JP2012193033A

JP2012193033A - 物品搬送設備

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Publication number: JP2012193033A
Application number: JP2011059664A
Authority: JP
Inventors: Masaru Shibata; 優柴田; Daisuke Ogawa; 大介小川
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2011-03-17
Filing date: 2011-03-17
Publication date: 2012-10-11
Anticipated expiration: 2031-03-17
Also published as: CN102673964A; KR101862731B1; CN102673964B; TW201242823A; JP5316907B2; KR20120106618A; TWI556344B

Abstract

【課題】物品授受部に対して物品を迅速に搬出入できるものでありながら、第１経路における天井搬送車の渋滞の発生を極力防止することができる物品搬送設備を提供すること。
【解決手段】物品授受部４の直上に設定された授受部用停止位置Ｑ１ａを経由する直線状の第１経路と第１経路と平行でかつ第１経路の横幅方向で異なる位置に設定された直線状の第２経路とに沿って走行自在な天井搬送車２、第１経路の直下の第１経路側中間棚５ｎ及び第２経路の直下の第２経路側中間棚５ｆ、移載装置用把持部７を上下方向に昇降自在で横幅方向でスライド自在に備えて第１経路側中間棚５ｎとの間、第２経路側中間棚５ｆとの間及び物品授受部４との間で物品Ｗを移載自在な中間移載装置として、天井搬送車２の走行方向に沿って往復移動自在に設けられた第１経路側中間移載装置６ｎまたは第２経路側中間移載装置６ｆの少なくとも一方が設けられている物品搬送設備。
【選択図】図４

Description

本発明は、天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在でかつ物品を支持する把持部を昇降自在に備えて、床側に設けられた物品授受部との間で物品を移載自在な天井搬送車と、前記物品授受部よりも上方でかつ前記天井搬送車よりも下方に配置されて前記物品授受部に対して移載される物品を仮置きする中間棚とが設けられた物品搬送設備に関する。

上記物品搬送設備では、天井搬送車は、把持部に物品を把持した状態で走行経路に沿って走行移動することで、物品授受部に対して搬入される物品や、物品授受部から搬出される物品を、複数の物品授受部の間で搬送する。天井搬送車は一般に複数設けられ、各天井搬送車は、搬送作業を管理するコントローラから搬送元として指定される物品授受部や搬送先として指定される物品授受部の直上に停止して、把持部を昇降させることで物品授受部との間で物品を移載する。

天井搬送車により搬送先としての物品授受部に対して物品が搬送されて物品授受部が物品の受入れができなくなった場合、後続の天井搬送車は、物品授受部が物品を受け入れることができる状態になるまで待機しなければならず、天井搬送車の渋滞の原因となる。そこで、従来から、物品授受部よりも上方でかつ天井搬送車よりも下方に、物品授受部に対して移載される物品を仮置きする中間棚を配置しており、中間棚に物品を仮置きすることで、天井搬送車の渋滞を防止している。また、物品授受部の周辺に中間棚を配設することで、物品授受部に対して必要なときに迅速に搬入及び搬出できるようしている。

中間棚が設けられた物品搬送設備の従来例として、物品授受部の直上に設定された授受部用停止位置を経由する直線状の第１経路と、この第１経路と平行でかつその横幅方向で異なる位置に設定された直線状の第２経路とを設けて、中間棚を第２経路の直下にだけ配置したものがある。（例えば、特許文献１の図２参照。）

上記従来例の物品搬送設備では、第１経路を走行する天井搬送車は、把持部を第１経路及び第２経路の横幅方向でスライド自在に備えることで、第１経路を走行する天井搬送車は、第１経路の直下に位置する物品授受部に対する移載と、第１経路の横幅方向で異なる位置に配置された中間棚に対する物品の移載との双方を行い、第２経路を走行する天井搬送車は、第２経路の直下に位置する中間棚に対する移載のみを行うようになっている。

特開２００６−２２４９４４号公報

上記従来例の物品搬送設備では、中間棚に仮置きされた物品を物品授受部に搬入する場合は、物品を保持していない天井搬送車を第１経路に沿って当該物品授受部の直上に設定された授受部用停止位置まで走行させて、把持部をスライド移動及び昇降移動させて中間棚における物品を物品授受部に移載することになる。また、物品授受部から物品を搬出する場合は、同じく、物品を保持していない天井搬送車を第１経路に沿って当該物品授受部の直上に設定された授受部用停止位置まで走行させて、把持部を昇降移動させて物品を物品授受部から搬出することになる。さらに、物品授受部から搬出した物品を中間棚に仮置きする場合は、第１経路における当該授受部用停止位置に停止したまま、把持部をスライド移動及び昇降移動させて物品を中間棚に仮置きすることになる。

このように、物品授受部に対する物品の搬入及び物品授受部からの物品の搬出、並びに、中間棚への物品の仮置き及び中間棚に仮置きされた物品の物品授受部への搬入を、第１経路を走行する天井搬送車が全て行うため、第１経路を走行する天井搬送車の作業負荷が高くなってしまう。そのため、第１経路を走行する天井搬送車に作業が集中して渋滞が発生するおそれがある。

しかも、第２経路の直下にだけしか中間棚が存在しないため、仮置きできる物品の数は少なく、仮置きできる物品の数を増やすべく中間棚を増やすとしても、走行方向で物品授受部から離れた位置に中間棚を設けることになり、第１経路を走行する天井搬送車が中間棚の物品を物品授受部に搬入する際の搬送距離が長くなってしまう。そのため、物品授受部に対して物品を迅速に搬入できないおそれがある。

本発明は上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、物品授受部に対して物品を迅速に搬出入できるものでありながら、第１経路における天井搬送車の渋滞の発生を極力防止することができる物品搬送設備を提供する点にある。

この目的を達成するために、本発明に係る物品搬送設備の第１特徴構成は、天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在でかつ物品を支持する把持部を昇降自在に備えて、床側に設けられた物品授受部との間で物品を移載自在な天井搬送車と、前記物品授受部よりも上方でかつ前記天井搬送車よりも下方に配置されて前記物品授受部に対して移載される物品を仮置きする中間棚とが設けられた物品搬送設備において、
前記走行経路として、前記物品授受部の直上に設定された授受部用停止位置を経由する直線状の第１経路と、前記第１経路と平行でかつ前記第１経路の横幅方向で異なる位置に設定された直線状の第２経路とが設けられ、前記中間棚として、前記第１経路の直下であって前記天井搬送車の走行方向において前記物品授受部と異なる位置に位置する第１経路側中間棚、及び、前記第２経路の直下に位置する第２経路側中間棚が設けられ、物品を支持する移載装置用把持部を上下方向に昇降自在にかつ前記第１経路及び前記第２経路の横幅方向でスライド自在に備えて、前記第１経路側中間棚との間、前記第２経路側中間棚との間、及び、前記物品授受部との間で物品を移載自在な中間移載装置が設けられ、前記中間移載装置として、前記天井搬送車の走行方向視で前記第１経路及び前記第１経路側中間棚と上下に重なる状態で前記第１経路と前記第１経路側中間棚との間の高さにおいて前記天井搬送車の走行方向に沿って往復移動自在に設けられた第１経路側中間移載装置、または、前記天井搬送車の走行方向視で前記第２経路及び前記第２経路側中間棚と上下に重なる状態で前記第２経路と前記第２経路側中間棚との間の高さにおいて前記天井搬送車の走行方向に沿って往復移動自在に設けられた第２経路側中間移載装置の少なくとも一方が設けられている点にある。

