JP2013037747A - 波長選択回折素子及びこれを用いた光ヘッド装置 - Google Patents
波長選択回折素子及びこれを用いた光ヘッド装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013037747A JP2013037747A JP2011174016A JP2011174016A JP2013037747A JP 2013037747 A JP2013037747 A JP 2013037747A JP 2011174016 A JP2011174016 A JP 2011174016A JP 2011174016 A JP2011174016 A JP 2011174016A JP 2013037747 A JP2013037747 A JP 2013037747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- light
- optical
- photopolymerizable composition
- refractive index
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
【解決手段】透明基板11と、凹凸部材12と、充填部材13とを備え、少なくとも405nm波長帯、660nm波長帯及び785nm波長帯の波長λ1、λ2及びλ3を有する入射光が入射される波長選択回折素子10であって、凹凸部材12または充填部材13を構成する第2の光学材料Bは、重合性基を有する表面修飾剤で表面被覆された平均粒子径3nm以上15nm以下の酸化ジルコニウム粒子と、1個の重合性基と炭素数10以上14以下の脂環式構造を有する一官能性化合物と、を含有する光重合性成組成物を硬化させてなる波長選択回折素子10。
【選択図】図1
Description
このため、BD、DVD、CD等の複数の光ディスクに対応した光ヘッド装置では、各使用波長域に対応した波長帯の光を出射する光源、及びこれに対応した開口数NAを有する対物レンズが用いられる。具体的には、BDでは405nm波長帯、DVDでは660nm波長帯、CDでは785nm波長帯の光を出射する半導体レーザが用いられる。
トラッキングサーボ信号としては、例えば、光ディスクに至る往路の光路中に配置した回折素子により、半導体レーザからの出射光を直進透過光(0次回折光)と±1次回折光に分岐させる3ビーム方式が用いられる。
また、複数に分割された領域に、入射光束毎に異なる格子パターンが形成された回折素子(以下、ホログラム回折素子と示す。)を、光ディスクから光検出器に至る復路の光路中に配設し、信号光を複数の回折光に分岐してトラッキングサーボ信号を生成するホログラム方式等も用いられる。
しかし、上記のような複数の光ディスクに対応した光ヘッド装置では、各光ディスクの使用波長毎に別個に各部材を配設すると、装置全体が大型化し、また構成部材の数が多くなり、装置の質量が増加するという問題がある。
また、光検出器としては、DVDで反射される信号光とCDで反射される信号光とを共通の単一パッケージで受光可能なものも用いられている。
特許文献1の波長選択回折素子は、BD等の使用波長域で透明性を有する、ポリエステル系、ポリエーテル系、アクリル系、エポキシ系等の高分子材料からなる凹凸部及び充填部で構成されており、当該回折素子の格子ピッチや格子形状を調整することで、特定波長の光のみを選択的に回折するように構成されている。
この場合、例えばホログラム回折格子のパターンを調整することで、単一パッケージとした光検出器の受光面に対して複数波長の回折光を共通に入射可能とし、光検出器の受光面数や受光面の面積の低減を図ることができる。
このため、例えば660nmの波長域で凹凸部の屈折率と充填部の屈折率が一致するときに、405nmの波長域での両者の屈折率差は0.008程度であった。このため、例えばバイナリー形の格子形状を採用した場合には、所望の1次回折効率を得ることは困難であった。
また、前記一官能性化合物の脂環式骨格がアダマンタン、ジアマンタン、またはトリシクロデカンのいずれかであり、前記重合性基がアクリル基またはメタクリル基が好ましい。また、前記表面修飾剤は、下記一般式(1)で示される化合物が好ましい。
また、光重合性組成物における前記酸化ジルコニウム粒子の含有量は45質量%以上70質量%以下が好ましい。また、前記高波長分散性を有する第1の光学材料Aは、芳香族化合物を含有することが好ましい。また、前記高波長分散性を有する第1の光学材料Aの屈折率ndとアッベ数νdが10<νd<35、1.55<nd<1.70の範囲内にあり、かつ、前記低波長分散性を有する第2の光学材料Bの屈折率ndとアッベ数νdが38<νd<58、1.53<nd<1.78、かつ、nd>1.804−0.005νdの範囲内にあることが好ましい。
なお、以下の説明で用いられる「平均粒子径」は、透過型走査顕微鏡(TEM)により評価した値である。
また、「光重合性組成物」とは、紫外線の照射によって重合反応を起こすラジカル重合性の化合物を含む組成物をいう。
また、「(メタ)アクリル基」は、「アクリル基」または「メタクリル基」をいう。
また、本明細書において、凹凸部材及び充填部材を構成する光学材料のうち、高波長分散性を有する光学材料を第1の光学材料Aとし、低波長分散性を有する光学材料を第2の光学材料Bとする。
まず、本発明の第1の実施の形態に係る波長選択回折素子10の構成について図1を用いて説明する。なお、本実施の形態に係る波長選択回折素子をBDと、DVD及びCDとの規格に対応させる例を挙げて説明する。また、BD、DVD及びCDの記録再生に用いられる光の波長をそれぞれλ1、λ2及びλ3で表す。ここで、波長λ1、λ2及びλ3の光は、それぞれ、波長405nm帯、660nm帯及び785nm帯の光である。なお、波長405nm帯、660nm帯及び785nm帯とは、それぞれ、405±20nm、660±20nm及び785±20nmの波長範囲をいう。
これらの格子形状は、例えばフォトリソグラフィーとエッチングとを繰り返すことにより形成できる。また、これに限らず、ブレーズ形状や他の任意の凹凸形状も含め、上記の格子形状は、切削加工や研削加工、金型を用いたプレス加工、モールドを用いたインプリント法などでも形成できる。
高波長分散性を有する第1の光学材料A及び低波長分散性を有する第2の光学材料Bに関しては、後に詳述する。
この場合、nA12(λ1)>nB13(λ1)>nA12(λ2)、nA12(λ1)>nB13(λ1)>nB13(λ2)、|nA12(λ2)−nB13(λ2)|≦0.006の関係を満たしている。
波長λ1の光に対する第1の光学材料Aの屈折率nA12と、第2の光学材料Bの屈折率nB13との差|nA12−nB13|は、0.015以上であることがより好ましい。
このようにして、波長λ1の光に対して回折機能を発現し、波長λ2、λ3の光に対しては機能しない波長選択性回折素子10が得られる。
格子ピッチが1μm以上であると、波長選択回折素子10を効率的に製造できる。一方、格子ピッチが1mm以下だと、所望の回折効率が得られる。
以下、本発明の第2の実施の形態に係る波長選択回折素子20について図面を用いて説明する。なお、本発明の第1実施形態に係る波長選択回折素子10と同様に、本実施形態に係る波長選択回折素子20をBD、DVD、CDの規格に対応させる例を挙げて説明し、重複する説明は省略する。
