[go: up one dir, main page]

JP2013170593A - Bearing, motor device, and robotic system - Google Patents

Bearing, motor device, and robotic system Download PDF

Info

Publication number
JP2013170593A
JP2013170593A JP2012033168A JP2012033168A JP2013170593A JP 2013170593 A JP2013170593 A JP 2013170593A JP 2012033168 A JP2012033168 A JP 2012033168A JP 2012033168 A JP2012033168 A JP 2012033168A JP 2013170593 A JP2013170593 A JP 2013170593A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing
shape
axial direction
rotating shaft
open end
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012033168A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masashi Okada
正思 岡田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP2012033168A priority Critical patent/JP2013170593A/en
Publication of JP2013170593A publication Critical patent/JP2013170593A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Motor Or Generator Frames (AREA)
  • Support Of The Bearing (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)

Abstract

【課題】軸受と回転軸との間での当該回転軸の径方向の相対的な変動を低減すること。
【解決手段】軸受は、回転軸の周面の近傍に配置される第1面を有する支持部と、前記周面と前記第1面との間に配置される複数の転動部と、を備え、前記支持部は、前記第1面に形成された開放端を有するスリットを有し、前記開放端は、前記回転軸の軸方向と直交する方向視において、前記軸方向に対して非平行な形状を有する。
【選択図】図1
An object of the present invention is to reduce the relative fluctuation in the radial direction of a rotating shaft between a bearing and the rotating shaft.
A bearing includes a support portion having a first surface disposed in the vicinity of a peripheral surface of a rotating shaft, and a plurality of rolling portions disposed between the peripheral surface and the first surface. The support portion has a slit having an open end formed in the first surface, and the open end is non-parallel to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft. Have a different shape.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、軸受、モータ装置及びロボット装置に関する。   The present invention relates to a bearing, a motor device, and a robot device.

例えば旋回系機械を駆動させるアクチュエータとして、モータ装置が用いられている。(例えば、特許文献1参照)このようなモータ装置として、例えば電動モータや超音波モータなど、高トルクを発生させることが可能なモータ装置が広く知られている。また、モータ装置は、回転軸を回転駆動させる駆動部と、回転軸を回転可能に支持する軸受とを備える構成となっている(例えば、特許文献2参照)。   For example, a motor device is used as an actuator for driving a turning machine. (For example, refer patent document 1) As such a motor apparatus, the motor apparatus which can generate high torque, such as an electric motor and an ultrasonic motor, is known widely. Moreover, the motor device has a configuration including a drive unit that rotationally drives the rotation shaft and a bearing that rotatably supports the rotation shaft (see, for example, Patent Document 2).

このようなモータ装置において、例えば軸受と回転軸との間に隙間が形成されている場合や、軸受が弾性変形する場合などには、軸受と回転軸とが回転軸の径方向(ラジアル方向)に相対的に移動する場合がある。このような相対移動はモータ装置の安定した駆動の妨げとなる。   In such a motor device, for example, when a gap is formed between the bearing and the rotating shaft, or when the bearing is elastically deformed, the bearing and the rotating shaft are in the radial direction (radial direction) of the rotating shaft. It may move relative to. Such relative movement hinders stable driving of the motor device.

特開平2−311237号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2-311237 特開平10−196649号公報JP-A-10-196649

近年では、ヒューマノイドロボットの関節部分など、より精密な部分を駆動させるモータ装置が求められており、電動モータや超音波モータなどの既存のモータにおいてもトルクの制御性等、細密で高精度な駆動を行うことができる構成が求められている。また、例えば上述のようなモータ装置において、軸受と回転軸との間における回転軸の径方向への相対的な変動は回避されることが求められている。   In recent years, motor devices that drive more precise parts such as the joint parts of humanoid robots have been demanded, and even with existing motors such as electric motors and ultrasonic motors, precise and high-precision driving such as torque controllability is required. There is a need for a configuration that can perform the above. Further, for example, in the motor device as described above, it is required to avoid a relative fluctuation in the radial direction of the rotating shaft between the bearing and the rotating shaft.

しかしながら、上述のようなモータ装置の構成においては、例えば、軸受の剛性を大きくすると軸受の回転抵抗が大きくなるために、又は、軸受の回転抵抗を小さくすると軸受の剛性が小さくなるために、軸受と回転軸との間における回転軸の径方向への相対的な変動が生じてしまう場合がある。   However, in the configuration of the motor device as described above, for example, if the bearing rigidity is increased, the bearing rotational resistance increases, or if the bearing rotational resistance is decreased, the bearing rigidity decreases. There may be a case where a relative variation in the radial direction of the rotating shaft occurs between the rotating shaft and the rotating shaft.

本発明に係る態様は、軸受と回転軸との間での当該回転軸の径方向の相対的な変動を低減することが可能な軸受、モータ装置及びロボット装置を提供することを目的とする。   The aspect which concerns on this invention aims at providing the bearing, motor apparatus, and robot apparatus which can reduce the relative fluctuation | variation of the radial direction of the said rotating shaft between a bearing and a rotating shaft.

本発明に係る一態様の軸受は、回転軸の周面の近傍に配置される第1面を有する支持部と、前記周面と前記第1面との間に配置される複数の転動部と、を備え、前記支持部は、前記第1面に形成された開放端を有するスリットを有し、前記開放端は、前記回転軸の軸方向と直交する方向視において、前記軸方向に対して非平行な形状を有する。   A bearing according to an aspect of the present invention includes a support portion having a first surface disposed in the vicinity of the peripheral surface of the rotating shaft, and a plurality of rolling portions disposed between the peripheral surface and the first surface. And the support part has a slit having an open end formed in the first surface, and the open end is in a direction perpendicular to the axial direction of the rotating shaft with respect to the axial direction. And have a non-parallel shape.

本発明に係る一態様の軸受は、回転軸の周面の近傍に配置される第1面を有する支持部と、前記周面と前記第1面との間に配置される複数の転動部と、を備え、前記支持部は、前記第1面に形成された開放端を有するスリットを有し、前記開放端は、前記回転軸の軸方向における、前記スリットの両端である第1端と第2端とを有し、前記第1端及び前記第2端は、周方向において、互いにずれた位置を有する。   A bearing according to an aspect of the present invention includes a support portion having a first surface disposed in the vicinity of the peripheral surface of the rotating shaft, and a plurality of rolling portions disposed between the peripheral surface and the first surface. And the support portion has a slit having an open end formed on the first surface, and the open end is a first end that is both ends of the slit in the axial direction of the rotation shaft. A second end, and the first end and the second end are offset from each other in the circumferential direction.

本発明に係る一態様の軸受は、回転軸の周面の近傍に配置される第1面を有する支持部と、前記周面と前記第1面との間に配置される複数の転動部と、を備え、前記支持部は、前記第1面に形成された開放端を有するスリットを有し、前記開放端は、前記回転軸の軸方向と直交する方向視において、前記軸方向に対して平行な第1形状と、前記軸方向に対して非平行な第2形状とを含む形状を有し、前記回転軸の軸方向に沿った前記第1形状の長さは、前記転動部のそれに比べて短い。   A bearing according to an aspect of the present invention includes a support portion having a first surface disposed in the vicinity of the peripheral surface of the rotating shaft, and a plurality of rolling portions disposed between the peripheral surface and the first surface. And the support part has a slit having an open end formed in the first surface, and the open end is in a direction perpendicular to the axial direction of the rotating shaft with respect to the axial direction. A first shape that is parallel to the axial direction and a second shape that is non-parallel to the axial direction, and the length of the first shape along the axial direction of the rotating shaft is the rolling part Short compared to that.

本発明に係る一態様のモータ装置は、回転軸を回転駆動させる駆動部と、当該回転軸を回転可能に支持する軸受とを備え、当該軸受として、上記態様に従う軸受が用いられている。   The motor device according to one aspect of the present invention includes a drive unit that rotationally drives the rotating shaft and a bearing that rotatably supports the rotating shaft, and the bearing according to the above aspect is used as the bearing.

本発明に係る一態様のロボット装置は、従えば、回転軸部材と、当該回転軸部材を回転させるモータ装置とを備え、当該モータ装置として、上記態様に従うモータ装置が用いられている。   Accordingly, the robot device according to one aspect of the present invention includes a rotating shaft member and a motor device that rotates the rotating shaft member, and the motor device according to the above aspect is used as the motor device.

本発明に係る態様によれば、軸受と回転軸との間での当該回転軸の径方向の相対的な変動を低減することが可能となる。   According to the aspect of the present invention, it is possible to reduce the relative variation in the radial direction of the rotary shaft between the bearing and the rotary shaft.

本発明の第一実施形態に係るモータ装置の構成を示す図。The figure which shows the structure of the motor apparatus which concerns on 1st embodiment of this invention. 本実施形態に係るモータ装置の構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the structure of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の軸受基板の構成を示す図。The figure which shows the structure of the bearing board | substrate of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の軸受基板の構成を示す斜視図。The perspective view which shows the structure of the bearing board | substrate of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の軸受基板の構成を示す図。The figure which shows the structure of the bearing board | substrate of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の駆動基板の構成を示す図。The figure which shows the structure of the drive substrate of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の伝達基板の構成を示す図。The figure which shows the structure of the transmission board | substrate of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の一部の構成を示す図。The figure which shows the structure of a part of motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の一部の構成を示す図。The figure which shows the structure of a part of motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の特性を示すグラフ。The graph which shows the characteristic of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。The figure which shows operation | movement of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。The figure which shows operation | movement of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。The figure which shows operation | movement of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。The figure which shows operation | movement of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の軸受基板の動作を示す図。The figure which shows operation | movement of the bearing board | substrate of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の軸受基板の動作を示す図。The figure which shows operation | movement of the bearing board | substrate of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るモータ装置の製造工程を示す図。The figure which shows the manufacturing process of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本発明の第二実施形態に係るロボットハンドの構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the structure of the robot hand which concerns on 2nd embodiment of this invention. 本実施形態に係るモータ装置の他の構成を示す図。The figure which shows the other structure of the motor apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る不連続部の変形例を示す図。The figure which shows the modification of the discontinuous part which concerns on this embodiment.

[第1実施形態]
以下、図面に基づき、本発明の第1実施形態を説明する。
図1は、本実施形態に係るモータ装置MTRの一例を示す概略構成図である。図2は、図1におけるA−A´断面に沿った構成を示す図である。
[First Embodiment]
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a motor device MTR according to the present embodiment. FIG. 2 is a diagram showing a configuration along the AA ′ cross section in FIG. 1.

図1及び図2に示すように、モータ装置MTRは、回転軸SFと、当該回転軸SFに対して回転駆動力を伝達させる伝達基板TSと、回転駆動力を発生させる駆動基板DSと、伝達基板TS及び駆動基板DSを保持する軸受基板HSと、駆動基板DSによる回転駆動を制御する制御装置CONTとを有している。モータ装置MTRは、回転軸SFに対して伝達基板TS、駆動基板DS及び軸受基板(軸受)HSが取り付けられた構成である。回転軸SFは、例えば円筒状に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the motor device MTR includes a rotation shaft SF, a transmission board TS that transmits a rotational driving force to the rotation shaft SF, a driving board DS that generates a rotational driving force, and a transmission It has a bearing substrate HS that holds the substrate TS and the drive substrate DS, and a control device CONT that controls rotational drive by the drive substrate DS. The motor device MTR has a configuration in which a transmission board TS, a driving board DS, and a bearing board (bearing) HS are attached to a rotating shaft SF. The rotating shaft SF is formed in a cylindrical shape, for example.

以下、各図の説明においてはXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。回転軸SFの軸方向をZ軸方向とし、当該Z軸方向に垂直な平面上の直交方向をそれぞれX軸方向及びY軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸周りの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。   Hereinafter, in the description of each drawing, an XYZ orthogonal coordinate system is set, and the positional relationship of each member will be described with reference to this XYZ orthogonal coordinate system. An axial direction of the rotation axis SF is defined as a Z-axis direction, and orthogonal directions on a plane perpendicular to the Z-axis direction are defined as an X-axis direction and a Y-axis direction, respectively. Further, the rotation (inclination) directions around the X axis, the Y axis, and the Z axis are the θX, θY, and θZ directions, respectively.

回転軸SFのZ方向の実質的に中央部には、駆動基板DSが例えば2つ重ねて配置されている。当該2つの駆動基板DSに対してZ軸方向の両側(+Z側及び−Z側)には、伝達基板TSが例えば2つずつ重ねて設けられている。2つの駆動基板DS及び4つの伝達基板TSはそれぞれZ軸方向において接触しており、基板位置決め部材AL(図1参照)によって連結されている。   For example, two drive substrates DS are stacked in a substantially central portion in the Z direction of the rotation axis SF. For example, two transmission boards TS are provided so as to overlap each other on both sides (+ Z side and −Z side) in the Z-axis direction with respect to the two drive boards DS. The two drive substrates DS and the four transmission substrates TS are in contact with each other in the Z-axis direction and are connected by a substrate positioning member AL (see FIG. 1).

基板位置決め部材ALの一部は連結体の+Z方向及び−Z方向にそれぞれはみ出しており、当該はみ出した部分には軸受基板HSが連結されている。このように一体的に設けられた駆動基板DS及び伝達基板TSの連結体は、1対の軸受基板HSによって挟みこまれた構成になっている。軸受基板HSは、回転軸SFを回転可能に支持する機能と共に、駆動基板DS及び伝達基板TSがZ軸方向にずれないように保持するストッパとしての機能を有している。   Part of the substrate positioning member AL protrudes in the + Z direction and the −Z direction of the coupling body, and the bearing substrate HS is coupled to the protruding portion. The connecting body of the driving board DS and the transmission board TS provided integrally as described above is sandwiched between a pair of bearing boards HS. The bearing substrate HS has a function as a stopper that holds the drive substrate DS and the transmission substrate TS so as not to be displaced in the Z-axis direction, as well as a function of rotatably supporting the rotation shaft SF.

図2に示すように、回転軸SFは、伝達基板TSに囲まれる部分に拡径部11を有し、駆動基板DSに囲まれる部分に縮径部12を有している。拡径部11は、例えば軸受基板HSに支持される回転軸SFの部分に比べて、径が大きくなっている部分である。縮径部12は、例えば軸受基板HSに支持される回転軸SFの部分に比べて、径が小さくなっている部分である。回転軸SFは、拡径部11及び縮径部12を含めた部分において共通の回転軸(回転軸心)Cを有している。   As shown in FIG. 2, the rotation shaft SF has a diameter-enlarged portion 11 in a portion surrounded by the transmission substrate TS, and a diameter-reduced portion 12 in a portion surrounded by the drive substrate DS. The diameter-expanded portion 11 is a portion whose diameter is larger than, for example, the portion of the rotating shaft SF supported by the bearing substrate HS. The diameter-reduced portion 12 is a portion whose diameter is smaller than, for example, the portion of the rotating shaft SF supported by the bearing substrate HS. The rotating shaft SF has a common rotating shaft (rotating axis) C in a portion including the enlarged diameter portion 11 and the reduced diameter portion 12.

