JP2013181648A - ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】固化したドライアイスのラビリンスシール外への飛散と、ラビリンスシールの外寸変化とを抑える。
【解決手段】洗浄ユニットは、ドライアイス粒子が含まれる洗浄ガス６７をノズルから出して周面２１ａに当てる。洗浄ガス６７が当てられる周面２１ａの洗浄エリアはケーシング本体６４に覆われ、ケーシング本体６４内の気体を吸引することで周面２１ａから剥がれた汚染物や洗浄ガス６７等を吸引する。ケーシング本体６４の周面２１ａに対向する対向面６４ｄにはラビリンスシール７７が設けられ、ラビリンスシール７７は、溝９１〜９３とノズル側の壁面７７ａとにそれぞれ開口して内部を貫通する孔１０１を有する。孔１０１は、集合管１１１及び管８２により第２排気部と接続する。第２排気部によりフィン８５〜８８周辺の気体を吸引する。
【選択図】図３

Description

本発明は、ラビリンスシール、洗浄装置、洗浄方法、及び溶液製膜方法に関する。

表面が汚染されたものを洗浄する方法として、ドライアイス洗浄がある。ドライアイス洗浄は、汚染物が付着している被洗浄物の表面に、固体のドライアイス粒子（ドライアイススノー）を吹き付けて、ドライアイス粒子の衝突及び昇華により汚染物を被洗浄物の表面から除去するものである。

ドライアイス洗浄では、洗浄機から噴出されたドライアイス粒子や、被洗浄物の表面に衝突してはね返ったドライアイス粒子及び気体の二酸化炭素、被洗浄物から剥がれた汚染物が、被洗浄物や洗浄機の周辺に飛散しやすい。

一方、フィルムの製造方法として溶液製膜方法がある。溶液製膜方法は、周知のように、ポリマーと溶剤とが含まれるドープを移動する流延支持体の表面に流延して流延膜を形成し、この流延膜を流延支持体から剥ぎ取って乾燥することにより、フィルムを製造する方法である。工業的にはフィルムを長尺に作る場合が多く、このため、無端の流延支持体に流延と剥取とが繰り返し為される。この繰り返しにより、流延支持体上にはドープの中でも特にポリマー成分に含まれる物質が析出してしまい、流延支持体が汚染される。流延支持体の多くは金属製とされ、汚染物を除去するために、各種の洗浄方法の中でもドライアイス洗浄が好ましい場合がある。また、流延支持体の洗浄のたびに流延支持体の駆動をとめると、フィルムの生産性が落ちるので、洗浄は、流延支持体の駆動をとめることなく、流延と剥ぎ取りとを行いながら行うことが好ましい。

そこで、流延と剥ぎ取りとを行いながら流延支持体のドライアイス洗浄を行い、上記の飛散を抑制する洗浄方法が、特許文献１に開示される。特許文献１の洗浄方法は、流延膜が剥がされる剥ぎ取り位置からドープが流延される流延位置へ向かう流延支持体に対してドライアイス粒子を含む洗浄ガスを吹き付けて、流延支持体の表面を洗浄する。この特許文献１では、洗浄ガスを吹き付ける洗浄ノズルはチャンバで囲まれ、チャンバの流延支持体に対向する対向部にラビリンスシールが設けられている。特許文献１は、チャンバにより飛散を抑制し、ラビリンスシールのシール効果、すなわち流体の流れを阻止する効果で、上記の飛散をより抑制している。

また、特許文献２は、カーテン塗布を行う塗布装置の上流にラビリンスシールを設け、ラビリンスシールの上流で気体を吸引するスリット及び吸引機構を設けている。スリットの開口と、ラビリンスシールの先端とは、塗布対象物からの距離が概ね同じとされている。特許文献２は、ラビリンスシールによりシール効果を得、さらにスリット及び吸引機構により空気の流れを吸引することで、カーテン膜への空気流の影響をより効果的に防いでいる。

特開２００９−０７８４４４号公報 特開２０１１−０６７７６８号公報

特許文献１の方法では、上記の飛散を防止することについて一定の効果はある。しかしながら、特許文献１の方法では、流延と剥ぎ取りとを継続しているうちに、ラビリンスシールにドライアイス粒子や気体の二酸化炭素が付着して固まり、固まったドライアイスがラビリンスシール及びチャンバの外部へ出てしまうという問題がある。外部へ出た固体のドライアイスは、流延支持体等の部材や流延膜に付着してしまうことがある。また、特許文献２のように、ラビリンスシールの上流にスリット及び吸引機構を設けることは、特許文献１よりも高いシール効果を示すことがあるものの、吸引力が弱く、ラビリンスシールへのドライアイス粒子ないし気体の二酸化炭素の付着と外部への飛び出しは依然として発生する。

さらに、溶液製膜の流延環境においては、ラビリンスシールが高温下に晒される等、ラビリンスシールの温度変化に伴う膨張がある。この膨張でラビリンスシールの外寸は大きくなり、流延と剥ぎ取りとを継続しているうちにラビリンスシールが流延支持体に当たるようになってしまうことがある。

そこで本発明は、ドライアイス粒子や気化した二酸化炭素等が付着して固化することがなく高いシール効果が維持され、昇温による膨張により外寸が大きくなることが抑制されるラビリンスシールを提供することを目的とする。また、本発明は、このようなラビリンスシールを備えドライアイス洗浄を行う洗浄装置と、ラビリンスシールを用いた洗浄方法とを提供することを目的とする。また、本発明は、流延及び剥ぎ取りが連続して行われる流延支持体にドライアイス洗浄を行っても、ラビリンスシールの外に固化したドライアイスが飛散してしまうことが抑制され、昇温してもラビリンスシールが流延支持体とぶつかることがない溶液製膜方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明のラビリンスシールは、互いに離間して略平行に設けられる複数のシールフィンを備え、気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が複数のシールフィンの間の溝に開口し、気体を吸引する吸引手段が孔の他端に接続されることを特徴として構成されている。

孔は、溝の長手方向に複数形成されていることが好ましい。

本発明の洗浄装置は、ドライアイス粒子を噴出して被洗浄物の表面に当てることにより、被洗浄物の表面を洗浄する洗浄手段と、ドライアイス粒子が当てられる被洗浄物の表面を覆うケーシングと、ケーシングの内部の気体を吸引することにより、被洗浄物の表面から脱離した汚染物を回収する第１吸引手段と、ケーシングの被洗浄物に対向する対向部に設けられ、複数のシールフィンが互いに離間して略平行に設けられ、気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が複数のシールフィンの間の溝に開口するラビリンスシールと、孔の他端に接続し、孔を通じてシールフィンの周辺の気体を吸引する第２吸引手段とを備えることを特徴として構成されている。

