JP2012035884A - ６０リットル内袋複合容器及び薬液排出チューブ - Google Patents

Abstract

【課題】煩雑作業の低減を図ることが可能である６０リットル内袋複合容器を提供し、及び該６０リットル内袋複合容器用薬液排出チューブを提供する。
【解決手段】樹脂製であり、高清浄度が要求される薬液を６０リットル収容し、液出入口部１１２を設けた内装容器１１０と、鋼製であり、胴体１２１に地板１２２を巻き締めて形成した収納部１２０ａの内面に沿って上記内装容器を収納し、さらに天板１２３を上記胴体に巻き締めて成形される外装容器１２０と、を備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、鋼製の外側容器内に樹脂製の内側容器を設けた、容量６０リットルの内袋複合容器、及び該６０リットル内袋複合容器用の薬液排出チューブに関する。

例えば食品や薬液を収納するための鋼製容器では、上記食品や薬液が直接に鋼製容器内面に接触することによる腐食等の発生を防止するため、上記食品や薬液を収納する樹脂製の内側容器を鋼製の外側容器内に収納した、図１１に示すような、内袋複合容器１０の形態が採られる。

該内袋複合容器１０では、内側容器１は、本体部１ａがポリエチレン製で袋状にて形成され、その上部には充填物を出入するための出入口１ｂが容器本体部と一体的に形成されている。尚、出入口１ｂの外周面は、雄ネジ形状に成形されている。

一方、内袋複合容器１０の外側容器２は、円筒状の鋼板にてなる胴体２ａと、鋼板にてなる地板２ｂとが巻き締められて収納部が形成される。
そして、上記収納部内に、上記内側容器１を装填した後、鋼板製の天板２ｃに形成した開口から上記出入口１ｂを突出させた状態で、胴体２ａと天板２ｃとが巻き締められ、鋼製の外側容器２内に樹脂製の内側容器１を収納した内袋複合容器１０が作製される。このような内袋複合容器１０に対して充填物を注入した後、天板２ｃから突出した出入口１ｂには、キャップ３が螺合され、充填物の密閉が図られる。

上記薬液の例として、例えば半導体分野では、例えばＣＭＰスラリー、フォトレジスト、現像液、エッチング液、洗浄液等であり、液晶分野では、フォトレジスト、カラーレジスト、カラーフィルタ材料等である。また、これらの薬液の中には遮光を要するものもあり、鋼製にてなる外側容器２は遮光性を有することから、内袋複合容器１０の使用は、この点でも有利である。

半導体分野等における薬液を扱う場合には、内側容器１は勿論のこと、内装複合容器１０には高い清浄度が要求される。さらに薬液の排出に当たっても高い清浄性が要求され、排出方法として、上記キャップ３を取り外して取り付けられ排出用チューブを有するディスペンサーを用いて排出する方法が採られる。これには、薬液をポンプで吸い上げるポンプアップ方式、あるいは、缶内に窒素ガス等を注入して加圧することで薬液を押し出す加圧方式がある。

特開２００７−４５４２９号公報

上述したような、半導体分野等で使用される薬液用の内袋複合容器としては、その内容量が２０リットルの、いわゆるペール缶を利用したものが広く使用されている。一方、上述のように、薬液の排出にはディスペンサーを用いた方法が採られることから、ほぼ２０リットルの薬液を排出する度に、容器に対して上記ディスペンサーの着脱を行う必要があり、非常に煩雑な作業が強いられている。

また、半導体分野等で使用される薬液は、非常に高価であり、コスト面から、内袋複合容器内における残液量を可能な限り低減したいという、ユーザー側の要望もある。

本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、煩雑作業の低減を図ることが可能である、６０リットル内袋複合容器を提供すること、及び、該６０リットル内袋複合容器用の薬液排出チューブを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は以下のように構成する。
即ち、本発明の第１態様における６０リットル内袋複合容器は、樹脂製であり、取り扱いに高清浄度が要求される薬液を収容し、その収容量が６０リットルであり、天面に液出入口部を設けた内装容器と、
鋼製であり、筒状の胴体に地板が巻き締められて成形された収納部の内面に沿って上記内装容器を収納し、さらに上記液出入口部が突出可能な口部用開口を形成した天板を上記胴体に巻き締めて成形される外装容器と、
を備えたことを特徴とする。