本特徴構成によれば、第１経路を走行する天井搬送車は、把持部に物品を把持した状態であれば、授受部用停止位置に停止して把持部を下降させることで、床側に設けられた物品授受部に物品を搬入することができる。同様に、把持部に物品を把持していない状態であれば、授受部用停止位置に停止して把持部を下降させることで、床側に設けられた物品授受部から物品を搬出することができる。このように、第１経路を走行する天井搬送車は、授受部用停止位置における物品授受部との間での物品の搬出入と授受部用停止位置への走行経路に沿う走行作動とにより、物品を搬送することができる。

また、物品授受部に対して移載される物品を仮置きする中間棚として、第１経路側中間棚、及び、第２経路側中間棚が設けられているので、第１経路を走行する天井搬送車は、把持部に物品を把持した状態であれば、授受部用停止位置と走行方向で異なる位置に停止して把持部を下降させることで、直下に位置する第１経路側中間棚に物品を仮置きすることができ、把持部に物品を把持していない状態であれば、授受部用停止位置と走行方向で異なる位置に停止して把持部を下降させることで、直下に位置する第１経路側中間棚に仮置きされた物品を受け取ることができる。同様に、第２経路を走行する天井搬送車は、直下に位置する第２経路側中間棚に物品を仮置きしたり、第２経路側中間棚に仮置きされている物品を受け取ったりすることができる。

そして、移載装置用把持部を上下方向に昇降自在にかつ第１経路及び第２経路の横幅方向でスライド自在に備えて、第１経路側中間棚との間、第２経路側中間棚との間、及び、物品授受部との間で物品を移載自在な中間移載装置として、第１経路側中間移載装置または第２経路側中間移載装置の少なくとも一方が設けられているので、第１経路を走行する天井搬送車が第１経路側中間棚に仮置きした物品は、第１経路側中間移載装置または第２経路側中間移載装置により物品授受部に対して搬入することも可能であるし、第２経路側中間棚に移動させることも可能である。同様に、第２経路を走行する天井搬送車が第２経路側中間棚に仮置きした物品は、第１経路側中間移載装置または第２経路側中間移載装置により物品授受部に対して搬入することも可能であるし、第２経路側中間棚に移動させることも可能である。これにより、例えば、天井搬送車は、中間棚から物品授受部への搬入及び物品授受部から中間棚への搬出を行うことなく、搬送元からの物品の搬送（例えば、他の物品授受部からの搬送）や搬送先への物品の搬送（例えば、他の物品授受部への搬送）を行うことが可能である。もちろん、第１経路を走行する天井搬送車は、物品授受部に対する物品の搬出入を直接行ってもよい。

このように、物品授受部に対する物品の搬出入の全部又は一部を、第１経路側中間移載装置または第２経路側中間移載装置により行うことが可能であるため、第１経路を走行する天井搬送車は、物品授受部に対する物品の搬入及び物品授受部からの物品の搬出、並びに、中間棚への物品の仮置き及び中間棚に仮置きされた物品の物品授受部への搬入の一部を行えばよく、全て行う必要がない。そのため、第１経路を走行する天井搬送車の作業負荷を軽減させることができる。

したがって、従来のように第２経路の直下にのみ中間棚を設けて、第１経路を走行する天井搬送車が把持部を第１経路及び第２経路の横幅方向でスライド自在に備えた構成とは違って、第１経路を走行する天井搬送車に作業負荷が高くなってしまうことを回避できる。これにより、第１経路に天井搬送車が集中して走行することによる渋滞の発生を極力防止できる。

しかも、中間棚として、第１経路の直下に位置する第１経路側中間棚、及び、第２経路の直下に位置する第２経路側中間棚を設けることで、中間棚を多数設ける場合に、物品授受部から走行経路方向で近い位置に中間棚を配設することができるので、中間棚に仮置きされている物品を、第１経路を走行する天井搬送車や第１経路側中間移載装置または第２経路側中間移載装置により物品授受部に対して迅速に搬入できるし、物品授受部における物品を、第１経路を走行する天井搬送車や第１経路側中間移載装置または第２経路側中間移載装置により搬出して中間棚に仮置きすることが迅速に行える。

なお、中間棚として、第１経路の直下に位置する第１経路側中間棚、及び、第２経路の直下に位置する第２経路側中間棚が設けられているので、第１経路を走行する天井搬送車や第２経路を走行する天井搬送車は、夫々、直下に位置する中間棚を利用できる。したがって、第１経路を走行する天井搬送車や第２経路を走行する天井搬送車は、中間棚に対する物品の移載のために把持部を経路幅方向に第１経路と第２経路の設置間隔に相当する距離に亘ってスライドさせる機構を設ける必要がないため、天井搬送車を簡素に構成することも可能である。

以上から、物品授受部に対して物品を迅速に搬出入できるものでありながら、第１経路における天井搬送車の渋滞の発生を極力防止することができる物品搬送設備を得るに至った。

本発明に係る物品搬送設備の第２特徴構成は、前記第１経路側中間移載装置及び前記第２経路側中間移載装置の双方が設けられ、前記第１経路側中間移載装置は、前記移載装置用把持部を前記第１経路の直下の第１経路側位置と前記第２経路の直下の第２経路側位置との間で出退自在に備え、前記移載装置用把持部を前記第１経路側位置に位置させた状態で前記天井搬送車の走行方向に沿って移動自在に構成され、前記第２経路側中間移載装置は、前記移載装置用把持部を前記第２経路側位置と前記第１経路側位置との間で出退自在に備え、前記移載装置用把持部を前記第２経路側位置に位置させた状態で前記天井搬送車の走行方向に沿って移動自在に構成されている点にある。

本特徴構成によれば、物品授受部に対する物品の搬出入を行うに当って、第１経路側中間移載装置は、移載装置用把持部を第１経路側位置に位置させた状態で天井搬送車の走行方向に沿って移動し、第２経路側中間移載装置は、移載装置用把持部を第２経路側位置に位置させた状態で天井搬送車の走行方向に沿って移動する。したがって、第１経路側中間移載装置及び第２経路側中間移載装置は、互いに極力干渉することなく走行方向に沿って移動できるので、物品授受部に対する物品の搬出入を円滑に行うことができる。

しかも、天井搬送車により中間棚に仮置きされた物品は、第１経路側中間移載装置及び第２経路側中間移載装置の双方の中間移載装置のいずれかにて物品授受部に搬入でき、また、これらの双方の中間移載装置のいずれかにて物品授受部から物品を搬出して中間棚に仮置きできるので、物品授受部に対する物品の搬出入を第１経路側中間移載装置及び第２経路側中間移載装置の双方の中間移載装置にて適時に行うことができる。

本発明に係る物品搬送設備の第３特徴構成は、前記物品授受部として、前記第１経路及び前記第２経路の横幅方向に離間した一方の物品授受部と他方の物品授受部とが設けられ、前記一方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路と、前記他方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路とが、前記第１経路及び前記第２経路の横幅方向で間隔を隔てた状態で平行に配置され、前記一方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路の少なくとも一方と前記他方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路の少なくとも一方との両端部の夫々は乗り換え用経路に接続され、前記天井搬送車は、前記一方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路のうち前記乗り換え用経路に接続されたものと前記他方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路のうち前記乗り換え用経路に接続されたものとの間で前記乗り換え用経路を経由して移動自在に構成され、前記一方の物品授受部についての前記中間移載装置と前記他方の物品授受部についての前記中間移載装置との間で、前記第１経路及び前記第２経路の横幅方向に物品を搬送自在な搬送手段が設けられている点にある。

