[go: up one dir, main page]

JP2012018008A - Industrial machine and control method of industrial machine - Google Patents

Industrial machine and control method of industrial machine Download PDF

Info

Publication number
JP2012018008A
JP2012018008A JP2010154109A JP2010154109A JP2012018008A JP 2012018008 A JP2012018008 A JP 2012018008A JP 2010154109 A JP2010154109 A JP 2010154109A JP 2010154109 A JP2010154109 A JP 2010154109A JP 2012018008 A JP2012018008 A JP 2012018008A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
absolute
industrial machine
moving mechanism
drive motor
origin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010154109A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomohiro Usui
智祐 臼井
Kazumi Mizukami
一己 水上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp, Mitsutoyo Kiko Co Ltd filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2010154109A priority Critical patent/JP2012018008A/en
Publication of JP2012018008A publication Critical patent/JP2012018008A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an industrial machine and a control method of the industrial machine capable of easily and surely detecting an origin position in a short time.SOLUTION: A coordinate measuring machine 1 includes: a spindle 2 for displacing a controlled object in a predetermined axial direction; a drive motor 3 for generating driving force to displace the spindle 2; and a control device 4 for controlling the position of the spindle 2 and the rotational speed of the drive motor 3. And the coordinate measuring machine 1 includes: an incremental-type linear encoder 11 for detecting a signal based on the position of the spindle 2; and an absolute-type rotary encoder 12 for detecting a signal based on the absolute angle of the drive motor 3.

Description

本発明は産業機械および産業機械の制御方法に関する。   The present invention relates to an industrial machine and a method for controlling the industrial machine.

従来、被測定物を測定するために設けられた制御対象物としてのプローブを互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動させる移動機構と、移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータと、移動機構の位置を制御するとともに駆動モータのモータ速度を制御する制御装置とを備える産業機械としての三次元測定機が知られている（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, a moving mechanism for moving a probe as a control object provided for measuring an object to be measured in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction orthogonal to each other and a driving force for moving the moving mechanism are generated. A three-dimensional measuring machine is known as an industrial machine that includes a drive motor that controls the position of a moving mechanism and a control device that controls the motor speed of the drive motor (see, for example, Patent Document 1).

このような三次元測定機では、移動機構は、鉛直方向（Ｚ軸方向）に立設され、プローブを水平面内のＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構としての門形フレームと、門形フレームのＹ軸方向に延びる水平部にＹ軸方向に沿って移動可能にＺ軸方向に立設され、プローブをＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構としてのスライダと、スライダにＺ軸方向に沿って移動可能に設けられ、プローブを支持するとともにＺ軸方向に移動させるＺ軸方向移動機構としてのスピンドルとを備えている。   In such a coordinate measuring machine, the moving mechanism is erected in the vertical direction (Z-axis direction), and a portal frame as an X-axis direction moving mechanism for moving the probe in the X-axis direction in the horizontal plane, A slider as a Y-axis direction moving mechanism that is erected in the Z-axis direction so as to be movable along the Y-axis direction on a horizontal portion extending in the Y-axis direction of the frame, and a Z-axis direction on the slider And a spindle as a Z-axis direction moving mechanism that supports the probe and moves in the Z-axis direction.

各軸方向移動機構にはそれぞれインクリメンタル型のリニアエンコーダが設けられ、このリニアエンコーダからの各軸方向移動機構の各軸方向の位置に基づく信号が制御装置に送られる。この信号に基づいて、プローブの各軸方向における位置が制御装置によってフィードバック制御される。
また、Ｘ軸方向移動機構はＸ軸駆動モータからの駆動力によって、Ｙ軸方向移動機構はＹ軸駆動モータからの駆動力によって、Ｚ軸方向移動機構はＺ軸駆動モータからの駆動力によって駆動される。 Each axial movement mechanism is provided with an incremental linear encoder, and a signal based on the position of each axial movement mechanism in each axial direction from the linear encoder is sent to the control device. Based on this signal, the position of the probe in each axial direction is feedback-controlled by the control device.
The X-axis direction moving mechanism is driven by the driving force from the X-axis driving motor, the Y-axis direction moving mechanism is driven by the driving force from the Y-axis driving motor, and the Z-axis direction moving mechanism is driven by the driving force from the Z-axis driving motor. Is done.

