JP2012037912A - シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光体に隣接している透明基板5表面を内接する最大の円の直径が0.2μm以上1.5μm以下の微小領域で仮想的に隙間無く分割し、各微小領域は透明基板5表面上で凸又は凹の形状をなし、凸か凹かの比率がそれぞれP、1−Pであり、Pは0.4から0.98の範囲にある透明基板5表面の表面構造13を発光装置は有している。
【選択図】図1
Description
)より大きくなった時、全反射が発生する。例えば、θc以上の角度で透明基板105の
表面上の点Qに入射する光は全反射し、空気層106側に出射することはない。
角)をθ’k、各屈折面での屈折角を順にθ’k-1、θ’k-2、…、θ’1、θ0とすると、
スネルの法則より次式が成り立つ。
従って、次式が成り立つ。
結局、(式2)は発光層103が空気層106に直接接触する場合のスネルの法則に他ならず、間に介在する透明層の屈折率には関係せずに、θ’k≧θc=sin−1(n0/n’k)で全反射が発生することを表している。
たz軸を中心軸とする2対の円錐体107、107’の内部に含まれる。点Sからの発光が、全方位に等強度の光を放射するものとし、屈折面での透過率が臨界角以内の入射角で100%とすれば、発光層103からの取り出し効率ηは、球面108の表面積に対する、円錐体107、107’により球面108を切り取った面積の比に等しく、次式で与えられる。
なお、実際の取り出し効率ηは臨界角以内の透過率が100%とはならないので、1−cosθcよりも小さくなる。また、発光素子としての全効率は、発光層の発光効率を上記取
り出し効率ηに乗じた値となる。
り、光取り出し効率の最大値は1−cosθc=0.273程度と小さく、n’k=1.70では0.191程度まで下がる。
る中間の位置に存しており、前記発光体は発光スペクトルの中心波長がλである光を発し、前記保護層の屈折率がn1、前記保護層が前記反対側の面において接する媒質の屈折率がn1よりも小さいn0であり、λ/6(n1−n0)<d<λ/(n1−n0)である構
成とした。
前記反対側の面において接する媒質の屈折率がn1よりも小さいn0であり、λ/6(n1
−n0)<d<λ/(n1−n0)である構成とした。
とすることができる。
の内部から紙面方向に沿って透明層207の屈折面207a上の点Oに角度θで入射し、屈折率nBの透明層206側に回折する波長λの光を考える。屈折面207aには紙面に
沿ってピッチΛをなす回折格子が形成されている。紙面上に点Oを中心にする半径nAの
円211と半径nBの円212を描く。入射ベクトル210i(円211の円周上を始点
として角度θで点Oに向かうベクトル)の屈折面207aへの正射影ベクトル(垂線の足Aから点Oに向かうベクトル)を210Iとし、点Oを始点として円212の円周上に終点をもつベクトル210rを、その正射影ベクトル210Rがベクトル210Iと同一になるように描く。垂線の足Cを始点として、大きさqλ/Λのベクトル(格子ベクトル)を考える。ただし、qは回折次数(整数)である。図ではq=1の場合のベクトル210Dを描いており、その終点Bを垂線の足とし、点Oを始点として円212の円周上に終点をもつベクトル210dを描く。作図の仕方から、ベクトル210rの方位角φ(屈折面法線となす角)は次式で与えられる。
これはスネルの法則そのものである。一方、回折光線の方位を与えるベクトル210dの方位角φ'(屈折面法線となす角)は次式で与えられる。
ただし、図18の場合の角φ'はz軸(点Oを通る屈折面法線)を跨いでいるのでマイ
ナスで定義される。
限られ、光の取り出し効率の改善は1,2割程度に止まり、大きな改善は見込めない。
、ピンホールでは現実的な光の取り出しがほとんどできないので、ピンホールと同じ光取り出し特性を示すと考えたランダム配置の位相シフターも検討した。
。微細な位相シフター18の作製は実際には困難であるので、位相0度の部分を透過させ
、位相180度の部分を遮光膜(Cr膜)で覆ったマスク(いわゆる幅wで仕切られた碁盤の
