JP2012019038A - 面発光レーザモジュール、光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】光の利用効率を低下させることなく光量モニタをすることのできる面発光レーザモジュールを提供する。
【解決手段】基板上に面発光レーザが形成されている面発光レーザ素子と、前記面発光レーザ素子を設置するためのベース部と、前記ベース部において前記面発光レーザ素子の設置されている側に接合されるキャップ部と、前記キャップ部に設けられ、前記面発光レーザから出射された光の一部を反射する反射部と、前記キャップ部に設けられ、前記面発光レーザから出射された光のうち、前記反射部において反射された光を除いた光を透過する出射窓と、前記ベース部に設置され、前記面発光レーザから出射された光のうち、反射部により反射された光を受光する受光素子と、を有することを特徴とする面発光レーザモジュールを提供することにより上記課題を解決する。
【選択図】図３

Description

本発明は、面発光レーザモジュール、光走査装置及び画像形成装置に関する。

昨今、多色画像形成装置においては、より高精細な画像品質が求められている。このため、高速化が年々進み、オンデマンドプリンティングシステムとして簡易印刷に用いられるようになりつつある。具体的には、面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting LASER）を２次元的に配列した構成の２次元アレイ素子を用いることにより、感光体上での副走査間隔を記録密度の１／ｎにすることができ、単位画素をｎ×ｍの複数ドットのマトリクス構成を形成することができる。また、複数の光ビームで同時に走査を行なうことができる。

通常、光書き込みに用いられる半導体レーザは、ＡＰＣ（Automatic Power Control）制御を行なうため、半導体レーザの発光量をモニタすることが必要となる。端面発光レーザでは、光の出射端とは反対側の端面から出射される光を受光することにより、光量をモニタすることができるが、面発光レーザでは、出射面と反対側の面には光は出射されないため、端面発光レーザと同様の方法では光量をモニタすることができない。従って、面発光レーザでは、出射された光の一部を分岐して、光量のモニタを行なう様々な方法が検討されている。

例えば、特許文献１には、面発光レーザの出射面側にハーフミラーを配置し、面発光レーザから出射される光をハーフミラーにより分岐し、モニタ光として光検出器により検出する方法が開示されている。

また、特許文献２には、面発光レーザの出射面側にビームスプリッタを配置し、面発光レーザから出射される光をビームスプリッタにより分岐し、モニタ光として光検出器により検出する方法が開示されている。

また、特許文献３には、出射されたレーザ光をコリメートレンズにより平行光とした後、開口部を有する反射鏡を配置して周辺光と中心光とを分離し、反射鏡の開口部を通過した中心光を画像形成等に用い、反射鏡により反射された周辺光をフォトダイオードで受光して光量モニタに用いる方法が開示されている。

また、特許文献４には、出射されたレーザ光をコリメートレンズにより平行光とする手前に、開口部を有する反射鏡を配置して周辺光と中心光とに分離し、反射鏡の開口部を通過した中心光をコリメートレンズにより平行光とした後に、画像形成等に用い、反射鏡により反射された周辺光をフォトダイオードで受光して光量モニタに用いる方法が開示されている。

また、特許文献５及び６には、パッケージの窓に受光素子を配置して、出射されたレーザ光の周辺光の光量をモニタするものが開示されている。

しかしながら、特許文献１及び２に記載されている方法では、光学系内にビームスプリッタやハーフミラー等の光学部材を配置すると、光学部材で反射される光量の分、画像形成装置の感光体に到達する光量が低下してしまうため、その分、光源となる面発光レーザの光出力を増やすことが必要となる。

また、特許文献３及び４に記載されている方法は、面発光レーザ素子が設置されているパッケージの外側でレーザ光を分離する方法であるため、光量をモニタする受光素子の配置や形状に制約が生じてしまう。例えば、受光素子を設置するため別途基板等が必要となる場合や、光学部品等が必要となる場合がある。また、面発光レーザからの距離が離れると単位面積当たりの光量は低下するため、モニタ光を受光素子に集光するための光学部材や大面積の受光素子が必要となるが、受光素子の面積が大きくなると光量の変化に対する応答速度が低下してしまうといった問題点も有している。更に、受光素子に光を入射させるための光学部材や集光するための光学部材において、受光素子にモニタ光を入射させるための位置調整が必要となるという問題点を有している。

また、特許文献５及び６では、１次元アレイまたは２次元アレイの面発光レーザを用いた場合に十分には対応することができず、また、各々の面発光レーザからの光ビームの形状が異なるものとなるといった問題点を有している。

よって、本発明は、上記に鑑みなされたものであり、小型で、低コストで、使用される光の利用効率を低下させることなく光量モニタすることのできる面発光レーザモジュールを提供することを目的とするものであり、更には、信頼性が高く、高品質な画像を形成することのできる光走査装置及び画像形成装置を提供することを目的とするものである。

本発明は、基板上に面発光レーザが形成されている面発光レーザ素子と、前記面発光レーザ素子を設置するためのベース部と、前記ベース部において前記面発光レーザ素子の設置されている側に接合されるキャップ部と、前記キャップ部に設けられ、前記面発光レーザから出射された光の一部を反射する反射部と、前記キャップ部に設けられ、前記面発光レーザから出射された光のうち、前記反射部において反射された光を除いた光を透過する出射窓と、前記ベース部に設置され、前記面発光レーザから出射された光のうち、反射部により反射された光を受光する受光素子と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、前記面発光レーザ素子は、複数の面発光レーザにより形成された１次元の面発光レーザアレイを有するものであって、前記反射部は、前記複数の面発光レーザが配列されている方向に略平行に設置されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記面発光レーザ素子は、複数の面発光レーザにより形成された１次元の面発光レーザアレイを有するものであって、前記受光素子は、前記受光素子の長手方向が、前記複数の面発光レーザが配列されている方向と略平行となるように設置されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記面発光レーザ素子は、複数の面発光レーザにより形成された２次元の面発光レーザアレイを有するものであって、前記反射部は、前記複数の面発光レーザが配列されている方向に略平行に設置されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記面発光レーザ素子は、複数の面発光レーザにより形成された２次元の面発光レーザアレイを有するものであって、前記受光素子は、前記受光素子の長手方向が、前記複数の面発光レーザが配列されている方向と略平行となるように設置されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記反射部は、表面が凹状に形成されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記反射部は、複数設けられていることを特徴とする。