軸受基板HSは、例えば、転動部材(転動部)15を介して回転軸SFを回転可能に支持している。図1に示すように、軸受基板HSは、回転軸SFの外周面SFaとの間に転動部材15を介して回転軸SFを回転可能に支持する構成となっている。
転動部材15は、円筒状又は円柱状に形成されており、その軸心が回転軸SFの軸方向と平行になるよう回転軸SFの外周面SFaの一周に亘って複数設けられている。なお、転動部材15は、回転軸SFの軸方向と異なる方向に配置されてもよい。また、転動部材15は、例えば、ニードルベアリング、テーパローラベアリングやクロスローラベアリングに用いられるころ部材(例、円柱状部材、円筒状部材)、ボールベアリングに用いられる玉状部材、などが用いられる。
また、本実施形態における転動部材15は、回転軸SFの周面とこの周面に対向する対向面(第1面)50aとの両方に線又は点で接触するように配置されている。例えば、転動部材15が回転軸SFの周面とこの周面に対向する対向面50aとの両方に線で接触する場合、回転軸SFの周面と対向面50aとに対する転動部材15の接触面積が点で接触する場合に比べて大きいため、本実施形態における軸受は高い剛性を得ることができる。
The bearing substrate HS supports the rotating shaft SF so as to be rotatable via a rolling member (rolling portion) 15, for example. As shown in FIG. 1, the bearing substrate HS is configured to rotatably support the rotating shaft SF via a rolling member 15 between the outer peripheral surface SFa of the rotating shaft SF.
The rolling member 15 is formed in a cylindrical shape or a columnar shape, and a plurality of rolling members 15 are provided over one circumference of the outer circumferential surface SFa of the rotating shaft SF so that the axis thereof is parallel to the axial direction of the rotating shaft SF. In addition, the rolling member 15 may be arrange | positioned in the direction different from the axial direction of rotating shaft SF. The rolling member 15 is, for example, a roller member used for a needle bearing, a taper roller bearing or a cross roller bearing (eg, a cylindrical member or a cylindrical member), a ball member used for a ball bearing, or the like. .
Moreover, the rolling member 15 in this embodiment is arrange | positioned so that it may contact with both the surrounding surface of rotating shaft SF and the opposing surface (1st surface) 50a which opposes this surrounding surface with a line or a point. For example, when the rolling member 15 is in line contact with both the circumferential surface of the rotating shaft SF and the facing surface 50a facing the circumferential surface, the rolling member 15 with respect to the circumferential surface of the rotating shaft SF and the facing surface 50a Since the contact area is larger than that in the case of contact at a point, the bearing in this embodiment can obtain high rigidity.

図3A及び図3Bは、軸受基板HSをXY平面に平行な平面で切った状態を示す断面図である。図3Bは、図3AをZ軸方向+側から見た斜視図である。
図3A及び図3Bに示すように、軸受基板HSは、金属材料や樹脂材料などを用いて板状に形成されている。軸受基板HSは、中央開口部50、第一開口部51、第二開口部52及び第三開口部53を有している。中央開口部50は、軸受基板HSのXY方向の中央部に形成されている。中央開口部50は、Z方向に軸受基板HSを貫通して形成されたZ方向視で円形の貫通穴である。中央開口部50は、回転軸SFを貫通させる(回転軸SFが挿入される)部分である。
3A and 3B are cross-sectional views showing a state in which the bearing substrate HS is cut along a plane parallel to the XY plane. FIG. 3B is a perspective view of FIG. 3A viewed from the Z-axis direction + side.
As illustrated in FIGS. 3A and 3B, the bearing substrate HS is formed in a plate shape using a metal material, a resin material, or the like. The bearing substrate HS has a central opening 50, a first opening 51, a second opening 52, and a third opening 53. The central opening 50 is formed in the central portion of the bearing substrate HS in the XY direction. The central opening 50 is a circular through hole formed in the Z direction so as to penetrate the bearing substrate HS. The central opening 50 is a portion that allows the rotation shaft SF to penetrate (the rotation shaft SF is inserted).

中央開口部50の内周面は、回転軸SFの周面の近傍に配置され、回転軸SFの周面に対向する対向面50aとなる。また、軸受基板HSのうち中央開口部50の周縁部は、回転軸SFを保持する支持部(回転軸支持部)61となる。したがって、本実施形態では、支持部61は、板状部材である軸受基板HSの一部に形成された構成となっている。支持部61は、例えば弾性変形可能な寸法に形成されている。なお、本実施形態における対向面50aは、回転軸SFの周面に平行に形成されている。   The inner peripheral surface of the central opening 50 is disposed in the vicinity of the peripheral surface of the rotation shaft SF, and becomes a facing surface 50a that faces the peripheral surface of the rotation shaft SF. Moreover, the peripheral part of the center opening part 50 becomes a support part (rotary shaft support part) 61 which hold | maintains rotating shaft SF among the bearing board | substrates HS. Therefore, in the present embodiment, the support portion 61 is configured to be formed on a part of the bearing substrate HS that is a plate-like member. The support part 61 is formed in the dimension which can be elastically deformed, for example. In addition, the opposing surface 50a in this embodiment is formed in parallel with the surrounding surface of rotating shaft SF.

第一開口部51、第二開口部52及び第三開口部53は、中央開口部50の周方向に沿って例えば等しい角度ずつずれた位置に配置されている。第一開口部51、第二開口部52及び第三開口部53は、それぞれ軸受基板HSをZ方向に貫通して形成されている。第一開口部51は、X方向を長手方向とするように形成されている。第一開口部51の長手方向の寸法は、中央開口部50の径と実質的に等しくなっている。第二開口部52及び第三開口部53は、それぞれZ方向視で円形に形成されている。   The first opening 51, the second opening 52, and the third opening 53 are arranged at positions shifted by, for example, equal angles along the circumferential direction of the central opening 50. The first opening 51, the second opening 52, and the third opening 53 are each formed so as to penetrate the bearing substrate HS in the Z direction. The first opening 51 is formed so that the X direction is the longitudinal direction. The longitudinal dimension of the first opening 51 is substantially equal to the diameter of the central opening 50. The second opening 52 and the third opening 53 are each formed in a circle when viewed in the Z direction.

支持部61の対向面50aは、当該対向面50aにおいて不連続な部分となる少なくとも1つの不連続部(スリットの開放端)57aを有する。また、少なくとも1つの不連続部57aの少なくとも一部は、回転軸SFの軸方向とは異なる方向に形成されている(例、後述の図4など参照)。また、支持部61は、不連続部57aの少なくとも一部を含み、対向面50a(支持部61における回転軸SFの径方向内側の面、第1面)に接する中央開口部50から、対向面50aとは反対側の面(支持部61における回転軸SFの径方向外側の面、第一開口部51に接する面、第2面)まで形成された第一の隙間領域(第一切り欠き部、スリット)57を有している。第一切り欠き部が対向面50aに接する面、すなわち、対向面50a上の第一切り欠き部が、不連続部57aとなる。
第一切り欠き部57は、支持部61のうち中央開口部50から第一開口部51までの部分(支持部61のうち第一開口部51に沿っている部分)を、第一部分61aと第二部分61bとに分断するように形成されている。第一部分61aと第二部分61bとは、第一切り欠き部57を挟んで対向して配置されている。また、第一部分61aと第二部分61bとは、少なくとも一部の対向面50aを有し、対向面50aにおいて不連続部57aを挟んで配置されている。
なお、本実施形態における隙間領域57は、支持部61の対応部分を切り欠くことによって形成されているが、例えば、分離された支持部61の部材によって形成されてもよい。例えば、本実施形態における隙間領域57は、支持部61が複数の部材で構成される場合、その複数の部材の配置によって形成されてもよい。また、本実施形態における隙間領域57は、所定部分まで連通させた貫通領域であるが、少なくとも一部が溝領域であってもよい。
The facing surface 50a of the support portion 61 has at least one discontinuous portion (open end of the slit) 57a that is a discontinuous portion in the facing surface 50a. Further, at least a part of the at least one discontinuous portion 57a is formed in a direction different from the axial direction of the rotation axis SF (see, for example, FIG. 4 described later). Further, the support portion 61 includes at least a part of the discontinuous portion 57a, and extends from the central opening 50 in contact with the facing surface 50a (the surface on the radial direction inner side of the rotation axis SF in the support portion 61, the first surface) to the facing surface. The first gap region (first notch portion) formed up to the surface opposite to the surface 50a (the surface on the radially outer side of the rotation axis SF of the support portion 61, the surface in contact with the first opening 51, the second surface). , Slit) 57. The surface where the first notch is in contact with the facing surface 50a, that is, the first notch on the facing surface 50a becomes the discontinuous portion 57a.
The first cutout portion 57 is a portion of the support portion 61 from the central opening 50 to the first opening 51 (a portion of the support portion 61 along the first opening 51) and the first portion 61a. It is formed so as to be divided into two portions 61b. The first portion 61a and the second portion 61b are disposed to face each other with the first cutout portion 57 interposed therebetween. Further, the first portion 61a and the second portion 61b have at least a part of the facing surface 50a, and are disposed on the facing surface 50a with the discontinuous portion 57a interposed therebetween.
In addition, although the clearance gap area 57 in this embodiment is formed by notching the corresponding part of the support part 61, it may be formed by the member of the support part 61 isolate | separated, for example. For example, the gap region 57 in the present embodiment may be formed by arranging a plurality of members when the support portion 61 is configured by a plurality of members. In addition, the gap region 57 in the present embodiment is a through region that communicates with a predetermined portion, but at least a portion may be a groove region.

不連続部57a又は第一切り欠き部57が設けられていることにより、支持部61が当該不連続部57a又は当該第一切り欠き部57を介して変形する構成となっている。
また、例えば軸受基板HSの材料が上記のような金属材料や樹脂材料である場合などには、支持部61が弾性変形しやすくなる。
By providing the discontinuous portion 57 a or the first cutout portion 57, the support portion 61 is deformed via the discontinuous portion 57 a or the first cutout portion 57.
Further, for example, when the material of the bearing substrate HS is a metal material or a resin material as described above, the support portion 61 is easily elastically deformed.

例えば、第一部分61aと第二部分61bとの位置関係(例、距離など)については、ボルト部材(締結部材)BL及びボルト挿入部58を有する調整部ADによって調整される。ボルト部材BLは、軸受基板HSの+X側に形成されたボルト挿入部58から支持部61側へ向けて挿入されている。ボルト部材BLは、第一部分61aと第二部分61bとの間を貫通するように当該第一部分61aと第二部分61bとを固定する。ボルト部材BLによる固定状態を調整することにより、第一部分61aと第二部分61bとの距離が調整可能となっている。   For example, the positional relationship (for example, distance) between the first portion 61a and the second portion 61b is adjusted by the adjusting portion AD including the bolt member (fastening member) BL and the bolt insertion portion 58. The bolt member BL is inserted from the bolt insertion portion 58 formed on the + X side of the bearing substrate HS toward the support portion 61 side. The bolt member BL fixes the first portion 61a and the second portion 61b so as to penetrate between the first portion 61a and the second portion 61b. By adjusting the fixing state by the bolt member BL, the distance between the first portion 61a and the second portion 61b can be adjusted.

図4は、図3AにおけるB−B´断面に沿った構成を示す図である。
図4に示すように、不連続部57aは、回転軸SFの軸方向(Z方向)と直交する方向視(例、Y方向視)において、回転軸SFの軸方向とは異なる方向に形成されている。なお、本実施形態における不連続部57aの少なくとも一部は、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において軸方向に対して傾斜させて形成してもよいし、又は、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において軸方向に対して所定の角度を有して形成してもよい。換言すると、不連続部57aの少なくとも一部は、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において軸方向に対して傾斜する形状を有することができ、又は、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において軸方向に対して所定の角度を有する形状を有することができる。
また、例えば、本実施形態における不連続部57aは、当該不連続部57aのうち少なくとも一部が軸方向と異なる方向に形成されている構成であればよい。換言すると、本実施形態において、スリット(隙間領域、第一切り欠き部57)57の開放端(不連続部)57aは、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において、その軸方向に対して非平行な形状を有する。一例において、図4に示すように、開放端57aは、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において軸方向に対して傾斜する形状を有することができる。他の一例において、開放端57aは、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において、軸方向に対して直交する形状を有することができる、及び/又は、湾曲形状を有することができる。
また、図3A及び図3Bに示すように、回転軸SFの回転軸方向視(Z方向視)では、第一切り欠き部57は、対向面50aの法線方向に沿って形成されている。
なお、回転軸SFの回転軸方向視(Z方向視)において、第一切り欠き部57が円弧状に形成されている構成であっても構わない。換言すると、回転軸SFの回転軸方向視(Z方向視)において、第一切り欠き部57が直線状又は円弧状を有することができる。不連続部57aは、中央開口部50に挿入される回転軸SFの外周形状に倣うように形成されている。
また、図4に示すように、支持部61は、第一切り欠き部57に接する面(第一切り欠き部57を構成する面)を有する第一部分61aと第二部分61bとを備える。図4に示すように、第一部分61aにおける第一切り欠き部57に接する面の少なくとも一部は、回転軸SFの軸方向に対して傾斜している。また、第二部分61bにおける第一切り欠き部57に接する面の少なくとも一部は、回転軸SFの軸方向に対して傾斜している。
なお、第一切り欠き部57は、軸受基板HSの中央開口部50の周方向(すなわち、回転軸SFの周方向:θZ方向)に対して傾いて形成されてもよい。
FIG. 4 is a diagram showing a configuration along the BB ′ cross section in FIG. 3A.
As shown in FIG. 4, the discontinuous portion 57a is formed in a direction different from the axial direction of the rotation axis SF in a direction view (eg, Y direction view) orthogonal to the axial direction (Z direction) of the rotation axis SF. ing. Note that at least a part of the discontinuous portion 57a in the present embodiment may be formed to be inclined with respect to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotational axis SF, or the axis of the rotational axis SF. You may form with a predetermined angle with respect to an axial direction in the direction view orthogonal to a direction. In other words, at least a part of the discontinuous portion 57a can have a shape that is inclined with respect to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotation axis SF, or is orthogonal to the axial direction of the rotation axis SF. It can have a shape having a predetermined angle with respect to the axial direction when viewed from the direction.
For example, the discontinuous part 57a in this embodiment should just be the structure by which at least one part is formed in the direction different from an axial direction among the said discontinuous parts 57a. In other words, in this embodiment, the open end (discontinuous portion) 57a of the slit (gap region, first cutout portion 57) 57 is relative to the axial direction in a direction perpendicular to the axial direction of the rotation axis SF. And have a non-parallel shape. In one example, as shown in FIG. 4, the open end 57a may have a shape that is inclined with respect to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotation axis SF. In another example, the open end 57a can have a shape orthogonal to the axial direction and / or a curved shape when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotation axis SF.
As shown in FIGS. 3A and 3B, the first notch 57 is formed along the normal direction of the facing surface 50a when the rotation axis SF is viewed in the rotation axis direction (Z direction view).
Note that the first cutout portion 57 may be formed in an arc shape when the rotation axis SF is viewed in the rotation axis direction (Z direction view). In other words, the first cutout portion 57 can have a linear shape or an arc shape when the rotation axis SF is viewed in the rotation axis direction (Z direction view). The discontinuous portion 57a is formed so as to follow the outer peripheral shape of the rotation shaft SF inserted into the central opening 50.
As shown in FIG. 4, the support portion 61 includes a first portion 61 a and a second portion 61 b that have a surface that contacts the first notch portion 57 (a surface constituting the first notch portion 57). As shown in FIG. 4, at least a part of the surface of the first portion 61 a that contacts the first notch 57 is inclined with respect to the axial direction of the rotation axis SF. Further, at least a part of the surface of the second portion 61b that is in contact with the first notch 57 is inclined with respect to the axial direction of the rotation axis SF.
The first notch 57 may be formed to be inclined with respect to the circumferential direction of the central opening 50 of the bearing substrate HS (that is, the circumferential direction of the rotation axis SF: the θZ direction).