また、上記内装容器の上記液出入口部は、該液出入口部の外周面に、当該液出入口部の軸方向に沿って保持用ネジとキャップ用ネジとを同心円状に２段にて有し、上記保持用ネジは、上記天面に近接して成形され、上記外装容器の上記口部用開口を通過する直径を有し、当該液出入口部を上記天板に保持するハンガーを螺合するためのネジであり、上記キャップ用ネジは、上記天面より離れて成形され、上記保持用ネジよりも小径であり、上記液出入口部の口部を閉止するキャップを螺合するためのネジで構成してもよい。

また、上記天板は、上記口部用開口の周囲において、上記口部用開口から当該天板の中央を超えた領域まで窪みを形成してもよい。

また、上記外装容器は、塗装を省略可能な電気亜鉛メッキ鋼板にて成形され、上記薬液は、半導体分野及び液晶分野の少なくとも一方にて使用される薬液であり、上記内装容器は、薬液用仕様による高密度ポリエチレン樹脂製であり高品質管理下にてブロー成形して構成してもよい。

また、本発明の第２態様における薬液排出チューブは、上記第１態様における６０リットル内袋複合容器に備わる内装容器における液出入口部に装着可能であり、上記内装容器に収容した薬液を容器外部へ排出する、上記６０リットル内袋複合容器用の薬液排出チューブであって、
可撓性で耐薬液性の樹脂製であり、吸液口近傍の先端部分に、薬液排出用の容器内加圧に伴い上記６０リットル内袋複合容器の地板に生じる変形部分へ上記吸液口を配向させる錘を有することを特徴とする。

本発明の第１態様における６０リットル内袋複合容器によれば、その収容量は、６０リットルであることから、従来の２０リットルに対して収容量が増え、薬液排出に関する煩雑作業の低減を図ることができる。

また、上述のような６０リットル内袋複合容器において、内装容器の液出入口部に保持用ネジ及びキャップ用ネジを形成した。よって、天板の口部用開口より突出する、内装容器の液出入口部は、保持用ネジに螺合させたハンガーにて、突出した状態で天板に保持することができる。よって、キャップ用ネジに螺合するキャップの着脱を容易に行うことができ、薬液排出作業に関する作業性を向上させることができる。

また、天板には口部用開口の周囲に窪みを形成した。よって、薬液排出のために容器内を加圧する場合でも、天板の膨れを防止あるいは抑制することができる。一方、地板には、耐加圧用の工夫は施していない。よって、上記窪みとの相乗効果により、地板、特に地板中央部は、上記加圧により容器外側へ膨らむことができる。この結果、薬液排出終了間際には、上記膨らんだ変形部分に残液を集めることができ、効率的な薬液排出が可能となり、かつ残液量の低減を図ることも可能となる。

また、内装容器を高密度ポリエチレン樹脂で成形することで、耐薬液性及び高いクリーン度を有することができる。また、薬液が半導体分野及び液晶分野の少なくとも一方にて使用される薬液であり、それに見合う品質管理下にてブロー成形される。よって、内装容器は、高清浄度を有し、半導体分野及び液晶分野の少なくとも一方にて使用される薬液の取り扱いに適している。さらに、外装容器についても、電気亜鉛メッキ鋼板にて成形することで、外面塗装を省略することができる。よって、容器内への異物混入等の可能性を低減させ、内装容器のみならず、容器全体において高清浄度を達成することが可能である。

さらに本発明の第２態様における薬液排出チューブによれば、上記第１態様の６０リットル内袋複合容器に装着可能であり、当該薬液排出チューブの先端部分に錘を有する。よって、薬液排出チューブの吸液口を外装容器の地板における変形部分に配向させることが可能となり、上述の、天板の窪み形成と相まって、さらに効率的な薬液排出が可能となり、かつ残液量の低減を図ることも可能となる。

