JP2014078310A - 一体型マイクロアクチュエータを有する熱アシスト磁気記録ヘッドアセンブリの側部に取り付けられたレーザーダイオード - Google Patents

Abstract

【課題】 一体型マイクロアクチュエータを有する熱アシスト磁気記録ヘッドアセンブリの側部に取り付けられたレーザーダイオードを提供する。
【解決手段】 エアベアリング面と反対側の裏表面にではなくスライダの側部表面に取り付けられたレーザーダイオードを有するスライダを用いる磁気データ記録方式。レーザーダイオードは、熱アシスト記録用の光源を提供する。レーザーダイオードを側部表面に配置すると、隣接するスライダのレーザーダイオード間の接触の可能性が取り除かれ、大型でより高出力のレーザーダイオードを用いることができる。さらに、レーザーダイオードを側部に配置すると、マイクロアクチュエータをスライダの裏表面に付けることができ、これにより同じ記録方式において熱アシスト記録と微作動の両方を使用することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、磁気データ記録に関し、より詳細には、熱アシスト記録用のレーザーダイオードが形成されたスライダを用いる磁気データ記録方式であって、微作動（micro-actuation）と熱アシスト記録の両方の使用を可能にし、隣接するスライダのレーザーダイオード間の接触の可能性を除去するスライダの側部表面にレーザーダイオードが取り付けられた磁気データ記録方式に関する。

磁気ディスクドライブ（ＨＤＤ）において高記録密度を達成する方法として、種々の技術が研究されている。熱アシスト記録（ＴＡＲ）は、表面の記録密度を向上させるための１つの技術である。極めて高いデータ密度では、磁気媒体は、磁気的に不安定になることがある。磁性粒子の寸法および磁気ビットの寸法が微小になるので、それらは容易に脱磁状態になり、データ損失に至る。これを防ぐために、磁気媒体は、記録層が極めて高い保磁力を有するように構成されなければならない。しかしながら、このような高い保磁力は、書き込み不能となるような高い書き込みフィールドを必要とするであろう。これを克服するために、熱アシスト記録を使用して、書き込み箇所で媒体の保磁力を一時的に局部的に低下させることができる。この方法は、磁気媒体に記録する点の付近の所望箇所に送出される光スポットを生成するレーザーダイオードを使用することがある。レーザーダイオードは、エアベアリング面と反対側のスライダの裏表面に配置されるのが通常であり、導波管によってエアベアリング面の所望箇所に送出されることができる。

ディスクドライブの性能を向上させるための別の方法は、サーボトラッキングと関係がある。データ密度が増加するにつれて、トラック密度も増加する。これは常に、データの書き込みおよび読み出しを効果的に行うのに十分な精度で所望のトラック上におけるスライダの位置を維持するのを困難にする。サーボ精度を向上させる１つの方法は、微作動（micro-actuation）の使用によるものである。コースサーボ操作は、サスペンションアセンブリ全体を移動させてスライダを所望のトラック上に配置するボイスコイルモータのようなアクチュエータによって提供される。読み出しおよび書き込み要素の位置の微調整は、微作動によって提供することができる。微作動は、スライダと連結した圧電アクチュエータのようなマイクロアクチュエータの使用を含むことができる。マイクロアクチュエータは、スライダを僅かに撓ませて、磁気媒体上のデータトラックに対する読み出しおよび書き込みヘッドの位置を移動させる。

さらに、２個又はそれ以上の磁気ディスクが提供されるＨＤＤ構成においてレーザーダイオードをスライダの背面に取り付ける方法では、ＨＤＤの取り付け時に、スライダに取り付けられたレーザーダイオードが互いに接触するピギーバック状態になる可能性がある。これは、レーザーダイオードの長さに制限を加える。レーザーダイオードのこの長さがレーザー強度と相互に関連しているので、このようなケースでは十分に満足すべき性能が得られないかもしれないという問題がある。マイクロアクチュエータは、エアベアリング面の反対側のスライダの裏側に配置されるのが通常である。

