JP2014093307A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】 蓋本体にカバープレートを適切かつ高精度に固定して蓋体を組み立て、蓋体の開閉作業の中断を防止等できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体１と、容器本体１の正面を開閉する蓋体１０を備え、蓋体１０を構成する蓋本体とカバープレート１９とに、これらを位置決めする位置決め手段５０を設ける。位置決め手段５０を、蓋本体に形成される第一の位置決め部材５１・５１Ａと、カバープレート１９に形成される第二の位置決め部材５３・５３Ａとから構成し、第一の位置決め部材５１・５１Ａを間隔をおき形成してその大きさを相違させ、第一の位置決め部材５１・５１Ａを屈曲し、第二の位置決め部材５３・５３Ａを間隔をおき形成してその大きさを相違させ、第二の位置決め部材５３・５３Ａを屈曲して第一の位置決め部材５１・５１Ａの周面に沿わせる。
【選択図】 図２

Description

本発明は、半導体ウェーハに代表される基板の収納、保管、搬送、輸送等に使用される基板収納容器に関するものである。

従来における基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを収納する容器本体と、この容器本体の正面を開閉する蓋体と、容器本体の正面を閉鎖した蓋体を施錠する施錠機構とを備え、半導体の製造工場に半導体ウェーハを輸送する際に使用される（特許文献１、２参照）。

容器本体は、例えばφ３００ｍｍ以上の半導体ウェーハを整列収納可能な大きさのフロントオープンボックスに成形され、底板にボトムプレートが装着されており、底板とボトムプレートのいずれかに、蓋体開閉装置のテーブル上の位置決めピンに嵌合して位置合わせする複数の位置決め具が装着されている。また、蓋体は、容器本体の正面に着脱自在に嵌合される断面略皿形の蓋本体と、この蓋本体の開口した正面を覆うカバープレートとを備え、これら蓋本体とカバープレートとの間に施錠機構が介在して配設されており、蓋体開閉装置により自動的に開閉される。

蓋体の蓋本体とカバープレートとは、各種の固定手段により固定して一体化される。この固定手段としては、例えば、蓋本体に突出形成される複数の雌螺子ボスと、カバープレートを貫通して複数の雌螺子ボスにそれぞれ螺挿される雄螺子との組み合わせがあげられる。また、蓋本体に形成される複数の係止凹部と、カバープレートから突出して複数の係止凹部にそれぞれ係止する係止爪との組み合わせがあげられる。さらに、蓋本体に突出形成される複数の円筒ボスと、カバープレートから突出して複数の円筒ボスにそれぞれ密嵌する円筒リブとが該当する。

蓋本体は、容器本体の半導体ウェーハに対向する背面、すなわち裏面に、半導体ウェーハの周縁前部を弾性保持片で保持するフロントリテーナが装着され、裏面の周縁部あるいは周壁に、容器本体の正面内周に圧接して変形する枠形のガスケットが嵌合されている。また、カバープレートは、蓋本体の正面に対応する大きさの板に形成され、表面の側部等に、蓋体と蓋体開閉装置との位置合わせ時に使用される複数の位置決め凹部が形成されるとともに、蓋体開閉装置の検出センサに検出される被検出部が形成されている。

このような基板収納容器は、容器本体の半導体ウェーハが出し入れされる場合には、先ず、蓋体開閉装置のテーブル上に容器本体が搭載されるとともに、テーブルの位置決めピンに容器本体が位置決めされ、蓋体の被検出部が蓋体開閉装置の検出センサに検出されることで蓋体が正規の位置に存在することが把握される。正規の位置に蓋体が存在することが検出されると、蓋体が蓋体開閉装置に吸着保持され、容器本体から蓋体が自動的に取り外された後、容器本体の半導体ウェーハが専用のロボットによりローディングされたり、アンローディングされる。