孔は、溝の長手方向に複数形成されていることが好ましい。

被洗浄物は、溶液製膜のドープの流延と流延により形成された流延膜の剥ぎ取りとが繰り返し為される無端の流延支持体であり、流延膜が剥がされる剥取位置からドープが流延される流延位置へ向かう流延支持体の表面に対向して設けられ、溝の長手方向を流延支持体の幅方向と略一致させていることが好ましい。ラビリンスシールは、流延支持体の表面の移動方向における洗浄手段の上流と下流との少なくともいずれか一方に配されることが好ましい。

本発明の洗浄方法は、ドライアイス粒子を被洗浄物の表面に当てて被洗浄物の表面を洗浄し、洗浄中に、ドライアイス粒子が当てられる被洗浄物の表面を覆うように設けたケーシングの内部の気体を吸引することにより、被洗浄物の表面から脱離した汚染物を回収するとともに、気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が互いに離間して略平行に配された複数のシールフィンの間の溝に開口し、ケーシングの被洗浄物に対向する対向部に設けられたラビリンスシールの孔を通じて、複数のシールフィンの周辺の気体を吸引することを特徴として構成されている。

本発明の溶液製膜方法は、長手方向に移動する無端の流延支持体の上に、ポリマーと溶媒とが含まれるドープを流延する流延工程と、流延工程により形成された流延膜を流延支持体から剥ぎ取る剥取工程と、剥取工程により剥ぎ取られた流延膜を乾燥してフィルムとする乾燥工程と、流延膜が剥ぎ取られる剥取位置からドープが流延される流延位置に向かう流延支持体のドープが流延される表面にドライアイス粒子を当てて表面を洗浄する洗浄工程とを有し、洗浄中に、ドライアイス粒子が当てられる流延支持体の表面を覆うように設けたケーシングの内部の気体を吸引することにより、表面から脱離した汚染物を回収するとともに、気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が互いに離間して略平行に配された複数のシールフィンの間の溝に開口し、ケーシングの被洗浄物に対向する対向部に設けられたラビリンスシールの孔を通じて、複数のシールフィンの周辺の気体を吸引することを特徴として構成されている。

本発明のラビリンスシールによれば、ドライアイス洗浄に用いても、ドライアイス粒子や気化した二酸化炭素等が付着して固化することがなく高いシール効果が維持され、昇温による膨張により外寸が大きくなることが抑制される。

本発明の洗浄装置によれば、ドライアイス粒子や気化した二酸化炭素等が付着して固化することがなく高いシール効果が維持されるとともに、ラビリンスシールは昇温による膨張により外寸が大きくなることが抑制される。

本発明の洗浄方法によれば、ドライアイス洗浄においてラビリンスシールに固化した二酸化炭素が付着することなく、高いシール効果が維持されるとともに、ラビリンスシールが高温下に晒されても外寸が大きくなることが防止される。

本発明の溶液製膜によれば、流延及び剥ぎ取りが連続して行われる流延支持体にドライアイス洗浄を行っても、ラビリンスシールの外に固化したドライアイスが飛散してしまうことが抑制され、昇温してもラビリンスシールが流延支持体とぶつかることがない。

溶液製膜設備を示す概略図である。 洗浄装置の概略を示す一部断面側面図である。 ラビリンスシールの概略を示す断面図である。 図３のIV−IV線に沿う断面図である。 ラビリンスシールの概略を示す断面図である。

図１に示すように、溶液製膜設備１０は、流延装置１１と、テンタ１２と、スリット装置１６と、乾燥装置１７と、巻取装置１８とを上流側から順に備える。

流延装置１１は、ドラム２１と、流延ダイ２２と、減圧チャンバ２３と、剥取ローラ２６と、温度コントローラ２７，２８と、洗浄ユニット３１と、流延チャンバ３２とを備える。流延チャンバ３２は、ドラム２１、流延ダイ２２、減圧チャンバ２３、剥取ローラ２６、洗浄ユニット３１を収容する。

ドラム２１は、金属製の流延支持体である。ドラム２１は、駆動装置（図示無し）を有し、この駆動装置によって一定の方向に回転する。図１ではドラム２１の回転方向に符号Ｘを付す。流延ダイ２２は、ポリマーが溶媒に溶解しているドープ３３が供給されてくると、このドープ３３を流出する。流延ダイ２２は、ドープ３３の流出口であるスリット（図示無し）がドラム２１と対向するように配される。回転中のドラム２１の周面２１ａに向けて、流延ダイ２２からドープ３３が流出されることにより、周面２１ａにドープ３３からなる流延膜３６が形成される。周面２１ａのドープ３３が流延される位置（流延膜３６が形成され始める位置）を、以下、流延位置ＰＣと称する。

減圧チャンバ２３は、ドラム２１の回転方向Ｘにおける流延ダイ２２の上流に配される。減圧チャンバ２３は、減圧すべき空間を外部空間と仕切る。減圧チャンバ２３の流延ダイ２２及びドラム２１と対向する対向部は開放されている。減圧チャンバ２３は吸引機（図示無し）により内部の気体が吸引されると、内部が減圧状態になる。これにより、流延ダイ２２から流出したドープ３３は、ドラム２１の回転方向Ｘにおける上流側のエリアが減圧されて、周面２１ａに安定して連続的に流延される。

温度コントローラ２７は、流延チャンバ３２の内部の温度を調整し、温度コントローラ２８は、ドラム２１の周面２１ａの温度を調整する。これらの温度調整により、流延膜３６は、剥取ローラ２６に向かう流延膜３６は、剥ぎ取りと搬送とが可能な程度に固まる。例えば、ドラム２１の周面２１ａを１０℃以下に冷却することにより、流延膜３６は冷却されてゲル化する。また、ドラム２１の周面２１ａと流延チャンバ３２の温度を室温よりも高い温度に加熱することにより、流延膜３６からドープ３３の溶剤成分が蒸発して流延膜３６は乾燥されてゲル化する。

剥取ローラ２６は、ドラム２１の近傍に配され、ドラム２１から剥がされた流延膜３６、すなわち湿潤フィルム３７を周面で支持する。これにより剥取ローラ２６は、流延膜３６がドラム２１から剥がれる剥取位置ＰＰを、一定に保持する。