この場合、nB22(λ1)>nB22(λ2)>nA23(λ2)、nA23(λ1)>nB22(λ2)>nA23(λ2)、|nA23(λ1)−nB22(λ1)|≦0.006の関係を満たしている。
一方、波長λ2の光は、凹凸部材22の屈折率と充填部材23の屈折率が異なるため、凹凸部材22に進入すると、図3(b)に示すように、その屈折率差によって回折され、回折光が得られる。
波長λ2及び波長λ3の光に対する、第1の光学材料Aの屈折率nA23と第2の光学材料Bの屈折率nB22との差|nA23−nB22|は、0.013以上がより好ましい。
波長λ1の光に対する第1の光学材料Aの屈折率nA23と、第2の光学材料Bの屈折率nB22との差|nA23−nB22|は、より好ましくは0.005以下である。
但し、回折素子20全体の厚みが1μm以上5μmの場合、波長λ2及びλ3の光に対する1次回折効率が20%以下であっても、波長λ1の光に対し、90%以上の0次回折効率(透過率)を得られる場合には、波長選択回折素子として用いるメリットを有する場合がある。したがって、この場合には、必ずしも1次回折効率は、20%以上でなくてもよい。
低波長分散性を有する第2の光学材料Bは、重合性結合基を有する表面修飾剤で表面被覆された平均粒子径3nm以上15nm以下の酸化ジルコニウム粒子と、1個の重合性基と炭素数10以上14以下の脂環式構造を有する一官能性化合物と、を含有する光重合性組成物(β)を光重合してなる硬化体で構成されている。
酸化ジルコニウム粒子は、光重合性組成物の屈折率や波長分散性等の光学特性を制御するため重合性モノマー中に添加、分散させる。
酸化ジルコニウムは、酸化アルミニウム等の他の無機微粒子と比較して、屈折率が高く、かつ屈折率の波長分散性が小さいため、これを重合性モノマー中に分散させることで、高屈折率、かつ低波長分散性を有する光重合性組成物(β)が得られる。
また、酸化ジルコニウムは400〜800nmの可視域に吸収帯を有しないため、光照射による樹脂材料の変性が抑制された組成物(β)である。
また、酸化ジルコニウムは、結晶体でもよく、アモルファスでもよく、高屈折率を得る観点からは、結晶体が好ましい。
酸化ジルコニウム粒子の平均粒子径が3nm以上であると、その粒子表面積の増大が抑制され、組成物中における、酸化ジルコニウム粒子の体積当たりの表面修飾剤量の増大が抑制される。このため、表面修飾剤量の増大による、組成物中の酸化ジルコニウムの含有率の相対的な低下が抑制され、屈折率を高める効果を十分に得られる。
また、酸化ジルコニウム粒子の平均粒子径が3nm以上であると、適度の添加量で十分な屈折率を得ることができ、組成物の粘度上昇が抑制される。したがって、これを基板上に塗布する場合、塗布量や面内分布を制御し易く、優れた成形性を得られる。
一方、酸化ジルコニウム粒子の平均粒子径が15nm以下だと、凝集粒子による二次粒子の平均粒径が30nm以下となり、光硬化後の光学材料Bにおいて、散乱による透過損失が生じず、優れた透過率を得られる。
粘度上昇による成形性の低下を抑制するとともに、高屈折率かつ高透過率を得る観点から、酸化ジルコニウム粒子の平均粒子径は、6nm以上14nm以下であることがより好ましい。
また、酸化ジルコニウム粒子の、平均粒子径分布における30nm以上の粒子の割合は1%未満が好ましい。
表面被覆剤は、酸化ジルコニウム粒子と重合性モノマー成分との相溶性を高めるため、当該粒子表面を被覆して設けるものであり、重合性基を有するものであれば、特に限定なく使用できる。
これらの中でも、アクリル基、メタクリル基は、光重合性組成物において、温度変化に伴う屈折率の変動が抑えられるため重合性基として好ましい。
化合物(1)としては、より好ましくは、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシランである。
表面修飾剤の添加量が、酸化ジルコニウム粒子に対して15質量%以上であると、酸化ジルコニウムと樹脂との相溶性が十分に高められる。
一方、表面修飾剤の添加量が、酸化ジルコニウム粒子に対して40質量%以下だと、光重合性組成物(β)における酸化ジルコニウムの含有量の相対的な低下が抑制され、十分な屈折率が得られる。
酸化ジルコニウムの含有量が45質量%以上であると、光重合性組成物(β)において、十分な屈折率が得られ、例えば波長589nmにおいて1.6以上の屈折率が得られる。
一方、酸化ジルコニウムの含有量が70質量%以下だと、光重合性組成物(β)の粘度の上昇が抑制され、これを基板上に塗布する場合、塗布量や面内分布を制御し易く、成形性に優れ、基板上への塗布、成形がし易い。
一官能性化合物(I)は、紫外線等の照射によって光重合反応を起こすモノマーであり、炭素数10以上14以下の脂環式構造を主骨格とし、かつ1つの分子内に1個の重合性基を有するものである。特に、脂環式構造が三次元的な架橋構造を有するものは、分子が高密度となり、高屈折率を得られるため好ましい。
脂環式構造の炭素数が10以上の場合には、屈折率を高める効果を十分に得られる。また、炭素−炭素間において安定した結合角が十分に確保され、一官能性化合物(I)全体の分子骨格が、歪みの小さい安定なものとなる。
一方、脂環式構造の炭素数が14以下の場合には、室温で液体状態であり、取り扱い易い。脂環式構造の炭素数は、より好ましくは10〜12である。
また、光学材料Bを構成する光重合性組成物(β)は、上述した一官能性化合物(I)とともに、多官能性化合物(II)を含有することが好ましい。
多官能性化合物(II)は、紫外線等の照射によって光重合反応を起こすモノマーであり、炭素数10以上14以下の脂環式構造を主骨格とし、かつ1つの分子内に2個以上の重合性基を有するものである。
光重合性組成物(β)では、一官能性化合物(I)とともに、さらに多官能性化合物(II)を含有させることで、光重合性組成物(β)を硬化した成型体において、脆性が改善され、離型性に優れた光学材料Bが得られる。
一方、脂環式骨格の炭素数が14以下の場合には、室温で液体状態であり、取り扱い易い。脂環式構造の炭素数は、より好ましくは10〜12である。
多官能性化合物(II)に含まれる重合性基の数は、2以上がよく、より好ましくは2〜4である。
一官能性化合物(I)の含有量が15質量%以上であると、光重合性組成物(β)において適度な粘度を得られ易く、製膜性に優れる。
一方、一官能性化合物(I)の含有量が45質量%以下だと、光重合組成物(β)において、酸化ジルコニウム粒子の含有量を相対的に高めることができ、高い屈折率を得られやすい。
多官能性化合物(II)の含有量が1質量%以上であると、光重合組成物(β)の硬化体である光学材料Bの外圧による損傷が抑制され、離型時に剥離等が生じ難く、製品の歩留まりが向上する。
一方、多官能性化合物(II)の含有量が30質量%以下だと、光重合性組成物(β)の硬化体である光学材料Bの強度の過度の上昇が抑制され、石英ガラスに対し優れた密着性を得られる。このため、光学材料Bの基板表面からの剥離が生じ難く、製品の歩留まりが向上する。
一官能性化合物(I)/多官能性化合物(II)が1以上であると、光重合組成物(β)の硬化体である光学材料Bの強度の過度の上昇が抑制され、石英ガラス等の基板に対し優れた密着性を得られる。
一方、一官能性化合物(I)/多官能性化合物(II)が40以下だと、光重合組成物(β)の硬化体である光学材料Bにおいて十分な強度を得られ、離型時に破壊等を生じ難い。