特許第４２０８３０８号 特許第４５４０５２９号

従来における基板収納容器は、以上のように蓋体のカバープレートに位置決め凹部や被検出部が形成され、これらを基準に蓋体が蓋体開閉装置により自動的に開閉されるので、蓋体の蓋本体とカバープレートとが正確、かつ高精度に固定される必要がある。しかしながら、従来の固定手段は、蓋本体とカバープレートとの正確、かつ高精度な固定が期待できない場合があり、この場合には、蓋体の被検出部が蓋体開閉装置の検出センサに検出されず、その結果、蓋体開閉装置が停止してしまうという問題が生じる。

この問題について詳しく説明すると、例えば固定手段として、複数の雌螺子ボスと雄螺子とが使用される場合、最初の雄螺子を螺挿すると、雄螺子の回転方向にカバープレートが僅かに回転することがあり、カバープレートが僅かに回転したまま、残りの雄螺子を順次螺挿すると、カバープレートが歪んだ状態で固定され、位置ずれすることとなる。また、固定手段が複数の係止凹部と係止爪の場合、複数の係止凹部に係止爪を順次係止しようとすると、リードイン用のガタツキの分だけ、カバープレートが位置ずれしてしまうことがある。

カバープレートに歪みや位置ずれが生じると、カバープレートの位置決め凹部や被検出部の位置ずれを招くので、蓋体の被検出部が蓋体開閉装置の検出センサに正確に検出されないことがあり、その結果、蓋体開閉装置が蓋体の開閉作業の途中で停止してしまうという問題が発生する。この問題は、基板収納容器がφ４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納する大型タイプの場合、カバープレートの歪み量や位置ずれの長さがさらに増大するので、より深刻となる。

また、従来における基板収納容器は、蓋体に固定手段が対称に設けられる場合には、カバープレートの上下関係が視覚的に判別し難くなることがある。カバープレートの上下関係を正確に把握しないと、蓋体の組立時に蓋本体の開口した正面に上下逆のカバープレートを誤って覆着してしまうおそれがあるので、組立作業に慎重さが求められ、組立作業の簡素化や迅速化を図ることができなくなる。

また、従来における基板収納容器は、蓋体の固定手段が円筒ボスと円筒リブの場合、円筒ボスと円筒リブとが密嵌される際に摩耗し、パーティクルが生じて半導体ウェーハの汚染を招くという問題がある。さらに、固定手段の円筒ボスと円筒リブとは、蓋体が超音波の照射等で洗浄される場合、密嵌部が袋状を区画して洗浄水の流通を規制するので、蓋体の洗浄時の排水に支障を来したり、洗浄後の乾燥作業が非常に困難になる。

本発明は上記に鑑みなされたもので、蓋本体にカバープレートを適切かつ高精度に固定して蓋体を組み立て、蓋体の開閉作業の中断を防止できる基板収納容器を提供することを目的としている。また、塵埃の発生に伴う基板の汚染を低減することができ、蓋体の洗浄や乾燥作業の容易化を図ることのできる基板収納容器を提供することを他の目的とする。

本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体とを備え、この蓋体を、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆う透明のカバープレートとから構成し、このカバープレートに、位置決め凹部と被検出部とをそれぞれ形成したものであって、
蓋体の蓋本体とカバープレートとを固定する固定手段と、蓋本体とカバープレートとを位置決めする位置決め手段とを含み、
位置決め手段は、蓋本体に複数形成される第一の位置決め部材と、カバープレートの蓋本体に対向する対向面に複数形成される第二の位置決め部材とを含み、複数の第一の位置決め部材を間隔をおき形成してその大きさを相互に異ならせ、各第一の位置決め部材を屈曲し、複数の第二の位置決め部材を間隔をおき形成してその大きさを相互に相違させるとともに、各第二の位置決め部材を屈曲して第一の位置決め部材に沿わせるようにしたことを特徴としている。

