JP2012018008A - 産業機械および産業機械の制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 三次元測定機1は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル2と、スピンドル2を移動させる駆動力を発生する駆動モータ3と、スピンドル2の位置を制御するとともに駆動モータ3の回転速度を制御する制御装置4とを備えるものであって、スピンドル2の位置に基づく信号を検出するインクリメンタル型のリニアエンコーダ11と、駆動モータ3の絶対角度に基づく信号を検出するアブソリュート型のロータリーエンコーダ12とを備える。
【選択図】図1
Description
また、X軸方向移動機構はX軸駆動モータからの駆動力によって、Y軸方向移動機構はY軸駆動モータからの駆動力によって、Z軸方向移動機構はZ軸駆動モータからの駆動力によって駆動される。
このような三次元測定機では、移動機構の絶対位置ひいては制御対象物の絶対位置を検出するために、インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点位置を検出する必要がある。このインクリメンタル型のリニアエンコーダの原点位置は、リミットスイッチの機械的な位置に対する距離から認識されているため、リミットスイッチの機械的な位置を最初に検出することによって検出される。
図1に示す産業機械としての三次元測定機1には、図示しない被測定物を測定するための制御対象物としてのプローブが設けられ、三次元測定機1は、互いに直交するX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向(図1中左右方向)へプローブを移動させる移動機構と、この移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータ3と、移動機構の位置を制御するとともに駆動モータ3の回転速度としてのモータ速度を制御する制御装置4とを備える。移動機構は、図示しないX軸方向移動機構とY軸方向移動機構、および図1に示すZ軸方向移動機構としてのスピンドル2を備える。
以下の説明では、スピンドル2を駆動するZ軸駆動モータ3などの構成等についてのみ説明し、他は説明を省略する。
ヘッド112は、スピンドル2とリニアスケール111との移動により、スピンドル2のZ軸方向における位置に基づくパルス波形の信号を出力する。この信号は位置信号値K1として制御装置4に送られる。
モーションコントローラ41は、位置制御部411と速度制御部412と電流制御部413とを備える。
位置制御部411は、ホストコンピュータ42からのZ軸方向の位置指令値K0と位置信号値K1に基づくスピンドル2のZ軸方向における位置との差を受け取り、その差を0とするように速度指令値K2を出力する。
電流制御部413は、電流指令値K4を受け取り、フィードバック制御により、電流指令値K4に等しい電流指令値K5を駆動モータ3に出力する。これにより、駆動モータ3は電流指令値K5に基づいて駆動される。
原点位置記憶部421は、リニアエンコーダ11の原点の絶対位置を記憶する。原点はリニアスケール111にマークとして付されている。
取得部422は、ロータリーエンコーダ12で検出される駆動モータ3の絶対角度に基づいてプローブの絶対位置を取得する。
三次元測定機1の電源を投入後、S1の原点位置記憶工程で、まず、原点位置記憶部421がリニアエンコーダ11の原点の絶対位置を記憶する。
本実施形態の三次元測定機1では、アブソリュート型のロータリーエンコーダ12で検出される駆動モータ3の絶対角度に基づいてプローブの絶対位置が検出可能となるので、プローブの絶対位置に基づいてリニアエンコーダ11の原点位置を検出することを容易に行うことができる。
また、本実施形態の三次元測定機1および三次元測定機1の制御方法では、以下の効果がある。
本実施形態の三次元測定機1では、制御装置4は原点位置記憶部421と取得部422とを備え、三次元測定機1は原点位置記憶工程S1と取得工程S2とで制御される。
取得部422が、ロータリーエンコーダ12で検出される駆動モータ3の絶対角度に基づいてプローブの絶対位置を取得するため、プローブの絶対位置が容易にわかる。そして、原点位置記憶部421に記憶されたリニアエンコーダ11の原点の絶対位置と取得部422で取得されたプローブの絶対位置とに基づいて原点位置の検出を行うことができ、従来のようにリミットスイッチの機械的な位置を検出する動作を省略することができて、リニアエンコーダ11の原点位置を短時間で確実に検出することができる。
前記実施形態では、プローブをX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向に沿って移動させる三次元測定機1について説明したが、プローブを少なくとも1軸方向、例えばX軸方向に移動させる産業ロボットなどであってもよい。
2…スピンドル(移動機構)
3…駆動モータ
4…制御装置
11…インクリメンタル型のリニアエンコーダ
12…アブソリュート型のロータリーエンコーダ
421…原点位置記憶部
422…取得部
S1…原点位置記憶工程
S2…取得工程
Claims (3)
- 所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構と、前記移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータと、前記移動機構の位置を制御するとともに前記駆動モータの回転速度を制御する制御装置とを備えた産業機械であって、
前記移動機構の位置に基づく信号を出力するインクリメンタル型のリニアエンコーダと、前記駆動モータの絶対角度に基づく信号を出力するアブソリュート型のロータリーエンコーダとを備えることを特徴とする産業機械。 - 請求項1に記載の産業機械において、
前記制御装置は、前記インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点の絶対位置を記憶する原点位置記憶部と、前記アブソリュート型のロータリーエンコーダで検出される前記駆動モータの絶対角度に基づいて制御対象物の絶対位置を取得する取得部とを備えることを特徴とする産業機械。 - 所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構と、前記移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータと、前記移動機構の位置を制御するとともに前記駆動モータの回転速度を制御する制御装置とを備えた産業機械の制御方法であって、
前記産業機械は、前記移動機構の位置に基づく信号を出力するインクリメンタル型のリニアエンコーダと、前記駆動モータの絶対角度に基づく信号を出力するアブソリュート型のロータリーエンコーダとを備え、
前記制御装置は、前記インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点の絶対位置を記憶する原点位置記憶工程と、前記アブソリュート型のロータリーエンコーダで検出される前記駆動モータの絶対角度に基づいて制御対象物の絶対位置を取得する取得工程とを実行することを特徴とする産業機械の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010154109A JP2012018008A (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 産業機械および産業機械の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010154109A JP2012018008A (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 産業機械および産業機械の制御方法 |
Publications (1)
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|---|---|
| JP2012018008A true JP2012018008A (ja) | 2012-01-26 |
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Family Applications (1)
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| JP2010154109A Pending JP2012018008A (ja) | 2010-07-06 | 2010-07-06 | 産業機械および産業機械の制御方法 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP2012018008A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015021840A (ja) * | 2013-07-19 | 2015-02-02 | キヤノン株式会社 | 回転検出装置、モータ制御装置、モータ被駆動装置、回転検出装置の補正方法および補正プログラム |
| CN110672122A (zh) * | 2019-09-26 | 2020-01-10 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | 一种单轴速率双轴位置转台的电控装置 |
| CN115732376A (zh) * | 2021-08-27 | 2023-03-03 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体装置的制造方法、基板处理方法以及记录介质 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58184242U (ja) * | 1982-06-02 | 1983-12-08 | 東芝機械株式会社 | 原点復帰操作の不要な送りユニツト |
| JPH0599650A (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-23 | Komatsu Ltd | 位置検出装置 |
-
2010
- 2010-07-06 JP JP2010154109A patent/JP2012018008A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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