高波長分散性を有する第1の光学材料Aは、芳香族化合物を含有する光重合性組成物(α)を光重合したものが、高波長分散性に優れるため好ましい。
A:水素原子又は下記式(13)〜(16)から選択される基。
VwH(3−W)C− ・・・ (13)
PhxY(3−x)Si− ・・・ (14)
J−(CH2)m1−CHl(CH3)(2−l)− ・・・(15)
J−(CH2)n1−SiPhp1(CH3)(2−p1)− ・・・(16)
B:下記式(17)〜(18)から選択される基。
J−(CH2)m2−CHk(CH3)(2−k)− ・・・(17)
J−(CH2)n2−SiPhp2(CH3)(2−p2)− ・・・(18)
w:0〜3の整数。
V:メチル基またはエチル基。但し、wが2〜3のときにはVはそれぞれ異なる基であってもよい。
x:0〜3の整数。
Y:メチル基、シクロヘキシル基、tert−ブチル基、sec−ブチル基およびiso−プロピル基から選択される基。但しxが0又は1のとき、Yは異なる基であってもよい。
J:CH2=CR−COO−、エポキシ基、ビニル基及びビニルエーテル基から選択される基。
R:水素原子又はメチル基。
l:0〜1の整数。
k:0〜2の整数。ただし、Aが水素原子の場合、kは2を除く。
m1、m2:それぞれ独立して0〜12。
n1、n2:それぞれ独立して1〜12。p1、p2:それぞれ独立して0〜2。
なお、光重合性組成物(α)は、一の化合物のみで構成されてもよく、例えば芳香族化合物(10)〜(12)のいずれか一の化合物のみで構成されてもよい。
芳香族化合物(10)〜(12)の含有量が50質量%以上であると、光重合性組成物(α)の光重合後に得られる光学材料Aにおいて、十分に高い波長分散性が得られる。
光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、アシルホスフィンオキサイド類、ベンゾイン類、ベンジル類、ミヒラーケトン類、ベンゾインアルキルエーテル類、ベンジルジメチルケタール類等を挙げることができ、上記から1種または2種以上を適宜選択して使用できる。
アセトフェノン類としては、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−12−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン等が挙げられる。
アシルホスフィンオキサイド類としては2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−ジフェニル−ホスフィンオキサイド等が挙げられる。
光重合開始剤の添加量が5質量%以下だと、光重合性組成物に着色が生じ難い。
一方、光重合開始剤の添加量が0.01質量%以上だと、光重合反応が十分に進行する。
安定化剤が5質量%以下だと、青色レーザーに対する耐久性に優れ、また耐候性に優れる。
光重合性組成物(β)は、表面被覆された酸化ジルコニウム粒子、一官能性化合物(I)、多官能性化合物(II)を、上述した重合開始剤、安定化剤等の他の成分と混合して製造できる。
溶媒は、一官能性化合物(I)、多官能性化合物(II)、光重合開始剤、安定化剤のうちの少なくとも一つを溶解させる化合物であり、常圧における沸点が200℃以下の化合物が好ましく、150℃以下の化合物がより好ましい。沸点が200℃以下の化合物では、該化合物を除去するのに高温での加熱を要しないため、該化合物を除去する際に、一官能性化合物(I)、多官能性化合物(II)、光重合開始剤、安定化剤の変質や揮散等が生じ難い。
さらに、上述した一官能性化合物(I)等の脂環式化合物は昇華し易いため、光重合性組成物(β)の残留溶媒量が多いと、加熱処理により溶媒を除去する際に、組成比率の変動が生じ易く、各成分組成の精密な調整が困難となり、光硬化後に得られる光学材料Bにおいて、屈折率にバラツキが生じ易い。
光重合性組成物(β)の残留溶媒量が光重合性組成物(β)全体に対して1質量%以下だと、溶媒除去に伴う上述した現象が生じ難く、屈折率のバラツキが抑制される。
光重合性組成物の25℃における粘度が10000mPa・s以下であると、外気の巻き込み量が少なく、成形体に気泡が混入しにくく、均一な光学材料が得られる。またこの場合、光重合性組成物において良好な流動性が得られ、基板上に、均一な厚みを有する膜が成膜できる。
一方、光重合性組成物の25℃における粘度が100mPa・s以上であると、例えばスピンコート等による成膜時に、十分な膜厚が確保できる。
本発明の波長選択回折素子は、上述した光重合性組成物(α)、光重合性組成物(β)を基材上に塗布した後、これを光硬化させて形成できる。
(a)透明基材上に光重合性組成物(α)を塗布し、光重合性組成物(α)の塗布層を形成する工程。
(b)基板上に形成された光重合性組成物(α)の塗布層の上に、形成すべき格子パターンの反転パターンを有するモールドを押し付ける工程。
(c)モールドを介して加圧した状態で、塗布層に紫外線等の光線を照射し、光重合性組成物(α)を硬化させて硬化層を形成する工程。
(d)光重合性組成物(α)の硬化層からモールドを分離し、表面に格子パターンが形成された成型体を得る工程。
(e)光重合性組成物(α)の硬化層上に光重合性組成物(β)を塗布し、光重合性組成物(β)の塗布層を形成する工程。
(f)光重合性組成物(β)の塗布層の上に、透明基板を押し付ける工程。
(g)透明基板を介して加圧した状態で、光重合性組成物(β)の塗布層に紫外線等の光線を照射し、光重合性組成物(β)を硬化させて硬化層を形成する工程。
図5(a)に示すように、平板状の基板11の表面に形成された接着層15上に、未硬化の光重合性組成物(α)をスピンコート法等により塗布し、光重合性組成物(α)の塗布層12aを形成する。
加熱温度が100℃以下だと、意図しない熱重合反応の進行や、重合性モノマー成分の揮発が生じ難く、得られる成型体において、屈折率の再現性が良好である。
図5(b)に示すように、工程(a)において形成された光重合性組成物(α)の塗布層12aの上に、減圧雰囲気で、形成すべき格子パターンの反転パターンを表面に有するモールド16を押し当てる。このとき、真空環境のような減圧雰囲気であると、空気の介在がなく、成型体に格子パターンを転写した際の泡の巻き込みによる欠陥を低減できる。ここで、真空環境とは、3000Pa以上の減圧雰囲気を指す。3000Pa以上の減圧雰囲気であれば、光重合性組成物(α)の揮発による組成の大幅な変化が生じ難い。
図5(c)に示すように、モールド16または基板11を介して光重合性組成物(α)の塗布層12aを加圧しながら、基板11またはモールド16のいずれか紫外線を透過する側から、紫外線を照射し、塗布層12aの光重合性組成物(α)を完全に硬化させる。
モールド16の表面処理に用いる離型剤としては特に制限されないが、光重合組成物を硬化させてなる光学材料に対する離型性、およびモールドへの接着性の点から、ケイ素原子に加水分解可能な基が結合した含フッ素有機シラン化合物が好ましい。特にアルコキシシリル基、シラノール基を有する含フッ素系有機シラン化合物は、石英ガラスと反応して高い密着性を得られるため好ましい。