ドラム２１の周面２１ａは、流延位置ＰＣから剥取位置ＰＰを通過して流延位置ＰＣに戻るように循環するので、長手方向に移動する無端の流延面である。洗浄ユニット３１は、ドラム２１の周面２１ａを洗浄するためのものであり、剥取位置ＰＰから流延位置ＰＣに向かう周面２１ａに対向して配される。洗浄ユニット３１の詳細については、別の図面を用いて後述する。

剥ぎ取りによって形成された湿潤フィルム３７は、ローラ３８で搬送されてテンタ１２に案内される。テンタ１２では、湿潤フィルム３７の側端部を保持手段としての例えばピン（図示無し）等で保持し、この保持手段で搬送しながら湿潤フィルム３７を乾燥する。保持手段としてピンを用いる場合には、ピンを湿潤フィルム３７の側端部に貫通させることにより、湿潤フィルム３７が保持される。各側端部の保持手段は、湿潤フィルム３７の幅方向に対して適宜張力を加えながら、搬送方向に移動する。張力は、製造すべきフィルム４１の光学性能（例えばレタデーション）等に基づき設定する。例えば、フィルム４１に目的とする光学性能を発現させるために所定の拡幅率で湿潤フィルム３７の幅を拡げる場合には、所定の拡幅率となるように湿潤フィルム３７に幅方向での張力を付与する。

テンタ１２は、搬送路を囲むチャンバ（図示無し）を有し、テンタ１２のチャンバの内部には、ダクト（図示無し）が備えられる。ダクト（図示無し）には、湿潤フィルム３７の搬送路に対向して給気ノズル（図示無し）と吸引ノズル（図示無し）とがそれぞれ複数形成されてある。給気ノズルからの乾燥気体の送出と吸引ノズルからの気体の吸引により、テンタ１２のチャンバの内部は一定の湿度及び溶剤ガス濃度に保持される。テンタ１２のチャンバ内部を通過させることにより、湿潤フィルム３７の乾燥をすすめる。

製造するフィルム４１の光学性能に応じて、テンタ１２を複数直列に配して、これにより、幅方向における張力の付与や、加熱や、乾燥等を行ってもよい。テンタ１２を複数直列に配す場合には、最も上流のテンタ１２の保持手段をピンとし、他のテンタの保持手段をクリップにする態様がある。

テンタ１２を経た湿潤フィルム３７はスリット装置１６で、保持手段による保持跡がある各側端部を、切断刃で連続的に切断して除去される。一方の側端部と他方の側端部との間の中央部は乾燥装置１７へ送る。

湿潤フィルム３７は、乾燥装置１７へ送られると、搬送方向に並んで配された複数のローラ４２の周面で支持される。これらのローラ４２の中には、周方向に回転する駆動ローラがあり、この駆動ローラの回転により湿潤フィルム３７は搬送される。

乾燥装置１７は、乾燥した気体を流出するダクト（図示無し）を備え、乾燥気体が送り込まれる空間を外部と仕切るチャンバ（図示無し）を有する。複数のローラ４２はこのチャンバ内に収容されてある。乾燥装置１７のチャンバには排気口（図示無し）が形成され、ダクトからの乾燥気体の送出と排気口からの排気により、乾燥装置１７のチャンバ内部は一定の湿度及び溶剤ガス濃度に保持される。この乾燥装置１７のチャンバ内部を通過することにより、湿潤フィルム３７は乾燥してフィルム４１になる。

乾燥装置１７で乾燥したフィルム４１は、巻取装置１８へ送られ、ロール状に巻き取られる。なお、乾燥装置１７と巻取装置１８との間にスリット装置（図示無し）を設けて、このスリット装置により、各側端部を切断除去してもよい。また、乾燥装置１７と巻取装置１８との間にナーリング装置（図示）を設けて、このナーリング装置により、フィルム４１の各側端部に細かな凹凸を付与するナーリング処理を行ってもよい。

図１には、流延支持体としてドラム２１を用いた場合を示してある。しかし、流延支持体は、複数のローラ（図示せず）の周面に巻き掛けた環状のベルト（図示せず）であっても構わない。ベルトを流延支持体とする場合には、ベルトが巻き掛けられた複数のローラのうち、少なくともひとつを周方向に回転する駆動ローラとする。この駆動ローラの回転により、ベルトは長手方向に搬送され、連続的に繰り返し周回する。

ベルトを流延支持体とする場合には、ベルトが巻き掛けられたローラを、周面の温度調整可能なものとし、このローラによりベルトの温度を制御するとよい。このように、本発明は、流延支持体をドラム２１に限定するものではない。

洗浄ユニット３１は、図２に示すように、ドラム２１に対向して配される。洗浄ユニット３１は、ドラムの回転方向Ｘにおける剥取ローラ２６の下流、減圧チャンバ２３の上流、すなわち、剥取位置ＰＰから流延位置ＰＣに向かう周面２１ａに対向して配される。この洗浄ユニット３１により、ドラムの周面２１ａに付着している汚染物を除去し、ドラム２１を洗浄する。ドープ３３のポリマー成分がセルロースアシレートである場合には、この汚染物には、ドラム上の流延膜３６から析出した脂肪酸エステル、脂肪酸、脂肪酸金属塩などが主に含まれている。

洗浄ユニット３１は、洗浄機５１と、ケーシング５２とを備える。洗浄機５１は、ドライアイス生成部５３と、ガス供給部５４と、ノズル５５とを有する。ノズル５５には、第１供給口５５ａと第２供給口５５ｂと噴出口５５ｃとが形成されている。ドライアイス生成部５３は、管５８により第１供給口５５ａと接続する。ガス供給部５４は、管５９により第２供給口５５ｂと接続する。

ドライアイス生成部５３は、所定範囲の粒径を有する昇華性固体のドライアイス粒子６２を生成する。生成したドライアイス粒子６２は、管５８を介して、ノズル５５の第１供給口５５ａに供給される。

ガス供給部５４には、所定の圧力に圧縮されたガス６３が充填される。ガス供給部５４としては、例えばガスタンクがある。ガス６３としては、例えば窒素などの不活性ガスがある。ガス供給部５４は、ガス６３を、管５９を介して、ノズル５５の第２供給口５５ｂに供給する。ガス供給部５４はコントローラ（図示無し）を有し、このコントローラにより、供給するガス６３の量や供給する際のガス６３の流量が制御される。なお、ガス６３は、不活性ガスには限られず、例えばエア（空気）等であってもよい。

ノズル５５は、噴出口５５ｃがドラム２１の周面２１ａに向くように、周面２１ａに対して起立した姿勢で配される。なお、本実施形態においては、ノズル５５は、図２に示すように、ドラム２１を側面からみたときに、周面２１ａに対して垂直な方向に起立した姿勢で配している。