また、本発明は、前記受光素子は、複数設けられていることを特徴とする。

また、本発明は、前記反射部、または、前記反射部を支持し前記キャップ部に固定するための支持部は、ビーム整形機能を有しているものであることを特徴とする。

また、本発明は、前記反射部は、前記反射部を支持する支持部により、前記キャップ部に固定されているものであって、前記支持部、前記キャップ部、前記出射窓を一体に形成したものであることを特徴とする。

また、本発明は、前記出射窓の一部に前記反射部が形成されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記反射部の反射率は９０％以上であることを特徴とする。

また、本発明は、前記記載の面発光レーザモジュールと、前記面発光レーザモジュールから出射された光を平行光とするコリメートレンズと、前記反射部において遮られた領域を含む領域を遮蔽し、前記出射された光のうち中心光のみを透過させるアパーチャと、前記アパーチャを通過した光を偏向する光偏向部と、前記光偏向部により偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、光によって被走査面を走査する光走査装置であって、前記記載の面発光レーザモジュールを有する光源と、前記光源からの光を偏向する光偏向部と、前記光偏向部により偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、像担持体と、前記像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する前記記載の光走査装置と、を有することを特徴とする。

また、本発明は、前記像担持体は複数であって、前記画像情報は、多色のカラー情報であることを特徴とする。

本発明によれば、小型で、低コストで、使用される光の利用効率を低下させることなく光量モニタすることのできる面発光レーザモジュールを提供することができ、更には、信頼性が高く、高品質な画像を形成することのできる光走査装置及び画像形成装置が提供することができる。

第１の実施の形態における面発光レーザモジュールの斜視図 第１の実施の形態における面発光レーザモジュールの上面図 第１の実施の形態における面発光レーザモジュールの断面図 第１の実施の形態における他の面発光レーザモジュールの説明図（１） 第１の実施の形態における他の面発光レーザモジュールの説明図（２） 第１の実施の形態における他の面発光レーザモジュールの説明図（３） 第１の実施の形態における他の面発光レーザモジュールの説明図（４） 第１の実施の形態における他の面発光レーザモジュールの説明図（５） 他の反射部と支持部の説明図 面発光レーザモジュールの駆動回路の構成図（１） 第２の実施の形態における面発光レーザモジュールの上面図 第２の実施の形態における面発光レーザモジュールの断面図（１） 第２の実施の形態における面発光レーザモジュールの断面図（２） 第２の実施の形態における他の面発光レーザモジュールの説明図 面発光レーザモジュールの駆動回路の構成図（２） 第３の実施の形態における面発光レーザモジュールの上面図 ２次元面発光レーザアレイの上面図 第３の実施の形態における面発光レーザモジュールの断面図（１） 第３の実施の形態における面発光レーザモジュールの断面図（２） 第３の実施の形態における面発光レーザモジュールの断面図（３） 開口部と受光素子の出力との相関図 第４の実施の形態におけるレーザプリンタの構成図 第４の実施の形態における光走査装置の構成図 光走査装置の説明図（１） 光走査装置の説明図（２） 光走査装置の説明図（３） 第５の実施の形態におけるカラープリンタの構成図

本発明を実施するための形態について、以下に説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。

〔第１の実施の形態〕
第１の実施の形態における面発光レーザモジュールについて説明する。図１に示されるように、本実施の形態における面発光レーザモジュールは、ベース部２１、キャップ部２２からなるパッケージ内に面発光レーザ素子及び受光素子が設置されている。ベース部２１及びキャップ部２２は金属により形成されており、ベース部２１には電極３１、３２、３３が設けられている。電極３１はパッケージ内の面発光レーザ素子に接続されており、電極３２はパッケージ内の受光素子に接続されており、電極３３はベース部２１に直接接続されている。また、キャップ部２２の上面にはガラス等からなる出射窓２３が設けられており、出射窓２３はキャップ部２２に低融点ガラス等により接合されておりハーメチックシールとなっている。

図２は、本実施の形態における面発光レーザモジュールの上面透過図であり、図３は、図２における破線２Ａ−２Ｂにおいて切断した断面図である。パッケージの内部において、ベース部２１には面発光レーザ素子１０が設置されており、ボンディングワイヤ３４により電極３１と接続されている。また、ベース部２１には受光素子４０が設置されており、ボンディングワイヤ３５により電極３２と接続されている。尚、電極３１とベース部２１とは、電極３１の周囲に設けられた絶縁体部３６により、絶縁されており、同様に、電極３２とベース部２１とは、電極３２の周囲に設けられた絶縁体部３７により、絶縁されている。

キャップ部２２における出射窓２３の内側には、ミラー等からなる反射部２４が設けられており、支持部材２５によりキャップ部２２の内側に固定されている。反射部２４は、面発光レーザ素子１０から出射された波長の光を９０％以上の反射率を有する金属、または、誘電体多層膜ミラーにより形成されている。反射部２４の反射率は高い方が、受光素子４０に入射する光量を増やすことができ、発熱等の問題も少ないことから好ましく、これらを鑑みると、経験的には、反射部９０％以上であることが好ましい。

尚、面発光レーザ素子１０及び受光素子４０は、ベース部２１に導電性接着剤により固定されている。

面発光レーザ素子１０には、面発光レーザ１２が形成されている。面発光レーザ素子１０には、面発光レーザ素子１０の上部電極となるアノードに接続されたボンディングパッド１３を有しており、電極３１とボンディングパッド１３とはボンディングワイヤ３４により接続されている。また、面発光レーザ１０の下部電極となるカソードは、上述のとおり導電性接着剤によりベース部２１に電気的に接続されている。

また、受光素子４０は、フォトダイオードが用いられており、光を受光するための受光領域４２が形成されている。受光素子４０は、受光素子４０の上部電極となるカソードに接続されたボンディングパッド４３を有しており、電極３２とボンディングパッド４３とはボンディングワイヤ３５により接続されている。また、受光素子４０の下部電極となるアノードは、上述のとおり導電性接着剤によりベース部２１に電気的に接続されている。

