JP2014062004A - Graphite heater - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は黒鉛ヒーターの発熱部構造に関する。 The present invention relates to a heating part structure of a graphite heater.
黒鉛材は、タングステン材と共に３０００℃超える耐熱性導電材料として知られている。タングステン材は、原子番号１８３．８４の重く硬い金属材料であるのに対し、黒鉛材は、原子番号１２の軽く軟らかい材料である。
タングステン材は、重い金属であるために、地殻付近での存在比率が低く、（クラーク数は２６番目）産地の偏ったレアメタルである。これに対し、炭素は石油、石炭として地中に大量に存在する利用し易い資源である。（クラーク数は１４番目）このため、黒鉛材料は、大きな発熱量を必要とする工業炉等のサイズの大きな加熱源として広く用いられている。
The graphite material is known as a heat-resistant conductive material having a temperature exceeding 3000 ° C. together with the tungsten material. Tungsten material is a heavy and hard metal material having an atomic number of 183.84, whereas graphite material is a light and soft material having an atomic number of 12.
Since the tungsten material is a heavy metal, the abundance ratio in the vicinity of the crust is low, and it is a rare metal with a biased origin (Clark number is 26th). In contrast, carbon is an easy-to-use resource that exists in large quantities in the ground as petroleum and coal. For this reason, the graphite material is widely used as a heat source having a large size such as an industrial furnace that requires a large calorific value.
このような、黒鉛材の特徴を利用した黒鉛ヒーターの用途の１つとして、シリコン単結晶引き上げ装置がある。シリコン単結晶引き上げ装置は、不活性雰囲気下（Ａｒ）で多結晶シリコンから単結晶シリコンを成長させる装置である。シリコンは、融点が１４１０℃であるので、大量の多結晶シリコンを溶融させるために装置内に黒鉛ヒーターを備えている。
シリコン単結晶引き上げ装置は、シリコンウエハの大型化に伴って大型化し、発熱源である黒鉛ヒーターもそれに伴って大型化し重量が増加するようになっている。
特許文献１では、黒鉛製のヒーターが、ルツボの加熱中にヒーター自身の重量により変形し、通電が短絡状態を防止するための方法が記載されている。
具体的には、シリコン単結晶引き上げ装置の炉床板上に設けられ、ヒーターに給電する電極によるヒーター支持部位とは別の部位で、ヒーターを支持するヒーター支持具を備え、前記ヒーター支持具が、ヒーター側に配置された耐熱性部材と、炉床板側に配置された電気的絶縁性部材で構成されていることを特徴とするＣＺ結晶製造装置が記載されている。
One of the uses of such a graphite heater utilizing the characteristics of the graphite material is a silicon single crystal pulling apparatus. The silicon single crystal pulling apparatus is an apparatus for growing single crystal silicon from polycrystalline silicon under an inert atmosphere (Ar). Since silicon has a melting point of 1410 ° C., a graphite heater is provided in the apparatus in order to melt a large amount of polycrystalline silicon.
The silicon single crystal pulling apparatus is increased in size as the silicon wafer is increased in size, and the graphite heater, which is a heat generation source, is increased in size in accordance with the increase in the weight.
Patent Document 1 describes a method in which a graphite heater is deformed by the weight of the heater itself during heating of the crucible, and energization prevents a short-circuit state.
Specifically, provided on the hearth plate of the silicon single crystal pulling apparatus, and provided with a heater support that supports the heater in a part different from the heater support part by the electrode that feeds the heater, the heater support, There is described a CZ crystal manufacturing apparatus comprising a heat-resistant member arranged on the heater side and an electrically insulating member arranged on the hearth plate side.
しかしながら、前述した従来技術は、単に黒鉛ヒーターの支持部分を増やすのみである。このような方法には次の問題がある。
・大型化した黒鉛ヒーターの支持部分を増やすことによって、支持具を介して熱が拡散しやすくなり、エネルギー効率が悪くなること。
・支持具を介して黒鉛ヒーターを支持することにより、支持具部分から熱が奪われ、発熱ムラができること。
・ヒーターの下部を支持するので、重力に対抗することができるが、横方向にかかる力には対抗できない。とくに、シリコン単結晶引き上げ装置において融液対流の制御を目的として、シリコン融液に磁場を印加するＭＣＺ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ ｆｉｅｌｄ ａｐｐｌｉｅｄ ＣＺ）法においては、大電流が流れる黒鉛ヒーターに電流の方向と、磁界の方向に直交するローレンツ力が黒鉛ヒーターに加わるため、単に支持具で支えるのみでは黒鉛ヒーターの変形を抑えることはできないこと。
このような理由から、本発明では、黒鉛ヒーターを他の部材で支持または補強するのではなく、さらに黒鉛ヒーター自体の強度を高め、変形を抑止することができる構造を提供することを目的とする。
However, the above-described prior art simply increases the supporting portion of the graphite heater. Such a method has the following problems.
-Increasing the supporting part of the large graphite heater makes it easier for heat to diffuse through the support, resulting in poor energy efficiency.
-By supporting the graphite heater through the support, heat is taken away from the support, and heat generation is uneven.
・ Because it supports the lower part of the heater, it can resist gravity, but it cannot resist lateral force. In particular, in the MCZ (Magnetic Field Applied CZ) method in which a magnetic field is applied to a silicon melt for the purpose of controlling melt convection in a silicon single crystal pulling apparatus, the direction of the current and the magnetic field applied to the graphite heater through which a large current flows. Since Lorentz force perpendicular to the direction is applied to the graphite heater, deformation of the graphite heater cannot be suppressed simply by supporting it with a support.