ノズル５５の噴出口５５ｃは細長い略矩形のスリットとされており、ノズル５５は、噴出口５５ｃの長手方向が周面２１ａの幅方向に略一致するように配される。周面２１ａの幅方向Ｙ（図４参照）における噴出口５５ｃの長さは、周面２１ａの全幅域が洗浄されるように周面２１ａの幅と略同等としてあるが、周面２１ａの幅よりも短くてもよい。周面２１ａの幅よりも短い場合には、ノズル５５にシフト機構（図示せず）を設けて、幅方向Ｙに移動自在とすることで、周面２１ａの全幅域が洗浄される。噴出口５５ｃの形状は、幅方向Ｙに延びたスリットに代えて略円形や略多角形にしてもよく、これらの場合も、ノズル５５にシフト機構（図示せず）を設けて、幅方向Ｙに移動自在とする。なお、本実施形態においては、ノズル５５は、ケーシング５２を構成するケーシング本体６４のドラム２１の回転方向Ｘにおける略中央に挿通して固定されている。ノズル５５の噴出口５５ｃが周面２１ａの幅よりも短いスリット、あるいは略円形、略多角形である場合には、ケーシング本体６４にもシフト機構（図示）を設け、ケーシング本体６４に固定したノズル５５と同期して移動させるとよい。

ノズル５５には、第２供給口５５ｂと噴出口５５ｃとの間を連通する第１流路（図示無し）が形成されている。また、ノズル５５には、第１供給口５５ａと第１流路とを連通する第２流路（図示無し）が形成されている。これにより、第１流路に案内されたガス６３は、第１流路で、第２流路からのドライアイス粒子６２と混合される。ドライアイス粒子６２とガス６３との混合により生成したガスを、以下の説明においては洗浄ガス６７と称する。洗浄ガス６７は、噴出口５５ｃから噴出して、ドラム２１の周面２１ａに当たる。以下、この洗浄ガス６７が吹き付けられる周面２１ａのエリアを洗浄エリアという。

本実施形態では、ドライアイス生成部５３で予めドライアイス粒子６２を生成し、そのドライアイス粒子６２をノズル５５に送り込んでいるが、この方法に限られない。例えば、液状の二酸化炭素をノズル（図示無し）に送り込み、そのノズル内で固体のドライアイス粒子６２を生成してもよい。このように、洗浄機５１に代えて、公知のドライアイス洗浄手段を用いてもよい。

洗浄ガス６７がドラムの周面２１ａに吹き付けられると、その洗浄ガス６７に含まれるドライアイス粒子６２が、ドラムの周面２１ａに付着した汚染物に衝突する。この衝突により、汚染物は粉砕し、周面２１ａから除去される。これにより、洗浄跡を残すことなく、ドラム２１の周面２１ａ上の汚染物が除去される。除去された汚染物は、洗浄ガス６７とともに、ドラム２１の回転方向Ｘや回転方向Ｘと逆の方向等へ流れる。

ケーシング５２は、ケーシング本体６４と、排気部７１と、コントローラ７３と、ラビリンスシール７６，７７とを有する。

ケーシング本体６４は、周面２１ａに対向して開放されている略箱型状であり、周面２１ａの幅方向Ｙにおける長さをドラム２１の周面２１ａの幅よりもわずかに長くしている。これにより、ケーシング本体６４は、洗浄エリアを覆い、洗浄エリアの周辺の空間を外部空間と仕切る。これにより、噴出口５５ｃからの洗浄ガス６７と、周面２１ａに当たって舞い上がった洗浄ガス６７と、周面２１ａから脱離した汚染物との飛散範囲が制限される。ケーシング本体６４の幅方向Ｙにおける長さは、幅方向Ｙにおける噴出口５５ｃの長さに応じて設定してよく、例えば、噴出口５５ｃの幅方向Ｙにおける長さが短い場合には、これに応じて短くしてよい。

周面２１ａに対向するケーシング本体６４の開放口６４ａは、噴出口５５ｃが形成されているノズル５５の先端を囲むように、ドラム２１の周面２１ａの幅方向に延びて形成されている。開放口６４ａは、ノズル５５からの洗浄ガス６７の吹き付けの妨げにならないように形成され、また、表面２１ａから脱離した汚染物がケーシング本体６４の内部に案内される案内路となる。

ケーシング本体６４の上部には第１排気口６４ｂが形成され、側部には第２排気口６４ｃが形成されている。ただし、第１排気口６４ｂ、第２排気口６４ｃの位置は特に限定されない。第１排気口６４ｂは、管７８により排気部７１と接続する。排気部７１は、ケーシング本体６４の内部の気体を吸引し、ケーシング本体６４の内部を外部よりも低い圧力の減圧状態にして、洗浄エリア付近の気体を吸引する。これにより、周面２１ａから脱離した汚染物は、洗浄ガス６７とともに吸引される。このように、ケーシング本体６４は、減圧すべき空間を外部空間と仕切る。

排気部７１は、吸引した気体を清浄化して排出するとともに清浄化によって気体から分離された固体を回収する。これにより、洗浄ガス６７を含む気体は外部へ排出され、洗浄ガス６７に含まれていた固体である汚染物は回収される。

排気部７１により吸引する気体の流量は、ドラム２１の回転速度や、ノズル５５からの洗浄ガス６７の噴出流量に応じて変えてもよい。また、ノズル５５からの洗浄ガス６７の噴出流量は、周面２１ａの汚染の程度等によって変えてもよい。

ラビリンスシール７６，７７は、周面２１ａに対向するケーシング本体６４の対向面６４ｄに取り付けられており、ケーシング本体６４と周面２１ａとの間をシールする。これにより、洗浄ガス６７と周面から脱離した汚染物とのケーシング本体６４の外部への流出が抑制される。

以上のように、周面２１ａから剥がされた汚染物を洗浄ガス６７とともに吸引することにより、ケーシング本体６４の外部への汚染物の飛散が抑制される。また、仮に、洗浄ガス６７とともに汚染物が吸引されなかったとしても、ラビリンスシール７６，７７により、汚染物を含んだ洗浄ガス６７はケーシング本体６４外に流出することが抑制される。このため、ドープ３３の流延中であっても、流延膜３６や流延ダイ２２から流出したドープ（流延ビード）３３に影響を与えることなく、ドラム２１の洗浄が円滑に行われる。