各駆動モータにはインクリメンタル型のロータリーエンコーダが取り付けられており、各駆動モータのモータ速度は、このロータリーエンコーダからのパルス信号に基づいて検出され、このパルス信号に基づいて制御装置によってフィードバック制御される。
このような三次元測定機では、移動機構の絶対位置ひいては制御対象物の絶対位置を検出するために、インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点位置を検出する必要がある。このインクリメンタル型のリニアエンコーダの原点位置は、リミットスイッチの機械的な位置に対する距離から認識されているため、リミットスイッチの機械的な位置を最初に検出することによって検出される。 Each drive motor is provided with an incremental rotary encoder, and the motor speed of each drive motor is detected based on a pulse signal from the rotary encoder, and feedback control is performed by a control device based on the pulse signal. .
In such a coordinate measuring machine, it is necessary to detect the origin position of an incremental linear encoder in order to detect the absolute position of the moving mechanism and hence the absolute position of the controlled object. Since the origin position of this incremental type linear encoder is recognized from the distance to the mechanical position of the limit switch, it is detected by first detecting the mechanical position of the limit switch.

特表２００９−５２７７４７号公報Special table 2009-527747 gazette

しかし、このような三次元測定機では、リミットスイッチの機械的な位置を最初に検出し、その後に原点位置を検出する動作が必要となり、原点位置の検出動作に時間がかかる。   However, in such a coordinate measuring machine, it is necessary to first detect the mechanical position of the limit switch and then to detect the origin position, and it takes time to detect the origin position.

本発明の目的は、短時間で容易かつ確実に原点位置の検出ができる産業機械および産業機械の制御方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide an industrial machine and an industrial machine control method capable of easily and reliably detecting an origin position in a short time.

本発明の産業機械は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構と、前記移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータと、前記移動機構の位置を制御するとともに前記駆動モータの回転速度を制御する制御装置とを備えた産業機械であって、前記移動機構の位置に基づく信号を出力するインクリメンタル型のリニアエンコーダと、前記駆動モータの絶対角度に基づく信号を出力するアブソリュート型のロータリーエンコーダとを備えることを特徴とする。   The industrial machine of the present invention includes a moving mechanism that moves a control object in a predetermined axial direction, a driving motor that generates a driving force that moves the moving mechanism, a position of the moving mechanism, and a position of the driving motor. An industrial machine comprising a control device for controlling the rotational speed, an incremental type linear encoder that outputs a signal based on the position of the moving mechanism, and an absolute type that outputs a signal based on the absolute angle of the drive motor And a rotary encoder.

このような構成によれば、アブソリュート型のロータリーエンコーダで検出される駆動モータの絶対角度に基づいて制御対象物の絶対位置が検出可能となるので、制御対象物の絶対位置に基づいてインクリメンタル型のリニアエンコーダの原点位置を検出することを容易に行うことができる。   According to such a configuration, since the absolute position of the control target can be detected based on the absolute angle of the drive motor detected by the absolute type rotary encoder, the incremental type based on the absolute position of the control target. It is possible to easily detect the origin position of the linear encoder.

本発明の産業機械において、前記制御装置は、前記インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点の絶対位置を記憶する原点位置記憶部と、前記アブソリュート型のロータリーエンコーダで検出される前記駆動モータの絶対角度に基づいて制御対象物の絶対位置を取得する取得部とを備えることが好ましい。   In the industrial machine of the present invention, the control device is based on an absolute position of the drive motor detected by an origin position storage unit that stores the absolute position of the origin of the incremental type linear encoder and the absolute type rotary encoder. And an acquisition unit that acquires the absolute position of the control object.

このような構成によれば、取得部が、アブソリュート型のロータリーエンコーダで検出される駆動モータの絶対角度に基づいて制御対象物の絶対位置を取得するため、制御対象物の絶対位置が容易にわかる。そして、原点位置記憶部に記憶された原点の絶対位置と取得部で取得された制御対象物の絶対位置とに基づいて原点位置の検出を行うことができ、従来のようにリミットスイッチの機械的な位置を検出する動作を省略することができて、インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点位置を短時間で確実に検出することができる。   According to such a configuration, since the acquisition unit acquires the absolute position of the control object based on the absolute angle of the drive motor detected by the absolute rotary encoder, the absolute position of the control object is easily known. . Then, the origin position can be detected based on the absolute position of the origin stored in the origin position storage section and the absolute position of the control object acquired by the acquisition section. The operation of detecting the correct position can be omitted, and the origin position of the incremental linear encoder can be reliably detected in a short time.