For these reasons, an object of the present invention is to provide a structure that can increase the strength of the graphite heater itself and suppress deformation without supporting or reinforcing the graphite heater with other members. .
前記課題を解決するための本発明の黒鉛ヒーターは
（１）互いに隣接するように備えられた複数の棒状の抵抗発熱部と、
前記抵抗発熱部と一体的に構成され、前記抵抗発熱部が直列接続となるように交互に接続する複数の接続部と、
からなる黒鉛ヒーターであって、
前記抵抗発熱部の表面には、長手方向に沿って溝が形成されている
ことを特徴とする。
更に本発明の黒鉛ヒーターの望ましい態様は
（２）前記記載の黒鉛ヒーターは、前記抵抗発熱部及び給電部が回転対称となるように配設されることにより、環状に構成される。
（３）前記記載の黒鉛ヒーターは、前記抵抗発熱部が互いに平行に配設されることにより、筒状に構成される。
（４）前記記載の溝は、抵抗発熱部の外周面側に形成されている。
（５）前記記載の環状の黒鉛ヒーターは、シリコン単結晶引き上げ装置用である。
（６）前記記載の黒鉛ヒーターは、熱膨張係数が３．５×１０−６／Ｋから５．０×１０−６／Ｋの黒鉛からなる。
The graphite heater of the present invention for solving the above problems is (1) a plurality of rod-shaped resistance heating portions provided so as to be adjacent to each other;
A plurality of connecting portions configured integrally with the resistance heating portion, and alternately connected so that the resistance heating portions are connected in series;
A graphite heater comprising:
A groove is formed along the longitudinal direction on the surface of the resistance heating portion.
Further, a desirable aspect of the graphite heater of the present invention is (2) the graphite heater described above is configured in an annular shape by arranging the resistance heating portion and the power feeding portion so as to be rotationally symmetric.
(3) The graphite heater described above is configured in a cylindrical shape by arranging the resistance heating portions in parallel with each other.
(4) The groove described above is formed on the outer peripheral surface side of the resistance heating portion.
(5) The annular graphite heater described above is for a silicon single crystal pulling apparatus.
(6) The graphite heater described above is made of graphite having a thermal expansion coefficient of 3.5 × 10 −6 / K to 5.0 × 10 −6 / K.
本発明によれば、抵抗発熱部に溝を有するので、その分の断面積を小さくすることができ、抵抗発熱部の抵抗が高くなる。このため、黒鉛ヒーター全体の抵抗値を維持するように抵抗発熱部を太く、抵抗発熱部の数を少なくすることができるので、黒鉛ヒーターを高強度化し、変形を防止することができる。さらには、黒鉛ヒーターの抵抗発熱部の長手方向に沿って溝を有しているので、表面付加密度を小さくすることができ、抵抗発熱部から効率良く熱エネルギーを放射することができる。 According to the present invention, since the resistance heating portion has the groove, the cross-sectional area can be reduced, and the resistance of the resistance heating portion is increased. For this reason, since the resistance heating part can be made thick and the number of resistance heating parts can be reduced so as to maintain the resistance value of the entire graphite heater, the strength of the graphite heater can be increased and deformation can be prevented. Furthermore, since the groove is provided along the longitudinal direction of the resistance heating portion of the graphite heater, the surface additional density can be reduced, and heat energy can be efficiently radiated from the resistance heating portion.
本発明の黒鉛ヒーターは、
長手方向に沿って溝を有し、互いに隣接するように備えられた複数の抵抗発熱部と、
前記抵抗発熱部と一体的に構成され、前記抵抗発熱部が直列接続となるように交互に接続する複数の接続部と、からなる。
黒鉛は、どのようなものを利用しても良く、特に限定されないが、等方性黒鉛材を用いることが好ましい。等方性黒鉛材は、素材から黒鉛ヒーターを削り出す際に、取り方向による物性差の影響を受けにくいので、得られる黒鉛ヒーターの全抵抗値の誤差を小さくすることができる。等方性黒鉛材としては、特に限定されないが、例えば、イビデン（株）製ＥＴ−１０、Ｔ−５などの等方性黒鉛材を利用することができる。
The graphite heater of the present invention is
A plurality of resistance heating parts having grooves along the longitudinal direction and provided adjacent to each other;
And a plurality of connecting portions that are integrally formed with the resistance heating portion and are alternately connected so that the resistance heating portions are connected in series.
Any graphite may be used, and is not particularly limited, but isotropic graphite is preferably used. Since the isotropic graphite material is less susceptible to the difference in physical properties depending on the direction of removal when the graphite heater is scraped from the material, the error of the total resistance value of the obtained graphite heater can be reduced. Although it does not specifically limit as an isotropic graphite material, For example, isotropic graphite materials, such as IBIDEN Co., Ltd. ET-10 and T-5, can be utilized.
黒鉛材料は、固有抵抗が８〜２０μΩｍのセラミックからなる導体材料である。黒鉛材料は、靱性を有していないので、黒鉛ヒーターとして使用する場合には、フィラメントなどの形態ではなく構造体を形成し、更に交互にスリットを入れることによって全体の抵抗が高くなるよう調整し使用される。
スリットを入れることによって、黒鉛ヒーターには、互いに隣接するように備えられた複数の棒状の抵抗発熱部と、前記抵抗発熱部と一体的に構成され、前記抵抗発熱部を直列接続となるように交互に接続する複数の接続部が形成される。このように構成された黒鉛ヒーターは、隣接する抵抗発熱部は、電流の向きが互いに逆方向になり、全体として電流は交互に向きを変えながら流れ、黒鉛ヒーターを発熱させる。
The graphite material is a conductor material made of ceramic having a specific resistance of 8 to 20 μΩm. Since graphite material does not have toughness, when it is used as a graphite heater, it is adjusted so that the overall resistance is increased by forming a structure instead of a filament or the like, and further slitting alternately. used.
