JP2006289348A - シート状物の洗浄装置及びシート状物の洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】連続走行するシート状物に洗浄液を残留させることがなく洗浄液の残留痕、いわゆるウォ−ターマークを残さず、シート状物の外観不良を発生させることがなく、洗浄を行なうことができるシート状物の洗浄装置や、これを用いた洗浄方法を提供することにある。
【解決手段】実質的に水平に連続走行するシート状物上に設けられ、該シート状物の走行方向に直交する鉛直下向きの上流側ガス流と下流側ガス流とをそれぞれ噴出する上流側ガスノズルおよび下流側ガスノズルと、上流側ガス流および下流側ガス流間のシート状物上面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルとを有する洗浄装置であって、上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間のシート状物上面に残留する洗浄液を除去するガス流を噴出する可動ガスノズルを備えた。
【選択図】図２

Description

本発明は連続走行するシート状物を洗浄するシート状物の洗浄装置及び洗浄方法に関し、より詳しくは、シート状物の洗浄を行なった後に上面に残留する洗浄液量の減少を図り、洗浄液の残留痕が生じるのを抑制することができるシート状物の洗浄装置及び洗浄方法に関する。

重合性化合物を連続的に重合して板状の重合物を製造する方法として、同方向へ同一速度で走行し対向して配設された１対のエンドレスベルトの対向面間と、それらの両側辺部のベルトに挟まれた状態で同一速度で走行するガスケットとでシールされた空間に、その一端から液状原料の重合性化合物を供給し、エンドレスベルトの走行に伴い加熱などの重合手段が設けられたゾーンで重合せしめ、他端より板状製品の重合物を得る連続製板方法が知られている。このエンドレスベルトは、板状製品の製造に伴い、液状原料あるいは剥離剤などの添加物等によりベルト表面が徐々に汚染されてくる。エンドレスベルトの汚染が酷くなると製造される板状重合物表面外観や表面機能性を損ねてしまうため汚染物の除去が必要となるが、エンドレスベルト表面は高い表面平滑性を有するため、表面に傷等を発生させることなく汚染物を除去する必要があり、また除去する際の汚染物を含有する洗浄液の残留による除去斑や残留物が残ると製品外観を損ねてしまう。

シート状物の堆積物の除去方法として、洗浄されるシート状物上に洗浄液を供給し、その後エアナイフ等で洗浄液を除去乾燥する洗浄方法が知られている。このような洗浄方法を実施する装置としては、その一例として、シート状物を搬送する搬送装置、板状物へスプレー等で洗浄液を散布供給する洗浄液供給部、エアを供給しシート状物上の洗浄液を除去乾燥させる乾燥部などからなるものがある。

上記洗浄装置は液晶表示用ガラス基板に代表されるような枚葉洗浄に広く用いられており、このような洗浄装置による基板の洗浄においては、洗浄液が供給された基板が、上面に洗浄液を乗せながらエアナイフ等の洗浄液除去乾燥部へ搬送され、基板上の洗浄液はエアナイフ等を通過する際にエア圧によりその大部分は搬送上流側へと集められ、基板の搬送上流端から吹き飛ばされることで除去されている（特許文献１）。

しかしながらエンドレスベルトのような連続シート状物では枚葉式のような搬送方向での端部がないため、洗浄液の大部分はエアナイフ等を通過する際のエア圧により搬送方向上流側へ移動させられ洗浄液がシート状物上に占める領域は広範囲となる。洗浄液が必要以上に広範囲にベルト上に滞在すると周囲環境からの異物の混入等の影響により、洗浄液自体が汚染されてしまい洗浄効果を十分に得ることができない。

また、板状製品の製造に供されるエンドレスベルトの場合、ベルト上の汚染物の堆積量が増加した場合のみ洗浄を行えばよく、常時洗浄を行うことは圧縮エア、洗浄液の使用によりコスト的に不利となる。故に一定の頻度での洗浄とすることが必要となるが、洗浄終了後のベルト上に残留している洗浄液の処理が問題となる。