図4において、第一切り欠き部57は、一例として、中央開口部50における中心線αよりも+X側かつ+Z側の位置から−X側かつ−Z側の位置まで、中心線αを跨ぐように形成されている。したがって、第一切り欠き部57によって間隔を空けて分断される第一部分61a及び第二部分61bは、Z方向視で少なくとも一部同士が重なった状態となっている。   In FIG. 4, as an example, the first notch 57 extends across the center line α from the position on the + X side and + Z side to the position on the −X side and −Z side with respect to the center line α in the central opening 50. Is formed. Therefore, the first portion 61a and the second portion 61b divided by the first cutout portion 57 with a space therebetween are in a state where at least a part thereof overlaps when viewed in the Z direction.

図3A及び図3Bに示すように、軸受基板HSは、第一開口部51と第二開口部52とを接続する第一溝部(第一スリット部)55、及び、第二開口部52と第三開口部53とを接続する第二溝部(第二スリット部)56を有している。第一溝部55及び第二溝部56は、中央開口部50の周方向に沿って形成されている。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the bearing substrate HS includes a first groove portion (first slit portion) 55 that connects the first opening 51 and the second opening 52, and the second opening 52 and the second opening 52. A second groove portion (second slit portion) 56 that connects the three openings 53 is provided. The first groove portion 55 and the second groove portion 56 are formed along the circumferential direction of the central opening 50.

第一開口部51から第一溝部55、第二開口部52、第二溝部56を順に経由して第三開口部53に至る部分(第二隙間領域(第二切り欠き部)54)は、Z方向視において、中央開口部50の周方向に沿った円環の一部の形状になるように形成されている。すなわち、第二切り欠き部54は、回転軸SFを少なくとも部分的に囲う形状を有している。第二切り欠き部54が形成されていることにより、支持部61の一部が軸受基板HSの他の部分と切り離された状態となる。したがって、支持部61の一部が弾性変形しやすい構成となる。なお、Z方向視において、第二切り欠き部54が円弧状、多角形状、くの字状(V字状)又はコの字状(U字状)に形成されている構成であっても構わない。なお、Z方向視において、第二切り欠き部54の少なくとも一部が直線状に形成されている構成であっても構わない。
第二切り欠き部54は、中央開口部50に挿入される回転軸SFの外周形状に倣うように形成されている。なお、本実施形態における第二隙間領域54は、軸受基板HSの対応部分を切り欠くことによって形成されているが、例えば、分離された支持部61の部材によって形成されてもよい。例えば、本実施形態における第二隙間領域54は、支持部61が複数の部材で構成される場合、その複数の部材の配置によって形成されてもよい。また、本実施形態における第二隙間領域54は、所定部分まで連通させた貫通領域であるが、少なくとも一部が溝領域であってもよい。
A portion (second gap region (second notch portion) 54) from the first opening 51 to the third opening 53 via the first groove 55, the second opening 52, and the second groove 56 in order, When viewed in the Z direction, it is formed so as to have a shape of a part of an annulus along the circumferential direction of the central opening 50. That is, the second cutout portion 54 has a shape that at least partially surrounds the rotation axis SF. By forming the second cutout portion 54, a part of the support portion 61 is separated from the other portion of the bearing substrate HS. Accordingly, a part of the support portion 61 is easily elastically deformed. The second cutout portion 54 may be formed in an arc shape, a polygonal shape, a dogleg shape (V shape), or a U shape (U shape) as viewed in the Z direction. Absent. Note that at least part of the second cutout portion 54 may be formed in a straight line shape when viewed in the Z direction.
The second notch 54 is formed so as to follow the outer peripheral shape of the rotation shaft SF inserted into the central opening 50. In addition, although the 2nd clearance gap area 54 in this embodiment is formed by notching the corresponding part of the bearing board | substrate HS, you may form by the member of the support part 61 isolate | separated, for example. For example, when the support portion 61 is configured by a plurality of members, the second gap region 54 in the present embodiment may be formed by the arrangement of the plurality of members. Moreover, although the 2nd clearance gap area 54 in this embodiment is a penetration area | region connected to the predetermined part, at least one part may be a groove area | region.

次に、モータ装置MTRの駆動系の構成を説明する。
図5は、駆動基板DSの構成を示す平面図である。
駆動基板DSは、例えばステンレス等の材料を用いて矩形の板状に形成されている。駆動基板DSは、図中+Y方向の端部に支持部47を有している。当該支持部47のX方向中央部には、−Y方向に延びるように接続部46が形成されており、接続部46の−Y方向の先端には、駆動ベース部45が形成されている。駆動ベース部45には、駆動部ACが保持されている。
Next, the configuration of the drive system of the motor device MTR will be described.
FIG. 5 is a plan view showing the configuration of the drive substrate DS.
The drive substrate DS is formed in a rectangular plate shape using a material such as stainless steel. The drive substrate DS has a support portion 47 at the end in the + Y direction in the drawing. A connection portion 46 is formed at the center of the support portion 47 in the X direction so as to extend in the −Y direction, and a drive base portion 45 is formed at the tip of the connection portion 46 in the −Y direction. The drive base portion 45 holds the drive portion AC.

駆動部ACは、例えばピエゾ素子などの電気機械変換素子を備えた駆動素子31及び32を有している。駆動素子31及び駆動素子32は、電気機械変換素子に電圧が印加されることにより、Y方向に伸縮する構成である。制御装置CONTは駆動部ACに接続されており、当該駆動部ACに対して制御信号を供給可能になっている。なお、駆動部ACは、磁歪素子、電磁石、VCM(ボイスコイルモータ)などを用いる構成であっても構わない。   The drive unit AC includes drive elements 31 and 32 each including an electromechanical conversion element such as a piezo element. The drive element 31 and the drive element 32 are configured to expand and contract in the Y direction when a voltage is applied to the electromechanical conversion element. The control device CONT is connected to the drive unit AC and can supply a control signal to the drive unit AC. The drive unit AC may be configured to use a magnetostrictive element, an electromagnet, a VCM (voice coil motor), or the like.

駆動素子31及び32は、駆動ベース部45によってそれぞれ貫通部40から外れた位置で保持されている。貫通部40と駆動素子31及び32との間は、例えば接続部46を介して離間している。駆動素子31及び32は、貫通部40に対してX方向に対象な位置に配置されている。当該駆動素子31及び32は、それぞれ−Y側の端部を保持されている。駆動素子31及び32は−Y側端部のY方向の位置が固定されるため、伸縮する際には+Y側端部がY方向に移動することとなる。当該駆動素子31の+Y側の端部は可動部41の接続面41aに接続されている(連続している)。また、当該駆動素子32の+Y側の端部は可動部42の接続面42aに接続されている(連続している)。駆動素子31及び32が伸縮することにより、接続面41a及び接続面42aに対して+Y側に押圧力が加えられたり、−Y側に引きつける力が加えられたりするようになっている。   The driving elements 31 and 32 are held by the driving base portion 45 at positions away from the penetrating portion 40. The penetrating part 40 and the driving elements 31 and 32 are separated from each other through, for example, a connecting part 46. The drive elements 31 and 32 are disposed at target positions in the X direction with respect to the through portion 40. The drive elements 31 and 32 each have an end portion on the −Y side. Since the driving elements 31 and 32 are fixed in the Y direction at the −Y side end, the + Y side end moves in the Y direction when expanding and contracting. The + Y side end of the drive element 31 is connected (continuous) to the connection surface 41 a of the movable portion 41. Further, the + Y side end of the drive element 32 is connected (continuous) to the connection surface 42a of the movable part 42. When the drive elements 31 and 32 expand and contract, a pressing force is applied to the + Y side or a pulling force to the -Y side with respect to the connection surface 41a and the connection surface 42a.

駆動基板DSの接続部46には、Z方向視で実質的に中央部に貫通部40が形成されている。貫通部40は、Z方向視で実質的に円形に形成された開口部であり、駆動基板DSの表裏を貫通して形成されている。貫通部40には、回転軸SFの縮径部12が挿入される。駆動基板DSには、当該貫通部40の他、例えば開口部30A〜30D及び開口部35が形成されている。   In the connection portion 46 of the drive substrate DS, a through portion 40 is formed substantially in the center as viewed in the Z direction. The through portion 40 is an opening formed in a substantially circular shape when viewed in the Z direction, and is formed through the front and back of the drive substrate DS. The reduced diameter portion 12 of the rotation shaft SF is inserted into the through portion 40. In addition to the through portion 40, for example, openings 30A to 30D and an opening 35 are formed in the drive substrate DS.

開口部30A〜30Dは、駆動基板DSの4つの角部にそれぞれ設けられており、各々例えば円形に形成されている。開口部30A〜30Dは、連結部材CNが挿入される。開口部35は、例えば駆動基板DSの4つの角部に1つずつ配置されている。各開口部35には、例えば基板位置決め部材ALが挿入される。   The openings 30A to 30D are respectively provided at the four corners of the drive substrate DS, and each is formed in a circular shape, for example. The connecting member CN is inserted into the openings 30A to 30D. One opening 35 is disposed, for example, at each of four corners of the drive substrate DS. For example, a substrate positioning member AL is inserted into each opening 35.

4つの開口部35のうち、例えば+Y側の2つの角部に配置される開口部35C及び開口部35Dは、それぞれ開口部30C及び開口部30Dへ向けて突出部を有している。また、開口部35Cには−X側の辺に到達する切り込み部が形成されており、開口部35Dには+X側の辺に到達する切り込み部が形成されている。   Of the four openings 35, for example, the opening 35C and the opening 35D disposed at two corners on the + Y side have protrusions toward the opening 30C and the opening 30D, respectively. The opening 35C has a cut portion that reaches the −X side, and the opening 35D has a cut portion that reaches the + X side.

このため、例えば可動部41は、開口部35Cと開口部30Cとの間の支持部43によって支持部47に支持されることになる。同様に、可動部42は、開口部35Dと開口部30Dとの間の支持部44によって支持部47に支持されることになる。当該構成により、可動部41は支持部43を中心にθZ方向に回動可能であり、可動部42は支持部44を中心にθZ方向に回動可能である。   For this reason, for example, the movable part 41 is supported by the support part 47 by the support part 43 between the opening part 35C and the opening part 30C. Similarly, the movable part 42 is supported by the support part 47 by the support part 44 between the opening part 35D and the opening part 30D. With this configuration, the movable portion 41 can rotate in the θZ direction around the support portion 43, and the movable portion 42 can rotate in the θZ direction around the support portion 44.

図6は、伝達基板TSの構成を示す平面図である。
伝達基板TSは、例えばステンレス等の材料を用いて矩形の板状に形成されている。伝達基板TSには、Z方向視で実質的に中央部に貫通部10が形成されている。貫通部10は、Z方向視で実質的に円形に形成された開口部であり、伝達基板TSの表裏を貫通して形成されている。貫通部10には、回転軸SFの拡径部11が挿入される。伝達基板TSには、当該貫通部10の他、例えば開口部20A〜20D、伝達部BT、接続部24A、24B及び開口部25が形成されている。
FIG. 6 is a plan view showing the configuration of the transmission board TS.
The transmission substrate TS is formed in a rectangular plate shape using a material such as stainless steel. The transmission substrate TS is formed with a through portion 10 substantially in the center as viewed in the Z direction. The through portion 10 is an opening formed in a substantially circular shape when viewed in the Z direction, and is formed through the front and back of the transmission board TS. An enlarged diameter portion 11 of the rotation shaft SF is inserted into the through portion 10. In addition to the through-hole 10, for example, openings 20 </ b> A to 20 </ b> D, a transmission part BT, connection parts 24 </ b> A and 24 </ b> B, and an opening 25 are formed in the transmission board TS.

開口部20A〜20Dは、伝達基板TSの4つの角部にそれぞれ設けられており、各々例えば円形に形成されている。開口部20A〜20Dは、連結部材CNが挿入されている。例えば、開口部20A及び上記駆動基板DSの開口部30Aには、同一の連結部材CNが挿入される。また、開口部20B及び上記駆動基板DSの開口部30Bには、同一の連結部材CNが挿入される。   The openings 20A to 20D are respectively provided at the four corners of the transmission substrate TS, and each is formed in a circular shape, for example. The connecting member CN is inserted into the openings 20A to 20D. For example, the same connecting member CN is inserted into the opening 20A and the opening 30A of the drive substrate DS. The same connecting member CN is inserted into the opening 20B and the opening 30B of the drive substrate DS.

伝達部(伝達部材)BTは、ベルト部(伝達部材)23、第一端部(移動部)21及び第二端部(移動部)22を有している。
ベルト部23は、貫通部10によって形成された壁部(内周部)10aに沿って例えば帯状に形成され、例えば弾性変形可能な程度の厚さに形成されている。ベルト部23は、貫通部10に挿入される回転軸SFを囲うように配置される。換言すると、回転軸SFは、貫通部10のうちベルト部23によって囲まれる空間に挿入される。ベルト部23は、例えば回転軸SFの周面(例、外周面、内周面)のうち少なくとも一部に掛けることができるようになっている。
The transmission part (transmission member) BT has a belt part (transmission member) 23, a first end part (moving part) 21, and a second end part (moving part) 22.
The belt portion 23 is formed in, for example, a belt shape along the wall portion (inner peripheral portion) 10a formed by the penetrating portion 10 and has a thickness that can be elastically deformed, for example. The belt portion 23 is disposed so as to surround the rotation shaft SF inserted into the penetrating portion 10. In other words, the rotation shaft SF is inserted into a space surrounded by the belt portion 23 in the through portion 10. For example, the belt portion 23 can be hung on at least a part of a peripheral surface (eg, outer peripheral surface, inner peripheral surface) of the rotation shaft SF.

ベルト部23には、複数の切り込み部23aが形成されている。切り込み部23aは、例えばベルト部23の外周面(内周部10aに対向する面)に、Z方向を長手方向とする溝のように形成されている。切り込み部23aは、例えばベルト部23の長手方向(内周部10aに沿った方向)の全体(全周)に亘って実質的に等間隔に形成されている。切り込み部23aは、回転軸SFの周方向へのベルト部23の変形又は移動を促進する。   The belt portion 23 is formed with a plurality of cut portions 23a. The notch 23a is formed in the outer peripheral surface (surface facing the inner peripheral part 10a) of the belt part 23 like the groove | channel which makes Z direction a longitudinal direction, for example. The cut portions 23a are formed, for example, at substantially equal intervals over the entire length (the entire circumference) of the belt portion 23 in the longitudinal direction (the direction along the inner peripheral portion 10a). The cut portion 23a promotes deformation or movement of the belt portion 23 in the circumferential direction of the rotation shaft SF.