しかしながら、上記の熱アシスト加熱方式は、幾つかの課題を提示する。磁気記録方式では、幾つかのディスクおよびスライダが使用され、スライダは、サスペンションのアセンブリに連結され、各スライダは、磁気媒体の表面からの読み出しおよび磁気媒体の表面への書き込みを行う。或るスライダのレーザーダイオードが隣接するスライダのレーザーダイオードと接触しないようにするために、レーザーダイオードの寸法を制限しなければならない。これは同様に、レーザーダイオードが磁気媒体を加熱するために供給することができる出力の量を制限する。さらに、レーザーダイオードの取り付けとマイクロアクチュエータの取り付けは、互いに干渉し合い、同じデータ記録方式における微作動と熱アシスト記録の両方の使用を実現不能にする。

本発明は、エアベアリング面と、エアベアリング面と直交して配向された側部表面とを有するスライダ本体と、スライダ本体の側部表面に付けられたレーザーダイオードとを含む磁気データ記録用のスライダを提供する。

レーザーダイオードは、スライダ本体の側部表面又はスライダ本体の終端表面（trailing end surface）のいずれかと連結されることができる。レーザーダイオードからスライダ本体のエアベアリング面に光を送出する曲がり部を有するように構成することができるレーザーダイオードを設けることができる。

エアベアリング面と反対側の裏表面にではなくスライダ本体の側部表面にレーザーダイオードを配置することにより、幾つかの利点が得られる。例えば、側部表面にレーザーダイオードを配置すると、或るスライダのレーザーダイオードがサスペンションおよびスライダのスタックにおける隣接するスライダのレーザーダイオードに接触する可能性が取り除かれる。また、隣接するスライダのレーザーダイオード間で接触する可能性がないので、レーザーダイオードのためにより多くの空間が得られる。これは、レーザーダイオードをより大きくすることができ、効果的な熱アシスト記録のための十分な出力を提供することを意味する。

さらに、スライダの側部にレーザーダイオードを配置すると、エアベアリング面と反対側の裏表面を、圧電アクチュエータのようなマイクロアクチュエータを自由に取り付けできる状態にしておくことができる。以前は、サーボトラッキングの微調整のためのマイクロアクチュエータの使用と熱アシスト記録の使用とのいずれかを選択する必要があった。本発明は、（以前は互いに相容れなかった）これらの記録方式の両方の使用を可能にする。

本発明のこれらのおよび他の特徴と利点は、同じ参照符号が全体を通して同じ要素を表す図面に関連して、好ましい実施形態に関する以下の詳細な説明を読むと明らかになるであろう。

本発明の特質と利点並びに好ましい使用態様を十分に理解するために、一定縮尺ではない添付図面に関連して以下の詳細な説明を参照すべきである。

本発明が具体化されるディスクドライブ方式の概略図である。 スライダのＡＢＳの図であって、磁気ヘッドが配置されている状態を図示したものである。 本発明の一実施形態によるスライダの側面図である。 図３のスライダの終端表面の図であって、図３の線４−４から見たものである。 本発明の別の実施形態によるスライダの側面図である。 図５のスライダの終端表面の図であって、図５の線６−６から見たものである。 本発明の一実施形態によるスライダの一部の拡大図であって、スライダ上に形成された書き込み要素および読み出し要素を示したものである。

以下の説明は、本発明を実施するために現在考えられる最良の実施形態に関するものである。この説明は、本発明の一般的な原理を例示するために行われるものであり、本明細書で請求される新規な概念を限定することを意図するものではない。

次に図１を参照すると、本発明を具体化するディスクドライブ１００が示されている。図１に示されるように、少なくとも１個の回転可能な磁気ディスク１１２が、スピンドル１１４上で支持され、ディスクドライブモータ１１８によって回転される。各ディスク上の磁気記録は、磁気ディスク１１２上における環状パターンの同心データトラック（図示せず）の形態である。