本発明の一実施形態における６０リットル内袋複合容器の構造を示す、一部断面を含む図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器の平面図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器の斜視図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器の内装容器の液出入口部に関する断面図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器を逆さまにして薬液を排出したときの残液状態を示す図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器に備わる内装容器の変形例の一例を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は矢視Ｂによる側面図、（Ｃ）は矢視Ｃによる側面図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器に備わる内装容器の他の変形例を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器に備わる内装容器の別の変形例を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器に装着可能な、薬液排出チューブ及びディスペンサー機構を示す図である。 図１に示す６０リットル内袋複合容器に適用可能な傾斜台を示す斜視図である。 従来の２０リットル内袋複合容器の構造を示す図である。

本発明の実施形態である６０リットル内袋複合容器について、図を参照しながら以下に説明する。尚、各図において、同一又は同様の構成部分については同じ符号を付している。

図１から図４には、本実施形態における６０リットル内袋複合容器１００の構成が示されている。６０リットル内袋複合容器１００においても、従来の２０リットル内袋複合容器と同様に、樹脂製の内装容器１１０と、該内装容器１１０を収納する鋼製の外装容器１２０とを備える。

内装容器１１０は、本体部１１１が高密度ポリエチレン樹脂製で袋状にブロー成形され、その容量が６０リットルであり、本体部１１１の天面１１１ａには、薬液を出入するための液出入口部１１２が本体部１１１と一体的に形成されている。液出入口部１１２は、本体部１１１のブロー成型の際に同時に成型されても良いし、別途成型され、本体部１１１に融着等にて取り付けられてもよい。また、液出入口部１１２の外周面には、図４に示すように、当該液出入口部１１２の軸方向１１２ａに沿って保持用ネジ１１２１とキャップ用ネジ１１２２とが同心円状に２段にて、雄ネジ形状で成形されている。

保持用ネジ１１２１は、天面１１１ａに近接して成形される雄ネジで、外装容器１２０の天板１２３に形成された口部用開口１２３ａを通過する直径を有し、液出入口部１１２を外装容器１２０の天板１２３に保持するハンガー１１３を螺合するためのネジである。
キャップ用ネジ１１２２は、上述の保持用ネジ１１２１よりも小径の雄ネジであり、上記軸方向１１２ａにおいて保持用ネジ１１２１よりも上側に位置し、液出入口部１１２の口部１１２ｂを閉止するキャップ１１５を螺合するためのネジである。

内装容器１１０に収容される薬液は、収容時も含めて、取り扱いに高清浄度が要求される薬液であり、例えば、半導体分野及び液晶分野の少なくとも一方にて使用される薬液が相当する。上述したように、半導体分野での薬液としては、例えばＣＭＰスラリー、フォトレジスト、現像液、エッチング液、洗浄液等であり、液晶分野では、フォトレジスト、カラーレジスト、カラーフィルタ材料等である。

このような薬液を収容することから、内装容器１１０には、高い清浄性が要求され、そのため上述のように、内装容器１１０は、薬液用仕様による高密度ポリエチレン樹脂製で、高品質管理の下で作製される。作製後、直ちに、液出入口部１１２の口部１１２ｂには内栓１１４が施されて内部が密閉され、さらに、キャップ用ネジ１１２２にキャップ１１５が螺合され内栓１１４を封止する。
尚、後述するように、収容している薬液を排出するときには、キャップ１１５及び内栓１１４が外され、図９に示すようにディスペンサー機構２００を構成するプラグ本体２０１がキャップ用ネジ１１２２に螺合される。

６０リットル内袋複合容器１００の外装容器１２０は、円筒状の鋼板にてなる胴体１２１と、鋼板にてなる地板１２２及び天板１２３とを有する。上述のように、当該６０リットル内袋複合容器１００の収容物は、取り扱いに高清浄度が要求される薬液であることから、外装容器１２０についても、汎用品に比べて高い清浄度による製造が要求される。よって、外装容器１２０の胴体１２１、地板１２２、及び天板１２３は、電気亜鉛メッキ鋼板を使用し、外面塗装を省略可能としている。これにより、容器内への異物混入等の可能性を低減させ、内装容器１１０のみならず、６０リットル内袋複合容器１００全体において高清浄度を達成している。