本発明の産業機械の制御方法は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構と、前記移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータと、前記移動機構の位置を制御するとともに前記駆動モータの回転速度を制御する制御装置とを備えた産業機械の制御方法であって、前記産業機械は、前記移動機構の位置に基づく信号を出力するインクリメンタル型のリニアエンコーダと、前記駆動モータの絶対角度に基づく信号を出力するアブソリュート型のロータリーエンコーダとを備え、前記制御装置は、前記インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点の絶対位置を記憶する原点位置記憶工程と、前記アブソリュート型のロータリーエンコーダで検出される前記駆動モータの絶対角度に基づいて制御対象物の絶対位置を取得する取得工程とを実行することを特徴とする。   The industrial machine control method according to the present invention includes a moving mechanism that moves a controlled object in a predetermined axial direction, a drive motor that generates a driving force that moves the moving mechanism, a position of the moving mechanism, and the position of the moving mechanism. An industrial machine control method comprising a control device for controlling the rotational speed of a drive motor, wherein the industrial machine includes an incremental linear encoder that outputs a signal based on the position of the moving mechanism, and the drive motor An absolute type rotary encoder that outputs a signal based on an absolute angle, and the control device detects the absolute position of the origin of the incremental type linear encoder, and the absolute position rotary encoder detects the absolute position. The acquisition step of acquiring the absolute position of the control object based on the absolute angle of the drive motor Characterized by a run.

このような構成によれば、前述した、原点位置記憶部と取得部とを備える産業機械と同様の作用効果を奏することができる。   According to such a configuration, the same operational effects as those of the industrial machine including the origin position storage unit and the acquisition unit described above can be obtained.

本発明の実施形態に係る三次元測定機を示すブロック図。The block diagram which shows the coordinate measuring machine which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る三次元測定機の制御方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the control method of the coordinate measuring machine which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示す産業機械としての三次元測定機１には、図示しない被測定物を測定するための制御対象物としてのプローブが設けられ、三次元測定機１は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向（図１中左右方向）へプローブを移動させる移動機構と、この移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータ３と、移動機構の位置を制御するとともに駆動モータ３の回転速度としてのモータ速度を制御する制御装置４とを備える。移動機構は、図示しないＸ軸方向移動機構とＹ軸方向移動機構、および図１に示すＺ軸方向移動機構としてのスピンドル２を備える。
以下の説明では、スピンドル２を駆動するＺ軸駆動モータ３などの構成等についてのみ説明し、他は説明を省略する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
The coordinate measuring machine 1 as an industrial machine shown in FIG. 1 is provided with a probe as a control object for measuring an object to be measured (not shown), and the coordinate measuring machine 1 has an X-axis direction orthogonal to each other, A moving mechanism for moving the probe in the Y-axis direction and the Z-axis direction (left-right direction in FIG. 1), a driving motor 3 for generating a driving force for moving the moving mechanism, and controlling the position of the moving mechanism 3 And a control device 4 for controlling the motor speed as the rotation speed of the motor. The moving mechanism includes an X-axis direction moving mechanism and a Y-axis direction moving mechanism (not shown), and a spindle 2 as the Z-axis direction moving mechanism shown in FIG.
In the following description, only the configuration and the like of the Z-axis drive motor 3 that drives the spindle 2 will be described, and the description of the others will be omitted.

スピンドル２にはリニアスケール１１１が設けられている。スピンドル２とリニアスケール１１１とは、駆動モータ３からの駆動力によって、駆動モータ３の出力側に取り付けられたボールねじ３１の軸方向に沿って一体で移動される。リニアスケール１１１に対向してヘッド１１２が固定配置されており、リニアスケール１１１とヘッド１１２とでインクリメンタル型のリニアエンコーダ１１が構成されている。
ヘッド１１２は、スピンドル２とリニアスケール１１１との移動により、スピンドル２のＺ軸方向における位置に基づくパルス波形の信号を出力する。この信号は位置信号値Ｋ１として制御装置４に送られる。 The spindle 2 is provided with a linear scale 111. The spindle 2 and the linear scale 111 are integrally moved along the axial direction of the ball screw 31 attached to the output side of the drive motor 3 by the drive force from the drive motor 3. A head 112 is fixedly disposed so as to face the linear scale 111, and the linear scale 111 and the head 112 constitute an incremental linear encoder 11.
The head 112 outputs a pulse waveform signal based on the position of the spindle 2 in the Z-axis direction by the movement of the spindle 2 and the linear scale 111. This signal is sent to the control device 4 as a position signal value K1.