本実施の形態における面発光レーザモジュールでは、面発光レーザ素子１０の面発光レーザ１２から出射された光は、拡散しながら出射窓２３に向かって進み、反射部２４により、直進する中心光を含む透過光１０１と、反射部２４により反射される周辺光の一部を含む反射光１０２とに分離される。反射部２４により反射された反射光１０２は、受光素子４０の受光領域４２に入射し、反射部２４により反射された反射光１０２の光量を測定することができる。尚、直進する透過光１０１は、出射窓２３を透過し直進する。

これにより本実施の形態では、面発光レーザ素子１０から出射された光のうち、周辺光の一部をモニタすることができ、画像形成等の用途に用いられる中心光を減衰させることなく、面発光レーザ素子１０からの光量をモニタすることができる。

（面発光レーザモジュールの変形例）
次に、本実施の形態における面発光レーザモジュールの変形例について説明する。

図４に示す面発光レーザモジュールは、反射部を凹面鏡により形成した構造のものである。具体的には、反射部２４ａは凹面鏡により形成されており、支持部２５ａによりキャップ部２２に取り付けられている。反射部２４ａを凹面鏡により形成することにより、受光素子４０に集光された反射光１０２ａが照射されるため、パッケージ内部に光が散乱されることなく、周辺光を効率よく用いることができ、これにより、受光素子４０を小さくすることも可能である。

図５に示す面発光レーザモジュールは、反射部２４の他に反射部２４ｂを設けた構造のものである。具体的には、反射部２４の他、反射部２４ｂが設けられており、反射部２４ｂは支持部２５ｂによりキャップ部２２に取り付けられた構造のものである。面発光レーザ素子１０における面発光レーザ１２から出射された光のうち反射部２４ｂにより周辺光の一部が反射されて反射光１０２ｂとして受光素子４０に入射する。このため、反射部２４により反射された反射光１０２と、反射部２４ｂにより反射された反射光１０２ｂとが受光素子４０に入射する。よって、受光素子４０に入射する光量を増やすことができる。尚、直進する透過光１０１ｂは、周辺光の一部がさらに除かれた光となるが、中心光は減衰することはないため実用上問題になることはない。

図６に示す面発光レーザモジュールは、出射窓と支持部とキャップ部とを一体で形成した構造のものである。このように一体で形成することにより、構造を簡素化し部品点数を削減し、面発光レーザモジュールの製造コストを低くすることができる。具体的には、キャップ部２２ｃに光を散乱または吸収する樹脂材料等を用い、出射窓２３ｃに光を透過する樹脂材料等を用いて、射出成型等により一体として形成する。尚、これ以外にも、キャップ部２２ｃ及び出射窓２３ｃを光が透過する材料により形成し、出射窓２３ｃとなる部分及び反射部２４となる部分以外のキャップ部２２ｃの内部に遮光処理を施すことにより、反射光が面発光レーザ素子１０に戻らない構造としたものであってもよい。

図７に示す面発光レーザモジュールは、出射窓２３の一部に反射部２４を設置した構成のものであり、この場合、反射部２４を支持するための支持部は不要となる。具体的には、反射部２４となる反射板を出射窓２３の一部に接着した構造のもの、反射部２４となる反射膜を出射窓２３の一部に成膜した構造のもの等がある。これにより構造を簡素化し部品点数を削減し、面発光レーザモジュールの製造コストを低くすることができる。

図８に示す面発光レーザモジュールは、支持部２５ｄに、面発光レーザ素子１０からの光をビーム整形するためのビーム整形機能（アパーチャとしての機能）を有しているものである。図８（ａ）は、上面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）における破線８Ａ−８Ｂにおいて切断した断面図である。具体的には、面発光レーザ素子１０における面発光レーザ１２より発せられた光のうち、周辺光は支持部２５ｄまたは反射部２４により吸収または反射されるため、中心光を含む透過光１０１ｄのみ出射窓２３を透過さることができる。この透過光１０１ｄはビーム整形された光であるため、別途ビーム整形するための部品等を設ける必要がなく、構造を簡素化することができ部品点数を削減することができるため、面発光レーザモジュールの製造コストを低くすることができる。

また、図９（ａ）に示すように、支持部２５ｅは出射窓２３の面の法線方向に対し、傾斜している形状であってもよく、また、図９（ｂ）に示すように、支持部２５と反射部２４との位置がずれているものであってもよい。これにより、やや斜めから入射する中心光のうち周辺光に近接した領域の光を遮ることなく透過させることができる。

上述した面発光レーザモジュールのうち、図６に示す構造の面発光レーザモジュール以外は、上述したとおり、ベース部２１及びキャップ部２２は、各々金属材料により形成されており溶接されている。また、出射窓２３はガラスにより形成されており、低融点ガラスによりキャップ部２３に接合されている。しかしながら、ベース部２１及びキャップ部２２は金属以外の材料により形成されているものであってもよく、また、ベース部２１とキャップ部２２との接合は溶接以外の方法であってもよく、更に、出射窓２３とキャップ部２２の接合は低融点ガラスによる接合以外の方法により行なってもよい。

また、面発光レーザ素子１０では、面発光レーザから出射された光が出射窓２３等により反射され戻り光として入射することを防ぐため、出射窓２３の表面及び裏面に反射防止膜を成膜することが好ましく、また、出射窓２３及び反射部２４等を除く、ベース部２１及びキャップ部２２の内部は、迷光を防止するため、つや消し塗装や光吸収層を形成する等の表面処理を行ない反射防止対策がなされていることが好ましい。

（面発光レーザモジュールの制御）
次に、本実施の形態における面発光レーザモジュールの制御について説明する。図１０は、本実施の形態における面発光レーザモジュール１００の駆動回路を示すものである。この駆動回路は回路基板８０に面発光レーザモジュール１００とともに搭載されており、ＶＣＳＥＬ駆動回路８１及び制御回路８２、不図示の電源回路、外部とのインターフェース回路により構成されている。上述のとおり、面発光レーザモジュール１００は、面発光レーザ素子１０と受光素子４０であるフォトダイオードとを有している。面発光レーザ素子１０のアノード電極は電極３１を介しＶＣＳＥＬ駆動回路８１に接続されており、受光素子４０のカソード電極は電極３２を介し制御回路８２に接続されている。また、面発光レーザ素子１０のカソード電極及び受光素子４０のアノード電極とは、ともに電極３３を介し接地されている。