ベルト部23の第一端部21は、接続部24Aを介して開口部20Aに接続されている。接続部24Aは、開口部20Aに対して+X方向に延在し、更に伝達基板TSのX方向の中央部よりも−X側の位置において+Y方向に伸び、第一端部21に接続されている。
ベルト部23の第二端部22は、接続部24Bを介して開口部20Bに接続されている。
接続部24Bは、開口部20Bに対して−X方向に延在し、更に伝達基板TSのX方向の中央部よりも+X側の位置において+Y方向に伸び、第二端部22に接続されている。
The first end portion 21 of the belt portion 23 is connected to the opening portion 20A via a connection portion 24A. The connecting portion 24A extends in the + X direction with respect to the opening 20A, further extends in the + Y direction at a position on the −X side of the central portion in the X direction of the transmission substrate TS, and is connected to the first end portion 21. Yes.
The second end portion 22 of the belt portion 23 is connected to the opening portion 20B via the connection portion 24B.
The connecting portion 24B extends in the −X direction with respect to the opening 20B, and further extends in the + Y direction at a position on the + X side of the central portion in the X direction of the transmission board TS, and is connected to the second end portion 22. Yes.

第一端部21及び第二端部22は、回転軸SFの外周上の基準位置Fを挟んで配置されている。本実施形態では、例えば図1における回転軸SFの−Y側端部を基準位置Fとした構成となっている。また、開口部20A及び20Bは、それぞれ第一端部21、第二端部22及び基準位置Fを挟む位置に設けられている。このため、連結部材CNは、第一端部21、第二端部22及び基準位置Fを挟む位置で伝達基板TSに連結されていることになる。   The first end portion 21 and the second end portion 22 are disposed with a reference position F on the outer periphery of the rotation axis SF interposed therebetween. In the present embodiment, for example, the end portion of the rotation axis SF in FIG. The openings 20A and 20B are provided at positions sandwiching the first end 21, the second end 22 and the reference position F, respectively. For this reason, the connecting member CN is connected to the transmission board TS at a position sandwiching the first end 21, the second end 22 and the reference position F.

開口部20C及び20Dは、開口部20A及び20Bに比べて径が大きくなるように形成されている。このため、開口部20C及び20Dに挿入された連結部材CNは、伝達基板TSに対して押圧力を加えることなく開口部20C及び20D内で移動することが可能となる。開口部25は、例えば伝達基板TSの4つの角部に1つずつ配置されている。各開口部25には、例えば基板位置決め部材ALが挿入される。   The openings 20C and 20D are formed to have a larger diameter than the openings 20A and 20B. For this reason, the connecting member CN inserted into the openings 20C and 20D can move within the openings 20C and 20D without applying a pressing force to the transmission board TS. For example, one opening 25 is arranged at each of four corners of the transmission board TS. For example, a substrate positioning member AL is inserted into each opening 25.

図5に示す駆動基板DSにおいて、駆動素子31及び32が伸びる方向に変形すると、駆動素子31及び32の各+Y側端部が+Y側に移動し、接続面41a及び42aが+Y方向に押圧される。この押圧力により、可動部41は支持部43を中心にθZ方向(図5の反時計回りの方向)に回動し、可動部41に設けられた開口部30Aの位置が+X方向に移動する。よって、開口部30Aに挿入される連結部材CNは+X方向に移動する。また、可動部42は、支持部44を中心にθZ方向(図5の時計回りの方向)に回動し、可動部42に設けられた開口部30Bの位置が−X方向に移動する。よって、開口部30Bに挿入される連結部材CNは−X方向に移動する。   In the driving substrate DS shown in FIG. 5, when the driving elements 31 and 32 are deformed in the extending direction, the + Y side ends of the driving elements 31 and 32 are moved to the + Y side, and the connection surfaces 41a and 42a are pressed in the + Y direction. The With this pressing force, the movable portion 41 rotates about the support portion 43 in the θZ direction (counterclockwise direction in FIG. 5), and the position of the opening 30A provided in the movable portion 41 moves in the + X direction. . Therefore, the connecting member CN inserted into the opening 30A moves in the + X direction. Further, the movable part 42 rotates about the support part 44 in the θZ direction (clockwise direction in FIG. 5), and the position of the opening 30B provided in the movable part 42 moves in the −X direction. Therefore, the connecting member CN inserted into the opening 30B moves in the −X direction.

また、駆動素子31及び32が縮む方向に変形すると、駆動素子31及び32の各+Y側端部が−Y側に移動し、接続面41a及び42aが−Y方向に引き付けられる。この引き付けの力により、可動部41は支持部43を中心にθZ方向(図5の時計回りの方向)に回動し、可動部41に設けられた開口部30Aの位置が−X方向に移動する。よって、開口部30Aに挿入される連結部材CNは−X方向に移動する。また、可動部42は、支持部44を中心にθZ方向(図5の反時計回りの方向)に回動し、可動部42に設けられた開口部30Bの位置が+X方向に移動する。よって、開口部30Bに挿入される連結部材CNは+X方向に移動する。   When the driving elements 31 and 32 are deformed in the contracting direction, the + Y side end portions of the driving elements 31 and 32 are moved to the −Y side, and the connection surfaces 41a and 42a are attracted in the −Y direction. Due to this attractive force, the movable portion 41 rotates about the support portion 43 in the θZ direction (clockwise direction in FIG. 5), and the position of the opening 30A provided in the movable portion 41 moves in the −X direction. To do. Therefore, the connecting member CN inserted into the opening 30A moves in the −X direction. Further, the movable part 42 rotates about the support part 44 in the θZ direction (counterclockwise direction in FIG. 5), and the position of the opening 30B provided in the movable part 42 moves in the + X direction. Therefore, the connecting member CN inserted into the opening 30B moves in the + X direction.

また、図6に示す伝達基板TSにおいては、例えば開口部20Aに挿入された連結部材CNが+X方向に移動すると、接続部24Aが当該連結部材CNに押されて+X方向に移動する。接続部24Aが+X方向に移動すると、第一端部21は当該移動に伴って+X方向に移動する。また、開口部20Aに挿入された連結部材CNが−X方向に移動すると、接続部24Aが当該連結部材CNに引っ張られて−X方向に移動する。接続部24Aが−X方向に移動すると、第一端部21は当該移動に伴って−X方向に移動する。   In the transmission board TS shown in FIG. 6, for example, when the connecting member CN inserted into the opening 20A moves in the + X direction, the connecting portion 24A is pushed by the connecting member CN and moves in the + X direction. When the connecting portion 24A moves in the + X direction, the first end portion 21 moves in the + X direction along with the movement. When the connecting member CN inserted into the opening 20A moves in the −X direction, the connecting portion 24A is pulled by the connecting member CN and moves in the −X direction. When the connecting portion 24A moves in the −X direction, the first end portion 21 moves in the −X direction along with the movement.

接続部24Bは、例えば開口部20Bに挿入された連結部材CNが−X方向に移動すると、当該連結部材CNに押されて−X方向に移動する。接続部24Bが−X方向に移動すると、第二端部22は当該移動に伴って−X方向に移動する。
また、接続部24Bは、開口部20Bに挿入された連結部材CNが+X方向に移動すると、当該連結部材CNに引っ張られて+X方向に移動する。接続部24Bが+X方向に移動すると、第二端部22は当該移動に伴って+X方向に移動する。
For example, when the connecting member CN inserted into the opening 20B moves in the −X direction, the connecting portion 24B is pushed by the connecting member CN and moves in the −X direction. When the connecting portion 24B moves in the −X direction, the second end portion 22 moves in the −X direction along with the movement.
Further, when the connecting member CN inserted into the opening 20B moves in the + X direction, the connecting portion 24B is pulled by the connecting member CN and moves in the + X direction. When the connecting portion 24B moves in the + X direction, the second end portion 22 moves in the + X direction along with the movement.

したがって、例えば駆動素子31及び32が共に伸びると、第一端部21と第二端部22とが近づく。このため、ベルト部23が回転軸SF(拡径部11)に巻きつき、当該ベルト部23に張力が加わる。また、例えば駆動素子31及び32が共に縮むと、第一端部21と第二端部22とが遠ざかる。このため、ベルト部23が回転軸SFから離れて弛緩する。   Therefore, for example, when the drive elements 31 and 32 extend together, the first end 21 and the second end 22 approach each other. For this reason, the belt portion 23 is wound around the rotation shaft SF (the enlarged diameter portion 11), and tension is applied to the belt portion 23. For example, when the drive elements 31 and 32 are both contracted, the first end 21 and the second end 22 are moved away. For this reason, the belt part 23 leaves | separates from the rotating shaft SF, and relaxes.

駆動基板DSの駆動素子31及び32の伸縮は、可動部41及び42及び連結部材CNを介して伝達基板TSの接続部24A及び24Bに伝達され、第一端部21及び第二端部22を移動させる駆動力としてベルト部23に伝わるようになっている。このように、駆動基板DS及び伝達基板TSは、駆動部ACによる駆動力が伝達部BTに伝達して作用するように連結されている。   The expansion and contraction of the drive elements 31 and 32 of the drive substrate DS is transmitted to the connection portions 24A and 24B of the transmission substrate TS via the movable portions 41 and 42 and the connecting member CN, and the first end portion 21 and the second end portion 22 are transmitted. It is transmitted to the belt portion 23 as a driving force to be moved. As described above, the drive board DS and the transmission board TS are coupled so that the driving force by the drive unit AC is transmitted to the transmission unit BT and acts.

図7Aは、本実施形態のモータ装置MTRの一部の構成を示す図である。図7Bは、図7AにおけるC−C´断面に沿った構成を示す図である。本実施形態では、図7Aに示すように、1つの駆動基板DSに対して2つの伝達基板TS設けられ、当該2つの伝達基板TSがZ軸方向に駆動基板DSを挟むように配置された構成となっている。   FIG. 7A is a diagram illustrating a partial configuration of the motor device MTR of the present embodiment. FIG. 7B is a diagram showing a configuration along a CC ′ section in FIG. 7A. In the present embodiment, as shown in FIG. 7A, two transmission boards TS are provided for one drive board DS, and the two transmission boards TS are arranged so as to sandwich the drive board DS in the Z-axis direction. It has become.

また、本実施形態では、例えば図1、図2及び図7Bに示すように、駆動基板DSと2つの伝達基板TSとの組が2組設けられ、各組のY方向の向きが反対になっている。
また、各組は、それぞれ伝達基板TS又は駆動基板DSの1枚分の厚さ(Z軸方向の寸法)だけZ軸方向にずれて配置されている。このため、各組の駆動基板DS同士が接触し、当該駆動基板DSに対して+Z側に配置された伝達基板TS同士が接触し、当該駆動基板DSに対して−Z側に配置された伝達基板TS同士が接触した状態になっている。
すなわち、駆動基板DSと2つの伝達基板TSとの組と、別の駆動基板DSと2つの伝達基板TSとの組とが、前述の基板1枚分の厚さの隙間を互いに補間(充填)するように配置される。
In this embodiment, for example, as shown in FIGS. 1, 2, and 7B, two sets of the drive board DS and the two transmission boards TS are provided, and the directions in the Y direction of each set are opposite. ing.
In addition, each set is arranged so as to be shifted in the Z-axis direction by the thickness (dimension in the Z-axis direction) of one transmission board TS or driving board DS. For this reason, the driving substrates DS of each set come into contact with each other, the transmission substrates TS arranged on the + Z side with respect to the driving substrate DS come into contact with each other, and the transmission arranged on the −Z side with respect to the driving substrate DS. The substrates TS are in contact with each other.
That is, a set of the driving board DS and the two transmission boards TS and a set of another driving board DS and the two transmission boards TS interpolate (fill) the gap of the thickness of one board described above. To be arranged.

この場合、図7Bに示すように、一方の組において開口部20A及び30Aを通る連結部材CNが、他方の組において開口部20C及び30Cを通ることになる。同様に、一方の組において開口部20B及び30Bを通る連結部材CNが、他方の組において開口部20D及び30Dを通ることになる。本実施形態の構成においては、開口部20C及び30C、開口部20D及び30Dは、それぞれ開口部20A及び30A、開口部20B及び30Bよりも径が大きくなるように形成され、連結部材CNがそれぞれの内部を移動可能に設けられている。このため、異なる組における駆動動作が互いに干渉しないようになっている。   In this case, as shown in FIG. 7B, the connecting member CN passing through the openings 20A and 30A in one set passes through the openings 20C and 30C in the other set. Similarly, the connecting member CN passing through the openings 20B and 30B in one set passes through the openings 20D and 30D in the other set. In the configuration of the present embodiment, the openings 20C and 30C and the openings 20D and 30D are formed to have larger diameters than the openings 20A and 30A and the openings 20B and 30B, respectively. It is provided to be movable inside. For this reason, drive operations in different groups do not interfere with each other.

次に、回転軸SFの駆動動作を説明する。
本実施形態に係るモータ装置MTRにおいて、回転軸SFを駆動させる原理を説明する。回転軸SFを駆動させる際には、回転軸SFに巻き掛けられた伝達部BTに有効張力を生じさせ、当該有効張力によって回転軸SFにトルクを伝達する。
Next, the driving operation of the rotating shaft SF will be described.
In the motor device MTR according to the present embodiment, the principle of driving the rotation shaft SF will be described. When driving the rotating shaft SF, an effective tension is generated in the transmission portion BT wound around the rotating shaft SF, and torque is transmitted to the rotating shaft SF by the effective tension.

