JP2013031285A - 振動波モータ - Google Patents

Abstract

【課題】湿度の変化に伴って発生する振動波モータの摩擦力の変化を抑制し、湿度の変化による振動波モータの性能の劣化を低減することが可能となる振動波モータを提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子と、
前記電気−機械エネルギー変換素子に固定され、前記電気−機械エネルギー変換素子への電圧の印加により振動する振動体と、
前記振動体と加圧接触し、前記振動により摩擦駆動する移動体と、
前記振動体と前記移動体とを前記加圧接触させる加圧部材と、
を有する振動波モータであって、
前記加圧部材に発生する加圧力を調整する加圧力調節手段を備え、
前記加圧力調節手段は、前記加圧力を湿度の変化に応じて調節する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、振動体に移動体を加圧接触させ摩擦駆動するいわゆる振動波モータに関し、特に振動波モータの加圧構造に関するものである。

一般に、振動波モータは、進行性振動波が形成される振動体と、振動体に加圧接触する移動体とを有し、振動体と移動体とを進行性振動波により摩擦駆動させることにより駆動力を得る。
従来において、このような振動波モータとして、例えば、特許文献１では図９に示すような構成の振動波モータが提案されている。
図９において、ハウジング６１に固定された振動体６２は円環状をしており、弾性体６２ｂの上部には複数の突起６２ｄが全周にわたって設けられている。
弾性体６２ｂはステンレス鋼からなり、突起６２ｄに耐久性を高めるための窒化処理をしている。
圧電セラミックス６２ａは、弾性体６２ｂの底面に接着剤にて接着され、モータ駆動時に不図示の駆動回路により位相差を有する２つの交流電圧が印加され、進行性振動波を発生させる。
移動体６３は、焼入処理をしたステンレス鋼で形成された円環状の本体部６３ａ、支持部６３ｂ、及び振動体６２の突起６２ｄに摩擦接触する摺動面を有する接触部６３ｃから構成されている。
支持部６３ｂ及び接触部６３ｃは、ばね性を有する厚みで形成されており、振動体６２に対して安定した接触が可能となっている。
移動体６３の上面にはばね受け部材６５、加圧ばねゴム６６を介して加圧ばね６７ｂが取付けられている。加圧ばね６７ｂの内周部は出力軸６８に焼嵌めされたディスク６７ａに取付けられており、移動体６３の駆動力を出力軸６８に伝達している。
ばね受け部材６５は、制振ゴム６５ａと円環状の錘部材６５ｂから構成されている。
これにより、移動体６３に発生する不要な振動を防止し、騒音の発生や効率の低下を抑えており、振動波モータの安定した駆動が実現している。

また、特許文献２では、図１０に示すような構成の振動波モータが提案されている。
図１０において、振動体７２の突起７２ｄには高分子材料などからなる摩擦材７２ｆが接合されている。移動体７３は金属やその窒化物等の硬度の高いものからなる。
振動体７２の突起７２ｄに設けられた高分子材料などからなる摩擦材７２ｆにより、振動波モータの性能が安定し、耐久性を向上させることができる。

特開２０１０−２６３７６９号公報 特開平１１−２６２２８０号公報

しかしながら、上記特許文献１のような図９に示す振動体６２及び移動体６３を有する振動波モータにおいては、湿度の変化に伴って振動波モータの性能が劣化する場合があった。
すなわち、この振動波モータの弾性体６２ｂは窒化処理をしたステンレス鋼からなり、移動体６３は焼入処理をしたステンレス鋼からなる。
このような振動波モータを高湿度の環境に放置した時に、振動体６２と移動体６３の摺動面のわずかな隙間に微小な水分が付着することにより、振動体６２と移動体６３との間の摩擦力が低下する場合があった。例えば湿度が高い環境下で振動波モータを使用する場合にこのような現象が発生し得る。
これにより、振動波モータの起動時に発生するトルクが低下し、移動体６３の起動が遅れ、起動してもすぐには本来の速度を出せず、性能が戻るまでに時間がかかってしまう恐れがあった。
また、上記特許文献２のような図１０に示す振動波モータは、高湿度環境下において、振動体７２の高分子材料などからなる摩擦材７２ｆと移動体７３との間に水分が付着すると、摩擦力が増大する。
そのため、移動体７３の回転が妨げられたり、起動できなくなったりする恐れがある。