胴体１２１は、その両端の直径が同じである。このような胴体１２１と地板１２２とを巻き締めることで収納部１２０ａが形成され、収納部１２０ａ内には、上述の内装容器１１０が装填される。尚、収納部１２０ａの大きさは、６０リットルの収容量を有する内装容器１１０に見合ったサイズであり、内装容器１１０は、収納部１２０ａの内面に沿ってかつ接触して収納される。収納後、内装容器１１０の上記液出入口部１１２の保持用ネジ１１２１が通過可能な大きさにてなる口部用開口１２３ａを形成した天板１２３が胴体１２１に巻き締められる。このとき、上記液出入口部１１２は、天板１２３の口部用開口１２３ａより容器外部へ突出させ、上記ハンガー１１３を上記保持用ネジ１１２１に螺合することで、液出入口部１１２をハンガー１１３にて天板１２３に保持させる。

ハンガー１１３は、樹脂又は金属製で例えば板状の部材であり、液出入口部１１２の保持用ネジ１１２１と係合する雌ネジ１１３ａを内周面に形成した貫通穴が開けられ、天板１２３の口部用開口１２３ａを超える大きさの外周部１１３ｂを有する。よって、天板１２３の口部用開口１２３ａより容器外側へ突出している保持用ネジ１１２１に対して、容器外側からハンガー１１３の雌ネジ１１３ａを螺合させることで、ハンガー１１３の外周部１１３ｂが天板１２３に当接し、ハンガー１１３は、内装容器１１０の液出入口部１１２を外装容器１２０の天板１２３に保持する。尚、ハンガー１１３の形状は、図示する形状に限定されるものではない。

さらに天板１２３には、図２及び図３に、より明確に図示されるように、上記口部用開口１２３ａの周囲において、天板１２３を容器外側から内側へ一様に凹ませた窪み１２３ｂが形成されている。また、窪み１２３ｂと天板１２３とは、斜面１２３ｄにて接続しているが、これに限定するものではなく、例えば円弧状等であってもよい。このような窪み１２３ｂは、口部用開口１２３ａの近傍から天板１２３の中央を超えた領域１２３ｃまで形成される。これは、以下に説明する容器内加圧により、天板１２３では中央部分が最も変形し易いからである。また、本実施形態では、窪み１２３ｂは、図示のように、上記液出入口部１１２部分に比べて上記領域１２３ｃ部分が狭いほぼ卵形形状であるが、該形状に限定されるものではなく、例えば、領域１２３ｃ部分においても液出入口部１１２部分と同等の大きさを有する長円形状等であってもよい。

従来の内袋複合容器と同様に、本実施形態における６０リットル内袋複合容器１００においても、収容物である上記薬液の排出は、容器１００内への不活性ガスの注入による加圧により行うことができる。上記窪み１２３ｂは、上記加圧時における天板１２３の膨れ変形を防止又は抑制するためのものであり、また、以下に記すように、地板１２２に変形部分１２９を生じさせるものでもある。

一方、図１に示すように、地板１２２には、窪み１２３ｂのような変形防止用の工夫は施しておらず平板のままである。また、地板１２２及び天板１２３は、同じ材料で同じ板厚の鋼板を使用する。よって、上記加圧時には、上記窪み１２３ｂによる天板１２３の変形困難さにより、上記窪み１２３ｂを設けない場合に比べて、地板１２２全体、特に地板１２２の中央部は、容器外側へより膨らむことができる。このように膨らんだ部分を、説明上、変形部分１２９（図９）とする。この結果、薬液排出終了間際には、地板１２２における変形部分１２９に残液を集めることができる。よって、効率的な薬液排出が可能となり、かつ残液量の低減を図ることも可能となる。この観点から、窪み１２３ｂは、地板１２２に変形部分１２９を形成させるためのもの、さらには残液量低減を図るためのものとも言える。

尚、本実施形態では上述のように窪み１２３ｂを設けることで、天板１２３の変形防止及び地板１２２の変形促進を図ったが、これらの目的達成のためには窪み１２３ｂに限定されることはなく、例えば天板１２３にリブを設ける等の手段を施してもよい。