By inserting a slit, the graphite heater is configured integrally with a plurality of rod-like resistance heating portions provided adjacent to each other and the resistance heating portion, and the resistance heating portions are connected in series. A plurality of connecting portions that are alternately connected are formed. In the graphite heater configured as described above, the directions of the currents in the resistance heating portions adjacent to each other are opposite to each other, and the current flows while alternately changing the direction as a whole, and the graphite heater generates heat.
本発明の接続部は、抵抗発熱部と一体的に構成されている。一体的に構成されるとは、隣接する２つの抵抗発熱部を互いに強固に接続されていることを示す。接続部が抵抗発熱部を強固に接続しているので、黒鉛ヒーターは全体として構造体を形成することができ、その全体形状を保持することができる。これに対し、棒状の抵抗発熱部と、金属線を紐状に編んだ金属接続体により構成されるヒーター集合体では、個々の抵抗発熱部を支持しなければ、ヒーターの全体形状をすることが出来ないので、一体的に構成されているとはいえない。
一体的に構成される接続部は、とくにその接続方法は限定されない。黒鉛の同一ブロックから削りだして黒鉛ヒーターを形成する場合、接続部と抵抗発熱部とは、連続した同一の素材により形成される。同一のブロックから形成する場合の他にも、黒鉛ヒーターは全体として構造体を構成することができれば、接着手段または締結手段により抵抗発熱部を相互に接続し接続部を形成しても良い。
The connecting portion of the present invention is configured integrally with the resistance heating portion. The term “integrally configured” means that two adjacent resistance heating portions are firmly connected to each other. Since the connection part firmly connects the resistance heating part, the graphite heater can form a structure as a whole and can maintain the whole shape. On the other hand, in a heater assembly composed of a rod-shaped resistance heating part and a metal connection body in which metal wires are knitted in a string shape, if the individual resistance heating parts are not supported, the overall shape of the heater can be made. Since it can not be done, it can not be said that it is configured integrally.
The connection method of the integrally configured connecting portion is not particularly limited. When the graphite heater is formed by cutting from the same block of graphite, the connecting portion and the resistance heating portion are formed of the same continuous material. In addition to the case where they are formed from the same block, if the graphite heater can constitute a structure as a whole, the resistance heating portions may be connected to each other by bonding means or fastening means to form a connection portion.
接続部とは、抵抗発熱部に流れる電流の向き変える部分を示す。接続部が抵抗発熱部と同一の材料で連続的に構成される場合、接続部と抵抗発熱部との間には、明確な境界を持たないが、接続部は抵抗発熱部に流れる電流の向き変える部分を少なくとも含んでいればよく、黒鉛ヒーターの形状により適宜判断される。
接続部に接着層を含んでなる場合には、抵抗発熱部は、接着層を介して電気的に接続される。
接続部には締結手段を含んでなる場合には、接触部を有し、ボルトなどの締結手段により、圧力が加えられ、隣接する抵抗発熱部を電気的に接続する。
A connection part shows the part which changes the direction of the electric current which flows into a resistance heating part. When the connection part is continuously composed of the same material as the resistance heating part, there is no clear boundary between the connection part and the resistance heating part, but the connection part has a direction of current flowing through the resistance heating part. It suffices to include at least a portion to be changed, and is appropriately determined depending on the shape of the graphite heater.
When the connection part includes an adhesive layer, the resistance heating part is electrically connected via the adhesive layer.
When the connecting portion includes a fastening means, the connecting portion has a contact portion, and pressure is applied by a fastening means such as a bolt to electrically connect the adjacent resistance heating portions.
接着層は、炭素系接着層からなることが望ましい。炭素系接着層は、炭素からなるので電流を流すことができ、別途抵抗発熱部との導通を形成する必要がない。炭素系接着層は、炭素系接着剤を硬化、焼成することによって得ることができる。炭素系接着剤は、炭素系接着剤を硬化、焼成することにより炭素化するものであれば良く、例えばフェノール樹脂、フラン樹脂、ポリビニルアルコール、コプナ樹脂などが挙げられる。
本発明の抵抗発熱部には、長手方向に沿って、溝が形成されていることを特徴とする。抵抗発熱部は、両端が接続部によって直列接続で接続されているので、長手方向に沿って電流が流される。本発明の抵抗発熱部には、長手方向に沿って溝が形成されているので、抵抗発熱部の断面積を小さくし、抵抗発熱部の抵抗を大きくすることができる。
The adhesive layer is preferably made of a carbon-based adhesive layer. Since the carbon-based adhesive layer is made of carbon, an electric current can flow, and there is no need to separately form a conduction with the resistance heating portion. The carbon-based adhesive layer can be obtained by curing and baking a carbon-based adhesive. Any carbon-based adhesive may be used as long as it is carbonized by curing and baking the carbon-based adhesive. Examples thereof include phenol resin, furan resin, polyvinyl alcohol, and copna resin.
The resistance heating part of the present invention is characterized in that a groove is formed along the longitudinal direction. Since both ends of the resistance heating part are connected in series by the connection part, a current flows along the longitudinal direction. Since the resistance heating part of the present invention is formed with a groove along the longitudinal direction, the sectional area of the resistance heating part can be reduced and the resistance of the resistance heating part can be increased.
