JP2012028421A - Laminate sheet for circuit board integrating heat sink with fin, circuit board integrating heat sink with fin and method of manufacturing laminate sheet for circuit board integrating heat sink with fin - Google Patents
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Abstract
【課題】 高い放熱性を有するフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板を提供する。
【解決手段】 高熱伝導性のフィラーと結晶性ポリマーとを含み、一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と、前記基材上に形成され、絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層と、前記絶縁層上に形成された金属層とを有し、前記フィン付きヒートシンクおよび基材中の高熱伝導性フィラーの含有率が15〜65vol%であり、前記絶縁層中の熱伝導性フィラーの含有率が15〜65vol%であることを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板。
【選択図】 図3PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a finned heat sink integrated circuit board laminate having high heat dissipation.
SOLUTION: A finned heat sink and a base material, each including a highly heat conductive filler and a crystalline polymer, and an insulating heat conductive filler and a crystalline polymer formed on the base material. And a metal layer formed on the insulating layer, the finned heat sink and the content of the high thermal conductive filler in the base material are 15 to 65 vol%, and the heat in the insulating layer A laminate for a finned heat sink integrated circuit board, wherein the conductive filler content is 15 to 65 vol%.
[Selection] Figure 3
Description
本発明は、フィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板、フィン付きヒートシンク一体回路基板およびフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法に関する。 The present invention relates to a laminate for finned heat sink integrated circuit board, a finned heat sink integrated circuit board, and a finned heat sink integrated circuit board laminate.
ヒートシンクを取り付けた基板の製造方法としては、基板とヒートシンクを別々に作製し、接着剤を用いて固定する方法や直接ボルトで固定する方法、または放熱シートや放熱ゲルを間に挟んで固定する方法などがよく知られている。 As a method of manufacturing a substrate with a heat sink attached, a method in which the substrate and the heat sink are separately manufactured and fixed using an adhesive, a method in which the substrate is directly fixed with bolts, or a method in which a heat radiating sheet or a heat radiating gel is sandwiched between the methods. Are well known.
特許文献1は、プリント配線板とヒートシンクの間にプリプレグを挟んで熱圧着するプリント配線板へのヒートシンク接着工法を開示している。特許文献2は、印刷回路基板をヒートシンクに接着するために、感圧接着剤層と熱硬化性接着剤とを含む接着剤複合材料を用いる方法を開示している。
これらの方法は、基板とヒートシンクを個別に生産するため、多種類・多数の装置が必要であり、しかも両者を固定する工程を別途設けなければならないなど生産性が悪い。基板とヒートシンクを固定する方法としては、良い密着状態とし熱を効率よく伝えるために放熱シートや放熱ゲルを間に挟んだり、放熱接着剤で接着したりすることが知られている。しかし、このような方法は、複雑な工程とそれを実施するための設備が必要であるばかりか、それぞれの接触面に空気層が入りやすく均一な熱伝導性を得られにくいという問題があった。 In these methods, since the substrate and the heat sink are individually produced, many types and many devices are required, and a process for fixing both of them must be provided separately, resulting in poor productivity. As a method for fixing the substrate and the heat sink, it is known to sandwich a heat radiating sheet or a heat radiating gel between them or to adhere them with a heat radiating adhesive in order to achieve a good contact state and efficiently transfer heat. However, such a method has a problem that not only a complicated process and equipment for performing it are necessary, but also that an air layer easily enters each contact surface and it is difficult to obtain uniform thermal conductivity. .
特許文献3、4は、フィン付きヒートシンクを開示している。特許文献3は、2つの列のフィンを備えたアルミ押出形材製ヒートシンクを開示している。特許文献4は、コンフォーム押出法を用いた銅製一体型ヒートシンクの製造方法を開示している。
特許文献5は、樹脂中に炭素材料とセラミックス粉末および/または軟磁性粉末を均一に分散させた樹脂製ヒートシンクを開示している。特許文献6は、樹脂ホスト材料中に導電性粉体や導電性ファイバ等を均一に分散させたヒートシンク材料を開示している。 Patent Document 5 discloses a resin heat sink in which a carbon material and ceramic powder and / or soft magnetic powder are uniformly dispersed in a resin. Patent Document 6 discloses a heat sink material in which conductive powder, conductive fiber, and the like are uniformly dispersed in a resin host material.
しかし、基板の放熱を目的とする場合には、上で説明したような方法を用いて基板をヒートシンクに固定する必要があり、上記と同様の問題があった。 However, when the purpose is to radiate heat from the substrate, it is necessary to fix the substrate to the heat sink using the method described above, and there is a problem similar to the above.
従来のヒートシンクを有する回路基板は比較的高い放熱性を示すが、回路基板とヒートシンクとの間に空気層が入ると均一な熱伝導性が得られにくいという問題があり、放熱性の点で改善の余地があった。 A circuit board with a conventional heat sink exhibits relatively high heat dissipation, but there is a problem that uniform thermal conductivity is difficult to obtain if an air layer enters between the circuit board and the heat sink, which improves heat dissipation. There was room for.
また、従来のヒートシンクを有する回路基板の製造方法は、基板とヒートシンクを別々に作製した後、両者を密着させて固定するので、生産性が悪かった。さらに、基板とフィン付きヒートシンクとの一体成形体に回路形成用の金属箔を接着する方法が試みられてきたが、フィンが形成されているため金属箔を加圧して強固に密着させることが困難であり、しかも加熱を個別に行わなければならず効率が悪かった。すなわち、従来の製造方法は生産性が悪かったため、フィン付きヒートシンク一体回路基板を安価に大量生産できる方法が強く望まれていた。 Further, the conventional method of manufacturing a circuit board having a heat sink has poor productivity because the board and the heat sink are separately manufactured and then both are brought into close contact with each other and fixed. Furthermore, a method of bonding a metal foil for circuit formation to an integrally molded body of a substrate and a heat sink with fins has been tried. However, since fins are formed, it is difficult to press and firmly adhere the metal foil. In addition, the heating had to be performed individually and the efficiency was poor. That is, since the conventional manufacturing method has poor productivity, a method capable of mass-producing the finned heat sink integrated circuit board at low cost has been strongly desired.