面発光レーザ素子１０における面発光レーザは、ＶＣＳＥＬ駆動回路８１から出力される電流に応じて点灯し、ＶＣＳＥＬ駆動回路８１により面発光レーザ素子１０に流される電流は、制御回路８２からの信号に基づいて流される。制御回路８２では、面発光レーザ素子１０における面発光レーザの点灯する時間と点灯時の光量が制御される。この面発光レーザ素子１０を用いた画像形成装置においては、制御回路８２は、感光体ドラム上に画像形成する時間とそれ以外の調整等の時間に分割し、それぞれの動作を一定周期で繰り返す。尚、調整等の時間は、更に各種の調整のために分割され、光量安定化の時間も含まれている。

制御回路８２は、画像形成の際には、外部からの画像形成信号に基づいて、面発光レーザ１０を点滅させるタイミング信号をＶＣＳＥＬ駆動回路８１に出力する。尚、光量設定信号は画像形成時には一定に保たれる。

制御回路８２は、光量安定化の際には、面発光レーザ１０を連続して点灯させるタイミング信号をＶＣＳＥＬ駆動回路８１に出力する。光量設定信号は、面発光レーザ素子１０から出射された光の一部を受光素子４０により受光し、受光素子４０からの出力信号に基づき調節される。

〔第２の実施の形態〕
次に、第２の実施の形態について説明する。本実施の形態における面発光レーザモジュールは、面発光レーザ素子に１次元面発光レーザアレイが形成されている構造のものである。

図１１は、本実施の形態における面発光レーザモジュールの上面図である。尚、図１２は、図１１における破線１１Ａ−１１Ｂにおいて切断した断面図であり、図１３は、図１１における破線１１Ｃ−１１Ｄにおいて切断した断面図である。図１３（ａ）は、面発光レーザ１１２ａから光が出射された状態を示すものであり、図１３（ｂ）は、面発光レーザ１１２ｄから光が出射された状態を示すものである。

本実施の形態における面発光レーザモジュールにおいて、ベース部１２１、キャップ部１２２及び出射窓１２３は長円形に形成されている以外は、第１の実施の形態におけるベース部２１、キャップ部２２及び出射窓２３と同様のものであり、反射部１２４、支持部１２５、受光素子１４０及び受光領域１４２についても、形状等が異なる以外は、第１の実施の形態における反射部２４、支持部２５、受光素子４０及び受光領域４２と同様のものである。尚、ボンディングワイヤ及びボンディングパッド等は省略されている。

また、面発光レーザ素子１１０には、１次元面発光レーザアレイが形成されており、面発光レーザが１次元的に配列されている。具体的には、面発光レーザ素子１１０は、面発光レーザの面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄが形成されている。

面発光レーザ素子１１０の面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄより出射された光は、中心光を含む透過光１０１が出射窓１２３を透過し、周辺光の一部が反射部１２４により反射され反射光１０２となる。面発光レーザ素子１１０の面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄより出射された光は、各々反射部１２４により反射され受光素子１４０の受光領域１４２に入射するため、受光素子１４０の受光領域１４２は、面発光レーザ素子１１０の面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄの配列されている方向に沿って長く形成されている。即ち、受光素子１４０は略長方形状に形成されており、受光素子１４０の長手方向が、面発光レーザ素子１１０の面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄの配列方向と略平行となるように配置されている。また、面発光レーザ素子１１０の面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄより出射した光が効率よく受光素子１４０に入射するように、反射部１２４は、面発光レーザ素子１１０の面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄの配列方向と略平行となるように設置されている。

また、図１４に示すように反射部１２４ａを凹面状に形成することにより、受光素子１４０ａの長さを短くすることができ、小型な受光素子を用いることができる。尚、図１４（ａ）は、面発光レーザ１１２ａから光が出射された状態を示すものであり、図１４（ｂ）は、面発光レーザ１１２ｄから光が出射された状態を示すものである。図１４に示されるように、支持部１２５ａに支持される凹面状の反射部１２４ａにより、面発光レーザ素子１１０の面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄより出射された光は反射され中央部分に集光するため、受光領域を狭くすることができ、よって、受光素子１４０を小型化することが可能となる。尚、面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄの発光点の形成されている面と受光素子１４０ａの受光面とは、同一平面上に形成されていなくともよい。

（面発光レーザモジュールの制御）
次に、本実施の形態における面発光レーザモジュールの制御について説明する。図１５は、本実施の形態における面発光レーザモジュール２００の駆動回路を示すものである。この駆動回路は回路基板１８０に面発光レーザモジュール２００とともに搭載されており、ＶＣＳＥＬ駆動回路１８１及び制御回路１８２、不図示の電源回路、外部とのインターフェース回路により構成されている。上述のとおり、面発光レーザモジュール２００は、面発光レーザ素子１１０と受光素子１４０であるフォトダイオードとを有している。面発光レーザ素子１１０は、４つの面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄが設けられている。面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄの各々のアノード電極は電極１３１ａ、１３１ｂ、１３１ｃ及び１３１ｄを介しＶＣＳＥＬ駆動回路１８１に接続されており、受光素子１４０のカソード電極は電極１３２を介し制御回路１８２に接続されている。また、面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄのカソード電極と受光素子１４０のアノード電極とは、ともに電極１３３を介し接地されている。

尚、面発光レーザ素子１１０の共通のカソード電極に、受光素子１４０等のアノード電極を接続してもよく、また、電気的に絶縁した上で個別の電極に接続しても、どちらでもよい。但し、面発光レーザ素子１１０の駆動電流が大きい場合には、面発光レーザ素子１４０の共通のカソード電極からＧＮＤ（接地）に流れる電流が大きくなるため、個別にすることにより駆動電流の変動によるノイズの発生を低減させることができる。

面発光レーザ素子１１０における面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄは、ＶＣＳＥＬ駆動回路１８１から出力される電流に応じて点灯し、ＶＣＳＥＬ駆動回路１８１により面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄに流される電流は、制御回路１８２からの信号に基づいて流される。制御回路１８２では、面発光レーザ素子１１０における面発光レーザの点灯する時間と点灯時の光量が制御される。画像形成装置においては、制御回路１８２は、感光体ドラム上に画像形成する時間とそれ以外の調整等の時間に分割し、それぞれの動作を一定周期で繰り返す。尚、調整等の時間は、更に各種の調整のために分割され、光量安定化の時間も含まれている。

