JP2014081658A5

JP2014081658A5 -

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Publication number: JP2014081658A5
Application number: JP2014016997A
Authority: JP
Filing date: 2014-01-31
Publication date: 2014-06-19

Claims

物体平面（５、５０５、６０５、７０５、８０５）の物体視野（３、５０３、６０３、７０３、８０３）を像平面（９、５０９、６０９、７０９、８０９）の像視野（７、５０７、６０７、７０７、８０７）に結像する複数のミラー（Ｍ１〜Ｍ６、Ｍ５０１〜５０６、Ｍ６０１〜Ｍ６０６、Ｍ７０１〜Ｍ７０６、Ｍ８０１〜Ｍ８０８）を有する、マイクロリソグラフィのための投影対物系（９０７）として設計される結像光学系（１、５０１、６０１、７０１、８０１）であって、
前記複数のミラー（Ｍ１〜Ｍ６、Ｍ５０１〜５０６、Ｍ６０１〜Ｍ６０６、Ｍ７０１〜Ｍ７０６、Ｍ８０１〜Ｍ８０８）の少なくとも一つは、前記結像光通過のための貫通開口部（２１、５２１、６２１、７２１、８２１）を有し、
前記結像光学系は、前記物体視野と該像視野の間の結像光（１７、５１７、６１７、７１７、８１７）のビーム経路内の最後から２番目のミラー（Ｍ５、Ｍ５０５、Ｍ６０５、Ｍ７０５、Ｍ８０７）及び該ビーム経路内の最後のミラー（Ｍ６、Ｍ５０６、Ｍ６０６、Ｍ７０６、Ｍ８０８）を含み、
前記最後から２番目のミラー（Ｍ５、Ｍ５０５、Ｍ６０５、Ｍ７０５、Ｍ８０７）が、正の屈折力を有し、
前記最後から２番目のミラーと前記像平面の間の作動距離に対する、前記最後から２番目のミラーの外径の比は、５よりも小さい、
ことを特徴とする、マイクロリソグラフィのための投影対物系（９０７）として設計される結像光学系（１、５０１、６０１、７０１、８０１）。
前記最後から２番目のミラーと前記像平面の間の作動距離に対する、前記最後から２番目のミラーの外径の比は、２よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の結像光学系。
前記最後のミラー（Ｍ６、Ｍ５０６、Ｍ６０６、Ｍ７０６、Ｍ８０８）は、前記結像光の通過のための貫通開口部（２１、５２１、６２１、７２１、８２１）を有する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の結像光学系。
前記最後から２番目のミラーの光学的使用区域の内側の前記ビーム経路内の該最後から２番目のミラー（Ｍ５、Ｍ５０５）の反射面が、前記結像光（１７、５１７）の前記通過のための貫通開口部を持たない、
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の結像光学系（１、５０１）。
前記最後から２番目のミラー（Ｍ５、Ｍ５０５）は、前記最後のミラー（Ｍ６、Ｍ５０６）と前記像視野（７、５０７）の間の結像光束の外側に配置される、
ことを特徴とする請求項４に記載の結像光学系。
前記最後から２番目のミラー（Ｍ５、Ｍ５０５）は外径を有し、前記最後のミラー（Ｍ６、Ｍ５０６）も外径を有し、
前記最後から２番目のミラーの前記外径は、前記最後のミラーの前記外径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の結像光学系。
前記最後から２番目のミラーの光学的使用区域の内側の前記ビーム経路内の該最後から２番目のミラー（Ｍ６０５、Ｍ７０５、Ｍ８０７）の反射面が、前記結像光（６１７、７１７、８１７）の前記通過のための貫通開口部（６３５、７３５、８３５）を有する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の結像光学系（６０１、７０１、８０１）。
少なくとも１つのミラー（Ｍ１〜Ｍ６、Ｍ５０１〜Ｍ５０６）の反射面が、回転非対称関数によって記述することができる自由曲面として設計される、
ことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の結像光学系（１，５０１）。
前記第１の部分対物系（１１、５１１、６１１、７１１）は、４つのミラー（Ｍ１〜Ｍ４、Ｍ５０１〜５０４、Ｍ６０１〜Ｍ６０４、Ｍ７０１〜Ｍ７０４）を含む、
ことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の結像光学系。
反射光学対物系である、
ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の結像光学系。
前記像平面内の開口数が、少なくとも０．３である、
ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の結像光学系。
マイクロリソグラフィのための投影露光装置（９０１）であって、
請求項１１に記載の投影対物系（９０７）を有し、
照明光（９０３）を発生させるための光源（９０２）を有し、かつ
前記照明光を前記投影対物系の物体視野（９０４）まで遠くに案内するための照明光学系（９０６）を有する、
ことを特徴とする投影露光装置（９０１）。
前記光源は、５と３０ｎｍの間の波長を有する照明光を発生させるように設計される、
ことを特徴とする請求項１２に記載の投影露光装置。
構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル及びウェーハを準備する方法段階と、
請求項１２又は請求項１３に記載の投影露光装置を用いて前記レチクル上の構造を前記ウェーハの感光層上に投影する方法段階と、
前記ウェーハ上に微細構造を生成する方法段階と、
を有することを特徴とする方法。