具体的には、例えばオプツールDSX(商品名、ダイキン工業株式会社製)、Novec EGC−1720(商品名、住友スリーエム株式会社製)、トリメトキシ(1H,1H,2H,2H−パーフルオロデシル)シラン、トリメトキシ(1H,1H,2H,2H−パーフルオロオクチル)シラン等の市販の離型剤が好ましい。
モールド16の表面処理に用いるフッ素系有機材料は、1種類のみを用いても良く、2種類以上を用いてもよい。
図5(d)に示すように、工程(c)で形成された光重合性組成物(α)の硬化層12からモールド16を分離し、表面に格子パターンを有する成型体17を得る。成型体17とモールド16とを分離する方法としては、真空吸着によって双方を固定して片方を離す方向に移動させる方法、機械的に双方を固定して片方を離す方向に移動させる方法等が挙げられる。
図5(e)に示すように、工程(c)で形成された硬化層12の上に、未硬化の光重合性組成物(β)をスピンコート法等により塗布し、光重合性組成物(β)の塗布層13aを形成する。
光重合性組成物(β)の塗布時の圧力、周辺雰囲気、温度等に関する好適な条件は、光重合性組成物(α)の塗布時の条件(工程(a))と同様である。
図5(f)に示すように、工程(e)において形成された光重合性組成物(β)の塗布層13aの上に、減圧雰囲気で、透明基板14を押し当てる。このとき、真空環境のような減圧雰囲気であると、空気の介在がなく、押圧時における泡の巻き込みによる欠陥の発生を低減できる。ここで、真空環境とは、3000Pa以上の減圧雰囲気を指す。
3000Pa以上の減圧雰囲気であれば、光重合性組成物(β)の揮発による組成の大幅な変化が生じ難い。
図5(g)に示すように、透明基板11または透明基板14を介して光重合性組成物(β)の塗布層13aを加圧しながら、透明基板11または透明基板14のいずれか紫外線を透過する側から、紫外線を照射し、塗布層13aの光重合性組成物(β)を完全に硬化させる。これにより、透明基板11及び透明基板14間に、光重合性組成物(α)の硬化層12とともに、光重合性組成物(β)の硬化層13が形成された波長選択回折素子10を得る(図5(h)参照)。
透明基板11、14としては、透光性を有する無機材料製または有機材料製の基板が用いられる。無機材料としては、シリコン、ガラス、石英ガラス、金属酸化物(アルミナ(サファイア含む)等)、窒化珪素、窒化アルミニウム、ニオブ酸リチウム、化合物半導体(窒化ガリウム、ヒ化ガリウムなど)等が挙げられる。有機材料としては、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート等)、ポリイミド、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロン樹脂、ポリフェニレンサルファイド、環状ポリオレフィン等が挙げられる。
シランカップリング剤としては、例えばビニルトリクロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチルーブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(ビニルベンジル)−2−アミノエチル−3−アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、3−イソシアネ―トプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
透明基板11、14の表面処理に用いるシランカップリング剤は、1種類のみを用いてもよく、2種類以上を用いてもよい。
これら化合物の硬化物の屈折率ndとアッベ数νdを測定したところ、それぞれ1,2−ビス(アクリロイルオキシエチルチオ)エタンはνd=45、nd=1.58であり、ビス(アクリロイルオキシエチルチオエチル)スルフィドは、νd=42、nd=1.59であり、2,2’−チオジエタンチオールジアクリレートはνd=34、nd=1.63であり、これら化合物のndとνdは、それぞれ関係式nd=1.804−0.005νdを満たしていた。
これに対し、光重合組成物(β)を硬化させてなる第2の光学材料Bは、屈折率ndが、(1.804−0.005νd)を超える範囲にあり、上記の硫黄化合物と比較して、アッベ数νdに対してより高い屈折率が得られる。
次に、本発明の第3の実施形態に係る波長選択性回折素子について図6を用いて説明する。図6(a)は、波長選択性回折素子30に波長λ1の光が入射したときの作用を示す模式的な横断面図であり、図6(b)は、波長選択性回折素子30に波長λ2の光が入射したときの作用を示す模式的な横断面図である。
なお、波長選択性回折素子30において、第1部材320を構成する透明基板31、凹凸部材32及び充填部材33、並びに透明基板37は、それぞれ、上述した波長選択性回折素子20(図3参照。)における透明基板21、回折格子22、充填部材23及び透明基板24に該当する。
また、波長選択性回折素子30において、第2部材310を構成する透明基板36、凹凸部材35及び充填部材34、並びに透明基板37は、それぞれ、上述した波長選択性回折素子10(図1参照。)における透明基板11、凹凸部材12、充填部材13及び透明基板14に該当する。
したがって、波長選択性回折素子30は、異なる素子を複合して形成された一つの素子により、2種の波長に対して、それぞれ独立に回折素子として機能できる。
このとき、図1に示す波長選択性回折素子10の凹凸部材12及び充填部材13が、第1の実施形態の関係を有する場合には、405nm波長帯の光を回折し、660nm波長帯の光を透過する波長選択性回折素子を作製できる。なお、785nm波長帯は660nm波長帯と屈折率が近いため、785nm波長帯の光も透過する波長選択性回折素子を作製できる。
また、図3に示す波長選択性回折素子20の凹凸部材22及び充填部材23が、第2実施形態の関係を有する場合には、405nm波長帯の光を透過し、660nm波長帯の光を回折できる。なお、CDで使用される785nm波長帯は、660nm波長帯と屈折率が近いため、785nm波長帯の光も回折可能な波長選択性回折素子を作製することもできる。
図7は、本発明の一実施形態である光ヘッド装置の構成を模式的に示す図である。
図7に示すように、光ヘッド装置111は、レーザ光を出射する光源112と、波長選択性回折格子113と、レーザ光を透過するビームスプリッタ114と、レーザ光を平行化するコリメータレンズ115と、光ディスク116の記録層117に集光する対物レンズ118と、光ディスク116からの反射光を検出する光検出器119とを有している。波長選択性回折格子113は、3ビーム発生用回折格子であり、本実施形態では、上述した波長選択性回折格子10(図1参照。)を適用する。波長選択性回折格子113で得られた3ビームは、光ヘッド装置111において、BDなどに記録された情報を読み取る際のトラッキング制御において用いられる。
対物レンズ118は、所定の開口数NAを有しており、コリメータレンズ115からの入射光を光ディスク116の記録層117に集光し、さらに、記録層117からの反射光を捕捉するように構成されている。光検出器119は、レンズやフォトダイオードなどを含んでおり、ビームスプリッタ114の反射面によって反射された光ディスク116からの反射光を電気信号に変換する。また、光検出器119は、波長λ1の3ビームの反射光を受光し、0次回折光により生成された主ビームと、±1次回折光により生成された2つの副ビームとを受光し、2つの副ビーム間の光量差に基づいてトラッキングエラーを検出し、トラッキング制御部(図示せず)に出力する。
