行することを目的として特に選択、作製、実施、利用、プログラム、及び/又は設計されていることを意味する。特定の機能を実行するように適合されているものとして記載されている要素、コンポーネント、又は他の主題は、それに加えて、又は代えて、そのような機能を実行するように構成されているものとして記載することができ、逆もまた可であることはまた、本開示の範囲内のことである。
本明細書に開示されている装置の種々の開示されている要素及び方法のステップは、本開示によるすべての装置及び方法を必要とするものではなく、本開示は、本明細書に開示されている種々の要素及びステップのすべての新規の、また非自明の組み合わせ及び部分組み合わせを含む。さらに、本明細書に開示されている一又は複数の種々の要素及びステップは、開示された装置又は方法のすべてとは分離された別の本発明の主題を定義するものである。したがって、このような発明の主題は本明細書に明示的に開示される特定の装置及び方法に関連している必要はなく、このような発明の主題を、本明細書に明示的に開示されていない装置及び/又は方法に用途を見出すこともできる。
10 太陽電池
14 前面
18 背面
20 セル本体
22 半導体材料
24 前面
26 界面
28 背面
30 界面
32 反射防止層
34 開口部
36 ウィンドウ層
40 エミッタ層
42 第1の導電型
48 ベース層
50 第2の導電型
56 裏面電界層
60 前面電気接点
64 金属前面電極
66 金属線
68 光学的に透明な前面電極
70 前面キャップ層
80 背面電気接点
84 金属背面電極
88 光学的に透明な背面電極
90 背面キャップ層
100 中間層
101 前面中間層
102 背面中間層
104 厚み
110 電気絶縁層
120 表面安定化層

Claims (15)

  1. 前面14と対向する背面18を画定するセル本体20であって、半導体材料から形成されるセル本体20と、
    セル本体14の前面との電気的接続を形成する前面電気接点60と、
    セル本体28の背面との電気的接続を形成する背面電気接点80と、
    セル本体20と前面電気接点60及び背面電気接点80のうちの少なくとも1つとの間に配置される中間層100であって、電気的絶縁層を含み、該電気的絶縁層110は堆積された電気的絶縁層を含む中間層100と
    を備える太陽電池。
  2. 前記セル本体20はn型III−V族半導体材料及びp型III−V族半導体材料のうちの一方を含むエミッタ層40を含み、前記セル本体20はn型III−V族半導体材料及びp型III−V族半導体材料のうちの他方を含むベース層48をさらに含み、さらに該ベース層48はエミッタ層40とセル本体の背面との間に配置される、請求項1に記載の太陽電池。
  3. 前記太陽電池はエミッタ層をさらに含み、該エミッタ層は前面電気接点60の一部を形成し、さらに前記セル本体20はベース層をさらに含む、請求項1又は2に記載の太陽電池。
  4. 前記電気絶縁層110は、酸化物、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、酸化ケイ素、二酸化ケイ素、硫化亜鉛、酸化ハフニウム、及び酸窒化ケイ素のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の太陽電池。
  5. 前記電気絶縁層110は少なくとも1nm且つ6nm未満の厚みを有する、請求項1に記載の太陽電池。
  6. 前記中間層100はセル本体の表面で可動キャリア再結合速度を減じるように構成される表面安定化層120をさらに含む、請求項1に記載の太陽電池。
  7. 前記表面保護層120は2nm未満の厚みを有する、請求項6に記載の太陽電池。
  8. 前記中間層100はセル本体20と前面電気接点60との間に配置される前面中間層101である、請求項1に記載の太陽電池。
  9. 前記中間層100はセル本体20と背面電気接点80との間に配置される背面中間層102である、請求項1に記載の太陽電池。
  10. 前記太陽電池は、前記セル本体と前記前面電気接点60との間に配置される前面中間層101及び前記セル本体20と前記背面電気接点80との間に配置される背面中間層102を含む、複数の中間層100を含む、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の太陽電池。
  11. 前記前面電気接点60は、前記セル本体20の前記前面24と前記中間層100のうちの少なくとも1つの上に堆積され、且つ電気的に連通している、請求項1に記載の太陽電池。
  12. 前記前面電気接点60は金属前面電極64又は光学的に透明な前面電極68を含む、請求項11に記載の太陽電池。
  13. 前記背面電気接点80は、前記セル本体20の前記背面28と前記中間層100のうちの少なくとも1つの上に堆積され、且つ電気的に連通している、請求項1に記載の太陽電池。
  14. 前記背面電気接点80は金属背面電極84又は光学的に透明な背面電極88を含む、請求項13に記載の太陽電池。
  15. 前記セル本体20の前記前面は前記セル本体20の光入射面である、請求項1に記載の太陽電池。
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