ラビリンスシール７６，７７は、ケーシング本体６４の対向面６４ｄの全体、すなわち、ケーシング本体６４を図２の下方から見た全周に亘って設けてもよい。しかし、移動しているドラム２１の周面２１ａを洗浄する場合には、対向面６４ｄのうち、回転方向Ｘにおける洗浄機５１の上流と下流との少なくともいずれか一方に設けることで足りる。好ましい態様は、図２に示すように洗浄機５１の上流と下流との両方の対向面６４ｄにラビリンスシール７６，７７を設ける態様である。回転方向Ｘにおける洗浄機５１の上流の対向面６４ｄに設けるラビンリンスシールには符号７６を付し、洗浄機５１の下流の対向面６４ｄに設けるラビリンスシールには符号７７を付す。

ラビリンスシール７６，７７は、図２に示すように、ケーシング本体６４の内部側に突出するように設けられている。また、ラビリンスシール７６の上流側側面はケーシング本体６４の上流側側面と面一、ラビリンスシール７７の下流側側面はケーシング本体６４の下流側側面と面一となるようにしている。

また、ラビリンスシール７６，７７には、後述するように気体が通過する孔１０１〜１０４（図３，図４参照）が貫通して形成されており、ケーシング５２には、この孔１０１〜１０４に接続する管８２が設けられている。管８２の一端は、第２排気口６４ｃに接続し、他端はラビリンスシール７６，７７に接続する。管８２は、ケーシング本体６４及びラビリンスシール７６，７７の外部空間側に配されている。これにより、ラビリンスシール７６，７７は、ケーシング本体６４の内部を介して、排気部７１と接続する。排気部７１は、前述のようにケーシング本体６４の内部を減圧状態にしており、これにより、ラビリンスシール７６，７７の複数のシールフィン（以下、単にフィンと称する）８５〜８８（図３参照）の各間からそれらの周辺の気体が吸引される。

コントローラ７３は、排気部７１による気体の吸引力を制御する。

ラビリンスシール７６とラビリンスシール７７とは、同様の構成及び作用をもつので、以下、ラビリンスシール７７について説明し、ラビリンスシール７６については説明を略す。ラビリンスシール７７は、図３に示すように複数のフィン８５〜８８を有する。図３においてはフィンに関してノズル５５に近い方から順に、符号８５，８６，８７，８８を付す。各フィン８５〜８８は、周面２１ａの幅方向Ｙに略一致する方向に延びており、複数のフィン８５〜８８はドラム２１の回転方向Ｘにおいて互いに離間している。これによりフィン８５〜８８の各間には溝９１〜９３が、周面２１ａの幅方向Ｙに略一致する方向に延びて形成される。周面２１ａの幅方向Ｙに略一致する方向とは、周面２１ａの幅方向Ｙとのなす角が概ね３°以内であることを意味する。なお、図３においては溝に関してノズル５５に近い方から順に、符号９１，９２，９３を付す。

フィン８５は、周面２１ａに向かって先細に形成された断面略Ｖ字形であり、周面２１ａに対して略垂直な垂直面８５ａと、図３のように側方から見たときに傾斜した斜面８５ｂとを有する。フィン８５は、垂直面８５ａがノズル５５に向くように配される。フィン８６〜８８もフィン８５と同様に略Ｖ字形の断面をもち、垂直面８６ａ〜８８ａと、斜面８６ｂ〜８８ｂとをもつ。また、フィン８６〜８８の垂直面８６ａ〜８８ａは、フィン８５の垂直面８５ａと同じ方向を向いており、垂直面８５ａ〜８８ａは互いに略平行、斜面８５ｂ〜８８ｂは互いに略平行である。フィン８５〜８８を図３の下方から見たときにフィン８５〜８８の直線状の先端も互いに略平行である。以上のように、フィン８５〜８８は、厚み方向で略平行に形成されている。略平行とは、なす角が略０°以上３°以下の範囲である。フィンの形状や向きは上記の態様に限定されないが、上記のようなフィンの形状及び向きにより、シール効果がより確実になり、噴出口５５ｃからの洗浄ガス６７と、周面２１ａに衝突して周面２１ａ上に舞い上がった洗浄ガス６７と、周面２１ａから脱離した汚染物の外部への流出がより効果的に抑えられる。

フィン８５〜８８は互いに同じ高さをもち、フィン８５〜８８の先端は、図３のように側方からみたときに直線上に並ぶ。周面２１ａは図３のように側方からみたときには円弧を成すため、フィン８５〜８８の各先端から周面２１ａまでの距離は、互いに異なる。フィン８５〜８８のうち周面２１ａからの距離が最も短くなるフィンの周面２１ａからの先端までの距離は、概ね１ｍｍ以上５ｍｍ以下の範囲とすることが好ましい。

図３及び図４に示すように、ラビリンスシール７７には、断面が略円形の複数の孔１０１〜１０４が形成されている。孔１０１は気体がラビリンスシール７７の内部を通過するように貫通して形成されている。孔１０１は、第１通過路１０９ａと、この第１通過路１０９ａが分岐した３つの第２通過路１０６ａ〜１０８ａとからなる。第２通過路１０６ａ〜１０８ａの端部は各溝９１〜９３のそれぞれに開口し、第１通過路１０９ａの端部はラビリンスシール７７のノズル５５側とは反対の壁面７７ａに開口する。本実施形態では、３つの溝９１〜９３すべてに孔１０１の開口を設けているので孔１０１の第２通過路の数は３つであるが、第２通過路の数は３つに限られずない。例えば、これらの溝９１〜９３の一部にのみ第２通過路を設ける場合や、フィンの数を例えば本実施形態よりも少なくする場合には、第２通過路の数は１つあるいは２つというように、本実施形態に示す場合よりも少なくなる。また、フィンの数を本実施形態よりも多くした場合には、第２通過路の数は４以上にしてもよい。最も好ましい態様は、孔１０１の第２通過路は、形成してある溝９１〜９３のすべてに開口するように設ける態様である。

第２通過路１０６ａ〜１０８ａの溝９１〜９３における開口は、図３のように側方からみたときに溝９１〜９３の各中央になるように形成してあることが好ましい。ただし、この態様に限られず、例えば第２通過路１０６ａ〜１０８ａの各開口をそれぞれフィン８５側，フィン８６側，フィン８７側に寄せて形成したり、または、フィン８６側，フィン８７側，フィン８８側に寄せて形成してもよい。