本発明の目的は、高い放熱性を有するフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板、およびこのようなフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板を極めて高い生産性で製造しうる方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a finned heat sink integrated circuit board laminate having a high heat dissipation property and a method capable of manufacturing such a finned heat sink integrated circuit board laminate with extremely high productivity. .
本発明の一態様によれば、高熱伝導性のフィラーと結晶性ポリマーとを含み、一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と、前記基材上に形成され、絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層と、前記絶縁層上に形成された金属層とを有し、前記フィン付きヒートシンクおよび基材中の高熱伝導性フィラーの含有率が15〜65vol%であり、前記絶縁層中の熱伝導性フィラーの含有率が15〜65vol%であることを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板が提供される。 According to one aspect of the present invention, a finned heat sink and a base material, which are integrally formed, including a highly heat conductive filler and a crystalline polymer, and an insulating heat conductive filler formed on the base material, An insulating layer containing a crystalline polymer; and a metal layer formed on the insulating layer, wherein the finned heat sink and the content of the high thermal conductive filler in the substrate are 15 to 65 vol%, A laminated board for a heat sink integrated circuit board with fins is provided, wherein the content of the heat conductive filler in the insulating layer is 15 to 65 vol%.
本発明の他の態様によれば、高熱伝導性のフィラー15〜65vol%と結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物と、絶縁性の熱伝導性フィラー15〜65vol%と結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物とを多層押出成形して、一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と絶縁層とを含む成形体を形成し、前記成形体の絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積することを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法が提供される。 According to another aspect of the present invention, a finned heat sink and substrate composition comprising 15 to 65 vol% high thermal conductivity filler and crystalline polymer, and 15 to 65 vol% insulating thermal conductive filler, A composition for an insulating layer containing a crystalline polymer is subjected to multilayer extrusion molding to form a molded body including an integrally formed finned heat sink and a base material and an insulating layer, on the insulating layer of the molded body There is provided a method of manufacturing a laminated board for a finned heat sink integrated circuit board, characterized by laminating a metal foil or depositing a metal layer.
本発明の別の態様によれば、高熱伝導性のフィラー15〜65vol%と結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物を多層押出成形して一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材を形成し、絶縁性の熱伝導性フィラー15〜65vol%と結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物を単層押出成形して絶縁層を形成し、前記一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と前記絶縁層とをラミネートして成形体を形成し、前記成形体の絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積することを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法が提供される。 According to another aspect of the present invention, a finned heat sink comprising 15 to 65 vol% of a high thermal conductive filler and a crystalline polymer, and a finned heat sink integrally formed by multilayer extrusion of a composition for a substrate, and A base material is formed, and an insulating layer is formed by extruding a composition for an insulating layer containing 15 to 65 vol% of an insulating heat conductive filler and a crystalline polymer, and the integrally formed fin is attached. A finned heat sink integrated circuit board characterized in that a heat sink, a base material, and the insulating layer are laminated to form a molded body, and a metal foil is laminated or a metal layer is deposited on the insulating layer of the molded body. A method for manufacturing a laminated board is provided.
本発明のさらに他の態様によれば、高熱伝導性のフィラー15〜65vol%と結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物を多層押出成形して一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材を形成し、絶縁性の熱伝導性フィラー15〜65vol%と結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物を単層押出成形して絶縁層を形成し、前記絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積し、前記一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と前記絶縁層および金属箔または金属層の積層体とをラミネートすることを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法が提供される。 According to still another aspect of the present invention, a finned heat sink comprising 15 to 65 vol% of a high thermal conductive filler and a crystalline polymer, and a finned heat sink integrally formed by multilayer extrusion of a composition for a substrate. And forming a base material, and forming an insulating layer by extruding a composition for an insulating layer containing 15 to 65 vol% of an insulating thermally conductive filler and a crystalline polymer, and forming a metal on the insulating layer. A finned heat sink integrated circuit comprising laminating a foil or depositing a metal layer, and laminating the integrally formed finned heat sink and substrate and the insulating layer and a laminate of the metal foil or metal layer. A method for manufacturing a laminate for a substrate is provided.
本発明によれば、高い放熱性を有するフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板、およびこのようなフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板を極めて高い生産性で製造しうる方法を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a finned heat sink integrated circuit board laminate having high heat dissipation and a method capable of manufacturing such a finned heat sink integrated circuit board laminate with extremely high productivity.
以下、本発明の実施形態に係るフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板およびその製造方法をより詳細に説明する。 Hereinafter, the laminated board for heat sink integrated circuit boards with a fin which concerns on embodiment of this invention, and its manufacturing method are demonstrated in detail.
本発明において、フィン付きヒートシンクおよび基材ならびに絶縁層には結晶性ポリマーが用いられる。結晶性ポリマーは、非結晶性ポリマーに比べ熱伝導率が大きいことが知られている。結晶性ポリマーとしては、たとえばポリアミド(PA)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリアセタール(POM)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、液晶ポリマー(LCP)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、ポリアミドイミド(PAI)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)などが挙げられる。 In the present invention, a crystalline polymer is used for the finned heat sink, the base material, and the insulating layer. It is known that a crystalline polymer has a higher thermal conductivity than an amorphous polymer. Examples of the crystalline polymer include polyamide (PA), polybutylene terephthalate (PBT), polyethylene terephthalate (PET), polyacetal (POM), polyether ether ketone (PEEK), liquid crystal polymer (LCP), polyethylene naphthalate (PEN). , Polyphenylene sulfide (PPS), polyamideimide (PAI), polyethylene (PE), polypropylene (PP) and the like.