目に遮光膜をランダムに配置したもので、ピンホール光をランダムに配置したものと同じ)で代用し、実験を行った。実際に作製したマスクパターンでは幅wが0.6、0.8、1.0、2.0、5.0μmであった。実験装置は図26に示すように、半導体レーザー(波長0.635μm)、三角プリズム58(BK7)、マスク基板59(合成石英、屈折率は1.457、裏面にマスクパターン形成)、集光レンズ系50、光検出器51からなり、屈折率1.51のマッチング液52を挟んで三角プリズムをマスク基板の表面に密着させ、三角プリズム側から方位角を計測しながらレーザー光を入射し、裏面側から漏れ出る透過光を集光レンズ系50で集め、光検出器51で透過光量を測定する。マスクの場合、全体の1/2の面積に相当する遮光膜の部分が遮光され、透過光量が位相シフターを用いたものに比べ1/2となるので、透過率tとしては遮光膜のない部分に入射する光量(全体の1/2の光量)で規格化する。実験結果は図21で示した解析結果と良く一致し、臨界角(43.34度)を超えても大きな透過率が存在し、wが小さいほどその傾向が強まることが分かる。
第1の実施の形態を図1から図5(a),5(b)、図28、図29に基づいて説明する。
構造13上の点Pに、表面の面法線に対して角度θで入射し、この点において表面構造13によって回折して空気6層側に出射する。
板5表面に表面構造13があるため、点Qには臨界角θc以上の角度で光が入射しても全
反射することなく回折し、空気6層側に出射する(1回目の光取り出し)。なお、点Qでは光の一部が反射するがその反射する成分は、電極2を反射した後、再び表面構造13上の点Rに入射し、その一部が空気層側6に出射し(2回目の光取り出し)、残りは反射する。以上の過程を無限に繰り返す。
り出し光の視野角依存性の解析結果を示す説明図であり、段差d=0.7μmとし、波長λと境界幅wをパラメータにして示している。図28(a)はλ=0.450μm、w=0.5μm、図28(b)はλ=0.635μm、w=0.5μm、図28(c)はλ=0.450μm、w=1.0μm、図28(d)はλ=0.635μm、w=1.0μm、図29(a)はλ=0.450μm、w=1.5μm、図29(b)はλ=0.635μm、w=1.5μm、図29(c)はλ=0.450μm、w=2.0μm、図29(d)はλ=0.635μm、w=2.0μmの条件である。原点と曲線上の点を結ぶベクトルが出射光の光強度と出射方位を表しており、ベクトルの長さが光強度、ベクトルの方位が出射方位に対応する。縦軸は面法線軸の方位、横軸は面内軸の方位に対応し、実線は面内軸が図2(b)に於けるx軸又はy軸に沿った断面(0度、90度の経度方位)、破線は面内軸がy=x又はy=−xの直線に沿った断面(45度、135度の経度方位)での特性である(90度方位の結果は0度方位、135度方位の結果は45度方位と一致するので省略する)。境界幅w=0.5、1.0μmでは実線、破線とも偏角(緯度)に対しなめらかな変動(即ち視差に伴う強度差が少ないこと)を示し、かつ両者が一致する。wを大きくし、w=2.0μmになると面法線方向の近傍での偏角に対する強度変動が大きくなり、λ=0.450μmでは実線、破線間の乖離も大きくなる。w=1.5μmは強度変動が出始めるぎりぎりの条件である。従って、面法線方向の光強度が強く、偏角(緯度)に対する変動が緩やかで、経度方向の光強度差が少ない視野角依存性は境界幅wが1.5μm以下の条件で得られることが分かる。
=1.457、空気6の屈折率n0=1.0、光の波長λ=0.635μm、微小領域δ
1の微小領域δ2に対する突出高さd=0.70μm、微小領域δ1の面積比率(即ち凸である比率)P=0.5とし、表面構造の幅wをパラメータ(w=0.1,0.2,0.4,0.6,0.8,1.0,2.0,4.0μm)にしている。なお、突出高さd=0.70μmは垂直入射に於いて凹部での透過光と凸部での透過光にπだけ位相差が発生する条件(d=λ/2(n1−n0))
に相当する。
射に於ける透過率tの入射角依存性を示す実験結果である。実際に電子線ビーム法により石英基板上に深さd=0.70μm、境界幅w=0.4μmの凹凸のランダムパターンを形
成し、図26に示した測定装置を用いて実験を行った。実験結果は図3(a)で示した解析結果と良く一致し、臨界角(43.34度)を超えても大きな透過率が存在することが分かる。本実施の形態の前に説明したように、屈折面においてどのような入射条件であろうとも屈折面上で等価的な発光(いわゆる境界回折効果)があると、その光は屈折面を挟んだ両方の媒質内に伝搬する。図3で示したような臨界角を超えても光が透過する現象は、この屈折面上で等価的な発光が生じる条件にしていることから説明できる。
する。従って、取り出し光量は図3(a),(b)で示した透過率tにsinθを掛けた値