少なくとも１個のスライダ１１３が、磁気ディスク１１２の付近に位置決めされ、各スライダ１１３は、１個又はそれ以上の磁気ヘッドアセンブリ１２１を支持している。磁気ディスクが回転すると、所望のデータが書き込まれる磁気ディスクの異なるトラックに磁気ヘッドアセンブリ１２１がアクセスできるように、スライダ１１３は、ディスク表面１２２上を半径方向内側および外側に移動する。各スライダ１１３は、サスペンション１１５を介してアクチュエータアーム１１９に付けられている。サスペンション１１５は、スライダ１１３をディスク表面１２２に向けて付勢する僅かなばね力を提供する。各アクチュエータアーム１１９は、操作手段１２７に付けられている。図１に示されるような操作手段１２７は、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）でもよい。ＶＣＭは、固定磁場内を移動できるコイルを備え、コイルの移動の方向と速度は、コントローラ１２９で供給されるモータ電流信号によって制御される。

ディスク記憶システムの作動の際、磁気ディスク１１２が回転すると、スライダ１１３とディスク表面１２２との間に、スライダに上向き力すなわち浮力を及ぼすエアベアリングが引き起こされる。かくして、エアベアリングは、サスペンション１１５の軽微なばね力と釣り合い、通常動作時に小さな実質的に一定の空隙によって、スライダ１１３をディスク表面から離れた僅かに上方に支持する。

ディスク記憶システムの種々の構成要素は、アクセス制御信号および内部クロック信号のような、制御ユニット１２９によって生成される制御信号によって動作が制御される。制御ユニット１２９は一般的に、論理制御回路と、記憶手段と、マイクロプロセッサとを備えている。制御ユニット１２９は、制御信号を生成して、ライン１２３上のドライブモータ制御信号およびライン１２８上のヘッド位置決めシーク制御信号のような種々のシステム動作を制御する。ライン１２８上の制御信号は、スライダ１１３を最適に移動させてディスク１１２上の所望のデータトラックに位置決めするため、所望の電流プロファイルを提供する。記録チャネル１２５を介して、書き込み信号は書き込みヘッド１２１に伝達され、読み出し信号は読み出しヘッド１２１から伝達される。

媒体に記録されたデータが微小なビット寸法で磁気的に安定になるのを確実にするために、データが書き込まれる磁気媒体の磁性保磁力を増加させる必要がある。しかしながら、このような高磁性保磁力を有する磁気媒体は、非常に高い磁気書き込みフィールドを必要としているが、これは、微小ビットのデータを書き込むように構成された磁気書き込みヘッドでは得ることができないかもしれない。これを克服する１つの方法は、熱アシスト記録の使用と対立する。熱アシスト記録方式では、データが書き込まれる領域は、一時的に局部的に加熱される。これは、磁性保磁力を一時的に減少させ、磁気データビットの記録を可能にする。次いで、媒体のこの領域は冷却されて保磁力を増加させ、安定的に記録されたデータビットが得られる。

図２は、従来技術の磁気記録方式の一部の拡大側面図を示し、このような方式によって提示される課題を図示している。当業者であれば分かるように、大部分のデータ記録方式は、磁気ディスクのスタックを有している。サスペンションアセンブリが、ディスク表面にデータを記録し読み出すためのスライダが各ディスクの各表面に隣接して設けられるように構成されている。図２は、一対の磁気媒体１１２（ａ）、１１２（ｂ）を示している。スライダ１１３（ａ）がディスク１１２（ａ）の表面に面し、スライダ１１３（ｂ）が隣接するディスク１１２（ｂ）の対向する表面に面している。スライダ１１３（ａ）、１１３（ｂ）の各々は、粘着層２１４によって屈曲部２１２に付けられている。屈曲部２１２は、ロードビーム１１５と連結されている。