本発明において、フィン付きヒートシンクおよび基材は高い熱伝導性を有することが重要であり、電気的な特性は特に要求されない。結晶性ポリマーに高熱伝導性のフィラーを充填することにより得られるコンポジットは高い放熱性を示す。フィン付きヒートシンクおよび基材に用いる高熱伝導性のフィラーは、熱伝導率が200W/m・k以上である、炭素短繊維、カーボンナノチューブおよび金属粉粒体からなる群より選択することが好ましい。炭素短繊維とは、繊維平均長が12mm以下のものをいう。繊維長が12mmを超えると、押出成形が困難になり量産性がなくなる。金属粉粒体としては、たとえば銅、銀、金、アルミニウムなど熱伝導率の高い金属の粉粒体が挙げられる。 In the present invention, it is important that the finned heat sink and the substrate have high thermal conductivity, and electrical characteristics are not particularly required. A composite obtained by filling a crystalline polymer with a highly thermally conductive filler exhibits high heat dissipation. The highly heat-conductive filler used for the finned heat sink and the substrate is preferably selected from the group consisting of short carbon fibers, carbon nanotubes, and metal particles having a thermal conductivity of 200 W / m · k or more. The carbon short fiber means one having an average fiber length of 12 mm or less. When the fiber length exceeds 12 mm, extrusion molding becomes difficult and mass productivity is lost. Examples of the metal particles include metal particles having high thermal conductivity such as copper, silver, gold, and aluminum.
本発明において、フィン付きヒートシンクと基材とで、結晶性ポリマーおよび高熱伝導性フィラーが同じ材料でもよいし、結晶性ポリマーおよび高熱伝導性フィラーのうち少なくともいずれか一方が異なる材料でもよい。 In the present invention, the finned heat sink and the substrate may be made of the same material for the crystalline polymer and the high thermal conductive filler, or may be a material in which at least one of the crystalline polymer and the high thermal conductive filler is different.
本発明において、絶縁層は、その上に形成される金属層をパターニングして回路を形成するため、絶縁性を有することが要求されるとともに、熱伝導性が高いことが望ましい。絶縁層に含まれる絶縁性の熱伝導性フィラーは、熱伝導率が20W/m・k以上である、金属酸化物の粉粒体および金属窒化物の粉粒体からなる群より選択することが好ましい。金属酸化物としては、たとえばAl2O3、ZrO2、MgOが挙げられる。金属窒化物としては、たとえばAlN、BN、Si3N4が挙げられる。 In the present invention, since the insulating layer forms a circuit by patterning a metal layer formed thereon, the insulating layer is required to have insulating properties and desirably has high thermal conductivity. The insulating thermally conductive filler contained in the insulating layer may be selected from the group consisting of metal oxide particles and metal nitride particles having a thermal conductivity of 20 W / m · k or more. preferable. Examples of the metal oxide include Al 2 O 3 , ZrO 2 , and MgO. Examples of the metal nitride include AlN, BN, and Si 3 N 4 .
本発明において、フィン付きヒートシンクおよび基材中の高熱伝導性フィラーの含有率は15〜65vol%であり、絶縁層中の熱伝導性フィラーの含有率は15〜65vol%である。フィラーの含有率は、押出成形が可能な流動性とフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の放熱性とを考慮して設定されている。すなわち、フィン付きヒートシンクおよび基材中の高熱伝導性フィラーの含有率ならびに絶縁層中の熱伝導性フィラーの含有率が15vol%未満である場合には、得られるフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の放熱性は低くなるので望ましくない。一方、フィン付きヒートシンクおよび基材中の高熱伝導性フィラーの含有率および絶縁層中の熱伝導性フィラーの含有率が65vol%を超える場合には、連続的な押出成形が困難になり量産性が得られなくなる。 In this invention, the content rate of the highly heat conductive filler in a finned heat sink and a base material is 15-65 vol%, and the content rate of the heat conductive filler in an insulating layer is 15-65 vol%. The content of the filler is set in consideration of the fluidity capable of extrusion molding and the heat dissipation of the finned heat sink integrated circuit board laminate. That is, when the content of the high heat conductive filler in the finned heat sink and the base material and the content of the heat conductive filler in the insulating layer are less than 15 vol%, the obtained laminated plate for finned heat sink integrated circuit board This is not desirable because the heat dissipation is reduced. On the other hand, when the content of the heat conductive filler in the finned heat sink and the base material and the content of the heat conductive filler in the insulating layer exceeds 65 vol%, continuous extrusion is difficult and mass productivity is reduced. It can no longer be obtained.
本発明において、フィン付きヒートシンクおよび基材中のフィラーとして、絶縁層中のフィラーよりも熱伝導性が高いものを用いる理由は、回路形成用の金属層の反対側に位置するフィン付きヒートシンクおよび基材の放熱性をより高めるためである。フィン付きヒートシンクおよび基材に充填するフィラーとして、絶縁層に充填する絶縁性の熱伝導性フィラーである金属酸化物や金属窒化物の粉粒体を用いた場合、フィン付きヒートシンクおよび基材の熱伝導性が低くなるので望ましくない。一方、絶縁層に充填するフィラーとして、フィン付きヒートシンクおよび基材に充填する炭素短繊維、カーボンナノチューブまたは金属粉粒体を用いた場合、熱伝導性には優れるが、絶縁性に劣るのでフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板として使用することができなくなる。フィン付きヒートシンクおよび基材と絶縁層とで同じフィラーを用いようとすると、絶縁性が要求され、絶縁性の熱伝導フィラーを使用せざるを得ず、フィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板全体の熱伝導性が低くなるので望ましくない。 In the present invention, the reason for using a finned heat sink and a filler in the substrate that is higher in thermal conductivity than the filler in the insulating layer is that the finned heat sink and the base located on the opposite side of the metal layer for circuit formation are used. This is to further improve the heat dissipation of the material. When using heat sinks with fins and fillers filled with metal oxide or metal nitride, which are insulating heat conductive fillers filling the insulation layer, heat of finned heat sinks and substrates This is not desirable because of low conductivity. On the other hand, if a heat sink with fins and short carbon fibers, carbon nanotubes, or metal particles filled in the base material are used as fillers to fill the insulating layer, the thermal conductivity is excellent, but the insulating properties are poor, so fins are attached. It becomes impossible to use as a laminated board for heat sink integrated circuit boards. If the same filler is used for the finned heat sink and the base material and the insulating layer, insulation is required, and an insulating heat conductive filler must be used. This is not desirable because the thermal conductivity is low.