に比例する。図4(a)、(b)は第1の実施の形態の表面構造における取り出し光量の入射角依存性を示す説明図である。すなわち、透明基板5内の1点(実際には発光層内の点)で発光する光量1の光が表面構造に角θ(屈折面法線となす角)で入射し、1回目でどれだけが空気層6側に出射するかを図4(a)に示し、図4(b)は表面構造13にお
いて1回反射し、電極2を反射した後、再び表面構造13に入射する場合、すなわち2回目の取り出し光量の入射角依存性を示している。
00に漸近し(図5の範囲では現れていない)、w≦0.10μmではwが小さくなるに従って0.00に収束する。
8の光取り出し効率が得られる。w=1.00μmの時には、η1=0.319、η2=0.102であり、0.444の光取り出し効率が得られる。一方、図14、図15(a)に示される従来の発光装置は、η1=0.274、η2=0であり、2回目以降は全てゼロとなり、合計で0.274である。従って、w=0.60μm条件では、本実施の形態の発光装置は図15(a)に示される発光装置の1.56倍、w=1.00の条件では1.62倍の光取り出し効率を実現できることが分かる。このように、wを0.2μmよりも大きくすることで(一般的に表現すれば、微小領域δに内接する円の最大のものの直径を0.2μm以上とすることで)光取り出し効率の大幅な向上を実現できる。
取り出し効率の変化を小さくできることが分かる。
基板5と調整層との間に全反射が発生する境界面が存在し、特にn1'−n1>0.1の場
合にはその影響が無視できなくなる。図22はその時の光の伝搬の様子を示している。
極2を反射した後、透明電極4を透過し、屈折率n1'の調整層15を透過し、境界面15a上の点P’において屈折して、屈折率n1の透明基板5を透過し、透明基板5と空気6
との境界面上の点Pを経て空気6側に出射する。ここではn1'≧n2>n1>1.0である。なお、n1'はn2よりも小さくても構わないが、この場合は透明電極4と調整層15と
の間で全反射が発生する。透明基板5において空気6との境界面には本実施の形態に係る表面構造13が形成されているので、臨界角を超えた光でも空気6層側に取り出すことが出来る。しかし、n1'>n1の関係から境界面15aでも全反射が発生する。すなわち、
点P’への入射より入射角の大きい点Q’への入射では全反射し、この光は電極2との間で全反射を繰り返し、空気6側に取り出すことは出来ない。
程を無限に繰り返す。図23の構成は、凹凸を有する表面構造13,13’を2重に形成する複雑さはあるが、透明基板5に屈折率の低い材料を用いることが出来、材料の選択の幅を広げられるメリットを有する。
第2の実施の形態を図6、図27に基づいて説明する。なお第2の実施の形態は表面構造13のパターンが第1の実施の形態と違うだけで、他の構成は全て第1の実施の形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
μm、表面構造の突出高さd=0.70μmとし、横軸に表面構造の境界幅wをおいて、
比率P=0.2,0.4,0.6,0.8、0.9の場合の光取り出し効率(1回目、及
び2回目)を示している。曲線6a、6b、6c、6d、6e及び6A、6B、6C、6D、6EはそれぞれP=0.2,0.4,0.6,0.8、0.9での光取り出し効率である。図27の曲線27a、27Aは上記の条件で境界幅w=1.0μmとし、凸である比率Pを横軸にして光取り出し効率(1回目、及び2回目)をプロットしている。
図27の曲線27aより、1回目の光取り出しでは凹凸の面積比率を支配する比率Pを0.6を中心とする0.4〜0.8の範囲に設定することで、光取り出し効率をより高められる。これはこの範囲で凸部が光導波路として効果的に作用するためであると考えられる(P≦0.2では導波路を形成する凸部の面積比が少なく、P≧0.8では凸部同士が近づきすぎて導波効果が薄まる)。一方、図27の曲線27Aより、2回目の光取り出しでは比率Pを0.9を中心とする0.5〜0.98の範囲に設定することで、光取り出し効率をより高められる。従って、1回目、2回目を含めたトータルの光取り出し効率では比率Pを0.4〜0.98の範囲に設定することが好ましい。
第3の実施の形態を図6(b)に基づいて説明する。なお第3の実施の形態は表面構造13の段差条件が違うだけで、他の構成は全て第1、第2の実施の形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
μmとし、横軸に表面構造の境界幅(微小領域δの幅)wをおいて、最大段差dm=1.