黒鉛ヒーター全体の抵抗値を設計するためには、抵抗発熱部の１単位と、抵抗発熱部の数を考慮する。１つの抵抗発熱部の抵抗値が高くなると、黒鉛ヒーター全体の抵抗が高くなるので、抵抗発熱部の数を減らすことができる。このため、本発明の抵抗発熱部の長手方向に沿って溝を有する黒鉛ヒーターは、溝のない黒鉛ヒーターに対し、抵抗発熱部の数を少なくすることができる。このため、本発明の黒鉛ヒーターの個々の抵抗発熱部は、太く構成することができるのでたわみにくく変形のしにくい黒鉛ヒーターを提供することができる。 In order to design the resistance value of the entire graphite heater, one unit of the resistance heating part and the number of resistance heating parts are considered. When the resistance value of one resistance heating part is increased, the resistance of the entire graphite heater is increased, so that the number of resistance heating parts can be reduced. For this reason, the graphite heater which has a groove | channel along the longitudinal direction of the resistance heating part of this invention can reduce the number of resistance heating parts with respect to the graphite heater without a groove | channel. For this reason, since each resistance heating part of the graphite heater of this invention can be comprised thickly, it can provide the graphite heater which is hard to bend and to be hard to deform | transform.
本発明の黒鉛ヒーターは、抵抗発熱部及び給電部が回転対称となるように配設された環状の黒鉛ヒーターであることが好ましい。抵抗発熱部及び給電部が回転対称となるように配設することによって、使用時に歪みの発生が偏ることなく対称に変形させることができる。黒鉛ヒーターが偏ることなくの変形するので、他の部材との短絡を防止することができる。抵抗発熱部及び給電部が回転対称に配設された環状に構成された黒鉛ヒーターは、給電部より左右に電流が分割され他の給電部に向かって電流が流れるように使用される。給電部が２つの場合、２つの給電部をつなぐ２系統の並列の抵抗回路が構成される。給電部が３つの場合、３つの給電部をつなぐ３系統の抵抗回路がデルタ接続となる抵抗回路が構成され、三相交流電源で好適に利用することができる。給電部の数は、４個以上であっても黒鉛ヒーターを構成することができる。
なお、回転対称とは、一つの図形を一定軸のまわりに一定の角度だけ回転移動しても変わらない性質を指す。この一定軸を対称軸といい、回転の際の一定角度が１８０度・１２０度・９０度等の場合をそれぞれ２回軸・３回軸・４回軸などと呼ぶ。
The graphite heater of the present invention is preferably an annular graphite heater arranged so that the resistance heating portion and the power feeding portion are rotationally symmetric. By disposing the resistance heating section and the power feeding section so as to be rotationally symmetric, distortion can be deformed symmetrically without bias during use. Since the graphite heater is deformed without being biased, a short circuit with other members can be prevented. A graphite heater configured in an annular shape in which a resistance heating section and a power feeding section are arranged in a rotationally symmetrical manner is used so that a current is divided to the left and right from the power feeding section and a current flows toward another power feeding section. When there are two power supply units, two parallel resistance circuits connecting the two power supply units are configured. When there are three power supply units, a resistor circuit in which three resistor circuits connecting the three power supply units are delta connected is configured, and can be suitably used in a three-phase AC power supply. Even if the number of power supply units is four or more, a graphite heater can be configured.
Note that rotational symmetry refers to a property that does not change even if a figure is rotated about a certain axis by a certain angle. This constant axis is referred to as a symmetry axis, and the cases where the constant angle during rotation is 180 degrees, 120 degrees, 90 degrees, etc. are referred to as 2-fold axes, 3-fold axes, 4-fold axes, respectively.
本発明の黒鉛ヒーターは、抵抗発熱部が互いに平行に配設された筒状の黒鉛ヒーターであることが好ましい。抵抗発熱部に溝が形成されると、表裏で表面の形状が異なる。表裏で表面の形状が異なると、表裏で輻射効率の相違（形状係数が異なる）、内部応力のかかり方の相違から、表裏で非対称な力が加わりやすくなる。筒状の黒鉛ヒーターは、溝のある側が、同じ方向を向かず、少しずつ向きが変わり、互いに非対称な力を打ち消し合うことができるので、変形を少なくすることができる。
具体的には、平面ヒーターの片面に溝が形成されている場合、表裏の温度差、表裏の応力差から、表裏で応力分布のアンバランスが生じ、凸状など、非対称な変形が生じやすいのに対し、筒状の黒鉛ヒーターの場合、中心軸（対称軸）に対し等しく各部位が変形する性質を有しているので、局所的に変形が生じることなく、他の部材と接触し短絡しにくくすることができる。
The graphite heater of the present invention is preferably a cylindrical graphite heater in which resistance heating portions are arranged in parallel to each other. When a groove is formed in the resistance heating part, the shape of the surface is different between the front and back. If the front and back surfaces have different shapes, asymmetrical forces are likely to be applied to the front and back surfaces due to differences in radiation efficiency (different shape factors) between the front and back surfaces and differences in how internal stress is applied. Since the cylindrical graphite heater does not face the same direction on the grooved side, the direction is changed little by little, and asymmetrical forces can be canceled out, so that deformation can be reduced.
Specifically, if a groove is formed on one side of a flat heater, the temperature difference between the front and back surfaces and the stress difference between the front and back surfaces can cause an imbalance in the stress distribution between the front and back surfaces, and asymmetric deformation such as a convex shape is likely to occur. On the other hand, in the case of a cylindrical graphite heater, each part has the property of being deformed equally with respect to the central axis (symmetry axis). Can be difficult.