本発明において、基材と絶縁層とで同じ種類の結晶性ポリマーを用いると、基材と絶縁層とが強固に密着して剥離することがないので望ましい。一方、基材と絶縁層とで異なる種類の結晶性ポリマーを用いると、結晶性ポリマーの相溶性が悪い場合や結晶化温度が異なり成形時の温度変化で基材と絶縁層との間に大きな歪が発生する場合などに剥離を起こす可能性がある。 In the present invention, it is desirable to use the same kind of crystalline polymer for the base material and the insulating layer because the base material and the insulating layer are not firmly adhered and peeled off. On the other hand, if different types of crystalline polymer are used for the base material and the insulating layer, the compatibility between the crystalline polymer is poor or the crystallization temperature is different and the temperature change during molding causes a large gap between the base material and the insulating layer. There is a possibility that peeling occurs when distortion occurs.
本発明において、絶縁層が厚いほど一般的には絶縁性が大きくなるが、絶縁層は基材に比べ熱伝導性が低いため絶縁層が厚すぎると回路基板用積層板全体の放熱性が低くなる。そこで、放熱性が高い回路基板用積層板を得るには、要求に応じた絶縁性を確保できる範囲で、絶縁層をできるだけ薄くすることが望ましい。 In the present invention, the thicker the insulating layer, the greater the insulation generally. However, since the insulating layer has a lower thermal conductivity than the base material, if the insulating layer is too thick, the overall heat dissipation of the circuit board laminate will be low. Become. Therefore, in order to obtain a laminated board for a circuit board having high heat dissipation, it is desirable to make the insulating layer as thin as possible within a range that can ensure the insulation according to the demand.
本発明において、フィン付きヒートシンクおよび基材の一体成形体と絶縁層と金属層とを有するフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板を製造するには、次の(1)〜(3)の方法が用いられる。 In the present invention, the following methods (1) to (3) are used to manufacture a finned heat sink integrated circuit board laminate having a heat sink with fins and an integrally molded body of a base material, an insulating layer, and a metal layer. Used.
(1)高熱伝導性のフィラーと結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物と、絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物とを多層押出成形して、一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と絶縁層とを含む成形体を形成し、前記成形体の絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積する方法。 (1) Multi-layered composition for finned heat sink and substrate containing high thermal conductive filler and crystalline polymer, and composition for insulating layer containing insulating thermal conductive filler and crystalline polymer A method of forming a molded body including an integrally formed finned heat sink and a base material and an insulating layer by extrusion molding, and laminating a metal foil or depositing a metal layer on the insulating layer of the molded body.
(2)高熱伝導性のフィラーと結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物を多層押出成形して一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材を形成し、絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物を単層押出成形して絶縁層を形成し、前記一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と前記絶縁層とをラミネートして成形体を形成し、前記成形体の絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積する方法。 (2) A finned heat sink including a highly heat conductive filler and a crystalline polymer and a composition for a substrate are multilayer extruded to form an integrally formed finned heat sink and substrate, and insulating heat conduction A composition for an insulating layer containing a conductive filler and a crystalline polymer is formed by single-layer extrusion molding to form an insulating layer, and the integrally formed finned heat sink and substrate and the insulating layer are laminated to form a molded body And laminating a metal foil or depositing a metal layer on the insulating layer of the molded body.
(3)高熱伝導性のフィラーと結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物を多層押出成形して一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材を形成し、絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物を単層押出成形して絶縁層を形成し、前記絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積し、前記一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と前記絶縁層および金属箔または金属層の積層体とを、前記基材と前記絶縁層とが接するようにラミネートする方法。 (3) A finned heat sink containing a highly heat conductive filler and a crystalline polymer and a composition for a base material are multilayer-extruded to form a finned heat sink and a base material which are integrally formed, and insulating heat conduction A composition for an insulating layer containing a conductive filler and a crystalline polymer is formed by single-layer extrusion molding to form an insulating layer, and a metal foil is laminated on the insulating layer or a metal layer is deposited, and the integral molding is performed. A method of laminating a finned heat sink and a base material with the insulating layer and a laminate of metal foil or metal layer so that the base material and the insulating layer are in contact with each other.
これらのいずれの方法においても、一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材を成形する際に、前記フィン付きヒートシンクのフィン間の隙間に無機粉粒体を含む水溶性ポリマーまたは有機溶剤可溶ポリマーで充填し、フィン付きヒートシンクと基材と絶縁層と金属層を積層した後に、前記水溶性ポリマーを水で溶解するか、または有機溶剤可溶ポリマーを有機溶剤で溶解する。 In any of these methods, when molding the finned heat sink and the base material, the water-soluble polymer or organic solvent-soluble polymer containing inorganic particles in the gaps between the fins of the finned heat sink is used. After filling and laminating the finned heat sink, the substrate, the insulating layer, and the metal layer, the water-soluble polymer is dissolved with water, or the organic solvent-soluble polymer is dissolved with an organic solvent.
本発明において、水溶性ポリマーとしては、たとえばポリアクリル酸ナトリウムおよびその共重合体、ヒドロキシセルロースが挙げられる。有機溶媒可溶ポリマーとしては、たとえばポリアセタール樹脂、ポリエチレンオキサイド、非晶性ポリエステル樹脂が挙げられる。無機粉粒体としては、一般に充填材として知られているタルク、炭酸カルシウムなどが挙げられる。 In the present invention, examples of the water-soluble polymer include sodium polyacrylate, a copolymer thereof, and hydroxycellulose. Examples of the organic solvent-soluble polymer include polyacetal resin, polyethylene oxide, and amorphous polyester resin. Examples of inorganic particles include talc and calcium carbonate, which are generally known as fillers.