駆動モータ３には、アブソリュート型のロータリーエンコーダ１２が取り付けられている。ロータリーエンコーダ１２は、駆動モータ３の絶対角度に基づくパルス波形の信号を出力する。この信号は信号値Ｋ３として制御装置４に送られる。   An absolute rotary encoder 12 is attached to the drive motor 3. The rotary encoder 12 outputs a pulse waveform signal based on the absolute angle of the drive motor 3. This signal is sent to the control device 4 as a signal value K3.

制御装置４は、移動機構の位置を制御するとともにモータ速度の制御を実行するモーションコントローラ４１と、モーションコントローラ４１に所定の指令を与えるホストコンピュータ４２とを備える。
モーションコントローラ４１は、位置制御部４１１と速度制御部４１２と電流制御部４１３とを備える。
位置制御部４１１は、ホストコンピュータ４２からのＺ軸方向の位置指令値Ｋ０と位置信号値Ｋ１に基づくスピンドル２のＺ軸方向における位置との差を受け取り、その差を０とするように速度指令値Ｋ２を出力する。 The control device 4 includes a motion controller 41 that controls the position of the moving mechanism and controls the motor speed, and a host computer 42 that gives a predetermined command to the motion controller 41.
The motion controller 41 includes a position control unit 411, a speed control unit 412, and a current control unit 413.
The position control unit 411 receives the difference between the position command value K0 in the Z-axis direction from the host computer 42 and the position in the Z-axis direction of the spindle 2 based on the position signal value K1, and sets the speed command so that the difference becomes zero. The value K2 is output.

速度制御部４１２は、速度指令値Ｋ２と信号値Ｋ３に基づく駆動モータ３の回転速度との差を受け取り、その差を０とするように電流指令値Ｋ４を出力する。
電流制御部４１３は、電流指令値Ｋ４を受け取り、フィードバック制御により、電流指令値Ｋ４に等しい電流指令値Ｋ５を駆動モータ３に出力する。これにより、駆動モータ３は電流指令値Ｋ５に基づいて駆動される。 The speed control unit 412 receives the difference between the speed command value K2 and the rotational speed of the drive motor 3 based on the signal value K3, and outputs a current command value K4 so that the difference is zero.
The current control unit 413 receives the current command value K4 and outputs a current command value K5 equal to the current command value K4 to the drive motor 3 by feedback control. Thereby, the drive motor 3 is driven based on the current command value K5.

ホストコンピュータ４２は原点位置記憶部４２１と取得部４２２を備える。
原点位置記憶部４２１は、リニアエンコーダ１１の原点の絶対位置を記憶する。原点はリニアスケール１１１にマークとして付されている。
取得部４２２は、ロータリーエンコーダ１２で検出される駆動モータ３の絶対角度に基づいてプローブの絶対位置を取得する。 The host computer 42 includes an origin position storage unit 421 and an acquisition unit 422.
The origin position storage unit 421 stores the absolute position of the origin of the linear encoder 11. The origin is marked on the linear scale 111 as a mark.
The acquisition unit 422 acquires the absolute position of the probe based on the absolute angle of the drive motor 3 detected by the rotary encoder 12.

次に、以上のような三次元測定機１の制御方法について図２に基づいて説明する。以下では、各制御工程をＳ１，Ｓ２で示す。
三次元測定機１の電源を投入後、Ｓ１の原点位置記憶工程で、まず、原点位置記憶部４２１がリニアエンコーダ１１の原点の絶対位置を記憶する。 Next, a control method of the coordinate measuring machine 1 as described above will be described with reference to FIG. Below, each control process is shown by S1, S2.
After the CMM 1 is turned on, the origin position storage unit 421 first stores the absolute position of the origin of the linear encoder 11 in the origin position storage step of S1.