本発明は、上記課題に鑑み、湿度の変化に伴って発生する振動波モータの摩擦力の変化を抑制し、湿度の変化による振動波モータの性能の劣化を低減することが可能となる振動波モータを提供することを目的とするものである。

本発明の振動波モータは、電気−機械エネルギー変換素子と、
前記電気−機械エネルギー変換素子に固定され、前記電気−機械エネルギー変換素子への電圧の印加により振動する振動体と、
前記振動体と加圧接触し、前記振動により摩擦駆動する移動体と、
前記振動体と前記移動体とを前記加圧接触させる加圧部材と、
を有する振動波モータであって、
前記加圧部材に発生する加圧力を調整する加圧力調節手段を備え、
前記加圧力調節手段は、前記加圧力を湿度の変化に応じて調節することを特徴とする。

本発明によれば、湿度の変化に伴って発生する振動波モータの摩擦力の変化を抑制し、湿度の変化による振動波モータの性能の劣化を低減することが可能となる振動波モータを実現することができる。

本発明の実施例１に係る振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例１の図１に示す振動波モータの一部を拡大した断面図。 本発明の実施例１の図１に示す振動波モータにおける加圧調節部材の変形の様子を示す図。 図４（ａ）は本発明の実施例１に係る振動波モータの第１の変形例に係る加圧調節部材を拡大した断面図。図４（ｂ）はその第２の変形例に係る加圧調節部材を拡大した断面図。 本発明の実施例２に係る振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例２に係る振動波モータの変形例の構成を説明する断面図。 本発明の実施例３に係る振動波モータの構成を説明する断面図。 本発明の実施例３の図７に示す振動波モータにおける加圧調節部材の変形の様子を示す図。 従来例における振動波モータの構成を説明する断面図。 他の従来例における振動波モータの構成を説明する斜視図。

本発明を実施するための形態を、以下の実施例により説明する。

［実施例１］
実施例１として、本発明を適用した振動波モータの構成例について、図１を用いて説明する。
本実施例の振動波モータは、図１に示すように、円環状に形成されており、振動体２と、この振動体と摩擦接触する移動体３を備えている。
振動体２は、電気量を機械量に変換する電気−機械エネルギー変換素子による圧電素子２ａと、この圧電素子２ａと結合された弾性体２ｂとによって形成されている。
そして、圧電素子２ａに駆動電圧（交流電圧）を印加し、公知の技術により、振動体２に進行性の振動波により楕円運動を生じさせ、これによって移動体３を振動体２と摩擦駆動により相対的に回転させる。

弾性体２ｂは、基部２ｃ、突起部２ｄ、及び基部２ｃから延出し、弾性体２ｂをハウジング１に固定するためのフランジ部２ｅから構成されている。
突起部２ｄは、基部２ｃの外周側に沿って、弾性体２ｂの中心軸に対して同心円状に配置されている。突起部２ｄの移動体３側の面が移動体３との摺動面となっている。
弾性体２ｂは、金属製の弾性部材であり、本実施例ではステンレス鋼で形成されている。さらに、耐久性を高めるための硬化処理として、突起部２ｄの移動体３との摺動面を窒化処理している。

移動体３は、弾性部材で形成された円環状の本体部３ａ、支持部３ｂ、及び振動体２の突起２ｄに摩擦接触する摺動面を有する接触部３ｃから構成されている。本実施例では、移動体３は焼入処理したステンレス鋼で形成されている。
支持部３ｂ及び接触部３ｃは、ばね性を有する厚みで形成されており、振動体２に対して安定した接触が可能となっている。
移動体３の上面には加圧調節部材（加圧力調節手段）４を介して、ばね受け部材５、加圧ばねゴム６、加圧部材７が取付けられている。
加圧部材７は、ディスク７ａと加圧ばね７ｂからなる。加圧ばね７ｂの内周部は出力軸８に焼嵌めされたディスク７ａに取付けられており、移動体３の駆動力を出力軸８に伝達している。
加圧ばねゴム６はブチルゴムやクロロプレンゴム等で形成されている。加圧ばねゴム６の弾性変形により、ばね受け部材５の加圧ばねゴム６が設けられている面の平面度の影響を緩和している。
そのため、加圧ばね７ｂからの加圧力が移動体３に回転方向のムラなく均一に付与され、振動体２と移動体３の安定した接触が保たれている。
出力軸８は、ハウジング１に固定された外輪と、出力軸８の外周に嵌合した内輪とを有する一対の転がり軸受９ａ、９ｂによって回転自在に支持される。
転がり軸受９ａの内輪は、移動体３を振動体２に適切な力で加圧接触させるための加圧ばね７ｂの変位量分だけ予圧がかけられている。
これにより、転がり軸受９ａの径方向のがたが排除され、出力軸８の径方向の振れを抑えることができる。