本発明の方法では、一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材ならびに絶縁層を押出成形により連続的に成形でき、絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積することにより金属層も連続的に形成できるので、放熱性の高いフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板を安価に大量に生産することができる。 In the method of the present invention, the integrally formed finned heat sink and substrate and the insulating layer can be continuously formed by extrusion, and the metal layer is also laminated by laminating a metal foil or depositing a metal layer on the insulating layer. Since it can be formed continuously, a laminated board for a heat sink integrated circuit board with fins having high heat dissipation can be produced in large quantities at a low cost.
本発明において、高熱伝導性のフィラーと結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物、ならびに絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物は、予めニーダーや二軸混練機などで混練し、ペレットなどの形状に加工した後に、押出機へ供給してもよい。あるいは、定量可能なフィーダーと二軸混練押出機を用い、フィラーと結晶性ポリマーとを所定の配合比になるように押出機に供給してもよい。 In the present invention, a finned heat sink and a composition for a substrate containing a highly heat conductive filler and a crystalline polymer, and a composition for an insulating layer containing an insulating heat conductive filler and a crystalline polymer, After kneading in advance with a kneader or a twin-screw kneader and processing into a shape such as pellets, it may be supplied to the extruder. Or you may supply a filler and a crystalline polymer to an extruder so that it may become a predetermined | prescribed compounding ratio using the feeder and biaxial kneading extruder which can be fixed_quantity | quantitatively.
図1を参照して、本発明に係る回路基板用積層板の製造方法の一例を説明する。図1において、高熱伝導性のフィラーと結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物と、絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物と、フィン充填用のポリマーとを、多層押出用ダイス21aに接続した別々の押出機へ供給し、ダイスから多層押出成形して、基材と一体成形されたフィン付きヒートシンク12と絶縁層13とを含む成形体を形成する。この例では、フィン付きヒートシンク用および基材用に同じ組成物を用いているので、フィン付きヒートシンク12と基材とを区別せず、基材には符号を付していない。また、このとき、フィン付きヒートシンク12のフィン間の隙間には水溶性または有機溶剤可溶のフィン充填用のポリマーが充填されている。一方、送出しロール22から金属箔を送り出す。加熱ロール(ラミネート用ロール)23、24の間に成形体を供給するとともに、成形体の絶縁層12上に金属箔を供給してラミネートすることによって金属層15を形成する。
With reference to FIG. 1, an example of the manufacturing method of the laminated board for circuit boards which concerns on this invention is demonstrated. In FIG. 1, a composition for a finned heat sink and substrate containing a highly heat conductive filler and a crystalline polymer, a composition for an insulating layer containing an insulating heat conductive filler and a crystalline polymer, The fin filling polymer is supplied to separate extruders connected to the multi-layer extrusion die 21a, and is subjected to multi-layer extrusion from the die to include a
図2は、図1の要部Xを拡大して示す断面図である。図2に示すように、基材と一体成形されたフィン付きヒートシンク12のフィン12aの間には、水溶性または有機溶剤可溶のフィン充填用のポリマー14が充填されている。また、基材と一体成形されたフィン付きヒートシンク12のフィン12aと反対側(基材側)の表面に、絶縁層13および金属層15が形成されている。
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a main part X of FIG. As shown in FIG. 2, a water-soluble or organic solvent-soluble fin-filling
図3は、図2からフィン充填用のポリマー14を除去することによって作製されたフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板10の断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the finned heat sink integrated circuit board laminate 10 produced by removing the fin-filling
図4を参照して、本発明に係る回路基板用積層板の製造方法の他の例を説明する。図4において、高熱伝導性のフィラーと結晶性ポリマーとを含むフィン付きヒートシンクおよび基材用の組成物と、絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物と、フィン充填用のポリマーとを、多層押出用ダイス21bに接続した別々の押出機へ供給し、ダイスから多層押出成形して、基材11と一体成形されたフィン付きヒートシンク12と絶縁層13とを含む成形体を形成する。この例では、フィン付きヒートシンク用および基材用に異なる組成物を用いている。また、このとき、フィン付きヒートシンク12のフィン間の隙間には水溶性または有機溶剤可溶のフィン充填用のポリマー14が充填されている。成形体の絶縁層13上に、蒸着装置25から金属層15を堆積する。
With reference to FIG. 4, the other example of the manufacturing method of the laminated board for circuit boards which concerns on this invention is demonstrated. In FIG. 4, a composition for a finned heat sink and substrate including a high thermal conductive filler and a crystalline polymer, an insulating layer composition including an insulating thermal conductive filler and a crystalline polymer, The fin filling polymer is supplied to separate extruders connected to the
図5は、図4の要部Xを拡大して示す断面図である。図4に示すように、基材11と一体成形されたフィン付きヒートシンク12のフィン12aの間には、水溶性または有機溶剤可溶のフィン充填用のポリマー14が充填されている。また、フィン付きヒートシンク12と一体成形された基材11の表面に、絶縁層13および金属層15が形成されている。
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the main part X of FIG. As shown in FIG. 4, a water-soluble or organic solvent-soluble fin-filling
図6は、図5からフィン充填用のポリマー14を除去することによって作製されたフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板10の断面図である。
6 is a cross-sectional view of the finned heat sink integrated circuit board laminate 10 produced by removing the fin-filling
本発明においては、回路基板用積層板の金属層をパターニングすることによって回路基板が得られる。 In the present invention, the circuit board is obtained by patterning the metal layer of the circuit board laminate.
次に、本発明の具体的な実施例について説明する。 Next, specific examples of the present invention will be described.
(実施例1)
本実施例に係るフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法を説明する。
Example 1
The manufacturing method of the laminated board for heat sink integrated circuit boards with a fin concerning a present Example is demonstrated.