洗浄した後、洗浄液の供給を停止したとしても、前記したようにエアナイフ等のエア圧によりベルト上洗浄液の大部分は搬送上流側へ移動するのみで、長時間滞在による洗浄液汚染により洗浄効果を得られないばかりでなく、エア圧により徐々に洗浄液が乾燥していき、汚染物を含有する洗浄液の残留痕が発生し、ベルト外観が著しく損なわれることもある。

被乾燥物から水滴ミストを効率的に除去する方法として、例えば、被乾燥物に対して傾斜した状態で反搬送側に開口したエアーナイフを設置し、エアーナイフの反搬送側に吸気を行う吸気ダクトをエアーナイフと平行して設けたエアーナイフ装置が報告されているが、洗浄液除去を行うと、該エアーナイフの搬送上流側ベルト端上の洗浄液が液溜まりとなって他方のベルト端方向に移動させられベルトエッジから落下するため、液溜まりが移動しながら乾燥されることによりウォーターマークが発生し、ベルト外観が損なわれるという問題がある（特許文献２）。

また他の方法として、ベルトを搬送方向に対し垂直方向に傾けることも考えられるが、エンドレスベルトの場合、著しいベルトの蛇行等の搬送自体に影響を生じるため現実的ではない。
特開２０００−２４６１９１号公報 特開平７−３５４７８号公報

本発明の課題は、連続走行するシート状物に洗浄液を残留させることがなく洗浄液の残留痕、いわゆるウォ−ターマークを残さず、シート状物の外観不良を発生させることがなく、洗浄を行なうことができるシート状物の洗浄装置や、これを用いた洗浄方法を提供することにある。

本発明者らは鋭意研究の結果、実質的に水平に連続走行するシート状物の上面に洗浄液を供給し、この洗浄液を、１対のガスノズルからそれぞれシート状物の走行方向に対し直交方向で鉛直下向きに壁状となるようにガス流を噴出させて、この間のシート状物上面に保持し、余剰の洗浄液はシート状物の側辺から落下させ、シート状物上面の洗浄液を下流側のガス流によりシート状物上面から除去して洗浄を行い、その後、この１対のガスノズル間のシート状物上面にガス流を噴出する可動ガスノズルを設け、シート状物上面に残留する洗浄液を除去することでシート状物上面に洗浄液の残留痕、いわゆるウォーターマークの発生を抑制することができることの知見を得た。特に、この可動ガスノズルをシート状物の走行方向に直交する水平方向に可動し、残留する洗浄液をシート状物の側辺から落下させて除去することにより、ウォーターマークの発生を著しく低減させシート状物の外観を損なわずに洗浄を完結させることができることを見出し、かかる知見に基づき、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明は、実質的に水平に連続走行するシート状物上に設けられ、該シート状物の走行方向に直交する鉛直下向きの上流側ガス流と下流側ガス流とをそれぞれ噴出する上流側ガスノズルおよび下流側ガスノズルと、上流側ガス流および下流側ガス流間のシート状物上面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルとを有する洗浄装置であって、
上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間のシート状物上面に残留する洗浄液を除去するガス流を噴出する可動ガスノズルを備えたシート状物の洗浄装置に関する。

また、本発明は、実質的に水平に連続走行するシート状物上に設けられる上流側ガスノズルおよび下流側ガスノズルからそれぞれシート状物の走行方向に直交する鉛直下向きの上流側ガス流と下流側ガス流を噴出させ、この１対のガス流間のシート状物上面に洗浄液を供給し、上流側ガス流の上流側および下流側ガス流の下流側へ洗浄液が流出するのを抑制すると共に余剰の洗浄液をシート状物の側辺から落下させ、下流側ガス流によりシート状物上面から洗浄液を除去して洗浄を行った後、洗浄液の供給を停止し上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間に設けられる可動ガスノズルからガス流を噴出してシート状物上面に残留する洗浄液の除去を行なうシート状物の洗浄方法に関する。