また、図１及び図３に明確に示されるように、当該６０リットル内袋複合容器１００の上端１０１に対して、天板１２３は１段低く位置し、さらに窪み１２３ｂにより、ハンガー１１３の取り付け位置はさらに１段低くなっている。よって、窪み１２３ｂを設けることで、図１に明示されるように、液出入口部１１２のキャップ用ネジ１１２２にキャップ１１５をねじ込んだ状態では、キャップ１１５の上面を、６０リットル内袋複合容器１００の上端１０１以下に位置させることができる。これにより、例えば当該６０リットル内袋複合容器１００を積み重ねるような場合においても、キャップ１１５の損傷等を防止できるという効果がある。

また、天板１２３の外面には、図２及び図３に示すように、容器取り扱い用の取っ手１２４が少なくとも２つ取り付けられている。図２では、取っ手１２４を２箇所に設けた場合、図３では３箇所に設けた場合を図示している。

また、図１に示すように、胴体１２１の表面にも、天板側と地板側との２箇所に、胴体１２１の剛性を高め胴体１２１の変形を防止、抑制するための輪帯１２１ａを、胴体１２１の周方向に沿って形成している。

このようにして、鋼製の外装容器１２０内に樹脂製の内装容器１１０を収納した６０リットル内袋複合容器１００が作製される。
このような６０リットル内袋複合容器１００に対して、天板１２３から突出した上記液出入口部１１２を介して内装容器１１０内へ上記薬液が注入される。注入後、液出入口部１１２の口部１１２ｂに内栓１１４が施され、さらにキャップ１１５がキャップ用ネジ１１２２に螺合され、薬液の密閉が図られる。

このように構成された６０リットル内袋複合容器１００を使用することで、従来の２０リットルに対する収容量の増加により、薬液排出作業頻度は減り、煩雑作業の低減を図ることができる。

６０リットル内袋複合容器１００に収容された上記薬液の排出は、重量及び作業性の観点から、通常、容器内を加圧することにより行われるが、薬液残量が極少量になった場合等、上記液出入口部１１２を下へ容器１００を反転させて行うことも考えられる。しかしながら、こうした場合であっても、液出入口部１１２の近傍の内装容器１１０の肩部には、図５に示すように、薬液１０８が残留し易い。

このような薬液残留を極力する無くすために、内装容器は、以下の構成を採ってもよい。即ち、図６に示す内装容器１１０−１のように、液出入口部１１２の近傍の内装容器１１０−１の肩部には、内装容器１１０−１の外側から内側へ凹んだ凹部１３０を設けた。尚、図６において、（Ａ）は内装容器１１０−１の平面図、（Ｂ）は（Ａ）における矢印Ｂ方向から見た側面図、（Ｃ）は（Ａ）における矢印Ｃ方向から見た側面図である。また、内装容器１１０−１の天面１１１ａに形成される斜面に１３１、１３２を付番する。

凹部１３０は、天面１１１ａの肩部分であって、かつ天面１１１ａの中心と液出入口部１１２の中心とを通る線分の両側に設けられている。このような凹部１３０は、内装容器１１０−１を成型するときのブロー成型によって容易に形成可能である。

このような凹部１３０を設けることで、容器を傾けて薬液を排出する場合、薬液が滞留していた部分に凹部１３０が形成されているので、薬液は滞留せず、液出入口部１１２から排出され、残液量を削減することが可能となる。

天面１１１ａと凹部１３０とを接続する斜面１３２の角度は、約４５度である。６０リットル内袋複合容器１００の落下時、あるいは容器内の液圧により、天面１１１ａと凹部１３０との接続部は、強度的に弱くなるが、この部分を斜面１３２にすることにより、衝撃を緩和することができる。斜面１３２の上端と下端のそれぞれを円弧状に形成するのが好ましい。該円弧状の形成により、天面１１１ａと凹部１３０の接続部の強度が高まり、内装容器１１０の損傷を防止、低減することができる。

平面形状において、凹部１３０の角部１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃも円弧状に形成するのが好ましい。このように構成することにより、天面１１１ａと凹部１３０との接続部の強度が一層高まる。