次に、Ｓ２の取得工程で、取得部４２２が、ロータリーエンコーダ１２で検出される駆動モータ３の絶対角度に基づいてプローブの絶対位置を取得する。具体的には、プローブの絶対位置と駆動モータ３の絶対角度とが予め関連付けられた対応テーブルがホストコンピュータ４２に記憶されており、この対応テーブルとロータリーエンコーダ１２で検出された駆動モータ３の絶対角度とに基づいてプローブの絶対位置が取得される。   Next, in the acquisition step of S <b> 2, the acquisition unit 422 acquires the absolute position of the probe based on the absolute angle of the drive motor 3 detected by the rotary encoder 12. Specifically, a correspondence table in which the absolute position of the probe and the absolute angle of the drive motor 3 are associated in advance is stored in the host computer 42, and the absolute value of the drive motor 3 detected by the rotary encoder 12 is stored in the correspondence table. The absolute position of the probe is obtained based on the angle.

その後、ホストコンピュータ４２のＣＰＵが、Ｓ１の原点位置記憶工程で記憶された原点の絶対位置と、Ｓ２の取得工程で取得されたプローブの絶対位置とから、リニアスケール１１１に付されたリニアエンコーダ１１の原点をヘッド１１２に対応する位置に至らせるためのリニアスケール１１１の移動距離を算出し、モーションコントローラ４１に移動制御指令を出す。この指令に基づいて、モーションコントローラ４１は、駆動モータ３を制御し、スピンドル２を介して、まずリニアスケール１１１を高速で移動させる。その後、リニアエンコーダ１１の原点がヘッド１１２に対応する位置付近までくると、モーションコントローラ４１は、リニアスケール１１１の移動速度を小さくしてリニアエンコーダ１１の原点をヘッド１１２に対応する位置に至らせる。そして、ヘッド１１２を介してホストコンピュータ４２のＣＰＵがリニアエンコーダ１１の原点を検出する。   Thereafter, the CPU of the host computer 42 uses the absolute position of the origin stored in the origin position storage process of S1 and the absolute position of the probe acquired in the acquisition process of S2 to the linear encoder 11 attached to the linear scale 111. The movement distance of the linear scale 111 for causing the origin to reach the position corresponding to the head 112 is calculated, and a movement control command is issued to the motion controller 41. Based on this command, the motion controller 41 controls the drive motor 3 and first moves the linear scale 111 at high speed via the spindle 2. Thereafter, when the origin of the linear encoder 11 reaches the vicinity of the position corresponding to the head 112, the motion controller 41 reduces the moving speed of the linear scale 111 to bring the origin of the linear encoder 11 to the position corresponding to the head 112. Then, the CPU of the host computer 42 detects the origin of the linear encoder 11 via the head 112.

以上のような本実施形態の三次元測定機１では、以下の効果がある。
本実施形態の三次元測定機１では、アブソリュート型のロータリーエンコーダ１２で検出される駆動モータ３の絶対角度に基づいてプローブの絶対位置が検出可能となるので、プローブの絶対位置に基づいてリニアエンコーダ１１の原点位置を検出することを容易に行うことができる。
また、本実施形態の三次元測定機１および三次元測定機１の制御方法では、以下の効果がある。
本実施形態の三次元測定機１では、制御装置４は原点位置記憶部４２１と取得部４２２とを備え、三次元測定機１は原点位置記憶工程Ｓ１と取得工程Ｓ２とで制御される。
取得部４２２が、ロータリーエンコーダ１２で検出される駆動モータ３の絶対角度に基づいてプローブの絶対位置を取得するため、プローブの絶対位置が容易にわかる。そして、原点位置記憶部４２１に記憶されたリニアエンコーダ１１の原点の絶対位置と取得部４２２で取得されたプローブの絶対位置とに基づいて原点位置の検出を行うことができ、従来のようにリミットスイッチの機械的な位置を検出する動作を省略することができて、リニアエンコーダ１１の原点位置を短時間で確実に検出することができる。 The coordinate measuring machine 1 of the present embodiment as described above has the following effects.
In the coordinate measuring machine 1 of the present embodiment, the absolute position of the probe can be detected based on the absolute angle of the drive motor 3 detected by the absolute type rotary encoder 12, and therefore the linear encoder based on the absolute position of the probe. 11 origin positions can be easily detected.
In addition, the coordinate measuring machine 1 and the control method of the coordinate measuring machine 1 of the present embodiment have the following effects.
In the coordinate measuring machine 1 of the present embodiment, the control device 4 includes an origin position storage unit 421 and an acquisition unit 422, and the coordinate measuring machine 1 is controlled by the origin position storage step S1 and the acquisition step S2.
Since the acquisition unit 422 acquires the absolute position of the probe based on the absolute angle of the drive motor 3 detected by the rotary encoder 12, the absolute position of the probe can be easily known. The origin position can be detected based on the absolute position of the origin of the linear encoder 11 stored in the origin position storage unit 421 and the absolute position of the probe acquired by the acquisition unit 422. The operation of detecting the mechanical position of the switch can be omitted, and the origin position of the linear encoder 11 can be reliably detected in a short time.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記実施形態では、プローブをＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に沿って移動させる三次元測定機１について説明したが、プローブを少なくとも１軸方向、例えばＸ軸方向に移動させる産業ロボットなどであってもよい。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
In the embodiment, the coordinate measuring machine 1 that moves the probe along the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction has been described. However, an industrial robot that moves the probe in at least one axis direction, for example, the X-axis direction, etc. It may be.