本発明のシート状物の洗浄装置や洗浄方法においては、連続走行するシート状物の洗浄面に残留する洗浄液を低減させ、洗浄液の残留痕、いわゆるウォ−ターマークを残さず、シート状物の外観不良を発生させることがなく、洗浄を行なうことができる。

以下、本発明のシート状物の洗浄装置を図１の概略構成側面図、図２の概略構成上面図を参照して説明する。

本発明のシート状物の洗浄装置は、実質的に水平に連続走行するシート状物１上に設けられ、該シート状物の走行方向に直交する鉛直下向き上流側ガス流と下流側ガス流とをそれぞれ噴出する上流側ガスノズル４および下流側ガスノズル６と、上流側ガス流および下流側ガス流間のシート状物上面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル５とを有する洗浄装置であって、上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間のシート状物上面に残留する洗浄液を除去するガス流を噴出する可動ガスノズル７を備えたものであれば、特に制限されるものではない。

本発明のシート状物の洗浄装置における被洗浄物であるシート状物は、実質的に水平に一方向へ連続的に走行する帯状のシート状物であればよい。シート状物は厳密に水平であることまでは要求されず、シート状物が実質的に水平であることは、洗浄液によりシート状物の洗浄領域である一定領域に洗浄液を行き亘らせ堆積できる程度の状態であればよい。シート状物において、水平方向のフラット性を実質的に保持するため、シート状物の走行方向に沿って張力をかけることもでき、シート状物として、図示のように、１対のプーリ２、３に懸架され、これらのうちのモーターの軸に接続される主プーリの回転により搬送されて走行するエンドレスベルト１は安定した洗浄を行なうことができるため、好ましいものとして挙げることができる。

上記シート状物の走行方向は、シート状物の長手方向であり、順次洗浄を行うため、一方向とする。また、シート状物の走行速度としては、汚染物の程度との関連において使用する洗浄液の種類、濃度、供給量などによりシート状物の汚染物の溶解、除去に要する時間や、シート状物上面の洗浄が行なわれる上流側ガスノズル４と下流側ガスノズル６間の長さなどとの関係から定めることができる。シート状物上に堆積する洗浄液の安定性の観点、下流側エアノズルによる洗浄水の除去・乾燥斑防止の観点から、例えば、２０ｍ／ｍｉｎ以下などとすることができ、好ましくは１０ｍ／ｍｉｎ以下である。シート状物の材質としては、特に制限はなく、例えば樹脂、金属等いずれのものも使用できる。

本発明のシート状物の洗浄装置に用いられる洗浄液供給ノズルは、シート状物上に設けられ、洗浄液をシート状物上面へ供給するものであり、後述する可動ガスノズルの動作に伴いシート状物上から退避できる機構を備えているか、または着脱自在になっていることが好ましい。洗浄液供給ノズルの形状としては、特に制限されずその開口がスポット状やスリット状あるいは楕円状であってもよく、例えば、スポット状の開口の場合、複数をシート状物の幅方向に一列に配列して設けたものなどであってもよい。また、このような洗浄液供給ノズルを上流から下流に複数設け、順次洗浄液を供給することにより、汚染物が徐々に除去され汚染物の濃度が徐々に低減され下流になるほど清浄度の高い洗浄液で洗浄を行うこともできる。

このような洗浄液供給ノズルからの洗浄液の供給量は、汚染物の種類、濃度、シート状物の走行速度、その幅などにより、適宜選択することができ、シート状物の上面に堆積、滞留し、シート状物上面に堆積可能な液量より過剰量がシート状物の側辺から流れ落ち、シート状物上の洗浄液が更新されるような供給量とすることができる。シート状物の側辺下には、側辺から落下した洗浄液を回収するための洗浄液受８が設けられることが好ましい。