オイラーの摩擦ベルト理論により、回転軸SFに巻き掛けられた伝達部BTの第一端部21側の張力T1及び第二端部22側の張力T2が下記[数1]を満たすとき、伝達部BTと回転軸SFとの間で摩擦力が生じ、伝達部BTが回転軸SFに対して滑りを生じることの無い状態(回転力伝達状態)で回転軸SFと共に移動する。この移動により、回転軸SFにトルクが伝達される。ただし、[数1]において、μは伝達部BTと回転軸SFとの間の見かけ上の摩擦係数であり、θは伝達部BTの有効巻き付き角である。

Figure 2013170593
When the tension T1 on the first end 21 side and the tension T2 on the second end 22 side of the transmission part BT wound around the rotation shaft SF satisfy the following [Equation 1] according to Euler's friction belt theory, the transmission part A frictional force is generated between the BT and the rotation shaft SF, and the transmission unit BT moves together with the rotation shaft SF in a state where the slip does not occur with respect to the rotation shaft SF (rotation force transmission state). By this movement, torque is transmitted to the rotating shaft SF. However, in [Equation 1], μ is an apparent friction coefficient between the transmission unit BT and the rotation shaft SF, and θ is an effective winding angle of the transmission unit BT.
Figure 2013170593

このとき、トルクの伝達に寄与する有効張力は、(T1−T2)によって表される。上記[数1]に基づいて有効張力(T1−T2)を求めると、[数2]のようになる。[数2]は、T1を用いて有効張力を表す式である。

Figure 2013170593
At this time, the effective tension contributing to torque transmission is represented by (T1-T2). When the effective tension (T1-T2) is obtained based on the above [Equation 1], [Equation 2] is obtained. [Equation 2] is an expression representing an effective tension using T1.
Figure 2013170593

上記[数2]より、回転軸SFに伝達されるトルクは駆動素子31の張力T1によって一意に決定されることがわかる。[数2]の右辺のT1の係数部分は、伝達部BTと回転軸SFとの間の摩擦係数μ及び伝達部BTの有効巻き付き角θにそれぞれ依存する。図8は、摩擦係数μを変化させたときの有効巻き付き角θと係数部分の値との関係を示すグラフである。グラフの横軸は有効巻き付き角θを示しており、グラフの縦軸は係数部分の値を示している。   From the above [Equation 2], it can be seen that the torque transmitted to the rotating shaft SF is uniquely determined by the tension T1 of the drive element 31. The coefficient part of T1 on the right side of [Formula 2] depends on the friction coefficient μ between the transmission part BT and the rotation shaft SF and the effective winding angle θ of the transmission part BT, respectively. FIG. 8 is a graph showing the relationship between the effective winding angle θ and the value of the coefficient portion when the friction coefficient μ is changed. The horizontal axis of the graph indicates the effective winding angle θ, and the vertical axis of the graph indicates the value of the coefficient portion.

図8に示すように、例えば摩擦係数μが0.3の場合には、有効巻き付き角θが300°以上のときに係数部分の値が0.8以上となっている。このことから、摩擦係数μが0.3の場合には、有効巻き付き角θを300°以上とすることにより、駆動素子31による張力T1の80%以上の力が回転軸SFのトルクに寄与することがわかる。この巻き付き角の他、図8のグラフから、例えば伝達部BTと回転軸SFとの間の摩擦係数を大きくするほど、係数部分の値が大きくなることが推定される。   As shown in FIG. 8, for example, when the friction coefficient μ is 0.3, the value of the coefficient portion is 0.8 or more when the effective winding angle θ is 300 ° or more. From this, when the friction coefficient μ is 0.3, by setting the effective winding angle θ to 300 ° or more, a force of 80% or more of the tension T1 by the drive element 31 contributes to the torque of the rotating shaft SF. I understand that. In addition to the winding angle, it is estimated from the graph of FIG. 8 that, for example, the value of the coefficient portion increases as the friction coefficient between the transmission unit BT and the rotation shaft SF increases.

このように、トルクの大きさは駆動素子31の張力T1によって一意に決定されることになり、例えば伝達部BTの移動距離などには実質的に無関係であることがわかる。したがって、例えば駆動素子31及び駆動素子32に用いられるピエゾ素子などは、数ミリ程度の小型素子であっても、数百ニュートン以上の力を出すことができるので非常に大きな回転力を付与することができる。   In this way, the magnitude of the torque is uniquely determined by the tension T1 of the drive element 31, and it can be seen that, for example, the magnitude of the torque is substantially unrelated to the moving distance of the transmission unit BT. Therefore, for example, the piezo element used for the drive element 31 and the drive element 32 can give a force of several hundred newtons or more even if it is a small element of about several millimeters, and therefore gives a very large rotational force. Can do.

このような原理に基づいて、制御装置(制御部)CONTは、図9に示すように、まず、第一端部(移動部)21が+X方向に、第二端部(移動部)22が−X方向にそれぞれ移動するように駆動素子31及び駆動素子32を変形させる。この動作により、伝達部(伝達部材)BTの第一端部(移動部)21側には張力T1が発生し、伝達部(伝達部材)BTの第二端部(移動部)22側には張力T2が発生する。したがって、伝達部BTに有効張力(T1−T2)が発生する。   Based on such a principle, as shown in FIG. 9, the control device (control unit) CONT first has the first end portion (moving portion) 21 in the + X direction and the second end portion (moving portion) 22 The drive element 31 and the drive element 32 are deformed so as to move in the −X direction. By this operation, a tension T1 is generated on the first end (moving part) 21 side of the transmission part (transmission member) BT, and on the second end (moving part) 22 side of the transmission part (transmission member) BT. A tension T2 is generated. Therefore, an effective tension (T1-T2) is generated in the transmission part BT.

制御装置CONTは、伝達部BTに有効張力を発生させた状態を保持しつつ、図10に示すように、伝達部BTの第一端部21が+X方向に移動するように、かつ、第二端部22が+X方向に移動するように駆動素子31及び駆動素子32を変形させる(駆動動作)。この動作において、制御装置CONTは、第一端部21の移動距離と第二端部22の移動距離とを等しくさせる。この動作により、伝達部BTと回転軸SFとの間に摩擦力が発生した状態で伝達部BTが移動し、当該移動と共に回転軸SFがθZ方向に回転する。   The control device CONT maintains the state in which the effective tension is generated in the transmission unit BT, and the second end 21 of the transmission unit BT moves in the + X direction as shown in FIG. The drive element 31 and the drive element 32 are deformed so that the end 22 moves in the + X direction (drive operation). In this operation, the control device CONT makes the moving distance of the first end 21 equal to the moving distance of the second end 22. By this operation, the transmission unit BT moves in a state where a frictional force is generated between the transmission unit BT and the rotation shaft SF, and the rotation shaft SF rotates in the θZ direction along with the movement.

本実施形態では、伝達部BTと回転軸SFとの間の摩擦係数μが例えば0.3であり、伝達部BTが回転軸SFに実質的に1回転(360°)巻き掛けられている。したがって、図8のグラフを参照すると、駆動素子31の張力T1の85%程度の力がトルクとして回転軸SFに伝達されることになる。   In the present embodiment, the friction coefficient μ between the transmission unit BT and the rotation shaft SF is, for example, 0.3, and the transmission unit BT is substantially wound around the rotation shaft SF by one rotation (360 °). Therefore, referring to the graph of FIG. 8, a force of about 85% of the tension T1 of the drive element 31 is transmitted to the rotating shaft SF as torque.

制御装置CONTは、第一端部21及び第二端部22を所定距離だけ移動させた後、図11に示すように、第一端部21が駆動の開始位置(所定位置)へ戻るように、かつ、第二端部22が移動しないように、駆動素子31だけを変形させる。この動作により、第一端部21が−X方向へ移動し、伝達部BTの巻き掛けが緩んだ状態になる。つまり、伝達部BTに付加されていた有効張力が解除された状態になる。この状態においては、伝達部BTと回転軸SFとの間に摩擦力は発生せず、回転軸SFは慣性によって回転し続けることになる。   The controller CONT moves the first end 21 and the second end 22 by a predetermined distance, and then returns the first end 21 to the drive start position (predetermined position) as shown in FIG. And only the drive element 31 is deformed so that the second end 22 does not move. By this operation, the first end portion 21 moves in the −X direction, and the winding of the transmission portion BT becomes loose. That is, the effective tension applied to the transmission part BT is released. In this state, no frictional force is generated between the transmission unit BT and the rotation shaft SF, and the rotation shaft SF continues to rotate due to inertia.

制御装置CONTは、伝達部BTの巻き掛けを緩ませた後、図12に示すように、第二端部22が駆動の開始位置(所定位置)へ戻るように駆動素子32を変形させる。この動作により、伝達部BTの巻き掛けが緩んだまま、すなわち、有効張力が発生しないまま、伝達部BTの第二端部22が駆動の開始位置(所定位置)へ戻っていく(復帰動作)。   After loosening the winding of the transmission portion BT, the control device CONT deforms the drive element 32 so that the second end portion 22 returns to the drive start position (predetermined position) as shown in FIG. By this operation, the second end portion 22 of the transmission unit BT returns to the drive start position (predetermined position) while the winding of the transmission unit BT is loose, that is, no effective tension is generated (return operation). .

第二端部22が駆動開始位置に戻される直前になったら、制御装置CONTは、駆動素子31を変形させて第一端部21を+X方向に移動させる。この動作により、第二端部22が駆動開始位置に戻されるのと実質的に同時に、第一端部21側に張力T1が発生し、第二端部22側に張力T2が発生する。これにより、駆動開始時に伝達部BTに有効張力を付加させた状態(図9の状態)と同様の状態となる。   Immediately before the second end 22 is returned to the drive start position, the control device CONT deforms the drive element 31 and moves the first end 21 in the + X direction. By this operation, the tension T1 is generated on the first end 21 side and the tension T2 is generated on the second end 22 side substantially simultaneously with the return of the second end 22 to the driving start position. Thereby, it will be in the state similar to the state (state of FIG. 9) which applied effective tension to transmission part BT at the time of a drive start.

伝達部BTに有効張力が付加された後、制御装置CONTは、伝達部BTの第一端部21が+X方向に移動するように駆動素子31を変形させ、第二端部22が+X方向に移動するように駆動素子32を変形させる(駆動動作)。このとき、第一端部21の移動距離と第二端部22の移動距離とを等しくさせる。この動作により、伝達部BTと回転軸SFとの間に摩擦力が発生した状態で伝達部BTが移動し、当該移動と共に回転軸SFがθZ方向に回転する。   After the effective tension is applied to the transmission part BT, the control device CONT deforms the drive element 31 so that the first end 21 of the transmission part BT moves in the + X direction, and the second end 22 in the + X direction. The drive element 32 is deformed so as to move (drive operation). At this time, the moving distance of the first end 21 and the moving distance of the second end 22 are made equal. By this operation, the transmission unit BT moves in a state where a frictional force is generated between the transmission unit BT and the rotation shaft SF, and the rotation shaft SF rotates in the θZ direction along with the movement.

この後、制御装置CONTは、伝達部BTに付加されていた有効張力を再度解除させる。制御装置CONTは、有効張力を図11のように解除させた後、伝達部BTの第一端部21及び第二端部22が開始位置に戻るように移動させる(復帰動作)。このように制御装置CONTが上記駆動動作と復帰動作とを駆動部ACに繰り返し行わせることにより、回転軸SFがθZ方向に回転し続けることになる。   Thereafter, the control device CONT releases the effective tension added to the transmission unit BT again. After the effective tension is released as shown in FIG. 11, the control device CONT moves the first end 21 and the second end 22 of the transmission part BT so as to return to the start position (return operation). In this way, the control device CONT causes the drive unit AC to repeatedly perform the drive operation and the return operation, so that the rotation shaft SF continues to rotate in the θZ direction.

また、図13A及び図13Bは、回転軸SFが軸受基板HSに転動部材15を挟んで装着された状態において、支持部61が弾性変形する様子を示す図である。上記の駆動動作を行う場合、図13Aに示すように、支持部61は、第一部分61aと第二部分61bとが回転軸SFの径方向の外側に開くように弾性変形する。   FIGS. 13A and 13B are diagrams illustrating a state in which the support portion 61 is elastically deformed in a state where the rotation shaft SF is mounted on the bearing substrate HS with the rolling member 15 interposed therebetween. When performing the above-described driving operation, as shown in FIG. 13A, the support portion 61 is elastically deformed so that the first portion 61a and the second portion 61b open outward in the radial direction of the rotation shaft SF.

例えば、本実施形態では、第一切り欠き部57、第二開口部52及び第三開口部53が支持部61に設けられているため、支持部61は、これら第一切り欠き部57、第二開口部52及び第三開口部53をそれぞれ頂点として実質的に三角形状に変形する。このように、回転軸SFを保持する支持部61が弾性変形することにより、支持部61から転動部材15を介して回転軸SFの中心へ向けてラジアル方向の弾性力が発生する。この弾性力により、支持部61及び転動部材15と回転軸SFとの間に隙間が形成されるのを抑えることができる。なお、ボルト部材BLによって第一部分61aと第二部分61bとの位置関係を調整することで、当該弾性力を調整することができる。
図13Bに示すように、本実施形態における構成では、第一部分61aと第二部分61bとがZ軸方向視で少なくとも一部同士が重なる状態となる。そのため、転動部材15が不連続部57aを移動する場合であっても、転動部材15は、対向面50aのうち第一部分61aを含む面と第二部分61bを含む面とのうち少なくとも一方と接触する構成となっている。また、不連続部57aが回転軸SFの外周面SFaに倣って、Y方向視で斜め方向(回転軸SFの回転軸に対して傾斜した方向)に形成されているため、転動部材15が第一切り欠き部57に入り込むことが実質的になく、支持部61及び転動部材15と回転軸SFとの間における隙間の形成が低減される。
また、本実施形態では、少なくとも一つの不連続部57aの少なくとも一部が回転軸SFの軸方向とは異なる方向に形成されているため、軸受と回転軸SFとの間での当該回転軸SFの径方向の相対的な変動を低減できる。
また、本実施形態では、少なくとも一つの不連続部57aの少なくとも一部が回転軸SFの軸方向とは異なる方向に形成されているため、回転軸SFの回転の円滑性を妨げることなく、当該回転軸SFを回転可能に支持することができる。
For example, in the present embodiment, since the first cutout portion 57, the second opening portion 52, and the third opening portion 53 are provided in the support portion 61, the support portion 61 includes the first cutout portion 57, the first cutout portion 57, and the second cutout portion 57. The second opening 52 and the third opening 53 are deformed substantially in a triangular shape with the apexes as the apexes. Thus, the elastic force in the radial direction is generated from the support portion 61 to the center of the rotation shaft SF through the rolling member 15 by elastically deforming the support portion 61 that holds the rotation shaft SF. This elastic force can suppress the formation of a gap between the support portion 61 and the rolling member 15 and the rotation shaft SF. In addition, the said elastic force can be adjusted by adjusting the positional relationship of the 1st part 61a and the 2nd part 61b with the volt | bolt member BL.
As shown in FIG. 13B, in the configuration of the present embodiment, the first portion 61a and the second portion 61b are in a state where at least a portion thereof overlaps when viewed in the Z-axis direction. Therefore, even when the rolling member 15 moves in the discontinuous portion 57a, the rolling member 15 has at least one of the surface including the first portion 61a and the surface including the second portion 61b in the facing surface 50a. It is the structure which contacts. Further, since the discontinuous portion 57a is formed in an oblique direction (a direction inclined with respect to the rotation axis of the rotation axis SF) in the Y direction, following the outer peripheral surface SFa of the rotation axis SF, the rolling member 15 is There is substantially no entry into the first notch 57, and the formation of a gap between the support 61 and the rolling member 15 and the rotation shaft SF is reduced.
In the present embodiment, at least a part of the at least one discontinuous portion 57a is formed in a direction different from the axial direction of the rotation axis SF, and therefore the rotation axis SF between the bearing and the rotation axis SF. The relative fluctuation in the radial direction can be reduced.
In the present embodiment, since at least a part of the at least one discontinuous portion 57a is formed in a direction different from the axial direction of the rotation axis SF, the smooth rotation of the rotation axis SF is not hindered. The rotation shaft SF can be rotatably supported.