スライダ１１３（ａ）、１１３（ｂ）の各々は、磁気ヘッド１２１を含み、磁気ヘッド１２１は、磁気読み出しセンサ（図示せず）と、磁気書き込み要素（同様に図示せず）とを含んでいる。磁気媒体１１２（ａ）、１１２（ｂ）を局部的に加熱するために、レーザーダイオード２０２が、スライダ１１３（ａ）、１１３（ｂ）の各々に設けられている。レーザーダイオード２０２は、粘着層２０６によってスライダ本体１１３に固定することができるサブマウント２０４に付けることができる。レーザーダイオード２０２から磁気ヘッドを通ってスライダ１１３のエアベアリング面（ＡＢＳ）の表面に至る導波管（waveguide）２０８が設けられている。このようにして、導波管２０８は、媒体１１２を局部的に加熱するために、磁気ヘッド１２１のＡＢＳの表面上の所望箇所に光パルスを差し向けることができる。

図２で分かるように、従来技術の方式では、レーザーダイオード２０２およびサブマウント２０４は、ＡＢＳと反対側のスライダ本体１１３の裏側２１０に取り付けられている。この配列は、少なくとも２つの課題をもたらす。第一に、図２で分かるように、２つのスライダ１１３（ａ）、１１３（ｂ）は、互いに反対側の対向方向に配列され、スライダ１１３（ａ）の裏側２１０が、スライダ１１３（ｂ）の裏側２１０に面している。図示されるように、レーザーダイオード２０２は、互いの方へ延びている。レーザーダイオードが互いに接触してレーザーダイオード２０２に損傷を与えないようにするために、レーザーダイオードの寸法を制限しなければならない。レーザーダイオードの寸法を制限すると、レーザーダイオード２０２が生成することができる出力が制限される。

ダイオード２０２の上記の配列によって提示される別の課題は、マイクロアクチュエータの使用と関係がある。データトラック上でのヘッドの正確な整列の維持は、非常に大きなデータ密度では微小なトラック幅においては困難となり得る。データトラック上でヘッドの位置を正確に維持する１つの方法は、圧電アクチュエータのようなマイクロアクチュエータを使用することである。このようなアクチュエータ（図２では図示せず）は、スライダ１１３および屈曲部２１２と連結され、屈曲部２１２を僅かに曲げるように動作してスライダ１１３を一方の側又は他方の側に僅かにそらせることができる。しかしながら、このような圧電アクチュエータを使用するために、これらをスライダと連結しなければならず、連結箇所は、図２に示されるダイオード２０２とサブマウント２０４の連結部と必然的に重複するであろう。これは、このような圧電アクチュエータが図２に示されるように配列されたダイオード２０２では使用することができず、微作動の使用又は熱アシスト記録の使用のいずれかの選択が必要となることを意味する。

本発明は、これらの課題を克服し、光電微作動とともに熱アシスト記録の使用を可能にし、隣接するスライダのダイオード間で接触し又は干渉する可能性なしにダイオードの寸法を増大させることもできる。図３は、本発明の一実施形態によるスライダ１１３の側面図であり、図４は、図３の線４−４から見た端面図である。図３に示されるように、本発明の一実施形態では、レーザーダイオード３０２が、スライダ１１３の側部表面３０４に取り付けられている。すなわち、レーザーダイオード３０２は、エアベアリング面（ＡＢＳ）と反対側の裏表面３０６には取り付けられていない。むしろ、レーザーダイオード３０２が取り付けられる側部表面３０４は、ＡＢＳ表面と裏表面３０６の両方と直交し、裏表面３０６とＡＢＳ表面との間に延びている。図３および図４に示されるように、側部表面３０４はまた、終端表面（trailing end surface）３０８および先端表面３１０と直交し、これらの間に延びている。