本特徴構成によれば、天井搬送車は、一方の物品授受部についての第１経路及び第２経路のうち乗り換え用経路に接続されたものと他方の物品授受部についての第１経路及び第２経路のうち乗り換え用経路に接続されたものと乗り換え用経路に沿って走行することで、一方の物品授受部についての第１経路及び第２経路のうち乗り換え用経路に接続されたものと他方の物品授受部についての第１経路及び第２経路のうち乗り換え用経路に接続されたものとの間で移動することができる。したがって、天井搬送車は、一方の物品授受部から搬出した物品又は当該一方の物品授受部から中間移載装置にて搬出されて中間棚に仮置きされた物品を、他方の物品授受部に搬入する又は当該他方の物品授受部についての中間棚に仮置きすることができる。

しかも、本特徴構成によれば、一方の物品授受部についての中間移載装置と他方の物品授受部についての中間移載装置との間で、第１経路及び第２経路の横幅方向に物品を搬送自在な搬送手段が設けられているので、一方の物品授受部について中間移載装置から他方の物品授受部についての中間移載装置に搬送手段にて物品を搬送することで、天井搬送車や中間移載装置にて一方の物品授受部から搬出された物品又は当該一方の物品授受部から搬出されて中間棚に仮置きされた物品を、他方の物品授受部についての中間移載装置にて、他方の物品授受部に搬入する又は当該他方の物品授受部についての中間棚に仮置きすることができる。したがって、天井搬送車が乗り換え用経路が接続された第１経路や第２経路の端部まで走行して乗り換え用経路を走行する迂遠な形態で物品を搬送しなくても、一方の物品授受部及びこれについての中間棚から他方の物品授受部及びこれについての中間棚に端的に物品を搬送することができる。

このように、天井搬送車の負荷を一層低減することができるとともに、一方の物品授受部から搬出され物品を他方の物品授受部に迅速に搬入することができる。

本発明に係る物品搬送設備の第４特徴構成は、前記搬送手段が、前記一方の物品授受部についての前記第１経路側中間移載装置又は前記第２経路側中間移載装置との間で物品を授受する一方側移載位置にて物品を載置支持自在でかつ前記他方の物品授受部についての前記第１経路側中間移載装置又は前記第２経路側中間移載装置との間で物品を授受する他方側移載位置まで物品を載置搬送自在な搬送コンベヤにて構成されている点にある。

本特徴構成によれば、一方の物品授受部についての第１経路側中間移載装置又は第２経路側中間移載装置は、一方側移載位置の直上に停止した状態で、移載装置用把持部を上下方向に昇降させることで、搬送コンベヤに対して物品を上方から受け渡す。一方側移載位置にて物品を載置支持する状態になった搬送コンベヤは、他方側移載位置まで物品を載置搬送する。そして、他方の物品授受部についての第１経路側中間移載装置又は第２経路側中間移載装置が、他方側移載位置の直上に停止した状態で、移載装置用把持部を上下方向に昇降させることで、他方側移載位置にて搬送コンベヤが載置支持している物品を受け取ることになる。

このように、一方の物品授受部についての第１経路側中間移載装置又は第２経路側中間移載装置は、一方側移載位置の直上への移動や移載装置用把持部を上下方向に昇降させるといった既存の構成に大きな変更を加えることなく実現可能な機能により、搬送手段との間で物品を授受できる。ちなみに、一方側移載位置の直上を停止位置として新たに設定する場合は、ハードウェア（例えば、位置検出センサ）やソフトウェア（例えば、走行経路における位置情報に基づく位置判別プログラム）による位置検出手段を設ければよい。他方の物品授受部についての第１経路側中間移載装置又は第２経路側中間移載装置についても同様である。

このように、一方の物品授受部についての中間移載装置と他方の物品授受部についての中間移載装置との間で物品を搬送自在な搬送手段を設けるに当って、中間移載装置の既存の構成を利用して搬送手段を構成できる。

実施形態に係る物品搬送設備の全体平面図図１の一部拡大平面図図１の一部拡大側面図天井搬送車の走行方向視の正面図図４の一部拡大正面図搬送コンベヤの配置状態を示す平面図搬送コンベヤの配置状態を示す正面図中間移載装置の停止位置を説明する平面図制御ブロック図別実施形態に係る搬送手段を示す平面図

本発明に係る物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔全体構成〕
図１は本実施形態に係る物品搬送設備の全体平面図であり、図２は、図１における紙面左上部分の拡大平面図である。当該物品搬送設備は、半導体製造工場に設けられており、複数枚の半導体ウェハを収容するＦＯＵＰ等の基板収納容器を物品Ｗとして搬送する複数の天井搬送車２が、天井側に配設された走行レール１に案内支持された状態で走行経路に沿って一方向に走行自在に設けられている。

走行レール１は、床面から設定高さだけ上方の高さにおいて、平面視で、図１に示すように配設されている。これにより、天井側において、紙面左右方向に並ぶ３つの環状経路ＬＰ１〜ＬＰ３が設定され、第１環状経路ＬＰ１と第２環状経路ＬＰ２との間、及び、第２環状経路ＬＰ２と第３環状経路ＬＰ３との間に、直線状の第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２が紙面上下方向に並ぶ状態で複数設定されている。走行レール１は、図３及び図４に示すように、天井搬送車２の走行方向に水平方向で直行する横幅方向に間隔を隔てて配置される一対のレール部材１ａ・１ｂを備えて構成されている。一対のレール部材１ａ・１ｂは、天井に設けられた一対のレール支持部材９により吊り下げ支持されている。

第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の両端部は、環状経路ＬＰ１〜ＬＰ３に接続部分Ｋにより接続されており、天井搬送車２が第１経路Ｌ１や第２経路Ｌ２から環状経路ＬＰ１〜ＬＰ３へ、また、環状経路ＬＰ１〜ＬＰ３から第１経路Ｌ１や第２経路Ｌ２へ走行移動できるようになっている。第２環状経路ＬＰ２は、複数箇所にて相互に接続された二重ループ経路に構成されている。複数の天井搬送車２は、一方向にのみ走行することから、図１及び図２の紙面で上下に並ぶ第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２における天井搬送車２の走行方向は交互に逆向きとなるように設定されている。

図１及び図２の紙面左右方向に並べて設置された複数の処理装置８が備える物品授受部としてのステーション４の直上には、これらのステーション４の並び方向（図１及び図２の紙面左右方向）に沿って第１経路Ｌ１が配設されている。第１経路Ｌ１の横幅方向（図１及び図２の紙面上下方向）で異なる位置には、第１経路Ｌ１と平行に第２経路Ｌ２が設定されている。

〔処理装置〕
第１環状経路ＬＰ１と第２環状経路ＬＰ２の間、及び、第２環状経路ＬＰ２と第３環状経路ＬＰ３の間には、基板収納容器に収容された半導体ウェハを取り出して、半導体ウェハに対する加工や検査といった処理を行う複数の処理装置８が、図１及び図２の紙面上下左右方向に整列された状態で床面に配置されている。処理装置８の端部にステーション４が設けられており、処理装置８は、このステーション４を介して天井搬送車２や後述する中間移載装置６との間で物品Ｗを授受する。

処理装置８は、図１及び図２の紙面上下方向について、ステーション４が対向する姿勢で対を為して並べられている。このように、ステーション４として、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の並び方向に離間した一方のステーション４と他方のステーション４とが設けられている。一方のステーション４についての第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２と、他方のステーション４についての第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２とが、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の横幅方向で間隔を隔てた状態で平行に配置されており、これらの第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の全ては、その両端部が乗り換え用経路としての環状経路ＬＰ１〜ＬＰ３に接続されている。