制御回路１８２は、画像形成の際には、外部からの画像形成信号に基づいて、面発光レーザ１１０を点滅させるタイミング信号をＶＣＳＥＬ駆動回路１８１に出力する。尚、光量設定信号は画像形成時には一定に保たれる。

制御回路１８２は、光量安定化の際には、面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄのうちの一つを連続して点灯させるタイミング信号をＶＣＳＥＬ駆動回路１８１に出力する。光量設定信号は、面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄのうち一つから出射された光の一部を受光素子１４０により受光し、受光素子１４０からの出力信号に基づき調節される。

具体的には、画像形成→面発光レーザ１１２ａ光量安定化→画像形成→面発光レーザ１１２ｂ光量安定化→画像形成→面発光レーザ１１２ｃ光量安定化→画像形成→面発光レーザ１１２ｄ光量安定化→画像形成の順で繰り返すことにより、面発光レーザ１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ及び１１２ｄについて、同じ時間間隔で、光量調整を行なうことができ、特許文献１に示されているように、面発光レーザアレイにおいて光量をモニタするためには、モニタ用光学系と受光素子を設ける必要があったが、本実施の形態における面発光レーザモジュールでは少なくとも１つの受光素子で行なうことができる。

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態と同様である。

〔第３の実施の形態〕
次に、第３の実施の形態について説明する。本実施の形態における面発光レーザモジュールは、面発光レーザ素子に２次元面発光レーザアレイが形成されている構造のものである。

図１６は、本実施の形態における面発光レーザモジュールの上面図である。面発光レーザ素子２１０には、２次元面発光レーザアレイが形成されており、面発光レーザが２次元的に配列されている。具体的には、図１７に示すように、面発光レーザ素子２１０は、２次元的に配列された面発光レーザ２１２ａａ、２１２ｂａ、２１２ｃａ、２１２ｄａ、２１２ａｂ、２１２ｂｂ、２１２ｃｂ、２１２ｄｂ、２１２ａｃ、２１２ｂｃ、２１２ｃｃ、２１２ｄｃ、２１２ａｄ、２１２ｂｄ、２１２ｃｄ及び２１２ｄｄを有している。

尚、図１８及び図１９は、図１６における破線１６Ａ−１６Ｂにおいて切断した断面図であり、図１８（ａ）は、面発光レーザ２１２ａａ〜２１２ｄａから光が出射された状態を示すものであり、図１８（ｂ）は、面発光レーザ２１２ａｂ〜２１２ｄｂから光が出射された状態を示すものであり、図１９（ａ）は、面発光レーザ２１２ａｃ〜２１２ｄｃから光が出射された状態を示すものであり、図１９（ｂ）は、面発光レーザ２１２ａｄ〜２１２ｄｄから光が出射された状態を示すものである。また、図２０は、図１６における破線１６Ｃ−１６Ｄにおいて切断した断面図であり、図２０（ａ）は、面発光レーザ２１２ａｄから光が出射された状態を示すものであり、図２０（ｂ）は、面発光レーザ２１２ｄｄから光が出射された状態を示すものである。

本実施の形態における面発光レーザモジュールにおいて、ベース部２２１、キャップ部２２２及び出射窓２２３は略正方形に形成されている以外は、第１の実施の形態におけるベース部２１、キャップ部２２及び出射窓２３と同様のものであり、反射部２２４ａ及び２２４ｂ、支持部２２５についても、形状等が異なる以外は、第１の実施の形態における反射部２４及び支持部２５と同様のものである。尚、本実施の形態では、受光素子２４０ａ及び２４０ｂと２つ配置されており、各々の受光素子２４０ａ及び２４０ｂには受光領域２４２ａ及び２４２ｂを有している。受光素子２４０ａ及び２４０ｂ、受光領域２４２ａ及び２４２ｂは形状等を除き、第１の実施の形態における受光素子４０、受光領域４２と同様のものである。また、ボンディングワイヤ及びボンディングパッド等は省略されている。

本実施の形態における面発光レーザモジュールでは、受光素子２４０ａ及び２４０ｂは、ともに略長方形状に形成されており、受光素子２４０ａの長手方向が、面発光レーザ素子２１０の面発光レーザ２１２ａａ、２１２ｂａ、２１２ｃａ及び２１２ｄａの配列方向と略平行となるように配置されており、受光素子２４０ｂの長手方向が、面発光レーザ素子２１０の面発光レーザ２１２ａｄ、２１２ｂｄ、２１２ｃｄ及び２１２ｄｄの配列方向と略平行となるように配置されている。また、面発光レーザ素子２１０から出射した光が効率よく受光素子２４０ａ及び２４０ｂに入射するように、反射部２２４ａは面発光レーザ素子２１０の面発光レーザ２１２ａａ、２１２ｂａ、２１２ｃａ及び２１２ｄａの配列方向と略平行となるように設置されており、反射部２２４ｄは、面発光レーザ素子２１０の面発光レーザ２１２ａｄ、２１２ｂｄ、２１２ｃｄ及び２１２ｄｄの配列方向（面発光レーザ２１２ａａ、２１２ｂａ、２１２ｃａ及び２１２ｄａの配列方向）と略平行となるように設置されている。

本実施の形態における面発光レーザモジュールでは、面発光レーザ素子２１０から出射された光は、２枚の反射部２２４ａ及び２２４ｂにより反射されるが、各々の面発光レーザの配置されている位置は異なることから、図２１に示すように、各々の受光素子２４０ａ及び２４０ｂに入射する光量が異なり、受光素子２４０ａ及び２４０ｂの出力の値も異なる。しかしながら、面発光レーザ素子２１０におけるすべての面発光レーザが発光した場合、各々の面発光レーザから出射された光の光量が積算されるため、受光素子２４０ａ及び２４０ｂに入射する光の光量は略均一なものとなる。

また、反射部２２４ａ及び２２４ｂについては、第２の実施の形態と同様に、反射部を凹状にすることにより光を集光させることができるため、受光素子２４０ａ及び２４０ｂを小型化することが可能である。

尚、上記以外の内容については、第１の実施の形態または第２の実施の形態と同様である。

〔第４の実施の形態〕
次に、第４の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１から第３のいずれかの実施の形態における面発光レーザモジュールを用いた画像形成装置としてのレーザプリンタ１０００である。