図示しないが、外装容器１２０と内装容器１１０−１における凹部１３０との隙間部分には、スペーサが設けられるのが好ましい。スペーサとして、例えばポリスチレン発泡体が使用可能である。凹部１３０を設けると内装容器１１０−１の強度低下が懸念されるが、上記隙間部分にスペーサを介在させることにより、補強される。

また、凹部１３０の変形例として、図７に示す凹部１３５を構成することもできる。尚、図７の（Ａ）は、内装容器１１０−２の平面図、（Ｂ）は側面図である。凹部１３５は、液出入口部１１２の近傍の内装容器１１０−２の肩部（点線部分）を面取りし、斜面状に形成してなる。凹部１３５によっても、残液量を削減させることができる。また斜面に限らず、肩部分における円弧部を従来よりも大きくすることによっても、相当の効果を奏する。

さらにまた、凹部１３０の変形例として図８に示す構成を採ることもできる。尚、図８の（Ａ）は、内装容器１１０−３の平面図、（Ｂ）は側面図である。内装容器１１０−３では、液出入口部１１２を内装容器１１０−３の側壁側に近づけ、天面１１１ａの中心と液出入口部１１２の中心とを通る線分の延長線上の肩部分を、従来の肩部分（点線）の円弧Ｒより大きくし、当該６０リットル内袋複合容器１００を傾けて薬液を排出するときに、薬液が肩部分に滞留しないように構成する。このような構成においても残液量を削減することができる。なお、円弧Ｒを大きくする代わりに、この部分を斜面にしてもよい。尚、この例の場合、液出入口部１１２が内装容器１１０−３の側壁側に近づけられているので、外装容器１２０の形状はそれに応じて変える必要がある。

次に、上述のように構成される６０リットル内袋複合容器１００の液出入口部１１２に装着可能であり、内装容器１１０内に収容されている薬液を容器外へ排出する薬液排出チューブについて、図９を参照して以下に説明する。

薬液排出チューブ１５０は、可撓性で耐薬液性の樹脂製であり、例えばテフロン（登録商標）から成形され、例えば直径８ｍｍ程度で、液出入口部１１２からの容器内での長さについて、地板１２２に接する内装容器１１０の底部１１１ｂに、先端に位置する吸液口１５１が接し、さらに吸液口１５１が当該６０リットル内袋複合容器１００における地板１２２の中央部にまで位置する程度の長さを有する。また、吸液口１５１は、本実施形態では図示するように、薬液排出チューブ１５０の軸方向に対して、薬液排出チューブ１５０の直径方向の全てにわたり斜めに交差した断面にてなる。尚、吸液口１５１は、薬液排出チューブ１５０の上記直径方向の一部分のみが、あるいは複数の箇所が斜めにカットされた断面にて形成してもよい。

さらに薬液排出チューブ１５０は、吸液口１５１近傍の先端部分１５２に、薬液排出用の容器内加圧に伴い容器外側へ地板１２２が膨れた、地板１２２の変形部分１２９へ、重力作用により吸液口１５１を配向させる錘１５３を有する。錘１５３は、容器内に収容される薬液と化学的に反応しない金属材料製であり、例えば方形状あるいは円形状の板材でその中央部に薬液排出チューブ１５０を嵌合可能な貫通穴が形成された部材、又は円筒状の部材にて形成されており、薬液排出チューブ１５０の弾力にて上記先端部分１５２に保持される。また、錘１５３の形状及び取付位置は、錘１５３を取り付けることで、錘１５３の厚み分、吸液口１５１が内装容器１１０の底部１１１ｂから離れる結果にならないように、適宜選択される。一例として本実施形態では、錘１５３は、円筒形状であり、内径部分に薬液排出チューブ１５０を挿通して、吸液口１５１の近傍に取り付けている。また、錘１５３の重さは、好ましくは５５〜６５ｇ程度であり、本実施形態では６０ｇである。

上記先端部分１５２とは反対側の薬液排出チューブ１５０の他端は、例えば図９に示すようなディスペンサー機構２００に接続される。ディスペンサー機構２００は、内装容器１１０内に収容されている薬液を容器外へ排出する機構であり、図９では、６０リットル内袋複合容器１００内に窒素ガス等の不活性ガスを注入して加圧することで薬液を押し出す加圧方式の構成を示している。薬液をポンプ等の吸引装置で吸い上げるポンプアップ方式を採ることもできる。