レーザーダイオード３０２は、サブマウント３１２に付けることによって、スライダ１１３の側部３０４に取り付けることができる。サブマウント３１２を、粘着層３１４によって同様にスライダ本体に取り付けることができる。図４を参照すると、レーザーダイオード３０２からの光を、光スポットの大きさを制御するため、スポットサイズ変換器３１６に通すことができ、そして光を、導波管３１８を側部３０４からスライダ１１３のＡＢＳ表面に通過させる９０度の曲がり部３２０を有する導波管３１８に通すことができる。導波管３１８のこの９０度の曲がり部により、レーザーダイオードが裏表面３０６にではなく側部３０４に取り付けられていたとしても、レーザーダイオード３０２は、ＡＢＳの所望箇所に光スポットを生成することができる。

レーザーダイオード３０２を裏表面３０６にではなくスライダの側部３０４に配置すると、上記の課題を克服するという利点が得られる。第一に、レーザーダイオード３０２が側部３０４に配置されると、或るスライダからのレーザーダイオードがサスペンションアセンブリの別の隣接するスライダのレーザーダイオードに接触する可能性がなくなる。したがって、レーザーダイオードの寸法は、図２を参照して上述した構造体の場合と同様に制限されない。レーザーダイオードは、任意の熱アシスト磁気記録方式の出力の要求および設計条件に適合するのに十分な程大きく構成することができる。

レーザーダイオード３０２を裏表面３０６にではなくスライダ１１３の側部３０４に取り付けることの別の利点は、マイクロアクチュエータを付けるための裏表面３０６の空間が制限されないことである。図３および図４に示されるように、スライダ１１３は、屈曲部３２０と連結することができる。一対の圧電アクチュエータ３２２（ａ）、３２２（ｂ）（図４では両方が図示されている）は、粘着層３２４などを使用することによって、屈曲部３２０と連結される。図示されるように、レーザーダイオードがスライダ１１３の側部３０４に配置されているので、裏表面３０６に、圧電アクチュエータ３２２（ａ）、３２２（ｂ）を連結するための十分な空間があり、微作動と熱アシスト記録の両方を同じ記録方式で使用することができる。図４では、終端表面３０８に形成された幾つかの導電パッド３２６を見ることができる。これらの導電パッドは、読み出しおよび書き込み要素（明瞭化のためここでは図示しないが、スライダ１１３の終端表面３０８に形成される磁気ヘッドに配置される）を有するアーム素子を電気的に接続するために使用することができる。

図５および図６は、本発明の別の予想される実施形態を図示している。図５は、スライダ１１３の側面図であり、図６は、スライダ１１３の終端５０２を示すスライダ１１３の端面図であって、図５の線６−６から見たものである。図５および図６に示される実施形態では、レーザーダイオード５０４が、側部にではなく、終端表面（trailing end surface）５０２に付けられている。レーザーダイオードは、１つ又はそれ以上の粘着層５０６によって終端表面５０２に付けることができる。レーザーダイオード５０４からの光（矢印５０８で表示）は、９０度又はほぼ９０度曲げるために、格子要素（grating element）５１０を通過させることができる。ＡＢＳに送出される光スポットの大きさを制御するため、スポットサイズ変換器５０９を設けてもよい。次いで、曲げられた光５０８は導波管５１２を通過し、エアベアリング面ＡＢＳの所望箇所の方へ差し向けられる。

上記の実施形態と同様に、レーザーダイオード５０４を終端表面５０２に配置すると、（ＡＢＳと反対側の）裏表面５１４は、圧電アクチュエータ５１６（ａ）、５１６（ｂ）のような一対のマイクロアクチュエータとの連結に対して完全に妨げられない状態になる。マイクロアクチュエータ５１６（ａ）、５１６（ｂ）は、屈曲部５１８を介して裏表面５１４と連結することができる。マイクロアクチュエータ５１６（ａ）、５１６（ｂ）は、粘着層５２０によって屈曲部５１８と連結することができる。また、図６に示されるように、終縁表面は、読み出しおよび書き込み要素との電気接続を行うための導体パッド３２６（図５には図示せず）を含むことができる。