図２２に基づき、本実施の形態におけるレーザプリンタ１０００について説明する。本実施の形態におけるレーザプリンタ１０００は、光走査装置１０１０、感光体ドラム１０３０、帯電チャージャ１０３１、現像ローラ１０３２、転写チャージャ１０３３、除電ユニット１０３４、クリーニングユニット１０３５、トナーカートリッジ１０３６、給紙コロ１０３７、給紙トレイ１０３８、レジストローラ対１０３９、定着ローラ１０４１、排紙ローラ１０４２、排紙トレイ１０４３、通信制御装置１０５０、及び上記各部を統括的に制御するプリンタ制御装置１０６０等を備えている。なお、これらは、プリンタ筐体１０４４の中の所定位置に収容されている。

通信制御装置１０５０は、ネットワークなどを介した上位装置（例えばパソコン）との双方向の通信を制御する。

感光体ドラム１０３０は、円柱状の部材であり、その表面には感光層が形成されている。すなわち、感光体ドラム１０３０の表面が被走査面である。そして、感光体ドラム１０３０は、矢印Ｘで示す方向に回転するようになっている。

帯電チャージャ１０３１、現像ローラ１０３２、転写チャージャ１０３３、除電ユニット１０３４及びクリーニングユニット１０３５は、それぞれ感光体ドラム１０３０の表面近傍に配置されている。そして、感光体ドラム１０３０の回転方向に沿って、帯電チャージャ１０３１→現像ローラ１０３２→転写チャージャ１０３３→除電ユニット１０３４→クリーニングユニット１０３５の順に配置されている。

帯電チャージャ１０３１は、感光体ドラム１０３０の表面を均一に帯電させる。

光走査装置１０１０は、帯電チャージャ１０３１で帯電された感光体ドラム１０３０の表面を、上位装置からの画像情報に基づいて変調された光束により走査し、感光体ドラム１０３０の表面に画像情報に対応した潜像を形成する。ここで形成された潜像は、感光体ドラム１０３０の回転に伴って現像ローラ１０３２の方向に移動する。なお、この光走査装置１０１０の構成については後述する。

トナーカートリッジ１０３６にはトナーが格納されており、このトナーは現像ローラ１０３２に供給される。

現像ローラ１０３２は、感光体ドラム１０３０の表面に形成された潜像にトナーカートリッジ１０３６から供給されたトナーを付着させて画像情報を顕像化させる。ここでトナーが付着した潜像（以下では、便宜上「トナー像」ともいう）は、感光体ドラム１０３０の回転に伴って転写チャージャ１０３３の方向に移動する。

給紙トレイ１０３８には記録紙１０４０が格納されている。この給紙トレイ１０３８の近傍には給紙コロ１０３７が配置されており、この給紙コロ１０３７は、記録紙１０４０を給紙トレイ１０３８から１枚づつ取り出し、レジストローラ対１０３９に搬送する。このレジストローラ対１０３９は、給紙コロ１０３７によって取り出された記録紙１０４０を一旦保持するとともに、この記録紙１０４０を感光体ドラム１０３０の回転に合わせて感光体ドラム１０３０と転写チャージャ１０３３との間隙に向けて送り出す。

転写チャージャ１０３３には、感光体ドラム１０３０の表面のトナーを電気的に記録紙１０４０に引きつけるために、トナーとは逆極性の電圧が印加されている。この電圧により、感光体ドラム１０３０の表面のトナー像が記録紙１０４０に転写される。ここで転写された記録紙１０４０は、定着ローラ１０４１に送られる。

定着ローラ１０４１では、熱と圧力とが記録紙１０４０に加えられ、これによってトナーが記録紙１０４０上に定着される。ここで定着された記録紙１０４０は、排紙ローラ１０４２を介して排紙トレイ１０４３に送られ、排紙トレイ１０４３上に順次スタックされる。

除電ユニット１０３４は、感光体ドラム１０３０の表面を除電する。

クリーニングユニット１０３５は、感光体ドラム１０３０の表面に残ったトナー（残留トナー）を除去する。残留トナーが除去された感光体ドラム１０３０の表面は、再度帯電チャージャ１０３１に対向する位置に戻る。

次に、図２３に基づき光走査装置１０１０について説明する。光走査装置１０１０は、光源ユニット１１００、カップリングレンズ１１１１、アパーチャ１１１２、シリンドリカルレンズ１１１３、ポリゴンミラー１１１４、ｆθレンズ１１１５、トロイダルレンズ１１１６、２つのミラー（１１１７、１１１８）、及び上記各部を統括的に制御する不図示の制御装置を備えている。尚、光源ユニット１１００は、第１から第３のいずれかの実施の形態における面発光レーザモジュールを含む光源ユニット１１００が用いられている。

カップリングレンズ１１１１は、光源ユニット１１００から出射された光ビームを平行光に整形する。アパーチャ１１１２は、カップリングレンズ１１１１を介した光ビームのビーム径を規定するもので、面発光レーザ素子１０から出射された中心光に対して、反射部２４等で反射された範囲を含むより広い範囲の周辺光を遮り、より狭い範囲の中心光のみを通過させる。

ここで、光源ユニット１１００からアパーチャ１１１２を通過するまでの光ビームの形状の変化を図２４及び図２５に基づき説明する。図２５には面発光レーザ素子から出射された光のビーム形状を示す。

図２５（ａ）に、図２４の一点鎖線２４Ａ１−２４Ａ２における断面を示す。この図に示されるように、光は全ての方向に等しく広がっている。次に、図２５（ｂ）に、図２４の一点鎖線２４Ｂ１−２４Ｂ２における断面を示す。この図に示されるように、反射部により周辺光の一部が遮られるため、領域４０１において光が遮られている形状の光ビームとなる。この光は更に広がった後、カップリングレンズ１１１１に入射し、平行光とされた上でアパーチャ１１１２に入射する。次に、図２５（ｃ）に、図２４の一点鎖線２４Ｃ１−２４Ｃ２における断面を示す。この図に示されるように、アパーチャ１１１２に入射する前の光はカップリングレンズ１１１１を通過することにより図２５（ｂ）に示す形状のものの倒立像となる。次に、図２５（ｄ）に、図２４の一点鎖線２４Ｄ１−２４Ｄ２における断面を示す。この図に示されるように、アパーチャ１１１２により、更に周辺光の一部が遮られるため、領域４０２において光が遮られている形状の光ビームとなる。アパーチャ１１１２より遮られる領域４０２は広く、領域４０１を含んでいるため、アパーチャ１１１２を通過する光４００は狭い領域の中心光のみとなる。尚、面発光レーザ素子に形成される面発光レーザが、１次元もしくは２次元アレイである場合には、アパーチャ１１１２をカップリングレンズ１１１１の焦点距離付近に設置することにより全ての発光点に対して同一の範囲の光を通過させることができる。尚、図２５（ａ）〜（ｄ）の大きさは、説明のため揃えられている。アパーチャ１１１２を通過した光ビームは更にシリンドリカルレンズ１１１３に入射する。