また、図13A及び図13Bに示すように、本実施形態における軸受は、支持部61を実質的に三角形状に変形させることによって、第一部分61aにおいて第二部分61bと対向する部分のうちの対向面50aの側の端部61aeが転動部材15と接しない構成となるため、回転軸SFの回転の円滑性を妨げることなく、当該回転軸SFを回転可能に支持することができる。同様に、本実施形態における軸受は、支持部61を実質的に三角形状に変形させることによって、第二部分61bにおいて第一部分61aと対向する部分のうちの対向面50aの側の端部61beが転動部材15と接しない構成となるため、回転軸SFの回転の円滑性を妨げることなく、当該回転軸SFを回転可能に支持することができる。   Further, as shown in FIGS. 13A and 13B, the bearing in the present embodiment is formed by opposing the portion of the first portion 61 a that faces the second portion 61 b by deforming the support portion 61 into a substantially triangular shape. Since the end portion 61ae on the side of the surface 50a is not in contact with the rolling member 15, the rotation shaft SF can be rotatably supported without hindering smooth rotation of the rotation shaft SF. Similarly, in the bearing in the present embodiment, the end portion 61be on the facing surface 50a side of the portion facing the first portion 61a in the second portion 61b is formed by deforming the support portion 61 into a substantially triangular shape. Since it becomes the structure which does not contact the rolling member 15, the said rotating shaft SF can be supported rotatably, without preventing the smoothness of rotation of rotating shaft SF.

このように、本実施形態における軸受は、転動部材15が第一切り欠き部57を通過する場合に、転動部材15が第一切り欠き部57に入ることがないように、対向面50aのうち第一部分61aを含む面と第二部分61bを含む面とを経由して転動部材15を円滑に移動させることができる。このため、回転軸SFの回転の円滑性を妨げることなく、当該回転軸SFを回転可能に支持することができる。また、上述のように、本実施形態における軸受は、回転軸SFの回転抵抗を小さくでき、回転軸SFに対するラジアル方向の剛性を高くすることができる。なお、本実施形態の軸受において、上述の不連続部57a、第一切り欠き部57及び第二切り欠き部54のそれぞれの数は、任意の数(例、1つ又は複数)で構成されても構わない。また、本実施形態における軸受は、上述のような調整部ADを複数有する構成であっても構わない。   As described above, the bearing according to the present embodiment is configured so that the rolling member 15 does not enter the first cutout portion 57 when the rolling member 15 passes through the first cutout portion 57. The rolling member 15 can be smoothly moved via the surface including the first portion 61a and the surface including the second portion 61b. For this reason, the rotating shaft SF can be rotatably supported without hindering smooth rotation of the rotating shaft SF. Further, as described above, the bearing in the present embodiment can reduce the rotational resistance of the rotating shaft SF, and can increase the radial rigidity of the rotating shaft SF. In the bearing of the present embodiment, the number of the discontinuous portions 57a, the first cutout portions 57, and the second cutout portions 54 described above is an arbitrary number (eg, one or more). It doesn't matter. In addition, the bearing in the present embodiment may have a configuration including a plurality of adjusting portions AD as described above.

次に、上記のモータ装置MTRの製造方法を説明する。
モータ装置MTRを製造する場合、まず、伝達基板TS同士、駆動基板DS同士、そして軸受基板HS同士をそれぞれ形成する。例えば図14に示すように、複数の基板Sを積層させ、当該複数の基板Sをまとめて切削加工して形成する。例えば、ワイヤーなど金属の線状部材Lに電圧を印加して放電させた状態とし、このワイヤーと複数の基板Sとを相対的に移動させながら、糸鋸のように複数の基板Sを切削加工する。この切削加工を、例えば伝達基板TSの形成、駆動基板DSの形成、軸受基板HSの形成のそれぞれについて行う。なお、軸受基板HSには、X方向に長手方向を有する第一開口部51が形成されているため、線状部材Lを通す場合に有用となる。
Next, a method for manufacturing the motor device MTR will be described.
When manufacturing the motor device MTR, first, the transmission substrates TS, the drive substrates DS, and the bearing substrates HS are formed. For example, as shown in FIG. 14, a plurality of substrates S are stacked, and the plurality of substrates S are collectively cut and formed. For example, a voltage is applied to a metal linear member L such as a wire to be discharged, and a plurality of substrates S are cut like a saw while moving the wire and the substrates S relative to each other. . This cutting process is performed for each of the formation of the transmission substrate TS, the formation of the drive substrate DS, and the formation of the bearing substrate HS, for example. In addition, since the 1st opening part 51 which has a longitudinal direction in the X direction is formed in the bearing board | substrate HS, it becomes useful when letting the linear member L pass.

また、上記の他、伝達基板TS、駆動基板DS、軸受基板HSの鋳型を作成し、鋳造によって形成するようにしても構わない。また、伝達基板TS、駆動基板DS、軸受基板HSの押し型を用いて、押し出し成形によって形成するようにしても構わない。更に、フォトリソグラフィ法を用いたパターニングによって、伝達基板TS、駆動基板DS、軸受基板HSを形成しても構わない。伝達基板TS、駆動基板DS、軸受基板HSを形成した後、駆動部ACを駆動基板DSの駆動ベース部45に取り付け、伝達基板TSと駆動基板DSとを上記のように連結し、軸受基板HSを接続することで、モータ装置MTRが完成する。   In addition to the above, a mold for the transmission substrate TS, the drive substrate DS, and the bearing substrate HS may be prepared and formed by casting. Moreover, you may make it form by extrusion molding using the pressing die of the transmission board | substrate TS, the drive board | substrate DS, and the bearing board | substrate HS. Further, the transmission substrate TS, the drive substrate DS, and the bearing substrate HS may be formed by patterning using a photolithography method. After forming the transmission substrate TS, the drive substrate DS, and the bearing substrate HS, the drive unit AC is attached to the drive base portion 45 of the drive substrate DS, the transmission substrate TS and the drive substrate DS are connected as described above, and the bearing substrate HS. Is connected to complete the motor device MTR.

このように、本実施形態によれば、回転軸SFの外周面SFaに対向する対向面50aを有し、第一切り欠き部57及び対向面50aの一部に不連続部57aが形成された支持部61と、外周面SFaと対向面50aとに挟まれ、回転軸SFに平行に配置された複数の転動部材15と、支持部61の少なくとも一部が外周面SFaの側に弾性変形するように、支持部61のうち第一切り欠き部57を挟んで配置される第一部分61aと第二部分61bとの位置関係を調整するボルト部材BLとを備えることとしたので、回転軸SFを保持した状態で支持部61を弾性変形させることができる。   As described above, according to the present embodiment, the discontinuous portion 57a is formed on the first cutout portion 57 and a part of the facing surface 50a, which has the facing surface 50a facing the outer peripheral surface SFa of the rotation shaft SF. A plurality of rolling members 15 sandwiched between the support portion 61, the outer peripheral surface SFa, and the opposing surface 50a and arranged in parallel to the rotation axis SF, and at least a part of the support portion 61 is elastically deformed toward the outer peripheral surface SFa. As described above, since the support member 61 includes the bolt member BL that adjusts the positional relationship between the first portion 61a and the second portion 61b that are disposed with the first notch 57 interposed therebetween, the rotation shaft SF is provided. The support portion 61 can be elastically deformed in a state in which is held.

このため、支持部61から転動部材15を介して回転軸SFの中心へ向けてラジアル方向の弾性力を発生させることができる。この弾性力により、支持部61及び転動部材15と回転軸SFとの間に隙間が形成されるのを抑えることができる。これにより、小型の構成であっても、軸受基板HSと回転軸SFとの間での当該回転軸SFの径方向の相対的な変動を抑制することが可能となる。   For this reason, the elastic force in the radial direction can be generated from the support portion 61 through the rolling member 15 toward the center of the rotation axis SF. This elastic force can suppress the formation of a gap between the support portion 61 and the rolling member 15 and the rotation shaft SF. Thereby, even if it is a small structure, it becomes possible to suppress the relative fluctuation | variation of the radial direction of the said rotating shaft SF between the bearing board | substrate HS and the rotating shaft SF.

また、本実施形態によれば、回転軸SFを回転駆動させる駆動基板DS及び伝達基板TSと、回転軸SFを回転可能に支持する軸受基板HSとを備え、伝達基板TSが回転軸SFの外周面SFaの少なくとも一部に掛けられた伝達部BTを有し、駆動基板DSが当該伝達部BTに接続され伝達部BTを移動させる駆動部ACとを有し、回転軸SFと伝達部BTとの間を回転力伝達状態として伝達部BTを一定距離移動させる駆動動作及び回転力伝達状態を解消した状態で伝達部BTを所定の位置に戻す復帰動作を駆動部ACに行わせる制御装置CONTを更に備えるので、回転軸SFの径方向における振動が抑えられた高性能で小型のモータ装置MTRを提供することができる。   In addition, according to the present embodiment, the driving substrate DS and the transmission substrate TS that rotationally drive the rotation shaft SF, and the bearing substrate HS that rotatably supports the rotation shaft SF are provided, and the transmission substrate TS is an outer periphery of the rotation shaft SF. A transmission unit BT hung on at least a part of the surface SFa, a drive substrate DS having a drive unit AC connected to the transmission unit BT and moving the transmission unit BT, the rotation shaft SF and the transmission unit BT; A control device CONT for causing the drive unit AC to perform a drive operation for moving the transmission unit BT by a certain distance with a rotation force transmission state between them and a return operation for returning the transmission unit BT to a predetermined position in a state in which the transmission state of the rotational force is eliminated Furthermore, since it is provided, it is possible to provide a high-performance and small motor device MTR in which vibration in the radial direction of the rotation shaft SF is suppressed.

[第二実施形態]
次に、本発明の第二実施形態を説明する。
図15は、第一実施形態に記載のモータ装置MTRを備えるロボット装置RBTの一部(指部分の先端)の構成を示す図である。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 15 is a diagram illustrating a configuration of a part (tip of a finger portion) of a robot apparatus RBT including the motor apparatus MTR described in the first embodiment.

同図に示すように、ロボット装置RBTは、末節部101、中節部102及び関節部103を有しており、末節部101と中節部102とが関節部103を介して接続された構成になっている。関節部103には軸支持部103a及び軸部103bが設けられている。軸支持部103aは中節部102に固定されている。軸部103bは、軸支持部103aによって固定された状態で支持されている。   As shown in the figure, the robot apparatus RBT includes a distal node portion 101, a middle node portion 102, and a joint portion 103, and the distal node portion 101 and the middle node portion 102 are connected via the joint portion 103. It has become. The joint portion 103 is provided with a shaft support portion 103a and a shaft portion 103b. The shaft support portion 103 a is fixed to the middle joint portion 102. The shaft portion 103b is supported in a state of being fixed by the shaft support portion 103a.

末節部101は、接続部101a及び歯車101bを有している。接続部101aには、関節部103の軸部103bが貫通した状態になっており、当該軸部103bを回転軸として末節部101が回転可能になっている。この歯車101bは、接続部101aに固定されたベベルギアである。接続部101aは、歯車101bと一体的に回転するようになっている。   The end node portion 101 includes a connecting portion 101a and a gear 101b. The shaft portion 103b of the joint portion 103 is penetrated through the connecting portion 101a, and the end node portion 101 is rotatable with the shaft portion 103b as a rotation axis. The gear 101b is a bevel gear fixed to the connecting portion 101a. The connecting portion 101a rotates integrally with the gear 101b.

中節部102は、筐体102a及び駆動装置ACTを有している。駆動装置ACTは、上記実施形態に記載のモータ装置MTRを用いることができる。駆動装置ACTは、筐体102a内に設けられている。駆動装置ACTには、回転軸部材104aが取り付けられている。回転軸部材104aの先端には、歯車104bが設けられている。この歯車104bは、回転軸部材104aに固定されたベベルギアである。歯車104bは、上記の歯車101bとの間で噛み合った状態になっている。   The middle joint portion 102 includes a housing 102a and a driving device ACT. As the drive device ACT, the motor device MTR described in the above embodiment can be used. The driving device ACT is provided in the housing 102a. A rotating shaft member 104a is attached to the driving device ACT. A gear 104b is provided at the tip of the rotating shaft member 104a. The gear 104b is a bevel gear fixed to the rotating shaft member 104a. The gear 104b is in mesh with the gear 101b.

上記のように構成されたロボット装置RBTは、駆動装置ACTの駆動によって回転軸部材104aが回転し、当該回転軸部材104aと一体的に歯車104bが回転する。
歯車104bの回転は、当該歯車104bと噛み合った歯車101bに伝達され、歯車101bが回転する。当該歯車101bが回転することで接続部101aも回転し、これにより末節部101が軸部103bを中心に回転する。
In the robot apparatus RBT configured as described above, the rotation shaft member 104a is rotated by the drive of the drive device ACT, and the gear 104b is rotated integrally with the rotation shaft member 104a.
The rotation of the gear 104b is transmitted to the gear 101b meshed with the gear 104b, and the gear 101b rotates. As the gear 101b rotates, the connecting portion 101a also rotates, whereby the end node portion 101 rotates about the shaft portion 103b.

このように、本実施形態によれば、低速高トルクの回転を出力することができる駆動装置ACTを搭載することにより、例えば減速器を用いない構成であっても直接末節部101を回転させることができる。さらに本実施形態では、駆動装置ACTが回転軸の径方向における振動が抑えられた構成であるため、安定した動作が可能となる。   As described above, according to the present embodiment, by mounting the drive device ACT capable of outputting low-speed and high-torque rotation, for example, the end node 101 can be directly rotated even in a configuration that does not use a speed reducer. Can do. Furthermore, in this embodiment, since the drive device ACT has a configuration in which vibrations in the radial direction of the rotating shaft are suppressed, stable operation is possible.

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記構成に加えて、図16に示すように、回転軸SFのZ方向への移動を規制する移動規制部80が設けられた構成であっても構わない。また、例えば軸受基板HSをZ方向に挟む位置に移動規制部80及び81を配置する構成であっても構わない。
The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and appropriate modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, in addition to the above configuration, as illustrated in FIG. 16, a configuration may be provided in which a movement restricting unit 80 that restricts the movement of the rotation axis SF in the Z direction is provided. Further, for example, the movement restricting portions 80 and 81 may be arranged at positions where the bearing substrate HS is sandwiched in the Z direction.