図２〜図４に示すように、ステーション４は、処理装置８の端部において、処理装置８の高さより低い高さにて物品Ｗを載置支持自在に設けられている。天井搬送車２や中間移載装置６にてステーション４に受け渡された物品Ｗは処理装置８の内部に取り込まれ、処理が完了した物品Ｗは再びステーション４に払い出され、天井搬送車２や中間移載装置６にて受け取られる。

本実施形態では、ステーション４は、３つの物品Ｗを天井搬送車２の走行方向に隣接して並ぶ状態で載置支持可能なように、走行方向の長さが設定されている。すなわち、ステーション４には、３つの物品授受位置が設定されており、走行経路１には、天井搬送車２がこれらの物品授受位置に対して物品Ｗを授受するときに停止する授受部用停止位置Ｑ１として、第１経路Ｌ１における天井搬送車２の走行方向の上流から順に、第１授受部用停止位置Ｑ１ａ、第２授受部用停止位置Ｑ１ｂ、及び、第３授受部用停止位置Ｑ１ｃの３つが、ステーション４における３つの物品授受位置の夫々の直上に設定されている。

〔中間棚〕
図１〜図４に示すように、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の直下に、ステーション４に受け渡される物品Ｗやステーション４から受け取られた物品Ｗを仮置きする中間棚５が、上下方向でステーション４よりも上方でかつ天井搬送車２よりも下方に配置されている。本実施形態では、処理装置８として、第１経路Ｌ１や第２経路Ｌ２における天井搬送車２の走行方向に沿って並ぶ状態で第１処理装置８ａ及び第２処理装置８ｂが互いに隣接して配置されており、中間棚５は、これらの処理装置８のそれぞれの上方側部分に亘って複数配設されている。中間棚５として、第１経路Ｌ１の直下であって天井搬送車２の走行方向においてステーション４と異なる位置に位置する第１経路側中間棚５ｎ、及び、第２経路Ｌ２の直下に位置する第２経路側中間棚５ａが設けられている。

図３及び図４に示すように、中間棚５は、天井から吊り下げ支持されているバッファ用枠体５５の下部から下方側に突出する状態で設けられている。バッファ用枠体５５は、第１経路Ｌ１を走行する天井搬送車２の走行方向で上流側に位置する上流側部分５５ａと、下流側に位置する下流側部分５５ｂとを備えており、その夫々は、図４、図５及び図６に示すように、第１経路側枠体５５ｎと第２経路側枠体５５ｆとを走行経路の横幅方向に並ぶ状態で備えている。上流側部分５５ａと下流側部分５５ｂとは同様の構成であるので、以下、上流側部分５５ａについて代表して説明する。

上流側部分５５ａにおける第１経路側枠体５５ｎ及び第２経路側枠体５５ｆは、枠状の水平枠部材２５を上下に間隔を空けて配置し、天井搬送車２の横幅方向及び走行方向の複数箇所において縦連結部材２６にて接続して構成されている。水平枠部材２５は、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の長手方向に沿う複数の縦水平部材２５Ｔと、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の幅方向に沿う横水平部材２５Ｙとを互いに接続した枠体にて構成されている。なお、上流側部分５５ａと下流側部分５５ｂとで、縦水平部材２５Ｔ及び縦連結部材２６は兼用されている。

第１経路側枠体５５ｎ及び第２経路側枠体５５ｆは、複数本の棚吊り下げ具２４により天井から吊り下げ支持されている。棚吊り下げ具２４は、走行レール１を吊り下げ支持しているレール支持部材９よりも天井搬送車２の上下高さ相当長さ分だけ長くなっている。これにより、天井搬送車２の第１経路Ｌ１や第２経路Ｌ２は、走行方向視で複数の棚吊り下げ具２４の間に位置し、上流側部分５５ａにおける第１経路側枠体５５ｎは、天井搬送車２の第１経路Ｌ１の直下に位置し、上流側部分５５ａにおける第２経路側枠体５５ｆは、天井搬送車２の第２経路Ｌ２の直下に位置するようになっている。

図６に示すように、上流側部分５５ａにおける第１経路側枠体５５ｎには、第１経路Ｌ１を走行する天井搬送車２の走行方向で上流側と下流側の端部の夫々に、第１経路側中間棚５ｎを形成する中間棚部材２７が設けられている。また、上流側部分５５ａにおける第２経路側枠体５５ｆには、第２経路Ｌ２を走行する天井搬送車２の走行方向で下流側の端部を除く４箇所に、第２経路側中間棚５ｆを形成する中間棚部材２７が設けられている。

図５及び図６に示すように、中間棚部材２７は、物品Ｗの底面に形成された位置決め用の３つの係合溝に係合して物品Ｗを位置決めする３本の位置決めピン２８が備えられた水平向きの載置面部分２７ａと、この載置面部分２７ａの一方側の端部から上方に向かう接続板部分２７ｂと他方側の端部から上方に向かう接続板部分２７ｃとを備えている。一方側の接続板部分２７ｂの上端が横水平部材２５Ｙに接続され、他方側の接続板部分２７ｃの上端が一方側の横水平部材２５Ｙに横幅方向で隣接する他の横水平部材２５Ｙに対して連結ブラケット２９により連結されることにより、中間棚部材２７は、載置面部分２７ａがバッファ用枠体５５の下端よりも物品Ｗの高さ分だけ下方に位置する状態で、バッファ用枠体５５に固定されている。このような構成により、物品Ｗの正面（基板収納容器の前面開口が位置する面）が一方側の接続板部分２７ｂに向く姿勢（図５で紙面右方向に向く姿勢）で載置面部分２７ａにて物品Ｗが載置支持されるようになっている。

図２及び図６に示すように、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａにおける第１経路Ｌ１側に位置する２個の第１経路側中間棚５ｎ及び第２経路Ｌ２側に位置する４個の第２経路側中間棚５ｆ並びに第１処理装置８ａにおけるステーション４により、第１処理装置８ａについての一組の移載対象群としての第１移載対象群Ｇ１が構成されている。同様に、バッファ用枠体５５の下流側部分５５ｂにおける第１経路Ｌ１側に位置する２個の第１経路側中間棚５ｎ及び第２経路Ｌ２側に位置する４個の第２経路側中間棚５ｆ並びに第２処理装置８ｂにおけるステーション４により、第２処理装置８ｂについての一組の移載対象群としての第２移載対象群Ｇ２が構成されている。このように、第１処理装置８ａ及び第２処理装置８ｂの夫々に対して一組の移載対象群が設けられている。

そして、第１移載対象群Ｇ１のうちステーション４以外の移載対象について、第１経路Ｌ１を走行する天井搬送車２が停止する停止位置及び第２経路Ｌ２を走行する天井搬送車２が停止する停止位置が設定されている。すなわち、第１移載対象群Ｇ１に対する停止位置として、ステーション４の３つの物品授受位置に対応する３箇所の授受部用停止位置Ｑ１ａ〜Ｑ１ｃに加えて、第１経路Ｌ１に沿う方向で最上流の第１授受部用停止位置Ｑ１ａに上流側で隣接する位置及び第１経路Ｌ１に沿う方向で最下流の授受部用停止位置Ｑ１ｃに下流側で隣接する位置には、第１経路Ｌ１を走行する天井搬送車１が第１経路側中間棚５ｎとの間で物品Ｗを移載するための第１経路側中間棚用停止位置Ｑ２ｎが設定されている。また、第２経路Ｌ２には、４個の第２経路側中間棚５ｆに対応する４箇所に、第２経路Ｌ２を走行する天井搬送車２が第２経路側中間棚５ｆとの間で物品Ｗを移載するための第２経路側中間棚用停止位置Ｑ２ｆが設定されている。第２移載対象群Ｇ２に対する停止位置についても同様である。