以上述べたように本発明の波長選択回折素子を用いることにより、大容量化に適し、信頼性の高い光ヘッド装置を構成できる。
ジルコニア粒子の平均粒子径は、透過型電子顕微鏡を用いて約200個の粒子径を測定し平均値を使用した。
光重合性成組成物の粘度測定は、粘度計(Brookfield社製、商品名「HBDV-III Ultra CP」)により、25℃においてせん断速度10s−1にて測定した。
光重合性成組成物を硬化した硬化物の屈折率はプリズムカプラ(Metricon社製、商品名「Model2010」)により、室温で測定した。404、633、791nmにて測定された3波長の屈折率を、コーシーの式(n(λ)=A+B/λ2+C/λ4)のパラメーターA、B、Cを最小2乗法にてフィッティングを行い、波長589nmにおける屈折率ndとアッベ数νdを求めた。
(調製例1)
撹拌機を備えた100mLガラス製容器に、平均1次粒子径7nmの酸化ジルコニウム粒子2g、トルエン20gを入れ激しく撹拌し、さらに表面処理剤として3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン0.6gを投入した。その後、24時間撹拌を続けた後、エバポレータにて液体を除去し、白粉を得た。
得られた白粉の一部を採取し、CDCl3を加えて1H−NMRで分析したところ、メトキシ基に特有のスペクトルが消失していた。また、採取した残りの白粉にトルエンを加えたところ、透明な液体が得られた。
これにより、酸化ジルコニウム粒子表面が、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランと反応した表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−1)の生成が確認された。
平均1次粒子径7nmの酸化ジルコニウム粒子2gに代えて、平均1次粒子径9nmの酸化ジルコニウム粒子2gを使用し、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランの添加量を0.6gから0.4gに変更した以外は、(調製例1)と同様にして白粉の作製、及び酸化ジルコニウム粒子の表面状態の確認を行い、表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−2)を得た。
[例1]
100mLガラス製容器に、調製例1で得られた表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−1)1.30g、トルエン10gを入れ、トルエン分散液を調製した。
これに2−エチル−2−アダマンチルアクリレート(出光興産株式会社製)0.70gを加えて1時間撹拌した後、ロータリーエバポレーターにて溶媒を留去した。留去後に得られた組成物の一部を採取し、CDCl3を加えて1H−NMRで分析した。
NMR分析で得られたスペクトル強度から、組成物中のトルエン濃度は1%未満であることを確認した。
この組成物1.00gとトリシクロデカンジメタノールジアクリレート(共栄社化学株式会社製)0.03g、光重合開始剤として1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン0.005gとを混合し、超音波分散機にて分散処理を行って、光重合性組成物(A)を得た。
光重合性組成物(A)に占める、酸化ジルコニウム粒子の含有量は48.9質量%であり、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートの含有量は2.7質量%であった。
また、光重合性組成物(A)中のトルエンの残留濃度(残留溶媒量)は光重合性組成物(100質量%)に対して0.1質量%であり、粘度は2900mPa・sであった。
調製例1で得られた表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−1)1.30gに代えて、調製例2で得られた表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−2)1.37gを用い、2−エチル−2−アダマンチルアクリレートの添加量を0.70gから0.63gに変更し、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(共栄社化学株式会社製)の添加量を0.03gから0.20gに変更した以外は、[例1]と同様にして光重合性組成物(B)を得た。
光重合性組成物(B)に占める、酸化ジルコニウム粒子の含有量は47.2質量%、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートの含有量は16.9質量%であった。また、光重合性組成物(B)中のトルエンの残留濃度(残留溶媒量)は光重合性組成物(100質量%)に対して0.1質量%であり、粘度は2600mPa・sであった。
調製例1で得られた表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−1)1.30gに代えて、調製例2で得られた酸化ジルコニウム粒子(Z−2)1.37gを用い、2−エチル−2−アダマンチルアクリレート0.70gに代えてジアダマンチルアクリレート0.63gを用い、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(共栄社化学株式会社製)の添加量を0.03gから0.20gに変更した以外は、[例1]と同様にして光重合性組成物(C)を得た。
光重合性組成物(C)に占める、酸化ジルコニウム粒子の濃度は47.2質量%であり、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートの濃度は16.9質量%であった。
また、光重合性組成物(C)中のトルエンの残留濃度(残留溶媒量)は、光重合性組成物(100質量%)に対して 0.1質量%であり、粘度は7000mPa・sであった。
調製例1で得られた表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−1)の添加量を、1.30gから1.39gに変更し、2−エチル−2−アダマンチルアクリレートの添加量を0.70gから0.61gに変更し、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート0.03gをアダマンチルジアクリレート(三菱ガス化学株式会社製)0.05gに変更した以外は、[例1]と同様にして光重合性組成物(D)を得た。
光重合性組成物(D)に占める、酸化ジルコニウム粒子の濃度は51.7質量%、アダマンチルジアクリレートの濃度は5.0質量%であった。
また、光重合性組成物(D)中のトルエンの残留濃度(残留溶媒量)は光重合性組成物(100質量%)に対して0.1質量%であり、粘度は8400mPa・sであった。
調製例1で得られた表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−1)の添加量を、1.30gから1.55gに変更し、2−エチル−2−アダマンチルアクリレート(出光興産株式会社製)の添加量を0.70gから0.45gに変更し、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートを添加しなかったこと以外は、[例1]と同様にして光重合性組成物(E)を得た。