また、前記実施形態では、プローブの絶対位置は、予め記憶された対応テーブルに基づいて取得されたが、ホストコンピュータ４２が、所定の数式を用いることで、ロータリーエンコーダ１２で検出される駆動モータ３の絶対角度からプローブの絶対位置を算出してもよい。   In the above embodiment, the absolute position of the probe is acquired based on a correspondence table stored in advance. However, the drive motor 3 detected by the rotary encoder 12 by the host computer 42 using a predetermined mathematical expression. The absolute position of the probe may be calculated from the absolute angle.

本発明は産業機械および産業機械の制御方法に利用することができる。   The present invention can be used for an industrial machine and a method for controlling the industrial machine.

１…三次元測定機（産業機械）
２…スピンドル（移動機構）
３…駆動モータ
４…制御装置
１１…インクリメンタル型のリニアエンコーダ
１２…アブソリュート型のロータリーエンコーダ
４２１…原点位置記憶部
４２２…取得部
Ｓ１…原点位置記憶工程
Ｓ２…取得工程 1 ... CMM (industrial machine)
2 ... Spindle (movement mechanism)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Drive motor 4 ... Control apparatus 11 ... Incremental type linear encoder 12 ... Absolute type rotary encoder 421 ... Origin position memory | storage part 422 ... Acquisition part S1 ... Origin position memory | storage process S2 ... Acquisition process

Claims (3)

所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構と、前記移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータと、前記移動機構の位置を制御するとともに前記駆動モータの回転速度を制御する制御装置とを備えた産業機械であって、
前記移動機構の位置に基づく信号を出力するインクリメンタル型のリニアエンコーダと、前記駆動モータの絶対角度に基づく信号を出力するアブソリュート型のロータリーエンコーダとを備えることを特徴とする産業機械。 A moving mechanism for moving a control object in a predetermined axial direction, a driving motor for generating a driving force for moving the moving mechanism, and a control device for controlling the rotational speed of the driving motor while controlling the position of the moving mechanism An industrial machine with
An industrial machine comprising: an incremental linear encoder that outputs a signal based on a position of the moving mechanism; and an absolute rotary encoder that outputs a signal based on an absolute angle of the drive motor. 請求項１に記載の産業機械において、
前記制御装置は、前記インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点の絶対位置を記憶する原点位置記憶部と、前記アブソリュート型のロータリーエンコーダで検出される前記駆動モータの絶対角度に基づいて制御対象物の絶対位置を取得する取得部とを備えることを特徴とする産業機械。 The industrial machine according to claim 1,
The control device is configured to store an absolute position of an origin of the incremental type linear encoder, and an absolute position of the control object based on an absolute angle of the drive motor detected by the absolute type rotary encoder. An industrial machine comprising: an acquisition unit that acquires 所定の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構と、前記移動機構を移動させる駆動力を発生する駆動モータと、前記移動機構の位置を制御するとともに前記駆動モータの回転速度を制御する制御装置とを備えた産業機械の制御方法であって、
前記産業機械は、前記移動機構の位置に基づく信号を出力するインクリメンタル型のリニアエンコーダと、前記駆動モータの絶対角度に基づく信号を出力するアブソリュート型のロータリーエンコーダとを備え、
前記制御装置は、前記インクリメンタル型のリニアエンコーダの原点の絶対位置を記憶する原点位置記憶工程と、前記アブソリュート型のロータリーエンコーダで検出される前記駆動モータの絶対角度に基づいて制御対象物の絶対位置を取得する取得工程とを実行することを特徴とする産業機械の制御方法。 A moving mechanism for moving a control object in a predetermined axial direction, a driving motor for generating a driving force for moving the moving mechanism, and a control device for controlling the rotational speed of the driving motor while controlling the position of the moving mechanism An industrial machine control method comprising:
The industrial machine includes an incremental linear encoder that outputs a signal based on the position of the moving mechanism, and an absolute rotary encoder that outputs a signal based on the absolute angle of the drive motor,
The control device is configured to store an absolute position of an origin of the incremental type linear encoder and an absolute position of a control object based on an absolute angle of the drive motor detected by the absolute type rotary encoder. An industrial machine control method comprising: an acquisition step of acquiring
JP2010154109A 2010-07-06 2010-07-06 Industrial machine and control method of industrial machine Pending JP2012018008A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010154109A JP2012018008A (en) 2010-07-06 2010-07-06 Industrial machine and control method of industrial machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010154109A JP2012018008A (en) 2010-07-06 2010-07-06 Industrial machine and control method of industrial machine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012018008A true JP2012018008A (en) 2012-01-26