〔天井搬送車〕
図３、図４及び図７に示すように、天井搬送車２は、走行レール１上を走行する走行駆動輪を備えた走行部１０と、走行部１０に吊り下げ支持され且つ物品Ｗを昇降移動及び旋回移動自在に支持する本体部１１とを備えて構成されており、走行部１０と本体部１１とを連結する連結体が一対のレール部材１ａ・１ｂの間に位置する状態で設けられている。なお、走行部１０には、走行駆動輪を回転駆動する走行用モータ５１（図９参照）が設けられている。

本体部１１は、物品Ｗを保持する把持部３と、把持部３を支持する昇降用支持体２２を昇降移動させる昇降操作手段１２と、昇降用支持体２２ごと把持部３を縦軸心回りに旋回させる図外の旋回操作手段と、把持部３にて保持された物品Ｗの上方、前後両方及び左右一方を覆うカバー体１３とを備えて構成されている。また、本体部１１には、一対のレール部材１ａ・１ｂの間に位置するように受電コイル１４が設けられており、走行レール１に沿って配設された給電線１５に交流電流を通電させることにより磁界を発生させ、この磁界により天井搬送車２側で必要な電力を受電コイル１４に発生させて、天井搬送車２に対して非接触状態で給電を行うように構成されている。

昇降操作手段１２は、昇降用モータ５２（図９参照）及び回転ドラムを備えて構成されており、昇降用モータ５２の回転作動により回転ドラムを正逆方向に回転駆動して巻き取りベルト１６を巻き取り及び繰り出しすることで、昇降用支持体２２を上下に昇降操作自在に構成されている。

旋回操作手段は旋回用モータ５３（図９参照）を備えており、この旋回用モータ５３の回転駆動により昇降用支持体２２が縦軸心周りに旋回操作される。昇降用支持体２２には、把持用モータ５４（図９参照）の作動により物品Ｗを把持する把持姿勢と把持を解除する把持解除姿勢とに把持部３の姿勢を切り換え操作する切り換え機構が設けられている。

以上のような構成により、天井搬送車２は、走行レール１に案内支持された状態で一方向に走行移動することで、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２並びに環状経路ＬＰ１〜ＬＰ３に沿って走行自在となっている。

第１経路Ｌ１を走行する天井搬送車２は、複数の授受部用停止位置Ｑ１ａ〜Ｑ１ｃのいずれかに停止した状態で、昇降操作手段１２により昇降用支持体２２を昇降操作し、旋回操作手段にて昇降用支持体２２を旋回操作し、切り換え機構により把持部３を把持姿勢と把持解除姿勢とに切り換え操作することにより、直下に位置するステーション４の物品授受位置との間で物品Ｗを移載し、同様に、複数の第１経路側中間棚用停止位置のいずれかに停止した状態で、直下に位置する第１経路側中間棚５ｎとの間で物品Ｗを移載する。

第２経路Ｌ２を走行する天井搬送車２は、複数の第２経路側中間棚用停止位置のいずれかに停止した状態で、昇降操作手段１２により昇降用支持体２２を昇降操作し、旋回操作手段にて昇降用支持体２２を旋回操作し、切り換え機構により把持部３を把持姿勢と把持解除姿勢とに切り換え操作することにより、直下に位置する第２経路側中間棚５ｆとの間で物品Ｗを移載する。

図３及び図４では、第１経路Ｌ１を走行する天井搬送車２が上流側部分５５ａの３箇所の授受部用停止位置Ｑ１ａ〜Ｑ１ｃのうち図３中に矢印ａで示す走行方向で最も上流側の授受部用停止位置Ｑ１ａに停止し、第２経路Ｌ２を走行する天井搬送車２が下流側部分５５ｂの５箇所の第２経路側中間棚用停止位置Ｑ２ｆのうち図３中に矢印ｂで示す走行方向で最も上流側の授受部用停止位置Ｑ２ｆに停止した状態を示している。

〔中間移載装置〕
図３〜図７に示すように、中間棚５が設けられたバッファ用枠体５５を設置対象筐体として、中間移載装置６が設けられている。中間移載装置６としては、一つのバッファ用枠体５５に対して第１中間移載装置６ｎと、第２中間移載装置６ｆとの双方が１台ずつ設けられている。第１中間移載装置６ｎは、天井搬送車２の走行方向視で第１経路Ｌ１及び第１経路側中間棚５ｎと上下に重なる状態で、第１経路Ｌ１と第１経路側中間棚５ｎとの間の高さにおいて天井搬送車２の走行方向に沿う方向に往復移動自在に設けられている。第２中間移載装置６ｆは、天井搬送車２の走行方向視で第２経路Ｌ２及び第２経路側中間棚５ｆと上下に重なる状態で、第２経路Ｌ２と第２経路側中間棚５ｆとの間の高さにおいて天井搬送車２の走行方向に沿う方向に往復移動自在に設けられている。

第１中間移載装置６ｎと第２中間移載装置６ｆとは、いずれも、これらの移動方向でバッファ用枠体５５の全範囲に亘って往復移動自在に設けられている。これにより、第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆの夫々は、上流側部分５５ａ及び下流側部分５５ｂに亘って往復移動することで、第１処理装置８ａについての第１移載対象群Ｇ１及び第２処理装置８ｂについての第２移載対象群Ｇ２における移載対象の何れに対しても物品Ｗを移載自在となっている。以下、詳細を説明する。

第１中間移載装置６ｎは、図５に示すように、物品Ｗを支持する移載装置用把持部７を上下方向に昇降自在に備え、この移載装置用把持部７を移載装置横幅方向（第１経路Ｌ１と第２経路Ｌ２の横幅方向。図５で紙面左右方向。）に横行操作する横行操作手段３１を備えている。

第１中間移載装置６ｎは、横行操作手段３１により移載装置用把持部７を第１経路Ｌ１の直下の第１経路側位置としての引退位置と第２経路Ｌ２の直下の第２経路側位置としての突出位置との間で出退自在に備え、移載装置用把持部７を引退位置に位置させた状態で天井搬送車２の走行方向に沿って移動自在に構成されている。これにより、移載作動中の天井搬送車２との干渉や第２中間移載装置６ｆとの干渉を防止している。

図４は、第１中間移載装置６ｎと第２中間移載装置６ｆとが移載装置用把持部７を引退位置に引退させている状態を天井搬送車２の走行方向視で示したものであり、図５は、第１中間移載装置６ｎと第２中間移載装置６ｆとが共に停止した状態で、互いに移載装置用把持部７を突出位置に突出させている状態を天井搬送車２の走行方向視で示したものである。

図３〜図５に示すように、バッファ用枠体５５には、第１中間移載装置６ｎを支持して天井搬送車２の走行方向に沿う移動を案内する案内支持体１７が設けられ、この案内支持体１７は、授受部用停止位置Ｑ１及び中間棚用停止位置Ｑ２に停止した状態の天井搬送車２が物品Ｗを移載するときに把持部３及び物品Ｗが上下方向に通過可能な空間を形成するように構成されている。

具体的には、案内支持体１７が、物品Ｗを保持している天井搬送車２の把持部３が上下方向に通過自在な間隙を形成する状態で第１中間移載装置６ｎの移載装置横幅方向に間隔を隔てて配置された一対の下部案内レール１８・１９にて構成されている。一対の下部案内レール１８・１９は、バッファ用枠体５５の上部において走行方向で両端部に位置する一対の縦水平部材２５Ｔを連結する２本のレール取付部材２０・２１の下面に取り付けられている。