フィン付きヒートシンクおよび基材の原料に、高熱伝導性のフィラーとして銅粉末(高純度化学(株)製、商品名:CuE13PB)、および結晶性ポリマーとしてPPS(東レ(株)製、商品名:トレリナA900)を用意した。銅粉末が65vol%、PPSが35vol%の配合比になるように定量フィーダーで供給した後、二軸押出機でペレットを成形した。 As a heat sink with fins and a base material, copper powder (trade name: CuE13PB) manufactured as high thermal conductivity filler and PPS (trade name: Toray Industries, Inc., trade name: Torelina) as a crystalline polymer A900) was prepared. After supplying with a fixed quantity feeder so that copper powder might be 65 vol% and PPS might be the mixing ratio of 35 vol%, the pellet was shape | molded with the twin-screw extruder.
絶縁層の原料に、絶縁性の熱伝導性フィラーとしてAl2O3(昭和電工(株)製、商品名:AS−40)、および結晶性ポリマーとしてPPS(同上)を用意した。Al2O3が65vol%、PPSが35vol%の配合比になるように定量フィーダーで供給し、二軸押出機で押出成形してペレットを作製した。 As the insulating layer raw material, Al 2 O 3 (manufactured by Showa Denko KK, trade name: AS-40) as an insulating heat conductive filler and PPS (same as above) as a crystalline polymer were prepared. Pellets were prepared by feeding with a quantitative feeder such that the mixing ratio of Al 2 O 3 was 65 vol% and PPS was 35 vol%, and extrusion was performed with a twin screw extruder.
フィン付きヒートシンクのフィンの隙間に充填されるポリマーとして、タルクを40vol%混練した水溶性ポリマー((株)クラレ製、商品名:エクセバール)を用意した。 A water-soluble polymer (trade name: EXEVAL, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) in which 40 vol% of talc was kneaded was prepared as a polymer filled in the gaps between the fins of the heat sink with fins.
フィン付きヒートシンクおよび基材用のペレットを多層押出用ダイス21aに接続した第1の押出機へ供給し、絶縁層用のペレットを多層押出用ダイス21aに接続した第2の押出機へ、フィン充填用のポリマーを多層押出用ダイス21aに接続した第3の押出機へ供給した。フィン付きヒートシンク一体基材の成形、絶縁層の積層、およびフィン間の隙間へのポリマーの充填が可能なダイス21aを通して、基材と一体成形されたフィン付きヒートシンク12のフィンと反対側(基材側)に絶縁層13を積層し、フィン付きヒートシンク12のフィンの隙間にポリマー14を充填した板状の成形体を連続的に押出した。次に、成形体の絶縁層13上に、結晶性ポリマーの融点±20℃の範囲に加熱した銅箔をラミネートして金属層15を形成し、成形体を得た。
The finned heat sink and substrate pellets are supplied to the first extruder connected to the multi-layer extrusion die 21a, and the insulating layer pellets are supplied to the second extruder connected to the multi-layer extrusion die 21a to fill the fins. The polymer for was fed to a third extruder connected to the multilayer extrusion die 21a. Through a
次いで、この成形体から水溶性のポリマー14を水スプレーで溶かし流すことにより、フィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板10を得た。
Next, the water-
(実施例2)
本実施例2に係るフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法を説明する。
(Example 2)
The manufacturing method of the laminated board for heat sink integrated circuit boards with a fin concerning this Example 2 is demonstrated.
フィン付きヒートシンクの原料に、高熱伝導性のフィラーとしてアルミニウム粉末(高純度化学(株)製、商品名:ALE16PB)、および結晶性ポリマーとしてPET(ユニチカ(株)製、SA−1346P)を用意した。アルミニウム粉末が40vol%、PETが60vol%の配合比になるように定量フィーダーで供給した後、二軸押出機でペレットを成形した。 As a raw material for the heat sink with fins, aluminum powder (manufactured by High Purity Chemical Co., Ltd., trade name: ALE16PB) was prepared as a highly heat conductive filler, and PET (manufactured by Unitika Ltd., SA-1346P) was prepared as a crystalline polymer. . After feeding with a quantitative feeder so that the aluminum powder was 40 vol% and PET was 60 vol%, pellets were formed with a twin screw extruder.
基材の原料に、高熱伝導性のフィラーとして銅粉末(高純度化学(株)製、商品名:CuE13PB)、結晶性ポリマーとしてPET(ユニチカ(株)製、SA−1346P)を用意した。銅粉末が50vol%と、PETが50vol%の配合比になるように定量フィーダーで供給した後、二軸押出機でペレットを成形した。 Copper powder (trade name: CuE13PB, manufactured by High Purity Chemical Co., Ltd.) and PET (Unitika Co., Ltd., SA-1346P) as a crystalline polymer were prepared as raw materials for the base material as high thermal conductive fillers. After supplying with a fixed amount feeder so that a copper powder might be 50 vol% and PET might be a mixing ratio of 50 vol%, the pellet was shape | molded with the twin-screw extruder.
絶縁層の原料に、絶縁性の熱伝導性フィラーとしてAlN(東洋アルミニウム(株)製、商品名:FLZ−1)、結晶性ポリマーとしてPET(ユニチカ(株)製、商品名:SA−1206)を用意した。AlNが50vol%、PETが50vol%の配合比になるように定量フィーダーで供給した後、二軸押出機でペレットを成形した。 As the insulating layer material, AlN (manufactured by Toyo Aluminum Co., Ltd., trade name: FLZ-1) as an insulating thermal conductive filler, PET (manufactured by Unitika Ltd., trade name: SA-1206) as a crystalline polymer Prepared. After feeding with a quantitative feeder so that the blending ratio of AlN was 50 vol% and PET was 50 vol%, pellets were molded with a twin screw extruder.
フィン付きヒートシンクのフィンの隙間に充填されるポリマーとして、タルクを40vol%混練した有機溶剤に可溶なポリアセタール樹脂(積水化学工業(株)製、商品名:エスレックB)を用意した。 A polyacetal resin soluble in an organic solvent in which 40% by volume of talc was kneaded (trade name: S-LEC B, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) was prepared as a polymer filled in the gaps between the fins of the finned heat sink.