本発明の筒状の黒鉛ヒーターの溝は、筒状の黒鉛ヒーターを構成する抵抗発熱部の外側面に形成されていることが望ましい。筒状の黒鉛ヒーターは、ホットゾーン側の内側面の方が高温に曝される。黒鉛は、高温で使用すると、雰囲気中の反応性ガス、黒鉛の昇華によって、少しずつ減肉していく。溝の形成された側は凹凸があり、表面積が大きいので、溝を外側面に形成し、内側面には、溝を形成しないようにすることによって黒鉛ヒーターの消耗を抑え、長期間使用できるようにすることができる。 It is desirable that the groove of the cylindrical graphite heater of the present invention is formed on the outer surface of the resistance heating portion constituting the cylindrical graphite heater. In the cylindrical graphite heater, the inner surface on the hot zone side is exposed to a higher temperature. When graphite is used at a high temperature, the thickness of the graphite gradually decreases due to the reactive gas in the atmosphere and the sublimation of graphite. Since the grooved side has irregularities and a large surface area, the groove is formed on the outer surface, and the groove is not formed on the inner surface, so that consumption of the graphite heater can be suppressed and used for a long time. Can be.
本発明の環状の黒鉛ヒーターは、シリコン単結晶引き上げ装置用であることが好ましい。シリコン単結晶引き上げ装置内では、石英ガラスと、シリコンが反応し、装置内で反応性の高いＳｉＯガスが生成される。ＳｉＯガスは、黒鉛と反応しＳｉＣを形成する。式（１）
ＳｉＯ＋２Ｃ→ＳｉＣ＋ＣＯ↑ 式（１）
本発明の黒鉛ヒーターをシリコン単結晶引き上げ装置で使用すると、式（１）の反応が黒鉛ヒーターの表面で起こり、抵抗発熱部の表面に炭化珪素の層が形成される。抵抗発熱部の表面に溝が形成されていると、高強度の炭化珪素の層が立体的に形成できるので、抵抗発熱部は、硬く高強度の層で覆われたシェル構造をとる。また、形成される炭化珪素の層は溝に沿って様々な方向を向いているので、珪化による反応膨張、炭化珪素の層との熱膨張差によって反りが発生しても、互いに相殺され全体の反りを小さく抑えることができる。このため、黒鉛ヒーターの反り、変形を小さくすることができる。
The annular graphite heater of the present invention is preferably for a silicon single crystal pulling apparatus. In the silicon single crystal pulling apparatus, quartz glass and silicon react to generate highly reactive SiO gas in the apparatus. SiO gas reacts with graphite to form SiC. Formula (1)
SiO + 2C → SiC + CO ↑ Formula (1)
When the graphite heater of the present invention is used in a silicon single crystal pulling apparatus, the reaction of formula (1) occurs on the surface of the graphite heater, and a silicon carbide layer is formed on the surface of the resistance heating portion. If a groove is formed on the surface of the resistance heating portion, a high-strength silicon carbide layer can be three-dimensionally formed. Therefore, the resistance heating portion has a shell structure covered with a hard and high-strength layer. In addition, since the silicon carbide layer to be formed faces in various directions along the groove, even if warpage occurs due to a reaction expansion due to silicidation and a difference in thermal expansion from the silicon carbide layer, the silicon carbide layer cancels each other out. Warpage can be kept small. For this reason, the curvature and deformation | transformation of a graphite heater can be made small.
本発明の黒鉛ヒーターは、熱膨張係数が３．５〜５．０×１０−６／Ｋの黒鉛からなることが好ましい。黒鉛が転化して形成された炭化珪素の層の熱膨張係数は、４．０×１０−６／Ｋであるので、発生する熱応力及び熱歪みを小さくすることができる。 The graphite heater of the present invention is preferably made of graphite having a thermal expansion coefficient of 3.5 to 5.0 × 10 −6 / K. Since the thermal expansion coefficient of the silicon carbide layer formed by converting graphite is 4.0 × 10 −6 / K, the generated thermal stress and thermal strain can be reduced.
以下に抵抗発熱部１、本発明に係る実施例について、さらに具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。
図１は実施例１の黒鉛ヒーターの斜視図、図２は実施例２の黒鉛ヒーターの平面図、図３は実施例３の黒鉛ヒーターを示し、（ａ）は、平面図、（ｂ）は正面図を示す。図４は、比較例１の黒鉛ヒーターの斜視図を示す。
実施例１は、２つの給電部４を、１つの直列回路でつなぐ平面状の黒鉛ヒーターを示す。抵抗発熱部１には、長手方向に沿って溝３が形成されている。
実施例２は、２つの給電部４を、２つの直列回路でつなぐ平面かつ環状の黒鉛ヒーターを示す。２つの直列回路は、並列回路を形成している。抵抗発熱部には、長手方向に沿って溝３が形成されている。
実施例３は、２つの給電部４を、２つの直列回路でつなぐ筒状の黒鉛ヒーターを示す。２つの直列回路は、並列回路を形成している。抵抗発熱部１には、長手方向に沿って溝３が形成されている。
比較例１は、２つの給電部４を、１つの直列回路でつなぐ平面状の黒鉛ヒーターを示す。抵抗発熱部１には、溝が形成されておらず、実施例１に対し溝がないことが異なっている。
Although the resistance heating part 1 and the Example which concerns on this invention are demonstrated further more concretely below, this invention is not limited by these examples.
1 is a perspective view of the graphite heater of Example 1, FIG. 2 is a plan view of the graphite heater of Example 2, FIG. 3 shows the graphite heater of Example 3, (a) is a plan view, and (b) is a plan view. A front view is shown. FIG. 4 is a perspective view of the graphite heater of Comparative Example 1.