光重合性組成物(E)に占める、酸化ジルコニウム粒子の濃度は60.5質量%であった。
また、光重合性組成物(E)中のトルエンの残留濃度(残留溶媒量)は光重合性組成物(100質量%)に対して0.4質量%であり、粘度は10000mPa・sを超える値を示した。
調製例1で得られた表面処理酸化ジルコニウム粒子(Z−1)1.30gに代えて、調製例2で得られた酸化ジルコニウム粒子(Z−2)1.59gを用い、2−エチル−2−アダマンチルアクリレートの添加量を0.70gから0.41gに変更し、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートを添加しなかった以外は、[例1]と同様にして光重合性組成物(F)を得た。
光重合性組成物(F)に占める、酸化ジルコニウム粒子の濃度は65.7質量%であった。また、光重合性組成物(F)中のトルエンの残留濃度は光重合性組成物(100質量%)に対して0.5質量%であり、粘度は10000mPa・sを超える値を示した。
[例7]
ビスアリールフルオレン骨格を有するオグソールEA−F5003(大阪ガスケミカル株式会社製)1.00gと光重合開始剤である1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン0.005gとを100mLガラス製容器に入れ、十分に撹拌し、光重合性組成物(G)を得た。
光重合性組成物(G)に占める、オグソールEA−F5003(大阪ガスケミカル株式会社製)の割合は99.5質量%であった。
下式(19)で示される芳香族化合物(19)1.00gと、光重合開始剤である1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン0.005gとを100mLガラス製容器に入れ、十分に撹拌し、光重合性組成物(H)を得た。
光重合性組成物(H)に占める、芳香族化合物(19)の割合は99.5質量%であった。
100mLガラス製容器に、オグソールEA−F5003(大阪ガスケミカル株式会社製)と、下式(20)で示される芳香族化合物(20)との混合物1.0gと、光重合開始剤である1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン0.005gとを100mLガラス製容器に入れ十分に攪拌し、光重合性組成物(I)を得た。
光重合性組成物(I)に占める、オグソールEA−F5003(大阪ガスケミカル株式会社製)の割合は58.9質量%であり、芳香族化合物(20)の割合は40.6質量%であった。
[例10]
2枚のガラス板の角4箇所を、直径10μmのガラスビーズを配合した接着剤を用いて貼り合わせて、ガラス間に10μmの間隔を設けたガラスセルを作製した。このガラスセルの内部に、上記の光重合性組成物(A)を液体状態で注入した後、ガラス板に対して垂直方向から紫外線を2分間照射し、光重合性組成物(A)を硬化させ硬化物Aを得た。
光硬化に用いた高圧水銀灯の照度は、波長365nmで100mW/cm2であった。硬化物Aの屈折率を測定したところ、屈折率ndは1.603、アッベ数νdは47であり、高屈折率かつ屈折率の波長依存性が小さいことが確認された。
光重合性組成物(A)に代えて光重合性組成物(B)〜(I)を用いた以外は、[例10]と同様にして、光重合性組成物(B)〜(I)を硬化させ硬化物B〜Iを得た。
[例19]
石英ガラス基板(以下、支持ガラス基板ともいう)上に光重合性組成物(A)を滴下し、次いでオプツールDSX(ダイキン工業株式会社製)で表面が処理された凹凸形状を有する石英ガラス基板(以下、離型性凹凸ガラス基板ともいう)を用いて気泡の巻き込みに注意しながらゆっくりと加圧した。
なお、凹凸形状はduty0.55のバイナリー形状であり、格子高さは9.4μm、格子ピッチは10μmであった。
石英ガラス基板及び離型性凹凸ガラス基板に対して、垂直方向から紫外線を2分間照射し、両ガラス基板内部に光重合性組成物(A)の硬化体が形成された積層体を得た。
光硬化に用いた高圧水銀灯の照度は、波長365nmで100mW/cm2であった。
その後、離型性凹凸ガラス基板を注意しながら硬化体から剥離したところ、支持ガラス基板上に、凹凸形状が転写された光学材料が得られた。次に、光重合性組成物(A)の硬化体からなる光学材料上に光重合性組成物(G)を滴下した後、組成物(G)上に石英ガラス基板(以下、保護ガラス基板ともいう)を載置し、気泡の巻き込みに注意しながら、保護ガラス基板をゆっくりと加圧した。
支持ガラス基板及び保護ガラス基板に対して、垂直方向から紫外線を2分間照射し、ガラス基板内部に、光重合性組成物(A)の硬化体及び光重合性組成物(G)の硬化体からなる光学材料が形成された波長選択回折素子を得た。
光重合性組成物(A)に代えて光重合性組成物(E)、光重合性組成物(G)に代えて光重合性組成物(H)を用い、凹凸形状の格子高さを6.3μmとしたこと以外は、実施例16と同様にして波長選択回折素子を得た。
光重合性組成物(G)に代えて光重合性組成物(I)を用い、凹凸形状を、duty0.45のバイナリー形状とし、格子高さを21.5μmとしたこと以外は、実施例16と同様にして波長選択回折素子を得た。
光重合性組成物(A)に代えて光重合性組成物(F)、光重合性組成物(G)に代えて光重合性組成物(H)を用い、凹凸形状を、duty0.45のバイナリー形状とし、格子高さを11.0μmとしたこと以外は、実施例16と同様にして波長選択回折素子を得た。
凹凸形状を8ステップブレーズ形状とし、格子高さを16.5μmとしたこと以外は、実施例16と同様にして波長選択回折素子を得た。
凹凸形状を8ステップブレーズ形状とし、格子高さを10.9μmとしたこと以外は、実施例17と同様にして波長選択回折素子を得た。
凹凸形状を8ステップブレーズ形状とし、格子高さを42.0μmとしたこと以外は、実施例18と同様にして波長選択回折素子を得た。
凹凸形状を8ステップブレーズ形状とし、格子高さを21.0μmとしたこと以外は、実施例19と同様にして波長選択回折素子を得た。
また、例19〜26の波長選択回折素子では、迷光や光量損失が抑制されており、波長405nm帯域または波長785nm帯域で、97.5%以上と高い0次回折効率が得られた。
111…光ヘッド装置、112…光源、113…波長選択性回折格子、114…ビームスプリッタ、115…コリメータレンズ、116…光ディスク、117…記録層、118…対物レンズ、119…光検出器
Claims (8)
- 透光性を有する透明基板と、前記透明基板上に形成され、一方向に延在するように周期的に形成された凹凸形状を有する凹凸部材と、少なくとも前記凹凸部材を埋めるように充填された充填部材とを備え、少なくとも405nm波長帯の波長(λ1)、660nm波長帯の波長(λ2)及び785nm波長帯の波長(λ3)を有する入射光が入射される波長選択回折素子であって、前記凹凸部材及び充填部材はそれぞれ、高波長分散性を有する第1の光学材料A又は低波長分散性を有する第2の光学材料Bのいずれか一方で形成されており、前記第1の光学材料Aの屈折率nA及び前記第2の光学材料Bの屈折率nBは、前記波長λ1の光に対して|nA−nB|≦0.006でありかつ前記波長λ2及び前記波長λ3の光に対して|nA−nB|>0.006であるか、または前記波長λ2及び前記波長λ3の光に対して|nA−nB|≦0.006であり、かつ前記波長λ1の光に対して|n(A)−n(B)|>0.006の関係を満たしており、前記低波長分散性を有する第2の光学材料Bは、重合性基を有する表面修飾剤で表面被覆された平均粒子径3nm以上 15nm以下の酸化ジルコニウム粒子と、1個の重合性基と炭素数10以上14以下の脂環式構造を有する一官能性化合物と、を含有する光重合性成組成物を硬化させてなることを特徴とする波長選択回折素子。