4,0.9,0.7、0.3μmの場合の1回目の光取り出し効率η1、2回目の光取り出し効率η2を示している。計算の都合から基準面からの段差量のランダム性として、dm=1.4μmでは−0.7μmから0.7μmまでの0.467μmステップで4種類の段差、dm=0.9μmでは−0.45μmから0.45μmまでの0.3μmステップで4種類の段差、dm=0.7μmでは−0.35μmから0.35μmまでの0.233μmステップの4種類の段差、dm=0.3μmでは−0.15μmから0.15μmまでの0.1μmステップの4種類の段差をそれぞれランダムに選択する条件(出現確率がそれぞれ25%の条件)で行った。なお、各ステップの出現確率は均等である必要はなく、例えば低い(深い)位置のステップの出現確率を小さく、高い(浅い)位置のステップの出現確率を大きくしてもよい。
、曲線6f、6Fはそれぞれdm=0.3μmでの1回目、及び2回目の光取り出し効率である。第1実施例と同様に、1回目の光取り出し効率はいずれも境界幅wが0.2〜2μmで極大になり、wを小さく又は大きくしていくと0.27(いわゆる(式3)で与えられる値で表面を鏡面とした場合の光取り出し効率)に漸近する。2回目の光取り出し効率は、w≦0.20μmではwが小さくなるに従って0に収束し、図には現れないがwを8μmより大きくしていくと0.00に漸近する。従って境界幅wの範囲は0.2μm以上の大きさである必要があり、さらに第1実施例の図28、図29で議論したように、視野角依存性の関係から1.5μm以下が好ましい。図6(b)においてdm=0.7μm、境界幅w=0.6μmの条件で計算した1回目、2回目の光取り出し効率(η1、η2)は0.331、0.141となる。従って、dm=0.7μmで得られる特性は第1の実施の形態で得られる特性(曲線5A)や第2の実施の形態で得られる特性(曲線6B,6C)に比べ、2回目の光取り出し効率が向上している。これは凸部の先端が不揃いになることで、パターンのランダム性が増し、表面構造を反射する光の伝搬方位のランダム性も増して反射光の拡散性が高まり、2回目の光取り出しでも1回目に近い状態(全方位に均一な光強度の状態)で光が入射できるためと考えられる。
における特性が劣化していることから、dmはdm≧0.2〜0.3μmであることが好ましい(この範囲は第1の実施の形態と同じである)。また、dm=1.40μmはw≧1.0μmの範囲でdm=0.70μmに比べ1回目の特性が微改善するが、dmが大きすぎると加工が困難になるうえ、w≧1.5μmの条件で視野角特性が劣化するので(図28、29参照)、1.40μmがdmの上限の目安といえる。これらの範囲は第1の実施の形態の範囲(λ/(n1−n0)≧dm≧λ/6(n1−n0))と同じである。
第4の実施の形態を図7に基づいて説明する。なお第4の実施の形態は表面構造のパターンが第1の実施の形態と違うだけで、他の構成は全て第1の実施の形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
の場合の例を示している。黒に割り当てられた微小領域βは微小領域β1であり、白に割り当てられた微小領域βは微小領域β2である。
、黒(α1)と黒(β1)の重なりは白に、白(α2)と白(β2)の重なりは白に、白(α2)と黒(β1)、又は黒(α1)と白(β2)の重なりは黒にするというルールで生成されたパターンである。図7(c)は結果として図7(a)のパターンと生成ルールが等しくなり、黒を凸とし、それに対して相対的に白は凹となる表面構造のパターンは第1の実施の形態で紹介しているものと同じである。
7(a)と同様に、黒が微小領域α1、白が微小領域α2である。
図27に、表面構造の凸部分の突出高さd=0.70μm、w1=0.2μm、w2=1
μm、P1=0.1の条件で、凸となる比率Pを横軸にして計算した1回目、2回目の光
取り出し効率(η1、η2)の特性を曲線27b,27Bとして付記する。