シリンドリカルレンズ１１１３は、光源ユニット１１００から出力された光を、ミラー１１１７を介してポリゴンミラー１１１４の偏向反射面近傍に集光する。

ポリゴンミラー１１１４は、高さの低い正六角柱状部材からなり、側面には６面の偏向反射面が形成されている。そして、不図示の回転機構により、矢印Ｙに示す方向に一定の角速度で回転されている。

従って、光源ユニット１１００から出射され、シリンドリカルレンズ１１１３によってポリゴンミラー１１１４の偏向反射面近傍に集光された光は、ポリゴンミラー１１１４の回転により一定の角速度で偏向される。

ｆθレンズ１１１５は、ポリゴンミラー１１１４からの光の入射角に比例した像高をもち、ポリゴンミラー１１１４により一定の角速度で偏向される光の像面を、主走査方向に関して等速移動させる。 トロイダルレンズ１１１６は、ｆθレンズ１１１５からの光をミラー１１１８を介して、感光体ドラム１０３０の表面に結像する。

トロイダルレンズ１１１６は、ｆθレンズ１１１５を介した光束の光路上に配置されている。そして、このトロイダルレンズ１１１６を介した光束が、感光体ドラム１０３０の表面に照射され、光スポットが形成される。この光スポットは、ポリゴンミラー１１１４の回転に伴って感光体ドラム１０３０の長手方向に移動する。すなわち、感光体ドラム１０３０上を走査する。このときの光スポットの移動方向が「主走査方向」である。また、感光体ドラム１０３０の回転方向が「副走査方向」である。

ポリゴンミラー１１１４と感光体ドラム１０３０との間の光路上に配置される光学系は、走査光学系とも呼ばれている。本実施の形態では、走査光学系は、ｆθレンズ１１１５とトロイダルレンズ１１１６とから構成されている。なお、ｆθレンズ１１１５とトロイダルレンズ１１１６の間の光路上、及びトロイダルレンズ１１１６と感光体ドラム１０３０の間の光路上の少なくとも一方に、少なくとも１つの折り返しミラーが配置されてもよい。

本実施の形態におけるレーザプリンタ１０００では、第１から第３のいずれかの実施の形態における面発光レーザモジュールを用いているため、レーザプリンタ１０００では書きこみドット密度が上昇しても印刷速度を落とすことなく印刷することができる。また、同じ書きこみドット密度の場合には印刷速度を更に速くすることができる。

図２６に示されるように、面発光レーザ素子におけるＶＣＳＥＬアレイＬＡでは、各ＶＣＳＥＬの中心から副走査方向に対応する方向に垂線を下ろした時の副走査方向に対応する方向における各面発光レーザ素子の位置関係が等間隔（間隔ｄ２とする）となるので、点灯のタイミングを調整することで感光体ドラム１０３０上では副走査方向に等間隔で光源が並んでいる場合と同様な構成と捉えることができる。例えば、副走査方向に対応した方向に関する面発光レーザ素子のピッチｄ１が２６．５μｍであれば、前記間隔ｄ２は２．６５μｍとなる。そして、光学系の倍率を２倍とすれば、感光体ドラム１０３０上では副走査方向に５．３μｍ間隔で書き込みドットを形成することができる。これは、４８００ｄｐｉ（ドット／インチ）に対応している。すなわち、４８００ｄｐｉ（ドット／インチ）の高密度書込みができる。もちろん、主走査方向に対応する方向のＶＣＳＥＬの数を増加したり、前記ピッチｄ１を狭くして間隔ｄ２を更に小さくするアレイ配置としたり、光学系の倍率を下げる等を行えばより高密度化でき、より高品質の印刷が可能となる。なお、主走査方向の書き込み間隔は、光源の点灯のタイミングで容易に制御できる。

また、この場合には、各発光部からの光束の偏光方向が安定して揃っているため、レーザプリンタ１０００では、高品質の画像を安定して形成することができる。

尚、本実施の形態における説明では、画像形成装置としてレーザプリンタ１０００の場合について説明したが、これに限定されるものではない。

例えば、レーザ光によって発色する媒体（例えば、用紙）に直接、レーザ光を照射する画像形成装置であってもよい。

また、像担持体として銀塩フィルムを用いた画像形成装置であっても良い。この場合には、光走査により銀塩フィルム上に潜像が形成され、この潜像は通常の銀塩写真プロセスにおける現像処理と同等の処理で可視化することができる。そして、通常の銀塩写真プロセスにおける焼付け処理と同等の処理で印画紙に転写することができる。このような画像形成装置は光製版装置や、ＣＴスキャン画像等を描画する光描画装置として実施できる。

〔第５の実施の形態〕
次に、第５の実施の形態について説明する。第５の実施の形態は、複数の感光体ドラムを備えるカラープリンタ２０００である。

図２７に基づき、本実施の形態におけるカラープリンタ２０００について説明する。本実施の形態におけるカラープリンタ２０００は、４色（ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー）を重ね合わせてフルカラーの画像を形成するタンデム方式の多色カラープリンタであり、ブラック用の「感光体ドラムＫ１、帯電装置Ｋ２、現像装置Ｋ４、クリーニングユニットＫ５、及び転写装置Ｋ６」と、シアン用の「感光体ドラムＣ１、帯電装置Ｃ２、現像装置Ｃ４、クリーニングユニットＣ５、及び転写装置Ｃ６」と、マゼンタ用の「感光体ドラムＭ１、帯電装置Ｍ２、現像装置Ｍ４、クリーニングユニットＭ５、及び転写装置Ｍ６」と、イエロー用の「感光体ドラムＹ１、帯電装置Ｙ２、現像装置Ｙ４、クリーニングユニットＹ５、及び転写装置Ｙ６」と、光走査装置２０１０と、転写ベルト２０８０と、定着ユニット２０３０などを備えている。