また、モータ装置MTRとして、回転軸SFの周面の少なくとも一部に掛けられた伝達部材と、当該伝達部材に接続され伝達部材を移動させる駆動素子と、回転軸SFと伝達部材との間を回転力伝達状態として伝達部材を一定距離移動させる駆動動作及び回転力伝達状態を解消した状態で伝達部材を所定の位置に戻す復帰動作を駆動素子に行わせる制御部と、を有する構成であれば、上記の構成に限られることは無く、異なる構成であっても構わない。
また、本実施形態における回転軸SFは、例えば、円筒状などのような中空の構成であってもよい、又は、円柱状などのような中実(中空でない構造)の構成であってもよい。なお、本実施形態における回転軸SFは、回転子SFを中空に形成する場合には、例えば回転子SFを円筒状に形成するなど、回転子SFの軸方向の両端が貫通されている構成にすることもできる。
また、本実施形態における回転軸SFは、例えば回転子SFの軸方向の両端が貫通されておらず、いずれか一方のみが開口されている構成にすることもできる。本実施形態における回転軸SFは、回転子SFの軸方向の両端のいずれも塞がれている構成としても構わない。
また、本実施形態における回転軸SFは、回転子SFの内部に適宜仕切りなどを配置しつつ内部を中空にする構成であっても構わない。
また、本実施形態における回転軸SFは、回転子SFの周面に溝部を形成する構成としても構わない。
なお、本実施形態における回転軸SFは、例えば回転子SFを中空に形成した場合において、回転子SFの表面に形成される溝部71の中に複数の孔部を設け、回転子SFの内外が孔部によって連通された構成としても構わない。
また、例えば、本実施形態におけるモータ装置MTRは、回転軸SFを中空に形成した構成の場合、上述の対向面50aを回転軸SFの内周面に対向させて配置するように構成であってもよい。このような場合、例えば、本実施形態の転動部材15は、上述の内周面とこの内周面に対向する対向面との間に配置される。
Further, as the motor device MTR, a transmission member that is hung on at least a part of the peripheral surface of the rotation shaft SF, a drive element that is connected to the transmission member and moves the transmission member, and between the rotation shaft SF and the transmission member. And a control unit that causes the drive element to perform a drive operation for moving the transmission member by a certain distance as the rotational force transmission state and a return operation for returning the transmission member to a predetermined position in a state in which the rotational force transmission state is canceled. The configuration is not limited to the above, and a different configuration may be used.
In addition, the rotation axis SF in the present embodiment may have a hollow configuration such as a cylindrical shape or a solid (non-hollow structure) such as a columnar shape. . In addition, when the rotor SF is formed in a hollow shape, the rotation shaft SF in the present embodiment has a configuration in which both ends in the axial direction of the rotor SF are penetrated, for example, the rotor SF is formed in a cylindrical shape. You can also
In addition, for example, the rotational axis SF in the present embodiment may be configured such that both ends of the rotor SF in the axial direction are not penetrated and only one of them is opened. The rotating shaft SF in the present embodiment may be configured such that both ends in the axial direction of the rotor SF are closed.
In addition, the rotation shaft SF in the present embodiment may be configured to have a hollow inside while appropriately arranging a partition or the like inside the rotor SF.
Further, the rotation shaft SF in the present embodiment may be configured to form a groove on the peripheral surface of the rotor SF.
For example, when the rotor SF is formed hollow, the rotation shaft SF in the present embodiment is provided with a plurality of holes in the groove 71 formed on the surface of the rotor SF, and the inside and outside of the rotor SF are A configuration in which the holes communicate with each other may be used.
In addition, for example, in the case of the configuration in which the rotation shaft SF is formed hollow, the motor device MTR in the present embodiment is configured such that the above-described facing surface 50a is disposed facing the inner peripheral surface of the rotation shaft SF. Also good. In such a case, for example, the rolling member 15 of the present embodiment is disposed between the above-described inner peripheral surface and an opposing surface that faces the inner peripheral surface.

また、本実施形態における軸受基板(軸受)HSは、少なくとも一つの不連続部57aを備えている。ここで、本実施形態では、この不連続部57aにおける転動部材15の対向面50aに対する接触面積は、この不連続部57a以外における転動部材15の対向面50aに対する接触面積に対して、50%以上、又は90%以上となるように構成されている。ただし、この接触面積の比率は、対向面50aの幅や不連続部57aの幅や形状によって変えてもよい。
例えば、対向面50aの幅(例、図4のZ方向の幅)を8mm、不連続部57aの幅(例、図4のX方向の幅)を0.5mm、及び転動部材15の軸方向に対する不連続部57aの角度をθとすると、対向面50aに形成された不連続部57aの角度θは、上記の接触面積の比率が50%以上の場合、(0.5/sinθ)/8=50%、から約7°以上となる。また、上記の接触面積の比率が90%以上の場合、対向面50aに形成された不連続部57aの角度θは、約39°以上となる。ただし、不連続部57aの加工のしやすさを考慮すると、不連続部57aの角度θは、2°以上であってもよい。また、不連続部57aの加工の精度を考慮すると、不連続部57aの角度θは、10°以上60°以下であってもよい。
上記のように、本実施形態では、上述の不連続部57aの角度θは、2°以上60°以下、7°以上60°以下、又は39°以上60°以下で構成されている。ただし、不連続部57aの角度θにおける上限値は、60°以下でなくても、対向面50aの全周にかからない程度の角度以下であればよい。
また、本実施形態における不連続部57aの少なくとも一部は、回転軸SFの軸方向とは異なる方向に形成されてもよい。
例えば、回転軸SFの軸方向とは異なる方向に形成される不連続部57aの少なくとも一部の面積は、不連続部57aの全体の面積に対して50%以上、又は90%以上で、構成されてもよい。このとき、不連続部57aの少なくとも一部の、転動部材15に対する角度θは、特に限られず、例えば、90°でもよい。
Further, the bearing substrate (bearing) HS in this embodiment includes at least one discontinuous portion 57a. Here, in this embodiment, the contact area with respect to the opposing surface 50a of the rolling member 15 in this discontinuous part 57a is 50 with respect to the contact area with respect to the opposing surface 50a of the rolling member 15 other than this discontinuous part 57a. % Or more, or 90% or more. However, the ratio of the contact area may be changed depending on the width of the facing surface 50a and the width and shape of the discontinuous portion 57a.
For example, the width of the opposing surface 50a (eg, the width in the Z direction in FIG. 4) is 8 mm, the width of the discontinuous portion 57a (eg, the width in the X direction in FIG. 4) is 0.5 mm, and the axis of the rolling member 15 When the angle of the discontinuous portion 57a with respect to the direction is θ, the angle θ of the discontinuous portion 57a formed on the facing surface 50a is (0.5 / sin θ) / when the ratio of the contact area is 50% or more. From 8 = 50%, it becomes about 7 ° or more. Further, when the ratio of the contact area is 90% or more, the angle θ of the discontinuous portion 57a formed on the facing surface 50a is about 39 ° or more. However, considering the ease of processing the discontinuous portion 57a, the angle θ of the discontinuous portion 57a may be 2 ° or more. In consideration of the processing accuracy of the discontinuous portion 57a, the angle θ of the discontinuous portion 57a may be 10 ° or more and 60 ° or less.
As described above, in the present embodiment, the angle θ of the discontinuous portion 57a is configured to be 2 ° to 60 °, 7 ° to 60 °, or 39 ° to 60 °. However, the upper limit value of the angle θ of the discontinuous portion 57a is not limited to 60 ° or less, but may be equal to or less than an angle that does not cover the entire circumference of the facing surface 50a.
In addition, at least a part of the discontinuous portion 57a in the present embodiment may be formed in a direction different from the axial direction of the rotation axis SF.
For example, the area of at least a part of the discontinuous portion 57a formed in a direction different from the axial direction of the rotation axis SF is 50% or more, or 90% or more with respect to the entire area of the discontinuous portion 57a. May be. At this time, the angle θ of at least a part of the discontinuous portion 57a with respect to the rolling member 15 is not particularly limited, and may be 90 °, for example.

また、本実施形態における不連続部57aは、上記接触面積の比率を満たすような不連続部57aの形状を有していれば、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において、単一の直線線分でなくてもよい。また、例えば、本実施形態における不連続部57aは、対向面50aにおいて回転軸SFのラジアル方向に与えられる力(例、圧力)の変化を滑らかにできるような形状を有していれば、回転軸SFの軸方向と直交する方向視において、単一の直線線分でなくてもよい。不連続部(スリットの開放端)57aの形状の変形例を、図17A〜17Oに示す。ここで、図17A〜17Oの鏡像も、不連続部57aの変形例に含むことができる。   Moreover, if the discontinuous part 57a in this embodiment has the shape of the discontinuous part 57a which satisfy | fills the ratio of the said contact area, in the direction view orthogonal to the axial direction of rotating shaft SF, it is single. It may not be a straight line segment. Further, for example, if the discontinuous portion 57a in the present embodiment has a shape that can smoothly change the force (for example, pressure) applied in the radial direction of the rotation axis SF on the facing surface 50a, the discontinuous portion 57a rotates. When viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the axis SF, it may not be a single straight line segment. 17A to 17O show modified examples of the shape of the discontinuous portion (open end of the slit) 57a. Here, the mirror images of FIGS. 17A to 17O can also be included in the modification of the discontinuous portion 57a.

例えば、不連続部(スリットの開放端)57aが、回転軸SFの軸方向に対して直交する方向視(例えば、Y方向視)において、回転軸SFの軸方向に対して直交する方向(例えば、X方向)に延在する形状(第3形状FE3)、を含んでもよく(例えば、図17A〜17C)、湾曲する形状(第4形状FE4)、を含んでもよい(例えば、図17H,17I)。
また、例えば、不連続部(スリットの開放端)57aが、回転軸SFの軸方向に対して直交する方向視(例えば、Y方向視)において、回転軸SFの軸方向に対して平行な形状(第1形状FE1)、回転軸SFの軸方向に対して傾斜する形状(第2形状FE2)、上記第3形状(FE3)、上記第4形状(FE3)、のうち少なくとも2つを含む形状を有してもよい(例えば、図17D,17E,17M)。
また、例えば、不連続部(スリットの開放端)57aが、回転軸SFの軸方向に対して直交する方向視(例えば、Y方向視)において、上記第2形状FE2、上記第3形状FE3、及び上記第4形状FE4のうち少なくとも1つと、上記第1形状FE1と、を含む形状を有してもよい(例えば、図17J,17L)。
For example, the discontinuous portion (open end of the slit) 57a is perpendicular to the axial direction of the rotational axis SF (for example, viewed in the Y direction) (for example, viewed in the Y direction). , A shape extending in the X direction (third shape FE3) may be included (for example, FIGS. 17A to 17C), and a curved shape (fourth shape FE4) may be included (for example, FIGS. 17H and 17I). ).
In addition, for example, the discontinuous portion (open end of the slit) 57a has a shape parallel to the axial direction of the rotation axis SF in a direction orthogonal to the axial direction of the rotation axis SF (for example, viewed in the Y direction). (First shape FE1), a shape including at least two of the shape inclined with respect to the axial direction of the rotation axis SF (second shape FE2), the third shape (FE3), and the fourth shape (FE3). (For example, FIGS. 17D, 17E, and 17M).
Further, for example, the discontinuous portion (open end of the slit) 57a is in the second shape FE2, the third shape FE3, in a direction view (for example, in the Y direction view) orthogonal to the axial direction of the rotation axis SF, In addition, it may have a shape including at least one of the fourth shapes FE4 and the first shape FE1 (for example, FIGS. 17J and 17L).

また、例えば、回転軸SFの軸方向における不連続部(スリットの開放端)57aの両端である第1端SE1と第2端SE2とが、回転軸SFの周方向において同じ位置にあってもよく(例えば、図17A)、回転軸SFの周方向において互いにずれた位置にあってもよい(例えば、図17B)。   For example, even if the first end SE1 and the second end SE2 that are both ends of the discontinuous portion (open end of the slit) 57a in the axial direction of the rotation axis SF are at the same position in the circumferential direction of the rotation axis SF. Well (for example, FIG. 17A), it may be in a position shifted from each other in the circumferential direction of the rotation axis SF (for example, FIG. 17B).

本実施形態における不連続部57aは、回転軸SFの軸方向に対して直交する方向視(例えば、Y方向視)において少なくとも一つの段を有する階段形状(例えば、図17B,図17C)、ジグザグ状(例えば、図17G)、又は、少なくとも一つのX方向の凹凸を有する櫛形状(図17A)、に形成されてもよい。
本実施形態における不連続部57aは、複数の円弧(曲線)によって構成される階段形状(例えば、図17N)、又は、櫛形状(例えば、図17O)に形成されてもよい。
The discontinuous portion 57a in the present embodiment has a staircase shape (for example, FIGS. 17B and 17C) having at least one step when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotation axis SF (for example, viewed in the Y direction), zigzag (For example, FIG. 17G) or a comb shape (FIG. 17A) having at least one unevenness in the X direction.
The discontinuous portion 57a in the present embodiment may be formed in a staircase shape (for example, FIG. 17N) constituted by a plurality of arcs (curves) or a comb shape (for example, FIG. 17O).

本実施形態における少なくとも一つの不連続部(スリットの開放端)57aは、第2形状FE2、第3形状FE3、及び第4形状FE4の少なくとも1つと、第1形状FE1とを含む形状を有し、回転軸SFの軸方向に沿った第1形状FE1の長さは、転動部材(転動部)15のそれに比べて短い。   At least one discontinuous portion (open end of the slit) 57a in the present embodiment has a shape including at least one of the second shape FE2, the third shape FE3, and the fourth shape FE4 and the first shape FE1. The length of the first shape FE1 along the axial direction of the rotation axis SF is shorter than that of the rolling member (rolling portion) 15.

本実施形態における軸受は、回転軸SFの周面SFaの近傍に配置される第1面(対向面50a)を有する回転軸支持部(支持部61)と、周面SFaと第1面(対向面50a)との間に配置される複数の転動部材(転動部)15と、を備え、第1面(対向面50a)は、少なくとも一つの不連続部(スリットの開放端)57aを有し、少なくとも一つの不連続部(スリットの開放端)57aは、回転軸SFの軸方向と直交する方向視(例えば、Y方向視)において、回転軸SFの軸方向に対して平行な第1形状SE1と、回転軸SFの軸方向に対して非平行な形状(前述の第2形状FE2、第3形状FE3、又は第4形状FE4)とを含む形状を有し、回転軸SFの軸方向に沿った第1形状FE1の長さは、転動部材(転動部)15のそれに比べて短い。   The bearing in the present embodiment includes a rotary shaft support portion (support portion 61) having a first surface (opposing surface 50a) disposed in the vicinity of the peripheral surface SFa of the rotary shaft SF, and the peripheral surface SFa and the first surface (opposite surface). A plurality of rolling members (rolling portions) 15 disposed between the first surface (opposing surface 50a) and at least one discontinuous portion (open end of the slit) 57a. The at least one discontinuous portion (open end of the slit) 57a is parallel to the axial direction of the rotation axis SF in a direction perpendicular to the axial direction of the rotation axis SF (for example, viewed in the Y direction). 1 shape SE1 and a shape including a shape non-parallel to the axial direction of the rotation axis SF (the second shape FE2, the third shape FE3, or the fourth shape FE4 described above), and the axis of the rotation axis SF The length of the first shape FE1 along the direction is that of the rolling member (rolling portion) 15. Shorter than.