フィン付きヒートシンク用のペレットを多層押出用ダイス21bに接続した第1の押出機へ、基材用のペレットを多層押出用ダイス21bに接続した第2の押出機へ、絶縁層用のペレットを多層押出用ダイス21bに接続した第3の押出機へ、フィン充填用のポリマーを多層押出機21の第4の押出機へ供給した。フィン付きヒートシンク一体基材の成形、絶縁層の積層、およびフィン間の隙間へのポリマーの充填が可能なダイス21bを通して、基材11とフィン付きヒートシンク12を一体成形し、基材11上に絶縁層13を積層し、フィン付きヒートシンク12のフィンの隙間にポリマー14を充填した板状の成形体を連続的に押出した。次に、成形体の絶縁層13上に、結晶性ポリマーの融点±20℃の範囲に加熱した銅箔をラミネートして金属層15を形成し、成形体を得た。
Insulating pellets for insulation layers are fed to the first extruder connected to the
次いで、この成形体から有機溶剤可溶なポリマー14を有機溶剤スプレーで溶かし流すことにより、フィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板10を得た。
Subsequently, the laminate 10 for a heat sink integrated circuit board with fins was obtained by dissolving and flowing the organic solvent-
(実施例3)
本実施例に係るフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法を説明する。
(Example 3)
The manufacturing method of the laminated board for heat sink integrated circuit boards with a fin concerning a present Example is demonstrated.
フィン付きヒートシンクおよび基材の原料に、高熱伝導性のフィラーとして炭素繊維(帝人(株)製、商品名:ラヒーマR−A201)、および結晶性ポリマーとしてPEN(帝人化成(株)製、商品名:テオネックスTN8065S)を用意した。炭素繊維が15vol%、PENが85vol%の配合比になるように定量フィーダーを用いて多層押出用ダイス21aに接続した第1の押出機へ供給した。 For finned heat sink and base material, carbon fiber (made by Teijin Ltd., trade name: Lahima R-A201) as a high thermal conductive filler, and PEN (made by Teijin Chemicals Ltd., trade name) as a crystalline polymer : Teonex TN8065S). It supplied to the 1st extruder connected to the die | dye 21a for multilayer extrusion using the fixed feeder so that it might become a compounding ratio of 15 vol% of carbon fibers, and PEN 85 vol%.
絶縁層の原料に、絶縁性の熱伝導性フィラーとしてBN(水島合金鉄(株)製、商品名:HP−40P)、結晶性ポリマーとしてPEN(帝人化成(株)製、商品名:テオネックスTN8065S)を用意した。BNが40vol%、PENが60vol%の配合比になるように、定量フィーダー用いて多層押出用ダイス21aに接続した第2の押出機へ供給した。 BN (made by Mizushima Alloy Iron Co., Ltd., trade name: HP-40P) as an insulating heat conductive filler, and PEN (made by Teijin Kasei Co., Ltd., trade name: Teonex TN8065S) as a crystalline polymer. ) Was prepared. It supplied to the 2nd extruder connected to the die | dye 21a for multilayer extrusion using the fixed quantity feeder so that it might become a compounding ratio of BN 40vol% and PEN 60vol%.
フィン付きヒートシンクのフィンの隙間に充填されるポリマーとして、タルクを40vol%混練した水溶性ポリマー((株)クラレ製、商品名:エクセバール)を用意し、多層押出用ダイス21aに接続した第3の押出機へ供給した。
As a polymer to be filled in the gaps between the fins of the heat sink with fins, a water-soluble polymer (product name: EXEVAL, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) kneaded with 40 vol% of talc is prepared and connected to the
フィン付きヒートシンク一体基材の成形、絶縁層の積層、およびフィン間の隙間へのポリマーの充填が可能なダイス21aを通して、基材と一体成形されたフィン付きヒートシンク12のフィンと反対側(基材側)に絶縁層13を積層し、フィン付きヒートシンク12のフィンの隙間にポリマー14を充填した板状の成形体を連続的に押出した。
Through a
次に、板状の成形体の絶縁層12側に、蒸着装置25からAg薄膜を堆積して連続的に金属層15を形成して成形体を得た。
Next, an Ag thin film was deposited from the
次いで、この成形体から水溶性のポリマー14を水スプレーで溶かし流すことにより、フィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板10を得た。
Next, the water-
実施例1〜3に係るフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板について基板の成形性およびフィンの形状を調べた結果を表1に示す。また、実施例1〜3に係るフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の各部材の熱伝導率を調べた結果を表2に示す。 Table 1 shows the results of examining the moldability of the substrate and the fin shape of the laminated board for heat sink integrated circuit substrate with fins according to Examples 1 to 3. Table 2 shows the results of examining the thermal conductivity of each member of the laminated board for heat sink integrated circuit substrate with fins according to Examples 1 to 3.
表1および表2に示されるように、実施例1〜3のいずれのヒートシンク一体回路基板用積層板も、良好な成形性を有するとともに、良好な放熱性を有することが確認できた。
本発明に係るフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板は、フィン付きヒートシンクおよび基材が高熱伝導性フィラーおよび結晶性ポリマーからなるコンポジットで一体成形され、基材と回路形成用の金属層との間の絶縁層が絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーからなるコンポジットで形成され、フィン付きヒートシンクおよび基材ならびに絶縁層を形成するコンポジットのマトリックス(母材)として熱伝導率の高い結晶性ポリマーを用いているので、高い熱伝導率を示し、金属層をパターニングして形成される回路での発熱を基材およびフィン付きヒートシンクから良好に放熱することができる。 The finned heat sink integrated circuit board laminate according to the present invention includes a finned heat sink and a base material integrally formed of a composite composed of a high thermal conductive filler and a crystalline polymer, and between the base material and a metal layer for circuit formation. A crystalline polymer with a high thermal conductivity as a matrix (base material) for the composite heat sink and base material and the insulating layer. Therefore, high thermal conductivity is exhibited, and heat generated in a circuit formed by patterning the metal layer can be radiated well from the base material and the finned heat sink.