図２に、図１に示す振動波モータの一部を拡大した断面図を示す。
図２において、ばね受け部材５は円環状の弾性部材で形成されており、錘部５ａと規制部５ｂ、５ｃとから構成されている。
本実施例では、ばね受け部材５は真鍮で形成されている。規制部５ｂは加圧調節部材４の内周側の面と接しており、規制部５ｃは加圧調節部材４の外周側の面と接している。
加圧調節部材４は、振動減衰性能が高いブチルゴムやクロロプレンゴム等を主材とし、高吸水性樹脂を含有させたいわゆる水膨張性ゴムで形成されている。
そのため、加圧調節部材４とばね受け部材５とにより、振動波モータの駆動中に発生する移動体３の不要な振動を抑え、振動波モータの騒音や出力の低下を防止している。

図３に、図１に示す振動波モータにおける湿度上昇時の加圧調節部材４の変形の様子を示す。
図３において、加圧調節部材４は高吸水性樹脂が含有されている湿度の変化に応じて変形する圧力調節部材によって構成されているため、振動波モータの周囲の環境の湿度が上昇すると、高吸水性樹脂が吸湿し、加圧調節部材４が膨張する。加圧調節部材４の内外周はそれぞればね受け部材５の規制部５ｂ、５ｃと接しているため、加圧調節部材４は振動波モータの径方向よりも回転軸方向の変形量が大きくなっている。
このとき、振動体２及び移動体３の軸方向の剛性は、加圧ばね７ｂに比べ十分に高くなっている。また、ディスク７ａは出力軸８に対して軸方向に固定されている。
そのため、加圧調節部材４が膨張し、回転軸方向に変形すると、ばね受け部材５が回転軸方向の加圧ばね７ｂ側に移動する。
これにより、加圧ばね７ｂの変位が増加し、加圧ばね７ｂによって振動体２及び移動体３に付与されている加圧力が増加する。

他方、振動波モータの周囲の環境の湿度が上昇すると、振動体２と移動体３の摺動面のわずかな隙間に微小な水分が付着することにより、振動体２と移動体３との間の摩擦係数が低下する。
摩擦力は加圧力と摩擦係数の積で決まるため、振動体２と移動体３との間に作用する摩擦力は、湿度上昇に伴う加圧力の増加と摩擦係数の低下が相殺されることにより、湿度が上昇しても変化しにくくなる。
反対に、湿度が低下すると、加圧調節部材４に含有されている高吸水性樹脂が放湿し、加圧調節部材４が収縮する。
それにより、加圧ばね７ｂの変位が減少することで加圧力が減少する。そして、振動体２と移動体３の摺動面のわずかな隙間にあった水分が少なくなり、振動体２と移動体３との間の摩擦係数が上昇する。
よって、振動体２と移動体３との間に作用する摩擦力は、湿度低下に伴う加圧力の減少と摩擦係数の上昇が相殺されることにより、湿度が低下しても変化しにくくなる。