- 前記第1の光学材料Aの屈折率nA及び前記第2の光学材料Bの屈折率nBが、前記波長λ1、λ2、λ3のうち波長λ1の光に関して|nA−nB|≦0.006、かつ波長λ2、波長λ3の光に関して|nA−nB|≧0.013の関係にあり、波長λ1の光に対する0次回折効率が90%以上であるか、または、前記波長λ1、λ2、λ3のうち波長λ2、波長λ3の光に関して|nA−nB|≦0.006、かつ波長λ1の光に関して|nA−nB|≧0.015の関係にあり、波長λ2及びλ3の光に対する0次回折効率が90%以上である請求項1に記載の波長選択回折素子。
- 前記一官能性化合物の脂環式骨格がアダマンタン、ジアマンタン、またはトリシクロデカンのいずれかであり、前記重合性基がアクリル基またはメタクリル基である請求項1又は2に記載の波長選択回折素子。
- 前記酸化ジルコニウム粒子の含有量が45質量%以上70質量%以下である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の波長選択回折素子。
- 前記高波長分散性を有する第1の光学材料Aは、芳香族化合物を含有する請求項1乃至5のいずれか1項に記載の波長選択回折素子。
- 前記高波長分散性を有する第1の光学材料Aの屈折率ndとアッベ数νdが10<νd<35、1.55<nd<1.70の範囲内にあり、かつ、前記低波長分散性を有する第2の光学材料Bの屈折率ndとアッベ数νdが38<νd<58、1.53<nd<1.78、かつ、nd>1.804−0.005νdの範囲内にある請求項1乃至6のいずれか1項に記載の波長選択回折素子。
- 少なくとも405nm波長帯の波長(λ1)、660nm波長帯の波長(λ2)及び785nm波長帯の波長(λ3)を有する入射光を出射する光源と、前記光を光ディスクの記録層に集光する対物レンズと、前記光記録媒体からの反射光を検出する光検出器とを備える光ヘッド装置であって、前記光源と前記対物レンズとの間の光路上、又は前記対物レンズと前記光検出器との間の光路上に、請求項1から7のいずれか1項に記載の波長選択回折素子を設置してなることを特徴とする光ヘッド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011174016A JP2013037747A (ja) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | 波長選択回折素子及びこれを用いた光ヘッド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011174016A JP2013037747A (ja) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | 波長選択回折素子及びこれを用いた光ヘッド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013037747A true JP2013037747A (ja) | 2013-02-21 |
| JP2013037747A5 JP2013037747A5 (ja) | 2014-05-22 |
Family
ID=47887228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011174016A Withdrawn JP2013037747A (ja) | 2011-08-09 | 2011-08-09 | 波長選択回折素子及びこれを用いた光ヘッド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2013037747A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017126064A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-20 | 大日本印刷株式会社 | 回折光学素子、及び光照射装置 |
| JP2019035912A (ja) * | 2017-08-21 | 2019-03-07 | 国立大学法人電気通信大学 | 感光性組成物、ホログラフィック回折格子記録層、ホログラフィック回折格子記録媒体、およびホログラフィックパターン形成方法 |
| WO2020067417A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 住友大阪セメント株式会社 | 表面処理金属酸化物粒子、分散液、化粧料および表面処理金属酸化物粒子の製造方法 |
| JP2020132760A (ja) * | 2019-02-19 | 2020-08-31 | オーウエル株式会社 | 光硬化性組成物、硬化物、及びレンズ |
| JP2021529988A (ja) * | 2018-06-29 | 2021-11-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 光学部品のためのスピンコーティングされた高屈折率材料を用いたインプリント構造の間隙充填 |
| WO2022070600A1 (ja) * | 2020-09-30 | 2022-04-07 | 富士フイルム株式会社 | 透過型回折光学素子、接合光学素子、眼内レンズ、コンタクトレンズ、及び透過型回折光学素子の製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002350625A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Asahi Glass Co Ltd | 波長選択性回折素子および光ヘッド装置 |
| JP2009251093A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Konica Minolta Opto Inc | 光学用複合材料、及び光学素子 |
| WO2009139476A1 (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-19 | 旭硝子株式会社 | 重合性化合物、光硬化性組成物、光学素子および光ヘッド装置 |
| JP2010248392A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Asahi Glass Co Ltd | 重合性化合物およびこれを含む組成物、樹脂材料、光学素子並びに光ヘッド装置 |
-
2011