ので曲線27b、27Bは0.1以下、0.9以上をプロットできない)に設定することで、光取り出し効率をより高められる。従って、第1実施例と同様に比率P1、P2を組み合わせ最終的な凸となる比率Pを0.5〜0.98の範囲に設定することで、1回目、2回目を含めたトータルの光取り出し効率を高めることができる。なお、図27の曲線27c,27Cはw1=0.1μm、P1=0.1の条件、曲線27d,27Dはw1=0.
1μm、P1=0.2の条件の1回目、2回目の光取り出し効率の特性である。w1を0
.2μmより小さくすることで効率が大きく劣化するので、w1は0.2μm以上の大きさである必要がある。また、w1の上限値は第1の実施形態の図28,29で議論したように、視野角依存性関係から1.5μm以下が好ましい。
実効的に広がって加工の難易度のハードルは低くなる。なお、第2の実施の形態に第4の実施の形態を適用したものでも、第2の実施の形態と同様の効果が得られることは言うまでもない。
第4の実施の形態と第3の実施の形態を組み合わせたものが、第5の実施の形態である。本実施の形態では、領域の設定をわかりやすくするために各領域を色で区別して説明する。第5の実施の形態では、まず、透明基板5の表面を幅w1の碁盤の目(正方形の微小領域α)に分割し、一つ一つの目が黒である比率をP1、白である比率を1−P1としてランダムに黒と白とに割り当て、白を割り当てられた領域(微小領域α2)をd1(>0)の深さだけエッチング等の方法で彫り込む。なお黒を割り当てられた領域が微小領域α1である。
さd1+d3に、黒と赤と黄色の重なりは高さd1に、白と青と黄色の重なりは高さd2に、白と赤と緑の重なりは高さd3にすることができる。従って、高さは0からd1+d2+d3までの間の8種類の値(0、d1、d2、d3、d1+d2、d2+d3、d3+d1、d1+d2+d3)をランダムに取り得るので、第3の実施の形態と同じ効果が得られる。
第6の実施の形態を図1に基づいて説明する。なお第6の実施の形態は表面構造13のパターンが第1の実施の形態と違うだけで、他の構成は全て第1の実施の形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
する透過光の偏光はS偏光、又は左回りの円偏光となるような偏光子になるが、方位の90
度異なる1/2波長板を用いれば実現できる。なお、第1実施例の様な、屈折率に差がある界面の凹凸構造も透過光の位相が凹凸間で変化するので位相シフターの一つの形態と言える。
とができる。図5(b)には、位相差を90度にした結果も示しており、1回目、2回目の光取り出し効率がそれぞれ曲線5d'、5D'で表される。いずれも、位相差180度のもの(曲線5d、5D)より劣化するので、位相差の最適値は180度であることが分かる。
第7の実施の形態を図8に基づいて説明する。なお第7の実施の形態は表面構造のパターンが第1の実施の形態と違うだけで、他の構成は全て第1の実施の形態と同じであり、共通の構成についてはその説明を省略する。
る。透明基板5の表面を一辺の長さwの正六角形(微小領域δ)に分割し、一つ一つの図形が凸(図中の33a(微小領域δ1)、灰色の図形)であるか凹(図中の33b(微小領域δ2)、白の図形)であるかの比率を各50%として凸と凹とをランダムに割り当てたものである。wは0.93μm以下である。
上述の実施の形態は本発明の例示であって、本発明はこれらの例に限定されない。以上の実施の形態において、表面構造の凸部分の表面に垂直な断面形状は矩形形状に限らず、台形や円錐形状となってもよく、凸部分の斜面が曲線になってもよい。
割し、灰色の正方形13aと白の正方形13bがチェッカーパターンを形成し、灰色が凸となり、相対的に白が凹の形状をなす。
としてシフトした方位に高次の回折光が発生する。本願のようなランダムな表面形状では0次以外の回折光の伝播方位がランダムになる。これに対し磨りガラスや面粗しは回折現