上記洗浄液としては、シート状物の汚染物質などにより、その溶解性などから有機溶剤、アルコール類、純水等を適宜選択することができ、例えば、有機溶剤としてトルエン、アセトン、アルコール類としてエタノール、イソプロピルアルコール等を挙げることができる。また、洗浄液の粘度もしくはシート状物との濡れ性などを適宜調整し、シート状物に堆積、滞留する時間などを調整することもできる。シート状物の汚染物が水に溶解するものである場合は洗浄液のコスト面と、廃液処理の容易さの面から純水を用いることができ、洗浄後の洗浄斑を防止する観点から、導電率の異なる純水を使い分けることもできる。

このような洗浄液供給ノズルの上流側と下流側に設けられる上流側ガスノズルおよび下流側ガスノズルは、洗浄液供給ノズルの上流側と下流側にシート状物の走行方向に対して直交する鉛直下向きの上流側ガス流と下流側ガス流とをそれぞれ噴出するものであれば、特に制限されるものではないが、上流側ガス流において洗浄液をその上流側へ流出するのを抑制する壁状の作用をし、また、下流側ガス流において洗浄液をその下流側へ流出するのを抑制する壁状の作用をし、かつシート状物上面の洗浄液を除去する作用を有するガス流を形成するため、スリット状の開口を有し、その開口をシート状物の幅方向に対向して配置されたスリットタイプエアナイフが好ましい。シート状物の走行方向に対して直交する鉛直下向きに噴出するこの１対のガス流により、シート状物の洗浄領域が定められ、シート状物の走行に伴いこの洗浄領域にシート状物が順次搬送され洗浄が行われるようになっている。ガスノズルとシート状物とのクリアランスは、ノズルの形式等により適宜選択できるが、クリアランスが狭すぎるとシート状物と接触してシート状物に傷が入る危険があり、反対に広すぎると供給ガス圧を高く設定する必要があるので、コスト的に不利になるため、好ましくは１〜５０ｍｍである。

供給ガスの圧力としてはガスノズルより噴出するガス圧による洗浄液飛沫が生じない範囲の加圧ガスとすることが好ましい。ガスの供給量としては、洗浄液除去乾燥性や、ガスノズル形式やガスノズルとベルトとのクリアランスにより適宜選択することができ、例えば、ガスノズル長１ｍに対し、０．５〜５Ｎｍ³／ｍｉｎなどとすることができる。使用するガス種としては、空気や不活性ガスなどを挙げることができ、被洗浄物が酸素を嫌うものであれば、窒素に代表される不活性ガス等が好ましい。

このような上流側ガスノズル４と下流側ガスノズル６間には可動ガスノズル７が設けられる。可動ガスノズルはシート状物上面に残留する洗浄液の除去を行うようなガス流を噴出することができれば、その形状などは限定されないが、図２に示すように、上流側ガスノズルから下流側ガスノズルに亘るスリット状開口を有し、上流側ガスノズル４や下流側ガスノズル６と同様に洗浄液の除去乾燥性がよいことからスリットタイプエアナイフが好ましい。可動ガスノズル７とシート状物とのクリアランスは、ノズル形式等により適宜選択することができるが、クリアランスが狭すぎるとシート状物との接触の可能性があり、また広すぎるとガス流形成のための圧縮ガス圧を高く設定する必要があるので、好ましくは１〜５０ｍｍである。

このような可動ガスノズルはシート状物の走行方向に対して直交する水平方向に移動可能であることが、シート状物の走行方向に対して直交する水平方向に移動してシート状物上面に残留する洗浄液をシート状物の側辺から落下させることができるため好ましい。

このような可動ガスノズルから噴出するガスの種類については、窒素に代表される不活性ガスや空気等が挙げられるが、上流側ガスノズル、下流側ガスノズルから噴出するガス種と同種であることが、装置の簡便化の点から好ましい。可動ガスノズルから噴出するガス供給量としては残留洗浄液の除去乾燥性や可動エアノズルより噴出するガス圧による洗浄液の跳ねがないように選択することが好ましく、可動ガスノズルの形状や該ノズルとシート状物とのクリアランスにより適宜選択することができるが、好ましくは、可動ガスノズル長１ｍに対し、０．５〜５Ｎｍ³／ｍｉｎである。