以上より、従来構造では課題となっていた、湿度の変化に伴って発生する振動波モータの摩擦力の変化を抑制することが可能となる。
これにより、振動波モータの発生力は摩擦力に対してほぼ比例すると考えてよいため、湿度が変化しても、振動波モータの発生力の変化を抑制することが可能となり、振動波モータの性能の劣化を低減することができる。
ここで、湿度の変化に伴う加圧力の変化量は、加圧ばね７ｂの厚みや、加圧調節部材４の厚み、高吸水性樹脂の種類や含有量、ばね受け部材５の規制部５ｂ、５ｃの形状で調整可能である。
例えば、湿度の変化に伴う摩擦係数の変化が大きい場合、加圧ばね７ｂの厚みを増加し、加圧調節部材４の変形に対しての加圧力の変化量を増加することが可能である。
また、加圧調節部材４の厚みを増加し、加圧調節部材４の変形量を増加することで、加圧力の変化量を増加することも可能である。
反対に、湿度の変化に伴う摩擦係数の変化が小さい場合、加圧ばね７ｂの厚みを低減し、加圧調節部材４の変形に対しての加圧力の変化量を減少することが可能である。
また、加圧調節部材４の内外径で接しているばね受け部材５の規制部５ｂと５ｃの径方向の距離を広げることで、加圧調節部材４の膨張時に径方向にも変形可能となり、回転軸方向の変形量が減少し、加圧力の変化量も減少することが可能となる。

なお、本実施例において、振動体２は窒化処理をしたステンレス鋼で形成し、移動体３は焼入処理したステンレス鋼で形成されている。
しかし、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、湿度の上昇に伴って摩擦係数が低下する材料の組合せであれば、本発明により振動波モータの発生力の変化を抑制することが可能となる。
例えば、振動体２をステンレス鋼にニッケルメッキ処理をして形成し、移動体３をアルミニウム合金にアルマイト処理をして形成した振動波モータでも、本発明により同様の効果が得られる。
また、本実施例においては、加圧調節部材４は、ブチルゴムやクロロプレンゴム等を主材とし、高吸水性樹脂を含有させたいわゆる水膨張性ゴムで形成されている。
しかし、本発明はこのような構成に限定されるものではない。
例えば、図４（ａ）に示すように、加圧調節部材１４は、高吸水性樹脂１４ａをブチルゴム等の振動減衰部材１４ｂではさみ込んで形成してもよい。
また、図４（ｂ）に示すように、コルク等の湿度に対する膨張率の高い材料２４ａを、ブチルゴム等の振動減衰部材２４ｂではさみ込んで加圧調節部材２４を形成してもよい。
これにより、湿度の変化に伴って加圧力を変化させることが可能になり、湿度の変化に伴う振動波モータの性能の劣化を低減することができる。

［実施例２］
実施例２として、上記した実施例１とは異なる形態の振動波モータの構成例について、図５、図６を用いて説明する。
本実施例の振動波モータは、加圧調節部材を図５に示す構造とした点において、実施例１のものと構成が相違する。本実施例のその他の要素（振動体、移動体、出力軸等）は、上述した実施例１の対応するものと同一なので、説明を省略する。なお、本実施例の図５に示す構成は、図１に対応している。
図５において、移動体３３の上面には、制振ゴム３６ａ、ばね受け部材３５が設けられており、振動波モータの駆動中に発生する移動体３３の不要な振動を抑え、振動波モータの騒音や出力の低下を防止している。
ばね受け部材３５の上面には、加圧ばねゴム３６ｂを介して加圧ばね３７ｂが取付けられている。
加圧調節部材（加圧力調節手段）３４は、第１の加圧調節部材３４ａと第２の加圧調節部材３４ｂから構成されており、これらは高吸水性樹脂や水膨張性ゴム、コルク等の湿度の上昇に伴って膨張する材料による圧力調節部材によって形成されている。
第１の加圧調節部材３４ａは、ハウジング３１と振動体３２のフランジ部３２ｅとの間に設けられている。
第２の加圧調節部材３４ｂは、出力軸３８に焼嵌めされたディスク３７ａと加圧ばね３７ｂとの間に設けられている。

ここで、振動波モータの周囲の環境の湿度が上昇すると、第１の加圧調節部材３４ａ及び第２の加圧調節部材３４ｂが吸湿し、膨張する。
第１の加圧調節部材３４ａが膨張し、回転軸方向に変形すると、振動体３２が回転軸方向の加圧ばね３７ｂ側に移動し、ばね受け部材３５も回転軸方向の加圧ばね３７ｂ側に移動する。
これにより、加圧ばね３７ｂの変位が増加し、加圧ばね３７ｂによって振動体３２及び移動体３３に付与されている加圧力が増加する。
さらに、第２の加圧調節部材３４ｂが膨張し、回転軸方向に変形すると、第２の加圧調節部材３４ｂに取り付けられている加圧ばね３７ｂの内周側が、回転軸方向の振動体３２側に移動する。これにより、加圧ばね３７ｂの変位が増加し、加圧力が増加する。