象ではなく屈折現象の一つであり、デコボコした屈折面においてその面法線の方位がランダムになることで屈折の方位もランダムになっているだけである。すなわち、平行平板の上に第1から7の実施の形態に於ける表面形状を形成し、透かして見ると反対側の像の輪郭がはっきりと見える。これは表面形状で回折分離する光の中に0次回折光が必ず存在し
、この光が反対側の像の輪郭を維持させている。これに対し、磨りガラスや面粗しでは0
次回折光に相当する光が存在せず、透かして見ると反対側の像の輪郭がぼやけたものになる。特許文献2では表面の突起物により光が”素直に空気中に放射される”の表現がある
だけで回折という表現が無く、“素直”という言葉をスネルの法則(屈折の法則)に従うと解釈でき、その意味では磨りガラスや面粗しと同じ部類に入ると理解でき、本願発明とは別のものであると言うことができる。
2 電極
3 発光層
4 透明電極
5 透明基板
6 空気
13 表面構造
S 発光点
Claims (4)
- 一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、
他方の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上8.0μm以下の複数の微小領域δによって仮想的に分割されているとともに、一つの該微小領域δは別の複数の該微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
前記複数の微小領域δは、該複数の微小領域δからランダムに40%以上98%以下の割合で選ばれた複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、
前記微小領域δ1は、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して前記他方の面上方へ突出していてその高さはd/2であり、
前記微小領域δ2は、前記所定の基準面に対して前記他方の面下方へ窪んでいてその深さはd/2であり、
前記所定の基準面は、前記微小領域δ1と前記微小領域δ2との前記他方の面に垂直な方向における中間の位置に存しており、
前記dは0.2μm以上1.4μm以下であることを特徴とするシート。 - 一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、
他方の面は、内接する最大の円の直径が0.2μm以上8.0μm以下の複数の微小領域δによって仮想的に分割されているとともに、一つの該微小領域δは別の複数の該微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
前記複数の微小領域δのそれぞれは、前記他方の面に平行な所定の基準面に対して0以上d/2以下の範囲内のランダムな高さで上方に位置している、あるいは0以上d/2以下の範囲内のランダムな深さで下方に位置しており、
前記所定の基準面は、前記他方の面に垂直な方向における最も高い位置に存する前記微小領域δと最も低い位置に存する前記微小領域δとの中間の位置に存しており、
前記dは0.2μm以上1.4μm以下であることを特徴とするシート。 - 一方の面を発光体に隣接させて用いられる透明なシートであって、
他方の面は、内接する最大の円の直径が0.4μm以上4.0μm以下の複数の微小領域δによって仮想的に分割されているとともに、一つの該微小領域δは別の複数の該微小領域δによって隣接且つ囲繞されており、
前記複数の微小領域δは、複数の微小領域δ1と、それ以外の複数の微小領域δ2とからなり、
前記微小領域δ1と前記微小領域δ2とは、前記一方の面に垂直に入射した光のうち、前記微小領域δ1を透過した光と、前記微小領域δ2を透過した光との間に、180度の位相差を生じさせることを特徴とするシート。 - 請求項1から3のいずれか一つに記載されているシートであって、前記微小領域δは多角形且つそれぞれ合同な形状であることを特徴とするシート。
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