孔１０２〜１０４も、孔１０１と同様の構成を有している。すなわち、孔１０２は第１通過路１０９ｂと３つの第２通過路１０６ｂ〜１０８ｂとを有し、孔１０３は第１通過路１０９ｃと３つの第２通過路１０６ｃ〜１０８ｃとを有し、孔１０４は第１通過路１０９ｄと３つの第２通過路１０６ｄ〜１０８ｄとを有する。以上のように、各溝９１〜９３には、それぞれ４つの第２通過路１０６ａ〜１０６ｄ，１０７ａ〜１０７ｄ，１０８ａ〜１０８ｄが開口している。ただし、本実施形態では、ラビリンスシール７７が４つの孔１０１〜１０４を有する場合を示しているが、孔の数は４に限られず、１以上３以下、あるいは５以上でもよい。したがって、溝９１〜９３の各々に開口する第２通過路の数は、１以上３以下、あるいは５以上でもよい。

ラビリンスシール７７は、ノズル５５とは反対側を向く壁面７７ａに、集合管１１１を有する。集合管１１１は、壁面７７ａに形成された第１通過路１０９ａ〜１０９ｄの各開口に接続し、集合管１１１の内部が第１通過路１０９ａ〜１０９ｄに連通する。集合管１１１は、管８２と接続する。これにより、各孔１０１〜１０４は、集合管１１１及び管８２を介して排気部７１（図２参照）と接続する。

以上の構成により、ラビリンスシール７７は、以下の作用をもつ。排気部７１が、気体を吸引すると、ケーシング本体６４の内部が減圧され、これにより、集合管１１１の内部と、孔１０１〜１０４の第１通過路１０９ａ〜１０９ｄ、第２通過路１０６ａ〜１０８ａ，１０６ｂ〜１０８ｂ，１０６ｃ〜１０８ｃ，１０６ｄ〜１０８ｄとは減圧される。この減圧により、溝９１〜９３にある気体を含めてフィン８５〜８８の周辺にある気体は孔１０１〜１０４を通じてケーシング本体６４に案内され、排気部７１へ吸引される。

一方、ノズル５５の噴出口５５ｃから洗浄ガス６７が噴出されると、洗浄ガス６７は、周面２１ａに当たり、洗浄エリア上に舞い上がる。洗浄ガス６７の一部は周面２１ａに当たることなく周面２１ａ上に浮遊する場合もある。このように洗浄エリア上にある洗浄ガス６７の多くは、ケーシング本体６４の内部を通って排気部７１により吸引されるが、微量の洗浄ガス６７はケーシング本体６４に案内されずにラビリンスシール７７のシール効果により移動速度が弱まり、フィン８５〜８８の周辺、特に、溝９１〜９３に滞留するようになる。滞留した洗浄ガス６７は、フィン８５〜８８の周辺にある気体に含まれながら、管８２、ケーシング本体６４の内部を順次通って、排気部７１により吸引される。

このように、ケーシング本体６４の内部に案内されずにフィン８５〜８８の周辺に滞留した微量の洗浄ガス６７は、一端が溝９１〜９３に開口する孔１０１〜１０４、管８２、ケーシング本体６４の内部に順次案内されて排気部７１へと吸引される。これにより、洗浄ガス６７に含まれる固体のドライアイス粒子や、このドライアイス粒子が気化した二酸化炭素は、ラビリンスシール７７上に付着して固まることがなく、ケーシング本体６４の外部へと飛散することがない。従って、固まったドライアイスやこのドライアイス中に含まれる汚染物でフィルム４１やドラム２１を含む流延装置１１を汚染することがない。

また、排気部７１は、コントローラ７３により気体の吸引力を制御される。このため、ケーシング本体６４には、多くの洗浄ガス６７及び汚染物が効果的に吸い込まれるとともに、ケーシング本体６４への吸引力に応じて孔１０１〜１０４の吸引力も制御される。さらに、周面２１ａの移動速度に応じて、排気部７１の吸引力を設定してもよい。

また、温度コントローラ２７，２８による流延装置１１の内部やドラム２１の加熱、さらには流延ダイ２２の加熱等によりラビリンスシール７７が高温になっても、ラビリンスシール７７には、孔１０１〜１０４が形成されているので、ラビリンスシール７７の外寸の変化が抑えられる。これにより、ラビリンスシール７７が高温になっても、フィン８５〜８８は周面２１ａへ接触しない。

なお、本実施形態のラビリンスシール７７は、断面が略円形の孔１０１〜１０４が形成されているが、孔の態様はこれに限られない。例えば孔１０１〜１０４は、断面矩形であってもよい。

第２通過路１０６ａ〜１０８ａ，１０６ｂ〜１０８ｂ，１０６ｃ〜１０８ｃ，１０６ｄ〜１０８ｄの各径Ｄ１は、概ね３ｍｍ以上１０ｍｍ以下の範囲であることが好ましく、概ね５ｍｍ以上７ｍｍ以下の範囲であることがより好ましい。

第１通過路１０９ａ〜１０９ｄの各径Ｄ１は、概ね５ｍｍ以上１５ｍｍ以下の範囲であることが好ましく、概ね８ｍｍ以上１２ｍｍ以下の範囲であることがより好ましい。

第１通過路１０９ａの径Ｄ１は、第２通過路１０６ａ〜１０８ａの径Ｄ２を大きくすることが好ましい。これにより、第２通過路１０６ａ〜１０８ａがより確実に減圧され、第２通過路１０６ａ〜１０８ａへの洗浄ガス６７の吸引がより確実になされる。第１通過路１０９ｂ，１０９ｃ，１０９ｄについても同様に、第２通過路１０６ｂ〜１０８ｂ，１０６ｃ〜１０８ｃ，１０６ｄ〜１０８ｄよりもそれぞれ内径を大きくすることが好ましい。

集合管１１１の内径Ｄ３は、第１通過路１０９ａ〜１０９ｄの径Ｄ１よりも大きくすることが好ましい。これにより、第１通過路１０９ａ〜１０９ｄがより確実に減圧され、排気部７１へ洗浄ガス６７がより確実に吸引される。

溝９３における第２通過路１０８ａ〜１０８ｄのピッチＬ１は、概ね１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲であることが好ましく、概ね２０ｍｍ以上４０ｍｍ以下の範囲であることがより好ましい。溝９１における第２通過路１０６ａ〜１０６ｄのピッチ、溝９２における第２通過路１０７ａ〜１０７ｄのピッチも同様である。