なお、第一の位置決め部材に第二の位置決め部材を隙間を介して添わせ、これら第一、第二の位置決め部材の少なくともいずれか一方の周面に、線接触あるいは点接触用の複数の突部を形成することができる。
また、第一、第二の位置決め部材の少なくともいずれか一方の両端部付近間に開口を区画することができる。

また、容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスとし、第一、第二の位置決め部材の少なくともいずれか一方の開口を下方に向けることもできる。
さらに、複数の第一、第二の位置決め部材をそれぞれ略半円弧形状、略馬蹄形状、略へ字形状、略Ｃ字形状、略Ｕ字形状、又は略Ｖ字形状に形成することも可能である。

ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍの半導体ウェーハ、液晶基板、ガラス基板等が含まれる。容器本体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。この容器本体は、フロントオープンボックスタイプが主ではあるが、トップオープンボックスタイプでも良い。また、蓋体は、蓋本体とカバープレートのうち、少なくともカバープレートが透明に形成されるが、この透明という用語には、透明と、半透明のいずれもが含まれる。

固定手段には、（１）蓋本体に形成される複数の螺子ボスと、カバープレートを貫通して複数の螺子ボスにそれぞれ螺子締めされる螺子部材（螺子やボルト等）との組み合わせ、（２）蓋本体に形成される複数の係止凹部と、カバープレートから突出して複数の係止凹部にそれぞれ係止する係止凸部との組み合わせ、（３）蓋本体に形成される複数の筒ボスと、カバープレートから突出して複数の筒ボスにそれぞれ嵌め合わされるリブとの組み合わせ等が該当する。

位置決め手段は、蓋本体とカバープレートの中央部や側部等に設けることができる。この位置決め手段の複数の第一の位置決め部材は、湾曲形成される場合、相互に異なる曲率半径や曲率で形成されることが好ましい。この点については、複数の第二の位置決め部材も同様である。第一、第二の位置決め部材の開口方向は、排水性を向上させる観点から、下方が好ましいが、上方、斜め下方、左右横方向等でも良い。第二の位置決め部材は、第一の位置決め部材の周面に隙間を介して添うのが好ましいが、隙間がなくても良い。

本発明によれば、基板収納容器の蓋体を組み立てる場合には、蓋本体の開口面にカバープレートを被せ、蓋本体の複数の第一の位置決め部材に第二の位置決め部材をそれぞれ添わせて組み合わせ、蓋本体とカバープレートとを位置決めする。この際、向き等を間違えたカバープレートを被せようとすると、第一の位置決め部材に少なくとも大きさの異なる第二の位置決め部材が干渉し、第一、第二の位置決め部材の適切な組み合わせが阻止されるので、カバープレートの向き等を間違えたことを認識することができる。蓋本体とカバープレートとを位置決めしたら、これら蓋本体とカバープレートとを固定手段で固定することにより、蓋体を高精度に組み立てることができる。

本発明によれば、蓋本体にカバープレートを適切かつ高精度に固定して蓋体を組み立て、蓋体の開閉作業の中断を有効に防止することができるという効果がある。また、位置決め手段がカバープレートの向きの視覚的な判別を容易にするので、向きを間違えたカバープレートを誤って覆着してしまうおそれが少なく、組立作業の簡素化や迅速化を図ることができる。

また、請求項２記載の発明によれば、突部が面接触ではなく、線接触あるいは点接触して接触面積を減少させるので、接触による摩耗を抑制し、塵埃の発生に伴う基板の汚染を防ぐことができる。また、位置決め手段に寸法誤差が生じたとしても、突部を加工して微調整するだけで、第一、第二の位置決め部材を適切に接触させ、対向させることができる。

また、請求項３記載の発明によれば、第一、第二の位置決め部材の少なくともいずれか一方の両端部付近間に開口を区画すれば、袋状ではなくなるので、洗浄水等の液体の溜まることを抑制することができる。したがって、蓋体が洗浄水等で洗浄される場合、蓋体の排水性や水切り性を向上させ、洗浄後の乾燥作業の容易化を図ることが可能となる。