本発明のシート状物の洗浄方法は、実質的に水平に連続走行するシート状物上に設けられる上流側ガスノズルおよび下流側ガスノズルからそれぞれシート状物の走行方向に直交する鉛直下向きに上流側ガス流と下流側ガス流を噴出させ、この１対のガス流間のシート状物上面に洗浄液を供給し、上流側ガス流の上流側および下流側ガス流の下流側へ洗浄液が流出するのを抑制すると共に余剰の洗浄液をシート状物の側辺から落下させ、下流側ガス流によりシート状物上面から洗浄液を除去して洗浄を行った後、洗浄液の供給を停止し上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間に設けられる可動ガスノズルからガス流を噴出してシート状物上面に残留する洗浄液の除去を行なう方法であれば、特に制限されないが、上記本発明のシート状物の洗浄装置を用いて行なうことが好ましい。

本発明のシート状物の洗浄方法においては、洗浄液供給ノズルの、例えば、スリット状開口から、連続走行するシート状物上面へ洗浄液が供給される。このとき、洗浄液供給ノズルの上流側に設けられる上流側ガスノズルの、例えば、スリット状開口から、シート状物の走行方向に直交する鉛直下向きの上流側ガス流を噴出し、この上流側ガス流が壁状となって、これより上流に洗浄液が流出するのを堰き止める。シート状物上面に供給される洗浄液は、その上面に堆積可能な量を超えて供給されると、堆積可能量を超過した量が、シート状物上面に堆積する洗浄液を更新しつつシート状物の側辺から順次落下し、洗浄液受に回収される。更に洗浄液供給ノズルの下流側に設けられる下流側ガスノズルの、例えば、スリット状開口から、シート状物の走行方向に直交する鉛直下向きの下流側ガス流を噴出し、この下流側ガス流によりシート状物上面の洗浄液はシート状物上面から除去され、それより下流に流出するのが抑制される。

このようにしてシート状物の走行に伴い、シート状物の未洗浄部分が上記ガス流間の洗浄領域に搬送され順次洗浄が行われ、エンドレスベルトが一巡、あるいは汚染物が十分除去されるまで数巡し、シート状物上面から汚染物が除去された後、洗浄液ノズルからの洗浄液の供給を停止する。洗浄液ノズルを、上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間から退出させ、あるいは、取り外し、可動ガスノズルがその移動を妨げられないようにした後、可動ガスノズルからガス流を噴出させながら、図３に示すように、上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間をシート状物の走行方向に対して直交する水平方向に移動させる。上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間のシート状物上面に残留する洗浄液を移動させ、シート状物の側辺から洗浄液を落下させ除去する。可動ガスノズルがシート状物を横断して移動することにより、上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間のシート状物上面の残留洗浄液は除去され、ウォーターマーク等の発生が抑制でき、シート状物の外観が損なわれることを抑制できる。可動ガスノズルの移動速度は、残留洗浄液の長期滞在による洗浄液汚染を防ぐためにシート状物の搬送速度以上であることが好ましい。

また、本発明のシート状物の洗浄方法は、洗浄液による洗浄に先立ち、連続走行するシート状物上へ上流側ガスノズルから上流側ガス流の噴出を開始して異物の除去を行い、前記上流側ガス流の噴出を開始したシート状物の部位が下流側ガスノズル下を通過した後、洗浄液による洗浄を開始することが好ましい。シート状物の洗浄液による洗浄に先立ち、上流側ガスノズルから噴出する上流側ガス流によって、異物の除去を行うことにより、洗浄開始点に出現する薄いウォーターマークすらも生じさせることなく洗浄を行うことができる。