図３には、集合管８２に２本の管８２を接続している場合を示しているが、管８２の数は特に限定されない。管８２の数や、複数の管８２を設けた場合の管８２のピッチは、周面２１ａの幅方向Ｙにおけるフィン８５〜８８の長さＬ２や、集合管１１１の長さ、管８２の等に応じて設定すればよい。例えば、周面２１ａの幅方向Ｙにおけるフィン８５〜８８の長さＬ２、及び集合管１１１の長さが概ね３００ｍｍである場合には、内径が概ね２０ｍｍの管８２を周面２１ａの幅方向Ｙに並べて２つ配し、管８２のピッチを概ね１５０ｍｍにするとよい。なお、管８２のピッチとは、周面２１ａの幅方向Ｙにおいて並べて配された管８２と管８２との距離である。

また、第２通過路１０６ａ〜１０６ｄに代えて、あるいは加えて、溝９１の長手方向に延びたスリット状の開口を溝９１にもつような断面スリット形状の第２通過路（図示無し）としてもよい。第２通過路１０７ａ〜１０７ｄ、第２通過路１０８ａ〜１０８ｄについても同様である。

ラビリンスシール７７を、図５に示すラビリンスシール１２０に代えてもよい。ラビリンスシール１２０は、シールフィン部材（以下、フィン部材と称する）１２１〜１２５と、シフト機構１２７と、コントローラ１２８とを備える。フィン部材１２１〜１２５は、フィン８５〜８８と同様の断面略Ｖ字形をもつフィン１３１〜１３５を有する。これらのフィン１３１〜１３５の垂直面１３１ａ〜１３５ａが同じ方向を向くように組み合わされることで、ラビリンスシール１２０にはフィン１３１〜１３５の各間に溝が形成される。

フィン部材１２１〜１２５は、互いに摺接しながら垂直面１３１ａ〜１３５ａに沿った方向に変位自在とされている。シフト機構１２７は、フィン部材１２１〜１２５を変位させる。コントローラ１２８は、フィン部材１２１〜１２５の変位量を調整するためにシフト機構１２７を制御する。

各フィン部材１２１〜１２５は、周面２１ａから先端１２１ｃ〜１２５ｃまでの距離Ｌ３が互いに等しくなるように調整されて配される。これにより、先端１３１ｃ〜１３５ｃから周面２１ａまでの距離Ｌ３が互いに等しくなり、ラビリンスシール１２０によるシール効果がより高くなるので、ケーシング本体６４の内部に吸引されない微量な洗浄ガス６７をより確実にフィン１３１〜１３５の各間に滞留させる。滞留した洗浄ガス６７は、第１排気部７２により、孔１４０を通じて集合管１１１に案内され、管８２、ケーシング本体６４の内部を順次通って吸引、回収される。

ラビリンスシール１２０は、ラビリンスシール７７と同様に、内部を貫通する孔が形成されているので、高温になっても、外寸の変化が抑えられる。これにより、ラビリンスシール１２０が高温になっても、フィン１３１〜１３５は周面２１ａへ接触しない。なお、ラビリンスシール７６に代えて、ラビリンスシール１２０と同様のラビリンスシール（図示無し）を用いてもよい。

ラビリンスシール７７，１２０は、フィン８５〜８８の各間、フィン１３１〜１３５の各間から気体を吸引するので、周面２１ａからの距離がフィンの先端と同じスリット等から吸引される場合よりも非常に強い吸引力を示す。このため、既存のラビリンスシールに替えて設置することができるとともに、固化したドライアイスの付着がより確実に防止される。仮に、ラビリンスシール７７，１２０に固化したドライアイスが付着しても排気部７１により確実に吸引、回収される。

周面２１ａの移動速度が速い場合ほど、洗浄ガス６７の噴出量を多くしたり、吹出速度を速めることが好ましい。しかし、これらに伴い、従来のラビリンスシールにおいてはドライアイスの付着量が多くなる。したがって、ラビリンスシール７７，１２０及びこれを備える洗浄ユニット３１、ラビリンスシール７７，１２０を用いた洗浄方法は、周面２１ａの移動速度が速い場合ほど、以上の効果が顕著に得られる。

ラビリンスシール７７，１２０は、ドライアイスにより被洗浄物を洗浄する洗浄機５１とともに用いているが、他の洗浄機とともに用いてもよい。例えば、被洗浄物に液体を噴出して吹き付けて汚染物を除去する洗浄機とともに用いる場合には、汚染物とともに液体の吸引がより確実になるので、ケーシング本体６４の外部への液体及び汚染物の飛散がより確実に抑制される。また、洗浄機とともに用いなくても、温度変化が激しい環境下でシール効果を求められる場合に、ラビリンスシール７７，１２０は昇温に伴う外寸変化が抑えられるので、対向物にぶつかることなくシール効果を維持することができる。

また、洗浄ユニット３１は、ドライアイス粒子の吹き付けにより洗浄する場合に広く用いることができ、溶液製膜の流延支持体とは異なるものを洗浄する場合にも用いてよい。

以下、本発明においてドープ３３の原料となるポリマー及び溶媒は、溶液製膜によりフィルム４１を製造する公知のものでよい。洗浄ガス６７による洗浄が特に好ましいポリマーの例としてはセルロースアシレートが挙げられる。

以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

溶液製膜設備１０により、フィルム４１を製造した。ラビリンスシール７７の第２通過路１０６ａ〜１０６ｄ，１０７ａ〜１０７ｄ，１０８ａ〜１０８ｄの各径Ｄ２は、表１の「Ｄ２」欄（単位；ｍｍ）に示す。また、溝９３における第２通過路１０８ａ〜１０８ｄのピッチＬ１は、溝９２における第２通過路１０７ａ〜１０７ｄのピッチＬ１は、溝９１における第２通過路１０６ａ〜１０６ｄのピッチＬ１は、互いに等しく、表１の「Ｌ１」欄（単位；ｍｍ）に示す。なお、表１における「第２通過路の数」欄には、ひとつの第１通過路から分岐して形成された第２通過路の数を記載する。例えば、第１通過路１０９ａからは、３つの第２通過路１０６ａ、１０７ａ、１０８ａが分岐して形成されているので「３」である。第１通過路１０９ａと第１通過路１０９ｂと第１通過路１０９ｃと第１通過路１０９ｄとは、同じ構成としてあるので「３」となる。表１における「管８２の数」欄には、ひとつの集合管１１１に接続する管８２の数を記載する。ラビリンスシール７６に設ける集合管にもラビリンスシール７７と同じ数の管８２を接続させた。

ラビリンスシール７６，７７と周面２１ａとの間から汚染物や固化したドライアイス等が外部へ出てきたか否かを目視で評価した。出てきたことが確認された場合は不合格であり、出てきたことが確認されなかった場合は合格とした。この評価結果は、表１の「結果」欄に記載する。