さらに、請求項４記載の発明によれば、第一、第二の位置決め部材の少なくともいずれか一方の開口を下方に向ければ、洗浄水等が蓋体から外部下方に流れやすくなるので、蓋体の排水性や水切り性をさらに向上させ、洗浄後の乾燥作業の迅速化が期待できる。

本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を模式的に示す分解斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋本体を模式的に示す正面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるカバープレートを模式的に示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋本体とカバープレートとを模式的に示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における上方の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す拡大説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における下方の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す拡大説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における上方の第一の位置決め部材を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における下方の第一の位置決め部材を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における上方の第二の位置決め部材を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における下方の第二の位置決め部材を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における上方の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す拡大説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における下方の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す拡大説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態における上方の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す拡大説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態における下方の第一、第二の位置決め部材を模式的に示す拡大説明図である。

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図１２に示すように、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体１と、この容器本体１の正面を開閉する透明の蓋体１０と、容器本体１の正面を閉鎖した蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、透明の蓋体１０を構成する蓋本体１１とカバープレート１９とに固定手段４０と位置決め手段５０とをそれぞれ配設し、位置決め手段５０により、蓋本体１１とカバープレート１９とを正確、かつ高精度に固定するようにしている。

半導体ウェーハは、図示しないが、例えばφ４５０ｍｍの大型の薄く重いシリコンウェーハからなり、容器本体１内に水平に収納され、上下方向に複数枚（例えば、１０枚、２５枚、２６枚等）が整列する。

容器本体１、蓋体１０、及び施錠機構３０は、所要の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料に含まれる樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。

これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等からなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されたり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等も選択的に添加される。

容器本体１は、図１や図２に示すように、所定の成形材料を使用して正面の開口したフロントオープンボックスに成形され、内部両側、換言すれば、両側壁の内面に、半導体ウェーハを水平に支持する左右一対の支持片が対設されており、この一対の支持片が上下方向に所定のピッチで配列されるとともに、各支持片が前後方向に伸びる細長い板片に形成される。

容器本体１の底板には、蓋体開閉装置用のボトムプレート２が下方から螺着され、これら底板とボトムプレート２のいずれか一方に、蓋体開閉装置のテーブル上の位置決めピンに上方から嵌合して位置決めする複数の位置決め具が配設される。また、容器本体１の天井中央部には、半導体の製造工場の天井搬送機構に把持される搬送用のロボティックフランジ３が装着される。

容器本体１の正面は、周縁部が屈曲して外方向に張り出し、内周縁の上部両側と下部両側とに、施錠機構３０用の施錠穴がそれぞれ穿孔される。また、容器本体１の両側壁の外面下部には、前後方向に指向する搬送用のフォークリフトフランジ４がそれぞれ突出形成される。

蓋体１０は、図１ないし図５に示すように、容器本体１の正面に着脱自在に圧入して嵌合される断面略皿形状で浅底の蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した正面１２に着脱自在に覆着される透明のカバープレート１９とを備え、これら蓋本体１１とカバープレート１９との間に施錠機構３０が介在して配設されており、蓋体開閉装置により自動的に開閉される。

蓋本体１１は、光透過性や透明性を有し、その開口した正面１２側の中央部に正面矩形状の隆起部１３が一体形成されており、この隆起部１３の左右両側に施錠機構３０用の設置領域１４がそれぞれ区画される。各設置領域１４には、施錠機構３０用の左右一対のガイドリブ１５が上下方向に向けて一体形成され、この一対のガイドリブ１５が間隔をおいて相互に対向する。