まず第一の操作として上流側ガスノズル４からガスを噴出させる。この操作により上流側ガスノズル４より上流側のシート状物上に堆積している異物を上流側ガスノズル４から噴出させる上流側ガス流により除去する。次に、走行速度から算出されるシート状物の上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間の通過時間以上の時間の経過後、下流側ガスノズルから下流側ガス流を噴出させる。第一の操作により、表面に付着していた異物が上流側ガス流により除去されながら、シート状物は下流側へと走行し、下流側ガスノズル６下に上流側ガス流の噴出を開始したシート状物の部位が到達した時点で、上流側ガスノズル４と下流側ガスノズル６間の洗浄エリアにあるシート状物表面の異物が予備的に除去される。続いて、上記洗浄液による洗浄を行うことにより、洗浄液の汚染の低減を図り、ウォーターマークの痕跡を残さずに洗浄を行うことができる。

以下、本発明を実施例により更に詳しく説明するが、本発明の技術的範囲はこれに限定されるものではない。
［実施例１］
本発明のシート状物の洗浄装置として、図１の装置を用い、エンドレスベルトの洗浄を行った。

図１に示すシート状物の洗浄装置は、全長１０ｍであり、エンドレスベルト１は厚さ１.５ｍｍ、幅が２ｍであり、油圧により３０ＭＰａの張力を負荷した。エンドレスベルトの走行速度を１ｍ／ｍｉｎに設定した。エンドレスベルト上部には走行方向上流側より、上流側ガスノズル４、洗浄液供給ノズル５、下流側ガスノズル６を５００ｍｍピッチでベルト進行方向に対し直交するように配置した。洗浄液供給ノズル５は開口部が楕円状の広角フラットスプレータイプを使用した。上流側ガスノズル４、下流側ガスノズル６は幅方向長さ２．１ｍのスリットタイプノズルを用い、そのスリット間隙は０．１５ｍｍとした。また該各ノズル４、６とベルトとのクリアランスを１５ｍｍに設定した。

また、走行方向上流側より見て右側の上流側ガスノズル４、下流側ガスノズル６間に、図２に示すように、可動ガスノズル７を配した。可動ガスノズル７は幅方向長さ０．９５ｍのスリットタイプノズルを用い、そのスリット間隙は０．１５ｍｍとした。また可動ガスノズル７とエンドレスベルト上に移動させたときのエンドレスベルトとのクリアランスを１５ｍｍに設定した。

以上の装置構成より上流側ガスノズル４から１．８Ｎｍ³／ｍｉｎのエア、洗浄液供給ノズル５から４０Ｌ／ｍｉｎの純水、下流側ガスノズル６から２．４Ｎｍ³／ｍｉｎのエアを総て同時に供給を開始し、エンドレスベルトの洗浄を開始した。洗浄中には洗浄性、水切性に問題はなくベルト上にウォーターマークなどの外観欠陥は見られなかった。

エンドレスベルト１周洗浄を行った後洗浄を完結させるべく、洗浄液供給ノズル５から純水の供給を停止し、洗浄液供給ノズル５をエンドレスベルト上方へと上げたが、上流側ガスノズル４、下流側ガスノズル６間のエンドレスベルト上のほぼ全域に洗浄液が残留していた。その後可動ガスノズル７から１．２Ｎｍ³／ｍｉｎのエアを供給し、３ｍ／ｍｉｎの速さでエンドレスベルト１上を横断させた。可動ガスノズルの横断に伴い、移動方向下流のエンドレスベルトエッジから洗浄液が落下した。

可動ガスノズル７横断完了後、エンドレスベルト全周に亘り表面外観を目視で観察したところ、洗浄開始点の薄いウォーターマークを除いてウォーターマーク等の欠陥は確認されなかった。
［比較例］
可動ガスノズル７を配していないことを除き、実施例１の装置及び条件にて洗浄を行った。洗浄中には洗浄性、水切性に問題はなくエンドレスベルト上にウォーターマークなどの外観欠陥は見られなかった。