- 2011-08-09 JP JP2011174016A patent/JP2013037747A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002350625A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Asahi Glass Co Ltd | 波長選択性回折素子および光ヘッド装置 |
| JP2009251093A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Konica Minolta Opto Inc | 光学用複合材料、及び光学素子 |
| WO2009139476A1 (ja) * | 2008-05-16 | 2009-11-19 | 旭硝子株式会社 | 重合性化合物、光硬化性組成物、光学素子および光ヘッド装置 |
| JP2010248392A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Asahi Glass Co Ltd | 重合性化合物およびこれを含む組成物、樹脂材料、光学素子並びに光ヘッド装置 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017126064A (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-20 | 大日本印刷株式会社 | 回折光学素子、及び光照射装置 |
| JP7077524B2 (ja) | 2016-01-08 | 2022-05-31 | 大日本印刷株式会社 | 回折光学素子、及び光照射装置 |
| JP2019035912A (ja) * | 2017-08-21 | 2019-03-07 | 国立大学法人電気通信大学 | 感光性組成物、ホログラフィック回折格子記録層、ホログラフィック回折格子記録媒体、およびホログラフィックパターン形成方法 |
| JP7011249B2 (ja) | 2017-08-21 | 2022-01-26 | 国立大学法人電気通信大学 | 感光性組成物、ホログラフィック回折格子記録層、ホログラフィック回折格子記録媒体、およびホログラフィックパターン形成方法 |
| JP2021529988A (ja) * | 2018-06-29 | 2021-11-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 光学部品のためのスピンコーティングされた高屈折率材料を用いたインプリント構造の間隙充填 |
| JP7331024B2 (ja) | 2018-06-29 | 2023-08-22 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 光学部品のためのスピンコーティングされた高屈折率材料を用いたインプリント構造の間隙充填 |
| WO2020067417A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 住友大阪セメント株式会社 | 表面処理金属酸化物粒子、分散液、化粧料および表面処理金属酸化物粒子の製造方法 |
| JP2020132760A (ja) * | 2019-02-19 | 2020-08-31 | オーウエル株式会社 | 光硬化性組成物、硬化物、及びレンズ |
| WO2022070600A1 (ja) * | 2020-09-30 | 2022-04-07 | 富士フイルム株式会社 | 透過型回折光学素子、接合光学素子、眼内レンズ、コンタクトレンズ、及び透過型回折光学素子の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1259578C (zh) | 波长可选衍射元件及光学头装置 | |
| JP2013037747A (ja) | 波長選択回折素子及びこれを用いた光ヘッド装置 | |
| US20090052030A1 (en) | Wire-grid polarizer and process for producing the same | |
| JP4567094B2 (ja) | 回折光学素子および回折光学素子の製造方法 | |
| EP2360195B1 (en) | Photo-curing material manufacturing method, and photo-curing material and article | |
| CN1886691A (zh) | 使用具有光学上各向同性的液晶的光学元件 | |
| JP4547467B1 (ja) | 回折光学素子 | |
| CN102971677A (zh) | 体积全息图记录用感光性组合物及介质制造方法 | |
| JP5434913B2 (ja) | 重合性化合物、光硬化性組成物、光学素子および光ヘッド装置 | |
| CN1381046A (zh) | 光学记录介质的保护膜和光学记录介质 | |
| JP2008001895A (ja) | 光学用樹脂材料及び光学素子 | |
| JP4691830B2 (ja) | 波長選択性回折素子および光ヘッド装置 | |
| JP5163640B2 (ja) | 光学用有機無機複合材料及び光学素子 | |
| JP2009102539A (ja) | 重合性樹脂組成物およびそれを用いた光学素子 | |
| JPWO2020121653A1 (ja) | ホログラム記録用組成物、ホログラム記録媒体、回折光学素子、及びこれを用いた光学装置、光学部品、画像表示装置 | |
| JPWO2008015999A1 (ja) | 複合材料及び光学素子 | |
| TW200540451A (en) | Optical pick-up apparatus and optical information recording and/or reproducing apparatus | |
| JP7327979B2 (ja) | 硬化物、硬化物を用いた光学素子、回折光学素子、光学機器および撮像装置 | |
| JP7224834B2 (ja) | 回折光学素子、樹脂組成物、光学機器 | |
| CN103261304B (zh) | 可聚合组合物和包括由其形成的固化树脂层的光学片 | |
| JP2011012163A (ja) | 光硬化性材料の製造方法、光硬化性材料および物品 | |
| US20140226216A1 (en) | Composite optical element | |
| JP2010248392A (ja) | 重合性化合物およびこれを含む組成物、樹脂材料、光学素子並びに光ヘッド装置 | |
| JP6303923B2 (ja) | 回折光学素子 | |
| WO2010087208A1 (ja) | 回折光学素子およびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140305 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140403 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140818 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140826 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20140827 |