蓋本体１１は、容器本体１に整列収納された複数枚の半導体ウェーハの周縁前部に対向する背面、すなわち裏面の両側部に、各半導体ウェーハの周縁前部を弾性保持片で保持するフロントリテーナ１６がそれぞれ装着される。蓋本体１１の裏面の周縁部あるいは周壁には、枠形状のガスケット溝が切り欠かれ、このガスケット溝に、容器本体１の正面内周縁に圧接して変形する枠形状のガスケット１７が嵌合される。蓋本体１１の周壁の上部両側と下部両側とには、容器本体１の施錠穴に対向する出没孔１８がそれぞれ穿孔される。

カバープレート１９は、蓋本体１１の正面１２に対応する大きさの板に形成され、固定手段４０用の螺子孔２０が複数穿孔される。このカバープレート１９は、その中央部に複数の洗浄溝孔２１が穿孔され、左右両側部の中央には施錠機構３０用の操作孔２２がそれぞれ穿孔される。複数の洗浄溝孔２１は、長い洗浄溝孔２１と短い洗浄溝孔２１とをそれぞれ複数備え、これらがカバープレート１９の中心部を基準に略放射状に配列されており、蓋本体１１の隆起部１３に対向する。

カバープレート１９の外部に露出する表面の左右両側部には、周縁部に隣接する位置決め凹部２３がそれぞれ凹み形成され、カバープレート１９表面の隅部、例えば四隅部には、蓋体開閉装置の検出センサ（例えば、光電センサ）に検出される被検出部２４がそれぞれ形成されており、各被検出部２４が平坦な円形状に形成される。また、カバープレート１９の蓋本体１１に対向する裏面の両側部には、複数の洗浄溝孔２１に隣接する施錠機構３０用の包囲リブ２５がそれぞれ形成される。各包囲リブ２５は、操作孔２２を包囲し、施錠機構３０の動作に伴う発塵の汚染範囲を限定するよう機能する。

施錠機構３０は、図３や図４に示すように、蓋本体１１の一対の設置領域１４にそれぞれ軸支されて外部から回転操作される左右一対の回転操作体３１と、各回転操作体３１の回転に伴い蓋体１０の上下方向にスライドし、蓋本体１１の出没孔１８から出没して容器本体１の施錠穴に接離する複数のラッチバー３３とを備えて構成される。

各回転操作体３１は、例えば周縁部に一対の湾曲溝３２を備えた二個の回転プレートが前後に組み合わされることにより構成され、カバープレート１９の包囲リブ２５に包囲されて操作孔２２に対向し、この操作孔２２を貫通した蓋体開閉装置の操作キーにより回転操作される。また、各ラッチバー３３は、縦長の板形状に形成されてその末端部が回転操作体３１の二個の回転プレートに挟持され、末端部に、回転操作体３１の湾曲溝３２にスライド可能に嵌入する連結ピンが突出形成されており、設置領域１４の一対のガイドリブ１５間にスライド可能に挟持される。

固定手段４０は、例えば蓋本体１１の正面１２に円筒形状に突出形成される複数の雌螺子ボス４１と、この複数の雌螺子ボス４１にそれぞれ螺挿される雄螺子４２とを備え、蓋本体１１とカバープレート１９とを着脱自在に固定して一体化するよう機能する。複数の雌螺子ボス４１は、蓋本体１１の隆起部１３周縁や設置領域１４にそれぞれ一体形成される。また、雄螺子４２は、カバープレート１９に穿孔された複数の螺子孔２０をそれぞれ貫通して雌螺子ボス４１に螺挿される。

位置決め手段５０は、図１、図２、図４〜図１２に示すように、蓋本体１１の隆起部１３に配列形成されてカバープレート１９方向に突出する一対の第一の位置決め部材５１・５１Ａと、カバープレート１９の裏面に配列形成されて蓋本体１１方向に突出する一対の第二の位置決め部材５３・５３Ａとを備え、これら複数の第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａが蓋体１０の厚さ方向において相互に噛合する（図６参照）。