第２通過路１０８ａ〜１０８ｄのピッチＬ１、第２通過路１０７ａ〜１０７ｄのピッチＬ１、第２通過路１０６ａ〜１０６ｄのピッチＬ１を、表１の「Ｌ１」に示すものとしたラビリンスシール７６，７７を用いた。また、各集合管１１１に接続する管８２をひとつとした。これら以外の条件は、実施例１と同じである。

実施例１と同様の方法で、ラビリンスシール７６，７７と周面２１ａとの間から汚染物や固化したドライアイス等が外部へ出てきたか否かを評価した。評価結果は表１に示す。

第２通過路１０８ａ〜１０８ｄのピッチＬ１、第２通過路１０７ａ〜１０７ｄのピッチＬ１、第２通過路１０６ａ〜１０６ｄのピッチＬ１を、表１の「Ｌ１」に示すものとしたラビリンスシール７６，７７を用いた。また、各集合管１１１に接続する管８２をひとつとした。これら以外の条件は、実施例１と同じである。

実施例１と同様の方法で、ラビリンスシール７６，７７と周面２１ａとの間から汚染物や固化したドライアイス等が外部へ出てきたか否かを評価した。評価結果は表１に示す。

［比較例１］
特許文献１に記載される洗浄装置を用いて、周面２１ａを洗浄した。すなわち、ラビリンスシール７６，７７に代えて、孔１０１〜１０４が形成されていないラビリンスシールを用いた。ラビリンスシールには、集合管１１１、管８２を設けていない。吸引は、ケーシング本体の周面２１ａに対向して設けた開放口からのみである。したがって、表１のＤ２、Ｌ１、第２通過路の数、管８２の数の各欄には「−」と記載する。

実施例１と同様の方法で、ラビリンスシールと周面２１ａとの間から汚染物や固化したドライアイス等が外部へ出てきたか否かを評価した。評価結果は表１に示す。

［比較例２］
ラビリンスシール７６，７７に代えて、特許文献２の図４に記載される空気流除去部を用い、この空気流除去部をドラム２１の回転方向におけるノズル５５の上流側に配した。空気流除去部のラビリンス構造の溝の数は３つであり、吸引は、ラビリンス構造に関してノズル５５とは反対側で実施した。ドラム２１の回転方向におけるラビリンス構造の上流側にある３つのスリットには、それぞれ吸引機構を設けた。吸引するスリットの開口は、ドラム２１の周面２１ａの幅方向に細長い矩形のスリット状である。

実施例１と同様の方法で、ラビリンスシールと周面２１ａとの間から汚染物や固化したドライアイス等が外部へ出てきたか否かを評価した。評価結果は表１に示す。

１０ 溶液製膜設備
１１ 流延装置
２１ ドラム ２１ａ 周面
３６ 流延膜
４１ フィルム
５１ 洗浄機
６４ ケーシング本体
７１，７２ 第１，第２排気部
７６，７７ ラビリンスシール
８５〜８８ フィン
９１〜９３ 溝
１０１〜１０４ 孔

Claims (8)

1. 互いに離間して略平行に設けられる複数のシールフィンを備え、
   気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が前記複数のシールフィンの間の溝に開口し、気体を吸引する吸引手段が前記孔の他端に接続されることを特徴とするラビリンスシール。
2. 前記孔が前記溝の長手方向に複数形成されていることを特徴とする請求項１記載のラビリンスシール。
3. ドライアイス粒子を噴出して被洗浄物の表面に当てることにより、被洗浄物の表面を洗浄する洗浄手段と、
   前記ドライアイス粒子が当てられる前記被洗浄物の表面を覆うケーシングと、
   前記ケーシングの内部の気体を吸引することにより、前記被洗浄物の表面から脱離した汚染物を回収する第１吸引手段と、
   前記ケーシングの前記被洗浄物に対向する対向部に設けられ、複数のシールフィンが互いに離間して略平行に設けられ、気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が前記複数のシールフィンの間の溝に開口するラビリンスシールと、
   前記孔の他端に接続し、前記孔を通じて前記シールフィンの周辺の気体を吸引する第２吸引手段とを備えることを特徴とする洗浄装置。
4. 前記孔が前記溝の長手方向に複数形成されていることを特徴とする請求項３記載の洗浄装置。
5. 前記被洗浄物は、溶液製膜のドープの流延と流延により形成された流延膜の剥ぎ取りとが繰り返し為される無端の流延支持体であり、
   前記流延膜が剥がされる剥取位置から前記ドープが流延される流延位置へ向かう前記流延支持体の表面に対向して設けられ、前記溝の長手方向を前記流延支持体の幅方向と略一致させたことを特徴とする請求項３または４記載の洗浄装置。
6. 前記ラビリンスシールは、前記流延支持体の表面の移動方向における前記洗浄手段の上流と下流との少なくともいずれか一方に配されることを特徴とする請求項５記載の洗浄装置。
7. ドライアイス粒子を被洗浄物の表面に当てて被洗浄物の表面を洗浄し、
   前記洗浄中に、前記ドライアイス粒子が当てられる前記被洗浄物の表面を覆うように設けたケーシングの内部の気体を吸引することにより、前記被洗浄物の表面から脱離した汚染物を回収するとともに、
   気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が互いに離間して略平行に配された複数のシールフィンの間の溝に開口し、前記ケーシングの前記被洗浄物に対向する対向部に設けられたラビリンスシールの前記孔を通じて、前記複数のシールフィンの周辺の気体を吸引することを特徴とする洗浄方法。
8. 長手方向に移動する無端の流延支持体の上に、ポリマーと溶媒とが含まれるドープを流延する流延工程と、
   前記流延工程により形成された流延膜を前記流延支持体から剥ぎ取る剥取工程と、
   前記剥取工程により剥ぎ取られた流延膜を乾燥してフィルムとする乾燥工程と、
   前記流延膜が剥ぎ取られる剥取位置から前記ドープが流延される流延位置に向かう前記流延支持体の前記ドープが流延される表面にドライアイス粒子を当てて前記表面を洗浄する洗浄工程とを有し、
   前記洗浄中に、前記ドライアイス粒子が当てられる前記流延支持体の表面を覆うように設けたケーシングの内部の気体を吸引することにより、前記表面から脱離した汚染物を回収するとともに、
   気体が通過するように貫通して形成された孔の一端が互いに離間して略平行に配された複数のシールフィンの間の溝に開口し、前記ケーシングの前記被洗浄物に対向する対向部に設けられたラビリンスシールの前記孔を通じて、前記複数のシールフィンの周辺の気体を吸引することを特徴とする溶液製膜方法。

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