各感光体ドラムは、図２７において示される矢印の方向に回転し、各感光体ドラムの周囲には、回転順にそれぞれ帯電装置、現像装置、転写装置、クリーニングユニットが配置されている。各帯電装置は、対応する感光体ドラムの表面を均一に帯電する。帯電装置によって帯電された各感光体ドラム表面に光走査装置２０１０により光が照射され、各感光体ドラムに潜像が形成されるようになっている。そして、対応する現像装置により各感光体ドラム表面にトナー像が形成される。さらに、対応する転写装置により、転写ベルト２０８０上の記録紙に各色のトナー像が転写され、最終的に定着ユニット２０３０により記録紙に画像が定着される。

光走査装置２０１０は、第１から第３のいずれかの実施の形態における面発光レーザモジュールを含む光源ユニットを、各々の色毎に有しており、第４の実施の形態において説明した光走査装置１０１０と同様の効果を得ることができる。また、カラープリンタ２０００は、この光走査装置２０１０を備えているため、第４の実施の形態におけるレーザプリンタ１０００と同様の効果を得ることができる。

ところで、カラープリンタ２０００では、各部品の製造誤差や位置誤差等によって色ずれが発生する場合がある。このような場合であっても、光走査装置２０１０の各光源が第１から第３のいずれかの実施の形態における面発光レーザモジュールを含む光源ユニットにより形成されているため、点灯させる発光部を選択することで色ずれを低減することができる。

よって、本実施の形態におけるカラープリンタ２０００では、第１から第３のいずれかの実施の形態における面発光レーザモジュールを用いているため、高品質の画像を形成することができる。

以上、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。

１０ 面発光レーザ素子
１２ 面発光レーザ
１３ ボンディングパッド
２１ ベース部
２２ キャップ部
２３ 出射窓
２４ 反射部
２５ 支持部
３１ 電極
３２ 電極
３３ 電極
３４ ボンディングワイヤ
３５ ボンディングワイヤ
３６ 絶縁体部
３７ 絶縁体部
４０ 受光素子
４２ 受光領域
４３ ボンディングパッド
１００ 面発光レーザモジュール
１０００ レーザプリンタ（画像形成装置）
１０１０ 光走査装置
２０００ カラープリンタ（画像形成装置）

特開２００４−２８７０８５号公報 特開平８−３３０６６１号公報 特開２００４−８７８１６号公報 特開２００７−３２８３３４号公報 特開平６−３０９６８５号公報 特開平１０−３０３５１３号公報 特開２００７−２９８５６３号公報

Claims (16)

1. 基板上に面発光レーザが形成されている面発光レーザ素子と、
   前記面発光レーザ素子を設置するためのベース部と、
   前記ベース部において前記面発光レーザ素子の設置されている側に接合されるキャップ部と、
   前記キャップ部に設けられ、前記面発光レーザから出射された光の一部を反射する反射部と、
   前記キャップ部に設けられ、前記面発光レーザから出射された光のうち、前記反射部において反射された光を除いた光を透過する出射窓と、
   前記ベース部に設置され、前記面発光レーザから出射された光のうち、反射部により反射された光を受光する受光素子と、
   を有することを特徴とする面発光レーザモジュール。
2. 前記面発光レーザ素子は、複数の面発光レーザにより形成された１次元の面発光レーザアレイを有するものであって、
   前記反射部は、前記複数の面発光レーザが配列されている方向に略平行に設置されていることを特徴とする請求項１に記載の面発光レーザモジュール。
3. 前記面発光レーザ素子は、複数の面発光レーザにより形成された１次元の面発光レーザアレイを有するものであって、
   前記受光素子は、前記受光素子の長手方向が、前記複数の面発光レーザが配列されている方向と略平行となるように設置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の面発光レーザモジュール。
4. 前記面発光レーザ素子は、複数の面発光レーザにより形成された２次元の面発光レーザアレイを有するものであって、
   前記反射部は、前記複数の面発光レーザが配列されている方向に略平行に設置されていることを特徴とする請求項１に記載の面発光レーザモジュール。
5. 前記面発光レーザ素子は、複数の面発光レーザにより形成された２次元の面発光レーザアレイを有するものであって、
   前記受光素子は、前記受光素子の長手方向が、前記複数の面発光レーザが配列されている方向と略平行となるように設置されていることを特徴とする請求項１または４に記載の面発光レーザモジュール。
6. 前記反射部は、表面が凹状に形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の面発光レーザモジュール。
7. 前記反射部は、複数設けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の面発光レーザモジュール。
8. 前記受光素子は、複数設けられていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の面発光レーザモジュール。
9. 前記反射部、または、前記反射部を支持し前記キャップ部に固定するための支持部は、ビーム整形機能を有しているものであることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の面発光レーザモジュール。
10. 前記反射部は、前記反射部を支持する支持部により、前記キャップ部に固定されているものであって、前記支持部、前記キャップ部、前記出射窓を一体に形成したものであることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の面発光レーザモジュール。
11. 前記出射窓の一部に前記反射部が形成されていることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の面発光レーザモジュール。
12. 前記反射部の反射率は９０％以上であることを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載の面発光レーザモジュール。
13. 請求項１から１２のいずれかに記載の面発光レーザモジュールと、
    前記面発光レーザモジュールから出射された光を平行光とするコリメートレンズと、
    前記反射部において遮られた領域を含む領域を遮蔽し、前記出射された光のうち中心光のみを透過させるアパーチャと、
    前記アパーチャを通過した光を偏向する光偏向部と、
    前記光偏向部により偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、
    を有することを特徴とする光走査装置。
14. 光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
    請求項１から１２のいずれかに記載の面発光レーザモジュールを有する光源と、
    前記光源からの光を偏向する光偏向部と、
    前記光偏向部により偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、
    を有することを特徴とする光走査装置。
15. 像担持体と、
    前記像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する請求項１３または１４に記載の光走査装置と、
    を有することを特徴とする画像形成装置。
16. 前記像担持体は複数であって、前記画像情報は、多色のカラー情報であることを特徴とする請求項１５に記載の画像形成装置。

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