第１中間移載装置６ｎの上部に設けられた移動ベース材３２の移載装置横幅方向の両端部に、一対の下部案内レール１８・１９に摺動自在に係合するスライドブロック３４・３５が固定状態で設けられている。走行方向視で移動ベース材３２の一方側の端部には被操作ブラケット３３が取り付けられている。被操作ブラケット３３は下端部を屈曲形成した水平部分３３ａを備えており、図３及び図５に示すように、横軸心の歯付駆動プーリ３６ａ及び従動プーリ３６ｂに巻き掛けられた縦向き巻回面の移動操作用タイミングベルト３８の上側巻回部分の上面に、被操作ブラケット３３が接続されている。

そして、移動操作用タイミングベルト３８を巻回作動させる移動操作用モータ３７を正逆方向に回転駆動させることで、移動ベース材３２を一対の下部案内レール１８・１９に沿って往復直線移動操作できるようになっている。すなわち、移動操作用モータ３７の回転作動を制御することで、第１中間移載装置６ｎの移動作動を制御することができる。なお、中間移載装置６の移動作動についての位置決め制御は、移動操作用モータ３７としてサーボモータを用いてサーボ制御により行ってもよいし、第１中間移載装置６ｎの走行方向に沿う移動経路において設定された移載用の停止位置を検出する位置検出手段として各停止位置に対応して複数の光電センサを設けて、これらのセンサの検出情報に基づいて位置決め制御を行ってもよい。

図５に示すように、第１中間移載装置６ｎの移動ベース材３２の上面には、ガイドブロック３９を移載装置横幅方向に移動操作自在なボールネジ４０が設けられている。ガイドブロック３９は、昇降支持体４１を移載装置横幅方向に出退操作する多段式のスライドフォーク４２におけるベースフォークにおける出退方向の引退側端部に連結されている。スライドフォーク４２の各段は、直同案内機構により互いに係合された状態で連係ベルト４３により連動連結されており、ベースフォークに対する出退操作によりプライマリフォークに昇降操作手段４５及び旋回操作手段４６を介して連結された昇降支持体４１を出退させることができるように構成されている。そして、ボールネジ４０のネジ４０ａを回転駆動させる横行操作用モータ４４を正逆方向に回転駆動させることで、ガイドブロック３９を移載装置横幅方向に沿って往復移動操作できるようになっている。このように、横行操作用モータ４４、ボールネジ４０、及び、スライドフォーク４２にて、中間移載装置６における移載装置用把持部７を移載装置横幅方向に横行操作する横行操作手段３１が構成されている。

昇降操作手段４５は、昇降用モータ４７を正逆方向に回転駆動させることで、回転ドラム４８を回転作動させ、巻き取りベルト４９を繰り出し及び巻き取ることで、昇降支持体４１を上下に昇降操作できるように構成されている。旋回操作手段４６は、旋回用モータ５０を回転駆動させて移載装置用把持部７を縦軸心周りに旋回操作する。これによりステーション４、中間棚５に対する物品Ｗの平面視姿勢を適正な姿勢に調節することができる。

このような構成により、第１中間移載装置６ｎは、図６に示すように、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａ及び下流側部分５５ｂの夫々について、２つの第１経路側中間棚５ｎのそれぞれの直上に設定された２箇所の移載用停止位置Ｐｎ１・Ｐｎ５並びに第１中間移載装置６ｎの移動方向でこれらの移載用の停止位置の間に設定された３箇所の移載用停止位置Ｐｎ２〜Ｐｎ４のいずれかに停止した状態で、移載装置用把持部７を横行及び昇降させて第１経路側中間棚５ｎとの間、第２経路側中間棚５ｆとの間、及び、ステーション４における各物品授受位置との間で物品Ｗを移載自在に構成されている。

第２中間移載装置６ｆは、横行操作手段３１が移載装置用把持部７を出退操作する方向が逆向きである点の他は、第１中間移載装置６ｎと同様の構成である。そして、第２中間移載装置６ｆは、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａ及び下流側部分５５ｂの夫々について、４つの第２経路側中間棚５ｆのそれぞれの直上に設定された４箇所の移載用停止位置Ｐｆ１〜Ｐｆ４、及び、２つの第１経路側中間棚５ｎのうち、天井搬送車２の走行方向でバッファ用枠体５５の内方側の第１経路側中間棚５ｎに対応する移載用停止位置Ｐｆ５のいずれかに停止した状態で、移載装置用把持部７を横行及び昇降させて第１経路側中間棚５ｎとの間、第２経路側中間棚５ｆとの間、及び、ステーション４における各物品授受位置との間で物品Ｗを移載自在に構成されている。

〔搬送コンベヤ〕
天井搬送車２の走行方向でバッファ用枠体５５の中間部には、図１及び図２で紙面上下方向に対向する状態で並ぶ一方のステーション４と他方のステーション４との間において、一方のステーション４についての移載対象群と他方のステーション４についての移載対象群との間で物品Ｗを搬送自在な搬送コンベヤ５６が一対設けられている。一対の搬送コンベヤ５６は、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａと下流側部分５５ｂの夫々に吊り下げ支持された状態で接続されている。両者は同一の構成であるので、以下、バッファ用枠体５５の上流側部分５５ａに接続された搬送コンベヤ５６について代表して説明する。

搬送コンベヤ５６は、図６及び図７に示すように、一方及び他方のステーション４についてのバッファ用枠体５５を相互に接続する搬送経路部分５７と、物品Ｗを載置支持自在な物品載置台５８を昇降自在かつ旋回自在に備えて前記搬送経路部分５７を往復移動自在な搬送用移動体５９とを備えて構成されている。搬送経路部分５７の一方側の端部が一方のステーション４についてのバッファ用枠体５５に連結され、搬送経路部分５７の他方側の端部が他方のステーション４についてのバッファ用枠体５５に連結されており、搬送コンベヤ５６は、両バッファ用枠体５５により吊り下げ支持されている。なお、補強のために搬送コンベヤ５６の中間部と天井とを接続してもよい。

搬送用移動体５９は、図９に示すように、駆動輪を回転駆動する走行用モータ６１、物品載置台５８を昇降駆動する昇降用モータ６２、物品載置台５８を旋回駆動する旋回用モータ６３を備えている。物品載置台５８には、中間棚５を形成する中間棚部材２７と同様に、物品Ｗの底面に形成された位置決め用の３つの係合溝に係合して物品Ｗを位置決めする３本の位置決めピンが芽設されている。

搬送経路部分５７はケース体にて構成されており、その上面部には長手方向に沿うスリット６０が形成されている。搬送用移動体５９は、外部へ塵埃が飛散することを防止するために、搬送経路部分５７に内装されており、搬送用移動体５９における物品載置台５８が、スリット６０に挿通された図外の支持軸にて、上面部よりも上方において、搬送用移動体本体に対して昇降自在に接続支持されている。そして、搬送用移動体５９は、駆動輪を正逆に回転駆動させることにより図外のガイド機構により案内された状態で、搬送経路部分５７の内部においてその長手方向に沿って往復移動自在となっている。

図８に示すように、一方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆの夫々の移動経路には、天井搬送車２の走行方向で搬送コンベヤ５６が位置する箇所に、第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆがコンベヤ５６の一方のステーション４側の端部との間で物品Ｗを移載するためのコンベヤ移載位置Ｐｃが設定されている。同様に、他方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆの夫々の移動経路には、天井搬送車２の走行方向で搬送コンベヤ５６が位置する箇所に、第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆが搬送コンベヤ５６の他方のステーション４側の端部との間で物品Ｗを移載するためのコンベヤ移載位置Ｐｃが設定されている。