また、本実施形態における隙間領域(スリット)57は、Z方向視において回転軸SFの径方向に平行な単一の平面であるが、支持部61の弾性変形を妨げず、かつ、上記の接触面積の比率を満たすような不連続部57aの形状を有していれば、この隙間領域57の形状に限られない。
例えば、本実施形態における隙間領域(スリット)57は、図示しないが、Z方向視において回転軸SFの径方向から傾いた平面でもよく、単一の平面をY軸周りに捩った平面でもよく、複数の面を有していてもよく、少なくとも一部が曲面であってもよい。
Further, the gap region (slit) 57 in the present embodiment is a single plane parallel to the radial direction of the rotation axis SF when viewed in the Z direction, but does not hinder the elastic deformation of the support portion 61 and the above contact. The shape of the gap region 57 is not limited as long as the shape of the discontinuous portion 57a satisfies the area ratio.
For example, the gap region (slit) 57 in the present embodiment may be a plane inclined from the radial direction of the rotation axis SF when viewed in the Z direction, or a plane obtained by twisting a single plane around the Y axis. , May have a plurality of surfaces, and at least a part may be a curved surface.

また、上記で説明した駆動部として駆動基板DS及び伝達基板TSの他、電動モータや超音波モータなどの他の種類のモータ装置を用いても構わない。   In addition to the driving substrate DS and the transmission substrate TS, other types of motor devices such as an electric motor and an ultrasonic motor may be used as the driving unit described above.

また、上記実施形態では、転動部材15が回転軸SFの周方向に独立して設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、上記実施形態における複数の転動部材15は、当該複数の転動部材15同士の間の相対位置を変化させないようにしたニードルケージなどの転動ユニットを有する構成であっても構わない。   In the above embodiment, the configuration in which the rolling member 15 is provided independently in the circumferential direction of the rotation shaft SF has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, the plurality of rolling members 15 in the above embodiment may have a configuration including a rolling unit such as a needle cage that does not change the relative position between the plurality of rolling members 15.

MTR…モータ装置 CONT…制御装置 SF…回転軸 TS…伝達基板 DS…駆動基板 HS…軸受基板 SFa…外周面 BL…ボルト部材 RBT…ロボット装置 ACT…駆動装置 15…転動部材(転動部) 50…中央開口部 50a…対向面(第1面) 51…第一開口部 52…第二開口部 53…第三開口部 54…第二切り欠き部 55…第一溝部 56…第二溝部 57…第一切り欠き部 57a…不連続部(スリットの開放端) 58…ボルト挿入部 61…支持部(回転軸支持部) 61a…第一部分 61b…第二部分 80、81…移動規制部 MTR ... Motor device CONT ... Control device SF ... Rotating shaft TS ... Transmission substrate DS ... Drive substrate HS ... Bearing substrate SFa ... Outer peripheral surface BL ... Bolt member RBT ... Robot device ACT ... Drive device 15 ... Rolling member (rolling part) DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 ... Center opening part 50a ... Opposite surface (1st surface) 51 ... 1st opening part 52 ... 2nd opening part 53 ... 3rd opening part 54 ... 2nd notch part 55 ... 1st groove part 56 ... 2nd groove part 57 ... first cutout portion 57a ... discontinuous portion (open end of slit) 58 ... bolt insertion portion 61 ... support portion (rotating shaft support portion) 61a ... first portion 61b ... second portion 80, 81 ... movement restricting portion

Claims (25)

回転軸の周面の近傍に配置される第1面を有する支持部と、
前記周面と前記第1面との間に配置される複数の転動部と、
を備え、
前記支持部は、前記第1面に形成された開放端を有するスリットを有し、
前記開放端は、前記回転軸の軸方向と直交する方向視において、前記軸方向に対して非平行な形状を有する、
ことを特徴とする軸受。
A support portion having a first surface disposed in the vicinity of the peripheral surface of the rotation shaft;
A plurality of rolling portions disposed between the peripheral surface and the first surface;
With
The support part has a slit having an open end formed in the first surface,
The open end has a shape that is non-parallel to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft.
A bearing characterized by that.
前記開放端は、前記軸方向と直交する方向視において、前記軸方向に対して傾斜する形状を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の軸受。
The open end has a shape that is inclined with respect to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction.
The bearing according to claim 1.
前記第1面は、前記周面に対して平行である、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の軸受。
The first surface is parallel to the peripheral surface.
The bearing according to claim 1 or 2, wherein
前記スリットの隙間を調整する調整部をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の軸受。
An adjustment unit for adjusting the gap of the slit;
The bearing according to any one of claims 1 to 3, wherein the bearing is provided.
前記調整部は、前記スリットを介して、前記回転軸に対して前記支持部を締める締結部材を有する、
ことを特徴とする請求項4に記載の軸受。
The adjustment unit includes a fastening member that tightens the support unit with respect to the rotation shaft through the slit.
The bearing according to claim 4.
前記支持部は、前記スリットの別の開放端が形成される第2面を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の軸受。
The support portion has a second surface on which another open end of the slit is formed.
The bearing according to any one of claims 1 to 5, wherein the bearing is provided.
前記支持部は、前記第2面が面する空間につながる隙間領域を有する、
ことを特徴とする請求項6に記載の軸受。
The support portion has a gap region that leads to a space that the second surface faces.
The bearing according to claim 6.
前記隙間領域は、前記回転軸を少なくとも部分的に囲う形状を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載の軸受。
The gap region has a shape that at least partially surrounds the rotating shaft,
The bearing according to any one of claims 1 to 7, wherein the bearing is provided.
前記転動部は、前記回転軸の軸方向に平行な回転軸を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項8のうちいずれか一項に記載の軸受。
The rolling part has a rotation axis parallel to the axial direction of the rotation axis.
The bearing according to any one of claims 1 to 8, wherein the bearing is provided.
前記開放端は、前記回転軸の軸方向と直交する方向視において、前記軸方向に対して直交する形状を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項9のうちのいずれか一項に記載の軸受。
The open end has a shape orthogonal to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft.
The bearing according to any one of claims 1 to 9, wherein the bearing is provided.
前記開放端は、前記回転軸の軸方向と直交する方向視において、湾曲形状を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項10のうちのいずれか一項に記載の軸受。
The open end has a curved shape when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft.
The bearing according to any one of claims 1 to 10, wherein:
前記開放端は、前記回転軸の軸方向と直交する方向視において、前記軸方向に対して平行な第1形状と、前記軸方向に対して傾斜する第2形状と、前記軸方向に対して直交する第3形状と、湾曲する第4形状との、少なくとも2つを含む形状を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項11のうちのいずれか一項に記載の軸受。
The open end has a first shape that is parallel to the axial direction, a second shape that is inclined with respect to the axial direction, and a direction that is inclined with respect to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft. Having a shape including at least two of a third shape orthogonal and a fourth shape curved;
The bearing according to any one of claims 1 to 11, wherein the bearing is provided.
前記開放端は、前記第2形状、前記第3形状、及び前記第4形状の少なくとも1つと、前記第1形状とを含む形状を有し、
前記回転軸の軸方向に沿った前記第1形状の長さは、前記転動部のそれに比べて短い、
ことを特徴とする請求項12に記載の軸受。
The open end has a shape including at least one of the second shape, the third shape, and the fourth shape, and the first shape,
The length of the first shape along the axial direction of the rotating shaft is shorter than that of the rolling part,
The bearing according to claim 12.
前記開放端は、前記回転軸の軸方向における、前記スリットの両端である第1端と第2端とを有し、
前記第1端及び前記第2端は、周方向における同じ位置を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項13のうちのいずれか一項に記載の軸受。
The open end has a first end and a second end that are both ends of the slit in the axial direction of the rotating shaft,
The first end and the second end have the same position in the circumferential direction,
The bearing according to any one of claims 1 to 13, wherein the bearing is provided.
前記開放端は、前記回転軸の軸方向における、前記スリットの両端である第1端と第2端とを有し、
前記第1端及び前記第2端は、周方向において、互いにずれた位置を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項13のうちのいずれか一項に記載の軸受。
The open end has a first end and a second end that are both ends of the slit in the axial direction of the rotating shaft,
The first end and the second end have positions shifted from each other in the circumferential direction.
The bearing according to any one of claims 1 to 13, wherein the bearing is provided.
前記スリットは、前記回転軸の軸方向視において、直線形状及び非直線形状の少なくとも1つを有する別の開放端を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項15のうちいずれか一項に記載の軸受。
The slit has another open end having at least one of a linear shape and a non-linear shape when viewed in the axial direction of the rotating shaft.
The bearing according to any one of claims 1 to 15, wherein the bearing is any one of the above.
前記複数の転動部は、前記周面の一周に亘って配置されている、
ことを特徴とする請求項1から請求項16のうちいずれか一項に記載の軸受。
The plurality of rolling portions are arranged over one circumference of the peripheral surface,
The bearing according to any one of Claims 1 to 16, wherein:
前記支持部は、板状部材の少なくとも一部である、
ことを特徴とする請求項1から請求項17のうちいずれか一項に記載の軸受。
The support part is at least a part of a plate-shaped member.
The bearing according to any one of claims 1 to 17, wherein the bearing is provided.
前記回転軸の軸方向における、前記支持部の移動を規制する移動規制部をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1から請求項18のうちいずれか一項に記載の軸受。
A movement restricting portion for restricting movement of the support portion in the axial direction of the rotating shaft;
The bearing according to any one of claims 1 to 18, wherein the bearing is one of the following.
前記転動部は、前記周面と前記対向面との両方に接触する、
ことを特徴とする請求項1から請求項19のうちいずれか一項に記載の軸受。
The rolling part contacts both the peripheral surface and the facing surface.
The bearing according to any one of Claims 1 to 19, wherein:
回転軸の周面の近傍に配置される第1面を有する支持部と、
前記周面と前記第1面との間に配置される複数の転動部と、
を備え、
前記支持部は、前記第1面に形成された開放端を有するスリットを有し、
前記開放端は、前記回転軸の軸方向における、前記スリットの両端である第1端と第2端とを有し、
前記第1端及び前記第2端は、周方向において、互いにずれた位置を有する、
ことを特徴とする軸受。
A support portion having a first surface disposed in the vicinity of the peripheral surface of the rotation shaft;
A plurality of rolling portions disposed between the peripheral surface and the first surface;
With
The support part has a slit having an open end formed in the first surface,
The open end has a first end and a second end that are both ends of the slit in the axial direction of the rotating shaft,
The first end and the second end have positions shifted from each other in the circumferential direction.
A bearing characterized by that.
回転軸の周面の近傍に配置される第1面を有する支持部と、
前記周面と前記第1面との間に配置される複数の転動部と、
を備え、
前記支持部は、前記第1面に形成された開放端を有するスリットを有し、
前記開放端は、前記回転軸の軸方向と直交する方向視において、前記軸方向に対して平行な第1形状と、前記軸方向に対して非平行な第2形状とを含む形状を有し、
前記回転軸の軸方向に沿った前記第1形状の長さは、前記転動部のそれに比べて短い、
ことを特徴とする軸受。
A support portion having a first surface disposed in the vicinity of the peripheral surface of the rotation shaft;
A plurality of rolling portions disposed between the peripheral surface and the first surface;
With
The support part has a slit having an open end formed in the first surface,
The open end has a shape including a first shape parallel to the axial direction and a second shape non-parallel to the axial direction when viewed in a direction orthogonal to the axial direction of the rotating shaft. ,
The length of the first shape along the axial direction of the rotating shaft is shorter than that of the rolling part,
A bearing characterized by that.
回転軸を回転駆動させる駆動部と、
前記回転軸を回転可能に支持する軸受と
を備え、
前記軸受として、請求項1から請求項22のうちいずれか一項に記載の軸受が用いられている
モータ装置。
A drive unit for rotationally driving the rotary shaft;
A bearing that rotatably supports the rotating shaft,
The motor device according to any one of claims 1 to 22, wherein the bearing is used as the bearing.
前記駆動部は、前記回転軸の周面の少なくとも一部に掛けられた伝達部材と、前記伝達部材に接続され前記伝達部材を移動させる駆動素子と、を有し、
前記回転軸と前記伝達部材との間を回転力伝達状態として前記伝達部材を一定距離移動させる駆動動作及び前記回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部材を所定の位置に戻す復帰動作を前記駆動素子に行わせる制御部を備える
請求項23に記載のモータ装置。
The drive unit includes a transmission member that is hung on at least a part of a peripheral surface of the rotation shaft, and a drive element that is connected to the transmission member and moves the transmission member.
A driving operation in which the transmission member is moved a certain distance with the rotational shaft and the transmission member being in a rotational force transmission state, and a return operation in which the transmission member is returned to a predetermined position with the rotational force transmission state being canceled. The motor device according to claim 23, further comprising a control unit that causes the drive element to perform.
回転軸部材と、
前記回転軸部材を回転させるモータ装置と
を備え、
前記モータ装置として、請求項23又は請求項24に記載のモータ装置が用いられている
ロボット装置。
A rotating shaft member;
A motor device for rotating the rotating shaft member,
25. A robot apparatus in which the motor apparatus according to claim 23 or 24 is used as the motor apparatus.
JP2012033168A 2012-02-17 2012-02-17 Bearing, motor device, and robotic system Pending JP2013170593A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012033168A JP2013170593A (en) 2012-02-17 2012-02-17 Bearing, motor device, and robotic system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012033168A JP2013170593A (en) 2012-02-17 2012-02-17 Bearing, motor device, and robotic system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013170593A true JP2013170593A (en) 2013-09-02

Family

ID=49264678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012033168A Pending JP2013170593A (en) 2012-02-17 2012-02-17 Bearing, motor device, and robotic system

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013170593A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6214193B2 (en) Vibration wave drive device, two-dimensional drive device, image shake correction device, interchangeable lens, imaging device, and automatic stage
JP5641041B2 (en) MOTOR DEVICE, MOTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND ROBOT DEVICE
JP5835212B2 (en) MOTOR DEVICE, MOTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND ROBOT DEVICE
US8674586B2 (en) Motor device, apparatus and driving method for rotor
JP5186318B2 (en) Robot joint and torque transmission force variable device
JP2013170593A (en) Bearing, motor device, and robotic system
JP2009296797A (en) Inertial drive actuator
JP2017035769A (en) Four degree-of-freedom mechanism
WO2012111812A1 (en) Bearing, motor device, and robot device
JP2008014913A (en) Electric table device and microscopic stage
JP2018186656A5 (en)
JP2010259182A (en) Motor device, rotor driving method, and shaft member driving method
JP2011230241A (en) Parallel link robot
JP2011217490A (en) Motor device, method of driving rotor, and robot device
JP2012010520A (en) Motor device, driving method of rotor, and robot device
JPWO2011125719A1 (en) MOTOR DEVICE, ROTOR DRIVE METHOD, AND ROBOT DEVICE
JP5621350B2 (en) MOTOR DEVICE, ROTOR DRIVING METHOD, AND ROBOT DEVICE
JP2011217500A (en) Motor device, method of driving rotor, and robot device
JP2012010522A (en) Motor device, method for driving rotor, and robot device
KR101778682B1 (en) Piezo-electric rotary motor
JP2012010519A (en) Motor device, method for driving rotor, and robot device
JP2001260095A (en) Micromanipulator and actuator
JP3581433B2 (en) Angle displacement mechanism
US20230268849A1 (en) Vibration type actuator capable of reducing change in force generated between contact body and vibrating body, multi-axis stage, articulated robot, and device
JP2013070529A (en) Motor device and robot device