一対の第一の位置決め部材５１・５１Ａは、隆起部１３表面の上下に間隔をおいて配列され、視覚的な判別を容易にしたり、第二の位置決め部材５３・５３Ａと互い違いに嵌合されて上下方向のずれを防止する観点から、相互に異なる大きさに形成されており、上方に位置する第一の位置決め部材５１が下方に位置する第一の位置決め部材５１Ａよりも小さく形成される。各第一の位置決め部材５１・５１Ａは、それぞれ略半円弧形に湾曲形成される。第一の位置決め部材５１の両端部間には開口５２が区画され、第一の位置決め部材５１Ａの両端部間には開口５２が区画されており、これら開口５２・５２Ａがいずれも蓋体１０の下方に指向して洗浄時の洗浄水が残留するのを防止する。

一対の第二の位置決め部材５３・５３Ａは、カバープレート１９裏面の中央部上下に間隔をおいて配列され、視覚的な判別を容易にしたり、第一の位置決め部材５１・５１Ａと互い違いに嵌合されて上下方向のずれを防止する観点から、相互に異なる大きさに形成されており、上方に位置する第二の位置決め部材５３が下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａよりも大きく形成される（図７、図８参照）。

各第二の位置決め部材５３・５３Ａは、それぞれ略半円弧形に湾曲形成されて洗浄溝孔２１の端部に近接するとともに、第一の位置決め部材５１・５１Ａの内外いずれかの周面に沿い、両端部が第一の位置決め部材５１・５１Ａの両端部に揃えられる。第二の位置決め部材５３の両端部の間には開口５４が区画され、第二の位置決め部材５３Ａの両端部の間には開口５４Ａが区画されており、これらの開口５４が蓋体１０の下方に指向して洗浄時の排水性や水切り性を向上させる。

上方に位置する第二の位置決め部材５３は、図７に示すように、上方に位置する第一の位置決め部材５１の外径よりも大きい内径を有し、好ましくは第一の位置決め部材５１の外周面に排水用の僅かな隙間５５を介して対向する。この第二の位置決め部材５３の内周面における両端部と中央部とには、第一の位置決め部材５１の外周面に点接触する複数の突部５６が間隔をおいて配列形成される。各突部５６は、摩耗に伴うパーティクルの発生を抑制する観点から、微小な正面略半円形状に形成される。このような上方に位置する第二の位置決め部材５３は、上方に位置する第一の位置決め部材５１にのみ適切に対向する。

これに対し、下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａは、図８に示すように、下方に位置する第一の位置決め部材５１Ａの内径よりも小さい外径を有し、好ましくは第一の位置決め部材５１Ａの内周面に排水用の僅かな隙間５５を介して対向する。この第二の位置決め部材５３Ａの外周面における両端部と中央部とには、第一の位置決め部材５１Ａの内周面に点接触する複数の突部５６が間隔をおいて配列形成される。各突部５６は、摩耗に伴うパーティクルの発生を抑制するため、微小な略半円形状に形成される。このような下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａは、下方に位置する第一の位置決め部材５１Ａにのみ適切に対向する。

上方に位置する第一、第二の位置決め部材５１、５３と下方に位置する第一、第二の位置決め部材５１Ａ、５３Ａとは、以上のように構成されるので、蓋体１０の水平方向の中心線に対して非対称の関係となり、蓋体１０の組立時に上下逆のカバープレート１９を誤って覆着してしまうおそれを有効に排除する。さらに、カバープレート１９の上方に位置する第二の位置決め部材５３が蓋本体１１に形成される第一の位置決め部材５１の外周側（図８の上側）に位置し、カバープレート１９の下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａが蓋本体１１に形成される第一の位置決め部材５１Ａの内周側（図８の下側）に位置するので、蓋本体１１に嵌合されたカバープレート１９は、図２の左右方向や上下方向の動きが規制され、正確に位置決めされる。