図７は、スライダ１１３の終縁に形成された磁気ヘッドのＡＢＳ領域の拡大図を示している。磁気ヘッドは、読み出し要素７０４と、書き込み要素７０６とを含む。書き込み要素７０６は、書き込み磁極７０８と、１つ又はそれ以上の戻り磁極７１０と、図７では横断面で示される非磁性書き込みコイル７１２とを含むことができる。読み出し要素７０４は、第１および第２磁気シールド７１６間に挟まれた磁気抵抗センサ７１４を含むことができる。読み出しおよび書き込み要素７０４、７０６は、アルミナのような非磁性の電気絶縁充填材料７１８に埋め込むことができる。

引き続き図７を参照すると、導波管５１２は、エアベアリング面（ＡＢＳ）を通って延びる磁気ヘッド７０２を貫通する。導波管５１２は、磁気書き込み要素７０６に接近して配置するのが好ましい。導波管５１２は、図７では読み出し要素７０４と書き込み要素７０６との間に配置されるものとして示されているが、これは、本発明の予想される一実施形態にすぎず、例示のために示したものである。導波管５１２は、書き込み極７０８に出来るだけ接近して配置されるように、書き込み要素７０６を通って延びてもよい。

種々の実施形態について説明してきたが、これらは限定的なものではなく単なる例示として提示されたものであることを理解すべきである。本発明の範囲内に入る他の実施形態も、当業者には明らかになるかもしれない。したがって、本発明の広さおよび範囲は、上記の典型的な実施形態のいずれによっても限定されるべきではなく、以下の特許請求の範囲およびそれらの等価物によってのみ画定すべきである。

１００ ディスクドライブ
１１２ 磁気ディスク
１１３ スライダ
１１４ スピンドル
１１５ サスペンション
１１８ ディスクドライブモータ
１１９ アクチュエータアーム
１２１ 磁気ヘッドアセンブリ
１２２ ディスク表面
１２３ ライン
１２５ 記録チャネル
１２７ 操作手段
１２８ ライン
１２９ 制御ユニット
２０２ レーザーダイオード
２０４ サブマウント
２０６ 粘着層
２０８ 導波管
２１０ 裏側
２１２ 屈曲部
２１４ 粘着層
３０２ レーザーダイオード
３０４ 側部表面
３０６ 裏表面
３０８ 終端表面
３１０ 先端表面
３１２ サブマウント
３１４ 粘着層
３１６ スポットサイズ変換器
３１８ 導波管
３２０ 屈曲部
３２２ 圧電アクチュエータ
３２４ 粘着層
３２６ 導電パッド
５０２ 終端表面
５０４ レーザーダイオード
５０６ 粘着層
５０８ 光
５０９ スポットサイズ変換器
５１０ 格子要素
５１２ 導波管
５１４ 裏表面
５１６ マイクロアクチュエータ
５１８ 屈曲部
５２０ 粘着層
７０２ 磁気ヘッド
７０４ 書き込み（読み出し）要素
７０６ 磁気書き込み要素
７０８ 書き込み磁極
７１０ 戻り磁極
７１２ 非磁性書き込みコイル
７１４ 磁気抵抗センサ
７１６ 第２磁気シールド
７１８ 電気絶縁充填材料
ＡＢＳ エアベアリング面

Claims (22)