Example 1 shows a planar graphite heater in which two
Example 2 shows a planar and annular graphite heater in which two
Example 3 shows a cylindrical graphite heater in which two
Comparative Example 1 shows a planar graphite heater in which two
＜実施例１＞
実施例１は、２つの給電部４を、５つの抵抗発熱部１と、４つの接続部２でつないでいる平面状の黒鉛ヒーターである。５つの抵抗発熱部１は、互いに平行になるように配置され、接続部２で、電流の向きが反転するように折り返される。
本実施例の黒鉛ヒーターの厚さ（Ｔ）は１０ｍｍ、抵抗発熱部１の長さ（Ｌ）は２００ｍｍ、抵抗発熱部１の幅（Ｗ）は、３０ｍｍである。抵抗発熱部１には、長手方向に沿って更に接続部２まで延びる溝３が、片側主面に形成されている。溝３は、抵抗発熱部１の幅方向の中央に形成されている。溝３は、深さ７．５ｍｍ、幅２０ｍｍ、長さ１６０ｍｍである。
本実施例の黒鉛ヒーターは、イビデン（株）製等方性黒鉛材、ＥＴ−１０を切削加工することによって得ることができる。等方性黒鉛材を切削加工して得られるので、電流の流れる経路では、固有抵抗値はほぼ一定値であり、局所的に発熱しやすい箇所は存在しない。
<Example 1>
The first embodiment is a planar graphite heater in which two
The thickness (T) of the graphite heater of this example is 10 mm, the length (L) of the resistance heating portion 1 is 200 mm, and the width (W) of the resistance heating portion 1 is 30 mm. In the resistance heating part 1, a
The graphite heater of this example can be obtained by cutting an isotropic graphite material, ET-10, manufactured by Ibiden Co., Ltd. Since it is obtained by cutting an isotropic graphite material, the specific resistance value is almost constant in the current flow path, and there is no place where heat is easily generated locally.
＜比較例１＞
比較例１は、２つの給電部４を、７つの抵抗発熱部１と、６つの接続部２でつないでいる平面状の黒鉛ヒーターである。６つの抵抗発熱部１は、互いに平行になるように配置され、接続部２で、電流の向きが反転するように折り返される。
本比較例の黒鉛ヒーターの厚さ（Ｔ）は１０ｍｍ、抵抗発熱部１の長さ（Ｌ）は２００ｍｍ、抵抗発熱部１の幅（Ｗ）は、２１ｍｍである。抵抗発熱部１には溝３は形成されておらず、表裏ともフラットである。
本実施例の黒鉛ヒーターは、イビデン（株）製等方性黒鉛材、ＥＴ−１０を切削加工することによって得ることができる。等方性黒鉛材を切削加工して得られるので、電流の流れる経路では、固有抵抗値はほぼ一定値であり、局所的に発熱しやすい箇所は存在しない。
<Comparative Example 1>
Comparative Example 1 is a planar graphite heater in which two
The thickness (T) of the graphite heater of this comparative example is 10 mm, the length (L) of the resistance heating part 1 is 200 mm, and the width (W) of the resistance heating part 1 is 21 mm. The resistance heating part 1 is not formed with the
The graphite heater of this example can be obtained by cutting an isotropic graphite material, ET-10, manufactured by Ibiden Co., Ltd. Since it is obtained by cutting an isotropic graphite material, the specific resistance value is almost constant in the current flow path, and there is no place where heat is easily generated locally.
以下に実施例１と,比較例１の抵抗値について説明する。計算を簡略化するために抵抗値は、それぞれ０として算出を行う。
実施例１の１つの抵抗発熱部１の抵抗値をＲ１、比較例１の１つの抵抗発熱部１の抵抗値をＲ２,それぞれの接続部２の抵抗値を０としたとき、実施例１の黒鉛ヒーターの抵抗値は５Ｒ１、比較例１の黒鉛ヒーターの抵抗値は７Ｒ２、である。
実施例１は、比較例１の全抵抗と同等に設計するために、１つの抵抗発熱部１Ｒ１の抵抗値は
Ｒ１＝（７／５）Ｒ２ 式（２）
である。すなわち、実施例１の抵抗発熱部１の断面積は、比較例１の断面積の５／７とすることにより、全抵抗を同一にすることができる。
なお、実施例１の抵抗発熱部１の幅は、比較例１の約７／５であるので、実施例１の溝３は、抵抗発熱部１の幅と厚さの積の５２／７２すなわち約５０％の断面積の溝３を形成することにより抵抗値を同等にすることができる。
実際には、実施例１の抵抗発熱体の断面積は１５０ｍｍ２、比較例１の抵抗発熱体の断面積は２１０ｍｍ２であり、実施例１の抵抗発熱体の断面積は、比較例１の抵抗発熱体の断面積の約７１％である。同一の素材から製作すると実施例１の抵抗発熱体の抵抗値は、比較例１の抵抗発熱体の抵抗値の１．４倍となる。実施例１では、５本の抵抗発熱体を組み合わせ、比較例１では７本の抵抗発熱体を組み合わせるので、全体抵抗はほぼ同等となる。
実施例１の抵抗発熱部１の溝３は、幅方向の中央に形成されているので、溝３が形成されても抵抗発熱部１の断面二次モーメントへ与える影響は小さくすることができる。また、接続部の数が同等の全体抵抗を持つ比較例１よりも少ないので、実施例１では、同等の全体抵抗値を持つ比較例１よりも黒鉛ヒーターを変形しにくくすることができる。
The resistance values of Example 1 and Comparative Example 1 will be described below. In order to simplify the calculation, each resistance value is calculated as 0.
When the resistance value of one resistance heating part 1 of Example 1 is R 1 , the resistance value of one resistance heating part 1 of Comparative Example 1 is R 2 , and the resistance value of each
Since Example 1 is designed to be equivalent to the total resistance of Comparative Example 1, the resistance value of one resistance heating portion 1R 1 is R 1 = (7/5) R 2 formula (2)
It is. That is, the total resistance can be made the same by setting the cross-sectional area of the resistance heating portion 1 of Example 1 to 5/7 of the cross-sectional area of Comparative Example 1.