Family

ID=45603376

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010154109A Pending JP2012018008A (en) 2010-07-06 2010-07-06 Industrial machine and control method of industrial machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012018008A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015021840A (en) * 2013-07-19 2015-02-02 キヤノン株式会社 Rotation detection device, motor control device, motor driven device, correction method and correction program for rotation detection device
CN110672122A (en) * 2019-09-26 2020-01-10 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 Electric control device of single-shaft speed double-shaft position rotary table
CN115732376A (en) * 2021-08-27 2023-03-03 株式会社国际电气 Substrate processing apparatus, method for manufacturing semiconductor device, substrate processing method, and recording medium

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58184242U (en) * 1982-06-02 1983-12-08 東芝機械株式会社 Feed unit that does not require home return operation
JPH0599650A (en) * 1991-10-09 1993-04-23 Komatsu Ltd Position detection device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58184242U (en) * 1982-06-02 1983-12-08 東芝機械株式会社 Feed unit that does not require home return operation
JPH0599650A (en) * 1991-10-09 1993-04-23 Komatsu Ltd Position detection device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015021840A (en) * 2013-07-19 2015-02-02 キヤノン株式会社 Rotation detection device, motor control device, motor driven device, correction method and correction program for rotation detection device
CN110672122A (en) * 2019-09-26 2020-01-10 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 Electric control device of single-shaft speed double-shaft position rotary table
CN115732376A (en) * 2021-08-27 2023-03-03 株式会社国际电气 Substrate processing apparatus, method for manufacturing semiconductor device, substrate processing method, and recording medium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5418272B2 (en) Thermal displacement correction method and thermal displacement correction apparatus for machine tool
JP6640816B2 (en) Processing system
JP5897671B1 (en) Trajectory display device for displaying trajectories of motor end and machine end
CN103154839B (en) Correction method when the feed axis reverses
US10031507B2 (en) Servo control device
JP6496338B2 (en) Machine tool control system
JP5388823B2 (en) Trajectory measuring device
JP2011059119A (en) Gantry stage orthogonality error measuring method and error correction method for homing processing
JP2014119853A (en) Servo controller for correcting position error when moving body turns around
JP4256353B2 (en) Servo control device and servo system adjustment method
JP2018181198A (en) Machine tool control system
JP2019096219A (en) Control device of machine tool
JP5622125B2 (en) Multi-axis motor drive system and multi-axis motor drive device
JP6803043B2 (en) How to measure geometric error of machine tools
CN103034241B (en) Method of adjusting the position of origin of a machine and a machine having a function for adjusting the position of origin
JP2012018008A (en) Industrial machine and control method of industrial machine
JP6377506B2 (en) Motor control device and correction data creation method in the same
JP4618616B2 (en) Numerical controller
JP2008152536A (en) Non-circular shape processing equipment
TW202212047A (en) Processing machine, processing system, and method for manufacturing processed object
JP2012032215A (en) Industrial machine
JP2017068391A (en) Numerical controller and lost motion compensation method for numerical controller
JP6474450B2 (en) Machine tool control system
JP2018128350A (en) Position detecting device, stage device, and shape measuring device
JP3042157U (en) Three-dimensional coordinate measuring machine

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130604

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131108

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131217

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20141001

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20150609