1. 磁気データ記録用のスライダであって、
   エアベアリング面と、前記エアベアリング面と直交して配向された側部表面とを有するスライダ本体と、
   前記スライダ本体の前記側部表面に取り付けられたレーザーダイオードと、
   を備えるスライダ。
2. 前記レーザーダイオードが、前記側部表面から前記エアベアリング面と実質的に平行な方向に延びている、請求項１に記載のスライダ。
3. 前記スライダ本体が、前記エアベアリング面と前記側部表面の両方と直交して配向された終端表面を有する、請求項１に記載のスライダ。
4. 磁気読み出し要素、磁気書き込み要素および導波管を含む磁気ヘッド構造体をさらに備え、前記導波管に曲がり部が形成され、前記導波管が、前記レーザーダイオードから前記エアベアリング面に光を送出するように構成されている、請求項１に記載のスライダ。
5. 前記レーザーダイオードと連結され、前記レーザーダイオードを前記スライダ本体の前記側部表面に取り付けるためのサブマウント構造体をさらに備える請求項１に記載のスライダ。
6. 前記レーザーダイオードと連結されたスポットサイズ変換器をさらに備える請求項１に記載のスライダ。
7. 前記スライダ本体が、前記エアベアリング面と反対側に配置された裏表面を有し、前記スライダが、前記スライダ本体の前記裏表面と連結された一対のマイクロアクチュエータをさらに備える、請求項１に記載のスライダ。
8. 前記スライダ本体が、前記エアベアリング面と反対側に配置された裏表面を有し、前記スライダが、前記スライダ本体の前記裏表面と連結された屈曲部と、前記屈曲部と連結された一対のマイクロアクチュエータとをさらに備える、請求項１に記載のスライダ。
9. 前記マイクロアクチュエータが圧電アクチュエータである、請求項７に記載のスライダ。
10. 前記マイクロアクチュエータが圧電アクチュエータである、請求項８に記載のスライダ。
11. 磁気データ記録用のスライダであって、
    エアベアリング面と、読み出し要素および書き込み要素が配置され、前記エアベアリング面と直交して配向された終端表面をもつ終端とを有するスライダ本体と、
    前記スライダ本体の前記終端表面に付けられたレーザーダイオードと、
    を備えるスライダ。
12. 前記スライダ本体の前記終端に形成され、前記レーザーダイオードから放出される光の方向を変えるように構成された格子要素をさらに備える請求項１１に記載のスライダ。
13. 前記格子要素から前記スライダ本体の前記エアベアリング面に光を送出するように構成された導波管をさらに備える請求項１２に記載のスライダ。
14. 前記スライダ本体が、前記エアベアリング面と反対側に配置された裏表面を有し、前記スライダが、前記スライダ本体の前記裏表面と連結された一対のマイクロアクチュエータをさらに備える請求項１１に記載のスライダ。
15. 前記スライダ本体が、前記エアベアリング面と反対側に配置された裏表面を有し、前記スライダが、前記スライダ本体の前記裏表面と連結された屈曲部と、前記屈曲部と連結された一対のマイクロアクチュエータとをさらに備える、請求項１１に記載のスライダ。
16. 前記マイクロアクチュエータが圧電アクチュエータである、請求項１４に記載のスライダ。
17. 前記マイクロアクチュエータが圧電アクチュエータである、請求項１５に記載のスライダ。
18. ハウジングと、
    前記ハウジング内に設けられた磁気媒体と、
    アクチュエータと、
    前記アクチュエータと連結され、前記磁気媒体の表面に隣接して移動させるためのスライダとを備え、
    前記スライダが、前記磁気媒体の前記表面に面するように構成されたエアベアリング面、および前記エアベアリング面と直交して配向された表面を有しており、前記スライダが、前記エアベアリング面と直交して配向された前記表面と連結されたレーザーダイオードを備える、磁気データ記録方式。
19. 前記エアベアリング面と直交する前記表面が、終端表面と直交して配向された側部表面である、請求項１８に記載の磁気データ記録方式。
20. 前記エアベアリング面と直交して配向された前記表面が、終端表面である、請求項１８に記載の磁気データ記録方式。
21. 前記エアベアリング面と反対側の平行な前記スライダの裏側の側部表面と連結された一対のマイクロアクチュエータをさらに備える請求項１８に記載の磁気データ記録方式。
22. 前記エアベアリング面と反対側の平行な前記スライダの裏側の側部表面と連結された屈曲部と連結された一対のマイクロアクチュエータをさらに備える請求項１８に記載の磁気データ記録方式。

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