また、本発明に係るフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法によれば、フィン付きヒートシンクおよび基材ならびに絶縁層を多層押出またはそれぞれ単層押出した後、ラミネートすることによって板状の成形体を連続的に形成することができ、しかも金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積することによって金属層も連続的に形成できるので、フィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板を生産性よく製造することができる。 Further, according to the method for manufacturing a laminated board for a heat sink integrated circuit board with fins according to the present invention, a plate-shaped molding is performed by laminating a heat sink with fins and a base material and an insulating layer by multilayer extrusion or single layer extrusion respectively. The body can be formed continuously, and the metal layer can also be formed continuously by laminating metal foils or depositing metal layers, so it is possible to manufacture laminated boards for finned heat sink integrated circuit boards with high productivity can do.
なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。たとえば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. Further, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, you may combine suitably the component covering different embodiment.
具体的には、フィン付きヒートシンク、基材および絶縁層を形成する結晶性ポリマーやフィラーの種類、フィラーの含有率、水溶性ポリマー、有機溶剤可溶ポリマーまたは金属層の材料は、上記実施形態に記載したものに限定されない。また、上記実施形態では、フィン付きヒートシンクと基材との一体成形体と絶縁層とを一度に多層押出して積層体を形成した後にこの積層体に金属層を積層する方法、またはフィン付きヒートシンクと基材との一体成形体と絶縁層とを一度に多層押出して積層体を形成した後にこの積層体に金属層を堆積する方法について述べたが、これに限らない。 Specifically, the finned heat sink, the type of crystalline polymer and filler forming the base material and the insulating layer, the filler content, the water-soluble polymer, the organic solvent-soluble polymer, or the metal layer material are the same as those in the above embodiment. It is not limited to what has been described. Further, in the above embodiment, a method of laminating a metal body on the laminated body after forming a laminated body by simultaneously extruding an integrally formed body of a finned heat sink and a base material and an insulating layer, or a heat sink with fins Although the method of depositing a metal layer on the laminate after forming a laminate by multilayer extrusion of the integrally formed body with the substrate and the insulating layer at one time is not limited thereto.
10…フィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板、11…基材、12…フィン付きヒートシンク、12a…フィン、13…絶縁層、14…充填ポリマー、15…金属層、21a、21b…多層押出用ダイス、22…送出しロール、23、24…加熱ロール(ラミネート用ロール)、25…蒸着装置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Laminated board for heat sink integrated circuit board with fin, 11 ... Base material, 12 ... Heat sink with fin, 12a ... Fin, 13 ... Insulating layer, 14 ... Filling polymer, 15 ... Metal layer, 21a, 21b ... Die for
Claims (9)
前記基材上に形成され、絶縁性の熱伝導性フィラーと結晶性ポリマーとを含む絶縁層と、
前記絶縁層上に形成された金属層とを有し、
前記フィン付きヒートシンクおよび基材中の高熱伝導性フィラーの含有率が15〜65vol%であり、前記絶縁層中の熱伝導性フィラーの含有率が15〜65vol%であることを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板。 A finned heat sink and substrate integrally formed with a high thermal conductivity filler and a crystalline polymer;
An insulating layer formed on the substrate and comprising an insulating thermally conductive filler and a crystalline polymer;
A metal layer formed on the insulating layer,
The finned heat sink and the content of the high thermal conductive filler in the base material are 15 to 65 vol%, and the content of the thermal conductive filler in the insulating layer is 15 to 65 vol% Laminated plate for heat sink integrated circuit board.
前記成形体の絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積する
ことを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法。 Composition for finned heat sink and substrate comprising 15 to 65 vol% high thermal conductive filler and crystalline polymer, and for insulating layer comprising 15 to 65 vol% insulating thermal conductive filler and crystalline polymer A multilayer extrusion molding of the composition to form a molded body comprising an integrally formed finned heat sink and a substrate and an insulating layer;
A method for producing a laminated board for a heat sink integrated circuit board with fins, comprising laminating a metal foil or depositing a metal layer on an insulating layer of the molded body.
絶縁性の熱伝導性フィラー15〜65vol%と結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物を単層押出成形して絶縁層を形成し、
前記一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と前記絶縁層とをラミネートして成形体を形成し、
前記成形体の絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積する
ことを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法。 A finned heat sink and substrate composition comprising 15 to 65 vol% of a high thermal conductive filler and a crystalline polymer are multilayer extruded to form an integrally formed finned heat sink and substrate;
A composition for an insulating layer containing 15 to 65 vol% of an insulating heat conductive filler and a crystalline polymer is formed by single-layer extrusion molding to form an insulating layer,
Laminating the integrally formed finned heat sink and substrate and the insulating layer to form a molded body,
A method for producing a laminated board for a heat sink integrated circuit board with fins, comprising laminating a metal foil or depositing a metal layer on an insulating layer of the molded body.
絶縁性の熱伝導性フィラー15〜65vol%と結晶性ポリマーとを含む絶縁層用の組成物を単層押出成形して絶縁層を形成し、前記絶縁層上に金属箔をラミネートするかまたは金属層を堆積し、
前記一体成形されたフィン付きヒートシンクおよび基材と前記絶縁層および金属箔または金属層の積層体とをラミネートする
ことを特徴とするフィン付きヒートシンク一体回路基板用積層板の製造方法。 A finned heat sink and substrate composition comprising 15 to 65 vol% of a high thermal conductive filler and a crystalline polymer are multilayer extruded to form an integrally formed finned heat sink and substrate;
A composition for an insulating layer containing 15 to 65 vol% of an insulating heat conductive filler and a crystalline polymer is extruded as a single layer to form an insulating layer, and a metal foil is laminated on the insulating layer or a metal Deposit layers,
A method of manufacturing a laminated board for a finned heat sink integrated circuit board, comprising laminating the integrally formed heat sink and substrate with fins and a laminate of the insulating layer and metal foil or metal layer.
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