エンドレスベルト１周洗浄を行った後洗浄を完結させるべく、洗浄液供給ノズル５から純水の供給を停止し、洗浄液供給ノズル５をエンドレスベルト上方へと上げたが、実施例と同様に上流側ガスノズル４、下流側ガスノズル６間のエンドレスベルト上面ほぼ全域に洗浄液が残留しており、残留洗浄液は徐々に乾燥が進行し減少していったが、洗浄液供給停止から６０分後も残留していた。洗浄部を除いたベルト表面外観を目視にて観察したところ、筋状及び水滴状のウォーターマークが無数に発生していた。
［実施例２］
洗浄開始時において、まず第一の操作として上流側ガスノズル４からガスを噴出させ、続いて２分後に下流側ガスノズルからガスを噴出させた後に洗浄液供給ノズル５より洗浄液をベルト上に供給したこと以外は実施例１と同様にしてエンドレスベルトの洗浄を行った。

可動ガスノズル７横断完了後、エンドレスベルト全周に亘り表面外観を目視で観察した
ところ、洗浄開始点も含めてウォーターマーク等の欠陥は全く確認されなかった。

本発明のシート状物の洗浄装置の一例の模式的側面図を示す図である。 本発明のシート状物の洗浄装置の一例の模式的上面図を示す図である。 本発明のシート状物の洗浄装置の一例の模式的概略図を示す図である。

符号の説明

１ エンドレスベルト（シート状物）
４ 上流側ガスノズル
５ 洗浄液供給ノズル
６ 下流側ガスノズル
７ 可動ガスノズル
8 洗浄液受

Claims (7)

1. 実質的に水平に連続走行するシート状物上に設けられ、該シート状物の走行方向に直交する鉛直下向きの上流側ガス流と下流側ガス流とをそれぞれ噴出する上流側ガスノズルおよび下流側ガスノズルと、上流側ガス流および下流側ガス流間のシート状物上面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルとを有する洗浄装置であって、
   上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間のシート状物上面に残留する洗浄液を除去するガス流を噴出する可動ガスノズルを備えたシート状物の洗浄装置。
2. 可動ガスノズルが、上流側ガスノズルから下流側ガスノズルに亘るスリット状開口を有し、シート状物の走行方向に対して直交する水平方向に移動するものである請求項１記載のシート状物の洗浄装置。
3. シート状物が、エンドレスベルトである請求項１または２記載のシート状物の洗浄装置。
4. 実質的に水平に連続走行するシート状物上に設けられる上流側ガスノズルおよび下流側ガスノズルからそれぞれシート状物の走行方向に直交する鉛直下向きの上流側ガス流と下流側ガル流を噴出させ、この１対のガス流間のシート状物上面に洗浄液を供給し、上流側ガス流の上流側および下流側ガス流の下流側へ洗浄液が流出するのを抑制すると共に余剰の洗浄液をシート状物の側辺から落下させ、下流側ガス流によりシート状物上面から洗浄液を除去して洗浄を行った後、洗浄液の供給を停止し上流側ガスノズルと下流側ガスノズル間に設けられる可動ガスノズルからガス流を噴出してシート状物上面に残留する洗浄液の除去を行なうシート状物の洗浄方法。
5. 可動ガスノズルが、上流側ガスノズルから下流側ガスノズルに亘るスリット状開口を有し、シート状物の走行方向に対して直交方向に移動し、シート状物上面に残留する洗浄液をシート状物の側辺から落下させる請求項４記載のシート状物の洗浄方法。
6. 洗浄液による洗浄に先立ち、連続走行するシート状物上へ上流側ガスノズルから上流側ガス流の噴出を開始して異物の除去を行い、前記上流側ガス流の噴出を開始したシート状物の部位が下流側ガスノズル下を通過した後、洗浄液による洗浄を開始する請求項４または５記載のシート状物の洗浄方法。
7. シート状物がエンドレスベルトである請求項４〜６のいずれか記載のシート状物の洗浄方法。

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