上記構成において、蓋体１０を組み立てる場合には、蓋本体１１の開口した正面１２にカバープレート１９を被せ、蓋本体１１の一対の第一の位置決め部材５１・５１Ａに第二の位置決め部材５３・５３Ａの突部５６をそれぞれ点接触させ、蓋本体１１とカバープレート１９とを上下左右方向に適切に位置決めする。この際、一対の第一の位置決め部材５１・５１Ａの大きさが相互に異なるので、カバープレート１９に対する蓋本体１１の向きを適切に把握することができる。

また、誤って上下逆にしたカバープレート１９を被せようとすると、第一の位置決め部材５１に第二の位置決め部材５３Ａやその複数の突部５６が干渉するとともに、第一の位置決め部材５１Ａに第二の位置決め部材５３やその複数の突部５６が接触し、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの適切な対向や接触が阻止されるので、カバープレート１９の上下関係を間違えたことを容易に把握することができる。

蓋本体１１とカバープレート１９とを適切に位置決めしたら、複数の雌螺子ボス４１に雄螺子４２をカバープレート１９側から順次螺挿することにより、蓋本体１１にカバープレート１９を高精度に覆着し、蓋体１０を組み立てることができる。この際、雄螺子４２の回転方向にカバープレート１９が僅かに回転しようとしても、複数の突部５６がカバープレート１９の回転を規制するので、カバープレート１９が歪んだ状態で固定されるおそれを排除することができ、雌螺子ボス４１とカバープレート１９の螺子孔２０との整合が期待できる。

上記構成によれば、位置決め手段５０がカバープレート１９の歪みや位置ずれを有効に防止するので、カバープレート１９の位置決め凹部２３や被検出部２４のずれを招くことがない。したがって、蓋体開閉装置の検出センサに蓋体１０の被検出部２４を正確に検出させることができ、蓋体開閉装置が蓋体１０の開閉作業の途中で停止する問題を解消することができる。この効果は、基板収納容器がφ４５０ｍｍの半導体ウェーハを収納する大型タイプの場合には、実に有意義である。

また、位置決め手段５０がカバープレート１９の上下関係の視覚的な判別を容易にするので、上下逆のカバープレート１９を誤って覆着してしまうおそれがなく、組立作業の簡素化や迅速化を図ることができる。また、第一の位置決め部材５１・５１Ａに第二の位置決め部材５３・５３Ａが面接触するのではなく、第二の位置決め部材５３・５３Ａの突部５６が点接触するので、摩耗を抑制し、パーティクルの発生に伴う半導体ウェーハの汚染を防止することが可能となる。

また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの開口５２・５４が共に下方に指向し、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの間に液体流通用の隙間５５が区画され、しかも、各突部５６が微小なので、蓋体１０が超音波の照射等で洗浄される場合、洗浄水の流通が阻害されることがない。したがって、蓋体１０の洗浄時の排水性や水切り性を向上させたり、洗浄後の乾燥作業の便宜を図ることが可能となる。

さらに、例え成形時の不具合で位置決め手段５０に寸法誤差が生じたとしても、各突部５６を加工して微調整するだけで、第一、第二の位置決め部材５１、５３、第一、第二の位置決め部材５１Ａ、５３Ａを適切に対向させ、接触させることが可能となる。

次に、図１３、図１４は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、一対の第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａをそれぞれ略Ｃ字形状に湾曲形成し、これら第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの開口５２・５４をそれぞれ下方に向けるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、位置決め手段５０の構成の多様化を図ることができるのは明らかである。

次に、図１５、図１６は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、一対の第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａをそれぞれ略Ｖ字形状に屈曲形成し、これら第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの間に僅かな隙間５５を区画するとともに、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの開口５２・５４をそれぞれ下方に向けるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａが回転するおそれを低減することができるので、複数の突部５６を省略して構成の簡素化を図ることができる。