The width of the resistance heating portion 1 of the first embodiment, since it is approximately 7/5 of Comparative Example 1, the
Actually, the sectional area of the resistance heating element of Example 1 is 150 mm 2 , the sectional area of the resistance heating element of Comparative Example 1 is 210 mm 2 , and the sectional area of the resistance heating element of Example 1 is that of Comparative Example 1. It is about 71% of the sectional area of the resistance heating element. When manufactured from the same material, the resistance value of the resistance heating element of Example 1 is 1.4 times the resistance value of the resistance heating element of Comparative Example 1. In Example 1, five resistance heating elements are combined, and in Comparative Example 1, seven resistance heating elements are combined. Therefore, the overall resistance is almost equal.
Since the
＜実施例２＞
実施例２は、２つの給電部４を、２４本の抵抗発熱部１と、２２本の接続部２でつないでいる平面かつ環状の黒鉛ヒーターである。２４本の抵抗発熱部１は、互いに平面上に配置され、接続部２で、電流の向きが反転するように折り返される。
２４本の抵抗発熱部１は、１２本ずつに２組に分けられ、それぞれ直列に接続され、２つの給電部４を結ぶ２系統の直列回路が形成される。
黒鉛ヒーター全体としては、２回軸を有する回転対称であり、給電部を除くと、１２回軸を有する回転対称である。
抵抗発熱部１の片方の主面には、抵抗発熱部１の長手方向に沿って溝３が形成されている。長手方向に沿って溝３が形成されているので、２４本の溝３は放射状に形成される。
本実施例の黒鉛ヒーターは、イビデン（株）製等方性黒鉛材、ＥＴ−１０を切削加工することによって得ることができる。等方性黒鉛材を切削加工して得られるので、電流の流れる経路では、固有抵抗値はほぼ一定値であり、局所的に発熱しやすい箇所は存在しない。
実施例２では、詳細な比較をおこなわないが、実施例１と同様に溝の無い同等の全体抵抗を持つ黒鉛ヒーターよりも変形しにくくできると考えられる。
<Example 2>
Example 2 is a planar and annular graphite heater in which two
The twenty-four resistance heat generating sections 1 are divided into two sets of twelve each, and are connected in series to form two series circuits connecting the two
The graphite heater as a whole is rotationally symmetric having a 2-fold axis, and excluding the power feeding portion, it is rotationally symmetric having a 12-fold axis.
A
The graphite heater of this example can be obtained by cutting an isotropic graphite material, ET-10, manufactured by Ibiden Co., Ltd. Since it is obtained by cutting an isotropic graphite material, the specific resistance value is almost constant in the current flow path, and there is no place where heat is easily generated locally.
In Example 2, a detailed comparison is not performed, but it is considered that, as in Example 1, it can be made more difficult to deform than a graphite heater having an equivalent overall resistance without a groove.
＜実施例３＞
実施例３は、２つの給電部４を、１６本の抵抗発熱部１と、１４本の接続部２でつないでいる筒状の黒鉛ヒーターである。１６本の抵抗発熱部１は、互いに平行となるように配置され、接続部２で、電流の向きが反転するように折り返される。
１６本の抵抗発熱部１は、８本ずつに２組に分けられ、それぞれ直列に接続され、２つの給電部４を結ぶ２系統の直列回路が形成される。
黒鉛ヒーター全体としては、２回軸を有する回転対称であり、給電部を除くと、８回軸を有する回転対称である。
<Example 3>
Example 3 is a cylindrical graphite heater in which two
The sixteen resistance heating sections 1 are divided into two groups of eight, each connected in series, and two series circuits connecting the two
The graphite heater as a whole is rotationally symmetric having a 2-fold axis, and, except for the power feeding portion, is rotationally symmetric having an 8-fold axis.
抵抗発熱部１の外側には、抵抗発熱部１の長手方向に沿って溝３が形成されている。長手方向に沿って溝３が形成されているので、１６本の溝３は互いに平行であり回転対称に配置される。
本実施例の黒鉛ヒーターは、イビデン（株）製等方性黒鉛材、ＥＴ−１０を切削加工することによって得ることができる。等方性黒鉛材を切削加工して得られるので、電流の流れる経路では、固有抵抗値はほぼ一定値であり、局所的に発熱しやすい箇所は存在しない。
実施例３では、詳細な比較をおこなわないが、実施例１と同様に溝の無い同等の全体抵抗を持つ黒鉛ヒーターよりも変形しにくくできると考えられる。
A
The graphite heater of this example can be obtained by cutting an isotropic graphite material, ET-10, manufactured by Ibiden Co., Ltd. Since it is obtained by cutting an isotropic graphite material, the specific resistance value is almost constant in the current flow path, and there is no place where heat is easily generated locally.
In Example 3, detailed comparison is not performed, but it is considered that, as in Example 1, it can be made more difficult to deform than a graphite heater having an equivalent overall resistance without a groove.
本実施例の黒鉛ヒーターは、非酸化雰囲気の７００〜３０００℃の高温炉にて使用される。この発熱体を用いる高温炉の内部はアルゴン、窒素ガスなどの不活性ガスの雰囲気で使用することができる。高温炉の内部の雰囲気はこれらのガスに限定されず、各種不活性ガス、還元性ガスの他、真空であっても良い。 The graphite heater of this example is used in a high-temperature furnace at 700 to 3000 ° C. in a non-oxidizing atmosphere. The inside of the high-temperature furnace using this heating element can be used in an atmosphere of an inert gas such as argon or nitrogen gas. The atmosphere inside the high-temperature furnace is not limited to these gases, and may be vacuum in addition to various inert gases and reducing gases.