他方、振動波モータの周囲の環境の湿度が上昇すると、振動体３２と移動体３３の摺動面のわずかな隙間に微小な水分が付着することにより、振動体３２と移動体３３との間の摩擦係数が低下する。
よって、振動体３２と移動体３３との間に作用する摩擦力は、湿度上昇に伴う加圧力の増加と摩擦係数の低下が相殺されることにより、湿度が上昇しても変化しにくくなる。
反対に、湿度が低下すると、加圧調節部材３４が放湿し、第１の加圧調節部材３４ａ及び第２の加圧調節部材３４ｂが収縮する。
それにより、加圧ばね３７ｂの変位が減少することで加圧力が減少する。
そして、振動体３２と移動体３３の摺動面のわずかな隙間にあった水分が少なくなり、振動体３２と移動体３３との間の摩擦係数が上昇する。
よって、振動体３２と移動体３３との間に作用する摩擦力は、湿度低下に伴う加圧力の減少と摩擦係数の上昇が相殺されることにより、湿度が低下しても変化しにくくなる。

以上より、湿度の変化に伴って加圧力を変化させることが可能になり、湿度の変化に伴う振動波モータの性能の劣化を低減することができる。
また、加圧調節部材３４を２つ設けることにより、加圧調節部材３４を１つ設ける場合に比べ、湿度の変化に伴う加圧力の変化量が増加する。
これにより、湿度の変化に伴って発生する摩擦係数の変化が大きい材料で構成された振動波モータに対しても、摩擦力の調整が可能となり、振動波モータの性能の劣化を抑制することができるようになる。
なお、本実施例の振動波モータには、第１の加圧調節部材３４ａ及び第２の加圧調節部材３４ｂから構成された２つの加圧調節部材３４が設けられているが、本発明はこれらの構成に限定されるものではない。
例えば、図６に示すように、加圧調節部材４４は、第１の加圧調節部材４４ａ、第２の加圧調節部材４４ｂ及び第３の加圧調節部材４４ｃの３つの加圧調節部材から構成されている。
これにより、湿度の変化に伴う加圧ばね４７ｂの加圧力の変化量がさらに増加し、湿度の変化に伴って発生する摩擦係数の変化が大きい材料で構成された振動波モータに対しても、摩擦力の調整が可能となり、振動波モータの性能の劣化を低減することができる。

［実施例３］
実施例３として、上記した実施例１とは異なる形態の振動波モータの構成例について、図７を用いて説明する。
本実施例の振動波モータは、加圧調節部材や振動体、移動体を図７に示す構造とした点において、上記各実施例のものと構成が相違する。本実施例のその他の要素（圧電素子、出力軸等）は、上記各実施例の対応するものと同一なので、説明を省略する。なお、本実施例の図７に示す構成は、図１、図５、図６に対応している。
図７において、振動体５２の弾性体５２ｂの突起部５２ｄには、摩擦材５２ｆが接着剤による接着等で結合されている。
摩擦材５２ｆは、フッ素樹脂粉末（ＰＴＦＥ：ポリテトラフルオロエチレン）を主材として、添加材としてカーボンファイバ、ポリイミド、二硫化モリブデンを用いて、焼成して製作した樹脂で形成されている。

移動体５３は、アルミニウム合金で形成されている。移動体５３における振動体５２の摩擦材５２ｆとの摺動面には、耐久性を高めるための硬化処理として、タングステンカーバイド―コバルト溶射材料が溶射されている。
振動体５２の摩擦材５２ｆは樹脂で形成されているため、移動体５３との接触時には弾性変形し、移動体５３と安定した接触が可能となるとともに、耐久性が向上する。
移動体５３の上面には、制振ゴム５６ａ、ばね受け部材５５が設けられており、振動波モータの駆動中に発生する移動体５３の不要な振動を抑え、振動波モータの騒音や出力の低下を防止している。
ばね受け部材５５の上面には、加圧ばねゴム５６ｂを介して加圧ばね５７ｂが取付けられている。
加圧調節部材（加圧力調節手段）５４は、高吸水性樹脂や水膨張性ゴム、コルク等の湿度の上昇に伴って膨張する材料による圧力調節部材で形成されている。
加圧調節部材５４は、出力軸５８に焼嵌めされたディスク５７ａと加圧ばね５７ｂとの間に設けられており、接着等により固定されている。