なお、上記実施形態ではカバープレート１９表面の四隅部に被検出部２４をそれぞれ形成したが、斜め対角線上の二隅部に被検出部２４をそれぞれ形成し、各被検出部２４を平坦に鏡面加工しても良い。また、上記実施形態では第一の位置決め部材５１に第二の位置決め部材５３を対向させたが、第一の位置決め部材５１の内外周面に複数の第二の位置決め部材５３をそれぞれ対向させても良い。同様に、第一の位置決め部材５１Ａの内外周面に複数の第二の位置決め部材５３Ａをそれぞれ対向させても良い。

また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａのみに開口５２を区画しても良いし、第二の位置決め部材５３・５３Ａのみに開口５４を区画することもできる。また、第一の位置決め部材５１・５１Ａの内外いずれかの周面に複数の突部５６を間隔をおいて配列形成することもできる。また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの周面に複数の突部５６を間隔をおいてそれぞれ配列形成することもできる。また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａを相互に異なる色彩に着色し、視覚的な識別を容易にすることも可能である。

また、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａをそれぞれ略Ｕ字形状に形成し、第一、第二の位置決め部材５１・５１Ａ、５３・５３Ａの開口５２・５４をそれぞれ下方に向けることも可能である。また、上方に位置する第一の位置決め部材５１を、下方に位置する第一の位置決め部材５１Ａよりも大きく形成することも可能である。この場合、カバープレート１９の上方に位置する第二の位置決め部材５３が蓋本体１１に形成される第一の位置決め部材５１の内周側（図８の下側）に位置し、カバープレート１９の下方に位置する第二の位置決め部材５３Ａが蓋本体１１に形成される第一の位置決め部材５１Ａの外周側（図８の上側）に位置することとなる。さらに、突部５６を小さい正面略三角形状に形成し、この突部５６を点接触ではなく、線接触させても良い。

本発明に係る基板収納容器は、半導体や液晶の製造分野等で使用される。

１ 容器本体
１０ 蓋体
１１ 蓋本体
１２ 正面
１３ 隆起部
１４ 設置領域
１９ カバープレート
２０ 螺子孔
２３ 位置決め凹部
２４ 被検出部
３０ 施錠機構
４０ 固定手段
４１ 雌螺子ボス
４２ 雄螺子
５０ 位置決め手段
５１ 第一の位置決め部材
５１Ａ 第一の位置決め部材
５２ 開口
５３ 第二の位置決め部材
５３Ａ 第二の位置決め部材
５４ 開口
５５ 隙間
５６ 突部

Claims (4)

1. 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体とを備え、この蓋体を、容器本体の開口部に嵌め合わされる蓋本体と、この蓋本体の開口面を覆う透明のカバープレートとから構成し、このカバープレートに、位置決め凹部と被検出部とをそれぞれ形成した基板収納容器であって、
   蓋体の蓋本体とカバープレートとを固定する固定手段と、蓋本体とカバープレートとを位置決めする位置決め手段とを含み、
   位置決め手段は、蓋本体に複数形成される第一の位置決め部材と、カバープレートの蓋本体に対向する対向面に複数形成される第二の位置決め部材とを含み、複数の第一の位置決め部材を間隔をおき形成してその大きさを相互に異ならせ、各第一の位置決め部材を屈曲し、複数の第二の位置決め部材を間隔をおき形成してその大きさを相互に相違させるとともに、各第二の位置決め部材を屈曲して第一の位置決め部材に沿わせるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
2. 第一の位置決め部材に第二の位置決め部材を隙間を介して添わせ、これら第一、第二の位置決め部材の少なくともいずれか一方の周面に、線接触あるいは点接触用の複数の突部を形成した請求項１記載の基板収納容器。
3. 第一、第二の位置決め部材の少なくともいずれか一方の両端部付近間に開口を区画した請求項１又は２記載の基板収納容器。
4. 容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスとし、第一、第二の位置決め部材の少なくともいずれか一方の開口を下方に向けた請求項３記載の基板収納容器。

Images