一方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎや第２中間移載装置６ｆは、夫々の移動経路に設定されたコンベヤ移載位置Ｐｃに停止した状態で、搬送コンベヤ５６の一方側の端部である一方側移載位置に設けられた荷受台６４との間で物品Ｗを移載するようになっている。同様に、他方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎや第２中間移載装置６ｆは、夫々の移動経路に設定されたコンベヤ移載位置Ｐｃに停止した状態で、搬送コンベヤ５６の他方側の端部である他方側移載位置に設けられた荷受台６４との間で物品Ｗを移載するようになっている。

本実施形態では、コンベヤ移載位置Ｐｃは、上流側部分５５ａの移載用停止位置Ｐｎ５・Ｐｆ５や下流側部分５５ｂの移載用停止位置Ｐｎ１・Ｐｆ１と、第１中間移載装置６ｎや第２中間移載装置６ｆの移動方向で同じ位置に設定されている。また、コンベヤ移載位置Ｐｃは、第２経路Ｌ２の直下に位置しているため、第１中間移載装置６ｎは移載装置用把持部７を突出位置に突出させて、搬送用移動体５９との間で物品Ｗを移載する。第２中間移載装置６ｆは移載装置用把持部７を引退位置に位置させたまま、搬送用移動体５９との間で物品Ｗを移載する。

図４、図６及び図７に示すように、搬送コンベヤ５６の一方側移載位置及び他方側移載位置の双方には、物品Ｗを載置支持自在な荷受台６４が設けられている。荷受台６４には、物品Ｗを位置決めする３本の位置決めピンが芽設されている。これらの位置決めピンは、搬送用移動体５９における物品載置台５８におけるものと異なる位置において物品Ｗの底面に係合するように配置されており、荷受台６４において位置決めされた物品Ｗの下方から物品載置台５８を上昇させて、物品載置台５８において位置決めされた状態で支持させることができ、物品Ｗを荷受台６４から搬送用移動体５９に受け取る掬い移載を物品Ｗの位置及び姿勢がずれることなく行うことができる。同様に、その逆の物品Ｗを搬送用移動体５９から荷受台６４に受け渡す卸し移載も物品Ｗの位置及び姿勢がずれることなく行うことができる。

このように、本実施形態では、一方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆと他方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆとの間で、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の横幅方向に物品Ｗを搬送する搬送手段が設けられており、その搬送手段は、一方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆとの間で物品Ｗを授受する一方側移載位置にて物品Ｗを載置支持自在でかつ他方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆとの間で物品Ｗを授受する他方側移載位置まで物品Ｗを載置搬送自在な搬送コンベヤ５６にて構成されている。

さらに、本実施形態では、搬送用コンベヤ５６は、一方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆにより授受される物品Ｗを載置支持自在な荷受台６４が設けられた一方側移載位置、及び、他方のステーション４についての第１中間移載装置６ｎ及び第２中間移載装置６ｆにより授受される物品Ｗを載置支持自在な荷受台６４が設けられた他方側移載位置にて物品Ｗを移載自在で、かつ、一方側移載位置と他方側移載位置との間で物品Ｗを載置搬送自在な搬送用移動体５９を備えて構成されている。

図９は物品搬送設備の制御ブロック図である。天井搬送車２が備える天井搬送コントローラＶＣｑ、中間移載装置６が備える中間移載装置コントローラＶＣｐ、搬送コンベヤ５６が備えるコンベヤコントローラＶＣｒは、ホストコントローラＨＣと無線通信自在に接続されている。ホストコントローラＨＣが、物品Ｗの処理行程を管理して、各処理装置からの搬送要求に応じて、物品Ｗを適切に搬送するべく、各物品Ｗについての搬送元及び搬送先を設定し搬送指令を指令する。そして、ホストコントローラＨＣが指令する搬送指令に基づいて、上記各コントローラにより天井搬送車２、中間移載装置６、搬送コンベヤ５の作動が制御される。

ホストコントローラＨＣは、例えば、ある処理装置８にて物品Ｗの処理が完了すると、当該処理済みの物品Ｗをステーション４から搬出して次の工程の処理装置８に搬送するための搬送指令を指令するが、その搬送作業を、当該ステーション４や当該ステーション４の移載対象群が属する同じバッファ用枠体５５に属する移載対象群としての隣接ステーション４に向けて別の物品Ｗを搬送している天井搬送車２に、当該バッファ用枠体５５における中間棚５に当該他の物品Ｗを仮置きさせることで、待機状態の天井搬送車２が存在しなくても、迅速に当該搬出作業を処理することができる。また、中間棚５に対する仮置きを行うことで、設備全体として、天井搬送車２が物品Ｗを保持しない空状態で走行する無駄を極力排除できる。

本実施形態では、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の双方の直下に中間棚５が設けられ、第１経路Ｌ１や第２経路Ｌ２を走行する天井搬送車２のいずれもが、自己の直下に対する移載だけを行うので、第１経路を走行する天井搬送車２に荷捌きの負荷が集中する不都合を回避できる。また、処理装置８におけるステーション４に対する物品Ｗの荷捌きは、当該ステーションに走行方向で隣接するステーション４に亘って設けられたバッファ用枠体５５に設けられた多数の中間棚５を活用することができるので、中間棚５の数が少ないために天井搬送車２がステーション４へ搬入する物品Ｗや搬出する物品Ｗを中間棚５に仮置きできないという事態を極力発生させることなく行うことができる。しかも、第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の双方の直下に中間移載装置５を設けることで、天井搬送車２の荷捌き負荷の更なる軽減を図ることができる。さらに、物品Ｗをステーション４についての移載対象群から対向するステーション４についての移載対象群に物品Ｗを搬送する場合は、従来のように天井搬送車２にて環状経路ＬＰ１〜ＬＰ３を経由するルートで搬送するルートに代えて、対向する両ステーション４についての中間移載装置同士で搬送コンベヤ５６を利用して迅速に物品Ｗを搬送することができる。

〔別の実施形態〕
以上、発明者によってなされた発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。以下、本発明の別実施形態について説明する。

（１）上記実施形態では、第２経路Ｌ２の両端部が乗り換え用経路としての環状経路ＬＰ１〜ＬＰ３に接続されたものを例示したが、第２経路Ｌ２の両端部がいずれの経路にも接続されないものでもよい。この場合、第２経路Ｌ２を走行する天井搬送車２は、第２移動経路Ｌ２を往復走行することになる。

（２）上記実施形態では、中間移載装置６が、隣り合う複数のステーション４でバッファ用枠体５５を共用して、このバッファ用枠体５５における上流側部分５５ａ及び下流側部分５５ｂの双方に亘って移動自在なものを例示したが、これに代えて、単一のステーション４についてバッファ用枠体５５を専用に設けて、中間移載装置６が、その移動方向で単一のステーション４についてのバッファ用枠体５５の範囲内を移動自在なものであってもよい。

（３）上記実施形態において、天井搬送車が把持部を走行経路の横幅方向にスライド自在に備えるように構成してもよい。

（４）上記実施形態では、第１中間移載装置６ｎや第２中間移載装置６ｆは、移載装置用把持部７を引退位置に位置させた状態で天井搬送車２の走行方向に沿って移動自在に構成されたものを例示したが、第１中間移載装置６ｎや第２中間移載装置６ｆが、相手側の中間移載装置及び移載動作をする天井搬送車２と干渉しない限り、移載装置用把持部７を突出位置に突出させた状態での移動や移載装置用把持部７の出退作動を行いながらの移動も許容するように構成してもよい。