図８に、図７に示す振動波モータにおける湿度上昇時の加圧調節部材５４の変形の様子を示す。
図８において、振動波モータの周囲の環境の湿度が上昇すると、加圧調節部材５４は吸湿し、膨張する。
ディスク５７ａは出力軸５８に対して固定されているため、加圧調節部材５４が膨張し回転軸方向に変形すると、加圧ばね５７ｂの内周側が図中の矢印の方向に変形する。
これにより、加圧ばね５７ｂの変位が減少し、加圧ばね５７ｂによって振動体５２及び移動体５３に付与されている加圧力が減少する。

他方、振動波モータの周囲の環境の湿度が上昇すると、振動体５２の樹脂材料からなる摩擦材５２ｆと移動体５３の摺動面のわずかな隙間に微小な水分が付着することにより、振動体５２と移動体５３との間の摩擦係数が上昇する。
よって、振動体５２と移動体５３との間に作用する摩擦力は、湿度上昇に伴う加圧力の減少と摩擦係数の上昇が相殺されることにより、湿度が上昇しても変化しにくくなる。
反対に、湿度が低下すると、加圧調節部材５４が放湿し、加圧調節部材５４が収縮する。それにより、加圧ばね５７ｂの変位が増加することで加圧力が増加する。
そして、振動体５２と移動体５３の摺動面のわずかな隙間にあった水分が少なくなり、振動体５２と移動体５３との間の摩擦係数が低下する。よって、振動体５２と移動体５３との間に作用する摩擦力は、湿度低下に伴う加圧力の増加と摩擦係数の低下が相殺されることにより、湿度が低下しても変化しにくくなる。

以上より、湿度の変化に伴って加圧力を変化させることが可能になり、湿度の変化に伴う振動波モータの性能の劣化を低減することができる。
なお、本実施例において、振動体５２の摩擦材５２ｆはフッ素樹脂粉末主材とした樹脂で形成し、移動体５３はタングステンカーバイド―コバルト溶射材料を溶射したアルミニウム合金で形成されている。
しかし、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、湿度の上昇に伴って摩擦係数が上昇する材料の組合せであれば、本発明により振動波モータの発生力の変化を抑制することが可能となる。
以上に説明したように、本発明の上記各実施例の構成によれば、湿度の変化に伴って発生する振動波モータの摩擦力の変化を抑制し、湿度の変化による振動波モータの性能の劣化を低減することが可能となる。

２：振動体
２ａ：圧電素子
３：移動体
４：加圧調節部材
７ｂ：加圧ばね

Claims (6)

1. 電気−機械エネルギー変換素子と、
   前記電気−機械エネルギー変換素子に固定され、前記電気−機械エネルギー変換素子への電圧の印加により振動する振動体と、
   前記振動体と加圧接触し、前記振動により摩擦駆動する移動体と、
   前記振動体と前記移動体とを前記加圧接触させる加圧部材と、
   を有する振動波モータであって、
   前記加圧部材に発生する加圧力を調整する加圧力調節手段を備え、
   前記加圧力調節手段は、前記加圧力を湿度の変化に応じて調節することを特徴とする振動波モータ。
2. 前記加圧力調節手段は、湿度の変化に応じて変形する圧力調節部材によって構成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記圧力調節部材は、湿度の上昇に伴う変形により前記加圧力を増加させることを特徴とする請求項２に記載の振動波モータ。
4. 前記圧力調節部材は、湿度の上昇に伴う変形により前記加圧力を減少させることを特徴とする請求項２に記載の振動波モータ。
5. 前記圧力調節部材は、前記湿度の上昇に伴う変形が膨張による変形であることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
6. 前記圧力調節部材は、湿度の上昇に伴う吸湿により膨張し、湿度の低下に伴う放湿により収縮する材料で形成されていることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の振動波モータ。

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