加圧方式のディスペンサー機構２００は、大きく分けて、円筒状のプラグ本体２０１と、加圧した不活性ガスを内装容器１１０内へ供給するガス供給装置２０２と、上述の薬液排出チューブ１５０とを有する。

プラグ本体２０１は、上述したキャップ１１５を外した後、液出入口部１１２に取り付けられる、例えば樹脂製のプラグであり、カップリングリング２０１ｒと、プラグシェル２０１ｓと、シールリング２０１２とで構成される。カップリングリング２０１ｒは、円筒形状の部材であり、一端が円形に開口しており、この開口の内周面には、液出入口部１１２に形成されたキャップ用ネジ１１２２に係合する雌めじ２０１１を形成している。よって、プラグ本体２０１のカップリングリング２０１ｒは、液出入口部１１２のキャップ用ネジ１１２２に螺合でき、また、カップリングリング２０１ｒの外周には、筋目ローレットが形成されており、プラグ本体２０１を液出入口部１１２に確実にねじ結合できる。

また、カップリングリング２０１ｒの他端も円形に開口しており、この開口には、カップリングリング２０１ｒに対して回転可能にプラグシェル２０１ｓが嵌め込まれる。即ち、プラグシェル２０１ｓは、フランジを形成した円板状の部材であり、カップリングリング２０１ｒの一端側の開口から挿入され上記フランジがカップリングリング２０１ｒに当接して、カップリングリング２０１ｒの上記他端の開口に嵌め込まれる。また、カップリングリング２０１ｒにシールリング２０１２を装着して、上述のようにカップリングリング２０１ｒを液出入口部１１２のキャップ用ネジ１１２２に螺合することで、シールリング２０１２は、液出入口部１１２の口部１１２ｂを密封し、かつ、プラグシェル２０１ｓの上記フランジは、シールリング２０１２とカップリングリング２０１ｒとの間に挟まれる。これにより、シールリング２０１２は、カップリングリング２０１ｒとプラグシェル２０１ｓとの境界の通気をも封止する。

上記プラグシェル２０１ｓには、薬液排出チューブ１５０の他端を着脱自在に固定する合成樹脂製の第１ジョイント２０３と、ガス供給装置２０２を接続するための第２ジョイント２０４とがねじ込まれる。

第１ジョイント２０３は、市販のストレートタイプのホルダを利用でき、プラグ本体２０１に対して薬液排出チューブ１５０をその軸方向に沿ってスライド可能に保持し、かつナットを締め込むことで固定することができる。よって、第１ジョイント２０３を用いて、薬液排出チューブ１５０の吸液口１５１が、上述のように、地板１２２の中央部にまで位置するように長さ及び位置調整が可能である。

第２ジョイント２０４は、プラグ本体２０１のカップリングリング２０１ｒにおける開口２０１３に接続するＬ字形（エルボ形）の合成樹脂製のジョイントであり、市販のエルボ形クイック継手を使用可能である。

ガス供給装置２０２に接続したホースを第２ジョイント２０４に接続することで、ガス供給装置２０２は、内装容器１１０の内部へ、加圧した不活性ガスを供給することができる。

以上のように構成されるディスペンサー機構２００を使用することで、ガス供給装置２０２によって内装容器１１０の内部が例えば約１００Ｋｐａから約１５０Ｋｐａ程度までの範囲に加圧され、内装容器１１０に収容されている薬液を、薬液排出チューブ１５０を通して容器外部へ押し出し、排出することが可能となる。