本実施例の黒鉛ヒーターの用途は、どのようなものでも良いが、シリコン単結晶引き上げ装置の黒鉛ヒーターに好適に利用することができる。
シリコン単結晶引き上げ装置内では、石英ガラスと、シリコンが反応し、装置内で反応性の高いＳｉＯガスが生成される。ＳｉＯガスは、黒鉛と反応し、ＳｉＣを形成する。
溝３の形成された黒鉛ヒーターは、抵抗発熱部１の表面に炭化珪素の層が形成される。抵抗発熱部１の表面に溝３が形成されていると、高強度の炭化珪素の層が立体的に形成できるので、抵抗発熱部１は、硬く高強度の層で覆われたシェル構造をとる。また、形成される炭化珪素の層は溝３に沿って様々な方向を向いているので、珪化による反応膨張、炭化珪素の層との熱膨張差によって反りが発生しても、互いに相殺され全体の反りを小さく抑えることができる。このため、黒鉛ヒーターの反り、変形を小さくすることができる。
The graphite heater of this embodiment can be used for any purpose, but can be suitably used for a graphite heater of a silicon single crystal pulling apparatus.
In the silicon single crystal pulling apparatus, quartz glass and silicon react to generate highly reactive SiO gas in the apparatus. SiO gas reacts with graphite to form SiC.
In the graphite heater in which the
１．抵抗発熱部
２．接続部
３．溝
４．給電部
１０．黒鉛ヒーター
1. 1. Resistance heating
Claims (6)
前記抵抗発熱部と一体的に構成され、前記抵抗発熱部が直列接続となるように交互に接続する複数の接続部と、
からなる黒鉛ヒーターであって、
前記抵抗発熱部の表面には、長手方向に沿って溝が形成されている
ことを特徴とする黒鉛ヒーター。 A plurality of rod-shaped resistance heating parts provided adjacent to each other;
A plurality of connecting portions configured integrally with the resistance heating portion, and alternately connected so that the resistance heating portions are connected in series;
A graphite heater comprising:
A graphite heater, wherein a groove is formed along a longitudinal direction on a surface of the resistance heating portion.
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016088801A (en) * | 2014-11-04 | 2016-05-23 | 住友電気工業株式会社 | Device and method for producing silicon carbide single crystal |
| CN107059112A (en) * | 2017-04-14 | 2017-08-18 | 南京晶能半导体科技有限公司 | Semiconductor grade monocrystal stove bottom heater |
| JP2019073441A (en) * | 2019-02-20 | 2019-05-16 | 住友電気工業株式会社 | Device and method for producing silicon carbide single crystal |
| WO2019142493A1 (en) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 信越半導体株式会社 | Graphite heater for production of monocrystal, and monocrystal pulling device |
| CN110846722A (en) * | 2019-12-17 | 2020-02-28 | 湖南金博碳素股份有限公司 | Heater for single crystal furnace |
| CN114877523A (en) * | 2022-04-12 | 2022-08-09 | 西安慧金科技有限公司 | Graphite heater suitable for coal gas heating |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6150775U (en) * | 1984-09-07 | 1986-04-05 | ||
| JPH0543385A (en) * | 1991-08-16 | 1993-02-23 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Carbon heater for furnace for pulling up si single crystal |
| JP2000351670A (en) * | 1999-04-06 | 2000-12-19 | Toyo Tanso Kk | Graphite material, graphite material for forming sic film and part for device for pulling silicon single crystal |
-
2012
- 2012-09-20 JP JP2012206698A patent/JP2014062004A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6150775U (en) * | 1984-09-07 | 1986-04-05 | ||
| JPH0543385A (en) * | 1991-08-16 | 1993-02-23 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Carbon heater for furnace for pulling up si single crystal |
| JP2000351670A (en) * | 1999-04-06 | 2000-12-19 | Toyo Tanso Kk | Graphite material, graphite material for forming sic film and part for device for pulling silicon single crystal |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016088801A (en) * | 2014-11-04 | 2016-05-23 | 住友電気工業株式会社 | Device and method for producing silicon carbide single crystal |
| CN107059112A (en) * | 2017-04-14 | 2017-08-18 | 南京晶能半导体科技有限公司 | Semiconductor grade monocrystal stove bottom heater |
| CN107059112B (en) * | 2017-04-14 | 2023-12-08 | 南京晶能半导体科技有限公司 | Bottom heater of semiconductor grade silicon single crystal furnace |
| WO2019142493A1 (en) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 信越半導体株式会社 | Graphite heater for production of monocrystal, and monocrystal pulling device |
| JP2019123645A (en) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 信越半導体株式会社 | Graphite heater for manufacturing single crystal and apparatus for pulling single crystal |
| JP2019073441A (en) * | 2019-02-20 | 2019-05-16 | 住友電気工業株式会社 | Device and method for producing silicon carbide single crystal |
| CN110846722A (en) * | 2019-12-17 | 2020-02-28 | 湖南金博碳素股份有限公司 | Heater for single crystal furnace |
| CN110846722B (en) * | 2019-12-17 | 2024-05-28 | 湖南金博碳素股份有限公司 | Heater for single crystal furnace |
| CN114877523A (en) * | 2022-04-12 | 2022-08-09 | 西安慧金科技有限公司 | Graphite heater suitable for coal gas heating |
| CN114877523B (en) * | 2022-04-12 | 2024-01-30 | 西安慧金科技有限公司 | Graphite heater suitable for coal gas heating |
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