（５）上記実施形態では、一つのバッファ用枠体５５に対して第１中間移載装置６ｎや第２中間移載装置６ｆを夫々１台設けたものを例示したが、一つのバッファ用枠体５５に対して、第１中間移載装置６ｎや第２中間移載装置６ｆを複数台設けたものでもよい。

（６）上記実施形態では、搬送コンベヤとして、搬送経路部分を移動自在な搬送用移動体が物品を搬送するように構成されたものを例示したが、この構成に代えて、搬送コンベヤとして、ベルトコンベヤ等のように搬送作用体が巻回作動や往復作動することで物品を搬送するように構成されたものであってもよい。

（７）上記実施形態では、搬送手段を搬送コンベヤにて構成されたものを例示したが、図１０に例示するように、搬送手段を、走行経路の並び方向で並ぶ一対の物品授受部についてのバッファ用枠体の間に配設された渡りレールと、この渡りレールに乗り換え自在に構成された中間移載装置とで構成してもよい。図１０の例では、搬送手段が、渡りレールと、第２経路側中間移載装置とで構成されたものを例示しているが、搬送手段が、渡りレールと第１経路側中間移載装置とで構成することもできる。いずれの場合でも、中間移載装置の移動方向を天井搬送車の走行方向に沿った方向から走行経路の横幅方向に沿った方向に切り換える移動方向切換手段を設けることが好ましい。以下に、具体例を説明する。

図１０に示すように、中間移載装置６を天井搬送車２の走行方向に沿う上部レール６５にて吊り下げ支持された状態で走行自在に構成したものにおいて、天井搬送車２の第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の並び方向に沿って並ぶ一対のステーション４についてのバッファ用枠体５５の間に、上部レール６５と同じ高さで渡りレール６７が配設されている。これらのバッファ用枠体５５の夫々における第２中間移載装置６ｆの上部レール６５の一部分として、縦軸心周りに回転自在な移動方向切換レール６６（移動方向切換手段）が、渡りレール６７の両端部に配置されている。

このような構成によれば、物品Ｗを保持した第２中間移載装置６ｆを移動方向切換レール６６が設置された箇所まで天井搬送車２の走行方向に沿って走行させて、移動方向切換レール６６に吊り下げ支持された状態で停止させ、その後、移動方向切換レール６６を天井搬送車２の第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２に沿った方向から第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の横幅方向に沿った方向に切り換えることで、第２中間移載装置６ｆが一方のバッファ用枠体５５から他方のバッファ用枠体５５まで渡りレール６７に沿って移動できる。
第２中間移載装置６ｆが他方のバッファ用枠体５５に到達した後は、他方のバッファ用枠体５５における移動方向切換レール６６を天井搬送車２の第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２の横幅方向に沿った方向から第１経路Ｌ１及び第２経路Ｌ２に沿った方向に切り換えることで、第２中間移載装置６ｆは他方のバッファ用枠体５５における上部レール６５に沿って移動して、他方のステーション４における物品授受位置やそのステーション４についてのバッファ用枠体における中間棚５に対して物品Ｗを移載することができる。このように、一方のステーション４についてのバッファ用枠体５５と他方のステーション４についてバッファ用枠体５５とで、第２中間移載装置６ｆを兼用することが可能である。

１走行レール
２天井搬送車
３把持部
４物品授受部
５中間棚
５ｎ第１経路側中間棚
５ｆ第２経路側中間棚
６中間移載装置
６ｎ第１経路側中間移載装置
６ｆ第２経路側中間移載装置
７移載装置用把持部
５６搬送コンベヤ（搬送手段）
Ｗ物品
Ｌ１第１経路
Ｌ２第２経路
ＬＰ１、ＬＰ２、ＬＰ３乗り換え用経路
Ｑ１ａ、Ｑ２ａ、Ｑ３ａ授受部用停止位置

Claims

天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在でかつ物品を支持する把持部を昇降自在に備えて、床側に設けられた物品授受部との間で物品を移載自在な天井搬送車と、
前記物品授受部よりも上方でかつ前記天井搬送車よりも下方に配置されて前記物品授受部に対して移載される物品を仮置きする中間棚とが設けられた物品搬送設備であって、
前記走行経路として、前記物品授受部の直上に設定された授受部用停止位置を経由する直線状の第１経路と、前記第１経路と平行でかつ前記第１経路の横幅方向で異なる位置に設定された直線状の第２経路とが設けられ、
前記中間棚として、前記第１経路の直下であって前記天井搬送車の走行方向において前記物品授受部と異なる位置に位置する第１経路側中間棚、及び、前記第２経路の直下に位置する第２経路側中間棚が設けられ、
物品を支持する移載装置用把持部を上下方向に昇降自在にかつ前記第１経路及び前記第２経路の横幅方向でスライド自在に備えて、前記第１経路側中間棚との間、前記第２経路側中間棚との間、及び、前記物品授受部との間で物品を移載自在な中間移載装置が設けられ、
前記中間移載装置として、前記天井搬送車の走行方向視で前記第１経路及び前記第１経路側中間棚と上下に重なる状態で前記第１経路と前記第１経路側中間棚との間の高さにおいて前記天井搬送車の走行方向に沿って往復移動自在に設けられた第１経路側中間移載装置、または、前記天井搬送車の走行方向視で前記第２経路及び前記第２経路側中間棚と上下に重なる状態で前記第２経路と前記第２経路側中間棚との間の高さにおいて前記天井搬送車の走行方向に沿って往復移動自在に設けられた第２経路側中間移載装置の少なくとも一方が設けられている物品搬送設備。
前記第１経路側中間移載装置及び前記第２経路側中間移載装置の双方が設けられ、
前記第１経路側中間移載装置は、前記移載装置用把持部を、前記第１経路の直下の第１経路側位置と前記第２経路の直下の第２経路側位置との間で出退自在に備え、前記移載装置用把持部を前記第１経路側位置に位置させた状態で前記天井搬送車の走行方向に沿って移動自在に構成され、
前記第２経路側中間移載装置は、前記移載装置用把持部を前記第２経路側位置と前記第１経路側位置との間で出退自在に備え、前記移載装置用把持部を前記第２経路側位置に位置させた状態で前記天井搬送車の走行方向に沿って移動自在に構成されている請求項１記載の物品搬送設備。
前記物品授受部として、前記第１経路及び前記第２経路の横幅方向に離間した一方の物品授受部と他方の物品授受部とが設けられ、
前記一方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路と、前記他方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路とが、前記第１経路及び前記第２経路の横幅方向で間隔を隔てた状態で平行に配置され、
前記一方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路の少なくとも一方と前記他方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路の少なくとも一方との両端部の夫々は乗り換え用経路に接続され、
前記天井搬送車は、前記一方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路のうち前記乗り換え用経路に接続されたものと前記他方の物品授受部についての前記第１経路及び前記第２経路のうち前記乗り換え用経路に接続されたものとの間で前記乗り換え用経路を経由して移動自在に構成され、
前記一方の物品授受部についての前記中間移載装置と前記他方の物品授受部についての前記中間移載装置との間で、前記第１経路及び前記第２経路の横幅方向に物品を搬送自在な搬送手段が設けられている請求項１又は２記載の物品搬送設備。
前記搬送手段が、前記一方の物品授受部についての前記第１経路側中間移載装置又は前記第２経路側中間移載装置との間で物品を授受する一方側移載位置にて物品を載置支持自在でかつ前記他方の物品授受部についての前記第１経路側中間移載装置又は前記第２経路側中間移載装置との間で物品を授受する他方側移載位置まで物品を載置搬送自在な搬送コンベヤにて構成されている請求項３記載の物品搬送設備。