さらにまた、ディスペンサー機構２００を使用して薬液を容器外部へ排出するとき、６０リットル内袋複合容器１００を載置し傾斜させる、以下に説明するような傾斜台を用いることもできる。
即ち、図１０に示す傾斜台２５０は、本体２５１と、一対の転倒防止ポール２５２とを備える。本体２５１は、ステンレス板などの金属板から形成され、水平面となる床面に対して１０から１５度程度に傾斜した斜面２５１ａを形成している。斜面２５１ａには、６０リットル内袋複合容器１００の液出入口部１１２を斜面２５１ａの低い方に配向するようにして、６０リットル内袋複合容器１００が載置される。ここで、傾斜角度が１５度を超えると、液こぼれが発生する可能性が高くなり、好ましくない。
また、一対の転倒防止ポール２５２は、ステンレスなどの金属製丸棒からなり、斜面２５１ａの低い方に立設している。

上述のような傾斜台２５０を用いて、液出入口部１１２を低い方に配向して６０リットル内袋複合容器１００を傾斜させることで、薬液排出時に内装容器１１０内の薬液を液出入口部１１２側に集めることができ、上述の、錘１５３を設けた薬液排出チューブ１５０との相互作用により、残液量の低減を図ることができる。

本発明は、鋼製の外側容器内に樹脂製の内側容器を設けた、容量６０リットルの内袋複合容器、及び該６０リットル内袋複合容器用の薬液排出チューブに適用可能である。

１００…６０リットル内袋複合容器、
１１０…内装容器、１１１ａ…天面、１１２…液出入口部、１１２ｂ…口部、
１１３…ハンガー、１１５…キャップ、
１２０…外装容器、１２０ａ…収納部、１２１…胴体、１２２…地板、
１２３…天板、１２３ａ…口部用開口、１２３ｂ…窪み、
１５０…薬液排出チューブ、１５１…吸液口、１５３…錘、
１１２１…保持用ネジ、１１２２…キャップ用ネジ。

Claims (5)

1. 樹脂製であり、取り扱いに高清浄度が要求される薬液を収容し、その収容量が６０リットルであり、天面（１１１ａ）に液出入口部（１１２）を設けた内装容器（１１０）と、
   鋼製であり、筒状の胴体（１２１）に地板（１２２）が巻き締められて成形された収納部（１２０ａ）の内面に沿って上記内装容器を収納し、さらに上記液出入口部が突出可能な口部用開口（１２３ａ）を形成した天板（１２３）を上記胴体に巻き締めて成形される外装容器（１２０）と、
   を備えたことを特徴とする６０リットル内袋複合容器。
2. 上記内装容器の上記液出入口部は、該液出入口部の外周面に、当該液出入口部の軸方向（１１２ａ）に沿って保持用ネジ（１１２１）とキャップ用ネジ（１１２２）とを同心円状に２段にて有し、上記保持用ネジは、上記天面に近接して成形され、上記外装容器の上記口部用開口を通過する直径を有し、当該液出入口部を上記天板に保持するハンガー（１１３）を螺合するためのネジであり、上記キャップ用ネジは、上記天面より離れて成形され、上記保持用ネジよりも小径であり、上記液出入口部の口部（１１２ｂ）を閉止するキャップ（１１５）を螺合するためのネジである、請求項１記載の６０リットル内袋複合容器。
3. 上記天板は、上記口部用開口の周囲において、上記口部用開口から当該天板の中央を超えた領域（１２３ｃ）まで窪み（１２３ｂ）を形成した、請求項１又は２記載の６０リットル内袋複合容器。
4. 上記外装容器は、塗装を省略可能な電気亜鉛メッキ鋼板にて成形され、上記薬液は、半導体分野及び液晶分野の少なくとも一方にて使用される薬液であり、上記内装容器は、薬液用仕様による高密度ポリエチレン樹脂製であり高品質管理下にてブロー成形される、請求項１から３のいずれかに記載の６０リットル内袋複合容器。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の６０リットル内袋複合容器に備わる内装容器（１１０）における液出入口部（１１２）に装着可能であり、上記内装容器に収容した薬液（１０８）を容器外部へ排出する、上記６０リットル内袋複合容器用の薬液排出チューブ（１５０）であって、
   可撓性で耐薬液性の樹脂製であり、吸液口（１５１）近傍の先端部分（１５２）に、薬液排出用の容器内加圧に伴い上記６０リットル内袋複合容器の地板（１２２）に生じる変形部分（１２９）へ上記吸液口を配向させる錘（１５３）を有することを特徴とする薬液排出チューブ。

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